TW201008723A - Table height adjusting mechanism and height adjusting table using the same - Google Patents

Description

201008723 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關於載台高度調整機構及使用該機構的高 度調整載台，可調整將液晶顯示器的玻璃基板等的板狀構 件載置的載台的高度。 【先前技術】 Φ 將液晶顯示器的玻璃基板等的板狀構件載置並進行電 路圖案的製造和檢查等的情況時，有需要使用平面度較高 的載台。這種載台的例是如專利文獻1〜3。特別是對於 大型的玻璃基板，如專利文獻2,使用由複數板所構成的 調整載台進行支撐。此調整載台的情況，可對於各板進行 高度調整，將大型的玻璃基板整體由較髙的平面度支撐。 對於這些專利文獻1〜3中的載台的平面度的調整， 專利文獻1、2的情況是由螺絲及螺帽進行，專利文獻3 • 的情況是由千斤頂進行。 但是，前述專利文獻1、2的情況時，藉由螺絲的遊 動進行固定時，有可能發生精度變差。專利文獻3的情況 時，因爲多數設置千斤頂，所以成本高。 進一步，防止爲了被載置的玻璃基板等的變形，將載 台的平面度調整的情況，有需要將載台對於地面等些微傾 斜。此情況時，也被提案如專利文獻4、5的方式，使用 具備球面墊圈的調整機構。 [專利文獻1]日本特開平10-141350號公報 201008723 [專利文獻2]日本特開2004-28644號公報 [專利文獻3]日本特開2005-35 1 8 1 0號公報 [專利文獻4]日本特開平11-109 72 2號公報 [專利文獻5]日本特開2002-295440號公報 【發明內容】 (本發明所欲解決的課題） 但是，上述的各專利文獻的調整機構中，因爲皆是從 載台的下側（背側）調整的形態，所以調整困難。特別是 ’專利文獻2的方式，將複數板並列構成的調整載台的情 況時，將各板從下側個別調整來調整載台整體的平面度是 有困難的。 本發明是有鑑於這種問題點，其目的是提供一種載台 高度調整機構及使用該機構的高度調整載台，可以從載台 的上側容易由較高的精度進行平面度的調整。 (用以解決課題的手段） 本發明的載台高度調整機構，是調整將板狀構件載置 的載台的高度的載台高度調整機構，具備：調整環，將前 述板狀構件被直接載置的托板，從其下側支撐，並且具有 環狀地被配設的工具嵌合用的複數嵌合孔；及螺栓台座， 藉由對於形成於外周的螺紋山部將前述調整環螺入地旋轉 使該調整環的高度變化而將前述托板的高度調整且支撐； 及固定螺栓，與設在前述托板的螺栓嵌合孔嵌合，藉由隔 -6- 201008723 著前述螺栓台座螺入基座側而將前述托板固定於前述基座 側；及調整孔，在前述托板之中在前述螺栓嵌合孔的周圍 形成於面臨前述調整環的嵌合孔的位置的工具插入用。 且，本發明的高度調整載台，是將板狀構件載置並由 複數位置將其高度調整進行前述板狀構件的高度及平面度 的調整，其特徵爲，具備：將整體支撐的基座、及配列在 該基座上將前述板狀構件直接支撐的1或是複數托板、及 • 位於該托板及前述基座之間調整托板的高度的載台高度調 整機構’該載台高度調整機構是使用前述載台高度調整機 構’並且將該載台高度調整機構對於1個前述托板設在至 少2處的位置。 [發明的效果] 依據本發明的載台高度調整機構，因爲可以從前述調 整孔將工具插入與前述調整環的嵌合孔嵌合使此調整環轉 ® 動’所以可以將前述托板的高度從該托板的上側（上面側 )調整。由此，前述托板的高度及平面度可以容易地調整 〇 依據本發明的高度調整載台，藉由將對於1個托板複 數設置的載台高度調整機構個別從該托板的上側（上面側 )調整’來調整1個托板的高度及傾斜，可以提高複數托 體的平面度。由此，前述各托板的整體的高度及平面 度可以容易地調整。 201008723 【實施方式】 以下，對於本發明的實施例的載台高度調整機構及使 用該機構的高度調整載台，一邊參照添付圖面一邊說明。 第1圖是顯示本發明的實施例的載台高度調整機構的側面 剖面圖，第2圖是顯示高度調整載台的立體圖，第3圖是 顯示本發明的實施例的載台高度調整機構的平面圖，第4 圖是顯示將調整工具裝設在本發明的實施例的載台高度調 整機構的狀態的平面圖，第5圖是顯示將調整工具裝設在 @ 本發明的實施例的載台高度調整機構的狀態的側面剖面圖 〇 使用本實施例的載台高度調整機構的高度調整載台， 是使用於液晶顯示器的玻璃基板等的板狀構件的表面的加 工、檢査等的各種的處理用的載台。高度調整載台，是將 板狀構件載置，由複數位置將其高度調整使提高平面度。 板狀構件，不限定於液晶顯示器，可以使用全部的板狀的 材料。 n 此高度調整載台1，是如第1圖〜3所示主要具備： 基座2'及托板3、及載台高度調整機構4。 基座2，是將托板3及載台高度調整機構4等的整體 支撐用的構件。基座2是由板厚的板材所構成。在基座2 中，將載台高度調整機構4固定用的螺栓孔6是設在複數 處。此螺栓孔6，是設於載台高度調整機構4的設置位置 。在此，因爲對於1個托板3在3處的位置設有載台高度 調整機構4，對於1個托板3設有3處，對於4個托板3 -8 - 201008723 設有12處螺栓孔6。又，此基座2’是可以將載台高度調 整機構4支撐者即可。因此，基座2’不限定於板材’其 他的構件也可以。例如，設在高度調整載台4位置處的地 面，或是設在該地面上者也可以。且，設在被設於該地面 的裝置（例如液晶顯示器的檢查裝置）者也可以。 托板3，是配列在基座2上將前述板狀構件直接支撐 用的板材。此托板3，是配合於支撐的板狀構件的大小由 Φ 1枚構成或是由組合複數枚構成。例如在本實施例中，是 將4枚的托板3組合。 在托板3中，設有：後述的固定螺栓12的螺栓嵌合 孔7、及工具插入用的調整孔8。 螺栓嵌合孔7,是各別被設置在對應基座2的螺栓孔 6的位置。此螺栓嵌合孔7,是由：軸部插入部7A、及頭 部嵌合部7B所構成。軸部插入部7A，是讓固定螺栓12 的軸部12A插入的孔部。頭部嵌合部7B，是讓固定螺栓 φ 12的頭部12B嵌合用的凹部。固定螺栓12的軸部12A， 是在被插入頭部嵌合部7B的狀態下，從托板3的表面突 出且不與前述板狀構件接觸的方式構成。 調整孔8，是讓將後述的調整環1〇轉動用的調整工 具15(第4圖參照）插入用的孔。調整孔8是形成於托 板3之中螺栓嵌合孔7的周圍。具體而言，調整孔8，是 在螺栓嵌合孔7的周圍，形成於面臨後述的調整環1〇的 嵌合孔10C的位置。調整孔8，是藉由比嵌合孔10C更大 徑的圓孔構成。調整孔8，是在圓環狀地被配設的嵌合孔 201008723 10C的圓環狀的軌跡上的4處的位置被設置2組。2組也 就是4個調整孔8，是各錯開90度地被配設。將相面對 的2個調整孔8成對的2組的調整孔8，是使前述嵌合孔 10C隨時位置在其任一組的調整孔8內的方式，調整各嵌 合孔10C的間隔、各嵌合孔10C及調整孔8的位置關係 。由此，任一組前述嵌合孔10C是隨時位置在2組的調整 孔8之中，可以將調整工具15隨時插入任一組的調整孔 8內的嵌合孔10C。 ❿

載台高度調整機構4,是位置在基座2及托板3之間 將托板3的高度調整用的機構。載台高度調整機構4，是 對於1個托板3設在3處的位置，可以將托板3的高度及 角度自由地調整。由3處的載台高度調整機構4將托板3 的高度個別調整，將整體托板3的角度及高度自由地調整 。對於4枚的托板3個別將角度及高度調整，由4枚的托 板3整體形成平坦的面。由此，可以由4枚的托板3整體 ，保持較高的平面度地調整至任意的高度。 G 載台高度調整機構4,是由：調整環10、及螺栓台座 11、及固定螺栓12、及調整孔8所構成。又，調整孔8 是如上述。 調整環10,是將托板3從其下側支撐並上下移動用 的構件。調整環1〇，是形成板厚的甜甜圈狀，其中心的 孔是成爲螺入螺栓台座11的螺栓孔10A。在調整環10的 上側面的中央部中，形成有後述的球面墊圈14嵌合的圓 形凹狀的嵌合凹部10B。調整環10的上側面之中，在嵌 -10- 201008723 合凹部1 OB的周圍設有工具嵌合用的嵌合孔10C。此嵌合 孔10C，是由袋孔構成，在嵌合凹部10B的周圍呈圓環狀 地被設置10個。此嵌合孔10C的大小及間隔’是在托板 3的2組的調整孔8之中任一組的調整孔8內，被調整至 隨時位於10個的嵌合孔10C之中的任一位置》 球面墊圈14，是將調整環10及托板3之間支撐用的 構件。球面墊圈14，是由：下側墊圏部14A、及上側墊 0 圈部14B所構成。這些下側墊圈部14A及上側墊圈部 14B的交界面是成爲球面狀，容許托板3的旋轉及轉動。 即，被嵌合在調整環10的嵌合凹部10B的下側墊圈部 14A，是將托板3側的上側墊圈部14B支撐，容許托板3 的旋轉及轉動。具體而言，球面墊圏14,是將托板3,藉 由被支撐於下側墊圏部14A的上側墊圈部14B，以固定螺 栓12爲軸心可旋轉地支撐，並且容許該托板3傾斜。 第4圖及第5圖所示的調整工具15，是從托板3的 〇 上側（被水平設置托板3的上面側）將載台高度調整機構 4調整用的工具。此調整工具15，是由：旋轉調整部16 、及旋緊部17所構成。旋轉調整部16，是將載台高度調 整機構4的調整環1〇旋轉用的構件。旋轉調整部16,是 由：操作桿部16A、及旋轉棒16B所構成。操作桿部i6A ’是作業者由手把持將調整環10旋轉用的操作桿。旋轉 棒16B，是從托板3的調整孔8被插入並與調整環1〇的 嵌合孔10C嵌合用的棒材。旋轉棒16B是在操作桿部 16A被設置2條。 -11 - 201008723 旋緊部17,是將固定螺栓12旋緊用的構件。旋緊部 17，是由L型的六角板手構成，在旋轉調整部16的2條 的旋轉棒16B的中間位置可旋轉自如地被插入。此旋緊部 17，是在旋轉調整部16的2條的旋轉棒16B是嵌合在載 台高度調整機構4的調整環10的嵌合孔10C的狀態下， 嵌合在固定螺栓12的頭部12B的六角孔12C，將此固定 螺栓12旋緊。 第1圖所示的螺栓台座11，是將托板3的高度調整 φ 支撐用的構件。螺栓台座11，是利用對於形成於外周的 螺紋山部將調整環10螺入地旋轉使該調整環10的高度變 化，來調整被支撐於此調整環10的托板3的高度。 螺栓台座11，是由：筒部11A、及台座部11B所構 成。筒部11A，是在其內部讓固定螺栓12通過，外部爲 將調整環10支撐用的構件。在筒部11A的外周中形成有 螺紋山部。在此筒部11A螺入調整環10的螺栓孔10A。 筒部11A的內部是成爲圓形孔，讓固定螺栓12的軸部 © 12A通過。在筒部11A的內部未設置螺栓。 台座部11B，是將螺栓台座11穩定地載置在基座2 用的構件。由台座部11B被穩定支撐的筒部11A是隔著 調整環10將托板3支撐。 第1圖及第3圖所示的固定螺栓12，是將托板3固 定於基座2側用的螺栓。固定螺栓12，是被嵌合在被設 在托板3的螺栓嵌合孔7，藉由隔著螺栓台座11螺入基 座2側，將托板3固定於基座2側。固定螺栓12的軸部 -12- 201008723 12A’是通過螺栓嵌合孔7的軸部插入部7A及螺栓台座 11的筒部11A內，螺入基座2的螺栓孔6。此時，在螺 栓嵌合孔7的頭部嵌合部7B嵌合有固定螺栓12的頭部 12B。在頭部12B中，設有將固定螺栓12旋轉用的六角 孔12C (第3圖參照）。 如以上構成的高度調整載台1，是如下地被使用。 高度調整載台1，是作爲表面處理等的加工裝置和檢 〇 査裝置的載台使用。作爲要求這種裝置的較高的平面度的 載台使用。液晶顯示器的玻璃基板等，是被載置於被保持 於較高的平面度的高度調整載台1，且被處理。 此時，高度調整載台1的平面度，是藉由調整載台高 度調整機構4而提高。 將調整工具15從上側（托板3的上面側）朝托板3 的調整孔8插入，將旋轉調整部16的旋轉棒16B從調整 孔8嵌合於調整環10的嵌合孔10C。與其同時，將旋緊 ® 部17嵌合於固定螺栓12的頭部12B的六角孔12C。 接著，由旋緊部17將固定螺栓12旋轉鬆弛。由此， 在固定螺栓12鬆弛的範圍使托板3成爲可自由動作的狀 態。又，此托板3的傾斜，是由球面墊圈14被吸收。 接著，將旋轉調整部16旋轉將調整環10旋轉來調整 托板3的高度。將此動作，對於1個托板3的3個載台高 度調整機構4同時進行。 進一步，對於被組裝在基座2的4枚的托板3全部， 進行載台高度調整機構4的調整，調整4枚的托板3全部 -13- 201008723 的高度，提高平面度。 [效果] 如以上，因爲可以從托板3的上側（托板3的上面側 )將調整工具15插入調整孔8,嵌合於調整環10的嵌合 孔10C使此調整環10轉動，所以可以將托板3的高度從 其上側（托板3的上面側）容易地調整。由此，可以將托 板3的平面度從其上側（托板3的上面側）容易地調整。 且，藉由將對於1個托板3複數設置的載台高度調整 機構4個別從其托板3的上側（托板3的上面側）調整， 就可以調整1個托板3的高度及傾斜，容易提高複數托板 3整體的平面度，並且托板3整體的高度可以容易地調整 [變形例] 在前述實施例中，載台高度調整機構4雖是對於1個 @ 托板3設在3處的位置，但是設在2處或是4處以上也可 以。載台高度調整機構4的數量，是依據托板3的大小等 的條件被設定。將托板3，由2個載台高度調整機構4及 1個支撐構件支撐的態樣的情況，將1處由球接頭可轉動 地支撐，由2處的載台高度調整機構4將托板3的角度調 整來提高平面度的方式也可以。 在前述實施例中，調整孔8雖設置2組，計4個，但 是不限定於2組，1組或是3組以上也可以。依據調整環 -14- 201008723 10的大小、嵌合孔10C的數量等的條件進行設定。 將調整孔8設置1組的情況時，此調整孔8,是設定 成包含至少相鄰接的2個嵌合孔10C的大小。具體而言， 將調整孔8，由：包含至少相鄰接的2個嵌合孔10C的大 小的圓孔、和包含至少相鄰接的2個嵌合孔1 0C的長度的 圓弧狀長孔等構成。 此情況’也可以達成與前述實施例同樣的作用、效果 ❹ 【圖式簡單說明】 [第1圖]顯示本發明的實施例的載台高度調整機構的 側面剖面圖。 [第2圖]顯示本發明的實施例的高度調整載台的立體 圖。 [第3圖]顯示本發明的實施例的載台高度調整機構的 • 平面圖。 [第4圖]顯示將調整工具裝設在本發明的實施例的載 台高度調整機構的狀態的平面圖。 [第5圖]顯示將調整工具裝設在本發明的實施例的載 台高度調整機構的狀態的側面剖面圖。 【主要元件符號說明】 1 :高度調整載台 2 :基座 -15- 201008723 3 :托板 4:載台高度調整機構 6 :螺栓孔 7 :螺栓嵌合孔 7A :軸部插入部 7B :頭部嵌合部 8 :調整孔 1 0 :調整環 1 Ο A :螺栓孔 10B :嵌合凹部 10C :嵌合孔 1 1 :螺栓台座 1 1 A :筒部 1 1B :台座部 12 :固定螺栓 12A :軸部 12B :頭部 1 2 C :六角孔 1 4 :球面墊圈 14A :下側墊圈部 1 4 B :上側墊圈部 15 :調整工具 16 :旋轉調整部 16A :操作桿部 201008723 16B :旋轉棒 17 :旋緊部

Claims (1)

1. 201008723 七、申請專利範圍： 一種載台高度調整機構，是調整將板狀構件載置 的載台的高度的載台高度調整機構，具備： ϋ整環，將前述板狀構件被直接載置的托板，從其下 個ί支撐’並且具有環狀地被配設的工具嵌合用的複數嵌合 孔；及 螺栓台座，藉由對於形成於外周的螺紋山部將前述調 整環螺入地旋轉使該調整環的高度變化而將前述托板的高 υ 度調整且支撐；及 固定螺栓，與設在前述托板的螺栓嵌合孔嵌合，藉由 隔著前述螺栓台座螺入基座側而將前述托板固定於前述基 座側；及 調整孔，在前述托板之中在前述螺栓嵌合孔的周圍形 成於面臨前述調整環的嵌合孔的位置的工具插入用。 2. 如申請專利範圍第1項的載台高度調整機構，其 中，在前述調整環及前述托板之間具備球面墊圈，以前述 · 固定螺栓爲軸心可旋轉地支撐，並且容許前述托板的傾斜 〇 3. 如申請專利範圍第1項的載台高度調整機構，其 中，前述調整環的嵌合孔是呈圓環狀複數設置，並且 前述托板的調整孔，是在設有前述複數嵌合孔的圓環 狀的軌跡上設置1組以上並且形成比前述嵌合孔更大，使 前述嵌合孔隨時位於任一組的調整孔內的方式調整位置關 係。 -18 - 201008723 4. 如申請專利範圍第3項的載台高度調整機構，其 中，前述托板的調整孔，是由形成比前述嵌合孔更大徑的 圓孔構成。 5. 如申請專利範圍第3項的載台高度調整機構，其 中，前述托板的調整孔，是藉由包含至少相鄰接的2個前 述嵌合孔的長度的長孔構成。 6. 如申請專利範圍第1項的載台高度調整機構，其 φ 中，前述托板的調整孔及螺栓嵌合孔，是從前述托板的上 面側朝下面側貫通的方式設置。 7. —種高度調整載台，是將板狀構件載置並由複數 位置將其高度調整進行前述板狀構件的高度及平面度的調 整，其特徵爲，具備： 將整體支撐的基座、及配列在該基座上將前述板狀構 件直接支撐的1或是複數托板、及位於該托板及前述基座 之間調整托板的高度的載台髙度調整機構， Φ 前述載台高度調整機構是使用如申請專利範圍第1至 6的任一項的載台高度調整機構，並且將該載台高度調整 機構對於1個前述托板設在至少2處的位置。 -19-