JP2598018B2 - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
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- JP2598018B2 JP2598018B2 JP12963887A JP12963887A JP2598018B2 JP 2598018 B2 JP2598018 B2 JP 2598018B2 JP 12963887 A JP12963887 A JP 12963887A JP 12963887 A JP12963887 A JP 12963887A JP 2598018 B2 JP2598018 B2 JP 2598018B2
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/3113—Details for improving the magnetic domain structure or avoiding the formation or displacement of undesirable magnetic domains
Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は磁気記録再生装置に設けられ、記録媒体に対
して情報の記録再生を行う薄膜磁気ヘッドに関する。
して情報の記録再生を行う薄膜磁気ヘッドに関する。
（従来の技術） 磁気ディスクや磁気テープに対し情報の記録再生を行
う磁気記録再生装置においては、近年磁気記録の高密度
化にともない従来のフェライトなどのバルク材料を用い
た磁気ヘッドに代り、薄膜プロセスにより製造される薄
膜磁気ヘッドが用いられる傾向にある。
う磁気記録再生装置においては、近年磁気記録の高密度
化にともない従来のフェライトなどのバルク材料を用い
た磁気ヘッドに代り、薄膜プロセスにより製造される薄
膜磁気ヘッドが用いられる傾向にある。
この薄膜磁気ヘッドは従来は第８図乃至第10図に示す
ように構成されていた。すなわち、Mn−Znフェライトな
どからなる基板１上にNiFeなど磁性体からなる下部磁気
コア２が形成されており、この下部磁気コア２上にCuな
どの導電性部材からなるコイル３が形成されている。ま
た前記下部磁気コア２上には同様にNiFeなどの磁性体か
らなる上部磁気コア４が形成されており、この上部磁気
コア２の一部が前記コイル３の一部をSiO2などからなる
絶縁層５を介して被覆している。これらの上部磁気コア
４及び下部磁気コア２の磁化容易軸はそれぞれ矢印Ａ、
Ｂで示すようにトラック幅方向になるように形成されて
いる。
ように構成されていた。すなわち、Mn−Znフェライトな
どからなる基板１上にNiFeなど磁性体からなる下部磁気
コア２が形成されており、この下部磁気コア２上にCuな
どの導電性部材からなるコイル３が形成されている。ま
た前記下部磁気コア２上には同様にNiFeなどの磁性体か
らなる上部磁気コア４が形成されており、この上部磁気
コア２の一部が前記コイル３の一部をSiO2などからなる
絶縁層５を介して被覆している。これらの上部磁気コア
４及び下部磁気コア２の磁化容易軸はそれぞれ矢印Ａ、
Ｂで示すようにトラック幅方向になるように形成されて
いる。
磁気ヘッドの記録再生特性は磁気コアの磁気抵抗が小
さい程良い。この磁気抵抗Ｒは次式（１）で与えられ
る。
さい程良い。この磁気抵抗Ｒは次式（１）で与えられ
る。
Ｒ＝l/μＳ ……（１） ここでｌは平均磁路長、Ｓは磁気コアの断面積、μは
磁気コアの透磁率である。従って良好な記録再生特性を
得るためには、平均磁路長ｌを短かくし、磁気コアの断
面積Ｓを大きくし、かつ透磁率μの大きい磁性材料を用
いることが望ましい。しかしながら薄膜磁気ヘッドにお
いては、磁気コアの磁気特性はその磁区構造に大きく影
響されるため、磁気コアに透磁率の大きい材料を用いる
だけでは不十分であり、磁気コアの磁区構造を制御する
必要がある。
磁気コアの透磁率である。従って良好な記録再生特性を
得るためには、平均磁路長ｌを短かくし、磁気コアの断
面積Ｓを大きくし、かつ透磁率μの大きい磁性材料を用
いることが望ましい。しかしながら薄膜磁気ヘッドにお
いては、磁気コアの磁気特性はその磁区構造に大きく影
響されるため、磁気コアに透磁率の大きい材料を用いる
だけでは不十分であり、磁気コアの磁区構造を制御する
必要がある。
磁性体の磁化は磁区を区分する磁壁の移動と磁化回転
とにより発生するが、高周波信号に対しては磁壁移動が
追随できないため高周波域の磁化は主として磁化回転に
より起る。このため薄膜磁気ヘッドでは磁気コアに一軸
異方性をもたせ、第８図に矢印A,Bで示すように磁化容
易軸がトラック幅方向になるように磁気コアを形成して
いる。このように形成された第８図に示す上部磁気コア
４の磁区構造は、消磁状態では例えば第11図（ａ）に示
すように、磁壁６でトラック幅方向にほぼ平行に仕切ら
れた複数個の磁区７と、これらの磁区７の外側に形成さ
れトラック幅方向と直角の方向に磁気モーメントを持つ
複数個の三角形状の磁区８とにより構成されている。し
かし前記磁気コア４に磁気コア長手方向に数10Oeの磁界
を印加し、次にこの磁界を取り去ると、この磁気コア４
の磁区構造は例えば第11図（ｂ）に示すように変化す
る。同様に100Oe程度の磁界を印加した後にこの磁界を
取り去り磁気コア４の磁極構造を観察すると、例えば第
11図（ｃ）に示すように変化する。
とにより発生するが、高周波信号に対しては磁壁移動が
追随できないため高周波域の磁化は主として磁化回転に
より起る。このため薄膜磁気ヘッドでは磁気コアに一軸
異方性をもたせ、第８図に矢印A,Bで示すように磁化容
易軸がトラック幅方向になるように磁気コアを形成して
いる。このように形成された第８図に示す上部磁気コア
４の磁区構造は、消磁状態では例えば第11図（ａ）に示
すように、磁壁６でトラック幅方向にほぼ平行に仕切ら
れた複数個の磁区７と、これらの磁区７の外側に形成さ
れトラック幅方向と直角の方向に磁気モーメントを持つ
複数個の三角形状の磁区８とにより構成されている。し
かし前記磁気コア４に磁気コア長手方向に数10Oeの磁界
を印加し、次にこの磁界を取り去ると、この磁気コア４
の磁区構造は例えば第11図（ｂ）に示すように変化す
る。同様に100Oe程度の磁界を印加した後にこの磁界を
取り去り磁気コア４の磁極構造を観察すると、例えば第
11図（ｃ）に示すように変化する。
上記のように磁気コアの磁極構造は非常に不安定であ
り、この不安定の度合はトラック幅が狭くなる程激し
い。このように磁区構造が不安定な結果、再生信号にウ
ィグルズと呼ばれる再生波形歪や再生出力変動が発生
し、薄膜磁気ヘッドの信頼性を低下させるという問題が
あった。またトラック幅が極端に狭くなると、磁気コア
の磁区構造は第11図（ｄ）に示すように前記磁区８の占
める面積の割合が大きくなる。この結果実質的な透磁率
は小さくなり、単位トラック幅当りの再生出力が極端に
小さくなるため、トラック幅はあまり小さくできないと
いう問題もあった。
り、この不安定の度合はトラック幅が狭くなる程激し
い。このように磁区構造が不安定な結果、再生信号にウ
ィグルズと呼ばれる再生波形歪や再生出力変動が発生
し、薄膜磁気ヘッドの信頼性を低下させるという問題が
あった。またトラック幅が極端に狭くなると、磁気コア
の磁区構造は第11図（ｄ）に示すように前記磁区８の占
める面積の割合が大きくなる。この結果実質的な透磁率
は小さくなり、単位トラック幅当りの再生出力が極端に
小さくなるため、トラック幅はあまり小さくできないと
いう問題もあった。
（発明が解決しようとする問題点） 本発明は従来の薄膜磁気ヘッドで問題であった磁区構
造が非常に不安定なため、再生波形歪や再生出力変動が
発生し、また狭トラック薄膜磁気ヘッドでは十分な再生
出力が得られないという問題を解決し、再生波形歪と再
生出力変動の発生を防止し、狭トラックの場合にも再生
出力の減少を最小限に抑えることのできる薄膜磁気ヘッ
ドを提供することを目的とする。
造が非常に不安定なため、再生波形歪や再生出力変動が
発生し、また狭トラック薄膜磁気ヘッドでは十分な再生
出力が得られないという問題を解決し、再生波形歪と再
生出力変動の発生を防止し、狭トラックの場合にも再生
出力の減少を最小限に抑えることのできる薄膜磁気ヘッ
ドを提供することを目的とする。
［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） 上記目的を達成するためになされた本発明の薄膜磁気
ヘッドは、トラック幅方向両縁部に硬質磁性体が付設さ
れた軟質磁性体からなる磁気コアと誘電性コイルとが絶
縁層を介して基板上に設けられてなるものである。
ヘッドは、トラック幅方向両縁部に硬質磁性体が付設さ
れた軟質磁性体からなる磁気コアと誘電性コイルとが絶
縁層を介して基板上に設けられてなるものである。
（作用） 上記の構成によると、磁気コアの硬質磁性体を適切に
配置しかつ適切に磁化することにより、狭トラック幅の
薄膜磁気ヘッドにおいてもその磁気コアの磁区構造を任
意に決定し安定化させることができる。従ってトラック
幅を狭くしても再生出力の減少を最小限に抑えることが
可能となり、かつ薄膜磁気ヘッド特有の再生波形歪や再
生出力変動の発生を防ぐことができる。
配置しかつ適切に磁化することにより、狭トラック幅の
薄膜磁気ヘッドにおいてもその磁気コアの磁区構造を任
意に決定し安定化させることができる。従ってトラック
幅を狭くしても再生出力の減少を最小限に抑えることが
可能となり、かつ薄膜磁気ヘッド特有の再生波形歪や再
生出力変動の発生を防ぐことができる。
（実施例） 以下、本発明に係る薄膜磁気ヘッドの一実施例を図面
を参照して説明する。
を参照して説明する。
第１図乃至第３図に本発明の一実施例を示す。
図において、第８図及び第11図に示す従来例と同一ま
たは同等部分には同一符号を付して示し、説明を省略す
る。本実施例の特徴は上部磁気コア４の磁区構造にあ
り、他の構造は従来例と同様である。上部磁気コア４の
トラック幅方向の中央部は軟質磁性体4aであり、この軟
質磁性体4aのトラック幅方向の両側は波形に形成されて
いて、この部分に軟質磁性体4bが一体に形成されてい
る。また軟質磁性体4aは第３図に矢印Ａで示すようにト
ラック幅方向に、硬質磁性体4bは矢印Ｂで示すようにト
ラック幅方向と直角の方向に、それぞれ磁化容易軸を有
し、硬質磁性体4bは両側において互いに相反する矢印Ｂ
で示す方向に磁化されている。従って軟質磁性体4aは矢
印Ａで示すように、隣接する磁区において互いに相反す
る方向に磁気モーメントが向けられ、還流磁区が形成さ
れている。
たは同等部分には同一符号を付して示し、説明を省略す
る。本実施例の特徴は上部磁気コア４の磁区構造にあ
り、他の構造は従来例と同様である。上部磁気コア４の
トラック幅方向の中央部は軟質磁性体4aであり、この軟
質磁性体4aのトラック幅方向の両側は波形に形成されて
いて、この部分に軟質磁性体4bが一体に形成されてい
る。また軟質磁性体4aは第３図に矢印Ａで示すようにト
ラック幅方向に、硬質磁性体4bは矢印Ｂで示すようにト
ラック幅方向と直角の方向に、それぞれ磁化容易軸を有
し、硬質磁性体4bは両側において互いに相反する矢印Ｂ
で示す方向に磁化されている。従って軟質磁性体4aは矢
印Ａで示すように、隣接する磁区において互いに相反す
る方向に磁気モーメントが向けられ、還流磁区が形成さ
れている。
次に本実施例による薄膜磁気ヘッドの製造方法を第４
図を参照して説明する。Mn−Znフェライトなどの非磁性
部材よりなる基板１上に、NiFeなどの磁性部材よりなる
下部磁気コア２、Cuなどの導電性部材よりなるコイル
３、SiO2などからなる絶縁層５を、スパッタ、蒸着など
の薄膜形成技術やリソグラフィ技術を用いて、順次所定
の形状に積層形成する。次にNiFeなどの磁性部材からな
る上部磁気コア４を矢印Ａ方向に磁化容易軸を有するよ
うに、スパッタなどの手段により形成する。その後同図
（ａ）に示すように例えばイオンビームエッチングなど
の技術を用いて、上部磁気コア４のトラック幅方向の両
側を波形に除去する。この除去された部分に同図（ｂ）
に示すように、CoPなどの硬質磁性部材よりなる硬質磁
性体4bを矢印Ｂ方向に磁化容易軸を有するように前記と
同様な手段で形成する。次に硬質磁性体4aを適切な方向
に磁化する。この磁化の方法としては、同図（ｃ）に示
すようにリングタイプ磁気ヘッド９を用いるか、あるい
はレーザビーム10を硬質磁性体4aに照射して外部から磁
界を矢印Ｂ方向に印加して磁化する。このようにして薄
膜磁気ヘッドが製造される。
図を参照して説明する。Mn−Znフェライトなどの非磁性
部材よりなる基板１上に、NiFeなどの磁性部材よりなる
下部磁気コア２、Cuなどの導電性部材よりなるコイル
３、SiO2などからなる絶縁層５を、スパッタ、蒸着など
の薄膜形成技術やリソグラフィ技術を用いて、順次所定
の形状に積層形成する。次にNiFeなどの磁性部材からな
る上部磁気コア４を矢印Ａ方向に磁化容易軸を有するよ
うに、スパッタなどの手段により形成する。その後同図
（ａ）に示すように例えばイオンビームエッチングなど
の技術を用いて、上部磁気コア４のトラック幅方向の両
側を波形に除去する。この除去された部分に同図（ｂ）
に示すように、CoPなどの硬質磁性部材よりなる硬質磁
性体4bを矢印Ｂ方向に磁化容易軸を有するように前記と
同様な手段で形成する。次に硬質磁性体4aを適切な方向
に磁化する。この磁化の方法としては、同図（ｃ）に示
すようにリングタイプ磁気ヘッド９を用いるか、あるい
はレーザビーム10を硬質磁性体4aに照射して外部から磁
界を矢印Ｂ方向に印加して磁化する。このようにして薄
膜磁気ヘッドが製造される。
次に本実施例の作用及び効果を説明する。上記のよう
な構造の薄膜磁気ヘッドによると、第５図に示すように
三角形状の硬質磁性体4bを極力小さく形成することによ
り、高周波信号による磁化の主要部である軟質磁性体4a
の体積の減少を最小限に抑えることができる。従って、
狭トラック薄膜磁気ヘッドにおいても、再生出力の減少
を最小限に抑え、かつ再生波形歪や再生出力変動を少く
することができる。またトラック幅方向に磁気モーメン
トを有する軟質磁性体4aによって形成される磁区と、ト
ラック幅方向に対し直角の方向に磁気モーメントを有す
る硬質磁性体4bによって形成される磁区とが固定される
ので、磁気コアの磁区構造が非常に安定する。
な構造の薄膜磁気ヘッドによると、第５図に示すように
三角形状の硬質磁性体4bを極力小さく形成することによ
り、高周波信号による磁化の主要部である軟質磁性体4a
の体積の減少を最小限に抑えることができる。従って、
狭トラック薄膜磁気ヘッドにおいても、再生出力の減少
を最小限に抑え、かつ再生波形歪や再生出力変動を少く
することができる。またトラック幅方向に磁気モーメン
トを有する軟質磁性体4aによって形成される磁区と、ト
ラック幅方向に対し直角の方向に磁気モーメントを有す
る硬質磁性体4bによって形成される磁区とが固定される
ので、磁気コアの磁区構造が非常に安定する。
第６図に本発明の第２の実施例を示す。本実施例は軟
質磁性体4aからなる上部磁気コア４の上に硬質磁性体4b
を前述した実施例と同様な三角形状に形成したものであ
る。第７図に本発明の第３の実施例を示す。本実施例は
電子スチルカメラ用の薄膜磁気ヘッドに本発明を応用し
たものである。電子スチルカメラはその設計上の理由か
ら磁路11が曲線状となるが、このような場合には硬質磁
性体4bの片側を磁路11に沿って配置し、軟質磁性体4aを
区画する磁壁６を磁路11に対し直角になるように形成す
ればよい。上記いずれかの実施例においても前述した第
１の実施例と同様の作用効果を有する。
質磁性体4aからなる上部磁気コア４の上に硬質磁性体4b
を前述した実施例と同様な三角形状に形成したものであ
る。第７図に本発明の第３の実施例を示す。本実施例は
電子スチルカメラ用の薄膜磁気ヘッドに本発明を応用し
たものである。電子スチルカメラはその設計上の理由か
ら磁路11が曲線状となるが、このような場合には硬質磁
性体4bの片側を磁路11に沿って配置し、軟質磁性体4aを
区画する磁壁６を磁路11に対し直角になるように形成す
ればよい。上記いずれかの実施例においても前述した第
１の実施例と同様の作用効果を有する。
［発明の効果］ 上述したように本発明によれば、磁気コアの磁区構造
を容易に制御することができ、再生波形歪や再生出力変
動の発生を防止し、狭トラックの場合にも再生出力の減
少を最小限に抑えることができる。
を容易に制御することができ、再生波形歪や再生出力変
動の発生を防止し、狭トラックの場合にも再生出力の減
少を最小限に抑えることができる。
第１図は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの一実施例を示す
斜視図、第２図は第１の平面図、第３図は第１図の上部
磁気コアの磁区構造を示す平面図、第４図は本実施例に
よる薄膜磁気ヘッドの製造方法を示す平面図及び斜視
図、第５図は本実施例の作用を示す平面図、第６図及び
第７図は本発明の他の実施例を示すそれぞれ斜視図及び
平面図、第８図及び第９図、第10図は従来の薄膜磁気ヘ
ッドを示すそれぞれ斜視図及び平面図、縦断面図、第11
図は従来の薄膜磁気ヘッドの磁気コアの磁区構造を示す
平面図である。 １……基板,2……下部磁気コア ３……コイル,4……上部磁気コア 4a……軟質磁性体,4b……硬質磁性体 ５……絶縁層
斜視図、第２図は第１の平面図、第３図は第１図の上部
磁気コアの磁区構造を示す平面図、第４図は本実施例に
よる薄膜磁気ヘッドの製造方法を示す平面図及び斜視
図、第５図は本実施例の作用を示す平面図、第６図及び
第７図は本発明の他の実施例を示すそれぞれ斜視図及び
平面図、第８図及び第９図、第10図は従来の薄膜磁気ヘ
ッドを示すそれぞれ斜視図及び平面図、縦断面図、第11
図は従来の薄膜磁気ヘッドの磁気コアの磁区構造を示す
平面図である。 １……基板,2……下部磁気コア ３……コイル,4……上部磁気コア 4a……軟質磁性体,4b……硬質磁性体 ５……絶縁層
フロントページの続き (72)発明者 大沢 裕一 横浜市磯子区新杉田町８番地 株式会社 東芝横浜事業所家電技術研究所内 (72)発明者 石田 有親 横浜市磯子区新杉田町８番地 株式会社 東芝横浜事業所家電技術研究所内 (72)発明者 篠崎 雅幸 横浜市磯子区新杉田町８番地 東芝オー ディオ・ビデオエンジニアリング株式会 社開発事業所内 (56)参考文献 特開 昭59−33613（ＪＰ，Ａ)
Claims (4)
- 【請求項１】上部磁気コアと、下部磁気コアと、この上
下磁気コア間に位置する導電性コイルとが基板上に形成
された薄膜磁気ヘッドにおいて、前記上部磁気コアは、
トラック幅方向両縁部に硬質磁性体が付設された軟質磁
性体からなり、絶縁層を介して前記導電性コイル上に形
成されたことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。 - 【請求項２】前記上部磁気コアのトラック幅方向両縁部
に複数個の三角形状の硬質磁性体が付設されたことを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載の薄膜磁気ヘッド。 - 【請求項３】前記上部磁気コアのトラック幅方向両縁部
が硬質磁性体と軟質磁性体との積層構造であることを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載の薄膜磁気ヘッド。 - 【請求項４】前記軟質磁性体はトラック幅方向に、前記
硬質磁性体はトラック幅方向に対して直角の方向に、そ
れぞれ磁化容易軸を有することを特徴とする許請求の範
囲第１項記載の薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12963887A JP2598018B2 (ja) | 1987-05-28 | 1987-05-28 | 薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12963887A JP2598018B2 (ja) | 1987-05-28 | 1987-05-28 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63298705A JPS63298705A (ja) | 1988-12-06 |
| JP2598018B2 true JP2598018B2 (ja) | 1997-04-09 |
Family
ID=15014453
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12963887A Expired - Lifetime JP2598018B2 (ja) | 1987-05-28 | 1987-05-28 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2598018B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5184267A (en) * | 1989-06-02 | 1993-02-02 | Digital Equipment Corporation | Transducer with improved inductive coupling |
| JP2724014B2 (ja) * | 1990-01-25 | 1998-03-09 | 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 | 磁気ヘッドおよびその製造方法 |
| US5350618A (en) * | 1991-03-01 | 1994-09-27 | Teijin Seiki Co., Ltd. | Magnetic medium comprising a substrate having pits and grooves of specific shapes and depths |
| JPH0589435A (ja) * | 1991-09-27 | 1993-04-09 | Toshiba Corp | 磁気抵抗効果型磁気ヘツド |
| JPH0778309A (ja) * | 1993-07-14 | 1995-03-20 | Sony Corp | 薄膜磁気ヘッド及び磁気抵抗効果型磁気ヘッド並びに複合型磁気ヘッド |
-
1987
- 1987-05-28 JP JP12963887A patent/JP2598018B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63298705A (ja) | 1988-12-06 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080109 Year of fee payment: 11 |