201238769 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於介隔相對印刷對象具有特定開口圖案之印 刷遮罩’使用刮刀將黏性印刷材料印刷至印刷對象之網版 印刷方法及其裝置。 【先前技術】 網版印刷係一種藉由刮除（以刮刀壓出糊料（印刷劑））油 墨等糊料（印刷劑），使之通過具有開口圖案之網版，將期 望之圖案轉印於印刷對象之孔版印刷方式，可利用於1(：基 板之電路配線形成、或FDP(Flat Display Panel)之圖案形成 (電極形成或螢光體填充）等各種用途。 網版印刷亦被用在例如於電子零件朝印刷配線基板上之 安裝作業之前進行之焊料膏之印刷。焊料膏係將焊料合金 叙末與面黏度液狀助焊劑混合成糊狀者，介隔具有特定開 口圖案之印刷遮罩而轉印至基板上。該網版印刷多採用機 械性強度等方面優秀之金屬製印刷遮罩、及金屬刮刀。 以下，關於現行之焊料印刷，將印刷遮罩稱為金屬網 版、刮刀稱為金屬刮刀、焊料膏稱為糊料來加以說明。 金屬刮刀係以其前端部相對金屬網版之網版面傾斜成特 疋攻角（例如70度）之狀態，藉由一邊對表面供給有糊料之 網版面施昼（印壓）-邊滑動於印刷方向，經由形成於金屬 網版之開口圖案，利用糊料將圖案轉印至印刷對象上者。 在導入糊料印刷步驟之印刷配線基板之印刷面係因藉由 其前步驟中施加之阻焊劑或電極配線等，而存在2〇哗〜8〇 16I303.doc 201238769 μηι程度之凹凸，故包含不鏽鋼之厚度約ι〇〇㈣之金屬網 版在印刷時藉由該等印刷配線基板之凹凸而局部向上抬 升，於金屬遮罩與印刷配線基板之間形成有間隙。因此， 若金屬刮刀通過藉由印刷配線基板之印刷面之凸部而隆起 之金屬網版之凸部，貝||兩去_ P弓太0日丨 π則兩者間產生間隙，該係導致印刷不 良之原因。 為防止該不良，藉由一邊對金屬到刀施加較大印壓一邊 進行印刷，從而抑制上述間隙變小。因此，先前之金屬刮 刀係以耐磨耗性優秀之特殊鋼（超硬合金）製造，以提高其 耐久性。 又’作為該等之解沐斜结，从。1 t 、士策於日本特開平10-1003 74號 公報（專利文獻D中揭示有在與金屬到刀之印刷方向相反側 之則端部’藉由钮刻形成錐面’由於易於彈性變形，故以 ::、印壓亦可穩定印刷’從而降低對金屬網版網版面之損 作為解決因印刷對象階差所造成之印刷不良之對策、及 降低金屬網版損傷之對策 朿刼用以樹月曰製刮刀取代金屬刮 刀進行印刷之方法。 ^下，關於使用樹脂製到刀之網版印刷，將印刷遮罩稱 為格網、到刀稱為氨基甲酸㈣刀加以說明。 等先前之氛基甲酸醋到刀有平刮刀、角到刀、及劍到刀 = 平到刀將作為問題之攻角穩定化之方法，如曰本 ^055230號公報（專利文獻2)中所記裁，提案有將環 161303.doc 201238769 氧玻璃樹脂作為支撐體之包含 咳到刀伤勹人 土甲酸酯製橡膠之到刀β 制料包含 刀部，其係在與該支標體之基端部對向，= 該前端部之方式一體化固定。上述口以蓋 性復原力之環氧玻璃樹脂，且其形狀為平板狀質係具有彈 又’到刀耗^基旨轉作為料f :之到刀前端部對向之到刀另-端部，跨寬方向設置有槽 且以夾持支㈣前端部之方式-體化固定。 根據該先前例，藉由使用如此構成之刮刀，且以其基端 部側固定於刮刀座，可在網版面上進行到除。此時，若長 時間進行刮除，則刮刀部之前端部即使因油墨（糊料）中所 包含之溶劑而產生變化(膨潤），亦由於支樓體之材質為環 氧玻璃樹脂製，故刮刀整體之彎曲彈力無變化，可穩定進 行到除。 又，在曰本實開平1_91536號公報（專利文獻3)中，揭示 有於刮刀内置有金屬製芯材，用以避免刮刀彎曲變形。 作為用於網版印刷之金屬遮罩係於印刷遮罩版框内之空 間配置有金屬板，且將上述金屬板經由跨其整周設置在該 金屬板與上述印刷遮罩版框之間之張力網格，以緊繃狀態 被支樓於上述印刷遮罩版框之組合網格型者。 δ亥印刷遮罩係在對應移動於上述金屬板上之刮刀之移動 區域之印刷有效區域内’製版形成特定圖案開口之印刷遮 罩，並用於網版印刷者。 藉由使印刷對象之上表面對置於金屬遮罩之下表面，且 161303.doc -6 - 201238769 使刮刀在金屬遮罩之上表面滑動，將糊料填充至設置於金 屬遮罩之開口部後，藉由自金屬遮罩離開印刷對象，用以 使印刷材料轉印至印刷對象上。 於上述金屬板上，以雷射加工、鍍敷法、及蝕刻法等， 在印刷有效區域内形成特定之圖案開口。 例如，蝕刻法中，將光阻劑兩面塗敷於上述金屬板之全 域，且藉由使用特定圖案之曝光遮罩將該光阻膜曝光處理 後進行蝕刻處理而形成。 另，網版印刷法係例如被利用於電子裝置、印刷配線基 板之電極配線印刷、朝液晶顯示器用基板之框狀密封材料 之印刷、朝電漿顯示器用基板之介電體層、像素間隔壁或 電極配線及螢光材料之印刷等各種印刷，且上述網格遮罩 之大小，即格網之面積或印刷遮罩版框之尺寸及張力網格 之寬等係根據其用途而設計。 [先前技術文獻] [專利文獻] [專利文獻1]曰本特開平1〇_1〇〇374號公報 [專利文獻2]曰本實開平3-055230號公報 [專利文獻3]曰本實開平ι_91536號公報 【發明内容】 [發明所欲解決之問題] 然而，隨著近年來表面安裝零件之小型化趨勢，印刷配 線板之焊墊之面積係變小’隨之印刷遮罩之開口部之面積 亦變小。 161303.doc 201238769 如此，對開口面積較小之開口部，如專利文獻1記載之 刮刀’即藉由蝕刻形成錐面之金屬刮刀中，由於將糊料壓 入印刷遮罩之開口部之力不足，故印刷配線板之焊墊與開 口部内之糊料之接著性不充分，其結果致使糊料殘留於印 刷遮罩之開口部，產生所謂無法於印刷配線板之焊墊上進 行糊料印刷（轉印）’或印刷之糊料量不足之異常之情形。 一般而言’金屬刮刀與氨基甲酸酯製橡膠刮刀相比，將 糊料按壓入印刷遮罩開口部之力較弱，故被認為係會產生 上述異常者。 又’一般要求金屬刮刀之前端部具有高精度之平坦度、 平面度，上述先前之金属刮刀係在生產時，亦包含有素材 (原材料），由於以放電加工等來進行刮刀前端部之微細加 工，故存在所謂成本極高之問題。再者，於刮刀前端部， 為減小摩擦阻力以使印刷穩定，實施以鐵弗龍（註冊商標） 眾所周知之聚四氟乙烯等之塗敷處理，該亦成為致使金屬 刮刀成本較高之原因。 再者，承受藉由超硬合金製之金屬到刀之高印壓滑接作 用之金屬網版之網版面係損傷較大，且在從如上所述自印 刷配線基板側向上隆起之突部上尤其明顯。即，對於使用 先前之金屬❹以使印刷穩定進行而言，存在金屬網版側 之損傷較大之問題。
到刀座係相對印刷面具有特定角度。 裝部，來固定到刀。 該到刀座之朝印刷基 161303.doc 201238769 台之女裝角度係可調整為期望之角度。 到刀。P係控制成—邊對格網施加適於網版印刷之印屋， -邊以料網版印刷之速度沿格網之表面移I在到刀部 與格網抵接之點施加印麼。在到刀部與格網抵接之點中， ㈣係下壓向印刷對象之表面，且將形成於網版上之開口 圖案之圖像印刷至印刷對象之表面。因此，在進行高品質 之印刷時，重點是格網被網版框均等平衡地拉伸、蝴緊。 又，刮刀與網版係較好為線接觸。再者，接觸之線較好為 直線。 到刀係具有特定角度抵接於印刷面，且對印刷面施加印 壓。因此，由於到刀之前端部寶曲，故存在所謂到刀與印 刷面之角度（簡稱攻角）無法保持特定角度之異常。即，在 先前之平到刀中’存在所謂印刷令攻角變化之問題點。但 在印刷對象（例如’上述之印刷配線基板）具有凹凸之情形 下，有藉由平到刀之彎曲來追從該凹凸之優點。 在先前之平刮刀中，到刀部整體具有—樣之彈性，由於 無弯曲彈力’故在安裝於印刷裝置之座安裝部使用金屬穩 定刮刀之形狀，保持彎曲彈力或硬度。又，由於到刀部整 體具有-樣之彈性，故存在攻角難以保持不變之缺點。 又，在先前之角刮刀或劍刮刀中，存在無法機械研磨， 且難以取得印刷面與刮刀之抵接面之直線性之問題點。 又，專利文獻2記載之刮刀，即以環氧玻璃樹脂作為 樓體之包含氨基甲酸酷製橡膠之刮刀、及專利文獻3記載 之内置有金屬製芯材之刮刀中’雖可抑制平刮刀整體弯曲 161303.doc 201238769 之問題但由於印刷時_料被推上到刀側面，故將糊料壓 入印刷遮罩開口部之力不足，印刷配線板之焊墊與開口部 内之糊料之接著性不充分，其結果致使糊料殘留於印刷遮 罩之開口部’產生所謂無法於印刷配線板之焊墊上進行糊 料印刷（轉印）’或印刷之糊料量不足之異常之情形。 一般而言’使用網格遮罩之網版印刷係與使用金屬遮罩 之網版印刷不同，在利用刮刀印刷前，有必要於印刷遮罩 上（網版面側）藉由刮板塗布糊料。即，塗布糊料且利用存 在於印刷遮罩（網格遮罩）開口部内之網格保持糊料，在利 用刮刀印刷時，可使糊料之喷出量增多。相反，金屬遮罩 係由於在圖案開口部内無保持構件存在，故無法 罩上塗布糊料。 於使用金屬遮罩之情形，由於以單向動作來完成印刷， 故印刷所需時間係可比需要塗布糊料之網格遮罩要短。 網格遮罩係在印刷遮罩與印刷對象之間設置間隙，可與 印刷大致同時離版。 一 另一方面，金屬遮罩係使印刷遮罩與印刷對象密著， 於未設置間隙’故印刷後離版之步驟（印刷遮罩與印刷= 象分離之步驟）變得必要。 因此，即使使用網格遮罩，亦與金屬遮罩相同，以單。 動作來完成印刷係較為重要。因此，本發明之課題係向 刀前端，具#可同時滿足用以提彳印刷遮罩之向開口、於到 填充性之糊料之塗布、與進行自印刷遮 案 之印刷功能的構造及表面狀態。 別對象轉印 I61303.doc •10· 201238769 又，一般而言，糊料係因藉由加以剪切（剪切力）來使流 動性變佳’藉由滾動以使黏度下降從而提升流動性。故， 本發明之課題亦在於使用刮刀印刷之同時，藉由提升糊料 自刮刀之脫模性，來提升糊料之滾動性，並提升印刷性 (填充性、轉印性）。 再者本發明之課題亦在於使用到刀印刷糊料時，由於 糊料沿與印刷料相反側之刮刀側面上推，致使填充向印 刷遮罩之糊料不足。 本發明之課題係發現兼具能解決該等課題之特長的到刀 前端之構造及表面狀態。 又，由於糊料係藉由刮刀之前端部填充至形成於印刷遮 罩之開口圖案，且刮刀之前端部之形狀影響朝印刷遮罩之 糊料填充性，故本發明之課題在於可使填充性比先前之刮 刀有所Φε升之刮刀則端之構造及表面狀態。尤其，因根據 刮刀之前端與印刷對象之印刷面之攻角，施加於糊料之力 之方向會改變，故本發明之課題係以使糊料自大致垂直方 向填充向形成於印刷遮罩之開口圖案。 另一方面，由於到刀上藉由印壓而施加有載荷，故前端 部變形。如上所述，氨基甲酸酯製之平到刀係由於產生整 體f曲，致使刮刀前端之攻角變得極小，且根據印刷對象 之階差其攻角會變動。本發明之課題係在於若攻角變動， 則由於朝印刷遮罩開口部之填充性改變，故降低填充性之 不i句一〇 根據印刷對象物，印刷遮罩係分別使用金屬遮罩、網格 161303.doc • 11 - 201238769 遮罩等。本發明之課題係在於無論對部種印刷遮罩，都可 •應j刀X，本發明之課題還在於作為印刷遮罩係將 期望量之糊料穩定轉印至印刷對象。 再者’根據印刷對象物，使用之糊料有所不同。糊料係 混合固體成分與液體成分之高黏性物質 於使到刀可使用根據目的，其固趙成分以谭料組= 子、銀粒子、燐片狀銀粒子、錦作為主成分之粒子、以金 屬包覆之樹脂粒子、陶究粒子、玻璃粒子中至少t種材料 作為主成分之糊料。 尽發明係蜜於上述問 ，一 凡穴 裡熟關印刷遮 罩開口 〇Ρ中開口面積之大小，可古接A ^ - 了间精度穩疋印刷糊料之網 版印刷方法及其裝置。 ’ [解決問題之技術手段] 本申請案揭示之發明中，若對代表性例之概要加以簡單 說明，則如下所述。 刮刀向印職之安㈣有制刀傾斜於與印刷方向相反 方向之情形、與使到刀傾斜於印刷方向之情形。使到刀傾 斜於與印刷方向相反方向之情形係接觸糊料之到刀面之方 向與到刀之安裝角度實質上垂直。另一方面，刮刀傾斜於 P刷方向之情形，接觸糊料之到刀面之方向與到刀之安裝 角度實質上相同。 、 無論哪種到77之絲方法，在使關刀從特定位置具有 開口部之印刷遮罩將糊料轉印至固定於平台之印刷對象之 特定位置之印刷裝置中，其特徵係刮刀前端之一側之角具 161303.doc •12· 201238769 有圓弧狀之凹形狀’且刮刀與上述印刷對象之印刷面所成 之攻角比到刀安裝角度要小。 藉此，糊料被填入刮刀前端之圓弧狀凹形狀部内，在藉 由到除（到刀係一邊對印刷遮罩之網版面施加壓力（印壓）一 邊滑動於印刷方向)之步驟’可使糊料沿到刀前端之圓弧 狀之凹形狀滾動。 再者，至少包含圓弧狀凹形狀部之接觸糊料之刮刀前端 部之表面係具有排斥糊料之疏液性（液係如油墨之油疏 液性係排斥如油墨之油的性質，顯示與親水性相同之性 質）’藉此可降低糊料與到刀表面之摩擦力，從而提升滾 動性。若滚動性提升，則剪切速度變大，糊料之黏度下 降’糊料變得更容易流動。 此處，作為將排斥糊料之疏液性定量化之技術，使用落 於基材表面之液滴與液滴外周部之基材接觸之點中液滴之 角度（接觸角）。若接觸角較小，則表示基材表面之液滴成 濕潤擴散狀態，相反，若接觸角較大，則基材表面之液滴 成隆起之形狀，表示液滴係被排斥之狀態。 刮刀表面之疏液性係有必要以糊料所含有之溶劑來評 估。將糊料所含有之溶劑落於刮刀表面，其接觸角小於Μ 度之情形係沿刮刀表面使糊料隆起，且滾動速度下降。若 接觸角為45度以上，則刮刀表面之疏液性提升，糊料難以 於刮刀表面濕潤擴散，且糊料之滾動性提升。故接觸角越 大越佳。 作為具有疏液性之瞑較好為無法被糊料所含有之溶劑溶 161303.doc -13· 201238769 解者。對糊料含有之溶劑有抵抗力，又，作為具有疏液性 之材料，例舉有Si〇2、氟樹脂、烴、及含氟烴。 為使攻角變小，若縮小刮刀之安裝角度，則施加印壓之 刮刀頭之殼體、與到刀前端與印刷遮罩接觸之部位產生相 對性之位置偏離，使印壓無法有效施加於到刀前端部。 即’若力點產生相對性之位置偏離，則轉動力矩作動，該 情形下，印Μ越高、刮刀前端越成與印壓相反方向之力。 因此’㈣刀頭施加印壓之方向與到刀前端部與印刷遮 罩之接觸點較好在同一方向。 本發明之特徵為在到刀前端圓弧狀之凹形狀之一側接觸 印刷遮罩之狀態下，到刀前端之圓弧狀之凹形狀之另一側 與印刷遮罩之間隙係使用之糊料之平均㈣之聰 刮刀前端之圓弧狀之凹形狀之另一 ° 側之意為加工成到刀前 端之圓弧狀之凹形狀中未接觸印刷遮罩之前端部。 該前端部與印刷遮罩之間隙係與使用之糊料所含有之固 體成分之粒子的大小有關聯甚妥丨 ^ 聊右到刀與印刷遮罩接觸，則 糊料不僅填充至印刷遮罩開口部 '耶有噴出至印刷遮罩之 印刷對象側之可能性。其後，由 山 由於原本有助於印刷之刮刀 之削鳊係到達印刷遮罩之開口 況。 故發生2。人印刷之狀 ^真充糊料至印刷遮罩開σ圖案部相同，相對糊料中之 =成圖案部之大小有必要至少為其1。倍 ^口圖案部比其小之情形係阻礙糊料之流動性，在 圖案部產生糊料中之粒子 >斤致之堵塞，使糊料… 161303.doc 201238769 好透過。因此，刮刀與印刷遮罩之間隙係有必要打開至少 為使用之糊料之平均粒徑10倍以上之間隙。 另一方面，刮刀與印刷遮罩之間隙越小，施加於糊料之 力越大’使朝印刷遮罩之開口圖案部之填充性提升。 如此藉由將與印刷遮罩接觸之刮刀前端部分加工成特殊 形狀，可具有：於印刷遮罩上，將糊料塗布成特定量厚度 之功能；滾動糊料之功能；及將糊料填充至印刷遮罩之開 口部之功能。 此處，本發明之特徵為使用之刮刀之材質係以氨基甲酸 酯作為主成分之樹脂，且其硬度為80度以上。若硬度較 低，則即使使用抑制刮刀變形之支撐體作為支架到2前 端亦藉由印刷時之印壓而變形，到刀與印刷面之攻角不： 到刀雖係可作成足夠高硬度者，但印刷配線基板之 存在有藉由其前步驟實施之阻焊劑、或電極配線 y 、之凹凸，故到刀前端係要求具有柔軟性。 因此，為使到刀兼具形狀保持性與柔軟性，於到 心部分使用芯材。芯材較好具有導電性，尤其較好為包人 液性膜之電極來;形成藉由電栽處理之疏 遮ί，：=trr印刷裝*之刮刀係可使用作為印刷 屬遮罩進:二：定開°部之金屬板之印刷遮革(金 I61303.doc •】5· 201238769 再者，搭載於本發明之印刷裝置之❹係可制作為印 刷遮罩，其特徵為以至少包含金屬網格與有機物之乳劑來 構成圖案形成區域’且乳劑具有特定開口部之印刷遮罩 (網格遮罩）。 作為使用搭載於本發明之印刷裝置之刮刀之印刷遮罩係 並不限定於此處加以說明之金屬遮罩、及網格遮罩等。 本發明係藉由網版印刷法來印刷圖案之方法，例如可在 電^裝置、朝印刷配線基板之電極配線之印刷、朝液晶顯 示器用基板之框狀密封材料之印刷、朝電漿顯示器用基板 之介電體層、像素間隔壁或電極配線及螢光材料之印刷等 各種領域之印屈j ’進行先前技術不可能之微細圖案之印 刷〇 [發明之效果] 藉由本發明之刮刀，無關印刷遮罩之開口部之開口面積 之大小’可高精度穩定印刷糊料。 【實施方式】 以下之貫施形態係為方便起見且在有必要時，分割為複 數個部分或實施形態來加以說明，除特別明示之情形外， 該等係並非相互無關者，存在一方係另一方之一部分或整 . 體之變形例、細節、補充說明等之關係。 · 又，以下貫施形態中，當提及要素之數等（包含個數、 數值、量、範圍等）之情形時，除特別明示之情形及原則 上明確限定特定數量之情形等之外，並非限定於該特定之 數量’亦可為特定之數量以上或以下。 161303.doc -16 - 201238769 在用，說明本實施形態之全圖中具有相同功能者係以附 加㈣符唬’原則上省略其重複說明。以τ，基於圖示， 對本發明之貫施形態加以詳細說明。 [實施例1] 關於實施例1之刮刀1之構成’使用圖1加以說明。圖⑽ 使用本實施m之刮刀！模擬印刷狀況之剖面圖。圖 簡化，省略將到刀【固定於印刷裝置之座、及形成於印刷 遮罩11之開口部等之記述。 到刀1係以氨基甲酸酯樹脂101覆蓋芯材1〇2之周圍，並 於其表面形成有疏液性之膜1〇3。又，在到刀】之前端，形 成有圓弧狀之凹形狀部8。印刷時，藉由賦予刮W印壓， 以按壓印刷遮罩"之印刷遮罩表面5之狀態，使到刀作動 於印刷方向2 ’藉此可印刷糊料9。 對本實施m之到刀i之製造方法之_例加以說明。首 先，作為前步驟，建立作為刮別之基礎之構造物。使用 加工成特定尺寸之模具’設置作為芯材1G2之不鏽鋼角 材，將作為氨基甲酸醋樹脂101之原料之溶液流入模具。 以適當之溫度分布加熱，使氨基曱酸酯樹脂ι〇ι硬化。在 溫度下降之階段，#由自模具取出刮刀i，而製作於芯材 ⑽之周邊形成有氨基甲酸酯樹脂1〇1之到刀i之構造物。 以此方式，形成硬度為80度以上之氨基曱酸酯樹脂。 作為一例，以使刮刀前端成特定形狀（圓弧狀之凹形狀部8) 之方式’用刮刀研磨機實施加卫。作為預備，對到刀前端 形成之特定形狀（圓弧狀之凹形狀部8)之研磨，亦有形成於 161303.doc 201238769 刮刀1之對角之情形。 作為到刀表面之疏液處理之一例，對形成烴膜之方法加 以說明。烴膜係藉由電漿處理來進行。首先，對以前步驟 製作之到刀1進行遮蔽，僅露出烴膜之成膜部位。 圖2係作為一例用以說明於内置有芯材102之刮刀1連接 電源連接端子之方法之第—例之俯視圖。圖2係為簡化， 省略電源連接端子、遮蔽#之記述。仙以連接形成於從 刮刀1之長度方向兩端露出之芯材1〇2之電源連接端子的孔 104，女裝電源連接端子（未圖示），放入未圖示之成膜裝置 腔室内，導入作為材料氣體之含碳化合物氣體，於此狀態 下經由電源連接端子對芯材102施加高頻電力。藉此，在 成膜裝置之腔室内產生電漿，且於氨基甲酸酯樹脂ι〇ι表 面形成類金剛石之烴膜（類金剛石碳膜）。用以連接形成於 芯材102之電源連接端子之孔1〇4只要能導入電源即可，故 僅單側配置亦可。 藉此’在刮刀1之氨基甲酸酯樹脂1 ο 1之表面，形成有作 為排斥糊料之疏液性膜1 〇3之類金剛石碳。 對搭載實施例1之刮刀i之印刷裝置100之構成，使用圖3 加以說明。圖3係搭載本實施例i之刮刀1之印刷裝置1 〇〇之 刚視圖。圖3為簡化而省略顯示裝置之架台、支柱、支樓 構件等。 印刷裝置1 00係具備：印刷遮罩部i 1 〇、印刷對象支樓平 台部23、一對刮刀部120L與120R、刮刀驅動機構部130、 及控制部21。 161303.doc •18· 201238769 印刷遮罩部110之構成係具備：金屬遮罩丨丨，其係設置 有對應印刷對象（例如印刷配線基板）6之期望之電路圖案而 穿設之圖案開口部；俯視為矩形狀之版框22，其係以環繞 金屬遮罩11之張力網格保持緊綳狀態；及支撐構件i u， 其係支撐該版框。印刷對象支撐平台部23係具備：平台 23 1 ’其係載置印刷對象6 ;夾頭部232，其係固定載置於 平台23 1之印刷對象6 ;及上下驅動部233，其係驅動平台 231上下。 刮刀部12 0 L係具備：到刀1L、刮刀座3 L、刮刀座固定 夾具16L、刮刀頭15L、及氣壓缸體24L »刮刀部120R亦與 之相同’具備：刮刀1R、刮刀座3 R、刮刀座固定炎具 16R、刮刀頭15R、及氣壓缸體24R。氣壓缸體24L與24R係 固定於支撐構件25，且驅動與氣壓缸體24L與24R分別相連 之刮刀部120L與刮刀部120R上下。又，支撐構件25係以與 驅動轴27扣合之轴承部26L與26R來支樓。驅動軸27係以滾 珠螺桿構成，且藉由以馬達30旋轉驅動，使與驅動軸27扣 合之轴承部26L與26R移動於圖之左右方向，並使刮刀部 120L與刮刀部120R沿引導軸28移動於圖之左右方向。驅動 軸27與引導軸28係以左右1對之固定板29L與29R來支標。 控制部21係控制印刷裝置100之各部動作。首先，藉由 來自控制部21之控制信號控制用以驅動一對氣壓缸體24L 與24R之氣壓缸體驅動部3 1，來分別驅動1對之氣壓缸體 24L與24R。又藉由來自控制部21之控制信號，控制馬達3〇 之驅動部32，並使馬達30旋轉於正反方向。再者，藉由來 161303.doc -19· 201238769 自控制部21之控制信號，控制用以驅動印刷對象支撐平台 部23之夾頭部232的夾頭驅動部34,使固定載置於平台231 之印刷對象6之夾頭部232進行開閉作動。進而又藉由來自 控制部2 1之控制信號，控制用以驅動印刷對象支撐平台部 23之上下驅動部233的平台驅動部33，且使平台231上下移 動。再者又藉由來自控制部21之控制信號，控制印刷對象 支撲平台部23之夾頭部232之驅動部34，進行夾頭232之開 閉。 對具備上述構成之印刷裝置之動作，使用圖4之流程圖 加以說明。首先，藉由未圖示之搬運機構來搬運印刷對象 ό ’且將其載置於印刷對象支撐平台23上（82〇1)，並以夾 頭部232將印刷對象6固定保持於印刷對象支撑平台23上。 其次，以平台驅動部32驅動上下驅動部233，使平台231上 升（S202)，並使印刷對象6密著於印刷遮罩部11〇之金屬遮 罩11。繼而以氣壓紅體驅動部31驅動氣壓缸體24L，使刮 刀頭15L下降（S203)，並使刮刀1L密著於金屬遮罩 ,11(S204)。此時，1對之刮刀部120L與i2〇r係位於圖3左端 部分。 其次’在該狀態下藉由未圖示之糊料供給機構，將糊料 供給至刮刀1L之附近（S 2 0 5 )。若糊料供給到位’則控制驅 動部32來驅動馬達30 ’並藉由使以滾珠螺桿構成之驅動軸 27旋轉’令安裝於1對刮刀部120L與120R前端之刮刀1L在 按壓金屬遮罩11之狀態下’沿金屬遮罩11自圖3左侧向右 側移動’藉此藉由糊料將金屬遮罩11之圖案印刷至印刷對 161303.doc -20- 201238769 象6上（S2G6)。在刮刀1L移動特定之距離後，令驅動部32 停止驅動馬達30，且停止到刀丨乙之移動。 其-人，以氣壓缸體驅動部31驅動氣壓缸體24L，使刮刀 頭15L上升（S207)，且使刮刀1£脫離金屬遮罩u。繼而， 以平台驅動部33控制上下驅動部233，使平台231下降 (S208)，且從金屬遮罩丨i剝離以夾頭部232保持之印刷對 象6。平台231若到達下降端，則停止藉由上下驅動部233 之平台231之加工，且控制夾頭驅動部34，打開保持印刷 對象6之夾頭部232，藉由未圖示之操縱機構，從平台23ι 取出印刷對象6(S209)。判定該取出之基板是否為最後處 理之基板（S210) ’若為最後之情形則完成處理。 另一方面，繼而有處理之基板之情形，則再實行自 開始之處理流程。然而，該情形中，在S2〇3中使刮刀頭 15R下降，且在S204、S206、S207 t進行將刮刀il置換為 1R之處理。又，使密著於金屬遮罩11之刮刀丨R從圖1之右 側向左側移動來進行網版印刷。如此藉由交替使用刮刀1L 與1R進行網版印刷，使供給之糊料總是在與金屬遮罩密著 之刮刀之前進方向之前方，可有效使用糊料。 其次’關於1對刮刀部120L與120R之構成，以數個具體 例加以說明。 首先’關於刮刀部120L之構造之第1例，用圖5A加以說 明。另，刮刀部120R之構造係僅與刮刀部120L成對稱，基 本構造相同。刮刀1L係以傾斜於相對印刷方向2之反方向 之方式，藉由刮刀座按壓板4L固定於刮刀座3L。於刮刀座 161303.doc •21· 201238769 3L，叹置有相對印刷遮罩表面5、印刷對象6之印刷面或印 刷對象支樓平台（圖3之23 1}之印刷對象支撐面（上表面）以 特定角度傾斜、用以支撐到刀仏之到刀安裝面几。到刀 】L係在與其前端部之印刷遮罩（金屬遮罩）11接觸之側之 角’形成有圓弧狀之凹形狀部8L。 印刷時，糊料9係最初接觸於與到刀1L之安裝面7L之角 度本質丨生垂直之刮刀之糊料初期接觸面10L，在金屬遮罩 11上塗布糊料9之同時，將糊料9插入形成於金屬遮罩“之 印刷遮罩開口部12。再者，以到刀前端之圓弧狀之凹形狀 部8L滾動糊料9，且經由形成於金屬遮罩丨丨之印刷遮罩之 圖案開口部12，將糊料9填充到印刷對象6上之電極焊墊 13。於印刷對象6，利用阻焊劑14覆蓋電極焊墊13之特定 圖案開口以外之部分。 關於以於刮刀1L前端之表面形成疏液性膜1〇3之圓弧狀 之凹形狀部8L滾動糊料9，且經由印刷遮罩之圖案開口部 12到達印刷對象6上之電極焊墊13，使用圖5B&C加以詳 細說明。 首先’使用圖5B’將在到刀1L —邊按遷金屬遮罩η， 一邊移動於箭頭2之方向時’糊料9係從刮刀前端表面形成 有疏液性膜103之圓弧狀之凹形狀部8L，經由形成於金屬 遮罩11之印刷遮罩之圖案開口部丨2，填充至印刷對象6上 之電極焊墊13上的情形，以（a)〜(e)之時序排列加以模式化 說明。 (a)係顯示於刮刀1L前端之表面形成有疏液性膜1 〇3之圓 161303.doc -22- 201238769 狐狀之凹形狀部8L係尚未到達形成於金屬遮罩11之印刷遮 罩之圖案開口部12前之狀態。若刮刀1L之前端之角部81L 係以按壓金屬遮罩11之表面5之狀態移動於箭頭2之方向， 則供給至刮刀1L之進行方向前面之糊料9係被刮刀1L之糊 料初期接觸面10L按壓，並與刮刀il移動於相同方向，且 一部分係從於刮刀1L前端之表面形成有疏液性膜1〇3之圓 孤狀之凹形狀部8L之前端之金屬遮罩il之側突出之角部 82L與金屬遮罩1丨之間之間隙〇進入圓弧狀之凹形狀部8L 之内側（4 )’且觸及按壓於金屬遮罩丨丨之表面5之刮刀α 前端之角部81L’並退避至上方（口），進而沿表面形成有 疏液性膜103之圓弧狀之凹形狀部8L之上表面，自間隙〇 被按壓至刮刀1L之糊料初期接觸面1 〇l之側（/、）。 到刀1L係進而前進於箭頭方向，如（b)所示若刮刀1L* 端之圓弧狀之凹形狀部8L之前端之角部82L到達形成於金 屬遮罩11之印刷遮罩之圖案開口部丨2之上方，則沿表面形 成有疏液性膜103之圓弧狀之凹形狀部几之上表面，自間 隙G將被按壓至刮刀il之糊料初期接觸面丨〇L側之糊料之 一部分壓入印刷遮罩之圖案開口部二）。 到刀1L係進而前進於箭頭方向，如（c)所示若刮刀儿前 端之圓弧狀之凹形狀部8L到達形成於金屬遮罩丨丨之印刷遮 罩之圖案開口部12之上方，則將糊料壓入印刷遮罩之圖案 開口部12之力係失去作用，以與（a)之狀態相同之方式，自 到刀1L前端之圓弧狀之凹形狀部8L之前端之角部82L與金 屬遮罩11之間之間隙G進入圓弧狀之凹形狀部礼之内側的 161303.doc •23· 201238769 糊料9係沿表面形成有疏液性膜1〇3之圓弧狀之凹形狀料 之上表面’從間隙G被壓出至刮刀1L之糊料初期接觸面 10L(>»、）。 刮刀1L係進而前進於箭頭方向’如⑷所示若按壓於金 屬遮罩11之刮刀1L前端之圓弧狀之凹形狀部乩之角部心 到達印刷遮罩之圖案開口部12之上方，則在表面形成有疏 液性膜103之圓弧狀之凹形狀部8L之内部，觸及角部“匕之 糊料之-部分係被按壓入印刷遮罩之圖案開口部12(示）， 殘留部分退避至上方（口），並沿圓弧狀之凹形狀部几之上 表面，從間隙G被廢出至刮刀1L之糊料初期接觸面丨扎之 側（，、）。 刮刀1L係進而前進於箭頭方向，如⑷所示若刮刀化前 端之圓弧狀之凹形狀部8L之角部81L通過印刷遮罩之圖案 開口部12,則完成藉由圖案開口部12之網版印刷。 此處，在圖5B之（b)中，關於糊料在表面形成有疏液性 膜1〇3之圓弧狀之凹形狀部8L之内部滾動，且其一部分被 壓入印刷遮罩之圖案開口部12之内部之狀態，使用圖冗進 而更為詳細的加以說明。 圖5C中’在刮刀il前端之表面形成有疏液性膜1〇3之圓 弧狀之凹形狀部8L中，以箭頭表示糊料9與刮刀1L之相對 位置之變化。另，圖5C中附加之顯示糊料9動向之箭頭 ("Γ )〜（卜）係與圖5(B)描述之（< )〜（水）無直接關聯。 到刀1L之下端之角部81L係以按壓金屬遮罩丨丨之狀態， 被到刀驅動機構130驅動而前進於箭頭2之方向時，供給至 I6l303.doc •24· 201238769
刮刀心方之糊料9係從⑷之位置，自與形成於到刀1L 之凹部乩之和金屬遮罩11接觸之側之相反側之角部82L與 金屬遮罩11之間之間隙G，進人表面形成有疏液性膜1 之 凹aP8L之内。p (口）。若刮刀化進而前進於箭頭2之方向， 則進入凹邛8L内部之糊料9係由於凹部之角部與金 屬遮罩11接觸’故在角部81L被Μ向上方卜），且壓回至 反方向（一）若到刀1L進而前進於箭頭2之方向，則糊料9 係沿形成於凹部8L之壁面之疏液性膜103向下流動於角部 之方向（示），在角部82L之前端部進而向下流動，則其 一部分係被壓入形成於金屬遮罩11之開口部12之内部 (〜），且開口部12之内部被糊料9填充並與印刷對象6上 之電極焊墊13連接。未進入開口部12之糊料9係從角部82 與金屬遮罩11之間隙（^排出至刮刀之糊料初期接觸面i〇L 側（卜）。即，進入凹部8L内部之糊料9在凹部8L内部滾 動，再排出至凹部8L之外部。 如此’在刮刀1L前進於箭頭2方向時，從形成於到刀1L 之凹部8L之角部82L與金屬遮罩11之間之間隙g進入凹部 8L内部之糊料9係在表面形成有疏液性膜ι〇3之凹部8L之内 部滾動’且在從角部82L與金屬遮罩11之間之間隙g排出 至凹部8L之外側時’其一部分係藉由被按壓至形成於金屬 遮罩11之開口部12之内部，於開口部12之内部確實填充有 糊料。 用於印刷之印刷遮罩11 〇係於印刷遮罩版框22内之空 間，配置金屬板11，且在該金屬板丨i與上述印刷遮罩版框 161303.doc -25· 201238769 22之間，介隔設置在其整周範圍内之張力網格（未圖示卜 以綳緊狀態將上述金屬板U支撐於上述印刷遮罩版框以之 組合網格型者。 該印刷遮罩110係在對應移動於上述金屬板丨丨上之到刀 1L之移動區域之印刷有效區域内，形成特定圖案之開口 12 ’且製版並用於印刷者。 關於在搭載本實施例1之到刀之印刷裝置1〇〇中之到刀機 構，使用圖6加以說明。如圖5A之說明，固定有刮刀丨匕之 刮刀座3L係固定於刮刀頭15L，且以與獨立移動之成對之 另一側之到刀頭15R對置之方式而設置。刮刀頭15L與15R 係為取得金屬遮罩11之表面5與到刀il及1R之特定攻角， 而使用刮刀座安裝角度設定夾具2〇l及20R來設定角度，且 刮刀座3L及3R藉由到刀座固定夾具16L及16R來固定。 關於搭載於印刷裝置100之本實施例i之刮刀前端構造， 使用圖7A為例對到刀il加以說明。刮刀il係以安裝角 17L(相對水平方向之角度）安裝於刮刀座3L(參照圖5)。本 實施例1中’刮刀1L相對到刀座3L之安裝角17L係設定在 30°至45°之間。於刮刀il之前端部與印刷遮罩丨丨接觸之側 之角部81L ’形成有圓弧狀之凹形狀部8L »該圓弧狀之凹 形狀部8L係在刮刀1L以安裝角17L安裝於刮刀座3L之狀態 下，使角部8 1L與印刷遮罩11接觸時，以在突出於圓弧狀 之凹形狀部8L之印刷遮罩11側之另一端82L與印刷遮罩丄i 之表面5之間產生間隙G之方式而形成。 如使用圖5B及C說明般，在表面形成有疏液性膜1〇3之 161303.doc •26- 201238769 圓弧狀之凹形狀部8L之内部滾動之糊料9係為在通過圓弧 狀之凹形狀部8L之另一端82L與印刷遮罩11之表面5之間之 間隙G ’排出至到刀1L之糊料初期接觸面1 〇l之側時產生 按壓刮刀1L之力，在通過間隙g時有必要使糊料9向下流 動。因此’作為圓弧狀之凹形狀部扎之另一端82L之條 件’如圖7B所示之另一端82L中圓弧狀之凹形狀部8L之切 線相對金屬遮罩11之表面5的角度eL係以成5度至80度之範 圍之值之方式’來形成圓弧狀之凹形部8L亦可。 與刮刀1L相對到刀座3L之安裝角17L之角度本質上垂直 之刮刀之糊料初期接觸面10L與印刷遮罩表面5(到刀接觸 面）、印刷對象6之印刷面或印刷對象支撐平台23丨之印刷 對象6支撐面之角度係糊料初期接觸面角18L。本實施例1 中’糊料初期接觸面角18L係在45。至60。之間。 另一方面’在到刀1L與印刷遮罩11接觸之位置81L中， 刮刀1L與印刷遮罩表面5之刮刀接觸面之角度係攻角i 9L。 本實施例1中，擺動攻角19L來檢證印刷狀況。 使用糊料初期接觸面角1 8L，在印刷遮罩11之表面5上塗 布糊料9之同時，可將糊料9插入形成於印刷遮罩n之圖案 開口部12 ^再者，在到刀仏之前端之表面形成有疏液性膜 103之圓弧狀之凹形狀部乩之内侧強制性滾動糊料9，且對 糊料9施加相對形成於印刷遮罩丨丨之圖案開口部12垂直方 向之力’可以攻角19L經由形成於印刷遮罩11之圖案開口 部將糊料9填充至到達印刷對象6上之電極焊塾13。 本實施例之刮刀1L之特徵係具有於刮刀1L之前端表面形 161303.doc -27- 201238769 成有疏液性膜103之圓弧狀之凹形狀部8L，且與糊料初期 接觸面角18L相比’攻角19L較小。另，關於到刀1R亦藉 由設置有於前端表面形成有疏液性膜1〇3之圓弧狀之凹形 狀部8R，可取得與刮刀1L之情形相同之效果。 作為用於實施例1之檢證試驗之糊料，使用（A) : Lf_ 204-15((股）田村化研公司研製、焊料粒子之粒徑：1〜以 μπι)及（B) : M705-BPS7_T1J(千柱金屬工業（股）研製、焊料 粒子之粒徑：1〜6 μιη)，且使用以氨基甲酸酯作為主成分 之樹脂刮刀，印刷遮罩U係使用在厚度7〇 μπι之金屬板上 形成直徑50 μπι〜200 μπι之圖案開口部12之金屬遮罩來進行 網版印刷。 使刮刀1傾斜於印刷方向相反之方向，且刮刀1之到刀座 安裝角係在30。至45。之間，糊料初期接觸面角18(到刀先行 接觸糊料之刮刀面之方向之角度）係在45。至6〇。範圍内。 又，作為用於檢證之到刀係使用相同形狀之本實施例製 作之表面形成有疏液性膜103且賦予疏液性之刮刀、與表 面未形成疏液性膜，且未進行疏液處理之刮刀來比較並研 究。 在圖案開口部12中’如圖5Α所示直徑為d深度為Η之圖 案開口部12之壁面之面積（πΕ>Η)除以圖案開口部之面積 (tcD2/4)之值（4H/D)係印刷難易度指標。即，以該印刷難易 度才s標為2 · 8以上可進行良好之糊料轉印來作為目標。 貫驗結果’在使用上述（A)作為糊料之情形下，未與印 刷遮罩11接觸乏側之刮刀前端部82L與印刷遮罩表面5之間 161303.doc -28- 201238769 隙G若比〇·12麵窄，則糊料9在形成於刮刀前端之圓狐狀 之凹形狀部8内之流動係受到阻礙，致使轉印之糊料量變 少。該現象係在以未進行疏液處理之刮刀進行印刷之情形 下，表現更為顯著。 又，在使用上述（Β)作為糊料之情形下，未與印刷遮罩 11接觸之側之到刀前端部82L與印刷遮罩表面5之間隙g若 比〇.〇6 mm窄，則糊料9在形成於到刀前端之圓弧狀之凹形 狀。卩8内之〃IL動係受到阻礙，致使轉印之糊料量變少。該 現象亦在以未進行疏液處理之刮刀進行印刷之情形下，表 現更為顯著。 另一方面，未與印刷遮罩丨丨接觸之侧之刮刀前端部ML 與印刷遮罩表面5之間隙G若比！ mm寬，則變得無法於印 刷時將糊料封入形成於刮刀前端之圓弧狀之凹形狀部8 内，會從圓弧狀之凹形狀部8内漏出，由於施加於填充至 印刷遮罩11之圖案開口部12之糊料9之力變弱，致使填充 量及轉印量不足。該現象亦在以未進行疏液處理之刮刀進 行印刷之情形下，表現更為顯著。 然而，該間隙G所謂之1 mm係藉由形成於刮刀前端之圓 弧狀之凹形狀部8之形狀而定者，雖用於實驗之刮刀丨之情 形係以1 mm為界限，但間隙〇在丨mm以上，只要亦可形成 圓弧狀之凹形狀部8之前端部82之切線方向朝向印刷遮罩 表面5之方向，將糊料9之一部分封入圓弧狀之凹形狀部8 内部之空間’則可將糊料封入圓弧狀之凹形狀部8内，且 可進行足夠量之填充及轉印。 161303.doc -29- 201238769 從該實驗結果可知，在形成於到刀前端之圓弧狀之凹形 狀部8L之一側81L接觸印刷遮罩表面5之狀態下，到刀前端 之圓弧狀之凹形狀部8L之另一側82L與印刷遮罩表面5之間 隙G係有必要為使用之糊料之平均粒徑之1〇倍以上。到刀 前端之圓弧狀之凹形狀部8L之另一側係在加工成刮刀前端 之圓弧狀之凹形狀，且未接觸印刷遮罩表面5之前端部 82L。 在任一情形中，本實施例製作之賦予疏液性之刮刀與未 進行疏液處理之刮刀相比，轉印量變多。該主要原因係認 為由於形成於刮刀前端之圓弧狀之凹形狀部8之刮刀面具 有疏液性，故對糊料9之滾動性無阻礙，且可使糊料9維持 低黏度狀態。 又，作為比較例如圖8所示，亦使用刮刀前端未加工之 到刀及經實施直線狀傾斜研磨加工之刮刀來進行印刷實 驗。在該情形中，亦以相同形狀，使用賦予疏液性之到刀 與未進行疏液處理之刮刀進行比較及研究。 其結果，使用如圖8(b)所示之前端部分未實施加工之刮 刀之情形下，若圖案之開口部12之直徑未達到15〇 ^^以 上’則無法進行良好之圖案印刷。在賦予疏液性之到刀 中，刮刀表面之糊料9變滑，向印刷遮罩丨丨之開口部I〕之 填充量下& ’且肖未賦予疏液性之刮刀相比印刷性惡化， 若未達到180 上’則無法進行良好之圖案印刷。 又’使用如圖8⑷所示之前端部分實施加工之到刀之情 形下’若圖案之開口部12之直徑未達到12〇叫以上，則: 16I303.doc -30· 201238769 法進行良好之圖案印刷。該情形下，即使是賦予疏液性之 到刀，且儘管到刀表面之糊料9變滑，雖向印刷遮罩〖1之 開口部12之填充量良好，且獲得與未賦予疏液性之到刀相 同之印刷性，但若未達到12〇 μιη以上，則無法進行良好之 ' 圖案印刷。 . 另一方面，使用如圖8(d)所示在複數面形成凹形狀之刮 刀進行印刷之情形，可取得與使用圖8(a)所示之本實施例 之將剖面以圓弧形成凹形狀之刮刀來印刷之情形大致相同 之結果，且可對形成於金屬遮罩之直徑為5〇 μπι〜2〇〇 pm之 圖案開口部12之整體圖案進行良好之網版印刷。賦予疏液 性之到刀與未進行疏液處理之刮刀相比，由於轉印量變 夕’且轉印置之不均變小，故更為良好。 如此，藉由將本實施例1之刮刀搭載於印刷裝置可無 關印刷遮罩η之開口部之開口面積大小，進行高精度穩定 之糊料9之印刷。因此，藉由將到刀前端部加工成特殊形 狀，且至少對與糊料9接觸之刮刀前端部賦予疏液性，可 在糊料9填充至具有期望之開口部之印刷遮罩丨1之圖案開 口部12、及進行印㈣象之糊料9之轉印時，促進糊料9之 滾動，且促進糊料9向印刷遮罩u之開口部12之填充性， 並對糊料9附加填充至大致垂直於印刷遮罩丨丨之開口部a 之方向之力。 上述說明之例中，雖於刮刀i之前端部之—側之角部形 成有凹形狀部8，但本實施例係並不限定於此，例如，以 圖9所示之構成作為刮刀丨，亦可。在如圖9所示之構成中， 161303.doc •31 - 201238769 在藉由刮刀座按壓板4如圖5A所示將到刀丨，安裝於刮刀座3 之狀態下，於刮刀1之前端部形成有與印刷遮罩11平行之 面90，且於面90與糊料初期接觸面1〇之間，從面9〇之一端 981至糊料初期接觸面1〇之端面982 ,形成有如圖5a至圖7 說明之構成之凹形狀部98〇如此，藉由形成面9〇,可使印 刷遮罩11與刮刀1，之接觸面積增加，且減少藉由刮刀丨，之 磨損所致之凹形狀部98之變形量，並可謀求刮刀丨，之長壽 命化。 又，面90相對印刷遮罩u略微傾斜而形成，且僅以面 之一端981抵接印刷遮罩η之方式而形成亦可。 [實施例2] 本實施例2係除使用Si〇2或氟樹脂來作為形成於到刀】之 表面之疏液性膜103以外，其餘與上述實施例丨相同。 首先，使用Sih來作為形成於刮刀丨表面之疏液性膜 ，至少在刮刀!接觸糊料9之部分，藉由喷射法塗布含 有烷氧基矽烷之溶液。其後藉由乾燥，可在刮刀丨表面形 成具有疏液性之Si02。 此處使用之由烷氧基矽烷生成之膜係對糊料9所含有之 各種溶劑無污染，且穩定，對水或溶劑之疏液性優異。 此處使时射法作為成膜方法，但亦可藉由氣膠沈積法 或浸潰法·塗布含有烧氧基㈣之溶液，且藉由乾燥來形成 疏液性膜103。 如此，可作成用於至少於接觸糊料9之部分具有包含 Si〇2之疏液性膜103之本實施例2的刮刀j。 161303.doc •32· 201238769 繼而’使用氟樹脂作為形成於刮刀1表面之疏液性膜 103 »至少在刮刀1接觸糊料9之部分，將四氟乙烯與全氟 烷氧基乙烯之共聚物（PFA)混合於氨基曱酸酯樹脂，且藉 由喷射法塗布。其後，藉由以與刮刀之硬化相同之溫度分 布來加熱硬化’可形成將刮刀1表面具有疏液性之四氟乙 烯與全氟烷氧基乙烯之共聚物（pFA)均一分散於整面之 膜。 雖然作為具有疏液性之氟樹脂，除pFA以外，還有 PTFE、FEP、ETFE等’但作為耐有機溶劑性優秀，接觸 角大，且摩擦係數小者係最好為包含四氟乙烯與全氟烷氧 基乙烯之共聚物（PFA)之膜。 此處，作為形成具有四氟乙烯與全氟烷氧基乙烯之共聚 物之膜之方法，雖然有混合於氨基f酸酯樹脂，藉由喷射 法塗布，且加熱硬化來形成疏液性膜1〇3，但亦可藉由浸 潰法塗布硬化來形成疏液性膜丨〇3。 如此，可作成用於至少在接觸糊料9之部分具有分散有 四氟乙烯與全氟烷氧基乙烯之共聚物之疏液性膜ι〇3之本 實施例2之到刀1。 以本實施例2檢證印刷狀況之結果係取得與以實施例〗檢 證印刷狀況之結果大致相同之結果。 如此，搭載用於本實施例2之刮刀丨之印刷裝置係無關印 刷遮罩11之開口部12中開口面積之大小’可高精度且穩定 印刷糊料。因此，藉由將刮刀前端部加工成特殊形狀，且 至少將疏液性賦予與糊料9接觸之刮刀前端部，可在糊料 16I303.doc •33· 201238769 填充向具有期望之開口部之印刷遮罩11之圖案開口部12、 及進行印刷對象之糊料之轉印時，促進糊料之滾動，且促 進填充向印刷遮罩11之開口部12之糊料之填充性，並對糊 料附加填充至大致垂直於印刷遮罩11之開口部12之方向之 力。 [實施例3] 本貫施例3係除使用網格遮罩來作為印刷遮罩丨丨以外， 其餘與上述實施例1及2相同。 本實施形態3中，於印刷遮罩〗丨上使用網格。作為網格 係使用線徑16 μιη、紗厚35 μπι之高強度線材之#325平紋織 物。在該網格上，使用藉由厚度35 μιη及厚度55 pm之乳劑 形成直徑50 μιη〜200 μιη之圖案開口部之網格遮罩。 由於使用張力網格進行印刷遮罩i i與印刷對象6之離 版，故印刷遮罩之張力為0.2 mm以下（&PR〇TEC(股）公司 研製的張力計STG-80NA測定）。 用於本實施形態3之印刷遮罩1丨之金屬網格係具有4〇% 以上之開口率，且用於金屬網格之線徑係有必要比金屬網 格之開口寬之一半要小。 在形成於網格遮罩之圖案開口部12(參照圖6A)十，以圖 案開口部12之壁面面積（7cDH)除以圖案開口部之面積 (πϋ /4)之值（4H/D)係印刷難易度指標。即，以該印刷難易 度指標為2.8以上可進行良好之糊料轉印來作為本實施形 態3之目標。 實施例3中，由於網格遮罩與印刷對象6有間隙，故與使 161303.doc -34· 201238769 用實施例1及2之金屬遮罩之接觸印刷不同，形成於刮刀前 端之圓弧狀凹形狀部8L之一側81L(參照圖8A)係成接觸於 印刷遮罩11之表面5之狀態，且網格遮罩係成非水平之傾 斜狀態。因此，到刀1L之前端之圓弧狀之凹形狀部8L之另 一側82L與印刷遮罩表面5之間隙G變小。 刮刀前端之圓弧狀凹形狀部8L之另一側82L與印刷遮罩 表面5之間隙G(參照圖8A)係有必要為使用之糊料之平均粒 徑之10倍以上。到刀前端之圓弧狀凹形狀部8之另一側係 在加工成刮刀1L之前端之圓弧狀之凹形狀部几中，未接觸 網格遮罩之前端部82L。 由於本實施例3使用之糊料9之焊料粒子之粒徑與實施例 1及2之情形相同，為12 μιη以下，故’未與網格遮罩接觸 之側之刮刀前端部82與印刷遮罩表面5之間隙〇為〇.6 。 若刮刀接觸網格遮罩，則糊料不僅被填充至網格遮罩之開 口部，亦噴出至網格遮罩之印刷對象側，其後，在原本有 助於P刷之刮刀之前端到達印刷遮罩之開口部時，發生2 次印刷之狀況。因此，糊料從網格遮罩與印刷對象之間滲 出，產生滲漏。 夕 吏用（A)之LF-204-15來作為糊料之情形，若未與網格遮 罩連接之側之刮刀11之前端部82L與印刷遮罩之間隙係比 0.12 mm狹窄，則糊料9在形成於刮刀1L之前端之圓弧狀之 凹形狀部8L内之流動受到阻礙，致使轉印之糊料量變少。 又’使用(B)之M7〇5_BpS7_T1J來作為糊料之情形，未與 印刷遮罩接觸之側之刮刀前端部m與印刷遮罩表面$之間 161303.doc -35· 201238769 隙G若比〇·〇6 mm窄’則糊料在形成於刮刀1L前端之圓弧 狀之凹形狀部8内之流動係受到阻礙，致使轉印之糊料量 變少。 另一方面，未與印刷遮罩接觸之側之刮刀1L之前端部82 與印刷遮罩表面5之間隙G若比1 mm寬，則變得無法於印 刷時將糊料封入形成於刮刀1L前端之圓弧狀之凹形狀部8L 内’且從圓弧狀之凹形狀部8内漏出，由於施加於填充至 網格遮罩之圖案開口部12之糊料之力變弱，致使填充量及 轉印量不足》 然而，該間隙G所謂之1 mm係藉由形成於刮刀前端之圓 弧狀之凹形狀部8L之形狀而定者，雖用於實驗之刮刀仏之 情形係以1 mm為界限，但間隙g在1 mm以上，只要亦可形 成圓孤狀之凹形狀部8L之前端部82L之切線方向朝向印刷 遮罩表面5之方向，將糊料9之一部分封入圓弧狀之凹形狀 部8L内部之空間’則可將糊料封入圓弧狀之凹形狀部乩 内’且可進行足夠量之填充及轉印。 在任一情形中’本實施例1及2製作之賦予疏液性之到刀 與未進行疏液處理之刮刀相比，轉印量變多。主要原因係 被認為由於形成於刮刀前端之圓弧狀之凹形狀部8之到刀 面具有疏液性’故對糊料9之滾動性無阻礙，且可使糊料9 維持低黏度狀態。 本實施例3雖對左右配置有相同之刮刀1L&尺之印刷機 進行研究’但在使用網格遮罩之印刷機中，存在單面搭載 有用以於印刷遮罩11之開口部12及印刷遮罩表面5塗布糊 161303.doc -36 - 201238769 料9之刮板（未圖示）之印刷機。此處使用之刮板係多為不鏽 鋼製之板狀者，且根據使用之糊料9係有必要存在使糊料9 附著於該刮板，且在作業中又使糊料9落於印刷遮罩 之情形。與實施例1及2製作之刮刀丨相同，藉由將疏液性 賦予到板表面，可不必進行使糊料落下之作業。又，藉由 在接觸糊料9之刮板之前端部分形成氨基甲酸酯樹脂，可 降低到板對印刷遮罩表面5之損傷。再者，藉由將疏液性 賦予刮板前端部分之氨基甲酸酯樹脂，進而降低印刷遮罩 表面5之損傷。 以本實施例3檢證印刷狀況之結果係取得與以實施例i〜2 檢印刷狀況之結果相同之結果。即，可對形成於網格遮 罩之直徑50 μιη〜200 μηι之圖案開口部12之整體圖案進行良 好之網版印刷。 如此’藉由於印刷裝置搭載本實施形態1及2之刮刀，可 .、>、關印刷遮罩11之開口部12中開口面積之大小，對糊料9 進行高精度且穩定之印刷。因此，藉由將刮刀前端部加工 成特殊形狀，且至少將疏液性賦予與糊料9接觸之到刀前 端部’可在糊料9填充向具有期望之開口部之印刷遮罩j i 之圖案開口部12、及進行印刷對象之糊料9之轉印時，促 進糊料9之滾動，且促進填充向印刷遮罩丨丨之開口部12之 糊料9之填充性，並對糊料9附加填充至大致垂直於印刷遮 罩11之開口部12之方向之力。 [實施例4] 關於搭載於本實施例4之印刷裝置之刮刀構造，使用圖 161303.doc -37- 201238769 10及圖11加以說明。本實施例4使用之刮刀係使用平刮 刀、將環氧玻璃樹脂板727作為支撐體插入至刮刀中心之 刮刀71。 又，作為用於檢證之刮刀係以相同形狀之本實施例製作 之賦予疏液性之刮刀與未進行疏液性處理之刮刀來比較並 研究。 圖11顯示本實施例4使用之刮刀71之前端形狀之概略 圖。在圖11中，為對刮刀7 i之前端形狀加以說明以平刮 刀為例，顯示有刮刀構造之重要部位之放大圖。因此，刮 刀表面處理狀況係未圖示。 本實施例4中，使刮刀71之安裝方向與實施例1〜3之情形 為相反之方向，且使到刀丨傾斜於與印刷方向2相同之方 向。除改變刮刀71之形狀以外，與上述實施例1A2相同。 實施例4使用之印刷裝置之構成係基本與圖4說明之構成 相同，由於將圖4之刮刀部12儿與12〇11置換為圖1〇顯示之 構成及與其成對之構成者’故省略整體構成圖之說明。 到刀之安裝係根據使用之印刷裝置，存在如實施例丨〜3 之使到刀！傾斜於與印刷方向2妓方向之情形，及如本實 施例4之使刮刀71傾斜於印刷方向2之情形。 在如實施例之使到刀丨傾斜於與印刷方向2相反方向 之情形下，接觸糊料9之到刀i之面1G(參照圖8)與到刀k 安裝角度17係實質上垂直。另一方面，本實施例*中如 圖η所示，使刮刀71傾斜於印刷方向2之情形，接觸糊料9 之到刀7!之面710相對印刷遮罩表面5之角度718 '與到刀 I61303.doc •38· 201238769 71之安裝角度717係實質上相同β 本實施例中亦如圖Η)所示，使用刮刀71將糊料9從特定 位置具有開口部12之印刷料"轉印至固定於平台如之 印刷對象6之特定位置之印刷裝置中，其特徵為二”之 前端之-側之角具有圓弧狀之凹形狀78，且與到刀Μ之安 裝角度川相比’刮刀71與上述印刷對象6之印刷面所成之 攻角719(參照圖較小。 藉此，將糊料封入刮刀71之前端圓弧狀之凹形狀部78 内，且在到除（刮刀71-邊對印刷遮罩"之網版面施加壓 力（印愿）一邊滑動於印刷方向）步射，可使糊料9沿刮刀 71之前端之圓弧狀之凹形狀部78滾動。 本實施例4使用之到刀係以氨基甲酸酯作為主成分之樹 脂。 如圖11所示，若為使攻角719變小而減小刮刀71之安裝 角度717，則由於施加印壓之刮刀頭715、與刮刀71之前端 與印刷遮罩表面5接觸之部位781產生相對性之位置偏離， 故印壓無法有效施加於刮刀7丨之前端部。即，若力點產生 相對性之位置偏離，則轉動力矩作動，該情形下，印壓越 南刮刀，刮刀前端越成與印壓相反方向之力。 因此’對刮刀頭715施加印壓之方向、與刮刀7丨之前端 部與印刷遮罩表面5接觸之點7 81係以大致排列成同一直線 狀之方式’將接觸點781調整至刮刀頭715之正下方。 本實施例4 _，形成於刮刀7丨之前端之圓弧狀之凹形狀 部78之一側781係保持接觸印刷遮罩丨丨之狀態，刮刀71前 161303.doc -39- 201238769 端之圓弧狀之凹形狀部78之另—側782與印刷遮罩表面5之 間隙G係與實施例m明之情形相同，有必要為使用之糊料 9之平均粒徑之1〇倍以上，且t _以下。刮刀η之前端之 圓弧狀之凹形狀部78之另一側係在加工成刮刀η前端圓弧 狀之凹形狀部78中’未接觸到印刷遮罩表面5之前端部 782 ° 作為本實施例4使用之糊料9之焊料粒子，使用粒徑在12 μιη以下之材料之情形，設未與印刷遮罩11接觸之一側之 刮刀前端部782與印刷遮罩表面5之間隙〇為〇3 刮刀 71若接觸印刷遮罩U ’貝·】糊料不僅填充至印刷遮罩n之開 口部12，亦喷出至印刷遮罩n下面之印刷對象6側，其 後，在原本有助於印刷之刮刀之前端到達印刷遮罩u之開 口部12時，發生2次印刷之狀況。因此，糊料從印刷遮罩 Π與印刷對象6之間滲出，產生滲漏。 實施例1中使用A作為糊料之情形，若未與印刷遮罩丨丨接 觸之側之刮刀前端部782與印刷遮罩表面5之間隙G係比 0.12 mm狭窄，則糊料在形成於到刀前端之圓弧狀之凹形 狀部8内之流動受到阻礙，致使轉印之糊料量變少。 又，實施例1中使用B作為糊料之情形，若未與印刷遮罩 11接觸之側之到刀前端部782與印刷遮罩表面5之間隙G係 比0.06 mm狹窄，則糊料9在形成於到刀前端之圓弧狀之凹 形狀部78内之流動受到阻礙，致使轉印之糊料量變少。 另一方面，未與印刷遮罩11接觸之側之刮刀7丨之前端部 782與印刷遮罩表面5之間隙G若比1 mm寬，則變得無法於 161303.doc • 40- 201238769 印刷時將糊料封入形成於刮刀前端之圓弧狀之凹形狀部78 内’並從圓弧狀之凹形狀部78内漏出，由於施加於填充至 印刷遮罩11之圖案開口部12之糊料9之力變弱，致使填充 量及轉印量不足。 然而，該間隙G所謂之1 mm係藉由形成於刮刀前端之圓 弧狀之凹形狀部78之形狀而定者，雖用於實驗之刮刀71之 情形係以1 mm為界限，但間隙G在1 mm以上，只要亦可形 成圓弧狀之凹形狀部78之前端部782之切線之方向朝向印 刷遮罩表面5之方向，將糊料9之一部分封入圓弧狀之凹形 狀部78内部之空間，則可將糊料封入圓弧狀之凹形狀部78 内’且可進行足夠量之填充及轉印。 本實施例4與實施例1及2相同，印刷遮罩u係使用在厚 度7〇 μΓΠ之金屬板上形成直徑5〇 μιη〜2〇〇 μιη之圖案開口部 12之印刷遮罩u。本實施例4中，使到刀”傾斜於與印刷 方向2相同之方向，且到刀71安裝向到刀座73之安裝角度 717為70。’糊料初期接觸面角718(使到前行與糊料 9接觸之到刀71面之方向之角度）係與刮刀安裝向到刀座η 之安裝角度717實質性相同為7G。。將刮刀71與印刷遮罩η 之到刀接觸面之角度變為攻角719並研究。印刷狀況係檢 證朝印刷遮罩"之圖案開口部12之填充性，及印刷對象之 轉印性。 以本實施例4檢證印刷狀況之結果雖係比以實施例卜3檢 證印刷狀況之結果略差，但亦可取得大致相同結果之印刷 性。尤其作為疏液性膜103 ’用類金剛石碳或含有氟基之 161303,doc •41· 201238769 類金剛石碳成膜之刮刀71中’由於接觸糊料之部分之疏液 性略差’故認為檢證印刷狀況之結果略差。又，由於成膜 時之電極與刮刀表面之距離較寬’接觸糊料9之刮刀底部 之疏液性膜103之黏性不足等，故存在刮刀71之類金剛石 碳或含有氟基之類金剛石碳之密著性較弱之虞。 在任一情形下’本實施例4使用之到刀71中，賦予疏液 性之到刀與未進行疏液處理之到刀相比，轉印量要多。兮 主要原因係被認為由於形成於刮刀前端之圓弧狀之凹形狀 部8之到刀面具有疏液性’故對糊料9之滾動性無阻礙，且 可使糊料9維持低黏度狀態。 作為實施例4之比較實驗，與圖9說明之情形相同，使用 將前端部分加工成各種形狀之刮刀1，且如圖U所示，使 刮刀安裝方向與實施例1〜3相反’且使到刀傾斜於與印刷 方向2相同之方向。除刮刀形狀如圓^所示改變以外，與 上述圖10及圖11說明之構成相同。 在比較實驗中’如圖11所示’亦使用刮刀前端未加工之 刮刀及實施直線狀傾斜研磨加工之刮刀來進行印刷實驗。 在該情形中，亦以相同形狀’使用賦予疏液性之到刀與未 進行疏液處理之刮刀來比較及研究。圖1丨（a)所示之刮刀i 之形狀係與圖10及圖11加以說明者相同。 比較研究結果’使用如圖11 (b)所示之前端部分未實施 加工之刮刀之情形下，若圖案之開口部丨2之直徑未達到 150 μιη以上’則無法進行良好之圖案印刷。在賦予疏液性 之刮刀中，刮刀表面之糊料9變滑，向印刷遮罩^之開口 161303.doc •42- 201238769 部12之填充量下降’且與未賦予疏液性之刮刀相比印刷性 惡化’若未達到1 80 μηι以上，則無法進行良好之圖案印 刷。 又’使用如圖11 (c)所示之將前端部分加工成錐狀之刮刀 之情形下，若圖案之開口部12之直徑未達到12〇 μηι以上， 則無法進行良好之圖案印刷。該情形下，即使是賦予疏液 性之到刀，且儘管刮刀表面之糊料9變滑，雖向印刷遮罩 11之開口部12之填充量良好，且獲得與未賦予疏液性之刮 刀相同之印刷性’但若未達到12〇 μϊη以上，則無法進行良 好之圖案印刷。 另一方面，使用如圖U(d)所示在複數面形成凹形狀， 且於内部形成封人糊料之空間之刮刀來進行印刷之情形， 可取得與使用將圖11(a)之剖面以㈣形成凹形狀之到刀來 印刷之情形大致相同之結果，且可對形成於金屬遮罩之直 徑為5 0 μ m〜2 〇 〇 μ m之圖案開口部i 2之整體圖案進行良好之 網版印刷。舒疏錢之❹與未進行疏液處理之刮刀相 比’由於轉印量變多，且轉印量之不均變小 印=罩本實施例4之刮刀1之印刷裝置係無關 ρ刷遮罩11之開口部12之開口面 穩定之糊料印刷。因此，藉由 、°行同精度 UL 將到刀前端部加工成4#砝抑 狀’且至少將疏液性賦予接觸糊料9之刮刀前端部： 糊料填充向具有期望之開口部之印刷遮罩U之開… 12、及進行印刷對象之糊料9之 ’、部 '^促進糊料之滾 161303.doc -43· 201238769 動，且促進填充向印刷遮罩11之開口部丨2之糊料之填充 性，並對糊料附加填充至大致垂直於印刷遮罩丨丨之開口部 12之方向之力。 [實施例5] 本實施例5係除將使用之糊料進行各種改變以外，與上 述實施例1〜4相同。 在本發明之印刷裝置中，使用之糊料係混合固體成分與 液體成分之高黏性物質’其固體成分係可使用以焊料組成 之粒子、銀粒子、燐片狀銀粒子、鎳作為主成分之粒子、 以金屬包覆之球狀樹脂粒子、陶究粒子、玻璃粒子中至少 1種材料作為主成分者，且關於應用該等糊料之對象物， 其特徵與印刷結果係如下所示。 使用焊料組成之粒子作為固體成分之糊料係用於印刷配 線板之焊墊突塊等之表面安裝技術、及形成半導體晶圓之 焊墊突塊等之焊料連接端子等。使用之焊料組成粒子之形 狀係大致成球形。 焊料組成粒子之粒徑係可藉由使用之圖案來選定丨pm程 度至30 μηι程度。該情形，形成於印刷遮罩丨丨之開口圖案 12之大小係藉由考慮開口部之糊料之流動性，且為焊料組 成粒子之粒徑之10倍以上，則在本實施形態中，亦可進行 與實施形態1〜4相同之良好印刷。 即，焊料組成粒子為1 之粒徑，開口圖案之尺寸有必 要在10 μιη以上，焊料組成粒子為3〇 ^爪之粒徑開口圖案 之尺寸有必要在300 以上。為形成微細圖案，有必要使 161303.doc 201238769 用微細粒徑之焊料組成粒子。 又’使用銀粒子作為固體成分之糊料係用於形成低溫焙 燒陶瓷之配線圖案、及形成太陽電池之電極等。使用之銀 粒子之形狀係大致為球形。 銀粒子之粒徑係2 nm程度至1 0 μιη程度，且在形成微細 配線圖案之情形下，有必要使用微細粒徑之粒子。 另一方面’用於太陽電池之電極形成之銀糊料係由於因 有必要將電極之配線電阻變小，而謀求以低溫焙燒及形成 較厚之配線圖案之膜厚，故有必要使用將數μιη以上之粒 徑之粒子與數nm之粒徑之粒子混合之糊料。若配線寬為5〇 μηι，則使用之銀粒子之粒徑在5 μιη以下為有效。在本實 施形態中，由於轉印性提升，故配線圖案形狀成高縱橫 比’可取得對應微細配線亦可良好印刷之結果。 再者，以先前之刮刀，將銀糊料填充至具有貫通孔之si 晶圓係較為困難，自兩面之填充印刷亦有於中央部殘留空 洞之問題點。藉由使用以本實施例形態製作之刮刀，可提 升填充性，且以銀糊料填埋貫通之孔。尤其藉由將到刀前 端部加工成特殊形狀（圓弧狀凹形狀），且至少將疏液性膜 (類金剛石碳與含有氟基之類金剛石碳之複合膜）賦予接觸 銀糊料之刮刀前端部，可以丨次印刷，將銀糊料填充至形 成於300 μιη之厚度之“晶圓之直徑為1〇〇 μιη之貫通孔。 又，使用燐片狀銀粒子作為固體成分之糊料係用於將零 件搭载於印刷配線板時之導電性接著劑，隨電子零件之小 型化，亦被用於具有突起電極之基板之搭載等。燐片狀銀 161303.doc •45· 201238769 粒子係對銀粒子施加壓力加工成箔狀之異形粒子。該糊料 係由於以接觸電阻確保導電性，故其特徵為不要求印刷圖 案之轉印尺寸精度，在本實施形態中，由於可改善嘴出 性’故未發生局部性塗布不良，且可確實進行印刷。 又’使用以鎳作為主成分之粒子來作為固體成分之糊料 係用於有必要形成超薄膜之導電體之電容器等。以鎳作為 主成分之粒子之粒徑係1 〇 nm程度至100 nm程度，其特徵 為糊料之黏度低下，且具有流動性。 若紗厚變薄’則保持糊料之量變少。喷出量較多之情 形，較好為使紗厚變厚’另一方面，對於微細之電極配線 圖案之形成、或電容器之薄膜電極形成，較好為紗厚較薄 者。在有必要比製織後之紗厚更薄之情形，藉由以輥壓延 網格’來使用具有期望之紗厚之網格。藉由應用之元件， 可選定網格之種類（網格數、開口率、線徑、紗厚等）。 在本實施例5中，由於可改善喷出性，故可形成均一且 膜足夠薄之圖案，且可取得良好之印刷結果。 另一方面’使用以金屬包覆之球狀樹脂粒子作為固體成 分之糊料係異方性導電糊料，用於即使顯示裝置之端子之 電阻比金屬接合更高’亦允許電性連接之印刷配線板之零 件搭載等。以金屬包覆之樹脂粒子之粒徑係丨〇 μηι程度， 印刷圖案之特徵係塗布於搭載之零件之焊墊部整面。本實 施形態中’由於可改善喷出性，故未發生局部性塗布不 良，且可取得良好之印刷結果。 使用陶瓷粒子作為固體成分之糊料係被用於低溫焙燒陶 161303.doc -46· 201238769 瓷之介電體圖案形成、電子電路之絕緣性圖案形成、相對 覆銅聚醯亞氨膜之蝕刻用抗蝕劑之圖案形成、及太陽電池 之絕緣層劃線用圖案形成等。本實施形態由於具有確實之 轉印性旎，故未發生局部性斷線不良，且可取得良好之印 刷結果。 使用玻璃粒子作為固體成分之糊料係被用於作為燒結助 劑添加至銀糊料、低溫焙燒陶瓷之介電體圖案形成、及電 子電路之絕緣性圖案形成等。 陶究粒子及玻璃粒子係因藉由粉碎製造，故為破碎形 狀。在該等情形下，使狀印刷料之開口圖案有必要 平均粒徑之1 〇倍以上。 貫例5使用之刮刀1係刮刀前端-側之角具有圓弧法 之凹形狀部8，且與刮刀1先行且接觸糊料之刮刀面之方^ 之角度18(到刀傾斜於與印刷方向相反方向時）、或到 安裝角度（刮刀傾斜於i £ 一 與上述印刷對象之印刷面所iΛ同）相比，刮z 划 斤成攻角較小，並在接觸糊料之 則端部具有疏液性者，對 搭載該到刀丄之印刷^ _ 體之糊枓，藉由使用 裝置，可無關印刷遮罩 部^開-積大小，進行高精度敎之印 此’搭載料本實施例5mj77l 刷遮罩以_口部12中開口面積之大财=、無關印 穩定印刷糊料。_，藉由將❼可;精度且 狀，且至少將於该 。卩加工成特殊形 糊料填充向具二=料接觸之到刀前端部，可在 開敎印刷遮罩II之圖案開口部 i61303.doc •47· 201238769 12、及進行印刷對象之糊料之轉印時，促進糊料之滾動， 且促進填充向印刷遮罩11之開口部12之糊料之填充性，並 對糊料附加填充至大致垂直於印刷遮罩11之開口部12之方 向之力。 雖以上述之本發明之實施形態加以說明，但基於上述說 · 明可由本領域技術人員作出各種代替例、修正、或變形， · 本發明係在不脫離要旨之範圍内，包含上述各種代替例、 修正、或變形。 【圖式簡單說明】 圖1係使用實施例1之刮刀模擬印刷狀況之剖面圖。 圖2係說明電源連接端子連接於實施例1之刮刀之第一例 之俯視圖。 圖3係顯示搭載實施例1之刮刀之印刷裝置之概略構成方 塊圖。 圖4係顯示以搭載實施例1之刮刀之印刷裝置進行網版印 刷處理之流程圖。 圖5A係顯示實施例1之刮刀機構之概略構成之刮刀機構 之側視圖。 圖5B(a)-(e)係說明以實施例i之刮刀機構進行網版印刷 . 時之刮刀對遮罩之動作、與刮刀前端部分中糊料之流動狀 態之圖。 圖5 C係說明以實施例1之到刀嫩桃 』刀機構進仃網版印刷時之刮 刀前端部分中糊料流動之狀態之圖。 圖6係顯示實施例1中使用之1對到刀機構之概略構成之 161303.doc -48- 201238769 刮刀機構之側視圖。 圖7A係實施例1中使用之刮刀機構之前端部分之放 圖。 圖7B係形成於實施例1中使用之刮刀機構之前端部分之 凹形狀部之放大圖。 圖8(a)-(d)係實施例1中用於評估實驗之各種到刀前端形 狀之概略圖。 圖9係實施例丨之變形例，係在刮刀之前端部分形成與遮 罩平行之面之刮刀之前端形狀之概略圖。 圖10係顯示實施例4中使用之刮刀機構之概略構成之刮 刀機構之側視圖。說明前端形狀之刮刀構造之要部放大 圖0 圖1 l(a)-(d)係實施例4中用於評估實給欠 τI驗之各種刮刀前端 形狀之概略圖。 圖12係實施例41m吏用之刮刀機構之前端部分之放大 【主要元件符號說明】 1 到刀 Γ 到刀 1L 刮刀 1R 刮刀 2 印刷方向 3 刮刀座 3L 刮刀座 161303.doc •49- 201238769
3R 4L 4R 5 6 7L 7R 8 8L 9 10 11 12 13 14 15L 15R 16L 16R 17L 17R 18L 18R 19L 刮刀座 刮刀座按壓板 刮刀座按壓板 印刷遮罩表面 印刷對象 刮刀安裝面 刮刀安裝面 刮刀前端圓弧狀凹形狀部 圓弧狀之凹形狀部 糊料 初期接觸面 印刷遮罩 印刷遮罩開口部 電極焊墊 阻焊劑 刮刀頭 刮刀頭 刮刀座固定夾具 刮刀座固定夾具 安裝角 安裝角 糊料初期接觸面角 糊料初期接觸面角 攻角 161303.doc •50· 201238769 19R 攻角 20L 刮刀座安裝角度設定夾具 20R 刮刀座安裝角度設定夾具 21 控制盤 22 版框 23 支撐印刷對象之平台部 24L 氣壓缸體 24R 氣壓缸體 25 支撐構件 26L 轴承部 26R 軸承部 27 驅動軸 28 引導軸 29L 固定板 29R 固定板 30 馬達 31 氣壓缸體驅動部 32 驅動部 33 平台驅動部 34 夾頭驅動部 71 刮刀 73 刮刀座 78 圓弧狀凹形狀部 81L 角部 161303.doc •51 - 201238769 82L 90 98 100 101 102 103 104 110 111 120L 120R 130 231 232 233 710 715 717 718 719 727 781 782 角部 平行印刷遮罩之面 凹形狀部 印刷裝置 氨基甲酸酯樹脂 芯材 疏液性膜 孔 印刷遮罩部 支撐構件 刮刀部 刮刀部 刮刀驅動機構部 平台 夾頭 上下驅動部 接觸糊料9之刮刀71之面 刮刀頭 刮刀71之安裝角度 刮刀71之面與遮罩表面5之角度 攻角 環氧玻璃樹脂板 接觸點 刮刀前端部 161303.doc -52- 201238769 981 面90之一端 982 糊料初期接觸面10之端面 D 直徑 Η 深度 -53- 161303.doc