JPH0623561B2 - 油圧アクチュエータ制御装置 - Google Patents

油圧アクチュエータ制御装置

Info

Publication number
JPH0623561B2
JPH0623561B2 JP23786488A JP23786488A JPH0623561B2 JP H0623561 B2 JPH0623561 B2 JP H0623561B2 JP 23786488 A JP23786488 A JP 23786488A JP 23786488 A JP23786488 A JP 23786488A JP H0623561 B2 JPH0623561 B2 JP H0623561B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure
duty
piston
switching valve
electromagnetic switching
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP23786488A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0285502A (ja
Inventor
昭博 吉田
良一 末松
高義 武藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toyota Industries Corp
Original Assignee
Toyoda Jidoshokki Seisakusho KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toyoda Jidoshokki Seisakusho KK filed Critical Toyoda Jidoshokki Seisakusho KK
Priority to JP23786488A priority Critical patent/JPH0623561B2/ja
Publication of JPH0285502A publication Critical patent/JPH0285502A/ja
Publication of JPH0623561B2 publication Critical patent/JPH0623561B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Servomotors (AREA)
  • Control Of Position Or Direction (AREA)
  • Control Of Fluid Pressure (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明はパルス幅変調(PWM)制御を用いた油圧ア
クチュエータ制御装置に関するものである。
[従来の技術] 従来、油圧アクチュエータを高精度に制御する方法とし
て油圧アクチュエータに作用する圧力差に基いてPWM
制御を行い、電磁切替弁を駆動するデューティを決定す
るようにしたものがある。
これを第6図に従って説明すると、両ロッド型シリンダ
30の第1圧力室31には第1の三方電磁切替弁32が
接続され、同切替弁32は通常は第1圧力室31の圧油
をドレインTに導出するオフ側に切替えられ、オン信
号が入力されているときのみ油圧源Pから圧油を導入
するオン側に切替えられるようになっている。又、第2
圧力室33には第2の三方電磁切替弁34が接続され、
同切替弁34も通常は第2圧力室33の圧油をドレイン
に導出するオフ側に切替えられ、オン信号が入力さ
れているときのみ油圧源Pから圧油を導入するオン側
に切替えられるようになっている。
又、前記シリンダ30の近傍にはピストン35の位置を
検出する差動トランス型変位計36が接続され、同変位
計36の検出信号xはA/D変換器37を介して制御回
路38の比較器39に入力されている。
前記比較器39は前記検出信号xの入力に同期して、前
記ピストン35の目標位置に対応する目標値信号rと前
記検出信号xとの偏差信号eを出力する。制御回路38
は前記検出信号xのサンプリング周期tsと同一の周期
にて離散化された三角波Wと、前記偏差信号eの絶対
値|e|とを比較し、第7図に示すように|e|が三角
波W以上となる範囲で前記切替弁32,34のいずれ
かを駆動するための出力信号のパルス幅tpを決定す
る。そして、前記偏差信号e>0の場合には一方の電磁
切替弁32にのみパルス幅tpのPWM(パルス幅変
調)波形を出力信号として印加し、e<0の場合には他
方の電磁切替弁34にのみパルス幅tpのPWM波形を
出力信号として印加して、ピストン35の位置制御を行
うようになっている。
[発明が解決しようとする課題] 従って、上記油圧アクチュエータ制御装置において、出
力信号のパルス幅rpを短くすることによってピストン
35に微小変位を与えることができるのであるが、この
パルス幅tpを短くし過ぎると、電磁切替弁32,34
の応答限界、即ち、オン・オフ動作時間があるために、
両弁32,34が完全に開かなくなって圧力室31,3
3内に圧油が導入されなくなり、ピストン35を移動さ
せることができなくなる。即ち、ピストン35が目標位
置付近に達すると制御回路38より出力されるPWM波
形のデューティが微小となるため、第8図に示すように
それ以上の高精度の位置制御を行うことができないとい
う問題点があった。
この発明は上記問題点を解決するためになされたもので
あって、その目的はデューティ信号に基いてオン・オフ
制御される電磁切替弁を用いた油圧アクチュエータにお
いて、完全なオン・オフの弁動作を行わせて、油圧アク
チュエータを高精度に位置決めすることができるアクチ
ュエータ制御装置を提供することにある。
[課題を解決するための手段] この発明は上記目的を達成するため、ピストンの両側に
第1及び第2圧力室を備えたシリンダと、前記第1圧力
室に高圧側からの圧油を導入するオン側と、同第1圧力
室の圧油を低圧側に導出するオフ側に切替えられる第1
の電磁切替弁と、前記第2圧力室に高圧側からの圧油を
導入するオン側と、同第2圧力室の圧油を低圧側に導出
するオフ側に切替えられる第2の電磁切替弁とを備えた
油圧アクチュエータにおいて、前記ピストンの位置を検
出する位置検出手段と、前記位置検出手段による検出結
果と前記ピストンの目標位置とに基いて、第1の電磁切
替弁及び第2の電磁切替弁をそれぞれオン側に切替駆動
するための第1及び第2デューティを同一周期内におい
て設定するデューティ設定手段と、前記デューティ設定
手段により設定された第1及び第2デューティに基いて
前記第1及び第2の電磁切替弁を切替制御する駆動制御
手段とを備えた油圧アクチュエータ制御装置をその要旨
とする。
[作用] 従って、ピストンの目標位置と位置検出手段によるピス
トンの位置検出結果とに基いて、デューティ設定手段は
第1の電磁切替弁をオン側に切替駆動させるための第1
デューティと、第2の電磁切替弁をオン側に切替駆動さ
せるための第2デューティを同一周期内にて設定する。
駆動制御手段はデューティ設定手段により設定された第
1及び第2デューティに基いて第1及び第2の電磁切替
弁をオン側に切替制御する。このため、第1の電磁切替
弁と第2の電磁切替弁とが同時にオン側に切替えられて
いるときにはピストンが移動せず、いずれかの電磁切替
弁がオフ側に切替えられると、オン側に切替えられてい
る電磁切替弁と対応する圧力室に高圧側から圧油が導入
され、他方の圧力室の圧油が低圧側に導出されるため、
ピストンが低圧室側に移動する。そして、両電磁切替弁
がオフ側に切替えられると、両圧力室が高圧側から遮断
されるので、ピストンがその位置にて停止される。
[実施例] 以下、この発明を具体化した一実施例を第1〜3図に従
って説明する。
第1図に示すように、シリンダ1はピストン2を往復動
可能に収容しており、同ピストン2の両側に第1圧力室
3及び第2圧力室4が形成されている。ピストン2の左
右両側には径の等しいロッド2a,2bが延びている。
第1圧力室3には第1の三方電磁切替弁5が接続され、
同切替弁5は通常、第1圧力室3の圧油を低圧側として
のドレイン6に導出するオフ側に切替えられ、後記する
デューティ信号Dが入力されているときのみ高圧側と
しての油圧源7から圧油を導入するオン側に切替えられ
るようになっている。又、第2圧力室4には第2の三方
電磁切替弁8が接続され、同切替弁8は通常、第2圧力
室4の圧油を前記ドレイン6に導出するオフ側に切替え
られ、後記するデューティ信号Dが入力されていると
きのみ前記油圧源7から圧油を導入するオン側に切替え
られるようになっている。
又、前記シリンダ1に近接して前記ピストン2の位置を
検出する位置検出手段としての差動トランス型変位計9
が設けられ、サンプリング周期ts(第2図(a)〜(d)参
照)毎に検出信号xがA/D変換器10を介してデュー
ティ設定手段、及び駆動制御手段としての制御回路11
に入力されている。
制御回路11は比較器12を備え、この比較器12に前
記ピストン2の目標位置に対応した目標値信号rが入力
されるとともに、前記A/D変換器10より検出信号x
が入力されるようになっている。そして、比較器12は
前記サンプリング周期ts、即ち、検出信号xの入力に
同期して目標値信号rと検出信号xとの偏差を求め、偏
差信号eを出力するようになっている。
又、制御回路11はのこぎり波発生回路13とPWM波
形成形回路14とを備えている。のこぎり波発生回路1
3は、第2図(a)〜(d)に示すように前記サンプリング周
期tsと同一の周期にて離散化されたのこぎり波W
発生するようになっている。PWM波形成形回路14は
前記偏差信号eの絶対値|e|とのこぎり波Wとに基
いて、前記第1及び第2の三方電磁切替弁5,8をそれ
ぞれオン側に切替駆動するための第1及び第2デューテ
ィD,Dを、のこぎり波Wの各周期tc(第2図
参照)内で設定するようになっている。
そして、制御回路11は第1デューティDに基いて第
1の三方電磁切替弁5を油圧源7から圧油を導入するオ
ン側に切替制御し、又、第2デューティDに基いて第
2の三方電磁切替弁8を油圧源7から圧油を導入するオ
ン側に切替えるようになっている。
次に、前記PWM波形成形回路14が行う第1及び第2
デューティD,Dの設定方法を説明する。なお、こ
こでは偏差信号e≧0の場合について説明する。
第2図(a)〜(d)に示すように、第1及び第2デューティ
,Dは離散化されたのこぎり波Wと偏差信号e
の絶対値|e|との比較によって設定しており、|e|
が大きくなるほどのこぎり波Wの下方に位置させるよ
うになっている。そして、第1デューティDは奇数番
目ののこぎり波Wが|e|より大きくなったときか
ら、続く偶数番目ののこぎり波Wの間、オン状態とす
ることにより設定されており、第1デューティDのオ
ン時間は、基本的に周期tよりも長くなる。
又、第2デューティDは奇数番目ののこぎり波W
おいては常にオフ状態とし、続く偶数番目ののこぎり波
が|e|よりも大きくなるまでの間、オン状態とす
ることにより設定されており、第2デューティDのオ
ン時間は、基本的に周期tよりも短くなる。
又、この実施例において、のこぎり波Wの周期tcは
+t(t=t=6・ts)によって与えら
れ、第1及び第2デューティD,Dは以下の式にて
表される。
ここで、このシステム全体で見たデューティΔDを(D
−D)で定義することとする。
さて、第2図(a)は|e|=0、即ち、ピストン2の目
標位置と実際の位置とが一致している場合における第1
及び第1デューティD,Dを示すものであり、同期
tcの後半部tにおいてD,Dがオンとなる。従
って、D=(6/12)×100=50%、D
(6/12)×100=50%となり、ΔD=0%とな
る。
このため、切替弁5の開閉タイミングと切替弁8の開閉
タイミングがそれぞれ同時になり、第1及び第2圧力室
3,4の圧力差は0となってピストン2は移動しない。
第2図(b)は|e|=小の場合、即ち、目標位置のごく
近傍にピストン2が位置している場合を示すΔDが図示
のように与えられる。従って、D=(7/12)×1
00≒58.3%、D=(5/12)×100≒4
1.7%となり、ΔD=D−D=(2/12)×1
00≒16.7(%)となる。
このため、切替弁5の開放タイミングが切替弁8の開放
タイミングよりも若干早くなるとともに、切替弁5の閉
鎖タイミングが切替弁8の閉鎖タイミングよりも若干遅
くなり、切替弁5のみが開放されている期間において第
1圧力室3の圧力が高くなり、ピストン2が第2圧力室
4側に微動される。
又、第2図(c)は|e|=中の場合、即ち、目標位置の
近傍にピストン2が位置している場合を示し、D
(9/12)×100=75%、D=(3/12)×
100=25%となり、ΔD=D−D=(6/1
2)×100=50%となる。
このため、切替弁5の開放タイミングが切替弁8の開放
タイミングよりも早くなるとともに、切替弁5の閉鎖タ
イミングが切替弁8の閉鎖タイミングよりも遅くなり、
切替弁5のみが開放されている期間において第1圧力室
3の圧力が高くなり、ピストン2が第2圧力室4側に移
動される。
さらに、第2図(d)は|e|=大の場合、即ち、目標位
置からピストン2の位置が大幅にずれている場合を示
し、D=(11/12)×100≒91.7%、D
=(1/12)×100≒8.3%となり、ΔD=D
−D=(10/12)×100≒82.6%となる。
このため、切替弁5の開放タイミングが切替弁8の開放
タイミングよりも大幅に早くなるとともに、切替弁5の
閉鎖タイミングが切替弁8の閉鎖タイミングよりも大幅
に遅くなり、切替弁5のみが開放されている期間におい
て第1圧力室3の圧力が高くなり、ピストン2が第2圧
力室4側に大きく移動される。
以上は偏差信号e≧の場合について述べたが、偏差信号
e<0の場合には、第2デューティDは奇数番目のの
こぎり波Wが|e|より大きくなったときから、続く
偶数番目ののこぎり波Wの間、オン状態とすることに
より設定され、第1デューティDは奇数番目ののこぎ
り波Wにおいては常にオフ状態とし、続く偶数番目の
のこぎり波Wが|e|よりも大きくなるまでの間、オ
ン状態とすることにより設定される。従って、偏差信号
e<0の場合には第2デューティDのオン時間が、第
1デューティDのオン時間よりも長くなる。
さて、この実施例では第1及び第2の三方電磁切替弁
5,8をそれぞれオン側に切替駆動するための第1及び
第2デューティD,Dをのこぎり波Wの同一周期
tc内において設定し、両切替弁5,8の開閉タイミン
グを制御し、システム全体としてのデューティΔDに対
応する第1及び第2圧力室3,4の圧力差に基いてピス
トン2を移動させて位置決めを行うように構成したの
で、オン・オフ動作時間があるために切替弁が半開状態
になったり、全く開かなくなったりする従来方法と比較
して、ΔDが微小となっても高精度に位置決め制御を行
うことができる。特に、偏差信号eの絶対値|e|が小
さい、即ち、目標位置のごく近傍にピストン2が位置し
ている場合において、システム全体のデューティΔDが
小さくなるのであるが、第1及び第2の三方電磁切替弁
5,8を駆動するための第1及び第2デューティD
を大きくすることができ、第3図に示すように目標
位置に対して高精度に位置決め制御を行うことができ
る。このため、サンプリング周期tsを短く設定し、の
こぎり波Wを細かく離散化させることにより、さらに
高精度の位置決めを行うことができる。
又、この実施例では第1及び第2の三方電磁切替弁5,
8の第1及び第2デューティD,Dを設定し、両切
替弁5,8をオン・オフさせるようにしているので、半
開状態のような変則的な使用状態を抑制することがで
き、両三方電磁切替弁5,8の特性を安定な状態に維持
することができる。
又、この実施例では第1及び第2デューティD,D
を重複するように設定し、第1及び第2の三方電磁切替
弁5,8が同時にオン側に切替えられる期間を設けてい
るので、ピストン2のハンチングを防止することができ
る。
次に、前記実施例の油圧アクチュエータをアンダーラッ
プタイプ四方弁に適用した例を第4図に基いて説明す
る。なお、前記実施例と同様の構成については同一の符
号を付し、その説明を省略する。
油圧源Pに接続されたメイン流路15には減圧弁16を
介して第1及び第2の三方電磁切替弁5,8が接続され
ている。
一方、ハウジング17には一対の弁室18A,18Bが
設けられ、各弁室18A,18Bに連通する入口ポート
19A,19B、高圧側出口ポート20A,20B及び
低圧側出口ポート21A,21Bが形成されており、各
入口ポート19A,19Bはメイン流路15を介して油
圧源Pに接続されている。各高圧側出口ポート20A,
20Bはメイン流路22A,22Bを介してアクチュエ
ータシリンダ23の各室24,25に接続され、各低圧
側出口ポート21A,21Bはメイン流路26を介して
ドレインTに接続されている。
前記各弁室18A,18B内には前記シリンダ1の各ロ
ッド2a,2b両端に設けられた主弁27A,27Bが
配置されている。一方の主弁27Aには位置検出手段と
してのポテンショメータ28Aが接続され、ピストン2
の位置に対応した検出信号xをコントローラCに出力す
るようになっている。
そして、一方の主弁27Aは前記ピストン2の移動に伴
って入口ポート19Aを閉鎖する位置、入口ポート19
A及び低圧側出口ポート21Aを開放する中間的位置、
及び低圧側出口ポート21Aを閉鎖する位置に制御される
ようになっている。又、他方の主弁27Bは前記ピスト
ン2の移動に伴って低圧側出口ポート21Bを閉鎖する
位置、低圧側出口ポート21B及び入口ポート19Bを
開放する中間的位置、及び入口ポート19Bを閉鎖する
位置に制御されるようになっている。
又、前記アクチュエータシリンダ23に往復動可能に収
容されたピストン29の一方のロッド29aにはポテン
ショメータ28Bが接続され、ピストン29の位置に対
応した検出信号yをコントローラCに出力するようにな
っている。
そして、コントローラCは前記検出信号x及びyに基い
て第1及び第2の三方電磁切替弁5,8を駆動するため
の第1及び第2デューティD,Dを前記実施例と同
様にして設定し、両切替弁5,8をオン・オフさせてピ
ストン2の位置を高精度で比例的に制御することにより
主弁27A,27Bの位置を変化させ、メイン流路1
5,22A,22Bの制御を行ってアクチュエータシリン
ダ23のピストン29の位置制御を行うようになってい
る。
従って、この例によれば、高圧・大流量のメイン流の制
御を高精度に行って大型のアクチュエータシリンダ23
を制御することができる。
なお、この例においてポテンショメータ28Bに代えて
速度検出器とすれば、アクチュエータシリンダ23のピ
ストン29の速度制御を行うことができる。又、ポテン
ショメータ28Bに代えて加速度検出器とすれば、アク
チュエータシリンダ23のピストン29の加速度制御を
行うことができる。
又、前記両実施例では両ロッド型のシリンダ1の第1及
び第2圧力室3,4にそれぞれ三方電磁切替弁5,8を
接続したが、各圧力室3,4に対し、それぞれ2つの二
方電磁切替弁を接続し、一方をデューティ信号が入力さ
れているときにのみオン側に切替えられて油圧源Pから
の圧油を導入する弁とし、他方をデューティ信号が入力
されているときにのみオフ側に切替えられてドレイン側
への圧油の導出を遮断する弁としてもよい。
又、前記両実施例ではシリンダ1を両ロッド2a,2b
の径が等しい両ロッド型のものとしたが、両ロッドの径
が異なるものに実施してもよい。この場合には前記実施
例における第1及び第2デューティD,Dの設定方
法に適当な補正を行えばよい。
又、前記実施例ではシリンダ1を両ロッド型のものとし
たが、ピストンの両側に第1及び第2圧力室を備えたも
のであればよい。
又、前記両実施例ではサンプリング周期tsにて離散化
したのこぎり波Wと偏差信号eとに基いて第1及び第
2デューティD,Dを設定したが、離散化していな
い(アナログ状)のこぎり波と偏差信号eとに基いて第
1及び第2デューティD,Dを設定してもよい。
又、前記両実施例ではサンプリング周期tsにて離散化
したのこぎり波Wと偏差信号eとに基いて第1及び第
2デューティD,Dを設定したが、第5図のように
二点鎖線で示すのこぎり波Wを実線で示すように変換
したのこぎり波Wと、偏差信号eとに基いて第1及び
第2デューティD,Dを設定してもよい。この例に
よれば、偏差信号eが大きいときにはより大きなデュー
ティΔDが得られ、又、偏差信号eが小さいとき、即
ち、ピストン2の位置が目標値に近いときにはより小さ
なデューティΔDを得ることができ、高精度に位置決め
制御を行うことができる。
[発明の効果] 以上詳述したように、この発明によればデューティ信号
に基いてオン・オフ制御される電磁切替弁を用いて完全
なオン・オフの弁動作を行わせて、油圧アクチュエータ
を高精度に位置決めできる優れた効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明を具体化した一実施例を示す概略構成
図、第2図(a)〜(d)はそれぞれデューティ設定を示す説
明図、第3図は作用を説明するための図、第4図は本制
御装置を用いた例を示す概略構成図、第5図は別のデュ
ーティ設定方法を示す説明図、第6図は従来装置を示す
概略構成図、第7図は従来装置におけるデューティ設定
の原理を示す説明図、第8図は従来装置の作用を説明す
るための図である。 図中、1はシリンダ、2はピストン、3は第1圧力室、
4は第2圧力室、5は第1の三方電磁切替弁、8は第2
の三方電磁切替弁、9は位置検出手段としての差動トラ
ンス型変位計、11はデューティ設定手段及び駆動制御
手段としての制御回路、28A,28Bは位置検出手段
としてのポテンショメータ、Cはデューティ設定手段及
び駆動制御手段としてのコントローラである。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ピストンの両側に第1及び第2圧力室を備
    えたシリンダと、 前記第1圧力室に高圧側からの圧油を導入するオン側
    と、同第1圧力室の圧油を低圧側に導出するオフ側に切
    替えられる第1の電磁切替弁と、 前記第2圧力室に高圧側からの圧油を導入するオン側
    と、同第2圧力室の圧油を低圧側に導出するオフ側に切
    替えられる第2の電磁切替弁と を備えた油圧アクチュエータにおいて、 前記ピストンの位置を検出する位置検出手段と、 前記位置検出手段による検出結果と前記ピストンの目標
    位置とに基いて、第1の電磁切替弁及び第2の電磁切替
    弁をそれぞれオン側に切替駆動するための第1及び第2
    デューティを同一周期内において設定するデューティ設
    定手段と、 前記デューティ設定手段により設定された第1及び第2
    デューティに基いて前記第1及び第2の電磁切替弁を切
    替制御する駆動制御手段と を備えた油圧アクチュエータ制御装置。
JP23786488A 1988-09-22 1988-09-22 油圧アクチュエータ制御装置 Expired - Lifetime JPH0623561B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23786488A JPH0623561B2 (ja) 1988-09-22 1988-09-22 油圧アクチュエータ制御装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23786488A JPH0623561B2 (ja) 1988-09-22 1988-09-22 油圧アクチュエータ制御装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0285502A JPH0285502A (ja) 1990-03-27
JPH0623561B2 true JPH0623561B2 (ja) 1994-03-30

Family

ID=17021550

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP23786488A Expired - Lifetime JPH0623561B2 (ja) 1988-09-22 1988-09-22 油圧アクチュエータ制御装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0623561B2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA2476032C (en) 2004-08-27 2008-11-04 Westport Research Inc. Hydraulic drive system and method of operating a hydraulic drive system
JP6896484B2 (ja) * 2017-03-31 2021-06-30 住友重機械工業株式会社 位置制御装置、油圧駆動装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0285502A (ja) 1990-03-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NO302669B1 (no) Drivinnretning for svingdör og fremgangsmåte for drift av en drivinnretning for svingdör
JPS58174701A (ja) 油圧アクチユエ−タ装置
MX9606424A (es) Aparato de colocacion y metodo que utiliza el control de anchura modulada de pulsos de un cilindro hidraulico de doble accion.
JPH11241702A (ja) 独立メータリングバルブキャリブレート用システムおよびその方法
JPH0623561B2 (ja) 油圧アクチュエータ制御装置
US2564067A (en) Door operation and control
KR850000042B1 (ko) 공업용 로보트 핸드의 작동장치
US20210262535A1 (en) Apparatus for Controlling a Plurality of Actuators
EP0164561B1 (en) Flow control valve
CN116044841A (zh) 一种基于电磁开关阀的压力流量高精度控制方法
JPH03202743A (ja) 流量、熱量を測定制御する装置
JPS6192344A (ja) 自動変速機用アクチエ−タの駆動方法
JP3788877B2 (ja) スプール型方向切換弁パイロットシステム
JPH10169828A (ja) 弁開度制御装置
JPH0235204A (ja) 流体流量/流体圧の制御方式
JPH11515080A (ja) コーティング装置用のガス導入装置
JPH063195Y2 (ja) コンクリ−トポンプ油圧切換装置
SU1767032A1 (ru) Способ химического осаждени никел на сталь
JPH0737117Y2 (ja) 観音扉の開閉装置
JPS6158968A (ja) デイ−ゼル機関の起動空気制御装置
SU1115018A1 (ru) Пневматический привод
JPH0633253Y2 (ja) 車輛用自動変速装置
JPH0623563B2 (ja) 電気式比例制御弁制御装置
CN118148976A (zh) 一种电磁阀控系统的高精度运动控制方法
SU1679075A1 (ru) Электрогидравлическа след ща система