CN108691840A - 位置控制装置、液压驱动装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够提高液压缸的活塞位置的微小位移的精度的位置控制装置及液压驱动装置。该位置控制装置具备：工作油供给部，其向液压缸供给工作油；及控制部，通过控制工作油供给部从而控制液压缸的活塞的位置，控制部使工作油供给部向液压缸间歇地供给工作油从而使活塞的位置与目标位置对位。并且，液压驱动装置具备：液压缸；及工作油供给部，其向液压缸供给工作油，工作油供给部在液压缸开始移动至达到预定的目标位置为止的期间向液压缸间歇地供给工作油。

Description

位置控制装置、液压驱动装置

本申请主张基于2017年3月31日申请的日本专利申请第2017-071785号的优先权。该日本申请的所有内容通过参考援用于本说明书中。

技术领域

本发明涉及一种控制液压缸的活塞的位置的位置控制装置等。

背景技术

以往，已知有一种从工作油供给部向液压缸供给工作油来驱动液压缸的驱动装置(例如，参考专利文献1)。

在专利文献1中，通过从工作油供给部(即，液压泵)向液压缸供给工作油，使液压缸的活塞移动，从而驱动与活塞连结在一起而能够与活塞一体地移动的平面磨床的工作台。

专利文献1：日本特开2013-160318号公报

然而，例如，在利用液压缸驱动像平面磨床的工作台那样滑动移动的被驱动部时，在微速区域中会产生所谓的粘滑(stick-slip)运动。因此，若采用根据位置偏差连续地改变流量的一般的反馈控制方法，则有可能反复出现在目标位置跟前粘附(停止)或者滑过目标位置的现象，从而无法保证所要求的微小位移的精度。

发明内容

对此，本发明是鉴于上述课题而完成的，其目的在于提供一种能够提高液压缸的活塞位置的微小位移的精度的位置控制装置等。

为了达成上述目的，在本发明的一种实施方式提供一种位置控制装置，其控制液压缸的活塞的位置，该位置控制装置具备：

工作油供给部，其向所述液压缸供给工作油；及

控制部，通过控制所述工作油供给部从而控制所述活塞的位置，

所述控制部使所述工作油供给部向所述液压缸间歇地供给工作油从而使所述活塞的位置与目标位置对位。

并且，在本发明的另一种实施方式提供一种液压驱动装置，其具备：

液压缸；及

工作油供给部，其向所述液压缸供给工作油，

所述工作油供给部在所述液压缸开始移动至达到预定的目标位置为止的期间向所述液压缸间隙地供给工作油。

根据本实施方式，提供一种能够提高液压缸的活塞位置的微小位移的精度的位置控制装置等。

附图说明

图1是概略地表示本实施方式所涉及的液压驱动装置的结构的一例的图。

图2是表示本实施方式所涉及的位置控制装置的结构的一例的控制系统的框图。

图3是表示本实施方式所涉及的位置控制装置中的控制指令(速度指令)的一例的图。

图4是用于说明平面磨床的工作台的当前位置与目标位置之间的偏差与脉冲宽度之间的关系的一例的图。

图5是表示比较例所涉及的位置控制装置的结构的控制系统的框图。

图6是表示比较例所涉及的位置控制装置中的控制指令(速度指令)的一例的图。

图7是表示滑动面的摩擦特性的一例的图。

图8是表示基于比较例所涉及的位置控制装置的平面磨床的工作台位置的控制结果的图。

图9是表示基于本实施方式所涉及的位置控制装置的平面磨床的工作台位置的控制结果的一例的图。

图中：1-液压泵(工作油供给部)，1a-端口，1b-端口，2-电动马达，3-液压缸，3a-活塞，3b-端口，3c-端口，3L-油室，3R-油室，4L、4R-安全阀，5-供油泵，6-电动马达，7-梭阀，8-溢流阀，9-传感器，10-控制器(控制部)，11-偏差/脉冲宽度转换器，100-液压驱动装置，200-位置控制装置。

具体实施方式

以下，参考附图对本发明的实施方式进行说明。

[液压驱动装置的结构]

首先，参考图1对本实施方式所涉及的液压驱动装置100的结构进行说明。

图1是概略地表示本实施方式所涉及的液压驱动装置100的结构的一例的图。

在液压驱动装置100中，电动马达2驱动液压泵1旋转，从而驱动液压缸3。液压缸3例如用于驱动未图示的平面磨床的工作台。以下，对液压缸3驱动平面磨床的工作台的情况进行说明。

另外，平面磨床的工作台例如构成为如下：在其下表面具有两条导轨(未图示)，并且该两条导轨嵌入于设置在平面磨床的固定部(即，床身)(未图示)的两条槽中，由此工作台可滑动地搭载于床身。并且，工作台的导轨与床身的槽之间的滑动面作为所谓的动压滑动导向面而发挥功能，其上供给有润滑油。

液压驱动装置100包括液压泵1、电动马达2、液压缸3、安全阀4L、4R、供油泵5、电动马达6、梭阀7、溢流阀8、传感器9、控制器10等。

液压泵1(工作油供给部的一例)通过向液压缸3供给工作油来驱动液压缸3的双向液压泵。液压泵1可以是固定容量型，也可以是可变容量型。

电动马达2驱动液压泵1旋转。电动马达2例如是AC伺服马达。

液压缸3是具有被活塞3a隔开的油室3L及油室3R的液压致动器。油室3L经由端口3b及管路C1与液压泵1的端口1a流体连通，油室3R经由端口3c及管路C2与液压泵1的端口1b流体连通。在本实施方式中，液压缸3是具备朝向活塞3a的两侧延伸的两个杆的双杆缸，两个杆中的任意一个杆与平面磨床的工作台(未图示)连结在一起。

另外，液压缸3也可以是具备朝向活塞3a的一侧延伸的一个杆的单杆缸，也可以是平面磨床的工作台直接与活塞3a连结在一起的省略了杆的结构。

在管路C1内的压力成为了预定压力以上时，安全阀4L将管路C1内的工作油释放到工作油罐T1中。并且，在管路C2内的压力成为了预定压力以上时，安全阀4R将管路C2内的工作油释放到工作油罐T1中。

安全阀4L配置于使与工作油罐T1流体连通的管路C3和管路C1连通的管路C4上。并且，安全阀4R配置于使管路C3和管路C2连通的管路C5上。

供油泵5是以使管路C1及管路C2的压力分别成为预定的供油压力以上的方式吐出工作油的单向液压泵。供油泵5可以是固定容量型的供油泵，也可以是可变容量型的供油泵。并且，供油泵5每旋转1次时的吐出量小于液压泵1每旋转1次时的吐出量。这是因为，供油泵5只需能够供给辅助主要的液压泵1的程度的工作油即可。

电动马达6驱动供油泵5旋转。电动马达6例如是AC伺服马达。电动马达6以预定的转速持续旋转，以使供油泵5以预定的流速持续吐出工作油。

另外，电动马达6也可以为了改变供油泵5的吐出量以使供油泵5的吐出压成为预定的供油压力而改变着转速进行旋转。

梭阀7是用于控制管路C1或管路C2与工作油罐T1及供油泵5之间的工作油的流动的阀，梭阀7具有一个一次侧端口7a及两个二次侧端口7b、7c。

一次侧端口7a经由管路C6与供油泵5的吐出端口流体地连通，一个二次侧端口7b经由管路C7与管路C1流体连通，另一个二次侧端口7c经由管路C8与管路C2流体连通。

具体而言，在管路C1内的压力低于预定的供油压力时，梭阀7使供油泵5所吐出的工作油通过二次侧端口7b导入到管路C1内。并且，在管路C2内的压力低于预定的供油压力时，梭阀7使供油泵5所吐出的工作油通过二次侧端口7c导入到管路C2内。

溢流阀8构成为如下，在一次侧端口8a的压力成为了预定的设定压力以上时，使一次侧端口8a与二次侧端口8b流体连通，从而使一次侧端口8a的工作油流向二次侧端口8b。

一次侧端口8a经由管路C9与管路C6流体连通，二次侧端口8b经由管路C10与工作油罐T1流体连通。

在本实施方式中，溢流阀8是电磁比例溢流阀，其根据从控制器10供给过来的控制电流的大小来改变设定压力。溢流阀8的设定压力对应于供油泵5的供油压力。

传感器9是检测液压缸3的动作状态的传感器，其例如是检测活塞3a的位置变化的位置传感器。传感器9将检测出的值输出给控制器10。

控制器10(控制部的一例)控制液压驱动装置100的动作。控制器10的功能可以通过任意的硬件、软件或其组合来实现，控制器10例如是具备CPU(Central ProcessingUnit：中央处理器)，RAM(Random Access Memory：随机存取存储器)，ROM(Read OnlyMemory：只读存储器)、输入输出界面等的计算机。

控制器10例如根据来自用户的输入来确定平面磨床的工作台需要移动的距离(当前位置与和用户输入相对应的目标位置之间的距离)，即，确定活塞3a需要移动的距离。并且，控制器10根据所确定的活塞3a需要移动的距离，对电动马达2输出控制信号(电压指令)，从而驱动电动马达2。由此，控制器10能够使液压泵1向液压缸3供给工作油从而控制活塞3a的位置。即，液压泵1、电动马达2、控制器10作为控制液压缸3的活塞3a的位置的位置控制装置200的构成要件而发挥功能。

并且，控制器10基于传感器9的输出而监视活塞3a的位置(即，平面磨床的工作台的位置)并且判定平面磨床的工作台是否已到达目标位置。具体而言，在基于传感器9的输出的活塞3a的位置与目标位置之差在预定范围内时，控制器10判定平面磨床的工作台已到达目标位置。

在判定为平面磨床的工作台已到达了目标位置时，控制器10对电动马达2输出用于使液压泵1停止旋转的控制信号。

[基于位置控制装置的液压缸的位置控制方法]

接着，参考图2～图4对基于本实施方式所涉及的位置控制装置200的活塞3a的位置控制方法的详细内容进行说明。

[原理]

首先，对位置控制装置200的位置控制方法的原理进行说明。

使用活塞3a的受压面积A及油室3L与油室3R之间的压力差ΔP表示使液压缸3的活塞3a移动的推力F如下式(1)。

F＝A·ΔP……(1)

并且，根据工作油的可压缩性的定义，使用工作油的体积弹性模量Kv、从液压泵1向液压缸3吐出的工作油的体积ΔV、液压缸3及与液压缸3连通的整个管路的容积V0表示油室3L与油室3R之间的压力差ΔP如下式(2)。

ΔP＝Kv·ΔV/V0……(2)

并且，使用液压泵1每旋转一次时的排放量Dp及液压泵1的输入轴的旋转角位移Δθ[rad]表示从液压泵1向液压缸3吐出的工作油的体积ΔV如下式(3)。

ΔV＝Dp·Δθ/(2π)……(3)

并且，使用输入轴的角速度ω及启动时间(基于电动马达2的动力进行旋转的时间)Δt表示液压泵1的输入轴的旋转角位移Δθ如下式(4)。

Δθ＝ω·Δt……(4)

由此，根据式(1)～式(4)，液压缸3的推力F表示为下式(5)。

F＝A·Kv·ΔV/V0＝A·Kv·Dp·Δθ/(2π·V0)

＝A·Kv·Dp·ω·Δt/(2π·V0)……(5)

液压缸3在推力F大于平面磨床的工作台的滑动面上的静止摩擦力Fr时从停止状态开始移动。因此，根据式(1)，从停止状态开始移动所需的油室3L与油室3R之间的压力差(最低所需压力差)ΔPn表示为下式(6)。

ΔPn＝Fr/A……(6)

并且，根据式(5)，用于产生最低所需压力差ΔPn的液压泵1的启动时间(最低启动时间)Δt0表示为下式(6)。

Δt0＝2π·Fr·V0/(A·Kv·Dp·ω)……(7)

若使液压泵1驱动超过最低启动时间Δt0的时间，则液压缸3的活塞3a就会发生位移。而且，此时的液压缸3的活塞3a的位移量ΔX表示为下式(8)。

ΔX＝ΔV/A……(8)

液压泵1的启动时间Δt中的液压缸3的活塞3a开始移动之后的有效时间宽度为Δt-Δt0，根据式(3)及式(4)，从液压泵1向液压缸3吐出的工作油的体积ΔVe表示为下式(9)。

ΔVe＝Dp·Δθ/2π＝Dp·ω·(Δt-Δt0)/2π……(9)

由此，根据式(8)及式(9)，液压缸3的活塞3a的位移量ΔX表示为下式(10)。

ΔX＝Dp·ω·(Δt-Δt0)·(2π·A)……(10)

如此，根据式(8)～式(10)，位置控制装置200可以控制液压泵1的启动时间Δt(即，驱动液压泵1的电动马达2的启动时间Δt)来调整从液压泵1供给至液压缸3的工作油的容积ΔVe，从而能够控制液压缸3的活塞3a的位移量ΔX。因此，在本实施方式中，位置控制装置200(具体而言，控制器10)反复进行如下控制，即，在预先规定的每个控制周期中，使液压泵1驱动比控制周期短的时间宽度(以下，称为“脉冲宽度”)，而剩余时间则停止液压泵1。即，位置控制装置200使液压泵1间歇地供给工作油，从而使液压缸3的活塞3a微量移动的同时使液压缸3的活塞3a与目标位置对位。以下，将位置控制装置200的使用该原理的控制方法称为“吐出容量控制”。以下，对该吐出容量控制的详细内容进行说明。

另外，在位置控制装置200中，在由传感器9检测出的活塞3a(即，平面磨床的工作台)的当前位置与工作台的目标位置之间的偏差非常微小的区域(以下，称为“微小位移区域”)，即偏差微小且工作台的速度非常慢的区域(以下，称为“微速区域”)，即产生粘滑现象的速度区域中采用该控制方法。另一方面，在位置控制装置200中，在与微小位移区域或微速区域相比偏差或速度更大的区域(即，不产生粘滑现象的速度区域)中采用后述的通常的吐出流量控制。例如，位置控制装置200通常进行吐出流量控制，并且在基于由传感器9检测出的活塞3a的位置而计算出的活塞3a(即，平面磨床的工作台)的速度成为了设定为开始出现粘滑现象的极限值(10mm/s左右)以上的预定速度(例如，10mm/s)以下时，将吐出流量控制转换为吐出容量控制。并且，例如，位置控制装置200也可以在吐出流量控制中生成的后述的速度指令(指令值ωc)成为了将作为活塞3a的速度的上述预定速度(例如，10mm/s)换算成电动马达2的转速的预定转速以下时，将吐出流量控制转换为吐出容量控制。

[本实施方式所涉及的位置控制方法的详细内容]

接下来，参考图2～图4对上述位置控制装置200的吐出容量控制的详细内容进行说明。

图2是表示本实施方式所涉及的位置控制装置200的结构的一例的控制系统的框图。图3是表示本实施方式所涉及的位置控制装置200中的控制指令(速度指令)的一例的图。图4是表示由传感器9检测出的平面磨床的工作台的当前位置与目标位置之间的偏差与脉冲宽度之间的关系的一例的图。

如图2所示，位置控制装置200包括控制器10、传感器9、电动马达2及液压泵1，位置控制装置200控制液压缸3的活塞3a(控制对象)的位置，即，控制与活塞3a连结在一起的平面磨床的工作台的位置。

控制器10根据基于来自用户的输入等的平面磨床的工作台的目标位置与由传感器9检测出的工作台的当前位置之间的偏差来驱动控制电动马达2。控制器10包括偏差/脉冲宽度转换器11及驱动器12。

偏差/脉冲宽度转换器11根据工作台的目标位置与由传感器9检测出的工作台的当前位置之间的偏差，按照预先规定的每个控制周期(例如，设定为1s以下)生成液压泵1的速度指令(即，驱动液压泵1的电动马达2的速度指令)。具体而言，如图3所示，偏差/脉冲宽度转换器11将工作台的目标位置与由传感器9检测出的工作台的当前位置之间的偏差转换成本次控制周期Tc中的电动马达2的启动时间宽度(即，脉冲宽度PWc(＜Tc))。而且，偏差/脉冲宽度转换器11生成使电动马达2从控制周期Tc的开始以预定的一定速度驱动与脉冲宽度PWc相对应的时间且在控制期间中的剩余期间(即，从控制周期Tc减去脉冲宽度PWc的期间)的速度为零的(即，停止电动马达2)脉冲状的速度指令。

如图4所示，偏差/脉冲宽度转换器11可以以工作台的目标位置与由传感器9检测出的工作台的当前位置之间的偏差越大脉冲宽度也越大的方式将偏差转换成脉冲宽度。例如，如曲线图401所示，偏差/脉冲宽度转换器11可以以偏差为预定值以下时使脉冲宽度与偏差成正比地变大而偏差超过了预定值时使脉冲宽度恒定的方式将偏差转换成脉冲宽度。并且，例如，如曲线图402所示，偏差/脉冲宽度转换器11可以以在对象区域(即，微小位移区域)中使脉冲宽度与偏差成正比地变大的方式将偏差转换成脉冲宽度。由此，如图3所示，在最初的控制周期中生成脉冲宽度PWc较大的速度指令，之后，随着偏差变小脉冲宽度PWc也逐渐变小。

驱动器12基于速度指令将用于驱动电动马达2的驱动指令(电压指令)输出至电动马达2。

另外，驱动器12可以采用内置于电动马达2的结构，也可以采用与控制器10及电动马达2这两者分体设置的结构。

电动马达2根据来自驱动器12的电压指令而得到驱动。即，电动马达2在某一控制周期Tc中，以一定速度驱动与由偏差/脉冲宽度转换器11生成的速度指令的脉冲宽度相当的时间，并且在剩余时间则停止运转。

工作油从液压泵1间歇地供给到液压缸3，即，工作油仅在每个控制周期的脉冲宽度PWc的期间从液压泵1供给至液压缸3，由此，活塞3a(即，平面磨床的工作台)间歇地移动直至到达目标位置。

[本实施方式所涉及的位置控制装置的作用]

接着，参考图5～图9对本实施方式所涉及的位置控制装置200的作用进行说明。

首先，图5～图8是用于说明比较例所涉及的位置控制装置200c的作用的图。具体而言，图5是表示比较例所涉及的位置控制装置200c的结构的控制系统的框图。图6是表示比较例所涉及的位置控制装置200c中的控制指令(速度指令)的一例的图。图7是表示平面磨床的工作台的滑动面的摩擦特性的一例的图。图8是表示基于比较例所涉及的位置控制装置200c的平面磨床的工作台位置在微小位移区域中的控制结果的一例的图。

如图5所示，比较例所涉及的位置控制装置200c与本实施方式的位置控制装置200的不同点在于，包括控制器10c而取代替控制器10。具体而言，比较例所涉及的位置控制装置200c与本实施方式的位置控制装置200的不同点在于，控制器10c包括一般的PID(Proportional Integral Derivative：比例积分微分)控制器11c而取代替偏差/脉冲宽度转换器11。

PID控制器11c根据平面磨床的工作台的目标位置与由传感器9检测出的工作台的当前位置之间的偏差，按照预先规定的每个控制周期生成液压泵1的速度指令(即，驱动液压泵1的电动马达2的速度指令)。具体而言，如图6所示，PID控制器11c以根据平面磨床的工作台的目标位置与由传感器9检测的工作台的当前位置之间的偏差来改变驱动电动马达2的电动马达2的转速的指令值ωc的方式(即，以偏差越大则指令值ωc越大的方式)生成速度指令，并且与上述吐出容量控制不同，在各个控制周期Tc中，速度指令不会成为零。由此，PID控制器11c调整从液压泵1连续供给至液压缸3的工作油的流量。以下，将该控制方法称为“吐出流量控制”。

在吐出流量控制中，由于工作油连续供给至液压缸3，因此在微小位移区域中控制液压缸3的活塞3a位置时，液压缸3的非常低的速度区域(以下称为“微速区域”)中的速度控制特性变得重要。

然而，如图7所示，平面磨床的工作台的滑动面的摩擦系数具有移动速度进入微速区域则摩擦系数急剧增加的特性。因此，在微速区域中容易产生基于粘滑现象的速度变动，有可能得不到所希望的速度控制性能。

例如，如图8所示，即使输入使平面磨床的工作台(即，液压缸3的活塞3a)的位置每次移动0.2mm(即200μm)的微小位移方式的目标位置，与来自PID控制器11c的速度指令相对应的电动马达2的转速也无法成为零，比较例所涉及的位置控制装置200c无法使活塞3a的位置高精度地与目标位置对位。

相对于此，在本实施方式所涉及的位置控制装置200中，如上所述，采用吐出容量控制。在本控制方法中，如上述式(5)～式(10)所示，活塞3a的位移量取决于供给至液压缸3的工作油的容量(体积)的精度及被驱动部(即，平面磨床的工作台)的滑动面的静止摩擦特性，而不依赖于微速区域中的速度控制性能。并且，根据上述式(9)可知，供给至液压缸3的工作油的容量的精度取决于液压泵1(即，电动马达2)的旋转角速度ω及启动时间宽度Δt的精度，但是，从例如AC伺服马达等电动马达2的能力或驱动电动马达2的例如PLC(Programmable Logic Controller：可编程逻辑控制器)等驱动器12的能力来看，足以保证实际使用中没有问题的水平。

例如，图9是表示基于本实施方式所涉及的位置控制装置200的平面磨床的工作台的位置的在微小位移区域中的控制结果的一例的图。具体而言，图9是表示输入每次移动5μm的微小步进位移方式的目标位置时的控制结果的图。

如图9所示，在本例子中，输入有使工作台的位置以与图7所示的比较例相比更微小的宽度(5μm)进行微小步进位移的目标位置，但在控制周期(0.5s)中，速度指令完全可以成为零，工作台的位置也高精度地与目标位置对位。

如此，在本实施方式中，位置控制装置200(控制器10)使液压泵1向液压缸3间歇地供给工作油，从而使活塞3a的位置与目标位置对位。换言之，液压驱动装置100(液压泵1)在液压缸3开始移动至活塞3a到达预定的目标位置为止的期间向液压缸3间歇地供给工作油。由此，在微小位移区域中，能够高精度地控制用于驱动滑动移动的被驱动部的液压缸的活塞的位置。

以上，对本发明的实施方式进行了详细说明，但本发明并不限定于所述特定的实施方式，在权利要求中所记载的本发明的宗旨的范围内，能够进行各种变形、变更。

例如，在上述实施方式中，液压驱动装置100用于使平面磨床的工作台移动，但是，液压驱动装置100也可以用于使注塑成型机的注塑缸或可动模板等、移动时产生滑动阻力的其他装置(机床)的构成部件移动。

并且，在上述实施方式中，通过控制从液压泵1间歇地吐出的工作油的容量来控制液压缸3的位置，但是，也可以控制从其他工作油供给部吐出的工作油的容量。例如，可以对阀(工作油供给部的其他例)进行开关控制来控制经由该阀供给至液压缸3的工作油的容量。由此，也能够得到与上述实施方式相同的作用效果。并且，在使用阀的情况下，向阀供给工作油的液压泵可以采用单向泵，因此例如能够使用通用的阀及通用的单向泵，从而能够抑制成本的上升。

Claims (7)

1.一种位置控制装置，其控制液压缸的活塞的位置，所述位置控制装置的特征在于，具备：

工作油供给部，其向所述液压缸供给工作油；及

控制部，通过控制所述工作油供给部从而控制所述活塞的位置，

所述控制部使所述工作油供给部向所述液压缸间歇地供给工作油从而使所述活塞的位置与目标位置对位。

2.根据权利要求1所述的位置控制装置，其特征在于，

所述控制部在每个预定周期中仅在根据所述目标位置与所述活塞的当前位置之间的偏差来确定的比所述预定周期更短的时间宽度中使所述工作油供给部向所述液压缸供给工作油。

3.根据权利要求2所述的位置控制装置，其特征在于，

所述预定周期为1s以下。

4.根据权利要求2或3所述的位置控制装置，其特征在于，

所述活塞与被驱动部连结在一起，所述被驱动部相对于固定部滑动并且被所述活塞而驱动，

所述时间宽度设定为比从所述工作油供给部输出能够产生大于所述固定部与所述被驱动部之间的滑动面的最大静止摩擦力的压力的所述工作油的容量所需的时间更长。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的位置控制装置，其特征在于，

所述工作油供给部为液压泵，

所述控制部针对每个所述预定周期而调整使所述液压泵旋转的旋转角，从而在每个所述预定周期中控制供给至所述液压缸的所述工作油的容量。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的位置控制装置，其特征在于，

所述控制部根据所述目标位置与所述活塞的当前位置之间的偏差而使所述工作油供给部向所述液压缸连续供给工作油，并且在所述活塞的速度成为了10mm/s以下时，或者在根据所述偏差而生成的所述工作油供给部的指令值成为了与所述活塞的速度10mm/s相对应的预定值以下时，使所述工作油供给部向所述液压缸间歇地供给工作油，从而使所述活塞的位置与目标位置对位。

7.一种液压驱动装置，其特征在于，具备：

液压缸；及

工作油供给部，其向所述液压缸供给工作油，

所述工作油供给部在所述液压缸开始移动至达到预定的目标位置为止的期间向所述液压缸间歇地供给工作油。