CN104245232A - 平面磨床 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种平面磨床。本发明的使用能够调节工作油的流量及流动方向的工作台移动机构(20)使X轴工作台(2)移动的平面磨床(100)具备：控制装置(9)，将X轴工作台(2)的位置或速度作为控制目标对X轴工作台(2)的移动进行控制；及主控制器(9A)，根据来自控制装置(9)的工作台位置指令或工作台速度指令和X轴工作台(2)的加速度对工作油的流量及流动方向进行控制。工作台移动机构(20)为包含双向液压泵(24)的闭式回路油压系统，主控制器(9A)根据来自控制装置(9)的工作台位置指令或工作台速度指令和X轴工作台(2)的加速度对双向液压泵(24)的转速进行控制。

Description

平面磨床

技术领域

本发明涉及一种平面磨床，更具体而言，涉及一种具备用于搭载被磨削物的移动工作台的平面磨床。

背景技术

以往，已知有使用包含双向油压泵及油压缸的闭式回路油压系统使移动工作台往复移动的电-油压转换式驱动装置(例如参考专利文献1)。

该装置基于检测移动工作台的进给速度的测速发电机的输出对驱动双向油压泵的电伺服马达的转速进行控制。通过该结构，无需如开式回路油压系统那样配置对工作油的流动进行控制的阀，就能够对移动工作台的进给速度进行控制，从而能够提高能量转换效率。

以往技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开昭62-184206号公报

发明内容

发明要解决的技术课题

然而，专利文献1的电-油压转换式驱动装置仅仅是基于移动工作台的指令速度对电伺服马达的转速进行控制。因此，无法防止伴随移动工作台的加减速而引起的移动工作台的振动所导致的可控性的恶化。尤其，与固定容量的油压系统相比，可变容量的油压系统由于油压回路中的压力损失较小，因此振动的衰减性差。

鉴于上述问题，本发明的目的在于提供一种能够使伴随移动工作台的加减速引起的移动工作台的振动提早衰减的平面磨床。

用于解决技术课题的手段

为了实现上述目的，本发明的实施例所涉及的平面磨床为使用能够调节工作流体的流量及流动方向的油压系统使移动工作台移动的平面磨床，其具备：控制装置，将所述移动工作台的位置或速度作为控制目标对所述移动工作台的移动进行控制；及主控制器，根据来自所述控制装置的工作台位置指令或工作台速度指令和所述移动工作台的加速度对所述工作流体的流量及流动方向进行控制。

发明效果

通过上述机构，本发明可以提供一种能够使伴随移动工作台的加减速引起的移动工作台的振动提早衰减的平面磨床。

附图说明

图1是本发明的实施例所涉及的平面磨床的侧视图。

图2是图1的平面磨床的俯视图。

图3是工作台移动机构的正剖视图。

图4是工作台移动机构的侧剖视图。

图5是表示工作台移动机构的结构例的概要图。

图6是表示搭载有图5的工作台移动机构的平面磨床使X轴工作台移动时的控制流程图。

图7是表示主控制器的结构例的图(其1)。

图8是表示主控制器的结构例的图(其2)。

图9是表示主控制器的结构例的图(其3)。

图10是表示主控制器的结构例的图(其4)。

图11是表示X轴工作台的工作台位置、工作台速度、及工作台加速度的经时变化的图。

图12是表示工作台移动机构的另一结构例的概要图。

图13是表示搭载有图12的工作台移动机构的平面磨床使X轴工作台移动时的控制流程图。

图14是表示工作台移动机构的又一结构例的概要图。

图15是表示工作台移动机构的又一结构例的概要图。

图16是表示搭载有图15的工作台移动机构的平面磨床使X轴工作台移动时的控制流程图。

图17是表示工作台移动机构的又一结构例的概要图。

图18是表示搭载有图17的工作台移动机构的平面磨床使X轴工作台移动时的控制流程图。

具体实施方式

以下，参考附图，对本发明的最佳实施方式进行说明。

图1是本发明的实施例所涉及的平面磨床100的侧视图，图2是其俯视图。平面磨床100主要包含主体底座1、X轴工作台2、横轴砂轮用支柱3、横轴砂轮头4、砂轮头旋转用马达5、砂轮头上下进给用马达6、砂轮头左右进给用马达7、工作台驱动用马达8及控制装置9。

主体底座1为将X轴工作台2支承为能够沿X轴方向往复移动的基座。具体而言，主体底座1在其上表面具有接纳从X轴工作台2的下表面突出的导轨的轨道槽1AL、1AR。

X轴工作台2为在主体底座1上能够沿X轴方向滑动的移动工作台，在其上表面支承被磨削物(工件)W。

横轴砂轮用支柱3为将横轴砂轮头4支承为能够沿上下方向(Z轴方向)及左右方向(Y轴方向)移动的装置。

横轴砂轮头4为具有砂轮轴40的砂轮头。在本实施例中，在砂轮轴40的前端安装有砂轮轮体41。

砂轮头旋转用马达5为旋转横轴砂轮头4的砂轮轴40的马达，例如使用伺服马达。

砂轮头上下进给用马达6为驱动使横轴砂轮头4沿上下方向(Z轴方向)移动的砂轮头上下移动机构的马达。在本实施例中，砂轮头上下进给用马达6为用于旋转使横轴砂轮头4沿Z轴方向移动的滚珠丝杠机构中的滚珠丝杠轴或滚珠丝杠螺母的伺服马达。

砂轮头左右进给用马达7为驱动用于使横轴砂轮头4沿左右方向(Y轴方向)移动的砂轮头左右移动机构的马达。在本实施例中，砂轮头左右进给用马达7为用于旋转使横轴砂轮头4沿Y轴方向移动的滚珠丝杠机构中的滚珠丝杠轴或滚珠丝杠螺母的伺服马达。

另外，上下移动机构及左右移动机构可以为齿轮齿条副机构等其他机构。

工作台驱动用马达8为驱动用于使X轴工作台2沿X轴方向移动的工作台移动机构的马达。在本实施例中，工作台驱动用马达8为用于旋转构成闭式回路油压系统即工作台移动机构的双向油压泵的伺服马达。

控制装置9为对平面磨床100的动作进行控制的装置，例如为具备CPU、RAM、ROM等的计算机。

具体而言，控制装置9对工作台驱动用马达8进行控制而使X轴工作台2上的工件W向规定位置移动。并且，控制装置9对砂轮头上下进给用马达6及砂轮头左右进给用马达7进行控制而使横轴砂轮头4向规定位置移动。

其后，控制装置9对砂轮头旋转用马达5进行控制而使横轴砂轮头4开始旋转，且对工作台驱动用马达8进行控制而使X轴工作台2向+X方向移动，使砂轮轮体41与工件W接触而开始第1次磨削加工。

若通过工作台驱动用马达8使X轴工作台2移动至+X方向的规定位置，即，若砂轮轮体41对工件W的第1次磨削加工结束，则控制装置9使X轴工作台2沿-X方向移动而返回到原位置。此时，控制装置9可以通过砂轮头上下进给用马达6使横轴砂轮头4上升。这是为了在使X轴工作台2返回到原位置时防止横轴砂轮头4与工件W接触。此时，控制装置9也可以使砂轮头旋转用马达5暂时停止。

其后，控制装置9通过砂轮头旋转用马达5使横轴砂轮头4旋转，通过砂轮头上下进给用马达6使横轴砂轮头4下降。而且，控制装置9对工作台驱动用马达8进行控制而使X轴工作台2沿+X方向移动，并使砂轮轮体41与工件W接触而开始第2次磨削加工。

通过反复进行上述动作，控制装置9执行工件W的磨削。另外，控制装置9也可以在使X轴工作台沿-X方向移动时使砂轮轮体41与工件W接触而进行磨削加工。

接着，参考图3～图5，对工作台移动机构20进行说明。另外，图3是从箭头III表示的方向观察图1及图2中的包含单点划线的垂直面的正剖视图，图4是从箭头IV表示的方向观察图2及图3中的包含双点划线的垂直面的侧剖视图。图5是表示工作台移动机构20的结构例的概要图。另外，在图5中，为清楚起见省略主体底座1的图示。

如图5所示，工作台移动机构20为使X轴工作台2沿X轴方向往复移动的机构，主要由包含缸体21、活塞22、第1轴23F、第2轴23B及双向油压泵24的闭式回路油压系统构成。

缸体21固定于X轴工作台2的下表面，与X轴工作台2一同在主体底座1上沿X轴方向移动。并且，缸体21在内部具备压力室21S(参考图4)，活塞22以能够使活塞22相对于压力室21S的内壁相对滑动的方式容纳于压力室21S内。另外，如图4所示，压力室21S通过活塞22被分隔成第1压力室21SF和第2压力室21SB。

第1轴23F为一端固定于活塞22的+X侧的面且另一端固定于外部的静止物23Fa的圆筒部件。第2轴23B同样为一端固定于活塞22的-X侧的面且另一端固定于外部的静止物23Ba的圆筒部件。另外，静止物23Fa、23Ba只要是使X轴工作台2移动时能够使活塞22、第1轴23F及第2轴23B保持静止状态的物体即可，例如可以为主体底座1。

活塞22为以能够在缸体21的压力室21S内相对于压力室21S的内壁相对移动的方式容纳于压力室21S内的圆板部件。并且，活塞22的+X侧的面连接于第1轴23F，-X侧的面连接于第2轴23B。

通过这种结构，缸体21能够与X轴工作台2一同相对于主体底座1往复移动，而第1轴23F、第2轴23B及活塞22则配置成相对于主体底座1静止。

如图3所示，X轴工作台2具备从其下表面向-Z方向突出的2个V字型的导轨2BL、2BR。并且，X轴工作台2使用静压轴承机构、动压轴承机构、或它们的组合或其他轴承机构，以能够在主体底座1上沿X轴方向往复移动的方式支承于主体底座1。另外，导轨形状无需一定为V字型。

并且，通过由工作台驱动用马达8驱动的双向油压泵24来控制X轴工作台2的X轴方向的往复移动。具体而言，如图4及图5所示，当使X轴工作台2沿箭头AR表示的方向(-X方向)移动时，双向油压泵24的第2端口24B所排出的作为工作流体的工作油如虚线所示通过第2轴23B流入到缸体21的第2压力室21SB。另一方面，缸体21的第1压力室21SF内的工作油通过第1轴23F到达双向油压泵24的第1端口24F。其结果，第2压力室21SB的体积增大，第1压力室21SF的体积减小，从而X轴工作台2沿-X方向移动。

虽然省略图示，但当使X轴工作台2沿+X方向移动时，双向油压泵24的第1端口24F所排出的工作油通过第1轴23F流入到缸体21的第1压力室21SF。另一方面，缸体21的第2压力室21SB内的工作油通过第2轴23B到达双向油压泵24的第2端口24B。其结果，第1压力室21SF的体积增大，第2压力室21SB的体积减小，从而X轴工作台2沿+X方向移动。

如图5所示，双向油压泵24通过工作台驱动用马达8而被旋转驱动，从第1端口24F或第2端口24B排出与工作台驱动用马达8的旋转方向及转速相对应的流量的工作油。

工作台驱动用马达8根据马达驱动器8A所供给的电流而被驱动。马达驱动器8A根据来自控制装置9的主控制器9A的流量指令(例如为马达转速指令或转矩指令)向工作台驱动用马达8供给电流。

主控制器9A对双向油压泵24的转速进行控制。例如，主控制器9A基于来自控制装置9的各种指令值和来自各种传感器的各种传感器输出来生成马达转速指令或转矩指令。具体而言，各种指令值为根据操作人员的输入等由控制装置9生成的指令值，包含工作台位置指令、工作台速度指令、工作台加速度指令、工作台驱动用马达转速指令(马达速度指令)等的值。并且，各种传感器输出包含位移传感器30、第1缸压传感器31F、第2缸压传感器31B、旋转角传感器32等的输出。

位移传感器30为检测X轴工作台2的位移的位移传感器，例如检测X轴工作台2相对于规定的基准位置的直线位移，并对控制装置9输出检测结果。在本实施例中，例如使用线位移传感器作为位移传感器30。

第1缸压传感器31F为检测缸体21中的第1压力室21SF的压力的传感器，例如检测连接第1轴23F和双向油压泵24的第1端口24F的管路内的工作油的压力，并对控制装置9输出检测结果。

同样，第2缸压传感器31B为检测缸体21中的第2压力室21SB的压力的传感器，例如检测连接第2轴23B和双向油压泵24的第2端口24B的管路内的工作油的压力，并对控制装置9输出检测结果。

另外，第1缸压传感器31F、第2缸压传感器31B可以分别安装于第1压力室21SF、第2压力室21SB，也可以分别安装于第1轴23F、第2轴23B。

旋转角传感器32为检测工作台驱动用马达8的旋转的传感器，例如检测工作台驱动用马达8的旋转方向及旋转角度，并对控制装置9输出检测结果。在本实施例中，例如使用旋转变压器作为旋转角传感器32。

图6是表示平面磨床100使X轴工作台2移动时的控制流程图。如图6所示，主控制器9A从控制装置9获取包含工作台位置指令、工作台速度指令、工作台加速度指令、马达速度指令中的至少1个的各种指令值。而且，主控制器9A根据需要获取各种传感器输出。各种传感器输出包含位移传感器30所输出的工作台位置信号、缸压传感器31F、31B所输出的缸压信号、旋转角传感器32所输出的马达旋转角度信号中的至少1个。

其后，主控制器9A基于所获取的各种指令值及各种传感器输出生成马达转速指令或转矩指令，并对马达驱动器8A输出所生成的马达转速指令或转矩指令。

其后，马达驱动器8A根据来自主控制器9A的马达转速指令或转矩指令对工作台驱动用马达8供给电流。

在此，对构成工作台移动机构20的闭式回路油压系统中的、从双向油压泵24所排出的工作油的流量Q至X轴工作台2的工作台速度v的传递函数v/Q进行说明。

当X轴工作台2的中心和活塞22的中心处于相同垂直线上时，传递函数v/Q由以下公式(1)表示。

[公式1]

$\frac{v}{Q}=\frac{\frac{1}{A_{\mathrm{cyl}}}\·\frac{2{A_{\mathrm{cyl}}}^2{K}_{\mathrm{oil}}}{V_{\mathrm{cyl}}}}{{\mathrm{Ms}}^2+\mathrm{Bs}+\frac{2{A_{\mathrm{cyl}}}^2{K}_{\mathrm{oil}}}{V_{\mathrm{cyl}}}}...\left(1\right)$

其中，s表示拉普拉斯算子，A_cyl表示活塞22的受压面积，V_cyl表示压力室21S的容积，M表示X轴工作台2的质量，B表示X轴工作台2的粘性摩擦系数，K_oil表示工作油的体积弹性模量。

流量Q与工作台驱动用马达8的马达转速ω_m成正比，因此若将每单位转速的排量设为W_P，则从马达转速ω_m至工作台速度v的传递函数由以下公式(2)表示。

[公式2]

$\frac{v}{{\mathrm{\ω}}_m}=\frac{\frac{W_P}{A_{\mathrm{cyl}}}\·\frac{2{A_{\mathrm{cyl}}}^2{K}_{\mathrm{oil}}}{V_{\mathrm{cyl}}}}{{\mathrm{Ms}}^2+\mathrm{Bs}+\frac{2{A_{\mathrm{cyl}}}^2{K}_{\mathrm{oil}}}{V_{\mathrm{cyl}}}}=\frac{K_{\mathrm{HST}}{{\mathrm{\ω}}_n}^2}{s^2+2{\mathrm{\ζ}}_n{\mathrm{\ω}}_{n}s+{{\mathrm{\ω}}_n}^2}...\left(2\right)$

其中，ω_n、ζ_n分别为X轴工作台2的固有振动频率、衰减系数，由以下公式(3)、(4)表示。

[公式3]

${\mathrm{\ω}}_n=\sqrt{\frac{2{A_{\mathrm{cyl}}}^2{K}_{\mathrm{oil}}}{{\mathrm{MV}}_{\mathrm{cyl}}}}...\left(3\right)$

[公式4]

${\mathrm{\ζ}}_n=\sqrt{\frac{B^2{V}_{\mathrm{cyl}}}{8{{\mathrm{MA}}_{\mathrm{cyl}}}^2{K}_{\mathrm{oil}}}}...\left(4\right)$

并且，K_HST为基于闭式回路油压系统的增益，由以下公式(5)表示。

[公式5]

$K_{\mathrm{HST}}=\frac{W_P}{A_{\mathrm{cyl}}}...\left(5\right)$

另外，固有振动频率ω_n是指当ζ_n＝0时X轴工作台2加减速时所产生的X轴工作台2的固有振动频率。并且，衰减系数ζ_n为表示X轴工作台2的振动的衰减性的系数，在ζ_n＜1的情况下，表示值越接近1振动越在短时间内衰减。

并且，当进行X轴工作台2的速度及加速度的反馈时，从速度指令v_dir至工作台速度v的传递函数基于上述公式(2)由以下公式(6)表示。

[公式6]

$\frac{v}{v_{\mathrm{dir}}}=\frac{K_{\mathrm{HST}}{{\mathrm{\ω}}_n}^2}{s^2+(2{\mathrm{\ζ}}_n+K_a{K}_{\mathrm{HST}}{\mathrm{\ω}}_n){\mathrm{\ω}}_{n}s+(1+K_v{K}_{\mathrm{HST}}){{\mathrm{\ω}}_n}^2}=\frac{K_{\mathrm{HST}}{{\mathrm{\ω}}_n}^2}{s^2+{2\mathrm{\ζ}}_c{\mathrm{\ω}}_{c}s+{{\mathrm{\ω}}_c}^2}...\left(6\right)$

其中，ω_c、ζ_c分别为进行X轴工作台2的速度及加速度的反馈时X轴工作台2的控制固有振动频率、控制衰减系数，由以下公式(7)、(8)表示。

[公式7]

${\mathrm{\ω}}_c={\mathrm{\ω}}_n\sqrt{(1+K_v{K}_{\mathrm{HST}})}...\left(7\right)$

[公式8]

${\mathrm{\ζ}}_c=\frac{({2\mathrm{\ζ}}_n+K_a{K}_{\mathrm{HST}}{\mathrm{\ω}}_n){\mathrm{\ω}}_n}{{2\mathrm{\ω}}_c}=\frac{{2\mathrm{\ζ}}_n+K_a{K}_{\mathrm{HST}}{\mathrm{\ω}}_n}{2\sqrt{1+K_v{K}_{\mathrm{HST}}}}...\left(8\right)$

另外，K_v、K_a分别为速度反馈增益、加速度反馈增益，由以下公式(9)、(10)表示。

[公式9]

$K_v=\frac{\frac{{{\mathrm{\ω}}_c}^2}{{{\mathrm{\ω}}_n}^2}-1}{K_{\mathrm{HST}}}...\left(9\right)$

[公式10]

$K_a=\frac{2({\mathrm{\ζ}}_c\sqrt{1+K_v{K}_{\mathrm{HST}}}-{\mathrm{\ζ}}_n)}{K_{\mathrm{HST}}{\mathrm{\ω}}_n}...\left(10\right)$

上述关系意味着能够根据所希望的控制衰减系数ζ_c的值来决定加速度反馈增益K_a，即，意味着通过调节加速度反馈增益K_a能够实现所希望的控制衰减系数ζ_c的值。另外，控制衰减系数ζ_c的值优选例如选择之间的值。

接着，参考图7，对主控制器9A的结构例进行说明。

在图7的结构例中，主控制器9A获取工作台位置指令及工作台速度指令和工作台位置信号，并对马达驱动器8A输出马达转速指令或转矩指令。

具体而言，主控制器9A首先根据比例控制规则从来自控制装置9的工作台位置指令所表示的值减去来自位移传感器30的工作台位置信号所表示的值PL，并乘以规定的增益K_P来推导出第1控制值V1。另外，主控制器9A也可以利用比例积分控制规则来代替比例控制规则。具体而言，主控制器9A也可以将从工作台位置指令所表示的值减去值PL而得出的值和将该减法运算得出的值的积分值除以规定的时间常数的值进行加法运算之后，乘以规定的增益K_p来推导出第1控制值V1。

其后，主控制器9A将来自控制装置9的工作台速度指令所表示的值乘以速度前馈增益K_vff而得到的速度前馈值VFF和第1控制值V1进行加法运算。而且，主控制器9A从加法运算后的值(V1+VFF)减去速度反馈值VFB而推导出第2控制值V2，其中，该速度反馈值VFB为对工作台位置信号进行伪微分而得到的工作台速度信号所表示的值乘以速度反馈增益K_v而得到。

其后，主控制器9A从第2控制值V2减去加速度反馈值AFB而推导出马达转速指令或转矩指令，其中，该加速度反馈值AFB为对工作台速度信号进行伪微分而得到的、即对工作台位置信号进行二阶伪微分而得到的工作台加速度信号所表示的值乘以加速度反馈增益K_a而得到。

另外，主控制器9A也可以将来自控制装置9的工作台加速度指令所表示的值乘以加速度前馈增益K_aff而得出的加速度前馈值AFF(未图示)和第2控制值V2进行加法运算之后，减去加速度反馈值AFB而推导出马达转速指令或转矩指令。并且，主控制器9A也可以省略速度反馈值VFB的计算、及从第1控制值V1和速度前馈值VFF的总计值减去速度反馈值VFB的运算。

如此，图7所示的主控制器9A在具有由公式(6)表示的传递函数的控制模型下调节加速度反馈增益K_a，由此能够实现所希望的控制衰减系数ζ_c。其结果，具备图7所示的主控制器9A的平面磨床100能够使X轴工作台2加速或减速时所产生的X轴工作台2的振动提早衰减。

接着，参考图8，对主控制器9A的另一结构例进行说明。

在图8的结构例中，主控制器9A从第1缸压传感器31F及第2缸压传感器31B获取第1缸压信号及第2缸压信号从而代替工作台位置信号，在这一点上与图7的情况不同。即，反馈从压力室之间的差压推导出的工作台加速度信号，在这一点上与反馈对工作台位置信号进行二阶微分而得到的工作台加速度信号的图7的控制不同。

并且，主控制器9A无需基于工作台位置指令推导出第1控制值V1而是基于速度前馈值VFF推导出马达转速指令或转矩指令，在这一点上与图7的控制不同。

具体而言，主控制器9A首先从来自控制装置9的工作台速度指令所表示的值乘以速度前馈增益K_vff而得出的速度前馈值VFF减去加速度反馈值AFB而推导出马达转速指令或转矩指令。

另外，在图8所示的控制中，主控制器9A基于第1缸压信号和第2缸压信号推导出加速度反馈值AFB。

具体而言，主控制器9A推导出第1缸压信号与第2缸压信号之差，并对所推导出的值适用低通滤波器及高通滤波器。低通滤波器为用于去除该差所包含的噪声的功能要件，高通滤波器为用于去除该差中所包含的摩擦力的影响的功能要件。另外，适用低通滤波器及高通滤波器后的信号例如具有X轴工作台2的固有振动频率的三分之一～五倍左右的频率。

其后，主控制器9A对差压信号乘以A_cyl/M而得到工作台加速度信号。即，主控制器9A基于运动方程式对差压信号所表示的值乘以活塞22的受压面积A_cyl而推导出基于双向油压泵24的驱动力，并将该驱动力除以X轴工作台2的质量M而推导出X轴工作台2的加速度。另外，基于公式(9)的速度反馈增益的决定、基于公式(10)的加速度反馈增益的决定、以及从差压信号推导出X轴工作台2的加速度时所使用的质量M有时根据工件W的质量而发生变化。在该情况下，可以将标称质量作为质量M的值来使用而不是实际质量。标称质量优选使用能够搭载于X轴工作台2的工件W的最大质量。

其后，主控制器9A对工作台加速度信号所表示的值乘以加速度反馈增益K_a而推导出加速度反馈值AFB。

另外，在图8所示的控制中，主控制器9A同样也可以将来自控制装置9的工作台加速度指令所表示的值乘以加速度前馈增益K_aff而得出的加速度前馈值AFF(未图示)和速度前馈值VFF进行加法运算之后，减去加速度反馈值AFB而推导出马达转速指令或转矩指令。

并且，图8所示的主控制器9A也可以从检测第1压力室21SF与第2压力室21SB之间的差压的差压传感器(未图示)获取差压信号，从而代替分别从第1缸压传感器31F及第2缸压传感器31B获取缸压信号。

如此，与图7所示的情况同样，图8所示的主控制器9A在具有由公式(6)表示的传递函数的控制模型下调节加速度反馈增益K_a，由此能够实现所希望的控制衰减系数ζ_c。其结果，具备图8所示的主控制器9A的平面磨床100能够使X轴工作台2加速或减速时所产生的X轴工作台2的振动提早衰减。

接着，参考图9，对主控制器9A的又一结构例进行说明。

在图9的结构例中，主控制器9A从测速发电机等工作台速度传感器(未图示)获取工作台速度信号，从而代替工作台位置信号，在这一点上与图7的情况不同。即，反馈对工作台速度信号进行一阶微分而得到的工作台加速度信号，在这一点上与反馈对工作台位置信号进行二阶微分而得到的工作台加速度信号的图7的控制不同。

并且，主控制器9A无需基于工作台位置指令推导出第1控制值V1而是基于速度前馈值VFF推导出马达转速指令或转矩指令，在这一点上与图7的控制不同。

具体而言，主控制器9A首先推导出对来自控制装置9的工作台速度指令所表示的值乘以速度前馈增益K_vff而得出的速度前馈值VFF。

其后，主控制器9A从速度前馈值VFF减去对工作台速度信号所表示的值乘以速度反馈增益K_v而得出速度反馈值VFB从而推导出第2控制值V2。

其后，主控制器9A从第2控制值V2减去加速度反馈值AFB而推导出马达转速指令或转矩指令，其中，该加速度反馈值AFB对工作台速度信号进行一阶伪微分而得到的工作台加速度信号所表示的值乘以加速度反馈增益K_a而得到。

另外，在图9所示的控制中，主控制器9A同样也可以将来自控制装置9的工作台加速度指令所表示的值乘以加速度前馈增益K_aff而得出的值AFF(未图示)和第2控制值V2进行加法运算之后，减去加速度反馈值AFB而推导出马达转速指令或转矩指令。并且，主控制器9A也可以省略速度反馈值VFB的计算、及从速度前馈值VFF减去速度反馈值VFB的运算。

如此，与图7所示的情况同样，图9所示的主控制器9A在具有由公式(6)表示的传递函数的控制模型下调节加速度反馈增益K_a，由此能够实现所希望的控制衰减系数ζ_c。其结果，具备图9所示的主控制器9A的平面磨床100能够使X轴工作台2加速或减速时所产生的X轴工作台2的振动提早衰减。

接着，参考图10，对主控制器9A的又一结构例进行说明。

在图10的结构例中，主控制器9A从工作台加速度传感器(未图示)获取工作台加速度信号从而代替工作台位置信号，在这一点上与图7的情况不同。即，反馈从工作台加速度传感器直接得到的工作台加速度信号，在这一点上与反馈对工作台位置信号进行二阶微分而得到的工作台加速度信号的图7的控制不同。

并且，主控制器9A无需基于工作台位置指令推导出第1控制值V1而是基于速度前馈值VFF推导出马达转速指令或转矩指令，在这一点上与图7的控制不同。

具体而言，主控制器9A首先推导出将来自控制装置9的工作台速度指令所表示的值乘以速度前馈增益K_vff而得出的速度前馈值VFF。

其后，主控制器9A从速度前馈值VFF减去加速度反馈值AFB而推导出马达转速指令或转矩指令。

另外，在图10所示的控制中，主控制器9A同样也可以将来自控制装置9的工作台加速度指令所表示的值乘以加速度前馈增益K_aff而得出的加速度前馈值AFF(未图示)和速度前馈值VFF进行加法运算之后，减去加速度反馈值AFB而推导出马达转速指令或转矩指令。

如此，与图7所示的情况同样，图10所示的主控制器9A在具有由公式(6)表示的传递函数的控制模型下调节加速度反馈增益K_a，由此能够实现所希望的控制衰减系数ζ_c。其结果，具备图10的主控制器9A的平面磨床100能够使X轴工作台2加速或减速时所产生的X轴工作台2的振动提早衰减。

另外，图8～图10所示的主控制器9A也可以推导出使实际的工作台位置的值与工作台位置指令所表示的值之差抵消或者使实际工作台速度的值与工作台速度指令所表示的值之差抵消的马达转速指令或转矩指令。例如，与图7的情况同样，图8～图10所示的主控制器9A也可以将基于工作台位置指令所表示的值和工作台位置信号所表示的值PL计算出的第1控制信号V1加在速度前馈值VFF上。

并且，图7～图10的各主控制器9A的结构由用于进行数字控制的数字电路构成，但本发明并不限定于此。例如，主控制器9A也可以由包含运算放大器等的模拟电路、模拟计算机等构成。

接着，参考图11，对通过主控制器9A控制的X轴工作台2的振动衰减特性进行说明。另外，图11是表示X轴工作台2的工作台位置、工作台速度、及工作台加速度的经时变化的图，图11中的上图表示未使用加速度反馈值AFB时的变化，图11中的下图表示使用加速度反馈值AFB时的变化。并且，工作台位置的经时变化在图11中的上图及图11中的下图中是相同的。

并且，图11中的阴影区域表示从工作台加速度的值低于规定值导致工作台速度稳定之后到工作台加速度的值再次成为规定值以上导致工作台速度发生变动为止的时间。相反，图11中的非阴影区域(白色区域)表示从工作台加速度的值成为规定值以上导致工作台速度开始发生变动之后到工作台加速度的值成为低于规定值的值导致工作台速度变稳定为止的时间。以下，将阴影区域称为工作台速度稳定期，将非阴影区域(白色区域)称为工作台速度变动期。

如图11所示，与未使用加速度反馈值AFB时的工作台速度变动期(图11中的上图的白色区域)相比，使用加速度反馈值AFB时的工作台速度变动期(图11中的下图的白色区域)较短。并且，与未使用加速度反馈值AFB时的工作台速度稳定期(图11中的上图的阴影区域)相比，使用加速度反馈值AFB时的工作台速度稳定期(图11中的下图的阴影区域)较长。这意味着X轴工作台2的1次行程中，能够利用于工件W磨削的部分较长。并且，意味着能够进一步加大载置于X轴工作台2的工件W的X轴方向的容许最大长度。即，意味着磨削效率、能量转换效率及加工对象可容纳性均得到改善。

通过以上结构，具备主控制器9A的平面磨床100能够使伴随X轴工作台2的加减速引起的X轴工作台2的振动提早衰减，从而能够提高磨削效率、能量转换效率及加工对象可容纳性。

并且，具备主控制器9A的平面磨床100的操作人员通过适当地调节加速度反馈增益K_a，能够缩短X轴工作台2的工作台速度的稳定时间。

并且，操作人员通过以使控制衰减系数ζ_c的值接近1的方式调节加速度反馈增益K_a，能够减少或防止X轴工作台2的工作台速度超出速度指令的值的情况的发生。

另外，与开式回路油压系统相比，一般的闭式回路油压系统没有对工作油的流动进行控制的阀，油路中的压力损失较小，因此振动的衰减性容易变差。然而，通过主控制器9A控制的工作台移动机构20能够将控制衰减系数ζ_c的值设定为所希望的值，因此能够克服这种一般的闭式回路油压系统的缺点。

接着，参考图12及图13，对工作台移动机构的另一实施例进行说明。另外，图12是表示工作台移动机构20V的结构例的概要图，对应图5。并且，图13是表示搭载工作台移动机构20V的平面磨床100使X轴工作台2移动时的控制流程图，对应图6。

工作台移动机构20V为包含单向油压泵24u、方向控制阀25、溢流阀26、止回阀27、28的开式回路油压系统，在这一点上与包含双向油压泵24的图5的工作台移动机构20不同。然而，工作台移动机构20V在其他方面是与图5的工作台移动机构20共同的。因此，省略共同点的说明，并对不同点进行详细说明。

如图12所示，单向油压泵24u通过工作台驱动用马达8而被旋转驱动，从排出端口排出与工作台驱动用马达8的转速相对应的流量的工作油。

工作台驱动用马达8根据马达驱动器8A所供给的电流而被驱动。马达驱动器8A根据来自控制装置9的主控制器9A的流量指令向工作台驱动用马达8供给电流。

方向控制阀25为切换开式回路油压系统内的工作油的流动方向的阀，例如该阀为利用电磁开关的二位四通电磁阀。另外，方向控制阀25也可以为比例阀或伺服阀。具体而言，方向控制阀25具有第1位置及第2位置这2个阀位置。第1位置使单向油压泵24u的排出端口与缸体21的第1压力室21SF连通，且使缸体21的第2压力室21SB与罐体T连通。第2位置使单向油压泵24u的排出端口与缸体21的第2压力室21SB连通，且使缸体21的第1压力室21SF与罐体T连通。另外，图12表示方向控制阀25处于第2位置、单向油压泵24u所排出的工作油流入到第2压力室21SB、第1压力室21SF的工作油向罐体T流出的状态。并且，图12表示X轴工作台2沿箭头AR表示的方向(-X方向)移动的状态。

溢流阀26为防止在管路C1中流动的工作油的压力超过规定压力(例如2MPa)，同时将该压力维持为规定压力的阀。另外，管路C1为连接方向控制阀25的罐体端口和罐体T的管路。溢流阀26通过将管路C1内的工作油的压力维持为规定压力，能够使从缸体21流出的工作油的流量变得稳定，进而能够使X轴工作台2的移动变得稳定。

并且，溢流阀26通过将在管路C1中流动的工作油的压力维持为规定压力而使从压力室21S流出的工作油经由管路C2在管路C3中合流。这是为了通过使从缸体21流出的工作油经由管路C2返回到单向油压泵24u的吸入端口而有效利用背压。另外，管路C2为连接管路C1和管路C3的管路，管路C3为连接单向油压泵24u的吸入端口和罐体T的管路。

止回阀27为设置于管路C2上且禁止工作油从管路C3流向管路C1的阀。并且，止回阀28为设置于管路C3上且禁止工作油从单向油压泵24u流向罐体T的阀。当使从缸体21流出的工作油经由管路C2返回到缸体21时需要止回阀27、28。

另外，也可以省略使从缸体21流出的工作油返回到单向油压泵24u的功能。在该情况下，省略管路C2、止回阀27、28。并且，在省略管路C2的情况下，也可以省略溢流阀26。

并且，如图13所示，主控制器9A从控制装置9获取包含工作台位置指令、工作台速度指令、工作台加速度指令、马达速度指令中的至少1个的各种指令值。而且，主控制器9A根据需要获取各种传感器输出。各种传感器输出包含位移传感器30所输出的工作台位置信号、缸压传感器31F、31B所输出的缸压信号、旋转角传感器32所输出的马达旋转角度信号中的至少1个。

其后，主控制器9A基于所获取的各种指令值及各种传感器输出来生成流量指令。另外，主控制器9A例如使用图7～图10中任一图中记载的结构来生成流量指令。而且，主控制器9A使流量指令的符号为从正和负中二选一的规定大小的电流供给至方向控制阀25。这是为了使方向控制阀25切换阀位置。具体而言，主控制器9A从方向控制阀操作用的I/O端口对连接、切断未图示的电流源与方向控制阀25之间的继电器9B输出与流量指令的符号相关的信息。而且，当流量指令的符号为正时，继电器9B连接电流源和方向控制阀25，使方向控制阀25的阀位置成为第1位置。另一方面，当流量指令的符号为负时，继电器9B切断电流源和方向控制阀25，使方向控制阀25的阀位置成为第2位置。另外，主控制器9A也可以不经由继电器9B而直接对方向控制阀25供给电流。并且，二选一的规定大小的电流中的一方可以为零。

并且，主控制器9A从工作台驱动用马达操作用的I/O端口对马达驱动器8A输出与流量指令的绝对值相关的信息。马达驱动器8A向工作台驱动用马达8供给与来自主控制器9A的流量指令的绝对值相对应的大小的电流。工作台驱动用马达8以与马达驱动器8A所供给的电流相对应的转速旋转而使单向油压泵24u旋转。单向油压泵24u从排出端口排出工作油，并经由方向控制阀25向缸体21的压力室21S中的任一压力室供给工作油。

通过以上结构，工作台移动机构20V通过使用单向油压泵24u及方向控制阀25，能够实现与使用双向油压泵24的情况相同的效果。具体而言，工作台移动机构20V能够减少或防止X轴工作台2的工作台速度超出速度指令的值的情况的发生。并且，工作台移动机构20V能够缩短X轴工作台2的工作台速度的稳定时间。

并且，单向油压泵24u比双向油压泵24价格低廉，容易制造出大容量的油压泵，因此能够提高包含单向油压泵24u的工作台移动机构20V的设计灵活性。

接着，参考图14，对工作台移动机构的又一实施例进行说明。另外，图14是表示工作台移动机构20W的结构例的概要图，对应图12。

工作台移动机构20W采用方向控制阀25A来代替方向控制阀25，以及省略管路C2、溢流阀26、止回阀27及止回阀28，在这两点上与图12的工作台移动机构20V不同。然而，工作台移动机构20W在其他方面是与图12的工作台移动机构20V共同的。因此，省略共同点的说明，并对不同点进行详细说明。

方向控制阀25A为切换开式回路油压系统内的工作油的流动方向的阀，例如该阀为利用电磁开关的三位四通电磁阀。另外，方向控制阀25A也可以为比例阀或伺服阀。具体而言，方向控制阀25A具有第1位置、第2位置及第3位置这3个阀位置。第1位置及第2位置为与图12的方向控制阀25的第1位置及第2位置相同的结构。第3位置切断单向油压泵24u的排出端口和缸体21的压力室21S之间，且切断缸体21的压力室21S和罐体T之间。另外，图14表示方向控制阀25A处于第3位置、X轴工作台2静止的状态。

通过以上结构，工作台移动机构20W能够实现与工作台移动机构20、工作台移动机构20V相同的效果。

并且，工作台移动机构20W通过使方向控制阀25A位于第3位置，能够使X轴工作台2可靠地静止。

另外，工作台移动机构20W也可以包含管路C2、止回阀27及止回阀28，或者，也可以包含溢流阀26，或者，还可以包含其全部。

接着，参考图15及图16，对工作台移动机构的又一实施例进行说明。另外，图15是表示工作台移动机构20X的结构例的概要图，对应图12。并且，图16是表示搭载工作台移动机构20X的平面磨床100使X轴工作台2移动时的控制流程的图，对应图13。

工作台移动机构20X具备工作台驱动用定速马达8uf来代替作为变速马达的工作台驱动用马达8，在这一点上与图12的工作台移动机构20V不同。并且，工作台移动机构20X具备斜板式可变容量型的单向油压泵24uv及斜板驱动部29来代替单向油压泵24u，在这一点上与图12的工作台移动机构20V不同。然而，工作台移动机构20X在其他方面是与图12的工作台移动机构20V共同的。因此，省略共同点的说明，并对不同点进行详细说明。

工作台驱动用定速马达8uf为沿一方向以规定速度旋转的马达，根据马达驱动器8A所供给的电流而被驱动。马达驱动器8A根据来自主控制器9A的接通指令来旋转工作台驱动用定速马达8uf，并根据断开指令使工作台驱动用定速马达8uf停止。另外，工作台驱动用定速马达8uf也可以通过从电源直接供给的电流而被驱动。在该情况下，不需要马达驱动器8A。并且，也可以使用变速马达来代替工作台驱动用定速马达8uf。

单向油压泵24uv为斜板式可变容量型的油压泵，根据斜板偏转角的变化而改变每次旋转的排出量。在本实施例中，单向油压泵24uv的斜板偏转角越大每次旋转的排出量越大。因此，即使单向油压泵24uv的转速恒定，也能够根据斜板偏转角的变化来改变每单位时间的排出量。

斜板驱动部29为用于驱动控制单向油压泵24uv的斜板的功能要件。在本实施例中，斜板驱动部29包含马达驱动器29A及斜板驱动用马达29B。

马达驱动器29A根据来自主控制器9A的流量指令的绝对值进行斜板驱动用马达29B的定位从而改变单向油压泵24uv的斜板的偏转角。斜板驱动用马达29B例如为步进马达，根据来自马达驱动器29A的驱动脉冲来改变单向油压泵24uv的斜板的偏转角。

在此，参考图16，主控制器9A从控制装置9获取各种指令值。而且，主控制器9A根据需要获取各种传感器输出。其后，主控制器9A基于所获取的各种指令值及各种传感器输出来生成流量指令。另外，主控制器9A例如使用图7～图10中任一图中记载的结构来生成流量指令。而且，主控制器9A使流量指令的符号为从正和负中二选一的规定大小的电流供给至方向控制阀25。这是为了使方向控制阀25切换阀位置。另外，主控制器9A也可以不经由继电器9B而直接对方向控制阀25供给电流。并且，二选一的规定大小的电流中的一方可以为零。

并且，主控制器9A从工作台驱动用马达操作用的I/O端口对马达驱动器8A输出接通/断开指令。马达驱动器8A根据来自主控制器9A的接通指令向工作台驱动用定速马达8uf供给电流。工作台驱动用定速马达8uf根据马达驱动器8A所供给的电流进行旋转而使单向油压泵24uv沿规定方向以规定速度旋转。

并且，主控制器9A从斜板驱动用马达操作用的I/O端口对马达驱动器29A输出与流量指令的绝对值相关的信息。马达驱动器29A根据来自主控制器9A的流量指令的绝对值对斜板驱动用马达29B进行定位。斜板驱动用马达29B根据来自马达驱动器29A的驱动脉冲进行旋转，从而改变单向油压泵24uv的斜板偏转角。单向油压泵24uv从排出端口排出与斜板偏转角的大小相对应的工作油，并经由方向控制阀25向缸体21的压力室21S中的任一压力室供给工作油。

通过以上结构，工作台移动机构20X通过使用被工作台驱动用定速马达8uf旋转驱动且被斜板驱动部29调整斜板偏转角的单向油压泵24uv和方向控制阀25，能够实现与如图5所示的使用双向油压泵24的情况相同的效果。并且，能够实现与如图12、图14所示的使用通过变速马达而被旋转驱动的固定容量型的单向油压泵24u和方向控制阀25、25A的情况相同的效果。

并且，单向油压泵24uv比双向油压泵24价格低廉，容易制造出大容量的油压泵，因此能够提高包含单向油压泵24uv的工作台移动机构20X的设计灵活性。

接着，参考图17及图18，对工作台移动机构的又一实施例进行说明。另外，图17是表示工作台移动机构20Y的结构例的概要图，对应图5。并且，图18是表示搭载工作台移动机构20Y的平面磨床100使X轴工作台2移动时的控制流程的图，对应图6。

工作台移动机构20Y具备工作台驱动用定速马达8bf来代替作为变速马达的工作台驱动用马达8，在这一点上与图5的工作台移动机构20不同。并且，工作台移动机构20Y具备斜板式可变容量型的双向油压泵24bv及斜板驱动部29来代替双向油压泵24，在这一点上与图5的工作台移动机构20不同。然而，工作台移动机构20Y在其他方面是与图5的工作台移动机构20共同的。因此，省略共同点的说明，并对不同点进行详细说明。

工作台驱动用定速马达8bf为能够沿双向以规定速度旋转的马达。在本实施例中，工作台驱动用定速马达8bf为三相交流马达，根据马达驱动器8A所供给的电流而被驱动。马达驱动器8A根据来自主控制器9A的流量指令向工作台驱动用定速马达8bf供给电流。并且，工作台驱动用定速马达8bf可通过二相的变换来切换正转和反转。另外，工作台驱动用定速马达8bf的正转/反转的切换还可以使用马达驱动器8A来进行。并且，也可以使用变速马达来代替工作台驱动用定速马达8bf。

双向油压泵24bv为斜板式可变容量型的油压泵，根据斜板偏转角的变化而改变每次旋转的排出量。在本实施例中，双向油压泵24bv的斜板偏转角越大每次旋转的排出量越大。因此，即使双向油压泵24bv的转速恒定，也能够根据斜板偏转角的变化来改变每单位时间的排出量。

斜板驱动部29为用于驱动控制双向油压泵24bv的斜板的功能要件。在本实施例中，斜板驱动部29包含马达驱动器29A及斜板驱动用马达29B。

马达驱动器29A根据来自主控制器9A的流量指令的绝对值对斜板驱动用马达29B进行定位。斜板驱动用马达29B例如为步进马达，根据来自马达驱动器29A的驱动脉冲改变双向油压泵24bv的斜板的偏转角。

在此，参考图18，主控制器9A从控制装置9获取各种指令值。而且，主控制器9A根据需要获取各种传感器输出。其后，主控制器9A基于所获取的各种指令值及各种传感器输出来生成流量指令。另外，主控制器9A例如使用图7～图10中任一图中记载的结构来生成流量指令。而且，主控制器9A从工作台驱动用马达操作用的I/O端口对马达驱动器8A输出与流量指令的符号相关的信息。马达驱动器8A向工作台驱动用定速马达8bf供给与来自主控制器9A的流量指令的符号为正或负相对应的二选一的规定大小的电流。工作台驱动用定速马达8bf根据马达驱动器8A所供给的电流以规定速度沿规定方向旋转而使双向油压泵24bv沿规定方向以规定速度旋转。

并且，主控制器9A从斜板驱动用马达操作用的I/O端口对马达驱动器29A输出与流量指令的绝对值相关的信息。马达驱动器29A根据来自主控制器9A的流量指令的绝对值对斜板驱动用马达29B进行定位。斜板驱动用马达29B根据来自马达驱动器29A的驱动脉冲进行旋转从而改变双向油压泵24bv的斜板偏转角。双向油压泵24bv从第1端口24F及第2端口24B中的任一端口排出与斜板偏转角的大小相对应的工作油，向缸体21的压力室21S中的任一压力室供给工作油。

通过以上结构，工作台移动机构20Y通过使用被工作台驱动用定速马达8bf旋转驱动且被斜板驱动部29调整斜板偏转角的斜板式可变容量型的双向油压泵24bv，能够实现与如图5所示的使用通过变速马达而被旋转驱动的固定容量型的双向油压泵的情况相同的效果。

以上，对本发明的优选实施例进行了详细说明，但本发明并不限于上述实施例，只要不脱离本发明的范围就能够对上述实施例进行各种变形及替换。

例如，在上述实施例中，平面磨床100采用了横轴砂轮头4，但也可以采用纵轴砂轮头。并且，砂轮头也可以具备能够倾斜的轴。

并且，在上述实施例中，主控制器9A对平面磨床100的作为工作台移动机构的油压系统中的工作油的流量及流动方向进行控制。例如，主控制器9A对驱动平面磨床100的构成工作台移动机构的双向油压泵的工作台驱动用马达8进行控制。然而，本发明并不限定于此。例如，主控制器9A也可以对搭载于施工机械、注射成型机、机床等且使重量物移动的油压系统中的工作油的流量及流动方向进行控制，例如也可以对驱动构成闭式回路油压系统的双向油压泵的马达进行控制。

并且，在上述实施例中，油压系统使用工作油的压力(油压)。然而，本发明并不限定于此。油压系统例如也可以使用水等压缩性较低的液体的压力(液压)来代替油压。

并且，在上述实施例中，主控制器9A通过电动马达对油压系统中的工作油的流量及流动方向进行控制。例如，主控制器9A经由马达驱动器8A及工作台驱动用马达8对双向油压泵24的转速进行控制。然而，本发明并不限定于此。主控制器9A也可以通过例如内燃机对油压系统中的工作油的流量及流动方向进行控制。例如，主控制器9A也可以通过内燃机对双向油压泵24的转速进行控制，从而代替通过工作台驱动用马达8对双向油压泵24的转速进行控制。

并且，本申请主张基于2012年3月28日申请的日本专利申请2012-074436号的优先权及2012年7月3日申请的日本专利申请2012-149502号的优先权，这些日本专利申请的所有内容通过参考援用于本申请中。

符号说明

1-主体底座，1AL、1AR-轨道槽，2-X轴工作台，2BL、2BR-导轨，3-横轴砂轮用支柱，4-横轴砂轮头，5-砂轮头旋转用马达，6-砂轮头上下进给用马达，7-砂轮头左右进给用马达，8-工作台驱动用马达，8A-马达驱动器，8uf、8bf-工作台驱动用定速马达，9-控制装置，9A-主控制器，20-工作台移动机构，21-缸体，21S-压力室，21SF-第1压力室，21SB-第2压力室，22-活塞，23F-第1轴，23B-第2轴，23Fa、23Ba-静止物，24-双向油压泵，24F-第1端口，24B-第2端口，30-位移传感器，31F、31B-缸压传感器，32-旋转角传感器，40-砂轮轴，41-砂轮轮体，100-平面磨床，W-工件。

Claims (13)

1.一种平面磨床，使用能够调节工作流体的流量及流动方向的液压系统使移动工作台移动，所述平面磨床具备：

控制装置，将所述移动工作台的位置或速度作为控制目标对所述移动工作台的移动进行控制；及

主控制器，根据来自所述控制装置的工作台位置指令或工作台速度指令和所述移动工作台的加速度对所述工作流体的流量及流动方向进行控制。

2.根据权利要求1所述的平面磨床，其中，

所述液压系统为包含双向液压泵的闭式回路液压系统，

所述主控制器根据来自所述控制装置的工作台位置指令或工作台速度指令和所述移动工作台的加速度对所述双向液压泵的转速进行控制。

3.根据权利要求1所述的平面磨床，其中，

所述液压系统包含具有第1压力室和第2压力室的液压缸，

所述主控制器基于所述第1压力室与所述第2压力室的差压获取所述移动工作台的加速度。

4.根据权利要求1所述的平面磨床，其中，

所述平面磨床具备检测所述移动工作台的位移的位移传感器，

所述主控制器基于所述位移传感器所检测的位移的二阶微分获取所述移动工作台的加速度。

5.根据权利要求1所述的平面磨床，其中，

所述平面磨床具备检测所述移动工作台的速度的速度传感器，

所述主控制器基于所述速度传感器所检测的位移的一阶微分获取所述移动工作台的加速度。

6.根据权利要求1所述的平面磨床，其中，

所述平面磨床具备检测所述移动工作台的加速度的加速度传感器，

所述主控制器基于所述加速度传感器所检测的值获取所述移动工作台的加速度。

7.根据权利要求1所述的平面磨床，其中，

所述液压系统为包含双向液压泵的闭式回路液压系统，

所述主控制器根据来自所述控制装置的工作台位置指令或工作台速度指令和所述移动工作台的加速度对所述双向液压泵的斜板偏转角进行控制。

8.根据权利要求1所述的平面磨床，其中，

所述液压系统为包含单向液压泵的开式回路液压系统，

所述主控制器根据来自所述控制装置的工作台位置指令或工作台速度指令和所述移动工作台的加速度对所述单向液压泵的转速进行控制。

9.根据权利要求1所述的平面磨床，其中，

所述液压系统为包含单向液压泵的开式回路液压系统，

所述主控制器根据来自所述控制装置的工作台位置指令或工作台速度指令和所述移动工作台的加速度对所述单向液压泵的斜板偏转角进行控制。

10.根据权利要求2所述的平面磨床，其中，

所述闭式回路液压系统包含液压缸，所述液压缸具有与所述双向液压泵的第1端口连通的第1压力室和与第2端口连通的第2压力室，

所述主控制器基于所述第1压力室与所述第2压力室的差压获取所述移动工作台的加速度。

11.根据权利要求2所述的平面磨床，其中，

所述平面磨床具备检测所述移动工作台的位移的位移传感器，

所述主控制器基于所述位移传感器所检测的位移的二阶微分获取所述移动工作台的加速度。

12.根据权利要求2所述的平面磨床，其中，

所述平面磨床具备检测所述移动工作台的速度的速度传感器，

所述主控制器基于所述速度传感器所检测的位移的一阶微分获取所述移动工作台的加速度。

13.根据权利要求2所述的平面磨床，其中，

所述平面磨床具备检测所述移动工作台的加速度的加速度传感器，

所述主控制器基于所述加速度传感器所检测的值获取所述移动工作台的加速度。