JPH0363912A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、磁気記録再生装置における薄膜磁気ヘッドお
よびその製造方法に係り、特に、磁性膜の膜厚でトラッ
ク幅が決まる薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法に関す
る。

［従来の技術］ 一般に、薄膜磁気ヘッドとしては、磁性膜の膜厚により
磁気記録媒体対接面のトラック長手方向に沿う磁路長が
決まる形式（以下「従来例１」という）と、磁性膜の膜
厚によりトラック幅が決まる形式（以下「従来例２」と
いう）とが知られている。従来例１の形式については、
例えば特開昭６２−９５１４号公報、特開昭６２−７１
０１６号公報等に示されており、また、従来例２の形式
については、例えば、特開昭６２−８６５２１号公報や
、「アイ・イー・イー　トランザクションオン　マグネ
チツクス、エム　ニー　ジー２３゜５．１９８７Ｊ第２
５０３頁〜第２５０５頁（“Ｉ　Ｅ　Ｅ　Ｅ　　　Ｔｒ
ａｎｓ、　　Ｍａｇｎｅｔｉｃｓ　　ＭＡＧ　２３　。

５．１９８７”ｐｐ２５０３−２５０５）に示されてい
る。最近の狭小トラック幅化により高密度記録再生を行
なう磁気記録再生装置では、トラック幅を高精度に作る
必要があるが、従来例２の膜厚によりトラック幅を決定
する形式は、膜厚を調整することで容易にトラック幅の
精度を高めることができる点で有利である。

［発明が解決しようとする課題］ 上記従来例２の技術、すなわち、磁性膜の膜厚によりト
ラック幅を決める形式の薄膜磁気ヘッドでは、第１に、
記録される磁化パターン上で、磁極面（磁気記録媒体に
対する対向面）がトラックの長手方向に沿って所定の長
さを有しているために、その磁極から洩れる磁界によっ
て、記録した信号が弱められるという現象（記録減磁作
用）が生じてしまう、第２に、磁気ギャップと磁極の他
端が平行であるために、記録密度を上げて行くと、その
磁極の形状寸法に応じたうねり（形状効果）が生じてし
まう、という問題があった。

以下、この問題を、第２図（ａ）、（ｂ）および、（８
）、（ｆ）により詳しく説明する。

第２図（ａ）、（ｂ）は、従来例２による薄膜磁気ヘッ
ドの磁気記録媒体対向面からみた概略図で、１１は第１
の磁性薄膜、１２は磁気ギャップ、１３は第２の磁性薄
膜、ＴＷは磁気記録トラック幅である。第２図（ａ）で
は、磁性薄膜１１，１３の膜厚方向がトラック幅ＴＷの
方向に一致しており、膜厚がそのままトラック幅ＴＷを
与えるものであるが、磁極面（媒体対向面）のトラック
長手方向端部１１ａ、１３ａが磁気ギャップ１２と平行
になっているため、第２図（ｅ）の記録密度対規格化出
力特性図中、曲線■で示すように、再生特性に波打ち現
象（うねり現象、形状効果）が発生してしまう。

この対策として、第２図（ｂ）に示すように、磁極面（
媒体対向面）の媒体移動方向（トラック長手方向）両端
部１１ａ、１３ａを磁気ギヤツブ部１２に対して非平行
とするものがあり、これによれば、第２図（ｅ）中１曲
線■で示すように波打ち現象がなくなるが、第２図（ｆ
）の記録電流対規格化出力特性図中、曲線［Ｆ］で示す
ように、記録電流を増加して行くと規格化出力が減少し
て行くという現象（これは、第２図（ａ）のヘッドでも
現われる）を回避することはできない。この理由は、第
２図（ａ）または（ｂ）のヘッドでは、磁極面（媒体対
接面）の長さ（磁気ギャップ１２から端部１１ａまたは
１３ａ、特に端部１３ａまでの距離）が相当に長いため
に、高密度記録用としての高保磁力記録媒体に十分な記
録を行なおうとして大きな電流を流したとき、この対接
面から洩れる磁界によって、記録した信号が弱められる
作用（記録減磁作用）を生じるからである。

従って、本発明の目的は、上記従来技術の問題点を解消
し、■記録減磁作用がなく、■形状効果がなく、かつ、
■高精度の狭トラツク幅を磁性薄膜の膜厚し；より決め
る機能を維持できる薄ｒｆｇ４ｍ気ヘッドとその製造方
法を提供することにある。

本発明の他の目的は、■高保磁力の磁気記録媒体に対応
した強い記録磁界を発生することができ、■アジマス記
録再生ができ、■録再分離型の複合磁気ヘッドとするこ
とも可能な、薄膜磁気ヘッドとその製造方法を提供する
ことにある。

［課題を解決するための手段］ 上記の、■、および■の目的を達成するため、本発明の
薄膜磁気ヘッドは、磁気ギャップ形成面（第１および第
２の磁性薄膜が磁気ギャップにおいて対向する面）を少
なくとも第１および第２の磁性薄膜の一方（片側の磁性
薄膜）の薄膜形成面（膜面、すなわち膜厚と垂直な面）
に対して所定の角度（θ°）で傾斜させると共に、該薄
膜形成面を磁気記録媒体のトラック長手方向（トラック
幅ＴＶと垂直な方向、相対的な磁気記録媒体移動方向）
に対して非平行とし、前記少なくとも一方の磁性薄膜（
前記片側の磁性薄膜）の膜厚に基づいてトラック幅を決
定するように構成する。

また、上記■の目的を達成するため、片側の磁極（記録
媒体移動方向に対し流入側の磁性薄膜により形成される
媒体対向面）の厚み（該媒体移動方向の長さ）を厚くシ
（面積を大きくシ）、他側の磁極の厚み（媒体移動方向
に対し流出側の磁性薄膜により形成される媒体対向面の
媒体移動方向長）を薄くする（面積を小さくする）よう
に構成する。

さらに、上記■の目的を達成するため、第１゜第２の磁
性薄膜、磁気ギャップ、および電気コイルで構成される
磁気回路を複数個設け、各磁気回路の磁気ギャップをト
ラック幅に対して各々異なった角度として記録または再
生を行なうように構成し、上記■の目的を達成するため
、同じアジマス角をもつヘッド素子を所定間隔で２個設
け、その一方を記録用、他方を再生用とするように構成
する。

なお、１つのヘッド素子を記録、再生に用いる場合、記
録はインダクティブ型、再生はＭＲ型とすることもでき
る。

複数のヘッド素子は、スライダーの両翼レール部流出端
に設けることができる。

また、本発明の薄膜磁気ヘッドの製造方法は、基板上に
第１の磁性薄膜を形成する工程と、該第１の磁性薄膜を
（機械加工、イオンミリング、エツチング等により）所
定の傾斜角をもって一部除去する工程と、該一部除去し
た第１の磁性薄膜上に順に磁気ギャップ膜および第２の
磁性薄膜を形成する工程とを含み、第１および第２の磁
性薄膜の少なくとも一方の磁性薄膜の薄膜形成面に対し
てトラック長手方向を非平行とすることにより、少なく
とも一方の磁性薄膜の厚みのトラック幅方向成分をトラ
ック幅とするように構成する。

また、上記薄膜磁気ヘッドの製造方法において、上記の
基板上に第１の磁性薄膜を形成する工程に先立って、基
板上に（機械加工、イオンミリング。

エツチング等により）所定の角度で溝を設け、該溝に第
１の磁性薄膜を形成するようにしてもよい。

これらの製造方法において、第１の磁性膜の一部を除去
して出来た溝に、非磁性材を充填してもよい。

［作用］ 上記構成に基づく作用を説明する。

本発明によれば、磁性薄膜の薄膜形成面とトラック長方
向（媒体移動方向）とは非平行であり（典型的には直角
であり）、それによって、該薄膜形成面の少なくとも１
つが媒体移動方向における磁極（媒体対向面）の前端縁
または後端縁を構成することになる。この結果、磁気ギ
ャップから該前端縁または後端縁までの距離（磁極長）
は必要最小限度の短い寸法となり、前述の記録減磁作用
を抑えることができる。また、このように、実質的に磁
極の前端縁または後端縁として機能する薄膜形成面に対
して、磁気ギヤツブ形成面が所定の角度（θ）傾斜して
いるので、形状効果の発生が防止される。また、磁気ギ
ヤツブ形成面が所定の膜厚の磁性薄膜に対し所定の角度
傾斜していることにより、磁気ギャップ長（媒体対向面
に現われる磁気ギャップ線の長さ）が決まり、該磁気ギ
ャップ長に基づいて、薄膜形成面と非平行に延びる磁気
トラックのトラック幅が決まる（その詳細は、第２図に
より後述）。

また、片側（例えば流入側）の磁極を厚くすることによ
り、高保磁力媒体に対応した強い記録磁界を発生でき、
複数ヘッド素子の磁気ギャップのトラック幅に対する傾
斜角を異ならしめることにより、アジマス記録または再
生を可能とし、同じアジマス角のヘッド素子を所定間隔
で２個設けて、一方を記録用、他方を再生用とすること
により、録再分離型の複合磁気ヘッドを得ることができ
る。

［実施例］ 以下に、本発明の実施例を図面により説明する。

まず、本発明の基本構想を、第２図（Ｃ）〜（ｆ）によ
り説明する。

前述した第２図（ａ）のように、第１．第２磁性薄膜１
１．１３の膜面すなわち薄膜形成面（図の上面と下面）
が媒体移動方向（トラック長方向、すなわち、トラック
１ｉＴＷとは垂直な方向）と平行で、磁気ギャップ１２
の形成面ならびに磁極の前端縁１１ａと後端縁１３ａ（
磁性薄膜１１．１３の媒体対向面の前端縁と後端縁）が
共に媒体移動方向に対して垂直なヘッドでは、形状効果
（第２図（ｅ））および記録減磁作用（第２図（ｆ））
が現われる。第２図（ｂ）のように、前端縁１１ａ、後
端縁１３ａを磁気空隙１２に対して非平行とすれば、形
状効果は抑止されるが記録減磁作用は抑止できない（第
２図（ｅ）　、　（ｆ））。

これに対し、本発明では、第２図（ｃ）に示すように、
磁気ギャップ１２が磁性薄膜１１および１２の膜面（薄
膜形成面、図中左右の面）に対して所定角度（θ）傾斜
して形成されると共に、トラック長手方向（媒体移動方
向）と膜面とが非平行に（本実施例では相互に垂直とな
るように）なるように形成される。これによって磁性薄
膜１１および１３の膜面１１ａおよび１３ａ自体が磁極
の前端縁および後端縁を構成することになる。その結果
１図から明らかなように、磁気ギャップ１２と前端縁１
１ａまたは１３ａとの平均距離（磁極長）は短縮され、
記録減磁作用を軽減できる（同図（ｆ）のＯ）。また、
磁気ギャップ１２と前端縁１１ａまたは１３ａとは非平
行であるので、うねり（形状効果）が発生しない（同図
（ｅ）のＯ）。

第２図（Ｃ）では、トラック長方向と膜面とが相互に垂
直とされており、この場合磁極の前端縁１１ａと後端縁
１３ａの間の距離（磁極長）は膜厚に等しい最も短い寸
法となるが、トラック長手方向と膜面とを垂直以外の任
意の角度で交わらせる（トラック長手方向と膜面とを非
平行とする）ようにした場合でも、磁極長を十分短くで
きる。磁気ギャップ１２が膜面となす角をθ、トラック
長手方向が膜面となす角度をα、膜厚をｄとすると、ト
ラック幅ＴＷは、 ＴＷ＝　ｌ　ｄ　Ｘ５ｉｎ（ａ−θ）／ｓｉｎθとして
決定される。また、いわゆるアジマス角は（９０°−（
α−θ））で表わされる。第２図（ｅ）の場合、ａ　＝
　９０　”であるから、ＴＷ＝ｄｃｏｔθとして決まる
。このとき、アジマス角はθである。

同図で磁性薄膜１１．１２の媒体対向面のうち、トラッ
ク＠ＴＷからはずれる部分は、記録媒体面に接触しない
ように、媒体から遠ざかる方向に向かって斜めに削り取
った形状とすることができる。

上記の形状効果（波打ち現象）を除去する他の解決案と
して、磁極長を極く短くすることにより、特性曲線上で
波打ちの生じる位置をより高周波側（高密度側）へ移動
させ、使用記録密度（周波数）帯域の外へ出してしまう
方法がある。しかし、高保磁力媒体を使用した場合、磁
極が薄いために磁気飽和が生じてしまい、十分な書き込
みができない。第２図（ｄ）は、その対策として考えら
れた実施例で、片側の磁性薄膜１１による磁極（媒体移
動方向に対し流入側端）を厚くし、他の側の磁性薄膜１
３による磁極（媒体移動方向に対し流出端側）を薄くす
ることにより、両磁極が共に薄い場合よりも強い磁界を
発生することができる。なお、第２図（ｄ）で、ｌｌａ
、ｌｌａ’は磁性薄膜１１の膜形成面であり、他方の磁
性薄膜１３の膜形成面は磁気ギャップ１２と平行となっ
ている。同図では、流入端側の磁極の前端縁（形成面１
１ａ）がトラック幅ＴＷ内で磁気ギャップ１２と平行に
なる所がないことと、流出側の磁極（磁性薄膜１３）の
厚み（磁極長）が極めて短いことによって、形状効果が
生じない。同図では更に、記録された磁化パターン上に
かかる磁極（特に、記録減磁作用に与える影響の大きい
側である流出端側の磁極）が短いために、記録減磁がな
い。

次に、第１図により、本発明の一実施例を説明する。同
図（ａ）において、支持バネ１の先にスライダー２が取
付けられている。スライダー２は、矢印３で示す媒体移
動方向に回転するような磁気ディスク記録媒体（図示せ
ず）の上を、空気流によって狭小なすきま（例えば０．
２μｍ）で浮上している。スライダー２の両側にはレー
ル２ａ。

２ｂが設けられ、レール２ａ、２ｂの流入端側は僅かに
（０，６〜０．７”程度）反っている。このスライダー
２の流出端側には、薄膜ヘッド（素子）４が形成されて
いる。

素子４の形状は第１図（ｂ）に示すように、２つの磁気
回路５，５′でなっている。磁気回路５は磁性薄膜１１
，１３により、磁気回路５′は磁性薄膜１１’　、１３
により構成される。各々の磁気回路には、書込用コイル
６．６′と、再生用ＭＲ素子（磁気抵抗効果型素子）７
．７’　が形威されている。また、２つの磁気回路間の
干渉をなくすために、干渉防止用溝８が形威されている
。

２つの素子の浮上面（媒体対向面）から見た磁極形状を
第１図（ｃ）に示す。各々のギャップ１２゜１２′はそ
れぞれ異なった角度θ、θ′で形成されている。また、
トラック幅は、ＴＶ、ＴＷ’のようになっており、第２
図（ｃ）で示したヘッド素子が２個複合され、磁気ギヤ
ツブ角度Ｏとθ′の異なる２つの磁気回路によって、ア
ジマス記録が可能となっている。

このような磁極形状の磁気ヘッドの製造方法について、
第３図を用いて説明する。

まず、素子を形成する基板９（例えば、アルミナ、チタ
ン、カーバイト等）の上に、ベース膜１０（例えばアル
ミナ等）をスパッタリング等により形成する（第３図（
ａ）　、　（ｂ））。その上に、パーマロイ等の第１の
磁性膜１１をスパッタリング法、メツキ法等により形成
しく同図（Ｃ））、その磁性膜１１にイオンミリング、
エツチング、機械加工等を施すことによって、所定の角
度をもった溝１１ｓを設けて一部除去しく同図（ｄ））
、ギャップ膜１２（例えば、アルミナ、Ｓｉｎ、等を０
．３μｍ程度の厚みで）と、パーマロイ等の第２の磁性
膜１３を形成する（同図（ｅ））。その後、第２の磁性
膜上３の一部をイオンミリング等で平坦化し、アルミナ
等の保護膜１４を形成する（同図（ｆ））。第１または
第２の磁性膜の厚み方向からの傾き成分（前述のように
、ｄｃｏｔθまたはｄ　ｃｏｔθ′）がトラック幅ＴＷ
′を与える。本実施例では、θ’　＝１８０’−〇、す
なわちＴＷ＝ＴＷ’　として、アジマス記録再生を行な
うようになっている。

第４図は、第１図の磁極形状の磁気ヘッドの他の製造方
法を示す。基板９上（ベース膜１０があってもよい）に
、イオンミリング、エツチング。

機械加工等により、所定の溝１０ｓを設け（同図（ａ）
　、　（ｂ）　、　（Ｃ）　）、該溝１０ｓに磁性膜１
１を形威しく同図（ｄ））、更にその磁性膜１１に対し
イオンミリング、エツチング、機械加工等を施すことに
より、所定の角度でもって該磁性膜１工の一部を除去し
て１１１１１ｓを形威しく同図（ｅ）　、　（ｆ））、
該溝１１ｓに順次ギャップ膜１２．第２の磁性膜１３を
形・或しく同図（ｇ））、その後、第２磁性膜１３の一
部をイオンミリング等で平坦化し、アルミナ等の保護膜
１４を形成する。本実施例でも、第３図と同様に、第Ｉ
または第２の磁性膜の厚みの傾き成分がトラック幅を与
える。

第５図は、他の形状構造の磁気ヘッド素子の実施例の概
略の外観図である。肉牛、第１図と同一名称部分には同
一符号を付し、説明を省酩する。

第５図（ａ）は（第１図の複合素子に代えて）、単一の
素子とした場合を示す。本実施例で、再生磁束をＭＲ素
子７にできるだけ多く導くため、素子７よりも後方（コ
イル６側）の磁路５部分に、非磁性ギャップを設けるこ
とができる。同図（ｂ）は（同図（ａ）のＭＲ素子を磁
気回路５，５′外に設けたものに代えて）、ＭＲ素子７
を磁気回路５中に入れた場合を示す。同図（Ｃ）は、磁
気回路５に２個のＭＲ素子７，７′を設け、これらのＭ
Ｒ素子の出力を差動的に取り出すように配置した例を示
す。同図（ｄ）は、ＭＲ素子を用いず、記録・再生共に
コイル６を用いてインダクテイブ型とじたものである。

再生用にＭＲ素子を用いることにより、コイルは書込み
専用となり、少ない巻数でよいから、より小型化、高効
率化が可能となる。また、記録用素子と再生用素子とを
それぞれ専用化してもよい。

更に、１つのスライダー２の両側に形成された２個のレ
ール２ａ、２ｂ　（第１図（ａ）参照）にそれぞれ異な
るアジマス角のヘッド素子を取付けることにより、アジ
マス記録・再生を行なってもよい。

第６図は、ヘッド素子の形成方法・取付は方法に関する
他の実施例について、スライダー面（媒体対向面）から
見た状態を示す。

第６図（ａ）は、スライダーの両側のレール２ａ。

２ｂにそれぞれ取付けた２つの磁気ヘッド素子の磁気ギ
ャップ１２ａと１２ｂの傾斜角θ、と０２が等しい（θ
１＝０２）場合であり、録・再分離用（−方のギャップ
を記録用、他方のギャップを再生用）である、同図（ｂ
）および（ｃ）はθ１≠０２の場合であり、アジマス記
録用（それぞれのギャップで、媒体の隣接トラックに信
号を記録し、または再生する）である。同図（ｄ）　、
　（ｅ）　、　（ｆ）は、レール２ａと２ｄにそれぞれ
２個のギャップ１２ａ、１２ａ’（または１２ｂ、１２
ｂ’　）を有する複合ヘッド素子を取付け、都合、４個
のギャップを形成した場合で、ギャップ１２ａと１２ａ
’　とは異なるアジマスを有するが、ギャップ１２ａと
１２ｂは同一アジマス、ギャップ１２８′と１２ｂ′は
同一アジマスとされており、必要に応じて、録・再分離
用としたり、アジマス記録・再生用とすることができる
。

次に、第７図および第８図により、本発明の他の実施例
の磁気ヘッドの構造およびその製造方法を説明する。

第７図は他の実施例の磁気ヘッド素子を取付けたスライ
ダーの外観図である。磁気ヘッド素子４は、スライダー
２の流出端のレール２ａ寄りに形成されている。１１は
第１の磁性膜、６はコイル、１３は第２の磁性膜である
。

第８図により、第７図のヘッドの製造方法を説明する。

スライダー２を構成する基板９（ベース膜１０があって
もよい）に、イオンミリング、エツチング、機械加工等
により、所定の溝１６を形成する（第８図（ａ）　、　
（ｂ））。溝１６内に、第１磁性膜１１を、スパッタリ
ング法、メツキ法等により形成する（同図（Ｃ））。そ
の後、溝内に、非磁性材１７（例えばガラス等）を充填
しく同図（ｄ））、磁性膜厚の傾き成分が露出するよう
に、ラッピング等により平坦に仕上げる（同図（ｅ））
。その後、ギャップ膜１２を形成すると共に、該ギャッ
プ膜およびレジスト等を絶縁材およびマスク材としてコ
イル６を形成した後に、第２の磁性膜１３を形成する（
同図（ｇ））。得られた磁気ヘッド素子の磁極の媒体対
向面の形状は、はぼ第２図（ｄ）に示した構造となり、
磁気トラック長方向は、ギャップ面１２に垂直な方向（
第８図（ｇ）で上下方向）である。

本実施例によれば、記録特性に与える影響の大きい流出
端側の磁極（第２磁性膜１３）が薄くできるので、記録
減磁がなく良好な特性が得られる。

第９図は、スライダー２に種々の形状構造の磁性膜を形
成する方法の実施例を、スライダーの媒体対向面の外観
図により示したものである。同図（ａ）は、第７図〜第
８図のようなヘッド素子を左右のレール２ａ、２ｂにそ
れぞれ（磁性膜１１ａ。

１３ａによるヘッド素子と、磁性膜１１ｂ、１３ｂによ
るヘッド素子）形成した場合である。第９図（ｂ）は、
第１磁性膜１１を両ヘッド素子に共通とし、第２磁性膜
１３ａ、１３ｂは別々とした場合である。第９図（Ｃ）
は、両ヘッド素子間の干渉を防止するため、第１磁性膜
１１を分離した場合である。第９図（ｄ）は第１磁性膜
１１をスライダー流出端の角部に形成した場合である。

また、第１磁性膜１１は、ギャップ面と非平行であれば
よく、例えば第９図（ｅ）のような曲面でもよい。

第１０図は、他の実施例による磁気ヘッドの外観図で、
本実施例は、第９図（ｄ）の実施例で、更に、スライダ
ー２の側面にＭＲ素子７を形成し、記録はインダクテイ
ブ型、再生はＭＲ型とした場合である。なお、１１は第
１磁性膜、１３は第２磁性膜である。このＭＲ素子７は
、図中の非磁性材１８中に埋め込まれるように形成して
もよい。

第９図の実施例でも、各々の素子を記録用と再生用とに
専用化することもできる。

また、各実施例中の金属磁性膜は、Ｃｒや、アルミナ、
ＳｉＯ□等を中間膜として多層化することにより、高性
能化することができる。特に、絶縁中間膜を用いた場合
は、各金属磁性膜が相互に絶縁され、それによって渦流
損失を低下し特性を向上することができる。

また、ヘッド素子は、チップ状に形成して、これをスラ
イダーの流出端や側面に接着等により取付けてもよい、
あるいは、ヘッド素子をスライダーの一部に埋め込むこ
ともできる。

また、上記第１図（Ｃ）の実施例で、ＴＷ＝ＴＷ’とな
るようにθ、θ′を設定すると共に、トラック幅ＴＷ（
＝ＴＷ’　）とトラック間スペース（ＴＷとＴＷ’の間
の距１ｌｌ）とを等しくする。すなわち、トラックピッ
チをトラック幅ＴＶ　（＝ＴＷ’　）の２倍に設定する
。そして、磁気ディスク記録媒体が１回転する毎に両ヘ
ッド素子（ギャップ１２と１２′）が１トラツクずつ移
動して行くが、この１回転毎に両ヘッドを交互に切換え
て動作（記録または再生）させる、かくするときは、隣
接トラックが密接した（ガートバンドのない）磁気ディ
スク媒体に対して、＃１，３，５．・・・・・・のトラ
ックは例えばヘッド（ギャップ）１２により、＃２゜４
．６．・・・・・・のトラックはヘッド（ギャップ）１
２′により、交互に記録再生が行なわれ、アジマス記録
または再生を行なうことができる。−殻内には、両ヘッ
ド素子（１２，１２″）の間隔をトラック幅（Ｔ　Ｗ　
＝　Ｔ　Ｗ　’　）の偶数倍とすることにより。

同様な記録・再生を行なうことができる。

上記実施例で、磁性薄膜材としては、パーマロイ、セン
ダスト、コバルトアモルファス等を用いることができる
。この場合、上記実施例では、第１磁性薄膜１１と第２
磁性薄膜１３を同一磁性材料で作製したが、第２図（ｄ
）の実施例等では、磁極の薄い方の磁性薄膜１３を、磁
極の厚い方の磁性薄膜１１に比べて飽和しにくい材料を
用いることにより、両磁性薄膜をバランスさせ、強い磁
界を発生するヘッドを得ることができる。

また、上記２つ以上のヘッド素子を有する磁気ヘッドを
同時に動作させて、並列に記録・再生を行なうこともで
きる。

［発明の効果］ 以上詳しく説明したように、本発明によれば、磁気ギャ
ップ形成面を磁性薄膜の膜形成面に対して傾斜させると
共に、トラック長方向を膜形成面と交わらせ、磁性薄膜
の膜厚に基づいてトラック幅を決定したので、狭トラツ
ク幅を磁性薄膜の膜厚により高精度で決めることができ
ると共に、形状効果（うねり）および記録減磁作用を防
止することができる。

また、流入側磁性薄膜の磁極長を流出側に比べて長くす
ることにより、高保磁力記録媒体に適した高飽和磁束密
度が得られ、複数の磁気ヘッド素子の各磁気ギャップの
傾斜角をトラック幅に対して異ならしめることにより、
アジマス記録再生が可能となり、同一アジマス角の少な
くとも２個の磁気ヘッド素子を所定間隔で配列すること
により、録・再分離が可能となる。

したがって、単位トラック長当りの記録密度および、単
位幅当りのトラック密度を高め、高密度の記録・再生が
可能となる等、優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の薄膜磁気ヘッドの外観図、
第２図は本発明の薄膜磁気ヘッドの原理の説明図、第３
図は本発明の一実施例の薄膜磁気ヘッドの製造方法の説
明図、第４図は本発明の他の実施例の薄膜磁気ヘッドの
製造方法の説明図、第５図、第６図、および、第７図は
いずれも本発明の他の実施例の薄膜磁気ヘッドの外観図
、第８図は本発明の更に他の実施例の薄膜磁気ヘッドの
製造方法の説明図、第９図および第１０図はいずれも本
発明の更に他の実施例の薄膜磁気ヘッドの外観図である
。 ２・・・・・・スライダー、３・・・・・・磁気記録媒
体移動方向、４・・・・・・磁気ヘッド素子、５，５″
・・・・・・磁気回路、６，６′・・・・・・コイル、
７．７’・・・・・・再生用ＭＲ素子、９・・・・・・
基板、１０・・・・・・ベース膜、１１゜１１′ ・・・・・・第１磁性（薄）膜、 １２゜ １２′ ・・・・・・磁 気ギャップ、 １３・・・・・・第２磁性（薄）膜、 １４・・・・・・ 保護膜。 第２図 （ｅ） （ｆ） 第３図 第５図 （Ｇ） ｌピ （ｂ） 第４図 第６図 第７図 第８図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、第１の磁性薄膜と、先端部で磁気ギャップを介して
   前記第１の磁性薄膜の先端部と接続され後端部で前記第
   １の磁性薄膜の後端部と接続される第２の磁性薄膜と、
   前記第１および第２の磁性薄膜ならびに前記磁気ギャッ
   プにより構成される磁気回路と鎖交する電気コイルとを
   有する薄膜磁気ヘッドにおいて、磁気ギャップ形成面を
   前記第１および第２の磁性薄膜の少なくとも一方の薄膜
   形成面に対して所定の角度で傾斜させると共に、該薄膜
   形成面をトラック長手方向に対して非平行とし、前記少
   なくとも一方の磁性薄膜の膜厚に基づいてトラック幅を
   定めるように構成したことを特徴とする薄膜磁気ヘッド
   。 ２、トラック幅に対して、各々異なつた角度をもつ磁気
   ギャップを有する磁性薄膜を用いて、アジマス記録また
   は再生を行なうように構成したことを特徴とする請求項
   １記載の薄膜磁気ヘッド。 ３、媒体移動方向流入側の第１の磁性薄膜により形成さ
   れる磁極の該媒体移動方向に沿う厚みを、媒体移動方向
   流入側の第２の磁性薄膜により形成される磁極の同様な
   厚みよりも厚くしたことを特徴とする請求項１または２
   記載の薄膜磁気ヘッド。 ４、再生用素子として磁気抵抗効果型素子を用いたこと
   を特徴とする請求項１、２、または３記載の薄膜磁気ヘ
   ッド。 ５、基板上に第１の磁性薄膜を形成する工程と、該第１
   の磁性薄膜を所定の傾斜角をもつて一部除去する工程と
   、該一部除去した第１の磁性薄膜上に順に磁気ギャップ
   膜および第２の磁性薄膜を形成する工程とを含み、第１
   および第２の磁性薄膜の少なくとも一方の薄膜形成面に
   対してトラック長手方向を非平行とすることにより、少
   なくとも一方の磁性薄膜の厚みのトラック幅方向成分を
   トラック幅とするように構成したことを特徴とする薄膜
   磁気ヘッドの製造方法。