JPH0278006A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
- Publication number
- JPH0278006A JPH0278006A JP23031888A JP23031888A JPH0278006A JP H0278006 A JPH0278006 A JP H0278006A JP 23031888 A JP23031888 A JP 23031888A JP 23031888 A JP23031888 A JP 23031888A JP H0278006 A JPH0278006 A JP H0278006A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- thin film
- impressed
- magnetic head
- reading
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 30
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 17
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 abstract description 15
- 230000005381 magnetic domain Effects 0.000 abstract description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 4
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 abstract description 3
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 abstract description 3
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 5
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/3113—Details for improving the magnetic domain structure or avoiding the formation or displacement of undesirable magnetic domains
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は薄膜磁気ヘッドに関する。
［従来の技術］
薄膜磁気ヘッドの記録再生特性できわめて重大な障害要
因となるものの１つにウィグルと呼ばれる特性がある。
因となるものの１つにウィグルと呼ばれる特性がある。
これは、磁気ヘッドに書込み動作が行なわれれるごとに
書込み直後の磁気コアの磁化状態が変化し、このため媒
体上の磁化信号を読出す際に読出し信号磁界が加えられ
たときに磁気コアの磁化のメカニズムが変化し、これに
よって媒体上に記録された信号を読取る際に出力波形に
異常なノイズが発生する現象をいう。これを防ぐには書
込みの際に加えられる強力な磁界が取去られた後も磁気
コアの磁化の状態が常に安定し印加信号磁界変化に対し
、リニアな出力を保証することが必要であることが知ら
れている（ＩＥＥＥ ＭＡＧ。
書込み直後の磁気コアの磁化状態が変化し、このため媒
体上の磁化信号を読出す際に読出し信号磁界が加えられ
たときに磁気コアの磁化のメカニズムが変化し、これに
よって媒体上に記録された信号を読取る際に出力波形に
異常なノイズが発生する現象をいう。これを防ぐには書
込みの際に加えられる強力な磁界が取去られた後も磁気
コアの磁化の状態が常に安定し印加信号磁界変化に対し
、リニアな出力を保証することが必要であることが知ら
れている（ＩＥＥＥ ＭＡＧ。
１９８９年９月、 Ｐ１５８１大橋）。
従来の薄膜磁気ヘッドは、上述したウィグルにもとづく
ノイズを防ぐために、磁性膜の組成を厳しく管理（例え
ばＮ１ｗｔ％８１±１％）し、さらに磁性膜の磁化容易
軸が磁性膜に加えられる磁界に対して直角になるように
配置されている必要がある。
ノイズを防ぐために、磁性膜の組成を厳しく管理（例え
ばＮ１ｗｔ％８１±１％）し、さらに磁性膜の磁化容易
軸が磁性膜に加えられる磁界に対して直角になるように
配置されている必要がある。
［発明が解決しようとする課題］
上述した従来の薄膜磁気ヘッドは、磁性膜の磁化容易軸
が、磁性膜に加えられる磁界に対し直角になるように配
置される必要があるが、磁化容易軸を常にこのように配
置するためには、薄膜ヘツドの構造に関わる他の材料、
たとえばアルミナ保護膜、フォトレジスト、コイルなど
の物理的性質を常に厳しく管理する必要があり、実際に
はこの管理は極めて困難なので品質管理面で歩留りが安
定しないという欠点がある。
が、磁性膜に加えられる磁界に対し直角になるように配
置される必要があるが、磁化容易軸を常にこのように配
置するためには、薄膜ヘツドの構造に関わる他の材料、
たとえばアルミナ保護膜、フォトレジスト、コイルなど
の物理的性質を常に厳しく管理する必要があり、実際に
はこの管理は極めて困難なので品質管理面で歩留りが安
定しないという欠点がある。
［課題を解決するための手段］
本考案の薄膜磁気ヘッドは、磁極を形成する薄膜磁性膜
の表面に高い面と低い面が読出し信号磁界の印加方向に
交互に形成されている。
の表面に高い面と低い面が読出し信号磁界の印加方向に
交互に形成されている。
［作 用ｊ
磁極を形成する薄膜磁性膜の表面に高い面と低い面が読
出し信号磁界の印加方向に交互に形成されているので、
磁性膜の磁化容易軸が読出し信号磁界の印加方向と直角
に配置され、安定した出力波形が得られる。
出し信号磁界の印加方向に交互に形成されているので、
磁性膜の磁化容易軸が読出し信号磁界の印加方向と直角
に配置され、安定した出力波形が得られる。
［実施例］
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第１図は本発明の薄膜磁気ヘッドの第１の実施例の一部
の斜視図、第２図は第１図の薄膜磁気ヘッドの平面図で
ある。
の斜視図、第２図は第１図の薄膜磁気ヘッドの平面図で
ある。
この薄膜磁気ヘッドはほぼ楕円形をした下部磁極１とほ
ぼ同形の上部磁極２との間にフォトレジ −スト１１
で固定された複数のコイル３が挟まれ、下部磁極１と上
部Ｍｉ極２は後部５で接続されるとともに、前部６にお
いて非磁性ギャップ層によって記録再生ギャップ７が形
成されている。上部磁極２には読出し信号磁界の印加方
向と直角の方向である矢印８の方向に延びる複数のスト
ライブ状の微少段差１０がつけられて読出し信号磁界の
印加方向に高い面と低い面が交互に形成されている。
ぼ同形の上部磁極２との間にフォトレジ −スト１１
で固定された複数のコイル３が挟まれ、下部磁極１と上
部Ｍｉ極２は後部５で接続されるとともに、前部６にお
いて非磁性ギャップ層によって記録再生ギャップ７が形
成されている。上部磁極２には読出し信号磁界の印加方
向と直角の方向である矢印８の方向に延びる複数のスト
ライブ状の微少段差１０がつけられて読出し信号磁界の
印加方向に高い面と低い面が交互に形成されている。
この薄膜磁気ヘッドを製造するには、コイル３をパター
ンメツキによフて形成したあと、フォトレジスト１１を
充てん材として形成し、焼固めたのち、上部磁極２をメ
ツキする。上部磁８ｉ２のメツキは２回に分けて行ない
、はじめに下層２１を、その後上層２２をメツキする。
ンメツキによフて形成したあと、フォトレジスト１１を
充てん材として形成し、焼固めたのち、上部磁極２をメ
ツキする。上部磁８ｉ２のメツキは２回に分けて行ない
、はじめに下層２１を、その後上層２２をメツキする。
この２回メツキ法は下部磁極１にも同様に行なわれる。
上部磁極２はメツキによってできた上層２２によって記
録再生ギャップ７近傍の部分よりもその他の部分の方が
厚くなり、磁気ヘッドの再生効率が上が゛り出力が増加
される。上部磁極２はメツキされたあと、上層２２の表
面に図の矢印８の方向に複数のストライブ状の微小段差
ｌＯがつけられる。段差の深さは０．３〜０．６騨とし
てフォトマスクによるイオン・エツチングで作られる。
録再生ギャップ７近傍の部分よりもその他の部分の方が
厚くなり、磁気ヘッドの再生効率が上が゛り出力が増加
される。上部磁極２はメツキされたあと、上層２２の表
面に図の矢印８の方向に複数のストライブ状の微小段差
ｌＯがつけられる。段差の深さは０．３〜０．６騨とし
てフォトマスクによるイオン・エツチングで作られる。
ストライブの巾は１５．である。
以上のようにして得られた上部磁極２はストライブ状の
微小段差ｌＯにより表面に高い面と低い面が交互に形成
され強い異方性が与えられているので、矢印８の方向に
安定した磁区が発生する。ここで発生した磁区は第２図
で長形め領域９で示されている。
微小段差ｌＯにより表面に高い面と低い面が交互に形成
され強い異方性が与えられているので、矢印８の方向に
安定した磁区が発生する。ここで発生した磁区は第２図
で長形め領域９で示されている。
媒体磁化信号によって薄膜磁気ヘッドに加えられる磁界
の方向は矢印８とは直角なので、その磁界と磁区９の長
手方向とは直角であるため、薄膜磁気ヘッドの磁化は回
転磁化モードによって行なわれ、磁壁移動モードによる
磁化は発生しない。
の方向は矢印８とは直角なので、その磁界と磁区９の長
手方向とは直角であるため、薄膜磁気ヘッドの磁化は回
転磁化モードによって行なわれ、磁壁移動モードによる
磁化は発生しない。
磁壁移動モードによる磁化では、波形のコブや時間経過
による波形の変形が固有な現象として見られるが、本実
施例ではこのような現象がなくなり、極めて安定な波形
が得られる。したがって、データの読誤りがなくなり、
信頼性の高い磁気記憶装置が実現する。
による波形の変形が固有な現象として見られるが、本実
施例ではこのような現象がなくなり、極めて安定な波形
が得られる。したがって、データの読誤りがなくなり、
信頼性の高い磁気記憶装置が実現する。
第３図は本発明の薄膜磁気ヘッドの第２の実施例の一部
の斜視図、第４図は第３図の薄膜磁気ヘッドの平面図で
ある。
の斜視図、第４図は第３図の薄膜磁気ヘッドの平面図で
ある。
第３図の薄膜磁気ヘッドは、第１図の薄膜磁気ヘッドの
上部磁極２の上層２２の表面につけられた複数のストラ
イブ状の微小段差ＩＯに沿って、上部磁極１２の上層２
３の表面に複数の波形の微小段差２０がつけられている
。この上部磁極１２は複数の波状の微小股差２０により
、表面に高い面と低い面が交互に形成され、第１図の薄
膜磁気ヘッドにおけると同時に強い異方性が与えられ、
矢印８の方向に第４図に示された磁区１９が発生し、回
転磁化モードによる磁化が行なわれるので、媒体からの
信号読出しにおいて安定した波形が得られる。
上部磁極２の上層２２の表面につけられた複数のストラ
イブ状の微小段差ＩＯに沿って、上部磁極１２の上層２
３の表面に複数の波形の微小段差２０がつけられている
。この上部磁極１２は複数の波状の微小股差２０により
、表面に高い面と低い面が交互に形成され、第１図の薄
膜磁気ヘッドにおけると同時に強い異方性が与えられ、
矢印８の方向に第４図に示された磁区１９が発生し、回
転磁化モードによる磁化が行なわれるので、媒体からの
信号読出しにおいて安定した波形が得られる。
［発明の効果］
以上説明したように本発明は、薄膜磁気ヘッドの磁極を
形成する薄膜磁性膜の表面に、高い面と低い面を読出し
信号磁界の印加方向に交互に形成することにより、磁性
膜の磁化容易軸が読出し信号磁界の印加方向と直角に配
向されやすくなるので、薄膜ヘッドの構造に関わるアル
ミナ保護膜・フォトレジスト・コイルなどの他の材料の
物理的性質の厳しい管理によっても安定しなかった品質
管理上の歩留りが改善され、リニアな出力波形の得られ
る信頼性の高い薄膜磁気ヘッドが実現する効果がある。
形成する薄膜磁性膜の表面に、高い面と低い面を読出し
信号磁界の印加方向に交互に形成することにより、磁性
膜の磁化容易軸が読出し信号磁界の印加方向と直角に配
向されやすくなるので、薄膜ヘッドの構造に関わるアル
ミナ保護膜・フォトレジスト・コイルなどの他の材料の
物理的性質の厳しい管理によっても安定しなかった品質
管理上の歩留りが改善され、リニアな出力波形の得られ
る信頼性の高い薄膜磁気ヘッドが実現する効果がある。
第１図は本発明の薄膜磁気ヘッドの一実施例の一部の斜
視図、第２図は第１図の薄膜磁気ヘッドの平面図、第３
図は本発明の薄膜磁気ヘッドの一実施例の一部の斜視図
、第４図は第３図の薄膜磁気ヘッドの平面図である。 １・・・下部磁極、 ２．１２−・・上部磁極、３
・・・コイル、 ５・・・後部、６６０．面部、
７・・・記録再生ギャップ・８・・・矢印、
９．１９−磁区、１０−・・ストライブ状微小段
差、 ＩＩ・・・フォトレジスト、 ２０−・・波形微小段差、 ２１・・・下層、 ２２．２３・・・上層。
視図、第２図は第１図の薄膜磁気ヘッドの平面図、第３
図は本発明の薄膜磁気ヘッドの一実施例の一部の斜視図
、第４図は第３図の薄膜磁気ヘッドの平面図である。 １・・・下部磁極、 ２．１２−・・上部磁極、３
・・・コイル、 ５・・・後部、６６０．面部、
７・・・記録再生ギャップ・８・・・矢印、
９．１９−磁区、１０−・・ストライブ状微小段
差、 ＩＩ・・・フォトレジスト、 ２０−・・波形微小段差、 ２１・・・下層、 ２２．２３・・・上層。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、薄膜磁性膜によって磁極が形成され、読出し信号磁
界が印加されることにより媒体の信号読出しが行なわれ
る薄膜磁気ヘッドにおいて、 前記磁極を形成する薄膜磁性膜の表面に高い面と低い面
が前記読出し信号磁界の印加方向に交互に形成されてい
ることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23031888A JPH0278006A (ja) | 1988-09-13 | 1988-09-13 | 薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23031888A JPH0278006A (ja) | 1988-09-13 | 1988-09-13 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0278006A true JPH0278006A (ja) | 1990-03-19 |
Family
ID=16905951
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23031888A Pending JPH0278006A (ja) | 1988-09-13 | 1988-09-13 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0278006A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5170303A (en) * | 1990-04-30 | 1992-12-08 | Seagate Technology Inc. | Inductive thin film head having improved readback characteristics |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57203219A (en) * | 1981-06-10 | 1982-12-13 | Comput Basic Mach Technol Res Assoc | Thin film magnetic head |
| JPS60164914A (ja) * | 1984-02-08 | 1985-08-28 | Fujitsu Ltd | 薄膜磁気ヘツド |
-
1988
- 1988-09-13 JP JP23031888A patent/JPH0278006A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57203219A (en) * | 1981-06-10 | 1982-12-13 | Comput Basic Mach Technol Res Assoc | Thin film magnetic head |
| JPS60164914A (ja) * | 1984-02-08 | 1985-08-28 | Fujitsu Ltd | 薄膜磁気ヘツド |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5170303A (en) * | 1990-04-30 | 1992-12-08 | Seagate Technology Inc. | Inductive thin film head having improved readback characteristics |
| USRE35228E (en) * | 1990-04-30 | 1996-05-07 | Seagate Technology, Inc. | Inductive thin film head having improved readback characteristics |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| GB1571175A (en) | Magnetic transducer apparatus | |
| US20020159173A1 (en) | Master information carrier and production method for magnetic recording medium using this | |
| JP3551099B2 (ja) | 磁気テープ装置用薄膜磁気ヘッド | |
| JPH0544086B2 (ja) | ||
| JP3705076B2 (ja) | マスター情報担体を用いた垂直磁気記録媒体への磁気記録方法 | |
| JPH0278006A (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| US20070201157A1 (en) | Discrete track recording method, storage apparatus and method of producing storage apparatus | |
| JP2003263705A (ja) | 垂直記録用磁気ヘッドおよびそれを搭載した磁気ディスク装置 | |
| JPS60119618A (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JP2578927B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JPH0234083B2 (ja) | ||
| JPH0333924Y2 (ja) | ||
| JP3040891B2 (ja) | 複合型磁気ヘッド | |
| JPS5835713A (ja) | 垂直磁化記録用磁気ヘツド | |
| KR890006643Y1 (ko) | 플로피 디스크 드라이버의 수직 기록/재생용 헤드체 | |
| JPS63308715A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPS6128251Y2 (ja) | ||
| JP2550829B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッド及び磁気記録装置 | |
| JPS6040511A (ja) | 垂直記録用磁気ヘツド | |
| JPH1131311A (ja) | シールド型磁気抵抗効果薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法 | |
| JPS598117A (ja) | 垂直記録ヘツド | |
| JPS5914118A (ja) | 磁気抵抗効果型磁気ヘツド | |
| JPS62252510A (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
| JPH04259907A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPS6231011A (ja) | 磁気ヘツド |