JPH0411313A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は誘導的薄膜磁気読み呂し／書き込みヘッドに関
するものである。さらに詳細にいえば、本発明は、読み
戻し動作のさい「グリッチ」による誤動作的出力スパイ
クが少ない、改良された薄膜ヘッドの設計に関するもの
である。

〔従来の技術および問題点〕

薄膜磁気読み比し／書き込みヘッドは、磁気ディスクの
ような磁気記録媒体の情報を磁気的に読み出すおよび書
き込むのに用いられる。この磁気ディスクと磁気ヘッド
は、相互に運動している。

薄膜磁気ヘッドは、このヘッドの磁気コアを構成する１
対の「ヨーク」、すなわち、「パドル」を有する。電気
導体は、この２つのパドルの間を通リ、そして磁気記録
媒体の情報を読み出すのと書き込むのとの両方に用いら
れる。書き込み動作のさい、この導電体に電流か流れ、
それにより、パドル内に磁界が発生する。この構造体は
、２つのパドルの２つの先端の間の小さな間隙で構成さ
れる、間隙領域を有する。コイルの電流はこの間隙領域
に磁束を発生する。この磁束を用いて、書き込み動作の
さいに記録媒体に磁界を加え、それにより、記録媒体の
中に磁気的遷移が起こる。読み出し動作のさいには、磁
気ヘッドと記録媒体がまた相対的に運動し、それにより
、コイル内の磁界か変化する。コイルは磁気回路と連結
されている。

導電体の中の電気信号が電気回路で検出され、それによ
り、磁気媒体に記憶されていた情報を再生することがで
きる。

薄膜磁気ヘッドの特性は、「グリッチ」効果、すなわち
、「リモート読み呂し」効果として知られている現象に
よって劣化する。このリモート読み出し効果の特徴は、
書き込み工程が完了した後にランダムな遅延をおいて、
コイル内のヘッドに発生する電圧雑音スパイクである。

この電圧スパイクは正しいデータとして復号化されるの
に十分の大きさを有しており、これは装置の誤動作の原
因となる。先行技術による薄膜磁気ヘッドでは、典型的
な場合、１０３回ないし１０６回の書き込み動作毎に約
１回の確率でグリッチか起こる。

グリッチが起こると磁気媒体からデータを読み出すこと
が不正確になり、このことは極めて好ましくない。先行
技術は、薄膜ヘッドに用いられる磁性材料とその設計の
両者がリモート読み出し効果に及ぼす相互関連について
、明らかにしていない。グリッチ効果、すなわち、リモ
ート読み出し効果か統計的にほとんと起こらない改良さ
れた薄膜ヘッドかえられれば、それはこの分野における
重要な技術的進歩である。

〔発明の要約〕

本発明は、誘導的薄膜ヘッド変換器において、「グリッ
チ」効果または「リモート読み出し」効果として知られ
ている効果をなくする、またはできるだけ小さくするこ
とに関するものである。リモート読み出し効果の特徴は
、磁気ディスクに対する書き込み工程が完了した後ラン
ダムな遅延をおいて、ヘッドによって発生されたコイル
内に誘起される電圧雑音スパイクである。この効果は多
分、パドルの磁区構造の緩和、または突然の変化により
生ずるのであろう。このような電圧雑音スパイクは、書
き込み検査段階のさい、データとして（不正確に）読み
出される。このことが起こると、正しい書き込みデータ
は装置によってエラーとして解釈されることになる。

本発明により、磁極（パドル）構造体か磁気書き込み磁
界を主どして困難軸（ｒＨＡｒ　）方向に向かわせるよ
うにする、誘導的薄膜ヘッドのコイルとパドルの構造か
えられる。特に、容易軸方向の磁界がパドルの局所抗磁
力Ｈ６を越えないような、ヘッド／コイル構造体かえら
れる。さらに、大きな長さ対副比を有する磁極（パドル
）かえられ、この場合の細長い形状により、磁区の安定
性が保持される。磁極磁区構造の磁気的ひずみを小さく
するために、強磁性体磁極それ自身は、負の磁気ひずみ
材料（典型的な材料はパーマロイ）を用いて作成される
。切り取り機械加工と磁極磁区構造変化との間にみられ
る相互関連をできるだけ小さくするために、機械加工の
前の磁極先端の全長は小さ（される。

〔実施例〕

誘導的薄膜ヘッドのトラック幅が小さくなる時、一定の
雑音現象かますます頻繁に起こるようになる。グリッチ
と呼ばれている１つのこのような現象は、書き込み工程
か完了した後、誘導的薄膜ヘッドの出力電圧に雑音スパ
イクが読み出し工程中に起こるというのか典型的な場合
である。書き込みの後に短くてランダムな時間遅延をも
って起こる雑音スパイクにより、読み出し雑音電圧が十
分に大きな振幅をもって生じ、これはディスク駆動のさ
いの情報復号化工程において装置のエラーの原因となる
。装置のビット・エラー率はｌＸｌ０−”　　以下であ
ることが好ましいから、そして先行技術による設計では
、グリッチ現象は書き込み毎にｌＸｌ０−’ないしｌＸ
ｌ０−’の程度て起こることとが観測されているから、
グリッチ効果が装置の特性を限定している。

グリッチの原因は、次の式に従って、薄膜ヘッドの出力
電圧（ｖ、、、ｌ）に関係している。

ｄｔ ここで、Φ＝ＢＡ＝　ＨＡ　＋４πＭＡ＝Ａ　（Ｈ＋　
４πＭ）Φ＝磁束 Ｂ＝磁束密度 Ｈ＝磁界 ４πＭ＝磁性体内の磁化 Ａ＝面積 に＝比例定数 Ｎ＝コイルの巻数 である。この時 ｄｔ　　　　　　　　　ｄｔ となる。

誘導的薄膜ヘッドが情報を読み出している時、Ｈ＝０で
かつｄＨ／ｄｔ＝０　　である。もし書き込み工程が終
了した後、誘導的薄膜ヘッドの磁区構造か変化するなら
ば、ｄＭ／ｄｔは比較的大きな値をもち、そして式２の
関係により、ｄＭ　／　ｄｔに比例したグリッチ電圧が
生ずる。したがって、グリッチの原因は、書き込みの後
の誘導的薄膜ヘッドの磁区構造の中の急激な熱力学的不
可逆的変化によるものであるとすることができる。グリ
ッチは、多分、書き込みの後の冷却による応力緩和によ
るか、または誘導的磁気ヘッドが記録されたデータから
感知する弱い読み出し磁界によるが、のいずれかによっ
てトリガされるのであろう。

本発明は、実験的に観察された事実に基づいている。第
１は、磁気抵抗性ヘッド（ＭＲＨ）磁区構造体の研究の
過程において、任意の容易軸（ＥＡ）駆動磁界は、パド
ルの磁区構造を、急に変わりつる非常に不安定でかつ予
測できない状態にする傾向にあることがわかったことで
ある。また、これらの研究において、磁区構造は困難軸
（ＨＡ）駆動磁界に対して大いに再生可能でありかつ安
定であることがわかった。

第２は、理論的な計算と磁極構造体の変化の実験とによ
り、より細い磁極構造体は、誘導的薄膜ヘッド構造に近
年用いられる負磁気ひずみメツキ構成体に対し、誘導的
薄膜ヘッド・パーマロイ磁区構造を安定化させることが
示された。

第３は、これらの研究によりまた、もし機械加工か磁極
構造体に対してとのような位置で行なわれるかについて
注意か払われないならば、切り取り機械加工工程は磁区
構造を大きく変えうることが示された。さらに具体的に
いえば、もし切り取り加工工程か磁極の先端の近傍で行
なわれるならばまたは磁極の先端を通って行なわれるな
らば、基板の切り取り加工は磁極構造体に損傷を与える
ことがありうるであることである。

本発明の特徴は、グリッチ率をできるだけ小さくする新
規な方式で、これらの実験的観察事実を利用することで
ある。さらに具体的にいえば、本発明により、薄膜ヘッ
ドの磁区の中の全磁気エネルギをできるだけ小さくする
ことを試みることによって、それによって改良された磁
区構造かえられ、そしてリモート読み出し効果が小さく
なる。

与えられた薄膜ヘッド磁極設計と与えられた磁性材料の
性質とに対し、全磁壁エネルギと磁区の数との関係を表
す曲線は「Ｕ」字形を示す。最も安定な磁区状態はこの
曲線の極小点にあることがわかった。本発明の目的は、
磁区エネルギを最小ににすることによって、磁区の安定
性を最良の状態にするために、この「Ｕ」字形曲線の底
にあるように薄膜ヘッド磁極の設計を行なうことである
。

本発明の特徴は次の通りである。

（１）磁極構造体を困難軸駆動磁界にのみ置くようにさ
れた新規なコイルの設計。

（２）負磁気ひずみ容器と共に用いられる時、固有の磁
区構造の安定性を改善した細い磁極の設計。

（３）磁極の先端の機械加工と磁極の磁区構造の変化と
の間の相互の影響を最小にするための短縮された磁極先
端長。

第１図に、本発明による薄膜磁気ヘッド１０が示されて
いる。誘導的薄膜ヘッド１０は、１対のヨーク、すなわ
ち、磁極またはパドル１２と、コイルの形状に作成され
た導電体１４と、上部磁極先端１６とを有する。第１図
には、磁極のうち上部磁極だけか示されている。磁極先
端１６の表面によって定められる平面に垂直に、鋸路１
８が延びている。ヨーク、磁極、およびパドルの用語は
、相互に置き換えて用いることができる。

第２図は、第１図の薄膜ヘッドの線２−２に沿っての横
断面図である。薄膜ヘッド１０の下側ヨーク、すなわち
、磁極またはパドル２０と、上部磁極、すなわち、パド
ル１２は、導電体１４と導電体２２をはさんで配置され
る。下部パドル２０は下部磁極先端２４を有する。上部
磁極先端１６と下部磁極先端２４とは、磁気記録媒体の
上の情報を読み出すおよびそれに情報を書き込むのに用
いられる絶縁体間隙層２６によって、分離される。

上部パドル１２と下部パドル２０は、後方間隙部２８に
おいて接触している。（この接触は必らずしも必要では
ない）薄膜ヘッド１０は、鋸路１８に隣接した基板３０
の上に沈着される。鋸路１８、すなわち、切り溝は、下
記で詳細に説明されるように、基板が切り取られる時に
用いられる領域である。

本発明による誘導的薄膜ヘッド１０の典型的な磁区構造
が第３図に示されている。第３図には水平磁壁（すなわ
ち「１８０°」磁壁）３１と、「閉路」磁壁３２（これ
は場合により「９０°」磁壁といわれる）とが示されて
いる。磁壁３１および３２の中の矢印は、外部磁界か加
わっていない時、緩和した状態にある材料の磁化の方向
を示す。（もしすへての矢印か反対の方向を向いていて
も、このことがまたあてはまる。） 前記のように、本発明は、薄膜ヘッドの中で磁区安定性
と再現性を増すために、３要点方式を用いる。第１は、
書き込み動作中に用いられる駆動磁界が磁気ヘッドを困
難軸方向にのみ加わるようにすることである。このこと
は第２図のパドル１２の磁気困難軸に対して垂直の方向
（パドル１２を通る１つの対称軸に沿って、後方間隙部
２８から磁極先端領域１６および２４へ向かう方向）に
、コイル１４を配置することによって行なわれる。

コイル１４は押しつぶされた卵形または楕円体形に作成
される。コイル１４の巻線１４はパドル１２および２０
のまわりでは曲っているか、巻線はパドル１２とパドル
２０の間を通る時には真直ぐでかつ平行である。コイル
１４の直線部分により、パドル１２および２０の困難軸
方向の駆動磁界かえられる。これに比べて、先行技術に
よる薄膜ヘッドのコイルでは、先行技術の薄膜ヘッドの
コアを通して大きな角度で曲って巻かれている。本発明
の薄膜ヘッド１０ては、常に因難軸駆動磁界が加わるよ
うにすることにより、パドル１２および２０の磁区構造
は先行技術による薄膜パドルの磁区構造よりも安定であ
り、かつ、より再現性か大きく、したがって、グリッチ
効果やリモート読み出し効果を受けることがより少ない
。特に、本発明のヘットとコイルの構造により、駆動磁
界か容易軸方向に加わるのか制限され、それにより、磁
性材料の局所抗磁力（Ｈｏ）を駆動磁界か越えることは
ない。

第４図は本発明の１つの実施例の図面である。

この実施例により、大幅に小さなグリッチ率かえられる
。薄膜ヘッド３４は、磁極３６とコイル４４を有する。

パドルの寸法ＡおよびＢと、磁極３６の角度ＣおよびＤ
か第４図に示されている。パドル３６は、後方領域３８
と、中間領域４０と、パドル先端領域４２とを有する。

寸法Ａは、中間領域４０の長さと後方領域３８の長さと
を加算した長さである。寸法Ｂは中間領域４０の長さで
ある。角度Ｃは、後方領域３８の側辺とパドル３６の対
称軸に垂直な線との間の角度である。角度りは、中間領
域４０の側辺とパドル３６の対称軸に垂直な線との間の
角度である。標準的なメツキされたパーマロイを用いて
製造された薄膜ヘッドについての実験的観測により、小
さなグリッチ率を与えるためのこれらの寸法と角度に対
する最適値は次の通りである。

パラメータ　　　　　　　値 Ａ　　　　　　１３５−１６５μｍ Ｂ　　　　　　　３５μｍ以下 Ｃ８５°−９５゜ Ｄ　　　　　　　４５°−９０゜ これらの値は、磁極３６の異方性（Ｈ３）が３エルステ
ツドと５エルステツドの間にあり、抗磁力（Ｈｏ）が約
０．８エルステツド、飽和磁化か約１０，０００ガウス
、厚さ（δ）か約１ミクロンと約４ミクロンの間にあり
、および負の磁気ひずみを有する場合に、定められた値
である。パドルの幅は、長さＡまたはＢを角度Ｃまたは
Ｄのタンジェントで除算し、その結果を２倍することに
よって決定される。

第４図においては、本発明に従って作成された薄膜ヘッ
ド３４はまた小さなパドル幅対長さ比を用いている。こ
の比は先行技術によるパドルの比よりも小さい。このこ
とにより、先行技術の薄膜ヘッドのパドル「耳」特性が
除去される。さらに、第４図のパドル３６の長さに対し
てこのように細い構造体により、パドルを作成するのに
負磁気ひずみ材料か用いられる時、誘導的薄膜ヘッド磁
区構造を安定化する。要求された特性の磁区構造体をう
るために、誘導的薄膜磁気ヘッドを製造するのに最近用
いられる方法は、負の磁気ひずみを有する強磁性合金を
メツキすることである。

第５図は薄膜磁気ヘッド１０を有する基板３０の一部分
の立体図である。製造のさい、第５図に示されているよ
うに、多数個の薄膜ヘッド１０か基板３０の表面に沈着
される。ヘッド１０か沈着された後、基板３０は「鋸路
」　１８に沿って切り取られ、複数個の棒状体かえられ
る。これらの棒状体のおのおのは、その長さ方向に直線
状に配置された薄膜ヘッドを有する。鋸路、すなわち、
切り溝は必要である。それは、７基板を切り取る工程に
おいて、材料の除去される切り幅分が「路」を作るから
である。

最後に、切断工程中の応力を小さ（するために、本発明
は改良された磁極先端設計を用いる。本発明の誘導的薄
膜ヘッド１０は、先行技術の薄膜ヘッドに用いられる磁
極先端よりも短い長さの、第２図の磁極先端１６（およ
び２５）を有する。磁極先端の長さを小さくする目的は
、磁極先端１６および２５と鋸路１８との間の距離を大
きくするためである。先行技術による薄膜ヘッドでは、
磁極ヘッドはヘッドに対して非常に長いことがよくある
。先端はウェハが切り取られた時に単に切断されるので
あるから、この寸法は重要であるとは考えられなかった
。（第４図の）磁極先端４２の端部と鋸路との間の距離
か大きいことが好ましい。

けれとも、本発明では、磁極先端の長さは約１０ミクロ
ンより小さくなければならない。磁極先端と鋸路との間
の間隔領域により、鋸引き工程中に誘起される薄膜ヘッ
ド応力を限定する、バッファ領域かえられる。ダイアモ
ンド懸濁液のような中程度の研磨剤を磁極の先端に使用
する標準的な研磨工程によって、最終的な磁極先端の寸
法に仕上げられる。この研磨工程は、鋸引き工程よりも
はるかに穏やかな工程である。薄膜ヘッドに対する応力
を限定することにより、本発明の薄膜ヘッドの磁区構造
は、最終製品において事実上完全なままであり、先行技
術による薄膜ヘッドに比べて、磁区の安定性と再現性が
さらに増大する。

本発明の誘導的薄膜磁気ヘッドにより、磁区パターンの
改良された安定性と再現性かえられ、それにより、グリ
ッチ効果またはリモート読み出し効果を限定することが
できる。本発明は改良された薄膜ヘッド・パッケージの
全体を作成するのに３要点方式を用いる。第１は、磁気
駆動磁界か磁気困難軸方向にのみ生ずるように、コイル
が作成されることである。第２は、先行技術による薄膜
ヘッド・パドルの「耳Ｊを除去するために、より細い磁
極設計か用いられ、それにより、さらに改善された磁区
の安定性と再現性かえられる。最後に、鋸引き工程が薄
膜ヘッドの構造体に及ぼす影響を限定することによって
、製造工程中にヘッドがより小さな応力しか受けないこ
とである。

本発明は好ましい実施例について説明されたか、本発明
の範囲内において、形式や細部を変更しうろことは当業
者にはわかるであろう。例えば、本発明に従って作成さ
れたフェライトの上部磁極を用いるだけで設計を行なう
ことが可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による薄膜磁気読み出し／書き込みヘッ
ドの平面断面図、第２図は第１図の薄膜ヘッドの線２−
２に沿っての横断面図、第３図は第１図の薄膜ヘッドの
パドルに対する磁区パターン図、第４図は本発明による
薄膜磁気ヘッドの平面図、第５図は本発明により作成さ
れた多数個の薄膜磁気読み出し／書き込みヘッドを有す
るウェハの立体図。 〔符号の説明〕 １２　　　　　　　　　　磁気ヨーク パドル先端 上部パドル 下部パドル 巻線 パドル先端領域 後方領域 中間領域

Claims (21)

【特許請求の範囲】
1. （１）非磁性体基板の上に沈着されかつ高透磁率磁束路
   を定めかつ対称軸を有しかつ負の磁気ひずみを有する上
   部パドルおよび下部パドルを定める構造体をそなえた磁
   気ヨークと、 前記磁気ヨークの中に磁束間隙を定めかつ前記対称軸に
   垂直に配置されかつ前記磁束間隙の近傍のデータを記録
   するおよび読み出すための前記上部パドルおよび前記下
   部パドルに対して間隔を有して配置されたパドル先端と
   、 前記対称軸に全体的に平行な磁化困難軸を有しかつ前記
   磁化困難軸に垂直で前記パドルの面内に磁化容易軸を有
   するそれぞれの前記パドル先端部をそなえた前記上部パ
   ドルおよび前記下部パドルと、 前記上部パドルと前記下部パドルとの間の前記磁気ヨー
   クを通して巻かれた電気的に絶縁された複数個の導電体
   巻線と、 前記磁気ヨークが困難軸方向に受ける磁気駆動磁界を最
   大にしかつ容易軸方向に受ける駆動磁界を最小にしそれ
   により容易軸方向の駆動磁界が前記磁気ヨークの局所抗
   磁力を越えない相対的構造を有する前記磁気パドルの縦
   方向限界およびコイルの前記巻線と、 を有する薄膜磁気記録ヘッド。
2. （２）請求項１において、前記磁気ヨークを通して巻か
   れたコイルの前記巻線が前記パドルの困難軸に全体的に
   垂直でありかつ前記パドルの容易軸に全体的に平行であ
   る、前記薄膜磁気記録ヘッド。
3. （３）請求項１において、前記基板の中に鋸路を作成す
   る際前記鋸路が前記容易軸に全体的に垂直でありかつ前
   記パドル先端から離れた位置に配置された、前記薄膜磁
   気記録ヘッド。
4. （４）請求項１において、前記上部磁極および下部磁極
   のおのおのが パドル先端幅を有するパドル先端領域と、 前記磁極先端幅を有する後方領域幅と後方領域長を定め
   る側辺とを有する後方領域と、 前記パドル先端領域と前記後方領域との間に配置され、
   かつ、前方端幅を有し前記パドル先端領域と接触してい
   る前方端と後方端幅を有し前記後方領域と接触している
   後方端を有し、かつ、前記前方端幅が前記後方端幅より
   も小さく、かつ、前記後方領域と前記パドル先端領域と
   の間に配置された側辺を有し、かつ、後方領域長を定め
   る前記側辺と前記パドル先端が第１角度を作りおよび前
   記後方領域と前記パドル先端領域との間に配置された前
   記側辺と前記パドル先端が第２角度を作る、中間領域と
   、 を有する、前記薄膜磁気記録ヘッド。
5. （５）請求項４において、前記第１角度が約８５°と約
   ９５°との間にある、前記薄膜磁気記録ヘッド。
6. （６）請求項４において、前記第２角度が約４５°と約
   ９０°との間にある、前記薄膜磁気記録ヘッド。
7. （７）請求項４において、前記中間領域が前記後方領域
   と前記パドル先端との間の中間領域長を有しかつ前記中
   間領域長が約３５ミクロンよりは小さい、前記薄膜磁気
   記録ヘッド。
8. （８）請求項４において、前記後方長が約１００ミクロ
   ンと約１３０ミクロンとの間にある、前記薄膜磁気記録
   ヘッド。
9. （９）請求項４において、 前記第１角度が約８５°と約９５°との間にあり、 前記第２角度が約４５°と約９０°との間にあり、 前記中間領域が前記後方領域と前記パドル先端との間の
   中間領域長を有し、かつ、前記中間領域長が約３５ミク
   ロンよりは小さく、 前記後方領域長と前記中間領域長とを加算した長さが約
   １３５ミクロンと約１６５ミクロンとの間にある、 前記薄膜磁気記録ヘッド。
10. （１０）対称軸をそなえた負の磁気ひずみを有しかつパ
    ドル先端領域を有する下部パドルを基板の上に沈着する
    段階と、 前記下部パドルの上にそれを通って導電コイルを有する
    絶縁体層を沈着する段階と、 対称軸をそなえかつ負の磁気ひずみを有しかつパドル先
    端領域を有する上部パドルを前記絶縁体層と前記下部パ
    ドルとの上に沈着する段階であって、前記上部パドルお
    よび前記下部パドルが高透磁率磁束路を定める磁気ヨー
    クを構成し、上部パドル先端領域と下部パドル先端領域
    とがその近傍にデータを記録するおよび読み出すための
    磁束間隙を前記磁気ヨークの中に定め、かつ、前記パド
    ル先端が前記対称軸に垂直であり、かつ、前記磁気ヨー
    クが前記対称軸に全体的に平行な磁化困難軸を有しかつ
    前記磁化困難軸に垂直な磁化容易軸を有する、前記上部
    パドルを沈着する前記段階とを有し、 前記磁気ヨークが困難軸方向に受ける磁気駆動磁界を最
    大にするようにしかつ前記磁気ヨークが容易軸方向に受
    ける磁気駆動磁界を最小にするようにしかつ前記容易軸
    方向の駆動磁界が前記磁気ヨークの局所抗磁力を越えな
    いようにする相対的構造を前記導電コイルおよび前記磁
    気ヨークが有する、 薄膜磁気記録ヘッドの製造法。
11. （１１）請求項１０において、前記パドル先端領域に平
    行でかつそれから離れた位置に配置された鋸路に沿って
    非磁性体の前記基板を切り取る段階を有し、かつ、それ
    により前記切り取り段階のさいの応力から前記磁気ヨー
    クが分離される、 前記製造法。
12. （１２）請求項１０において、前記絶縁体層を通って巻
    かれている前記導電コイルの部分が前記困難軸に全体的
    に垂直である、前記製造法。
13. （１３）請求項１０において、上部パドルを沈着する段
    階および下部パドルを沈着する段階が パドル先端部を有するパドル先端領域を作成する段階と
    、 前記パドル先端幅よりは小さな後方領域幅を有しかつ後
    方領域長を定める後方領域側辺を定める、後方領域を作
    成する段階と、 前記後方領域と前記パドル先端領域の間に配置されかつ
    前端幅を有し前記パドル先端領域と接触している前端と
    後端幅を有し前記後方領域と接触している後端とを有す
    る中間領域を作成する段階であって、かつ、前記前端幅
    が前記後端幅よりも小さく、かつ、前記中間領域が前記
    後方領域と前記パドル先端領域との間に配置された側辺
    を有し、かつ、前記後方領域長を定める前記側辺と前記
    パドル先端領域とが第１角度を作りおよび前記後方領域
    と前記パドル先端領域との間に配置された前記側辺と前
    記パドル先端とが第２角度を作る、前記中間領域を沈着
    する前記段階と、 を有する、前記製造法。
14. （１４）請求項１３において、中間領域を作成する前記
    段階の前記第１角度が約８５°と約９５°との間にある
    、前記製造法。
15. （１５）請求項１３において、中間領域を作成する前記
    段階の前記第２角度が約４５°と約９０°との間にある
    、前記製造法。
16. （１６）請求項１３において、前記中間領域を作成する
    前記段階が前記後方領域と前記パドル先端領域との間の
    中間領域長を約３５ミクロンより小さく作成する段階を
    有する、前記製造法。
17. （１７）請求項１３において、前記後方領域を作成する
    前記段階が後方領域長を約１００ミクロンと約１３０ミ
    クロンとの間に作成する段階を有する、前記製造法。
18. （１８）請求項１３において、 前記第１角度を約８５°と約９５°との間に作成する段
    階と、 前記第２角度を約４５°と約９０°との間に作成する段
    階と、 前記後方領域と前記パドル先端領域との間の中間領域長
    を約３５ミクロンよりも小さく作成する段階と、 前記後方領域長と前記中間領域長とを加算した長さが約
    １３５ミクロンと約１６５ミクロンとの間にあるように
    作成する段階と、 を有する、前記製造法。
19. （１９）磁気ヨークの容易軸方向に加えられる磁気駆動
    磁界が最小になるようにかつ困難軸方向に加えられる磁
    気駆動磁界が最大になるように磁気記憶ディスクから前
    記磁気ヨークへ磁気駆動磁界を加える段階を有する、 困難軸方向と容易軸方向とを有する磁気ヨークをそなえ
    た薄膜磁気ヘッドの中のグリッチ率を小さくする方法。
20. （２０）容易軸方向に加えられた磁気駆動磁界が磁気ヨ
    ークの局所抗磁力を越えないように磁気記憶ディスクか
    ら前記磁気ヨークへ磁気駆動磁界を加える段階を有する
    、 困難軸方向と容易軸方向とを有する磁気ヨークをそなえ
    た薄膜磁気ヘッドの中のグリッチ率を小さくする方法。
21. （２１）上部磁極と下部磁極とを有し高透磁率磁束路を
    定める磁気ヨークと、 前記磁気ヨークを通って巻かれた平らでかつ全体的に楕
    円状のコイルであって、平らな部分が前記磁気ヨークを
    通って巻かれた事実上平行な複数個の導電体を有し、か
    つ、前記磁気ヨークを越えて巻かれた事実上楕円状の部
    分が前記磁気ヨークの困難軸方向の磁気駆動磁界を最大
    にしかつ前記磁気ヨークの容易軸方向の磁気駆動磁界を
    最小にする前記コイルと、 を有する薄膜磁気記録ヘッド。