JP2010053894A - テーブル高さ調整機構及びこれを用いた高さ調整テーブル - Google Patents

テーブル高さ調整機構及びこれを用いた高さ調整テーブル Download PDF

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Abstract

【課題】プレートの高さをその上側(上面側)から容易に調整でき、複数のプレート全体の平面度を高める。
【解決手段】板状部材を載置するテーブルの高さを調整するテーブル高さ調整機構及びこれを用いた高さ調整テーブルである。前記板状部材が直接載置されるプレートをその下側から支持すると共に環状に配設された工具嵌合用の複数の嵌合穴を有する調整リングと、外周に形成されたねじ山に前記調整リングをねじ込んで回転させて当該調整リングの高さを変化させることで前記プレートをその高さを調整して支持するネジ台座と、前記プレートに設けられたネジ嵌合穴に嵌合され前記ネジ台座を介して前記ベース側にねじ込まれることで前記プレートを前記ベース側に固定する固定ネジと、前記プレートのうち前記ネジ嵌合穴の周囲であって前記調整リングの嵌合穴に臨ませた位置に形成された工具挿入用の調整穴とを備えた。
【選択図】 図1

Description

本発明は、液晶ディスプレイのガラス基板等の板状部材を載置するテーブルの高さを調整するテーブル高さ調整機構及びこれを用いた高さ調整テーブルに関するものである。
液晶ディスプレイのガラス基板等の板状部材を載置して回路パターンの製造や検査等を行う場合は、平面度の高いテーブルを用いる必要がある。このようなテーブルの例としては特許文献1〜3に記載のものがある。特に大型のガラス基板に対しては、特許文献2のように、複数の板から構成された調整テーブルを用いて支持される。この調整テーブルの場合、各板毎に高さ調整を行って、大型のガラス基板全体を高い平面度で支持する。
これら特許文献1〜3におけるテーブルの平面度の調整は、特許文献1,2の場合、ボルトとナットで、特許文献3の場合、ジャッキで行われる。
ところで、前記特許文献1,2の場合は、ボルトのガタつきによって固定時に、精度に狂いが生じるおそれがある。特許文献3の場合は、ジャッキを多数設けることにより、コストが嵩んでしまう。
さらに、載置されるガラス基板等の変形を防ぐために、テーブルの平面度を調整する場合、テーブルを床面等に対して僅かに傾斜させる必要がある。この場合は、特許文献4,5のように、球面座金を具備する調整機構を用いることも提案されている。
特開平10−141350号公報 特開2004−28644号公報 特開2005−351810号公報 特開平11−109722号公報 特開2002−295440号公報
しかしながら、上述の各特許文献に記載された調整機構では、いずれもテーブルの下側(裏側)から調整する形態をとっているため、調整が難しい。特に、特許文献2のように、複数の板を並べて構成されている調整テーブルの場合は、それぞれの板を下側から個別に調整してテーブル全体の平面度を調整するのは難しいという問題点がある。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたもので、テーブルの上側から容易に高い精度で平面度の調整を行うことができるテーブル高さ調整機構及びこれを用いた高さ調整テーブルを提供することを目的とする。
本発明に係るテーブル高さ調整機構は、板状部材を載置するテーブルの高さを調整するテーブル高さ調整機構であって、前記板状部材が直接載置されるプレートを、その下側から支持すると共に、環状に配設された工具嵌合用の複数の嵌合穴を有する調整リングと、外周に形成されたねじ山に前記調整リングをねじ込んで回転させて当該調整リングの高さを変化させることで前記プレートを、その高さを調整し、かつ支持するネジ台座と、前記プレートに設けられたネジ嵌合穴に嵌合され、前記ネジ台座を介してベース側にねじ込まれることで前記プレートを前記ベース側に固定する固定ネジと、前記プレートのうち前記ネジ嵌合穴の周囲であって前記調整リングの嵌合穴に臨ませた位置に形成された工具挿入用の調整穴とを備えたことを特徴とする。
また、本発明に係る高さ調整テーブルは、板状部材を載置して複数位置でその高さを調整して前記板状部材の高さ及び平面度の調整を行う高さ調整テーブルであって、全体を支持するベースと、当該ベース上に配列されて前記板状部材を直接支持する1又は複数のプレートと、当該プレートと前記ベースとの間に位置してプレートの高さを調整するテーブル高さ調整機構とを備え、当該テーブル高さ調整機構として前記テーブル高さ調整機構を用いると共に、当該テーブル高さ調整機構を1つの前記プレートに対して少なくとも2箇所の位置に設けたことを特徴とする。
本発明のテーブル高さ調整機構によれば、前記調整穴から工具を挿入して前記調整リングの嵌合穴に嵌合させてこの調整リングを回動させることができるため、前記プレートの高さを当該プレートの上側(上面側)から調整することができる。これにより、前記プレートの高さ及び平面度を容易に調整することができる。
本発明の高さ調整テーブルによれば、1つのプレートに対して複数設けられたテーブル高さ調整機構を個別に当該プレートの上側(上面側)から調整することで、1つのプレートの高さと傾斜を調整して、複数のプレート全体の平面度を高くすることができる。これにより、前記各プレートの全体の高さ及び平面度を容易に調整することができる。
以下、本発明の実施形態に係るテーブル高さ調整機構及びこれを用いた高さ調整テーブルについて、添付図面を参照しながら説明する。図1は本発明の実施形態に係るテーブル高さ調整機構を示す側面断面図、図2は高さ調整テーブルを示す斜視図、図3は本発明の実施形態に係るテーブル高さ調整機構を示す平面図、図4は本発明の実施形態に係るテーブル高さ調整機構に調整工具を装着した状態を示す平面図、図5は本発明の実施形態に係るテーブル高さ調整機構に調整工具を装着した状態を示す側面断面図である。
本実施形態に係るテーブル高さ調整機構を用いた高さ調整テーブルは、液晶ディスプレイのガラス基板等の板状部材の表面の加工、検査等の種々の処理に用いるためのテーブルである。高さ調整テーブルは、板状部材を載置して、複数位置でその高さを調整して平面度を向上させる。板状部材としては、液晶ディスプレイに限らず、板状の材料すべてを用いることができる。
この高さ調整テーブル1は、図1〜3に示すように主に、ベース2と、プレート3と、テーブル高さ調整機構4とを備えて構成されている。
ベース2は、プレート3及びテーブル高さ調整機構4等の全体を支持するための部材である。ベース2は肉厚の板材で構成されている。ベース2には、テーブル高さ調整機構4を固定するためのネジ穴6が複数箇所に設けられている。このネジ穴6は、テーブル高さ調整機構4の設置位置に設けられる。ここでは、1つのプレート3に対して3箇所の位置にテーブル高さ調整機構4が設けられるため、1つのプレート3に対応して3箇所、4枚のプレート3に対応して12箇所にネジ穴6が設けられている。なお、このベース2は、テーブル高さ調整機構4を支持できるものであればよい。このため、ベース2は、板材に限らず、他の部材でも良い。例えば、高さ調整テーブル4を設置する箇所の床面であっても、または当該床面上に設置されるものであっても良い。また、当該床面に設置される装置(例えば液晶ディスプレイの検査装置)に設けられるものでも良い。
プレート3は、ベース2上に配列されて前記板状部材を直接支持するための板材である。このプレート3は、支持する板状部材の大きさに合わせて1枚又は複数枚組み合わされる。例えば本実施形態では、4枚のプレート3を組み合わせている。
プレート3には、後述する固定ネジ12のネジ嵌合穴7と、工具挿入用の調整穴8とが設けられている。
ネジ嵌合穴7は、ベース2のネジ穴6に対応する位置にそれぞれ設けられている。このネジ嵌合穴7は、軸部挿入部7Aと、頭部嵌合部7Bとから構成されている。軸部挿入部7Aは、固定ネジ12の軸部12Aが挿入される穴部である。頭部嵌合部7Bは、固定ネジ12の頭部12Bが嵌合されるための凹部である。固定ネジ12の軸部12Aは、頭部嵌合部7Bに挿入された状態で、プレート3の表面から突出して前記板状部材に接触しないように構成されている。
調整穴8は、後述する調整リング10を回動させるための調整工具15(図4参照)を挿入するための穴である。調整穴8はプレート3のうちネジ嵌合穴7の周囲に形成されている。具体的には、調整穴8は、ネジ嵌合穴7の周囲であって、後述する調整リング10の嵌合穴10Cに臨ませた位置に形成されている。調整穴8は、嵌合穴10Cよりも大径の円穴によって構成されている。調整穴8は、円環状に配設された嵌合穴10Cの円環状の軌跡上の4箇所の位置に2組設けられている。2組である4つの調整穴8は、90度ずつずらして配設されている。対向する2つの調整穴8を対にした2組の調整穴8は、そのいずれかの組の調整穴8内に常に前記嵌合穴10Cが位置するように、各嵌合穴10Cの間隔、各嵌合穴10Cと調整穴8との位置関係が調整されている。これにより、2組の調整穴8のうち常にいずれかの組に前記嵌合穴10Cが位置し、調整工具15を常にいずれかの組の調整穴8内の嵌合穴10Cに挿入できるようになっている。
テーブル高さ調整機構4は、ベース2とプレート3との間に位置してプレート3の高さを調整するための機構である。テーブル高さ調整機構4は、1つのプレート3に対して3箇所の位置に設けられて、プレート3の高さ及び角度を自由に調整できるようになっている。3箇所のテーブル高さ調整機構4でプレート3の高さを個別に調整して、全体としてプレート3の角度と高さを自由に調整する。4枚のプレート3に対して個別に角度及び高さを調整して、4枚のプレート3全体で平坦な面を形成する。これにより、4枚のプレート3全体で、高い平面度を保って任意の高さに調整することができる。
テーブル高さ調整機構4は、調整リング10と、ネジ台座11と、固定ネジ12と、調整穴8とから構成されている。なお、調整穴8は、上述したとおりである。
調整リング10は、プレート3をその下側から支持して上下に移動させるための部材である。調整リング10は、肉厚のドーナツ状に形成され、その中心の穴がネジ台座11にねじ込まれるネジ穴10Aとなっている。調整リング10の上側面の中央部には、後述する球面座金14が嵌合する円形凹状の嵌合凹部10Bが形成されている。調整リング10の上側面のうち、嵌合凹部10Bの周囲には、工具嵌合用の嵌合穴10Cが設けられている。この嵌合穴10Cは、袋穴で構成され、嵌合凹部10Bの周囲に円環状に10個設けられている。この嵌合穴10Cの大きさ及び間隔は、プレート3の2組の調整穴8のうちいずれかの組の調整穴8内に、10個の嵌合穴10Cのうちのいずれかが常に位置するように調整されている。
球面座金14は、調整リング10とプレート3との間を支持するための部材である。球面座金14は、下側座金部14Aと、上側座金部14Bとから構成されている。これら下側座金部14Aと上側座金部14Bとの境界面は球面状になっており、プレート3の回転と回動を許容している。即ち、調整リング10の嵌合凹部10Bに嵌合された下側座金部14Aが、プレート3側の上側座金部14Bを支持して、プレート3の回転と回動を許容している。具体的には、球面座金14は、プレート3を、下側座金部14Aに支持された上側座金部14Bによって、固定ネジ12を軸心として回転可能に支持すると共に、当該プレート3が傾斜することを許容している。
図4および図5に示す調整工具15は、プレート3の上側(水平に設置されたプレート3の上面側)からテーブル高さ調整機構4を調整するための工具である。この調整工具15は、回転調整部16と、締め付け部17とから構成されている。回転調整部16は、テーブル高さ調整機構4の調整リング10を回転させるための部材である。回転調整部16は、レバー部16Aと、回転棒16Bとから構成されている。レバー部16Aは、作業者が手で持って調整リング10を回すためのレバーである。回転棒16Bは、プレート3の調整穴8から挿入されて調整リング10の嵌合穴10Cに嵌合するための棒材である。回転棒16Bはレバー部16Aに2本設けられている。
締め付け部17は、固定ネジ12を締め付けるための部材である。締め付け部17は、L型の六角レンチで構成され、回転調整部16の2本の回転棒16Bの中間位置に回転自在に挿入されている。この締め付け部17は、回転調整部16の2本の回転棒16Bがテーブル高さ調整機構4の調整リング10の嵌合穴10Cに嵌合した状態で、固定ネジ12の頭部12Bの六角穴12Cに嵌合して、この固定ネジ12を締め付けるようになっている。
図1に示すネジ台座11は、プレート3の高さを調整して支持するための部材である。ネジ台座11は、外周に形成されたねじ山に調整リング10をねじ込んで回転させて当該調整リング10の高さを変化させることで、この調整リング10に支持されたプレート3の高さを調整する。
ネジ台座11は、筒部11Aと、台座部11Bとから構成されている。筒部11Aは、その内部に固定ネジ12を通し、外部で調整リング10を支持するための部材である。筒部11Aの外周にはねじ山が形成されている。この筒部11Aに調整リング10のネジ穴10Aがねじ込まれる。筒部11Aの内部は円形穴になっており、固定ネジ12の軸部12Aが通される。筒部11Aの内部にはネジは設けられていない。
台座部11Bは、ネジ台座11をベース2に安定的に載置するための部材である。台座部11Bで安定して支持された筒部11Aが調整リング10を介してプレート3を支持する。
図1及び図3に示す固定ネジ12は、プレート3をベース2側に固定するためのネジである。固定ネジ12は、プレート3に設けられたネジ嵌合穴7に嵌合され、ネジ台座11を介してベース2側にねじ込まれることで、プレート3をベース2側に固定する。固定ネジ12の軸部12Aが、ネジ嵌合穴7の軸部挿入部7A及びネジ台座11の筒部11A内に通されて、ベース2のネジ穴6にねじ込まれる。このとき、ネジ嵌合穴7の頭部嵌合部7Bに固定ネジ12の頭部12Bが嵌合される。頭部12Bには、固定ネジ12を回転させるための六角穴12C(図3参照)が設けられている。
以上のように構成された高さ調整テーブル1は、次のようにして使用される。
高さ調整テーブル1は、表面処理等の加工装置や検査装置のテーブルとして用いられる。このような装置の、高い平面度を要求されるテーブルとして用いられる。液晶ディスプレイのガラス基板等が、高い平面度を保った高さ調整テーブル1に載置されて、処理される。
このとき、高さ調整テーブル1の平面度は、テーブル高さ調整機構4を調整することで高められる。
調整工具15を上側(プレート3の上面側)からプレート3の調整穴8へ挿入し、回転調整部16の回転棒16Bを調整穴8から調整リング10の嵌合穴10Cに嵌合させる。これと同時に、締め付け部17を固定ネジ12の頭部12Bの六角穴12Cに嵌合させる。
次いで、締め付け部17で固定ネジ12を回転させて弛める。これにより、固定ネジ12が弛んだ範囲でプレート3が自由に動く状態になる。なお、このプレート3の傾きは、球面座金14で吸収される。
次いで、回転調整部16を回して調整リング10を回転させてプレート3の高さを調整する。この動作を、1つのプレート3の3つのテーブル高さ調整機構4に対して同時に行う。
さらに、ベース2に組み込んだ4枚のプレート3全部に対して、テーブル高さ調整機構4の調整を行って、4枚のプレート3全部の高さを調整して、平面度を高める。
[効果]
以上のように、プレート3の上側(プレート3の上面側)から調整穴8に調整工具15を挿入して、調整リング10の嵌合穴10Cに嵌合させてこの調整リング10を回動させることができるため、プレート3の高さをその上側(プレート3の上面側)から容易に調整することができる。これにより、プレート3の平面度をその上側(プレート3の上面側)から容易に調整することができる。
また、1つのプレート3に対して複数設けられたテーブル高さ調整機構4を個別に、そのプレート3の上側(プレート3の上面側)から調整することで、1つのプレート3の高さと傾斜を調整して、複数のプレート3全体の平面度を容易に高くすることができると共に、プレート3全体の高さを容易に調整することができる。
[変形例]
前記実施形態では、テーブル高さ調整機構4は、1つのプレート3に対して3箇所の位置に設けられたが、2箇所又は4箇所以上に設けてもよい。テーブル高さ調整機構4の数は、プレート3の大きさ等の条件に応じて設定される。プレート3を、2つのテーブル高さ調整機構4と1つの支持部材で支持する態様の場合、1箇所をボールジョイントで回動可能に支持して、2箇所のテーブル高さ調整機構4でプレート3の角度を調整して平面度を高めるようにしても良い。
前記実施形態では、調整穴8を2組、計4つ設けたが、2組に限らず、1組又は3組以上設けても良い。調整リング10の大きさ、嵌合穴10Cの数等の条件に応じて設定する。
調整穴8を1組設ける場合は、この調整穴8が、少なくとも隣り合う2つの嵌合穴10Cを含む大きさに設定する。具体的には、調整穴8を、少なくとも隣り合う2つの嵌合穴10Cを含む大きさの円穴や、少なくとも隣り合う2つの嵌合穴10Cを含む長さの円弧状長穴等によって構成する。
この場合も、前記実施形態同様の作用、効果を奏することができる。
本発明の実施形態に係るテーブル高さ調整機構を示す側面断面図である。 本発明の実施形態に係る高さ調整テーブルを示す斜視図である。 本発明の実施形態に係るテーブル高さ調整機構を示す平面図である。 本発明の実施形態に係るテーブル高さ調整機構に調整工具を装着した状態を示す平面図である。 本発明の実施形態に係るテーブル高さ調整機構に調整工具を装着した状態を示す側面断面図である。
符号の説明
1:高さ調整テーブル、2:ベース、3:プレート、4:テーブル高さ調整機構、6:ネジ穴、7:ネジ嵌合穴、8:調整穴、10:調整リング、11:ネジ台座、12:固定ネジ、14:球面座金、15:調整工具、16:回転調整部、17:締め付け部。

Claims (7)

  1. 板状部材を載置するテーブルの高さを調整するテーブル高さ調整機構であって、
    前記板状部材が直接載置されるプレートを、その下側から支持すると共に、環状に配設された工具嵌合用の複数の嵌合穴を有する調整リングと、
    外周に形成されたねじ山に前記調整リングをねじ込んで回転させて当該調整リングの高さを変化させることで前記プレートを、その高さを調整し、かつ支持するネジ台座と、
    前記プレートに設けられたネジ嵌合穴に嵌合され、前記ネジ台座を介してベース側にねじ込まれることで前記プレートを前記ベース側に固定する固定ネジと、
    前記プレートのうち前記ネジ嵌合穴の周囲であって前記調整リングの嵌合穴に臨ませた位置に形成された工具挿入用の調整穴とを備えたことを特徴とするテーブル高さ調整機構。
  2. 請求項1に記載のテーブル高さ調整機構において、
    前記調整リングと前記プレートとの間を、前記固定ネジを軸心として回転可能に支持すると共に、前記プレートの傾斜を許容する球面座金を備えたことを特徴とするテーブル高さ調整機構。
  3. 請求項1又は2に記載のテーブル高さ調整機構において、
    前記調整リングの嵌合穴が円環状に複数設けられると共に、
    前記プレートの調整穴が、前記複数の嵌合穴が設けられた円環状の軌跡上に1組以上設けられると共に前記嵌合穴よりも大きく形成され、いずれかの組の調整穴内に常に前記嵌合穴が位置するように、位置関係を調整したことを特徴とするテーブル高さ調整機構。
  4. 請求項3に記載のテーブル高さ調整機構において、
    前記プレートの調整穴が、前記嵌合穴よりも大径に形成された円穴によって構成されたことを特徴とするテーブル高さ調整機構。
  5. 請求項3に記載のテーブル高さ調整機構において、
    前記プレートの調整穴が、少なくとも隣り合う2つの前記嵌合穴を含む長さの長穴によって構成されたことを特徴とするテーブル高さ調整機構。
  6. 請求項1乃至5のいずれか1項に記載のテーブル高さ調整機構において、
    前記プレートの調整穴およびネジ嵌合穴が、前記プレートの上面側から下面側に貫通する様に設けたことを特徴とするテーブル高さ調整機構。
  7. 板状部材を載置して複数位置でその高さを調整して前記板状部材の高さ及び平面度の調整を行う高さ調整テーブルであって、
    全体を支持するベースと、当該ベース上に配列されて前記板状部材を直接支持する1又は複数のプレートと、当該プレートと前記ベースとの間に位置してプレートの高さを調整するテーブル高さ調整機構とを備え、
    前記テーブル高さ調整機構として請求項1乃至6のいずれか1項に記載のテーブル高さ調整機構を用いると共に、当該テーブル高さ調整機構を1つの前記プレートに対して少なくとも2箇所の位置に設けたことを特徴とする高さ調整テーブル。
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