TW200531608A - Printed circuit board with low cross-talk noise - Google Patents

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TW200531608A
TW200531608A TW093138054A TW93138054A TW200531608A TW 200531608 A TW200531608 A TW 200531608A TW 093138054 A TW093138054 A TW 093138054A TW 93138054 A TW93138054 A TW 93138054A TW 200531608 A TW200531608 A TW 200531608A
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layer
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John M Lauffer
James J Mcnamara Jr
Voya R Markovich
David L Thomas
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Endicott Interconnect Tech Inc
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Description

200531608 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種印刷電路(或線路)板,且特定言之係關 於經調適以用於越過其多種平面處理高速訊號之該等板。 【先前技術】 由於技術進步,出現了對印刷電路板(PCB)中較高速度電 路之需求’進而引發較高速度數位訊號傳輸之需求。若未 恰當地實施,則減少PCB中高頻數位訊號傳送之上升與下 降時間可能危及訊號之完整,例如歸因於阻抗失配之串音 雜訊與訊號失真。當訊號時脈頻率增加時,更多能量分佈 於較高頻率之頻譜中,因此產生對頻寬之更高需求。 在低頻率處,在PCB上之訊號路徑可電地表示為串聯電 阻與分流電容之集總網路。然而,當頻率增高時,該集總 電路模製方法失效,訊號路徑必須被看作傳輸線。一般使 用之PCB傳輸線結構為微帶線(micr〇strip)、後入式微帶線 、帶狀線(stripline)與雙帶狀線。微帶線組態簡單地指由一 介電質將導體與諸如地線或電源之參考平面隔離之情形。 另方面’帶狀線組態具有在導體上方及下方之參考平面 。則多於兩層訊號層之典型多層pCB可同時具有帶狀線與 微帶線之幾何形狀。 如本文之定義,本發明針對於減少並大體上消除多層pCB 中導電層之間的串音雜訊。如所已知的,串音係一種主要由 汛唬線之間電磁耦合所引入之雜訊。在PCB中,串音可由在 間距相對較小之訊號跡線(線路)之間的電子耦合引入。串音 96867.doc 200531608 會減少雜訊範圍且降低訊號品質。當然,此可為通信系統效 月匕之主要限制因素。串音隨以下因素而增加:增加之跡線輕 合距離、減少之跡線之間的隔離、縮短之脈衝上升與下降時 間、增加之被切換之電流或電壓的量級。 兩種訊號耦合類型決定電路中串音之數量:電感性耦合 與電容性耦合。此等兩種耦合隨著電源與接收器之間距離 之增加而減少。大多數串音可歸因於鄰接線路。因為在PCB 層上之平行且鄰接線路會電容及電感會地相互作用,所以 需要小心控制平行鄰接線路之距離。為最小化串音,將一 些高頻率設計倂入各訊號層下方之接地層中,該方法已證 實可事實上消除串音。理想情況下,藉由最大化訊號與訊 號之間之間隔與最小化訊號與接地之間之距離可以減少相 鄰訊號之間之串音。 忒等因素與諸多其它因素包含諸多互相依賴且經常彼此 不相諧調。舉例而言,需要高線路密度以最小化互連延遲 以及大小、成本與重量。然而,當訊號線彼此靠近地放置 在一起時,該等訊號線之間的互相耦合將會增加,對應串 音位準亦會上升。 因此,PCB之設計成為具有相當挑戰性之任務,尤其在 設計高效能及高密度板時。最重要的在於互連(訊號跡線) 之間的電磁耦合係設置互連密度上限之因素之一。 在一多層PCB中,該板包括一具有一用於電連接至一繼 電器公共電樞觸點之導電平面的第一層,導電平面大小大 月豆上覆蓋繼電器安裝佔據面積(f〇〇tprint)。該PCB亦包括一 96867.doc 200531608 平行於第一層且與該第一層電絕緣之第二層,第二層具有 一用於電連接至繼電器正常開路觸點之導電第一截面與一 用於電連接至繼電器正常閉合觸點之導電第二截面,第一 截面與第二截面彼此電隔離且彼此組合成一平面上,該平 面之大小大體上覆蓋繼電器安裝佔據面積。 在6,529,229中,第-與第二時脈訊號線較佳互相鄰接, 且較佳圍繞用於互連驅動器IC之電極襯塾及/或線路圖案 而編排。在驅動器積體電路(IC)與時脈訊號線之間的較佳互 連奇偶變化促進了時脈訊號線之互相鄰接編排布局,進而 改良其抗雜訊能力。時脈訊號線較佳包括驅動器ic之時脈 輸广端子所連接之串聯電極襯塾。串聯電極襯塾減少時脈 訊號之反射’此係由於該等襯墊避免了特徵阻抗之不連續 性。 、 當將包括彼等多模式種類(類比及數位)之半導體裝置(積 體電路或晶片)搞合至PCB上時,已採用各種努力來減少雜 机產生及相關問題。一種解決雜訊問題之努力包括添加放 置在接近主動裝置處之解耦合電容器。解耦合電容器可穩 定流向該等褒置之電流。然而,儘管電容器吸收一些電壓 ,但是仍發生尖峰。 另-種對在多模式或混合模式結構中管理開關雜訊之努 力包括分割類比與數位功能。f亥處理需要獨特之製造方法 且需定製設計。舉例而言,美國專利案第⑽❹,…號建議 可藉由在半導體基板之類比電路與數位電路之間建立邊界 區或來減 >、雜汛中類比電路具有與數位電路隔離之電 96867.doc 200531608 源匯流排。另夕卜,該專利論及提供互連訊號線以使得電路 之間的隔離之線路可功能性地與其它電路相 I戸,而_馬 合自其它電路之基板雜訊仍然較低。然而,隔離類比袓件 與數位組件會浪費寶貴的半導體空間,而空間係積體電路 (與PCB)没計中之一重要因素。 、 另一解決多模式結構中開關雜訊問題之努力闡述於美國 專利案第5,649,160號中。該專利建議可藉由修整來自數位 電路之雜訊並將其集中至單個或較少部分之頻譜中來減少 雜訊。該解決方案依賴於以下概念··在某些頻率中類比電 路中存在雜訊並不重要,且因此來自數位電路之頻譜峰值 或多個峰值可小心地放置以引起很少干擾或無干擾。 用於在微波電路結構中排列傳輸線之進一步方法在美國 專利案第6,429,752號、第6,429,757號與第6,522,214號中有 描述。 最後’在美國專利案第5,031,073號中描述了一種PCB, 其板之電路劃分為複數個電路區域,該等電路區域被關於 輸入輸出訊號而選擇性地隔離。在一區域中之訊號線排列 成密集地隔開之陣列,此陣列與相鄰區域中之對應陣列對 準,但與其間隔開。 各種PCB多層結構之其它實例展示且描述於美國公開專 利申凊案 US2002/0108780 Al,US2002/0148637 A1 及 US2002/0100613 A1中,其中之教示如在該先前技術中所引 用其它文獻之教示一樣均以引用的方式倂入本文中。 如下文所定義,本發明定義了一種新型且獨特之PCB設 96867.doc 200531608 計’其大體上可消除導電層之間的串纟,同時允許高速訊 號通路越過最終結構中之各種訊號平面。本文教示之PCB 設計具有較簡單之結構及比上述眾多方法更快捷之操作, 且比製造同類產品相對價格低廉,且因此代表了 PCB技術 之顯著進步。 【發明内容】 本發明之主要目標為增強pCB技術。 本發明之另—個目標為提供-種PCB,其能夠以最少串 曰有效私作,而若需要如將諸如晶片載體之電子封裝耦合 至該PCB時,其同時仍允許高密度線路圖案。 I】本’X明之另一個目標係提供一種pCB,其可使用本技術 製造且耗用本方法用於製造較不複雜之板的相對較低之成 °
根據本發明之一態樣,提供一種印刷電路板,其包含具 有第一與第二相對側面之電源平面、分別位於電源平面之 第與第一相對側面上的第一與第二介電層及分別位於第 與第一;丨電層上之第一與第二訊號層,各個該等訊號層 匕括複數個大體上平行之訊號線,該等訊號線以大體上類 似之方向自該訊號層之第一側面走線至該訊號層之第二側 面而越過該訊號層。在第一訊號層令之至少大部分數目之 Λ唬線對準且大體上平行於第二訊號層中的對應大部分訊 唬線大體上位於該等大部分對準且大體上平行之訊號線 之間的電源平面大體上減少了第一與第二訊號層之間的串 音。 96867.doc 10- 200531608 根據本發明之另一態樣,提供一種製造印刷電路板之方 法,其包括以下步驟··提供具有第一與第二相對側面之電 源平面,在電料面之第-與第三相制面分別定位第: $第二介電層,且在第一與第二介電層上分別定位第一與 第二訊號層。各訊號層包括複數個大體上平行之訊號線, 該等訊號線以大體上類似之方向自該訊號層之第一側面走 線至該訊號層之第二側面而越過該訊號層。在第一訊號層 中之至少大部分數目之訊號線對準且大體上平行於第二訊 唬層中之對應大部分訊號線,且電源平面大體上位於該等 大部分對準且大體上平行之訊號線之間。結果為大體上減 少了在最終電路板產品之第一與第二訊號層之間的串音。 【實施方式】 為更好理解本發明與其之其它及進一步之目標、優點與 效能,結合圖式對以下揭示内容及額外申請專利範圍進行 參考。應瞭解:所有圖式中’相同數字將用於指示相同元 件。 在圖1中,展示了一種根據本發明之一態樣的印刷電路板 (PCB)IO。如將自以下描述所理解的,本文定義之所得結構 為一 PCB,其具有用於主要單一方向配線之需求,而同時 具有減少的訊號層數目,該等訊號層與習知技術之pcB(包 括構造更複雜之PCB)具有至少相等之電效能。若該結構將 ^為較大型多層PCB之一部分,則本文定義之結構允許内 部連接(例如用以通過中間電源平面而連接相鄰訊號層之 内部或"内埋”通道)。若與額外訊號、接地及/或電源層組合 96867.doc -11- 200531608 一二成大型結構’則如圖!所示之結構包含可稱為二訊號及 二”⑽ signal and one power)(2Slp)結構(或核心)之結 圖1展示之結構界^了―對具有以大體上平行且對 準,定向自-側面通過至另一側面之線路的訊號層(在下 文知釋)’但是大型多層結構中之保留訊號層或其它導電層 無需以此方式來操作。本文定義之大體上減少鄰接訊號層 之間的串音雜訊之優點可由此單一方向結構獲得,且可僅 在大型結射之一部分中完成,或(若需要)可在比所展示之 部分更多的部分中,例如其中如圖消示之多於一個結構形 成所得多層結構之部分。 圖1展示之結構包括複數個層,且較佳使用採用特定壓力 與溫度之習知疊層技術而形成。同樣,若需要額外訊號、 =地及/或電源層,則該等層可簡單地以堆疊定向配置且同 時與圖1中之層疊層。因此,能夠使用在PCB領域中的習知 或已知疊層處理來產生本發明。在本發明之一實例中,溫 度為自大約攝氏175度至大約攝氏25〇度且壓力為自大約 1〇〇磅/平方英吋至大約^00磅/平方英吋係可能的。 因此,圖1展示之以最簡單形式之結構可包含2Slp構造 (但是該2S1P構造係一更合理之構造),該結構將代表作為 更厚之多層PCB的一部分之一核心結構或其類似物。 PCB 1 〇包括電源平面11,在一較佳實施例中,該電源平 面η為大體上實心之銅薄片,其厚度為自大約〇001英吋至 大約0.003英吋。儘管展示了大體上實心之構造,但是電源 平面較佳包括用於允許在PCB相對訊號層上相對訊號線之 96867.doc 12 200531608 間的通孔或内部通道電連接之間隙開口 1 3 (在圖1之部分剖 視圖中展示了其中之兩個實例)。圖4中展示了三個此類連 結之實例。 在圖1中,PCB 1〇進一步分別包括第一與第二訊號平面15 與17。訊號平面15包含介電層19,在該介電層19上具有包 含延伸越過介電層之若干獨立訊號線的訊號層21。應瞭解 ,所展示之圖案並非限制本發明,且亦可接受其它圖案以 達成本文所舄之結果。第二訊號平面亦包括介電層23及包 含位於介電層23之表面下方的訊號線27之圖案之訊號平面 25(未圖示)。因為該等線隱藏在圖1之觀察者後,所以亦未 圖示。 如圖所示,圖1之在第一訊號平面15上之訊號線22與第二 訊號平面上之該等線27在圖案上大體上類似。此外,各自 之afl號線22與27自各訊號層之相似側面延伸越過至相對第 二側面。為說明之目的,訊號平面15之第一側面以字母,,απ 表不,第二側面以字母”Β”表示,而平面17之各個側面表示 為Α’’’”Β’"。因此,兩個平面中之訊號線分別自a與a,”走線 至B與B °此外’一個平面之訊號線大體平行且對準於相 對平面上之訊號線。平行對準之意為,如圖2所示,其中展 不上部訊號線22在下部(隱藏)訊號線27之上方垂直定向。此 代表本么明之一顯著教示’此係由於據信藉由本文發明之 教示相對平面上之訊號線的至少主要部分之該平行、對 準定向將導致串音雜訊顯著減少。 在一較佳實施例甲,各訊號平面包括一介電層,較佳為 96867.doc 200531608 習知材料(例如玻璃纖維增強聚合物樹月曰匕,亦稱作”刚"), 且安置於其上之訊號線較佳為具有大約〇〇〇〇5英忖至大約 英于厚度之銅。視所選線路之寬度與所需阻抗而定, 用於支撐’丨電層之對應厚度較佳為大約⑽英吋至大約 0.020央忖。,然而,上述並非意欲限制本發明,此係由於直 它材料與厚度亦可用以達成本文要求之結果。舉例而言:、 使用例如 Teflon(E·!. duP〇ni deNe_rs _ 之商 標)或本發明之受讓人所售之名為 加⑽職ct Technologies,Inc之商標)之材料的替代介電 材料亦屬於本發明範疇之内。其它材料同樣亦可。 各訊號線較佳使用此項技術中已知之習知光微影處理來 在各自S撐介電層上形《,相信並不需要對此進行更進一 步說明。 在圖1所示之構造中,所得之PCB經調適成具有至少一電 子封包(例如,諸如本發明受讓人所售之名為HyperBGA2 晶片載體)。HyperBGA 為 Endic〇ttImerc〇nnectTechn〇i〇gies,
Inc之商標。該晶片載體或電子封包將定位於由圖^中大體 上為矩形之圖案,,c”所說明之位置附近。如此,若圖i中之 結構為-大型、較厚多平面PCB之一部分,則封包將直接 或經由額外層電連接至平面15之下方訊號線中之所選一者 。亦應瞭解,圖1中訊號線之圖案與在各種隔離襯墊(未展 不)中展不之訊號線圖案有所不同,或可需要在圖案,,c,,中 線路之其它端子用於獨立連接至各自定位之封包的對應傳 ‘位置又,圖1彳田述之圖案僅為代表性的而並不欲限制本 96867.doc -14- 200531608 發明。 雖然圖2描繪之相對訊號線圖案在其整個長度均平行且 對準,但是本發明並不限制於此。具體言之,該等線中之 一部分以本文定義之垂直定向平行且對準,僅此為重要的 。圊3表示一實例,其中下方訊號線27之較少部分與上覆上 部訊號線22之路隔開一較短距離。術語”相對線路之較大 (或主要)部分平行且對準”意味著定義一百分比範圍,其中 線路之總長度直接疊加。在本發明之一實例中,該範圍為 自大約5%至大約95%。在一特定實例中,如本文所教示的 ,在各圖案中線路之25%直接對準鄰接其它線路且與其平 行。 在圖4中展示了一局部側面正視圖,其截面展示圖丨之結 構10。如本文所示,三個通孔35用於將上部訊號平面。上 之各訊號線2 2電連接至下部訊號平面上之對應訊號線2 7上 。自圖4中亦可見,該等線路22與27大體上彼此上下對準, 且因此在上述之定向。然而,圖4亦展示了該等線路之部分 亚不直接在另一個上方,因此表示如圖3所描繪之此類對準 中的輕微失配,但係根據本文之教示仍然能實現減少該等 訊號平面之間的串音雜訊。 各傳導通孔35表示一經由鑽孔而形成之孔或藉由(例如 鐘射)穿料訊號平面中之介電材料19與23,隨後將介電層 電鐘一薄導電層37(諸如銅)而另外形成之孔。應瞭解,圖曰* 亚未確切描繪出該等通孔(或若額外層用於結構丨〇則為内 部盲通道)之說明1,在本發明之工作實施例(最終結構) 96867.doc -15- 200531608 源平面11之間隙
70,000透眼(穿過整個結構)。 中,介電材料19與23之部份將流入中間電 開口 13中,使得隨後之鑽孔或鐳射應用將 亦如圖4中所見,圖10之結構包括額外層41與43(且若需 要可包括更多該等層),各層較佳包括一介電材料45及一在 其上之對應傳導(例如訊號)層49。該等導電層49可以訊號、 接地及/或電源構造之形式,且較佳採用上述此項技術中已 知的光微景> 處理來形成。在一較佳實施例中,該等導電芦 係在最初結構(圖4中展示之固體)之各相對側面上的交替之 層’其順序為電源或接地、訊號、電源或接地等。在圖4 所不之結構中,圖1中所表示之内部結構因此僅形成作為最 終多層結構之一部分之一核心或類似部件,該最終多層結 構可含有若干額外介電質及使用例如習知之疊層技術緊密 連接至其上之導電層。如上所述,因此本發明可應用於具 有諸多層之較厚的多層結構中以仍獲得本文教示之結果。 因此,已展示並描述一種顯著減少採用中間電源傳導平 面之鄰接訊號線之間的串音雜訊之印刷電路板構造。所得 之結構大體上減少在平面之間的串音雜訊,以形成能夠同 96867.doc -16- 200531608 時在高頻與低頻操作之最終結構,後者尤其合乎現今較複 雜板技術之而求。本文描述之訊號圖案與所得之連接結構 可在高密度基礎之上,其中在一個平面上之鄰接訊號線在 同-平面上間隔可僅為〇.〇〇2英忖,且與在鄰接、相對訊號 層對應訊號線僅形成請5料間隔。此代表該技術之顯著 進步’尤其考慮到如本文所產生之結構可使用習知咖技 術來製造’因此代表最終買方所購買之實質上降低了成本 之產品。 儘管已展示與描述本發明之較佳實施例,但是熟習此項 技術者應明瞭’可不f離如由所附t請專利範圍所定義之 本舍明之範_而做出各種改變與修改。 【圖式簡單說明】 圖1為一根據本發明之實施例形成PCB之部分的兩個訊 號層與一中間電源平面之分解透視圖; 圖2為-說明在圖r實施例中一訊號層上之訊號線與在 相對訊號層上之訊號線之間的相對位置之部分俯視圖; 圖3亦為-說明相對較少之情形的部分俯視圖,在該情形 中Λ 5虎平面中之訊號線的部分並不與在其它訊號平面中 之訊號線的部分對準但仍能達成本發明顯著有利結果;及
圖4為-部分側面正視圖,在其截面中展示圖ι中之pcB 具有複數個通孔(或若圖4中之結構進—步包括額外訊號及/ 或傳導(如訊號、電源或接地)層以形成-較大型多層PCB, 則其具有複數個内部通道)。圖4中之部分剖視圖中展示了 該等額外層中之二者。 96867.doc 200531608 【主要元件符號說明】 10 印刷電路板 11 電源平面 13 間隙開口 15 訊號平面 17 訊號平面 19 第一介電層 21 第一訊號層 22 訊號線 23 第二介電層 25 訊號平面 27 訊號線 35 通孔 37 第二訊號層 41 額外層 43 額外層 45 介電材料 49 導電層 A 訊號平面15之第一 側面 B 訊號平面15之第二 側面 A, 訊號平面17之第一 側面 B, 訊號平面17之第二 側面 C 矩形圖案 96867.doc -18-

Claims (1)

  1. 200531608 十、申請專利範圍: 1 · 一種印刷電路板(1 〇),包含: 一具有第一及第二相對側面之電源平面G 1); 刀別位於该電源平面(11)之該第一及該第二相對側面 上之第一及第二介電層(19、23);及 分別位於該第一及該第二介電層(丨9、23)上之第一及第 二訊號層(21、37),各個該等訊號層包括大體上平行之複 數個訊號線(22、27),該等訊號線以大體上相似之方向自 該訊號層之一第一側面走線至該訊號層之一第二側面而 越過該等訊號層,該第一訊號層中之訊號線數目之至少 一預定部分對準且大體上平行於該第二訊號層中該等訊 號線之一對應較大部分,該電源平面(11)大體位於該等對 準且大體上平行之訊號線之該預定部分之間,以大體上 減少該第一及該第二訊號層之間的串音。 2.如請求項1之印刷電路板(1〇),其中該電源平面(11)係大 體上實心之構造,且其中包括複數個間隙開口(13)。 3·如請求項2之印刷電路板(1〇),進一步包括複數個傳導通 孔(35),該等傳導通孔(35)將該第一訊號層(21)中訊號線 (22 ’ 27)之該預定部分之選定的若干部分電連接至該第二 訊號層(37)中訊號線之該預定部分之對應選定的若干部 分。 4.如請求項3之印刷電路板(1〇),其中該等傳導通孔㈠”各 通過該電源平面(1丨)中該等間隙開口之一選定一者 ’且與該電源平面電絕緣。 96867.doc 200531608 5.如請求項4之印刷電路板(10),其中該等傳導通孔(35)係 在大約為1至大約為10,000之範圍内。 6·如請求項1之印刷電路板(10),其中該電源平面(11)及該 第一及該第二訊號層(21、37)中之該等訊號線(22、27)各 均包含銅。 7·如請求項1之印刷電路板(1〇),其中該第一及該第二訊號 平面(15、17)大體上平行於該電源平面(u)。 8·如請求項1之印刷電路板(1〇),其中該第一及該第二訊號 層(21、37)各個中之該等訊號線(22、27)之該等預定部分 的範圍為各個該等訊號平面(15、π)之訊號線總數目的約 5%至約95%。 9·如請求項1之印刷電路板(10),進一步包括分別在該第一 及该第二訊號層(21、37)上之第三及第四介電層(19、23) ,及分別在該第三及該第四介電層上之第三及第四導電 層(37、49)。 10. —種製造一印刷電路板(10)之方法,包含以下步驟: 提供一具有第一及第二相對側面之電源平面(丨丨); 在該電源平面(1 1)之該第一及該第二相對側面上分別 定位第一及第二介電層(15、17);及 分別在該第一及該第二介電層(15、17)上定位第一及第 二訊號層(2卜37),各個該等訊號層包括大體上平行之複 數個訊號線(22、27),該等訊號線以大體上相似之方向自 该訊號層(21)之一第一側面走線至該訊號層之一第二側 面而越過該等訊號層,該第一訊號層之訊號線數目之至 96867.doc 200531608 少一預定部分對準且大體上平行於該第二訊號層(3 7)中 該等訊號線之一制預定部分,該電源平面(1 〇大體上位 於a等對準且大體上平行之訊號線之該等預定部分之間 ,以大體上減少該第一及該第二訊號層之間的串音。 11·如請求項10之方法,其中將該第一及該第二介電層(15、 17)定位於該電源平面(11)上,且接著在該第一及該第二 電層上幵》成该弟一及該第二訊號層(2 1、π)。 12·如請求1〇之方法,其中該第一及該第二訊號層(21、3乃上 各包含一介電層及該等複數個訊號線(22、27),該等第一 及第二複數個訊號線係使用習知光微影處理予以形成。 13·如請求項12之方法,其中將該電源平面(11)、位於該電源 平面上之該第一及該第二介電層(15、17)及具有形成於其 上之該等訊號線(22)的該第一及該第二訊號層(21、37)結 合在一起以形成該印刷電路板(1 〇)。 14.如請求13之方法,其中該結合步驟係使用一組合熱量與 壓力之疊層處理而完成。 15·如凊求項14之方法,其中在該疊層處理過程中所施加之 該熱量係在自大約攝氏175度至攝氏250度之範圍内,且 所施加之該壓力係在自大約1〇〇磅/平方英吋至1,100磅/ 平方英吋之範圍内。 16·如請求項10之方法,進一步包括分別在該第一及該第二 訊號層(21、37)上定位第三及第四介電層(19、23),且隨 後分別在該第三及該第四介電層上形成第三及第四導電 層(49) 〇 96867.doc 200531608 17.如請求項1〇之方法,進一步包括提供複數個傳導通孔(35) ’以將該第一訊號層(2 1)中訊號線(22)之該預定部分之選 定的若干部分電連接至該第二訊號層(37)中訊號線之該 預定部分之對應選定的若干部分上。 is·如請求項丨7之方法,其中提供該等複數個傳導通孔(35) 使其通過該電源平面(11)之選定部份。 19·如請求項18之方法, 逆 /匕祜钕供在該電源平面(11) 中之複數個間隙開口(13),1中 (),、中各個该專複數個傳導通孔 (35)係通過該等間隙開口之一 兮合自之一者而形成,使得將 Μ導電I孔之各個與該電源平面電絕緣。 96867.doc
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