JP2004342164A - 磁気ヘッド及びそれを搭載した磁気ディスク装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】主磁極1と補助磁極3を有する単磁極ヘッドにおいて、主磁極のトレーリング側に磁性体32を配置し、その磁性体に主磁極に向かって突出する凸部32aを設け、凸部の主磁極に対向する辺の幅Nwを主磁極のトレーリング側の幅Twwより狭くする。
【選択図】 図5
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、垂直磁気記録に適した磁気ヘッドとその製造方法及びその磁気ヘッドを搭載した磁気ディスク装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
磁気ディスク装置では、記録媒体上のデ−タは磁気ヘッドによって読み書きされる。磁気ディスクの単位面積当たりの記録容量を高めるためには、面記録密度を高密度化する必要がある。しかしながら、現状の面内記録方式では、記録されるビット長が小さくなると、媒体の磁化の熱揺らぎのために面記録密度が上げられない問題がある。この問題の解決のために媒体に垂直な方向に磁化信号を記録する垂直記録方式がある。
【0003】
垂直記録方式には、記録媒体として軟磁性の裏打層を備えた二層垂直磁気記録媒体を用いる方式と、裏打層を有さない単層垂直媒体を用いる方式の2種類があるが、記録媒体として二層垂直磁気記録媒体を用いる場合には、主磁極と補助磁極とを備えたいわゆる単磁極ヘッドを用いて記録を行う必要がある。この場合、より強い磁界を媒体に印加することができる。
【0004】
記録するヘッド磁界の強度と共に記録ビットセルの境界を記録するヘッド磁界垂直成分における磁界勾配、すなわち、ヘッド走行方向のヘッド磁界垂直成分の磁界勾配も高い記録密度を実現するための非常に重要な要素である。今後、さらに高い記録密度を達成するためには、さらに磁界勾配を増大しなければならない。また、記録ビットセルの磁化反転形状の湾曲は、高い記録密度を実現する際の障害となる。
【0005】
また、記録密度の向上のためには、垂直記録においてもトラック密度と線記録密度を向上する必要があるが、トラック密度向上のためには、磁気ヘッドのトラック幅を微細、高精度化する必要がある。二層垂直磁気記録媒体に単磁極ヘッドを用いて垂直磁気記録を行う場合、単磁極ヘッドの磁極から発生する記録磁界の分布は、面内磁気記録用の薄膜インダクティブヘッドの場合と大幅に異なっており、ヘッド記録磁界強度の等高線は、主磁極の中心部を最大強度として同心円状に分布し、等高線の外側ほど膨らんだ分布をする。従って記録される磁化反転形状も、トラック端部よりトラック中心部の磁化反転位置がディスク回転方向側に位置し湾曲してしまう。このような現象は実際に磁気力顕微鏡(MFM:Magnetic Force Microscopy)の観察結果から明らかとなっている。
【0006】
上述の現象は、主磁極となる磁性体が一つのため発生する。磁極ヘッドの主磁極の近傍に磁性体からなるシールドを設けた磁気ヘッドが知られており、例えば、次の特許文献1と非特許文献1〜6に記載されている。これら文献に開示されている技術は、磁界勾配の増大に対して鑑みてなされたもので、記録ビットセルの磁化反転形状の湾曲の改善については考慮されていない。また、特許文献2には補助磁極に突出部を設けた構造が記載されているが、この突出部は磁界を吸い込む上記シールドとは異なり、また、主磁極から数ミクロンはなれているため、後述する本発明のような効果は期待できない。
【0007】
【特許文献1】
米国特許第4656546号
【特許文献2】
特開2002−92820号公報
【非特許文献1】
IEEE Transactions on Magnetics. Vol. 34, No1, pp.1719−1724 (2002)
【非特許文献2】
IEEE Transactions on Magnetics. Vol. 38, No1, pp.163−168 (2002)
【非特許文献3】
電子情報通信学会技術研究報告MR2001−87, pp.21−26
【非特許文献4】
電子情報通信学会技術研究報告MR2002−65, pp.1−6
【非特許文献5】
47th Annual Conference on Magnetism and Magnetic Materials,アブストラクト番号FA02
【非特許文献6】
47th Annual Conference on Magnetism and Magnetic Materials,アブストラクト番号FA03
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
記録するヘッド磁界の強度や磁界勾配と共に磁界分布、特に媒体に記録されたビットの磁化反転形状を決定するトレーリング側(ディスク回転方向の下流側)の磁界分布の直線化も高い記録密度を実現するための重要な要素である。媒体磁化反転形状がトラック方向に対して湾曲すると、巨大磁気抵抗効果素子(GMR)ヘッドやトンネル磁気抵抗効果型素子(TMR)ヘッド等で再生する際に磁化反転幅が大きく見えて孤立波の半値幅が増大すると同時に、記録トラック幅が線記録密度の上昇に伴い狭められるといった問題が生じる。今後、さらに高い記録密度を達成するためにはさらに磁化反転形状の湾曲改善しなければならない。
【0009】
本発明は、記録ビットセルの磁化反転形状の湾曲を改善できる垂直磁気記ヘッドとその垂直磁気記録ヘッドを搭載した磁気ディスク装置を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明では、主磁極と補助磁極を有する単磁極ヘッドにおいて、主磁極のトレーリング側に磁性体を配置し、その磁性体に主磁極に向かって突出する凸部を設け、凸部の主磁極に対向する辺の幅を主磁極のトレーリング側の幅より狭くする。凸部の形状は、例えば矩形あるいは台形とする。
【0011】
本発明者らは、記録磁界を3次元計算機シミュレーションにより計算し、上記形状の記録ヘッド用いると、磁界分布をトラック幅方向に直線的にし、記録ビットセルの磁化反転形状の湾曲を改善できことを見出した。磁界分布がトラック幅方向に直線的になると、記録ビットの磁化反転幅を小さくでき、磁化反転形状の湾曲による再生分解能の劣化の程度を抑制できる。さらに、この記録ヘッドを搭載することにより、従来よりも記録密度の向上した磁気ディスク装置が得られる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
図1(a)は本発明による磁気ディスク装置の構成例を示す概略説明図であり、図1(b)はその磁気ヘッドスライダー部分の拡大図、図1(c)は図1(b)の磁気ヘッド部分のヘッド浮上面から見た拡大図である。
【0013】
磁気ディスク装置は、矢印17の方向に回転する磁気ディスク11に対して、磁気ヘッド14によって磁化信号の記録再生を行なう。磁気ヘッド14は磁気ヘッドスライダー13に搭載され、磁気ヘッドスライダー13は、ロータリーアクチュエータ15によって回転されるサスペンションアーム12の先端軟磁性に固定されている。磁気ヘッド14は記録ヘッド16と再生ヘッド18からなり、再生ヘッド18は下部シールド8と上部シールド9の間に再生素子7を配置した構成を有する。また、記録ヘッド16は主磁極1、補助磁極3、主磁極のトレーリング側に配置された磁性体(シールド)32を有する。
【0014】
図2は、磁気ヘッド14と垂直磁気記録用磁気ディスク11との関係例を示す概略図である。主磁極1を構成する磁性体のトラック方向の幅はフレアポイント33と呼ばれる位置で絞り込まれている。主磁極1のフレアポイント33から浮上面までの距離34はスロートハイトと呼ばれる。
【0015】
図3は、垂直記録の概略を示す説明図である。記録信号が流れる導体薄膜コイル2は、主磁極1、補助磁極3、記録層19、軟磁性裏打ち層20によって作られる磁気回路と磁気的に結合している。主磁極1から出た磁界は、磁気ディスク(垂直磁気記録媒体)の記録層19、軟磁性裏打ち層20を通り、補助磁極3に入る磁気回路を形成し、記録層19に磁化パターンを記録する。記録層19と軟磁性裏打ち層20の間には中間層が形成されている場合もある。再生ヘッドの再生素子7には巨大磁気抵抗効果素子(GMR)やトンネル磁気抵抗効果型素子(TMR)などが用いられる。
【0016】
図4は、本発明による磁気ヘッドの他の構成例を示す図であり、図3に示した磁気ヘッドとは、ディスク回転方向17に対する主磁極1と補助磁極3の位置関係が逆になっている。すなわち、図3に示した磁気ヘッドの記録ヘッドは、補助磁極3が主磁極1に対してディスクの回転方向の上流側(リーディング側)に配置されているが、図4に示した磁気ヘッドの記録ヘッドは、補助磁極3が主磁極1に対してトレーリング側に配置されている。この配置の場合、磁性体32は補助磁極3と接合されていてもよい。これ以外にも、再生ヘッドの上部シールドが記録ヘッドの補助磁極を兼用するような構成も可能である。いずれの記録ヘッドでも二層垂直磁気記録媒体への記録原理は同じである。
【0017】
図5は、本発明による記録ヘッドの一例を浮上面からみた模式図である。この記録ヘッドは、主磁極1のトレーリング側に配置された磁性体32を有する。磁性体32は主磁極1に向かって突出する突出部32aを有し、突出部32aは、主磁極1のトレーリング側の辺と平行となる主磁極1に最も近い辺の幅Nwを主磁極1のトレーリング側の辺の幅Twwより小さく設定してある。この磁性体32は補助磁極3と接合されていてもよい。
【0018】
補助磁極3は、図3に示すように主磁極1のリーディング側に配置されていても良いし、図4に示すようにトレーリング側に配置されていても良い。あるいは、主磁極1のリーディング側及びトレーリング側の両側に配置されていても良い。図5にはトレーリング側に配置されている例を示した。
【0019】
磁性体32の設置目的は記録磁界を吸い込むことであって補助磁極とは機能が異なり、ヘッド奥行き方向の厚さは薄いことが必要である。そして磁性体32の主磁極と対向する位置にTww>Nwの関係を有する突出部32aを設けると、主磁極中心部分の磁界を主磁極端より強く吸い込むことにより、等磁界線の湾曲が抑えられることを発明者らは発見した。特許文献1と非特許文献1〜6に記載されている技術はトラック幅全体にわたって磁界を吸い込むので、等磁界線の湾曲を抑えることはできない。
【0020】
図6及び図7を用いて、本発明者らが行った3次元磁界計算について説明する。図6(a)は従来構造の凸部分がない磁性体をトレーリング側に配置した単磁極ヘッドが発生する磁界強度の等磁界線を示し、図6(b)は図5に示す構造を有する本発明の単磁極ヘッドが発生する磁界強度の等磁界線を示したものである。磁界強度は、磁気ディスクの記録層の厚さ方向中央部における磁界強度である。
【0021】
主磁極の飽和磁束密度は2.2[T]、幾何学的幅は160[nm]とした。トレーリング側に配置された磁性体の飽和磁束密度は1.0[T]とした。図中の点線は主磁極1及び磁性体32の主磁極1に対向する部分を示している。線間隔は7.96×104[A/m]である。
【0022】
図6(a)と図6(b)の比較から、本発明の単磁極ヘッドでは、トレーリング側の等磁界線の湾曲が従来構造の単磁極ヘッドよりも抑制されていることがわかる。従来構造の凸部分がない磁性体(シールド)を有する単磁極ヘッドの場合、例えば、最大記録磁界強度の半分の強度の等磁界線の主磁極のトレーリング位置からの距離は、トラックエッジで83nm、トラック中心で94nmであり、その差L1は11nmだけ膨らんでいた。一方、本発明の凸部がある磁性体(シールド)を有する単磁極ヘッドは、トラックエッジで89nm、トラック中心で98nmであり、その差L1は9nmと減少し、より直線的な磁界分布となっている。
【0023】
図7(a)、(b)はそれぞれ図6(a)、(b)の二つのヘッド磁界を用いて、媒体の記録磁化状態を計算したシミュレーション図である。図7(a)は図6(a)に対応し従来構造の単磁極ヘッドによる記録磁化状態を示し、図7(b)は図6(b)に対応し本発明の単磁極ヘッドによる記録磁化状態を示している。なお、最大磁界強度が等しい条件で比較した。図の白黒のコントラストは、黒がプラス方向に、白がマイナス方向に磁化されていることを表す。
【0024】
本発明の単磁極ヘッドを用いた図7(b)の記録磁化の方が、従来の単磁極ヘッドを用いた図7(a)の記録磁化より磁化反転が鮮明にかけていることがわかる。この時、従来構造の単磁極ヘッドで記録した記録磁化の再生分解能は27.9%であったのに対して、本発明のヘッド構造で記録したときの再生分解能は29.6%と改善された。このように本発明によると、再生分解能の向上がはかられ、より高い密度の磁気ディスク装置を実現できる。
【0025】
また、本発明の磁気記録ヘッドは、二層垂直磁気記録媒体のみならず、軟磁性裏打ち層を有する他の磁気記録媒体に対して適用しても同様の効果を得ることができる。例えば、斜め異方性媒体に対しても同様の効果を得ることができる。
【0026】
図8は、磁性体の主磁極に対向する側の形状の変形例を示す図である。主磁極のトレーリング側に配置される磁性体の主磁極に向かって突出する突出部の形状は、図5に示したような矩形形状であることは必ずしも必要とされない。例えば、図8(a)あるいは図8(b)に示すように、主磁極1のトレーリング側の辺の中心位置における主磁極1と磁性体32の辺との距離GLが、主磁極1のトレーリング側の辺の端の位置における主磁極と磁性体32の辺との距離GL2より小さくなるように、磁性体32から主磁極1に向かう突出部が磁性体32に設けられていれば、上述したのと同様の効果が得られる。
【0027】
また、主磁極1のトレーリング側に配置された磁性体32は記録磁界を吸い込むことが目的であり、ヘッド奥行き方向の厚さは薄いことが必要である。図9は、磁性体の厚さと等磁界線の湾曲の程度の関係を示す図である。図9の横軸は磁性体32の厚さ、縦軸は最大記録磁界強度の半分の強度の等磁界線の主磁極までの距離の、トラック中心とトラックエッジにおける距離との差L1である。図9から、磁性体32の厚さが主磁極1の絞り込まれる位置すなわちフレアポイントから浮上面までの距離すなわちスロートハイトと同程度にすると、L1が小さくなることが分かる。したがって、本発明では磁性体32の厚さをスロートハイトより小さくすることが望ましい。
【0028】
磁気ディスク装置において、主磁極1のトレーリング側の辺はトラック方向に必ずしも垂直とは限らず、図10に示すように斜めになる、いわゆるスキュー角αがつく。主磁極トレーリング側に補助磁極32に接合された磁性体32の凸部32aの主磁極1に対向する側の辺は、スキュー角αがついたときでも主磁極1のトラック方向幅よりはみ出さないのが望ましい。そのためには、主磁極トレーリング側の辺の幅Tww、磁性体32の凸部32aの主磁極1に対向する辺の幅Nw、及び磁性体32の凸部32aの端から主磁極1までの距離GLEは、スキュー角の最大値αに対して、次式の関係式を満たすように設定するのが好ましい。このように設定することにより、等磁界線を直線的にできる。
0.5×(Tww−Nw)≦GLE×tanα
【0029】
図11は、主磁極と磁性体との間の距離と等磁界線の湾曲の程度の関係を示した図である。図11の横軸は、主磁極とそのトレーリング側に設置された補助磁極に接合された磁性体との最短距離GLを、主磁極の浮上面から軟磁性裏打ち層までの距離ATSで規格化した値である。図11の縦軸は、最大記録磁界強度の半分の強度の等磁界線の主磁極までの距離の、トラック中心とトラックエッジにおける距離との差L1である。差L1が大きいほど等磁界線が湾曲していることになる。図11から、GLが大きいとL1が大きくなり等磁界線を直線的にする効果が得られず、逆にGLが小さすぎてもL1が大きくなり、等磁界線を直線的にする効果が小さいことがわかる。図から、GL/ATSを0.4以上、1.5以下にすると、L1を10nm以下に抑えることができ、等磁界線を直線的にする効果が高いことが分かる。
【0030】
図12は、本発明の磁気ヘッドの製造方法の一例を示す工程図である。図は、ヘッドの浮上面方向から見た図である。
最初、図12(a)に示すように、無機絶縁膜101、主磁極となる磁性膜102、ギャップとなる無機絶縁膜103、磁性体(シールド)の凸部となる磁性膜104、 ケミカルメカニカルポリッシュ(CMP)のストッパ105、無機絶縁膜106を順に積層し、さらにリフトオフ方式でレジスト107を図のような形状で形成する。次に、図12(b)に示すように、イオンミリングし、磁性膜102を主磁極の形状に形成する。その後、図12(c)に示すように、無機絶縁膜101′を図のように形成し、図12(d)に示すように、イオンミリングして、主磁極の幅より狭い、磁性体片104を形成する。この磁性体片104が、主磁極トレーリング側に配置された磁性体の凸部となる。
【0031】
次に、図12(e)に示すように無機絶縁膜101′を形成し、図12(f)に示すようにCMPにより平坦化する。その後、主磁極と補助磁極を接合するピラー及び凸部以外の主磁極トレーリング側に配置される磁性体を形成するための溝を形成し、そこに磁性体104′を形成する。その後、図12(f)の点線で囲まれた部分をミリングにより除去することにより、図12(g)に示すような本発明のヘッド構造が得られる。
【0032】
【発明の効果】
本発明によると、記録ビットセルの磁化反転形状の湾曲を改善できる記録ヘッドが得られる。その記録ヘッドを搭載することにより高記録密度に適した磁気ディスク装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による磁気ディスク装置の構成例を示す概略図。
【図2】磁気ヘッドと磁気ディスクとの関係例を示す概略図。
【図3】垂直記録の概略図。
【図4】磁気ヘッドの構造の他の例を示す概略図。
【図5】本発明による記録ヘッドの一例を示す模式図。
【図6】記録磁界の等磁界曲線を示した図。
【図7】シミュレーションによる記録磁化状態を示した図。
【図8】磁性体の変形例を示す図。
【図9】磁性体の厚さと等磁界線の湾曲の程度の関係を示した図。
【図10】スキューがついた場合の記録ヘッドの配置を示す図。
【図11】主磁極と磁性体との間の距離と等磁界線の湾曲の程度の関係を示した図。
【図12】本発明の磁気ヘッドの製造方法の一例を示す工程図。
【符号の説明】
1…主磁極、2…薄膜導体コイル、3…補助磁極、7…再生素子、8…下部シールド、9…上部シールド、11…磁気ディスク、12…サスペンションアーム、13…磁気ヘッドスライダー、14…磁気ヘッド、15…ロータリーアクチュエータ、16…記録ヘッド、17…ディスク回転方向、18…再生ヘッド、19…記録層、20…軟磁性裏打ち層、32…磁性体、33…フレアポンイント、34…スロートハイト
Claims (10)
- 主磁極と補助磁極を有する記録ヘッドを備える磁気ヘッドにおいて、
前記主磁極のトレーリング側に磁性体が配置され、前記磁性体は前記主磁極に向かって突出する凸部を有し、前記凸部の前記主磁極に対向する辺の幅は、前記主磁極のトレーリング側の幅より狭いことを特徴とする磁気ヘッド。 - 請求項1記載の磁気ヘッドにおいて、前記補助磁極は前記主磁極のトレーリング側に、前記磁性体より遠い位置に配置されていることを特徴とする磁気ヘッド。
- 請求項2記載の磁気ヘッドにおいて、前記磁性体は前記補助磁極に接合されていることを特徴とする磁気ヘッド。
- 請求項1記載の磁気ヘッドにおいて、前記補助磁極は前記主磁極のリーディング側に配置されていることを特徴とする磁気ヘッド。
- 請求項1記載の磁気ヘッドにおいて、磁気抵抗効果素子を有する再生ヘッドを備えることを特徴とする磁気ヘッド。
- 請求項1記載の磁気ヘッドにおいて、前記磁性体の浮上面に垂直な方向の厚さは前記主磁極のスロートハイト以下であることを特徴とする磁気ヘッド。
- 記録層と軟磁性裏打ち層を有するディスク状垂直磁気記録媒体と、記録ヘッド及び再生ヘッドを備える磁気ヘッドと、前記磁気ヘッドを前記ディスク状垂直磁気記録媒体に対して位置決めするロータリーアクチュエータとを含む磁気ディスク装置において、
前記記録ヘッドは、主磁極と、補助磁極と、前記主磁極のトレーリング側に配置された磁性体とを有し、前記磁性体は前記主磁極に向かって突出する凸部を有し、前記凸部の前記主磁極に対向する辺の幅は、前記主磁極のトレーリング側の幅より小さいことを特徴とする磁気ディスク装置。 - 請求項7記載の磁気ディスク装置において、最大スキュー角α、前記磁性体の凸部の前記主磁極に対向する辺の幅Nw、前記主磁極のトレーリング側の幅Tww、前記磁性体の凸部と前記主磁極との間の距離GLEが以下の関係を満たすことを特徴とする磁気ディスク装置。
0.5×(Tww−Nw)≦GLE×tanα - 請求項7記載の磁気ディスク装置において、前記主磁極と前記磁性体との間の最短距離GLと、前記主磁極の浮上面から前記ディスク状垂直磁気記録媒体の軟磁性裏打ち層までの距離ATSとの比(GL/ATS)が0.4以上、1.5以下であることを特徴とする磁気ディスク装置。
- 主磁極と、補助磁極と、前記主磁極のトレーリング側に配置され、前記主磁極に向かって突出する凸部を有し、前記凸部の前記主磁極に対向する辺の幅が前記主磁極のトレーリング側の幅より小さい磁性体とを有する記録ヘッドを備える磁気ヘッドの製造方法において、
主磁極となる第1の磁性膜、ギャップとなる非磁性膜、前記凸部となる第2の磁性膜、CMPストッパ膜、無機絶縁膜を順に積層した積層膜を形成するステップと、
前記積層膜の上にリフトオフ方式でレジストパターンを形成するステップと、
前記レジストパターンをマスクとするイオンミリングによって前記第1の磁性膜を主磁極の形状に加工するステップと、
前記主磁極の形状に加工された前記第1の磁性膜及び前記ギャップとなる非磁性膜の周囲に無機絶縁膜を形成するステップと、
イオンミリングによって前記第2の磁性膜を前記凸部となる磁性体片に加工するステップと
を含むことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
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