TW201837350A - 位置控制裝置、油壓驅動裝置 - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種能夠提高油壓缸的活塞位置的微小位移的精度之位置控制裝置等。該位置控制裝置具備：工作油供給部，向油壓缸供給工作油；及控制部，藉由控制工作油供給部來控制油壓缸的活塞的位置，控制部藉由從工作油供給部向油壓缸間斷地供給工作油而使活塞的位置與目標位置對齊。並且，具備油壓缸以及向油壓缸供給工作油之工作油供給部，工作油供給部在從油壓缸開始移動至達到既定的目標位置為止之期間將工作油間斷地供給至油壓缸。

Description

位置控制裝置、油壓驅動裝置
[0001] 本發明係有關一種控制油壓缸的活塞的位置之位置控制裝置等。
[0002] 以往，已知有從工作油供給部向油壓缸供給工作油來驅動油壓缸之驅動裝置(例如，參閱專利文獻1)。 　　[0003] 在專利文獻1中，藉由從作為工作油供給部之油壓泵向油壓缸供給工作油，油壓缸的活塞發生移動，從而連結成能夠與活塞一體移動之平面磨床的工作台被驅動。 [先前技術文獻] [專利文獻] 　　[0004] 　　專利文獻1：日本特開2013-160318號公報
[本發明所欲解決之課題] 　　[0005] 然而，例如將如平面磨床的工作台般一邊滑動一邊移動之被驅動部以油壓缸驅動時，在微速區域中會發生所謂的黏滑(stick-slip)運動。因此，在根據位置偏差連續地改變流量之一般的反饋控制方法中，有可能反覆在目標位置的僅跟前黏附(停止)或者滑動而超過目標位置，從而無法保證所要求之微小位移的精度。 　　[0006] 因此，鑑於上述課題，其目的在於提供一種能夠提高油壓缸的活塞位置的微小位移的精度之位置控制裝置等。 [用以解決課題之手段] 　　[0007] 為了達成上述目的，在本發明的一實施形態中提供一種位置控制裝置，其控制油壓缸的活塞的位置， 　　該位置控制裝置具備： 　　工作油供給部，向前述油壓缸供給工作油；及 　　控制部，藉由控制前述工作油供給部來控制前述活塞的位置， 　　前述控制部藉由從前述工作油供給部向前述油壓缸間斷地供給工作油而使前述活塞的位置與目標位置對齊。 　　[0008] 並且，在本發明的另一實施形態中提供一種油壓驅動裝置，其具備： 　　油壓缸；及 　　工作油供給部，向前述油壓缸供給工作油， 　　前述工作油供給部在從前述油壓缸開始移動至達到既定的目標位置為止之期間將工作油間斷地供給至前述油壓缸。 　　[0009] [發明之效果] 　　依本實施形態，可提供一種能夠提高油壓缸的活塞位置的微小位移的精度之位置控制裝置等。
[0011] 以下，參閱圖式對用於實施發明之形態進行說明。 　　[0012] [油壓驅動裝置的構造] 　　首先，參閱第1圖對本實施形態之油壓驅動裝置100的構造進行說明。 　　[0013] 第1圖係概略地表示本實施形態之油壓驅動裝置100的構造的一例之圖。 　　[0014] 油壓驅動裝置100以藉由電動馬達2而旋轉驅動之油壓泵1驅動油壓缸3。油壓缸3例如用於驅動未圖示之平面磨床的工作台。以下，在驅動平面磨床的工作台之前提下對油壓缸3展開說明。 　　[0015] 另外，平面磨床的工作台例如在其下表面具有2條導軌(未圖示)，並且該2條導軌搭載成嵌入於設置在作為平面磨床的固定部之磨頭(未圖示)上之2條槽中並能夠滑動。並且，工作台的導軌與磨頭的槽之間的滑動面作為所謂的動壓滑動導引面發揮功能，並供給有潤滑油。 　　[0016] 油壓驅動裝置100包括油壓泵1、電動馬達2、油壓缸3、安全閥4L、4R、供油泵5、電動馬達6、梭閥7、減壓閥8、感測器9、控制器10等。 　　[0017] 油壓泵1(工作油供給部的一例)係藉由向油壓缸3供給工作油來驅動油壓缸3之雙向油壓泵。油壓泵1可以係固定容量型，亦可以係可變容量型。 　　[0018] 電動馬達2旋轉驅動油壓泵1。電動馬達2例如係AC伺服馬達。 　　[0019] 油壓缸3係具有由活塞3a隔開之油室3L及油室3R之油壓致動器。油室3L通過端口3b及管路C1與油壓泵1的端口1a流體地連通，油室3R通過端口3c及管路C2與油壓泵1的端口1b流體地連通。在本實施形態中，油壓缸3係具備向活塞3a的兩側延伸之2個桿之雙桿缸，2個桿中的任意一者與平面磨床的工作台(未圖示)結合。 　　[0020] 另外，油壓缸3亦可以係具備向活塞3a的一側延伸之1個桿之單桿缸，亦可以係如平面磨床的工作台與活塞3a直接結合之省略了桿之構造。 　　[0021] 當管路C1內的壓力成為既定壓力以上時，安全閥4L將管路C1內的工作油釋放到工作油罐T1中。並且，當管路C2內的壓力成為既定壓力以上時，安全閥4R將管路C2內的工作油釋放到工作油罐T1中。 　　[0022] 安全閥4L配置於將與工作油罐T1流體地連通之管路C3和管路C1相連之管路C4上。並且，安全閥4R配置於將管路C3和管路C2相連之管路C5上。 　　[0023] 供油泵5係以管路C1、C2各自的壓力成為既定的供油壓以上之方式吐出工作油之單向油壓泵。供油泵5可以係固定容量型，亦可以係可變容量型。並且，供油泵5每旋轉一次時的吐出量小於油壓泵1每旋轉一次時的吐出量。這是因為供油泵5只要能夠供給輔助主要的油壓泵1之程度的工作油即可。 　　[0024] 電動馬達6旋轉驅動供油泵5。電動馬達6例如係AC伺服馬達。電動馬達6以既定的轉速繼續旋轉，以使供油泵5以既定流速繼續吐出工作油。 　　[0025] 另外，電動馬達6亦可以為了改變供油泵5的吐出量以使供油泵5的吐出壓成為既定的供油壓而一邊改變轉速一邊旋轉。 　　[0026] 梭閥7係控制管路C1或管路C2與工作油罐T1及供油泵5各自之間的工作油的流動之閥，具有1個一次側端口7a和2個二次側端口7b、7c。 　　[0027] 一次側端口7a經由管路C6與供油泵5的吐出端口流體地連通，其中一個二次側端口7b經由管路C7與管路C1流體地連通，另一個二次側端口7c經由管路C8與管路C2流體地連通。 　　[0028] 具體而言，當管路C1內的壓力低於既定的供油壓時，梭閥7將供油泵5所吐出之工作油通過二次側端口7b導入到管路C1內。並且，當管路C2內的壓力低於既定的供油壓時，梭閥7將供油泵5所吐出之工作油通過二次側端口7c導入到管路C2內。 　　[0029] 當一次側端口8a的壓力成為既定的設定壓以上時，減壓閥8使一次側端口8a和二次側端口8b流體地連通而使一次側端口8a的工作油向二次側端口8b流出。 　　[0030] 一次側端口8a經由管路C9與管路C6流體地連通，二次側端口8b經由管路C10與工作油罐T1流體地連通。 　　[0031] 在本實施形態中，減壓閥8係電磁比例減壓閥，根據從控制器10供給之控制電流的大小來改變設定壓。減壓閥8的設定壓對應於供油泵5的供油壓。 　　[0032] 感測器9係檢測油壓缸3的動作狀態之感測器，例如係檢測活塞3a的位移之位置感測器。感測器9將所檢測之值輸出至控制器10。 　　[0033] 控制器10(控制部的一例)控制油壓驅動裝置100的動作。控制器10的功能可以藉由任意的硬體、軟體或該等的組合來實現，例如係具備CPU(Central Processing Unit：中央處理單元)，RAM(Random Access Memory：隨機存取記憶體)，ROM(Read Only Memory：唯讀記憶體)、輸入輸出介面等之計算機。 　　[0034] 控制器10例如根據來自用戶之輸入來決定平面磨床的工作台的所需移動距離(當前位置與和來自用戶之輸入相對應之目標位置之間的距離)，亦即活塞3a的所需移動距離。並且，控制器10根據所決定之活塞3a的所需移動距離，對電動馬達2輸出控制訊號(電壓指令)來驅動電動馬達2。藉此，控制器30能夠從油壓泵1向油壓缸3供給工作油來控制活塞3a的位置。亦即，油壓泵1、電動馬達2、控制器10作為控制油壓缸3的活塞3a的位置之位置控制裝置200的構成要素發揮功能。 　　[0035] 並且，控制器10基於感測器9的輸出一邊監視活塞3a的位置，亦即平面磨床的工作台的位置，一邊判定平面磨床的工作台是否已到達目標位置。具體而言，當基於感測器9的輸出之活塞3a的位置與目標位置的差收斂於既定範圍內時，控制器10判定為平面磨床的工作台已到達目標位置。 　　[0036] 當判定為平面磨床的工作台已到達目標位置時，控制器10對電動馬達2輸出用於使油壓泵1停止旋轉之控制訊號。 　　[0037] [基於位置控制裝置之油壓缸的位置控制方法] 　　接著，參閱第2圖～第4圖對基於本實施形態之位置控制裝置200之活塞3a的位置控制方法的詳細內容進行說明。 　　[0038] [原理] 　　首先，對成為基於位置控制裝置200之位置控制方法的前提之原理進行說明。 　　[0039] 使用活塞3a的受壓面積A和油室3L、3R之間的壓力差ΔP，以下式(1)表示使油壓缸3的活塞3a移動之推力F。 　　[0040]並且，根據工作油的壓縮性的定義，使用工作油的體積彈性係數Kv、從油壓泵1向油壓缸3吐出之工作油的體積ΔV、油壓缸3及與油壓缸3連通之整個管路的容積V0，以下式(2)表示油室3L、3R之間的壓力差ΔP。 　　[0041]並且，使用油壓泵1每旋轉一次時的排放容積Dp和油壓泵1的輸入軸的旋轉角位移Δθ[rad]，以下式(3)表示從油壓泵1向油壓缸3吐出之工作油的體積ΔV。 　　[0042]並且，使用輸入軸的角速度ω和啟動時間(以電動馬達2的動力來旋轉之時間)Δt，以下式(4)表示油壓泵1的輸入軸的旋轉角位移Δθ。 　　[0043]藉此，根據式(1)～式(4)，以下式(5)表示油壓缸3的推力F。 　　[0044]油壓缸3在其推力F大於平面磨床的工作台的滑動面上之靜止摩擦力Fr時，從停止狀態開始移動。因此，以式(1)至下式(6)表示為了從停止狀態開始移動所需之油室3L、3R之間的壓力差(最低所需壓力差)ΔPn。 　　[0045]並且，以式(5)至下式(7)表示用於產生最低所需壓力差ΔPn之油壓泵1的啟動時間(最低啟動時間)Δt0。 　　[0046]若使油壓泵1驅動超過最低啟動時間Δt0之時間，則油壓缸3的活塞3a發生位移。而且，以下式(8)表示此時的油壓缸3的活塞3a的位移量ΔX。 　　[0047]在油壓泵1的啟動時間Δt中從油壓缸3的活塞3a開始移動之後的實效的時間寬度為Δt-Δt0，以式(3)、式(4)至下式(9)表示從油壓泵1向油壓缸3吐出之工作油的體積ΔVe。 　　[0048]藉此，以式(8)、式(9)至下式(10)表示油壓缸3的活塞3a的位移量ΔX。 　　[0049]如此，依式(8)～式(10)，位置控制裝置200藉由控制油壓泵1的啟動時間Δt、亦即驅動油壓泵1之電動馬達2的啟動時間Δt來調整從油壓泵1供給至油壓缸3之工作油的容積ΔVe，其結果，能夠控制油壓缸3的活塞3a的位移量ΔX。因此，在本實施形態中，位置控制裝置200(具體而言，控制器10)反覆如下控制樣態，亦即每隔預先規定之控制週期將油壓泵1僅驅動短於控制週期之時間寬度(以下，稱為“脈衝寬度”)，剩餘時間則使油壓泵1停止。亦即，位置控制裝置200藉由從油壓泵1間斷地供給工作油，一邊將油壓缸3的活塞3a微量送出，一邊使油壓缸3的活塞3a與目標位置對齊。以下，將使用基於位置控制裝置200之該原理之控制方法稱為“吐出容量控制”。以下，對該吐出容量控制的詳細內容進行說明。 　　[0050] 另外，在位置控制裝置200中，在藉由感測器9檢測之活塞3a(亦即，平面磨床的工作台)的當前位置與工作台的目標位置的偏差非常微小的區域(以下，稱為“微小位移區域”)、亦即偏差小且工作台的速度非常微小的區域(以下，稱為“微速區域”)、亦即發生黏滑現象之速度區域中採用該控制方法。另一方面，在位置控制裝置200中，在與微小位移區域或微速區域相比偏差或速度更大的區域、亦即不會發生黏滑現象之速度區域中採用後述之通常的吐出流量控制。例如，位置控制裝置200通常開始進行吐出流量控制，並且在基於藉由感測器9檢測之活塞3a的位置計算之活塞3a(亦即，平面磨床的工作台)的速度成為設定為開始發生黏滑現象之臨界值(10mm/s前後)以上之既定速度(例如，10mm/s)以下時，由吐出流量控制切換成吐出容量控制。並且，例如，位置控制裝置200亦可以在吐出流量控制中生成之後述的速度指令(指令值ωc)成為將作為活塞3a的速度之上述既定速度(例如，10mm/s)換算成電動馬達2的轉速之既定轉速以下時，由吐出流量控制切換成吐出容量控制。 　　[0051] [本實施形態之位置控制方法的詳細內容] 　　接下來，參閱第2圖～第4圖對基於上述位置控制裝置200之吐出容量控制的詳細內容進行說明。 　　[0052] 第2圖係表示本實施形態之位置控制裝置200的構造的一例之控制系統的方塊圖。第3圖係表示本實施形態之位置控制裝置200中之控制指令(速度指令)的一例之圖。第4圖係表示藉由感測器9檢測之平面磨床的工作台的當前位置與目標位置的偏差與脈衝寬度之間的關係的一例之圖。 　　[0053] 如第2圖所示，位置控制裝置200包括控制器10、感測器9、電動馬達2、油壓泵1，控制作為控制對象之油壓缸3的活塞3a的位置、亦即與活塞3a連結之平面磨床的工作台的位置。 　　[0054] 控制器10根據基於來自用戶之輸入等之平面磨床的工作台的目標位置與藉由感測器9檢測之工作台的當前位置的偏差來驅動控制電動馬達2。控制器10包括偏差/脈衝寬度轉換器11和驅動器12。 　　[0055] 偏差/脈衝寬度轉換器11每隔預先規定之控制週期(例如，設定為1s以下)，根據工作台的目標位置與藉由感測器9檢測之工作台的當前位置的偏差來生成油壓泵1，亦即驅動油壓泵1之電動馬達2的速度指令。具體而言，如第3圖所示，偏差/脈衝寬度轉換器11將工作台的目標位置與藉由感測器9檢測之工作台的當前位置的偏差轉換成本次的控制週期Tc下的電動馬達2的啟動時間寬度，亦即脈衝寬度PWc(＜Tc)。而且，偏差/脈衝寬度轉換器11從控制週期Tc開始起在與脈衝寬度PWc相對應之時間內以既定的一定速度驅動電動馬達2，控制期間的剩餘期間(亦即，從控制週期Tc減去脈衝寬度PWc之期間)則生成速度為零之(亦即，使電動馬達2停止)脈衝狀的速度指令。 　　[0056] 如第4圖所示，偏差/脈衝寬度轉換器11可以以工作台的目標位置與藉由感測器9檢測之工作台的當前位置的偏差越大則脈衝寬度亦越大的樣態，將偏差轉換成脈衝寬度。例如，偏差/脈衝寬度轉換器11可以以如曲線圖401般，偏差為既定值以下時，脈衝寬度與偏差成正比地變大，偏差超過既定值時，脈衝寬度恆定之樣態，將偏差轉換成脈衝寬度。並且，例如，偏差/脈衝寬度轉換器11亦可以如曲線圖402般，在對象區域(亦即，微小位移區域)中均以脈衝寬度與偏差成正比地變大的樣態，將偏差轉換成脈衝寬度。藉此，如第3圖所示，在最初的控制週期中，生成比較大的脈衝寬度PWc的速度指令，隨著偏差變小而脈衝寬度PWc逐漸變小。 　　[0057] 驅動器12基於速度指令將驅動電動馬達2之驅動指令(電壓指令)輸出至電動馬達2。 　　[0058] 另外，驅動器12可以係內置於電動馬達2之樣態，亦可以係與控制器10及電動馬達2這兩者單獨設置之樣態。 　　[0059] 電動馬達2根據從驅動器12輸入之電壓指令而被驅動。亦即，電動馬達2在某一控制週期Tc中以恆定速度被驅動與藉由偏差/脈衝寬度轉換器11生成之速度指令的脈衝寬度相當的時間，並且剩餘時間則停止。 　　[0060] 工作油在脈衝寬度PWc的期間內從油壓泵1間斷地，亦即每隔控制週期Tc被供給至油壓缸3，藉此其活塞3a，亦即平面磨床的工作台間斷地反覆移動，並逐漸收斂於目標位置。 　　[0061] [本實施形態之位置控制裝置的作用] 　　接著，參閱第5圖～第9圖對本實施形態之位置控制裝置200的作用進行說明。 　　[0062] 首先，第5圖～第8圖係說明比較例之位置控制裝置200c的作用之圖。具體而言，第5圖係表示比較例之位置控制裝置200c的構造之控制系統的方塊圖。第6圖係表示比較例之位置控制裝置200c中之控制指令(速度指令)的一例之圖。第7圖係表示平面磨床的工作台的滑動面的摩擦特性的一例之圖。第8圖係表示基於比較例之位置控制裝置200c之平面磨床的工作台的位置的微小位移區域中之控制結果的一例之圖。 　　[0063] 如第5圖所示，比較例之位置控制裝置200c包括控制器10c來代替控制器10，在這一點上與本實施形態的位置控制裝置200不同。具體而言，控制器10c包括一般的PID(Proportional Integral Derivative：比例積分微分)控制器11c來代替偏差/脈衝寬度轉換器11，在這一點上與本實施形態之位置控制裝置200不同。 　　[0064] PID控制器11c每隔預先規定之控制週期，根據平面磨床的工作台的目標位置與藉由感測器9檢測之工作台的當前位置的偏差來生成油壓泵1，亦即驅動油壓泵1之電動馬達2的速度指令。具體而言，如第6圖所示，PID控制器11c以根據平面磨床的工作台的目標位置與藉由感測器9檢測之工作台的當前位置的偏差來改變驅動電動馬達2之電動馬達2的轉速的指令值ωc之樣態(亦即，偏差越大則指令值ωc越大的樣態)生成速度指令，與上述吐出容量控制的情況不同，在各控制週期Tc中，速度指令不會成為零。藉此，PID控制器11c調整從油壓泵1連續供給至油壓缸3之工作油的流量。以下，將該控制方法稱為“吐出流量控制”。 　　[0065] 在吐出流量控制中，工作油連續供給至油壓缸3，因此在微小位移區域中控制油壓缸3的活塞3a的位置的情況下，油壓缸3的非常低的速度的區域(以下稱為“微速區域”)中之速度控制特性變得重要。 　　[0066] 然而，如第7圖所示，平面磨床的工作台的滑動面的摩擦係數具有移動速度進入微速區域時急劇增加之特性。因此，在微速區域中，容易產生由黏滑現象所引起之速度變動，有可能得不到所希望的速度控制性能。 　　[0067] 例如，如第8圖所示，即使輸入使平面磨床的工作台，亦即油壓缸3的活塞3a的位置每0.2mm(亦即，200μm)微小位移之樣態的目標位置，與來自PID控制器11c之速度指令相對應之電動馬達2的轉速亦不會收斂成零，比較例之位置控制裝置200c無法使活塞3a的位置以高精度與目標位置對齊。 　　[0068] 相對於此，在本實施形態之位置控制裝置200中，如上所述，採用吐出容量控制。在本控制方法中，如上述式(5)～式(10)般，根據供給至油壓缸3之工作油的容量(體積)的精度和作為被驅動部之平面磨床的工作台的滑動面上之靜止摩擦特性來決定活塞3a的位移量，不依賴於微速區域中之速度控制性能。並且，供給至油壓缸3之工作油的容量的精度根據上述式(9)，以油壓泵1，亦即電動馬達2的旋轉角速度ω及啟動時間寬度Δt的精度來決定，但其從例如AC伺服馬達等電動馬達2的能力或驅動電動馬達2之例如PLC(Programmable Logic Controller：可程式邏輯控制器)等的驅動器12的能力來看，能夠以實際使用時沒有問題之水準得到保證。 　　[0069] 例如，第8圖係表示基於本實施形態之位置控制裝置200之平面磨床的工作台的位置的微小位移區域中之控制結果的一例之圖。具體而言，係表示對每微小間距位移5μm之樣態的目標位置的輸入之控制結果之圖。 　　[0070] 如第8圖所示，在本例中，輸入有以與第7圖所示之比較例的情況相比更微小的寬度(5μm)使工作台的位置微小間距位移之目標位置，但在控制週期(0.5s)中，速度指令完全收斂於零，工作台的位置亦以高精度收斂於目標位置。 　　[0071] 如此，在本實施形態中，位置控制裝置200(控制器10)藉由從油壓泵1向油壓缸3間斷地供給工作油而使活塞3a的位置與目標位置對齊。換言之，油壓驅動裝置100(油壓泵1)在從油壓缸3開始移動至活塞3a到達既定的目標位置為止之期間將工作油間斷地供給至油壓缸3。藉此，在微小位移區域中，能夠以高精度控制驅動一邊滑動一邊移動之被驅動部之油壓缸的活塞的位置。 　　[0072] 以上，對用於實施本發明之形態進行了詳細敘述，但本發明並不限定於該種特定的實施形態，在申請專利範圍中所記載之本發明的要旨的範圍內能夠進行各種變形、變更。 　　[0073] 例如，在上述實施形態中，油壓驅動裝置100用於使平面磨床的工作台移動，但亦可以用於移動射出成形機的射出缸或可動壓板等移動時產生滑動阻力之其他裝置(工作機械)的構成組件。 　　[0074] 並且，在上述實施形態中，藉由控制從油壓泵1間斷地吐出之工作油的容量來控制油壓缸3的位置，但亦可以控制從其他工作油供給部吐出之工作油的容量。例如，可以藉由進行閥(工作油供給部的其他例)的開關控制來控制經由該閥被供給至油壓缸3之工作油的容量。藉此，可得到與上述實施形態相同之作用、效果。並且，當使用閥時，向閥供給工作油之油壓泵中能夠採用單向泵，因此例如藉由使用通用的閥及通用的單向泵能夠抑制成本上升。
[0075]
1‧‧‧油壓泵(工作油供給部)
1a‧‧‧端口
1b‧‧‧端口
2‧‧‧電動馬達
3‧‧‧油壓缸
3a‧‧‧活塞
3b‧‧‧端口
3c‧‧‧端口
3L‧‧‧油室
3R‧‧‧油室
4L、4R‧‧‧安全閥
5‧‧‧供油泵
6‧‧‧電動馬達
7‧‧‧梭閥
8‧‧‧減壓閥
9‧‧‧感測器
10‧‧‧控制器(控制部)
11‧‧‧偏差/脈衝寬度轉換器
100‧‧‧油壓驅動裝置
200‧‧‧位置控制裝置
[0010] 　　第1圖係概略地表示本實施形態之油壓驅動裝置的構造的一例之圖。 　　第2圖係表示本實施形態之位置控制裝置的構造的一例之控制系統的方塊圖。 　　第3圖係表示本實施形態之位置控制裝置中之控制指令(速度指令)的一例之圖。 　　第4圖係說明平面磨床的工作台的當前位置與目標位置之間的偏差與脈衝寬度之間的關係的一例之圖。 　　第5圖係表示比較例之位置控制裝置的構造之控制系統的方塊圖。 　　第6圖係表示比較例之位置控制裝置中之控制指令(速度指令)的一例之圖。 　　第7圖係表示滑動面上之摩擦特性的一例之圖。 　　第8圖係表示基於比較例之位置控制裝置之平面磨床的工作台位置的控制結果之圖。 　　第9圖係表示基於本實施形態之位置控制裝置之平面磨床的工作台位置的控制結果的一例之圖。

Claims (7)

  1. 一種位置控制裝置，其控制油壓缸的活塞的位置，該位置控制裝置具備： 　　工作油供給部，向前述油壓缸供給工作油；及 　　控制部，藉由控制前述工作油供給部來控制前述活塞的位置， 　　前述控制部藉由從前述工作油供給部向前述油壓缸間斷地供給工作油而使前述活塞的位置與目標位置對齊。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之位置控制裝置，其中， 　　前述控制部每隔既定週期將工作油從前述工作油供給部向前述油壓缸僅供給比前述既定週期短的時間寬度，該時間寬度係根據前述目標位置與前述活塞的當前位置的偏差來規定。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之位置控制裝置，其中， 　　前述既定週期為1s以下。
  4. 如申請專利範圍第2或3項所述之位置控制裝置，其中， 　　前述活塞與被驅動部連結，該被驅動部一邊相對於固定部滑動一邊藉由該活塞而被驅動， 　　前述時間寬度被設定為比從前述工作油供給部供給能夠產生大於前述固定部與前述被驅動部之間的滑動面上之最大靜止摩擦力之壓力之前述工作油的容量所需之時間還要長。
  5. 如申請專利範圍第2或3項所述之位置控制裝置，其中， 　　前述工作油供給部為油壓泵， 　　前述控制部藉由每隔前述既定週期調整使前述油壓泵旋轉之旋轉角，來控制每隔前述既定週期被供給至前述油壓缸之前述工作油的容量。
  6. 如申請專利範圍第1至3中任一項所述之位置控制裝置，其中， 　　前述控制部根據前述目標位置與前述活塞的當前位置的偏差從前述工作油供給部向前述油壓缸連續供給工作油，當前述活塞的速度成為10mm/s以下時，或者當根據前述偏差而生成之對前述工作油供給部之指令值成為與作為前述活塞的速度之10mm/s相對應之既定值以下時，從前述工作油供給部向前述油壓缸間斷地供給工作油而使前述活塞的位置與目標位置對齊。
  7. 一種油壓驅動裝置，其具備： 　　油壓缸；及 　　工作油供給部，向前述油壓缸供給工作油， 　　前述工作油供給部在從前述油壓缸開始移動至達到既定的目標位置為止之期間將工作油間斷地供給至前述油壓缸。
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