JP2744128B2

JP2744128B2 - 薄膜磁気ヘッド

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Publication number: JP2744128B2
Application number: JP2322260A
Authority: JP
Inventors: スチーブンモウリィグレゴリィ; ヘンリィトルマンチャールズ
Original assignee: シーゲイトテクノロジーインターナシヨナル
Priority date: 1990-04-30
Filing date: 1990-11-26
Publication date: 1998-04-28
Anticipated expiration: 2013-04-28
Also published as: USRE35228E; JPH0411313A; EP0455359A2; EP0455359A3; US5170303A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は誘導的薄膜磁気読み出し／書き込みヘッドに
関するものである。さらに詳細にいえば、本発明は、読
み戻し動作のさい「グリッチ」による誤動作的出力スパ
イクが少ない、改良された薄膜ヘッドの設計に関するも
のである。

〔従来の技術および問題点〕

薄膜磁気読み出し／書き込みヘッドは、磁気ディスク
のような磁気記録媒体の情報を磁気的に読み出すおよび
書き込むのに用いられる。この磁気ディスクと磁気ヘッ
ドは、相互に運動している。薄膜磁気ヘッドは、このヘ
ッドの磁気コアを構成する１対の「ヨーク」、すなわ
ち、「パドル」を有する。電気導体は、この２つのパド
ルの間を通り、そして磁気記録媒体の情報を読み出すの
と書き込むのとの両方に用いられる。書き込み動作のさ
い、この導電体に電流が流れ、それにより、パドル内に
磁界が発生する。この構造体は、２つのパドルの２つの
先端の間の小さな間隙で構成される、間隙領域を有す
る。コイルの電流はこの間隙領域に磁束を発生する。こ
の磁束を用いて、書き込み動作のさいに記録媒体に磁界
を加え、それにより、記録媒体の中に磁気的遷移が起こ
る。読み出し動作のさいには、磁気ヘッドと記録媒体が
また相対的に運動し、それにより、コイル内の磁界が変
化する。コイルは磁気回路と連結されている。導電体の
中の電気信号が電気回路で検出され、それにより、磁気
媒体に記憶されていた情報を再生することができる。

薄膜磁気ヘッドの特性は、「グリッチ」効果、すなわ
ち、「リモート読み出し」効果として知られている現象
によって劣化する。このリモート読み出し効果の特徴
は、書き込み工程が完了した後にランダムな遅延をおい
て、コイル内のヘッドに発生する電圧雑音スパイクであ
る。この電圧スパイクは正しいデータとして複合化され
るのに十分の大きさを有しており、これは装置の誤動作
の原因となる。先行技術による薄膜磁気ヘッドでは、典
型的な場合、10³回ないし10⁵回の書き込み動作毎に約１
回の確率でグリッチが起こる。

グリッチが起こると磁気媒体からデータを読み出すこ
とが不正確になり、このことは極めて好ましくない。先
行技術は、薄膜ヘツドに用いられる磁性材料とその設計
の両者がリモート読み出し効果に及ぼす相互関連につい
て、明らかにしていない。グリッチ効果、すなわち、リ
モート読み出し効果が統計的にほとんど起こらない改良
された薄膜ヘッドがえられれば、それはこの分野におけ
る重要な技術的進進歩である。

〔発明の要約〕

本発明は、誘導的薄膜ヘッド変換器において、「グリ
ッチ」効果または「リモート読み出し」効果として知ら
れている効果をなくする、またはできるだけ小さくする
ことに関するものである。リモート読み出し効果の特徴
は、磁気ディスクに対する書き込み工程が完了した後ラ
ンダムな遅延をおいて、ヘッドによって発生されたコイ
ル内に誘起される電圧雑音スパイクである。この効果は
多分、パドルの磁区構造の緩和、または突然の変化によ
り生ずるのであろう。このような電圧雑音スパイクは、
書き込み検査段階のさい、データとして（不正確に）読
み出される。このことが起こると、正しい書き込みデー
タは装置によってエラーとして解釈されることになる。

本発明により、磁極（パドル）構造体が磁気書き込み
磁界を面として困難軸（「HA」）方向に向かわせるよう
にする、誘導的薄膜ヘッドのコイルパドルの構造がえら
れる。特に、容易軸方向の磁界がパドルの局所抗磁力H_c
を越えないような、ヘッド／コイル構造体がえられる。
さらに、大きな長さ対幅比を有する磁極（パドル）がえ
られ、この場合の細長い形状により、磁区の安定性が保
持される。磁極磁区構造の磁気的ひずみを小さくするた
めに、強磁性体磁極それ自身は、負の磁気ひずみ材料
（典型的な材料はパーマロイ）を用いて作成される。切
り取り機械加工と磁極磁区構造変化との間にみられる相
互関連をできるだけ小さくするために、機械加工の前の
磁極先端の全長は小さくされる。

〔実施例〕

誘導的薄膜ヘッドのトラック幅が小さくなる時、一定
の雑音現象がますます頻繁に起こるようになる。グリッ
チと呼ばれている１つのこのような現象は、書き込み工
程が完了した後、誘導的薄膜ヘッドの出力電圧に雑音ス
パイクが読み出し工程中に起こるというのが典型的な場
合である。書き込みの後に短くてランダムな時間遅延を
もって起こる雑音スパイクにより、読み出し雑音電圧が
十分に大きな振幅をもって生じ、これはディスク駆動の
さいの情報複合化工程において装置のエラーの原因とな
る。装置のビット・エラー率は１×10^-10以下であるこ
とが好ましいから、そして先行技術による設計では、グ
リッチ現象は書き込み毎に１×10^-3ないし１×10^-5の程
度で起こることとが観測されているから、グリッチ効果
が装置の特性を限定している。

グリッチの原因は、次の式に従って、薄膜ヘッドの出
力電圧（V_out）に関係している。

ここで、Φ＝BA＝HA＋４πMA＝Ａ（Ｈ＋４πＭ） Φ＝磁束Ｂ＝磁束密度Ｈ＝磁界４πＭ＝磁性体内の磁化Ａ＝面積Ｋ＝比例定数Ｎ＝コイルの巻数である。この時となる。

誘導的薄膜ヘッドが情報を読み出している時、Ｈ＝０
でかつdH/dt＝０である。もし書き込み工程が終了した
後、誘導的薄膜ヘッドの磁区構造が変化するならば、dM
/dtは比較的大きな値をもち、そして式２の関係によ
り、dM/dtに比例したグリッチ電圧が生ずる。したがっ
て、グリッチの原因は、書き込みの後の誘導的薄膜ヘッ
ドの磁区構造の中の急激な熱力学的不可逆的変化による
ものであるとすることができる。グリッチは、多分、書
き込みの後の冷却による応力緩和によるか、または誘導
的磁気ヘッドが記録されたデータから感知する弱い読み
出し磁界によるか、のいずれかによってトリガされるの
であろう。

本発明は、実験的に観察された事実に基づいている。
第１は、磁気抵抗性ヘッド（MRH）磁区構造体の研究の
過程において、任意の容易軸（EA）駆動磁界は、バドル
の磁区構造を、急に変わりうる非常に不安定でかつ予測
できない状態にする傾向にあることがわかったことであ
る。また、これらの研究において、磁区構造は困難軸
（HA）駆動磁界に対して大いに再生可能でありかつ安定
であることがわかった。

第２は、理論的な計算と磁極構造体の変化の実験とに
より、より細い磁極構造体は、誘導的薄膜ヘッド構造に
近年用いられる負極気びずみメッキ構成体に対し、誘導
的薄膜ヘッド・パーマロイ磁区構造を安定化させること
が示された。

第３は、これらの研究によりまた、もし機械加工が磁
極構造体に対してどのような位置で行なわれるかについ
て注意が払われないならば、切り取り機械加工工程は磁
区構造を大きく変えうることが示された。さらに具体的
にいえば、もし切り取り加工工程が磁極の先端の近傍で
行なわれるならばまたは磁極の先端を通って行なわれる
ならば、基板の切り取り加工は磁極構造体に損傷を与え
ることがありうるであることである。

本発明の特徴は、グリッチ率をできるだけ小さくする
新規な方式で、これらの実験的観察事実を利用すること
である。さらに具体的にいえば、本発明により、薄膜ヘ
ッドの磁区の中の全磁気エネルギをできるだけ小さくす
ることを試みることによって、それによって改良された
磁区構造がえられ、そしてリモート読み出し効果が小さ
くなる。与えられた薄膜ヘッド磁極設計と与えられた磁
性材料の性質とに対し、全磁壁エネルギと磁区の数との
関係を表す曲線は「Ｕ」字形を示す。最も安定な磁区状
態はこの曲線の極小点にあることがわかった。本発明の
目的は、磁区エネルギを最小にすることによって、磁区
の安定性を最良の状態にするために、この「Ｕ」字形曲
線の底にあるように薄膜ヘッド磁極の設計を行なうこと
である。本発明の特徴は次の通りである。

（１）磁極構造体を困難軸駆動磁界にのみ置くようにさ
れた新規なコイルの設計。

（２）負磁気ひずみ容器と共に用いられる時、固有の磁
区構造の安定制を改善した細い磁極の設計。

（３）磁極の先端の機械加工と磁極の磁区構造の変化と
の間の相互の影響を最小にするための短縮された磁極先
端長。

第１図に、本発明による薄膜磁気ヘッド10が示されて
いる。誘導的薄膜ヘッド10は、１対のヨーク、すなわ
ち、磁極またはパドル12と、コイルの形状に形成された
導電体14と、上部磁極先端16とを有する。第１図には、
磁極のうち上部磁極だけが示されている。磁極先端16の
表面によって定められる平面に垂直に、鋸路18が延びて
いる。ヨーク、磁極、およびパドルの用語は、相互に置
き換えて用いることができる。

第２図は、第１図の薄膜ヘッドの線２−２に沿っての
横断面図である。薄膜ヘッド10の下側ヨーク、すなわ
ち、磁極またはパドル20と、上部磁極、すなわち、パド
ル12は、導電体14と導電体22をはさんで配置される。下
部パドル20は下部磁極先端24を有する。上部磁極先端16
と下部磁極先端24とは、磁気記録媒体の上の情報を読み
出すおよびそれに情報を書き込むのに用いられる絶縁体
間隙層26によって、分離される。上部パドル12と下部パ
ドル20は、後方間隙部28において接触している。（この
接触は必らずしも必要ではない）薄膜ヘッド10は、鋸路
18に隣接した基板30の上に沈着される。鋸路18、すなわ
ち、切り溝は、下記で詳細に説明されるように、基板が
切り取られる時に用いられる領域である。

本発明による誘導的薄膜ヘッド10の典型的な磁区構造
が第３図に示されている。第３図には水平磁壁（すなわ
ち「180゜」磁壁）31と、「閉路」磁壁32（これは場合
により「90゜」磁壁といわれる）とが示されている。磁
壁31および32の中の矢印は、外部磁界が加わっていない
時、緩和した状態にある材料の磁化の方向を示す。（も
しすべての矢印が反対の方向を向いていても、このこと
がまたあてはまる。）前記のように、本発明は、薄膜ヘッドの中で磁区安定
性と再現性を増すために、３要点方式を用いる。第１
は、書き込み動作中に用いられる駆動磁界が磁気ヘッド
を困難軸方向にのみ加わるようにすることである。この
ことは第２図のパトル12の磁気困難軸に対して垂直の方
向（パドル12を通る１つの対称軸に沿って、後方間隙部
28から磁極先端領域16および24へ向かう方向）に、コイ
ル14を配置することによって行なわれる。コイル14は押
しつぶされた卵形または楕円体形に作成される。コイル
14の巻線14はパドル12および20のまわりでは曲っている
が、曲線はパドル12とパドル20の間を通る時には真直ぐ
でかつ平行である。コイル14の直線部分により、パドル
12および20の困難軸方向の駆動磁界がえられる。これに
比べて、先行技術による薄膜ヘッドのコイルでは、先行
技術の薄膜ヘッドのコアを通して大きな角度で曲って巻
かれている。本発明の薄膜ヘッド10では、常に困難軸駆
動磁界が加わるようにすることにより、パドル12および
20の磁区構造は先行技術による薄膜パドルの磁区構造よ
りも安定であり、かつ、より再現性が大きく、したがっ
て、グリッチ効果やリモート読み出し効果を受けること
がより少ない。特に、本発明のヘットとコイルの構造に
より、駆動磁界が容易軸方向に加わるのが制限され、そ
れにより、磁性材料の局所抗磁力（H_c）を駆動磁界が越
えることはない。

第４図は本発明の１つの実施例の図面である。この実
施例により、大幅に小さなグリッチ率がえられる。薄膜
ヘッド34は、磁極36とコイル44を有する。パドルの寸法
ＡおよびＢと、磁極36の角度ＣおよびＤが第４図に示さ
れている。パドル36は、後方領域38と、中間領域40と、
パドル先端領域42とを有する。寸法Ａは、中間領域40の
長さと後方領域38の長さとを加算した長さである。寸法
Ｂは中間領域40の長さである。角度Ｃは、後方領域38の
側辺とパドル36の対称軸に垂直な線との間の角度であ
る。角度Ｄは、中間領域40の側辺とパドル36の対称軸に
垂直な線との間の角度である。標準的なメッキされたパ
ーマロイを用いて製造された薄膜ヘッドについての実験
的観測により、小さなグリッチ率を与えるためのこれら
の寸法と角度に対する最適値は次の通りである。

パラメータ値Ａ 135−165μｍＢ 35μｍ以下Ｃ 85゜−95゜Ｄ 45゜−90゜これらの値は、磁極36の異方性（H_k）が３エルステッ
ドと５エルステッドの間にあり、抗磁力（H_c）が約0.8
エルステッド、飽和磁化が約10,000ガウス、厚さ（δ）
が約１ミクロンと約４ミクロンの間にあり、および負の
磁気ひずみを有する場合に、定められた値である。パド
ルの幅は、長さＡまたはＢを角度ＣまたはＤのタンジェ
ントで除算し、その結果を２倍することによって決定さ
れる。

第４図においては、本発明に従って作成された薄膜ヘ
ッド34はまた小さなパドル幅対長さ比を用いている。こ
の比は先行技術によるパドルの比よりも小さい。このこ
とにより、先行技術の薄膜ヘッドのパドル「耳」特性が
除去される。さらに、第４図のパドル36の長さに対して
このように細い構造体により、パドルを作成するのに負
磁気ひずみ材料が用いられる時、誘導的薄膜ヘッド磁区
構造を安定化する。要求された特性の磁区構造体をうる
ために、誘導的薄膜磁気ヘッドを製造するのに最近用い
られる方法は、負の磁気ひずみを有する強磁性合金をメ
ッキすることである。

第５図は薄膜磁気ヘッド10を有する基板30の一部分の
立体図である。製造のさい、第５図に示されているよう
に、多数個の薄膜ヘッド10が基板30の表面に沈着され
る。ヘッド10が沈着された後、基板30は「鋸路」18に沿
って切り取られ、複数個の棒状体がえられる。これらの
棒状体のおのおのは、その長さ方向に直線状に配置され
た薄膜ヘッドを有する。鋸路、すなわち、切り溝は必要
である。それは、基板を切り取る工程において、材料の
除去される切り幅分が「路」を作るからである。

最後に、切断工程中の応力を小さくするために、本発
明は改良された磁極先端設計を用いる。本発明の誘導的
薄膜ヘッド10は、先行技術の薄膜ヘッドに用いられる磁
極先端よりも短い長さの、第２の磁極先端16（および2
5）を有する。磁極先端の長さを小さくする目的は、磁
極先端16および25と鋸路18との間の距離を大きくするた
めである。先行技術による薄膜ヘッドでは、磁極ヘッド
はヘッドに対して非常に長いことがよくある。先端はウ
エハが切り取られた時に端に切断されるのであるから、
この寸法は重要であるとは考えられなかった。（第４図
の）磁極先端42の端部と鋸路との間の距離が大きいこと
が好ましい。けれども、本発明では、磁極先端の長さは
約10ミクロンより小さくなければならない。磁極先端と
鋸路との間の間隔領域により、鋸引き工程中に誘起され
る薄膜ヘッド応力を限定する、バッフア領域がえられ
る。ダイアモンド懸濁液のような中程度の研磨剤を磁極
の先端に使用する標準的な研磨工程によって、最終的な
磁極先端の寸法に仕上げられる。この研磨工程は、鋸引
き工程よりもはるかに穏やかな工程である。薄膜ヘッド
に対する応力を限定することにより、本発明の薄膜ヘッ
ドの磁区構造は、最終製品において事実上完全なままで
あり、先行技術による薄膜ヘッドに比べて、磁区の安定
性と再現性がさらに増大する。

本発明の誘導的薄膜磁気ヘッドにより、磁区パターン
の改良された安定性と再現性がえられ、それにより、グ
リッチ効果またはリモート読み出し効果を限定すること
ができる。本発明は改良された薄膜ヘッド・パッケージ
の全体を作成するのに３要点方式を用いる。第１は、磁
気駆動磁界が磁気困難軸方向にのみ生ずるように、コイ
ルが作成されることである。第２は、先行技術による薄
膜ヘッド・パドルの「耳」を除去するために、より細い
磁極設計が用いられ、それにより、さらに改善された磁
区の安定性と再現性がえられる。最後に、鋸引き工程が
薄膜ヘッドの構造体に及ぼす影響を限定することによっ
て、製造工程中にヘッドがより小さな応力しか受けない
ことである。

本発明は好ましい実施例について説明されたが、本発
明の範囲内において、形式や細部を変更しうることは当
業者にはわかるであろう。例えば、本発明に従って作成
されたフェライトの上部磁極を用いるだけで設計を行な
うことが可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による薄膜磁気読み出し／書き込みヘッ
ドの平面断面図、第２図は第１図の薄膜ヘッドの線２−
２に沿って横断面図、第３図は第１図の薄膜ヘッドのパ
ドルに対する磁区パターン図、第４図は本発明による薄
膜磁気ヘッドの平面図、第５図は本発明により作成され
た多数個の薄膜磁気読み出し／書き込みヘッドを有する
ウエハの立体図。〔符号の説明〕 12……磁気ヨーク 16、24、42……パドル先端 12……上部パドル 20……下部パドル 14……巻線 42……パドル先端領域 38……後方領域 40……中間領域

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献特開昭60−164914（ＪＰ，Ａ) 特開昭58−97119（ＪＰ，Ａ) 特開平３−147509（ＪＰ，Ａ)

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】非磁性体基板の上に沈着され、高透磁率の
磁束路を定める上部パドルと下部パドルを定め、且つ対
称軸を有する構造体を含む磁気ヨークと、前記磁気ヨークの中に磁束間隙を定め、且つ前記対称軸
に垂直に配置され、且つ前記磁束間隙の近傍のデータを
記録および読み出すために前記上部パドルおよび下部パ
ドルに対して間隔を有して配置されたパドル先端と、それぞれのパドル先端が、前記対称軸に概して平行な磁
化困難軸を有し、且つ前記パドルの面内で前記磁化困難
軸に垂直な磁化容易軸を有するパドル先端を含む上部パ
ドルおよび下部パドルと、前記上部パドルと下部パドル間の磁気ヨークを通って延
びており、実質的に楕円形コイルを形成している電気的
に絶縁された複数個の導電体巻線と、前記磁気ヨークを通って延びているコイルの巻線は実質
的に直線であり、概して困難軸に垂直で、且つパドルの
容易軸に平行であり、それによってコイルの巻線と磁気
パドルの縦方向の境界は、困難軸磁気駆動磁界に前記磁
気ヨークがさらされるのを最大にし、容易軸磁気駆動磁
界に前記磁気ヨークがさらされるのを最小にする相対的
な構成を有し、それにより容易軸方向の駆動磁界が前記
磁気ヨークの局所抗磁力を越えることがなく、それによ
り、突然の緩和により、書き込み動作に続く読み取り動
作の間のリードバック信号にノイズを生じさせる、上部
パドルおよび下部パドルの領域構造の不安定さと予測で
きない状態とを低減するコイル巻線とを含むことを特徴とした薄膜磁気記録ヘッド。
【請求項２】請求項１に於いて、薄膜磁気記録ヘッドの
製造の間、パドル先端から離れて位置し、容易軸に概し
て平行に延びている切り取り領域を基板内に含むことを
特徴とした薄膜磁気記録ヘッド。
【請求項３】請求項１に於いて、上部パドルおよび下部
パドルの各々は、パドル先端幅を有するパドル先端領域と、パドル先端幅より大きい後方領域幅と後方領域長を定め
る側面とを有する後方領域と、パドル先端領域と後方領域間に延びていて、前方端幅を
有しパドル先端領域に接触している前方端と後方端幅を
有し後方領域に接触している後方端とを有する中間領域
であって、前方端幅は後方端幅より小さく、前記中間領
域は後方領域とパドル先端領域の間に延びている側面を
含み、後方領域長を定める側面とパドル先端が第１角度
を形成し、パドル先端領域と後方領域の間に延びている
側面とパドル先端が第２角度を形成する前記中間領域とを含むことを特徴とした薄膜磁気記録ヘッド。
【請求項４】請求項３に於いて、前記第１角度は約85゜
から約95゜の間にあることを特徴とした薄膜磁気記録ヘ
ッド。
【請求項５】請求項３に於いて、前記第１角度は約45゜
から約90゜の間にあることを特徴とした薄膜磁気記録ヘ
ッド。
【請求項６】請求項３に於いて、中間領域は後方領域と
パドル先端間に中間領域長を含み、該中間領域長は約35
ミクロンより小さいことを特徴とした薄膜磁気記録ヘッ
ド。
【請求項７】請求項３に於いて、後方領域長は約100ミ
クロンから約130ミクロンの間にあることを特徴とした
薄膜磁気記録ヘッド。
【請求項８】請求項３に於いて、前記第１角度が約85゜から約95゜の間にあり、前記第２角度が約45゜から約90゜の間にあり、中間領域は後方領域とパドル先端間に中間領域長を含
み、該中間領域長は約35ミクロンより小さく、後方領域長と中間領域長とを加算した長さが約135ミク
ロンから約165ミクロンの間にあることを特徴とした薄
膜磁気記録ヘッド。
【請求項９】負の磁気歪みを備え、対称軸を有し、パド
ル先端領域を含む下部パドルを基板上に沈着する段階
と、前記下部パドル上に、それを通る実質的に楕円形の導電
コイルを有する絶縁層を沈着する段階と、負の磁気歪みを備え、対称軸を有し、パドル先端領域を
含む上部パドルを絶縁層上と前記下部パドルの上に沈着
する段階であり、前記上部パドルと下部パドルが高透磁
率の磁束路を定める磁気ヨークを形成し、上部パドル先
端領域と下部パドル先端領域とがその近傍のデータを記
録および読み出すための磁束間隙を前記磁気ヨークの中
に定め、前記パドル先端が前記対称軸に垂直であり、前
記磁気ヨークが前記対称軸に概して平行な磁化困難軸と
該磁化困難軸に垂直な磁化容易軸を有する、段階とを含
み、磁気ヨークを通って延びているコイルの巻線は実質的に
直線であり、概して前記困難軸に垂直で、且つパドルの
前記容易軸に平行であり、それによってコイルの巻線と
磁気パドルの縦方向の境界は、困難軸磁気駆動磁界に前
記磁気ヨークがさらされるのを最大にし、容易軸磁気駆
動磁界に前記磁気ヨークがさらされるのを最小にする相
対的な構成を有し、それにより容易軸方向の駆動磁界が
前記磁気ヨークの局所抗磁力を越えることがなく、それ
により、突然の緩和により、書き込み動作に続く読み取
り動作の間のリードバック信号にノイズを生じさせる、
上部パドルおよび下部パドルの領域構造の不安定さと予
測できない状態とを低減するようにした、薄膜磁気記録
ヘッドの製造方法。
【請求項１０】請求項９の方法は、前記パドル先端領域
から離れて該パドル先端領域に平行に延びている切り取
り領域に沿って非磁性体基板を切取り、それによって磁
気ヨークを切り取っている最中の応力から隔離する段階
を含むことを特徴とする薄膜磁気記録ヘッドの製造方
法。
【請求項１１】請求項９に於いて、上部パドルを沈着す
る段階と下部パドルを沈着する段階は、パドル先端幅を有するパドル先端領域を形成する段階
と、パドル先端幅より大きい後方領域幅と後方領域長を定め
る後方領域側面とを有する後方領域を形成する段階と、後方領域とパドル先端領域間に延びていて、前方端幅を
有しパドル先端領域に接触している前端と後方端幅を有
し後方領域に接触している後方端とを有する中間領域を
形成する段階であり、前方端幅は後方端幅より小さく、
前記中間領域は後方領域とパドル先端領域の間に延びて
いる側面を含み、後方領域長を定める側面とパドル先端
領域が第１角度を形成し、後方領域とパドル先端領域と
の間に延びている側面とパドル先端が第２角度を形成す
る前記中間領域を形成する段階とを含むことを特徴とする薄膜磁気記録ヘッドの製造方
法。
【請求項１２】請求項11に於いて、中間領域を形成する
段階は、前記第１角度を約85゜から約95゜の間に形成す
ることを特徴とする薄膜磁気記録ヘッドの製造方法。
【請求項１３】請求項11に於いて、中間領域を形成する
段階は、前記第１角度を約45゜から約90゜の間に形成す
ることを特徴とする薄膜磁気記録ヘッドの製造方法。
【請求項１４】請求項11に於いて、中間領域を形成する
段階は、後方領域とパドル先端領域間に約35ミクロンよ
り小さい中間領域長を形成することを特徴とする薄膜磁
気記録ヘッドの製造方法。
【請求項１５】請求項11に於いて、後方領域を形成する
段階は、約100ミクロンから約130ミクロンの後方領域長
を形成することを特徴とする薄膜磁気記録ヘッドの製造
方法。
【請求項１６】請求項11に於いて、前記第１角度を約85゜から約95゜の間に形成し、前記第２角度を約45゜から約90゜の間に形成し、後方領域とパドル先端領域間に約35ミクロンより小さい
中間領域長を形成し、後方領域長と中間領域長とを加算した長さが約135ミク
ロンから約165ミクロンの間にくるよう形成することを
特徴とする薄膜磁気記録ヘッドの製造方法。