JPH0546930A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents
薄膜磁気ヘツドInfo
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- JPH0546930A JPH0546930A JP20183191A JP20183191A JPH0546930A JP H0546930 A JPH0546930 A JP H0546930A JP 20183191 A JP20183191 A JP 20183191A JP 20183191 A JP20183191 A JP 20183191A JP H0546930 A JPH0546930 A JP H0546930A
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- JP
- Japan
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- core
- gap
- lower core
- magnetic head
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁気記録媒体に対する記録・再生効率が高
く、磁極長効果も優れており、しかも、構造が簡単であ
る薄膜磁気ヘッドを提供する。 【構成】 薄膜形成法により、基板上に形成された下部
コアと、この下部コアと一部が連結されているとともに
先端部において先細りのギャップを介して対向している
上部コアと、前記下部コアと上部コアとの対向部分に配
設されている巻線とを有する薄膜磁気ヘッドにおいて、
前記上部コアとギャップを介して対向している前記下部
コアの先端部と前記基板との間に、透磁率μの低い材料
からなる底上げ材を介在させて前記ギャップを所定の先
細りに形成したことを特徴とする。
く、磁極長効果も優れており、しかも、構造が簡単であ
る薄膜磁気ヘッドを提供する。 【構成】 薄膜形成法により、基板上に形成された下部
コアと、この下部コアと一部が連結されているとともに
先端部において先細りのギャップを介して対向している
上部コアと、前記下部コアと上部コアとの対向部分に配
設されている巻線とを有する薄膜磁気ヘッドにおいて、
前記上部コアとギャップを介して対向している前記下部
コアの先端部と前記基板との間に、透磁率μの低い材料
からなる底上げ材を介在させて前記ギャップを所定の先
細りに形成したことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体に対して
高密度の情報の記録・再生を行なう薄膜磁気ヘッドに関
する。
高密度の情報の記録・再生を行なう薄膜磁気ヘッドに関
する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、薄膜磁気ヘッドは、図１２に示
すように、セラミックス製の平面形状がほぼ矩形のスラ
イダ１のトレーリング側端部に、薄膜ヘッド素子２をそ
のギャップ３をＡＢＳ面４に開口させるようにして設け
て形成されている。
すように、セラミックス製の平面形状がほぼ矩形のスラ
イダ１のトレーリング側端部に、薄膜ヘッド素子２をそ
のギャップ３をＡＢＳ面４に開口させるようにして設け
て形成されている。
【０００３】この薄膜ヘッド素子２は、図１３に示すよ
うに、Ａｌ−Ｔｉ−Ｃ系のセラミックス製の基板５の上
に、スパッタリング法等の薄膜形成法により、保護層
６、下部コア７、巻線８、上部コア９、保護層６を順に
積層して形成される。下部コア７および上部コア９の素
材はともにパーマロイであり、巻線８の素材は銅であ
り、この巻線８が配設されている両コア７、９の対向部
分には樹脂等の絶縁材１０が充填されている。両コア
７、９は一部が連結されているとともに、先端部がギャ
プ３を介して対向しており、巻線８は前記両コア７、９
の連結部を周回するようにして形成されている。また、
保護層６はアルミナ等によって形成されている。
うに、Ａｌ−Ｔｉ−Ｃ系のセラミックス製の基板５の上
に、スパッタリング法等の薄膜形成法により、保護層
６、下部コア７、巻線８、上部コア９、保護層６を順に
積層して形成される。下部コア７および上部コア９の素
材はともにパーマロイであり、巻線８の素材は銅であ
り、この巻線８が配設されている両コア７、９の対向部
分には樹脂等の絶縁材１０が充填されている。両コア
７、９は一部が連結されているとともに、先端部がギャ
プ３を介して対向しており、巻線８は前記両コア７、９
の連結部を周回するようにして形成されている。また、
保護層６はアルミナ等によって形成されている。
【０００４】このように形成されている薄膜磁気ヘッド
においては、記録時には、巻線８に通電することによ
り、前記ギャップ３部分に磁束を発生させて磁気記録媒
体に対して情報の記録を行ない、再生時には、磁気記録
媒体の磁束を巻線８に鎖交させることにより情報の再生
を行なう。
においては、記録時には、巻線８に通電することによ
り、前記ギャップ３部分に磁束を発生させて磁気記録媒
体に対して情報の記録を行ない、再生時には、磁気記録
媒体の磁束を巻線８に鎖交させることにより情報の再生
を行なう。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】前記従来の薄膜磁気ヘ
ッドにおいては、スパッタリング法による薄膜形成を容
易に行なうために、構成各部をできるかぎり平面的に構
成するようにしている。そのために、基板５に対して保
護層６および下部コア７を平面的に形成するとともに、
下層に巻線８および絶縁材１０が形成されている上部コ
ア９の先端を下部コア７側に近付けるように下方に傾斜
させてギャップ３を形成するようにしている。特に、ギ
ャップ３の有効深さ部分より内側のＡ部分においては、
下部コア７の上面を若干削り、上部コア９を下部コア７
に近接させている。
ッドにおいては、スパッタリング法による薄膜形成を容
易に行なうために、構成各部をできるかぎり平面的に構
成するようにしている。そのために、基板５に対して保
護層６および下部コア７を平面的に形成するとともに、
下層に巻線８および絶縁材１０が形成されている上部コ
ア９の先端を下部コア７側に近付けるように下方に傾斜
させてギャップ３を形成するようにしている。特に、ギ
ャップ３の有効深さ部分より内側のＡ部分においては、
下部コア７の上面を若干削り、上部コア９を下部コア７
に近接させている。
【０００６】ところが、この下部コア７と上部コア９と
の距離が前記Ａ部分において近いために、巻線８部分に
おける両コア７、９の間に漏れ磁界が多く形成されてし
まい、磁気記録媒体に対する記録・再生効率が低下され
てしまうという不都合があった。また、再生波形につい
てみると、ギャップ３部分を外れた両コア７、９のＡＢ
Ｓ面４部分に大きな負パルスが発生してしまい、磁極長
効果（コンター効果）が悪いという不都合があった。
の距離が前記Ａ部分において近いために、巻線８部分に
おける両コア７、９の間に漏れ磁界が多く形成されてし
まい、磁気記録媒体に対する記録・再生効率が低下され
てしまうという不都合があった。また、再生波形につい
てみると、ギャップ３部分を外れた両コア７、９のＡＢ
Ｓ面４部分に大きな負パルスが発生してしまい、磁極長
効果（コンター効果）が悪いという不都合があった。
【０００７】本発明はこれらの点に鑑みてなされたもの
であり、磁気記録媒体に対する記録・再生効率が高く、
磁極長効果も優れており、しかも、構造が簡単である薄
膜磁気ヘッドを提供することを目的とする。
であり、磁気記録媒体に対する記録・再生効率が高く、
磁極長効果も優れており、しかも、構造が簡単である薄
膜磁気ヘッドを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、請求項１に記載の本発明の薄膜磁気ヘッドは、薄膜
形成法により、基板上に形成された下部コアと、この下
部コアと一部が連結されているとともに先端部において
先細りのギャップを介して対向している上部コアと、前
記下部コアと上部コアとの対向部分に配設されている巻
線とを有する薄膜磁気ヘッドにおいて、前記上部コアと
ギャップを介して対向している前記下部コアの先端部と
前記基板との間に、透磁率μの低い材料からなる底上げ
材を介在させて前記ギャップを所定の先細りに形成した
ことを特徴とする。
に、請求項１に記載の本発明の薄膜磁気ヘッドは、薄膜
形成法により、基板上に形成された下部コアと、この下
部コアと一部が連結されているとともに先端部において
先細りのギャップを介して対向している上部コアと、前
記下部コアと上部コアとの対向部分に配設されている巻
線とを有する薄膜磁気ヘッドにおいて、前記上部コアと
ギャップを介して対向している前記下部コアの先端部と
前記基板との間に、透磁率μの低い材料からなる底上げ
材を介在させて前記ギャップを所定の先細りに形成した
ことを特徴とする。
【０００９】請求項２に記載の本発明の薄膜磁気ヘッド
は、底上げ材をパーマロイにＭｏを１２〜１８原子％添
加した素材としたことを特徴とする。
は、底上げ材をパーマロイにＭｏを１２〜１８原子％添
加した素材としたことを特徴とする。
【００１０】
【作用】請求項１に記載の本発明によれば、底上げ材に
より下部コアの先端部を上部コア側に上げるように傾斜
させ、下部コアと上部コアとのギャップ近傍における距
離を大きく形成しているために、両コアの巻線部分にお
ける間隔が広くなり、漏れ磁界の発生が少なくなり、情
報の記録・再生効率が大きく向上するとともに、再生波
形における負パルスを極めて小さく抑えることができ、
磁極長効果が優れたものとなる。
より下部コアの先端部を上部コア側に上げるように傾斜
させ、下部コアと上部コアとのギャップ近傍における距
離を大きく形成しているために、両コアの巻線部分にお
ける間隔が広くなり、漏れ磁界の発生が少なくなり、情
報の記録・再生効率が大きく向上するとともに、再生波
形における負パルスを極めて小さく抑えることができ、
磁極長効果が優れたものとなる。
【００１１】請求項２に記載の本発明によれば、底上げ
材がコアの材料と組成が似ているパーマロイにＭｏを１
２〜１８原子％添加した素材とされているために、コア
の材料の特性が劣化することがなく、より一層情報の記
録・再生効率を大きく向上させ、磁極長効果を大きく改
善させる。
材がコアの材料と組成が似ているパーマロイにＭｏを１
２〜１８原子％添加した素材とされているために、コア
の材料の特性が劣化することがなく、より一層情報の記
録・再生効率を大きく向上させ、磁極長効果を大きく改
善させる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の実施例を図１から図１１につ
いて説明する。
いて説明する。
【００１３】図１は本発明の薄膜磁気ヘッドの１実施例
を示し、従来と同一部分には同一符号を付してある。
を示し、従来と同一部分には同一符号を付してある。
【００１４】本実施例においては、下部コア７のギャッ
プ３を形成する先端部分の基板５側に、下部コア７を上
部コア９側に持上げる底上げ材１１を介在させて形成さ
れており、その他の構成は従来と同一である。
プ３を形成する先端部分の基板５側に、下部コア７を上
部コア９側に持上げる底上げ材１１を介在させて形成さ
れており、その他の構成は従来と同一である。
【００１５】更に説明すると、底上げ材１１は下部コア
７の形成前に保護層６の上にスパッタリング法により形
成され、その後に下部コア７等が従来と同様にして形成
される。この底上げ材１１により下部コア７の先端部
が、基板５の上面に対して傾斜角θをもって先端部を徐
々に上げるように傾斜させられ、かつ、両コア７、９の
巻線８部分の内のりＨに対して下部コア７の上面より底
上げ量ｈをもって底上げされている。また、上部コア９
の先端部の下方への傾斜角は、下部コア７の前記傾斜角
θとほぼ同一とされている。また、底上げ材１１は透磁
率μの低い材料を用いている。例えば、Ｎｉ82Ｆｅ18程
度のパーマロイにＭｏを１２〜１８原子％添加した素材
であって、下部コア７のパーマロイの組成に似た素材を
用いるとよい。
７の形成前に保護層６の上にスパッタリング法により形
成され、その後に下部コア７等が従来と同様にして形成
される。この底上げ材１１により下部コア７の先端部
が、基板５の上面に対して傾斜角θをもって先端部を徐
々に上げるように傾斜させられ、かつ、両コア７、９の
巻線８部分の内のりＨに対して下部コア７の上面より底
上げ量ｈをもって底上げされている。また、上部コア９
の先端部の下方への傾斜角は、下部コア７の前記傾斜角
θとほぼ同一とされている。また、底上げ材１１は透磁
率μの低い材料を用いている。例えば、Ｎｉ82Ｆｅ18程
度のパーマロイにＭｏを１２〜１８原子％添加した素材
であって、下部コア７のパーマロイの組成に似た素材を
用いるとよい。
【００１６】このようにして形成されている本実施例の
薄膜磁気ヘッドの各種の特性を図２から図１１について
説明する。
薄膜磁気ヘッドの各種の特性を図２から図１１について
説明する。
【００１７】図２は底上げ量ｈと再生効率との関係を示
し、図中実線、破線および鎖線はそれぞれ上下コア９、
７のテーパ部の透磁率μを２０００、１０００および５
００とした場合を示す。この再生効率は磁気記録媒体の
小磁石が発生する磁束のコアを通過する磁束量により求
めた。また、下部コア７の傾斜角θおよび上部コア９の
傾斜角をそれぞれ４５度とし、両コア７、９の内のりＨ
を１０μｍとして底上げ量ｈを変化させて求めた。ま
た、図中、底上げ量ｈ＝０の部分が従来例を示してい
る。
し、図中実線、破線および鎖線はそれぞれ上下コア９、
７のテーパ部の透磁率μを２０００、１０００および５
００とした場合を示す。この再生効率は磁気記録媒体の
小磁石が発生する磁束のコアを通過する磁束量により求
めた。また、下部コア７の傾斜角θおよび上部コア９の
傾斜角をそれぞれ４５度とし、両コア７、９の内のりＨ
を１０μｍとして底上げ量ｈを変化させて求めた。ま
た、図中、底上げ量ｈ＝０の部分が従来例を示してい
る。
【００１８】この図２より、下部コア７の先端部の底上
げにより再生効率が向上することがわかり、特に、上下
コア９、７のテーパ部の透磁率μが低い程その効果が顕
著である。
げにより再生効率が向上することがわかり、特に、上下
コア９、７のテーパ部の透磁率μが低い程その効果が顕
著である。
【００１９】これは上部コア９の下方への傾斜角が等し
いならば、下部コア７が平面的な従来例に比べて、下部
コア７が底上げ材１１によって上方へ傾斜している本実
施例の方が、下部コア７と上部コア９との間隔が広くな
り、両者間に発生する磁束数が本実施例の方が少なくな
るからである。図３はこの磁束数の比較例を示してお
り、ａは図２のａ点の本発明の実施例のギャップ近傍の
磁束分布を示し、ｂは図２のｂ点の従来例のギャップ近
傍の磁束分布を示しており、従来例のギャップ近傍の磁
束分布に比べて、本実施例のギャップ近傍の磁束分布の
方が、下部コア７と上部コア９との間に発生する磁束数
が少ないことがわかる。
いならば、下部コア７が平面的な従来例に比べて、下部
コア７が底上げ材１１によって上方へ傾斜している本実
施例の方が、下部コア７と上部コア９との間隔が広くな
り、両者間に発生する磁束数が本実施例の方が少なくな
るからである。図３はこの磁束数の比較例を示してお
り、ａは図２のａ点の本発明の実施例のギャップ近傍の
磁束分布を示し、ｂは図２のｂ点の従来例のギャップ近
傍の磁束分布を示しており、従来例のギャップ近傍の磁
束分布に比べて、本実施例のギャップ近傍の磁束分布の
方が、下部コア７と上部コア９との間に発生する磁束数
が少ないことがわかる。
【００２０】前記図２および図３より、下部コア７の底
上げ量ｈは前記内のりＨに対して２５〜７５％の範囲と
すると、磁気効率の良好な向上を図ることができる。
上げ量ｈは前記内のりＨに対して２５〜７５％の範囲と
すると、磁気効率の良好な向上を図ることができる。
【００２１】図４、図５および図６は、それぞれ下部コ
ア７の傾斜角θと下部コア７の膜厚、保磁力および透磁
率との関係を示す。
ア７の傾斜角θと下部コア７の膜厚、保磁力および透磁
率との関係を示す。
【００２２】薄膜磁気ヘッドとしての良好な特性を維持
するためには、膜厚は厚い程よく、保磁力は小さい程よ
く、透磁率は大きい程よいため、前記図４〜６より下部
コア７の傾斜角θは約４５度以下とするとよい。
するためには、膜厚は厚い程よく、保磁力は小さい程よ
く、透磁率は大きい程よいため、前記図４〜６より下部
コア７の傾斜角θは約４５度以下とするとよい。
【００２３】また、本実施例においては、底上げ材１１
として透磁率μの小さい素材を用いているために、ギャ
ップ３から下部コア７と上部コア９側部分ににおける再
生波形の負パルスを極めて小さく抑えて、磁極長効果を
大きく改善させることができる。この磁極長効果の改善
度合いを図７から図９に示す再生波形により説明する。
各図は薄膜磁気ヘッドの磁気記録媒体からの浮上距離を
０．１μｍ，０．２μｍ，０．３μｍ，０．４μｍ，
０．５μｍとした場合の再生波形を示しているが、図７
に示すように、底上げ材を設けない従来の薄膜磁気ヘッ
ドにおいては、両コア７、９に対向する部分に相当する
ａ，ｂ部分に大きな負パルスが発生しているのに対し、
両コア間の内のりＨを１０μｍとして底上げ量ｈを４μ
ｍおよび６μｍとした本発明の薄膜磁気ヘッドにおいて
は、ａ，ｂ部分の負パルスが極めて小さく抑えられてい
る。
として透磁率μの小さい素材を用いているために、ギャ
ップ３から下部コア７と上部コア９側部分ににおける再
生波形の負パルスを極めて小さく抑えて、磁極長効果を
大きく改善させることができる。この磁極長効果の改善
度合いを図７から図９に示す再生波形により説明する。
各図は薄膜磁気ヘッドの磁気記録媒体からの浮上距離を
０．１μｍ，０．２μｍ，０．３μｍ，０．４μｍ，
０．５μｍとした場合の再生波形を示しているが、図７
に示すように、底上げ材を設けない従来の薄膜磁気ヘッ
ドにおいては、両コア７、９に対向する部分に相当する
ａ，ｂ部分に大きな負パルスが発生しているのに対し、
両コア間の内のりＨを１０μｍとして底上げ量ｈを４μ
ｍおよび６μｍとした本発明の薄膜磁気ヘッドにおいて
は、ａ，ｂ部分の負パルスが極めて小さく抑えられてい
る。
【００２４】また、底上げ材１１自身の特性を、パーマ
ロイに対するＭｏの添加量を変化させて求めると、図１
０および図１１のようになった。一方の図１０は底上げ
材１１の飽和磁化と保磁力とを示しており、飽和磁化は
Ｍｏの添加量の増加に従ってほぼ直線的に減少してお
り、保磁力は５Ｏｅ以下である。他方の図１１は底上げ
材１１の透磁率μを示しており、Ｍｏの添加量が１２原
子％で１００を切り、１６原子％で１０を切っている。
このような結果より、底上げ材１１は、パーマロイに対
してＭｏを１２〜１８原子％添加することにより、透磁
率μが非常に小さくなり、しかも、低透磁率であるにも
かかわらず保磁力が小さく抑えられてソフトさを保持
し、底上げ材として有用であることがわかる。
ロイに対するＭｏの添加量を変化させて求めると、図１
０および図１１のようになった。一方の図１０は底上げ
材１１の飽和磁化と保磁力とを示しており、飽和磁化は
Ｍｏの添加量の増加に従ってほぼ直線的に減少してお
り、保磁力は５Ｏｅ以下である。他方の図１１は底上げ
材１１の透磁率μを示しており、Ｍｏの添加量が１２原
子％で１００を切り、１６原子％で１０を切っている。
このような結果より、底上げ材１１は、パーマロイに対
してＭｏを１２〜１８原子％添加することにより、透磁
率μが非常に小さくなり、しかも、低透磁率であるにも
かかわらず保磁力が小さく抑えられてソフトさを保持
し、底上げ材として有用であることがわかる。
【００２５】このように底上げ材１１として、前述した
Ｎｉ82Ｆｅ18程度のパーマロイにＭｏを１２〜１８原子
％添加した素材であって、下部コア７のパーマロイの組
成に似た素材を用いると、底上げ材１１を下部コア７に
直接接触させて設けても、下部コア７の材料の特性が劣
化することがなく、前記した情報の記録・再生効率をよ
り一層大きく向上させ、磁極長効果もより一層大きく改
善させることができる。
Ｎｉ82Ｆｅ18程度のパーマロイにＭｏを１２〜１８原子
％添加した素材であって、下部コア７のパーマロイの組
成に似た素材を用いると、底上げ材１１を下部コア７に
直接接触させて設けても、下部コア７の材料の特性が劣
化することがなく、前記した情報の記録・再生効率をよ
り一層大きく向上させ、磁極長効果もより一層大きく改
善させることができる。
【００２６】また、図８および図９より、下部コア７の
底上げ量ｈは前記内のりＨに対して２５〜７５％の範囲
とするとよいことがわかる。
底上げ量ｈは前記内のりＨに対して２５〜７５％の範囲
とするとよいことがわかる。
【００２７】なお、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、必要に応じて変更することができる。
のではなく、必要に応じて変更することができる。
【００２８】
【発明の効果】このように本発明の薄膜磁気ヘッドは構
成され作用するものであるから、磁気記録媒体に対する
記録・再生効率が高く、磁極長効果も優れており、しか
も、構造が簡単である等の効果を奏する。
成され作用するものであるから、磁気記録媒体に対する
記録・再生効率が高く、磁極長効果も優れており、しか
も、構造が簡単である等の効果を奏する。
【図１】本発明の薄膜磁気ヘッドの１実施例の要部を示
す断面図
す断面図
【図２】本発明の薄膜磁気ヘッドにおける下部コアの底
上げ量と再生効率との関係を示す特性図
上げ量と再生効率との関係を示す特性図
【図３】ａおよびｂは本発明と従来例とにおけるギャッ
プ近傍の磁束の分布図
プ近傍の磁束の分布図
【図４】本発明の薄膜磁気ヘッドにおける下部コアの傾
斜角と下部コアの膜厚との関係を示す特性図
斜角と下部コアの膜厚との関係を示す特性図
【図５】本発明の薄膜磁気ヘッドにおける下部コアの傾
斜角と保磁力との関係を示す特性図
斜角と保磁力との関係を示す特性図
【図６】本発明の薄膜磁気ヘッドにおける下部コアの傾
斜角と透磁率との関係を示す特性図
斜角と透磁率との関係を示す特性図
【図７】従来例における再生波形図
【図８】本発明の薄膜磁気ヘッドにおける底上げ量を４
μｍとした場合の再生波形図
μｍとした場合の再生波形図
【図９】本発明の薄膜磁気ヘッドにおける底上げ量を６
μｍとした場合の再生波形図
μｍとした場合の再生波形図
【図１０】底上げ材のＭｏの添加量に応じた飽和磁化と
保磁力との関係を示す特性図
保磁力との関係を示す特性図
【図１１】底上げ材のＭｏの添加量に応じた透磁率との
関係を示す特性図
関係を示す特性図
【図１２】従来の薄膜磁気ヘッドの１例を示す斜視図
【図１３】従来の薄膜磁気ヘッドの要部を示す断面図
１ スライダ ３ ギャップ ４ ＡＢＳ面 ５ 基板 ７ 下部コア ８ 巻線 ９ 上部コア １１ 底上げ材
Claims (2)
- 【請求項１】 薄膜形成法により、基板上に形成された
下部コアと、この下部コアと一部が連結されているとと
もに先端部において先細りのギャップを介して対向して
いる上部コアと、前記下部コアと上部コアとの対向部分
に配設されている巻線とを有する薄膜磁気ヘッドにおい
て、前記上部コアとギャップを介して対向している前記
下部コアの先端部と前記基板との間に、透磁率μの低い
材料からなる底上げ材を介在させて前記ギャップを所定
の先細りに形成したことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。 - 【請求項２】 底上げ材は、パーマロイにＭｏを１２〜
１８原子％添加した素材からなることを特徴とする請求
項１に記載の薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3201831A JP2740586B2 (ja) | 1991-08-12 | 1991-08-12 | 薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3201831A JP2740586B2 (ja) | 1991-08-12 | 1991-08-12 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0546930A true JPH0546930A (ja) | 1993-02-26 |
| JP2740586B2 JP2740586B2 (ja) | 1998-04-15 |
Family
ID=16447619
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3201831A Expired - Fee Related JP2740586B2 (ja) | 1991-08-12 | 1991-08-12 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2740586B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0654782A2 (en) * | 1993-11-22 | 1995-05-24 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Magnetic head having a head face and a thin-film structure, and method of manufacturing the magnetic head |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57189321A (en) * | 1981-05-18 | 1982-11-20 | Fujitsu Ltd | Manufacture of thin film magnetic head |
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1991
- 1991-08-12 JP JP3201831A patent/JP2740586B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
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| JP2740586B2 (ja) | 1998-04-15 |
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