KR20070020640A

KR20070020640A - 돌출 높이 조절이 용이한 기판지지용 근접핀

Info

Publication number: KR20070020640A
Application number: KR1020050074763A
Authority: KR
Inventors: 최이섭; 정용범
Original assignee: 주식회사 제우스; (주)하나기술
Priority date: 2005-08-16
Filing date: 2005-08-16
Publication date: 2007-02-22

Abstract

본 발명은 돌출 높이 조절이 용이한 기판지지용 근접핀에 관한 것으로서, 기판이 올려놓여지는 플레이트에 나사결합으로 꼽혀져서 그 머리부가 상기 플레이트면에서 돌출되어 나오는 정도가 상기 나사결합의 정도에 의해 결정되며, 상기 머리부의 윗면에는 픽볼(peek ball)이 돌출되어 있고 또한 지그가 꼽혀질 수 있는 적어도 두개의 지그구멍이 마련되는 것을 특징으로 한다. 상기 플레이트에는 리프트핀이 승하강하기 위한 관통홀이 형성되어 있다. 본 발명에 의하면, 근접핀의 돌출 높이를 용이하게 조절할 수 있기 때문에 경우마다 글라스 기판의 베이킹 효율과 들어올림의 용이성을 가장 좋게 할 수 있다.

글라스 기판, 근접핀, 리프트 핀, 픽볼, 나사결합

Description

돌출 높이 조절이 용이한 기판지지용 근접핀{Proximity pin for supporting glass substrate which projection height can be easily controlled}

도 1은 본 발명에 따른 LCD 글라스 기판용 오븐챔버를 설명하기 위한 도면;

도 2는 도 1의 핫 플레이트(30)를 설명하기 위한 도면;

도 3은 본 발명에 따른 근접핀을 설명하기 위한 도면이다.

<도면의 주요부분에 대한 참조번호의 설명>

10: 근접핀 12: 나사홈

13a, 13b: 지그 구멍 14: 픽볼

30: 핫 플레이트 31: 관통홀

32: 근접핀 홀

본 발명은 기판지지용 근접핀에 관한 것으로서, 특히 돌출 높이 조절이 용이한 기판지지용 근접핀(proximity pin)에 관한 것이다.

LCD 글라스 기판 표면에 감광막을 코팅하기 전에 세정과정을 거치는데 이러한 세정과정 후에는 수분을 제거하기 위한 가열건조가 행해진다. 그리고 감광막을 LCD 글라스 기판에 코팅한 후에는 노광 및 현상 공정을 거치는데 이러한 노광 및 현상공정 전에는 프리 베이킹(pre-baking)이 행해지고, 노광 및 현상공정 후에는 포스트 베이킹(post-baking)이 행해진다. 이렇게 LCD를 제조하는 경우에 LCD 글라스 기판을 가열하여야 하는 경우가 종종 생긴다. 이러한 가열은 가열히터가 매립된 핫 플레이트에 기판을 올려 놓음으로써 이루어진다.

핫 플레이트에는 관통홀이 형성되어 있으며, 상기 관통홀을 통해서 리프트 핀(lift pin)이 승하강하면서 글라스 기판을 핫 플레이트에 올려놓거나 들어올린다. 글라스 기판의 전면적이 핫 플레이트에 접촉되는 경우에는 글라스 기판이 핫 플레이트에 약간 흡착된 상태로 있기 때문에 글라스 기판을 핫 플레이트에서부터 떼어내어 들어올리기가 어렵다. 이를 방지하기 위하여 핫 플레이트의 표면에 미세하게 돌출되어 나오도록 근접핀(proximity pin)을 설치한다. 글라스 기판이 핫 플레이트에서 너무 많이 이격되면 글라스 기판의 베이킹이 제대로 이루어지지 않을 수 있으므로 근접핀에 의한 이러한 이격은 최소화되어야 바람직하다.

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 근접핀의 돌출높이를 조절할 수 있도록 함으로써 글라스 기판의 베이킹 효율과 들어올림의 용이성을 가장 좋게 할 수 있는 기판지지용 근접핀을 제공하는 데 있다.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판지지용 근접핀은, 기판이 올려놓여지는 플레이트에 나사결합으로 꼽혀져서 그 머리부가 상기 플레이트면에서 돌출되어 나오는 정도가 상기 나사결합의 정도에 의해 결정되며, 상기 머리부의 윗면에는 픽볼(peek ball)이 돌출되어 있고 또한 지그가 꼽혀질 수 있는 적어도 두개의 지그구멍이 마련되는 것을 특징으로 한다. 상기 플레이트에는 리프트핀이 승하강하기 위한 관통홀이 형성되어 있다.

이하에서, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 아래의 실시예는 본 발명의 내용을 이해하기 위해 제시된 것일 뿐이며 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상 내에서 많은 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 발명의 권리범위가 이러한 실시예에 한정되는 것으로 해석돼서는 안 된다.

도 1은 본 발명에 따른 LCD 글라스 기판용 오븐챔버를 설명하기 위한 도면이고, 도 2는 도 1의 핫 플레이트(30)를 설명하기 위한 도면이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 챔버의 저면에는 핫 플레이트(30)가 수평하게 놓여져 있으며 그 위에 글라스 기판이 놓여진다. 상기 글라스 기판은 리프트 핀(미도시)의 상하운동에 의해 위 아래로 움직이면서 핫 플레이트(30)에서 들어올려지거나 안착되어진다. 핫 플레이트(30)에는 상기 리프트 핀이 관통할 수 있는 복수개의 리프트 핀 관통홀(31)이 형성되어 있다.

상기 글라스 기판이 핫 플레이트(30)에 그대로 안착되면 사실상 기판의 전면적이 핫 플레이트(30)에 접촉되게 된다. 이 경우 상기 글라스 기판이 핫 플레이트(30)에 약간 흡착되기 때문에 상기 글라스 기판을 핫 플레이트(30)에서부터 떼어내어 들어올리기가 어렵다. 이를 방지하기 위하여 핫 플레이트의 표면에 미세하게 돌출되어 나오도록 근접핀(proximity pin, 도3의 10)을 설치한다.

핫 플레이트(30)에는 근접핀을 꼽기 위한 근접핀 홀(32)이 형성되어 있는데, 근접핀 홀(32)의 내측벽에는 나사홈이 형성되어 있으며, 도 3에 도시된 바와 같이 근접핀(도 3의 10)에도 수나사 역할을 할 수 있도록 나사홈(12)이 형성되어 있다. 이러한 근접핀 홀(32)은 핫 플레이트(30)의 전면에 고루 분포되는 것이 바람직하다.

근접핀(10)의 머리부 윗면에는 지그가 꼽혀질 수 있도록 두개의 지그구멍(13a, 13b)이 형성되어 있다. 지그를 지그구멍(13a, 13b)에 꼽고 돌리면 근접핀(10)이 핫 플레이트(30)에 꼽혀지는 정도가 결정될 것이므로 이를 통해서 근접핀(10)의 머리부가 핫 플레이트(30)의 면에서 돌출되어 나오는 정도를 결정할 수 있게 된다. 근접핀(10)을 돌리기 위해서는 지그구멍(13a, 13b)이 한 개이면 안 되고 복수개가 설치되어야 한다.

글라스 기판이 근접핀(10)의 머리부에 직접 닿으면 스크래치가 생길 우려가 많기 때문에 근접핀(10)의 머리부 윗면에 둥그스름한 픽볼(peek ball, 14)을 돌출되도록 형성한다. 그러면 글라스 기판은 궁극적으로 픽볼(14)의 둥그스름한 윗면에 접촉하게 되어 스크래치가 생길 확률이 줄어들게 된다.

상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 근접핀의 돌출 높이를 용이하게 조절할 수 있기 때문에 경우마다 글라스 기판의 베이킹 효율과 들어올림의 용이성을 가장 좋게 할 수 있다.

Claims

기판이 올려놓여지는 플레이트에 나사결합으로 꼽혀져서 그 머리부가 상기 플레이트면에서 돌출되어 나오는 정도가 상기 나사결합의 정도에 의해 결정되며, 상기 머리부의 윗면에는 픽볼(peek ball)이 돌출되어 있고 또한 지그가 꼽혀질 수 있는 적어도 두개의 지그구멍이 마련되는 것을 특징으로 하는 기판지지용 근접핀.
제 1항에 있어서, 상기 플레이트에는 리프트핀이 승하강하기 위한 관통홀이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판지지용 근접핀.