JP2005347924A - 高周波信号伝送線路基板 - Google Patents
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Abstract
【課題】高周波の信号が伝播でき、配線の分岐前後の特性インピーダンスを整合でき、安定した伝送特性を有する高周波信号伝送線路基板を提供する。
【解決手段】複数の誘電体基板11、11a、11bの積層体の両主面のそれぞれに設けられる第1、第2の配線12、17及び第1、第2の配線12、17を繋ぐ信号線用ビア13を有する特性インピーダンスZ0系の高周波用信号を伝送するための伝送線路がいずれか一方の主面に設けられる分岐点18で2分配される高周波信号伝送線路基板10において、伝送線路の信号線用ビア13で1/21/2・Z0の波長/4線路を構成すると共に、積層体の一方の主面に露出する信号線用ビア13の端面と第2の配線17との接続部を分岐点18とする。
【選択図】図1
【解決手段】複数の誘電体基板11、11a、11bの積層体の両主面のそれぞれに設けられる第1、第2の配線12、17及び第1、第2の配線12、17を繋ぐ信号線用ビア13を有する特性インピーダンスZ0系の高周波用信号を伝送するための伝送線路がいずれか一方の主面に設けられる分岐点18で2分配される高周波信号伝送線路基板10において、伝送線路の信号線用ビア13で1/21/2・Z0の波長/4線路を構成すると共に、積層体の一方の主面に露出する信号線用ビア13の端面と第2の配線17との接続部を分岐点18とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、伝送線路に高周波用の信号を通過させるための高周波信号伝送線路基板に関し、より詳細には、伝送線路の途中に設ける分岐点で伝送線路が2分配される高周波信号伝送線路基板に関する。
近年のモジュールの高周波化に伴い、半導体素子を搭載して高周波の信号を伝播させるための高周波信号伝送線路基板には、単なる電気的接続では、例えば、信号線を伝播する信号の反射、クロストーク等の伝送線路としての電磁波的挙動が顕著になるため、反射ノイズや、不要電磁放射(EMI)等の様々なノイズの対策が必要となっている。この高周波用伝送線路基板は、セラミックやプラスチックからなる誘電体基板に高速動作に対応でき、ノイズの発生要因を減少するような電気的設計の考慮を行いながら導体金属で信号線や、グランド等を形成して作製されている。
通常、高周波信号伝送線路基板を用いて高出力の増幅を行う場合には、アンプの耐電力等の理由から1つのアンプではなく、複数のアンプを高周波信号伝送線路基板に搭載させることが行われる。このような場合、複数のアンプへ信号を入力させるためには、アンプへの入力側の配線を分岐する必要があるが、高周波信号においては、ただ単に入力側の配線を分岐するのではなく、基板全体としての伝送線路の特性インピーダンスの整合を行う必要がある。
この特性インピーダンスの整合を行うために、例えば、図4(A)に示すように、高周波信号伝送線路基板50は、基板の表面側の配線から信号を入力させ信号線用ビア51を介して裏面側の特性インピーダンスZ0系の高周波用信号を伝送する配線に分岐点52を設ける場合に、分岐前に特性インピーダンス1/21/2・Z0の波長/4線路の繋ぎ配線53を設けて伝送線路を形成している。又は、図4(B)に示すように、高周波信号伝送線路基板50aは、基板の表面側から信号を入力させ信号線用ビア51を介して裏面側の特性インピーダンスZ0系の高周波用信号を伝送する配線に分岐点52を設ける場合に、分岐後の特性インピーダンスZ0系の高周波用信号を伝送する配線のそれぞれに特性インピーダンス21/2・Z0の波長/4線路の繋ぎ配線54を設けて伝送線路を形成している。また、特性インピーダンスの整合方法には、図4(C)に示すように、高周波信号伝送線路基板50bは、基板の表面側の特性インピーダンスZ0系の高周波用信号を伝送する配線に分岐点52を設ける場合に、分岐前に特性インピーダンス1/21/2・Z0の波長/4線路の繋ぎ配線55を設け、2箇所の信号線用ビア51を介してそれぞれ裏面側に特性インピーダンスZ0系の高周波用信号を伝送する配線を延設させて伝送線路を形成している。また、図示しないが、高周波信号伝送線路基板50bは、基板の表面側の特性インピーダンスZ0系の高周波用信号を伝送する配線に分岐点52を設ける場合に、分岐後に特性インピーダンス21/2・Z0の波長/4線路の繋ぎ配線55を分岐したそれぞれに設け、それぞれに延設する信号線用ビア51を介してそれぞれ裏面側に特性インピーダンスZ0系の高周波用信号を伝送する配線を延設させて伝送線路を形成している場合もある。なお、図5に示すように、この特性インピーダンスの算出は、特性インピーダンスZ1の配線56と特性インピーダンスZ2の配線57を整合させて接続するには、中間に特性インピーダンスZM=(Z1・Z2)1/2の波長/4の長さの繋ぎ配線58を設けることで伝送線路を形成していることの原理から算出されている。
従来の高周波信号伝送線路基板には、入出力端子から基板中央部に向かって異なる比誘電率を有する材料を複合化した基板に伝送線路を設け、特性インピーダンスの整合を図るものが提案されている(例えば、特許文献1参照)。また、従来の高周波信号伝送線路基板には、基板の中に比透磁率及び/又は比誘電率の異なる部分を設け、伝送線路の特性インピーダンスの整合を図るものが提案されている(例えば、特許文献2参照)。
特開平7−283619号公報
特開2004−32766号公報
しかしながら、前述したような従来の高周波信号伝送線路基板は、次のような問題がある。
(1)基板の裏面側の配線に分岐点を設け、分岐前後の特性インピーダンスZ0系の高周波用信号を伝送する配線に特性インピーダンス1/21/2・Z0の波長/4線路の繋ぎ配線を設ける伝送線路は、繋ぎ配線の基板の中で占める部分が基板表面や、裏面に伝送線路以外の配線を密に配置する場合の配置の妨げとなっている。
(2)基板の表面側や、裏面側に伝送線路以外の配線を密に配置することを容易に行うために、裏面側の信号線用ビアから繋ぎ配線までの部分は、配線設計的には無しとすることも可能であるが、信号線用ビアを特性インピーダンスZ0とするためのグランドパターンと、ビアとの間に断面視して設計上必要な間隔を設けなければならないので、この間隔によって裏面側の平面的な繋ぎ配線を特性インピーダンス1/21/2・Z0の波長/4線路に設計するのが難しくなっている。
(3)信号線用ビアを特性インピーダンスZ0とするためには、信号線用ビアからのグランド用ビア配置距離や、グランドパターンまでのくり抜きの大きさを比較的大きくする必要があるので、基板の中間層に伝送線路以外の他の配線を密に配置させるのが難しくなっている。また、ビア同軸部の高次伝搬モードにおける発生周波数は、信号線用ビアからグランド用ビアまでの配置距離や、信号線用ビアからグランドパターンまでのくり抜きの大きさを大きくすることによって低くなるので、より高周波では伝送損失が悪化する問題がある。
(4)信号線用ビアからグランド用ビアまでの配置距離や、信号線用ビアからグランドパターンまでのくり抜きの大きさは、信号線用ビアの直径を小さくすることで縮小することができるが、この場合には、信号線用ビアの断面積が縮小するので、信号線用ビアを通過させる電流許容量が低下する問題がある。
(5)基板の表面側の配線に分岐点を設け、分岐点前後にそれぞれ特性インピーダンス1/21/2・Z0の波長/4線路や、特性インピーダンス21/2・Z0の波長/4線路の繋ぎ配線を設ける伝送線路は、信号線用ビアが2箇所必要となり、信号線用ビアへの配線も2箇所となるので、比較的大きな設置領域が必要となる。また、信号線用ビアの高次伝搬モードにおける発生周波数は、信号線用ビアからグランド用ビアまでの配置距離や、信号線用ビアからグランドパターンまでのくり抜きの大きさを大きくすることによって低くなるので、より高周波では伝送損失が悪化する問題がある。
(6)伝送線路の特性インピーダンスの整合を図るために、高周波信号伝送線路基板の中に比透磁率及び/又は比誘電率の異なる部分を設けるのは、部分的に比透磁率及び/又は比誘電率が異なる複合基板を作製するのが難しい。また、多層からなる高周波信号伝送線路基板の場合には、適用が難しい。
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであって、高周波の信号が伝播でき、配線の分岐前後の特性インピーダンスを整合でき、安定した伝送特性を有する高周波信号伝送線路基板を提供することを目的とする。
(1)基板の裏面側の配線に分岐点を設け、分岐前後の特性インピーダンスZ0系の高周波用信号を伝送する配線に特性インピーダンス1/21/2・Z0の波長/4線路の繋ぎ配線を設ける伝送線路は、繋ぎ配線の基板の中で占める部分が基板表面や、裏面に伝送線路以外の配線を密に配置する場合の配置の妨げとなっている。
(2)基板の表面側や、裏面側に伝送線路以外の配線を密に配置することを容易に行うために、裏面側の信号線用ビアから繋ぎ配線までの部分は、配線設計的には無しとすることも可能であるが、信号線用ビアを特性インピーダンスZ0とするためのグランドパターンと、ビアとの間に断面視して設計上必要な間隔を設けなければならないので、この間隔によって裏面側の平面的な繋ぎ配線を特性インピーダンス1/21/2・Z0の波長/4線路に設計するのが難しくなっている。
(3)信号線用ビアを特性インピーダンスZ0とするためには、信号線用ビアからのグランド用ビア配置距離や、グランドパターンまでのくり抜きの大きさを比較的大きくする必要があるので、基板の中間層に伝送線路以外の他の配線を密に配置させるのが難しくなっている。また、ビア同軸部の高次伝搬モードにおける発生周波数は、信号線用ビアからグランド用ビアまでの配置距離や、信号線用ビアからグランドパターンまでのくり抜きの大きさを大きくすることによって低くなるので、より高周波では伝送損失が悪化する問題がある。
(4)信号線用ビアからグランド用ビアまでの配置距離や、信号線用ビアからグランドパターンまでのくり抜きの大きさは、信号線用ビアの直径を小さくすることで縮小することができるが、この場合には、信号線用ビアの断面積が縮小するので、信号線用ビアを通過させる電流許容量が低下する問題がある。
(5)基板の表面側の配線に分岐点を設け、分岐点前後にそれぞれ特性インピーダンス1/21/2・Z0の波長/4線路や、特性インピーダンス21/2・Z0の波長/4線路の繋ぎ配線を設ける伝送線路は、信号線用ビアが2箇所必要となり、信号線用ビアへの配線も2箇所となるので、比較的大きな設置領域が必要となる。また、信号線用ビアの高次伝搬モードにおける発生周波数は、信号線用ビアからグランド用ビアまでの配置距離や、信号線用ビアからグランドパターンまでのくり抜きの大きさを大きくすることによって低くなるので、より高周波では伝送損失が悪化する問題がある。
(6)伝送線路の特性インピーダンスの整合を図るために、高周波信号伝送線路基板の中に比透磁率及び/又は比誘電率の異なる部分を設けるのは、部分的に比透磁率及び/又は比誘電率が異なる複合基板を作製するのが難しい。また、多層からなる高周波信号伝送線路基板の場合には、適用が難しい。
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであって、高周波の信号が伝播でき、配線の分岐前後の特性インピーダンスを整合でき、安定した伝送特性を有する高周波信号伝送線路基板を提供することを目的とする。
前記目的に沿う本発明に係る高周波信号伝送線路基板は、複数の誘電体基板の積層体の両主面のそれぞれに設けられる第1、第2の配線及び第1、第2の配線を繋ぐ信号線用ビアを有する特性インピーダンスZ0系の高周波用信号を伝送するための伝送線路がいずれか一方の主面に設けられる分岐点で2分配される高周波信号伝送線路基板において、伝送線路の信号線用ビアで1/21/2・Z0の波長/4線路を構成すると共に、積層体の一方の主面に露出する信号線用ビアの端面と第2の配線との接続部を分岐点とする。
前記目的に沿う本発明に係る高周波信号伝送線路基板は、複数の誘電体基板の積層体の両主面のそれぞれに設けられる第1、第2の配線及び第1、第2の配線を繋ぐ信号線用ビアと繋ぎ配線を有する特性インピーダンスZ0系の高周波用信号を伝送するための伝送線路がいずれか一方の主面に設けられる分岐点で2分配される高周波信号伝送線路基板において、第1の配線と一方の端部を接続し、他方の端部を積層体の一方の主面に露出する信号線用ビアの端面に接続する繋ぎ配線と、信号線用ビアとで1/21/2・Z0の波長/4線路を構成すると共に、積層体の他方の主面に露出する信号線用ビアの端面と第2の配線との接続部を分岐点とする。
請求項1記載の高周波信号伝送線路基板は、伝送線路の信号線用ビアで1/21/2・Z0の波長/4線路を構成すると共に、積層体の一方の主面に露出する信号線用ビアの端面と第2の配線との接続部を分岐点とするので、伝送線路に繋ぎの配線や、2つの信号線用ビアを設ける必要がなく、表面側や、裏面側や、中間層に伝送線路以外の配線を密に配置させることができる。また、信号線用ビアは、繋ぎ配線の役目をしているので、グランドパターンまでのくり抜きの大きさを大きくして伝送線路に高周波の信号を通過させても、伝送損失の悪化を防止することができると共に、信号線用ビアは、断面積を縮小する必要がないので、信号線用ビアを通過する電流許容量の低下の問題を発生させない。更に、高周波信号伝送線路基板は、基板の中に比透磁率及び/又は比誘電率の異なる部分を設けるような複合基板を用いる必要がないので、高周波信号伝送線路基板を容易に作製することができる。
請求項2記載の高周波信号伝送線路基板は、第1の配線と一方の端部を接続し、他方の端部を積層体の一方の主面に露出する信号線用ビアの端面に接続する繋ぎ配線と、信号線用ビアとで1/21/2・Z0の波長/4線路を構成すると共に、積層体の他方の主面に露出する信号線用ビアの端面と第2の配線との接続部を分岐点とするので、伝送線路に2つの信号線用ビアを設ける必要がなく、基板の表面側や、裏面側や、中間層に伝送線路以外の配線を密に配置させることができる。また、伝送線路以外の配線を密に配置させるのに、信号線用ビアと、あまり配置密度には影響のない繋ぎ配線とで1/21/2・Z0の波長/4線路を構成するのが容易であり、伝送線路に高周波の信号を通過させても、伝送損失の悪化を防止することができる。また、信号線用ビアは、繋ぎ配線の役目を兼ねているので、グランドパターンまでのくり抜きの大きさを大きくして伝送線路に高周波の信号を通過させても、伝送損失の悪化を防止することができると共に、信号線用ビアは、断面積を縮小する必要がないので、信号線用ビアを通過する電流許容量の低下の問題を発生させない。更に、高周波信号伝送線路基板は、基板の中に比透磁率及び/又は比誘電率の異なる部分を設けるような複合基板を用いる必要がないので、高周波信号伝送線路基板を容易に作製することができる。
続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態について説明し、本発明の理解に供する。
ここに、図1(A)、(B)はそれぞれ本発明の一実施の形態に係る高周波信号伝送線路基板の斜視図、展開図、図2は同高周波信号伝送線路基板の変形例の展開図、図3は同高周波信号伝送線路基板の伝送特性のシミュレーション結果のグラフである。
ここに、図1(A)、(B)はそれぞれ本発明の一実施の形態に係る高周波信号伝送線路基板の斜視図、展開図、図2は同高周波信号伝送線路基板の変形例の展開図、図3は同高周波信号伝送線路基板の伝送特性のシミュレーション結果のグラフである。
図1(A)、(B)に示すように、本発明の一実施の形態に係る高周波信号伝送線路基板10は、複数枚、例えば本実施の形態では3枚のセラミックや、プラスチック等の誘電体基板11、11a、11bを重ね合わせて積層して形成する積層体から構成されている。この高周波信号伝送線路基板10は、両主面のいずれか一方の主面の、例えば上層の誘電体基板11の上表面に、高周波用信号を伝送させるための信号線用の金属導体からなる特性インピーダンスZ0系の第1の配線12と、この第1の配線12と接続して誘電体基板11、中間層の誘電体基板11a及び下層の誘電体基板11bを貫通して高周波の信号を伝送するための信号線用ビア13を誘電体基板11の上表面に端面を露出して有している。また、高周波信号伝送線路基板10は、上層の誘電体基板11の直下の中間層の誘電体基板11aと、下層の誘電体基板11bのそれぞれの上表面に、第1の配線12や信号線用ビア13を形成するのに用いられる金属導体と実質的に同じ金属導体を用いたべたパターンや、島状パターン等からなるグランド用の金属導体パターン14、14aを有している。
この高周波信号伝送線路基板10には、グランド用の金属導体パターン14、14aと信号線用ビア13との間に、信号線用ビア13部の高周波伝送特性の悪化を防止するため、及び短絡防止用のために、信号線用ビア13を中にして金属導体パターン14、14aにパターンを設けないくり抜き部15が設けられている。また、この高周波信号伝送線路基板10には、信号線用ビア13部の高周波伝送特性の悪化を防止するために、中間層の金属導体パターン14と下層の金属導体パターン14aを電気的に接続し、信号線用ビア13を中にて周囲に複数のグランド用ビア16が設けられている。なお、このグランド用の金属導体パターン14、14aの接続用端子は、図示しないが、上層の誘電体基板11に設けられるグランド用の金属導体パターン14と接続するビアを介して表面に設けられる配線に接続して設けられている。
この高周波信号伝送線路基板10は、両主面のいずれか一方の主面の、例えば下層の誘電体基板11bの下表面である基板の裏面に露出する信号線用ビア13の端面と、第2の配線17との接続部を分岐点18として、特性インピーダンスZ0系の第2の配線17がこの分岐点18で2つに分配されている。そして、この高周波信号伝送線路基板10は、分岐点18前後の第1の配線12と、第2の配線17の伝送線路を特性インピーダンスZ0系の高周波用信号を伝送するための配線とするために、信号線用ビア13が特性インピーダンス1/21/2・Z0の波長/4線路に構成されている。この高周波信号伝送線路基板10の信号線用ビア13の特性インピーダンスを1/21/2・Z0の波長/4線路に構成するには、信号線用ビア13の直径、信号線用ビア13と信号線用ビア13周囲のグランド用ビア16との距離、誘電体基板11a、11bのくり抜き部15の大きさ、及び高周波信号伝送線路基板10の厚さを調整することで行っている。
この高周波信号伝送線路基板10は、2分配することによる余分な配線や、余分な信号線用ビア13の設置領域を必要としなくなり、また、信号線用ビア13を特性インピーダンス1/21/2・Z0の波長/4線路に設計するため、信号線用ビア13の直径を縮小しなくてもよくなる。これにより、高周波信号伝送線路基板10は、従来の特性インピーダンスZ0系に設計する場合より信号線用ビア13からのグランド用ビア16の配置距離や、くり抜き部15の大きさを縮小できるので、信号線用ビア13がグランド用ビア16及び/又はグランド用の金属導体パターン14、14aからなる周囲のグランド部を備えた伝送線路部における高次伝搬モードが発生しにくくなり、より高周波までの対応が可能となる。また、高周波信号伝送線路基板10は、信号線用ビア13の直径を縮小する必要がないので、電流許容量を低下させなくてもよくなる。
次いで、図2を参照しながら、本発明の一実施の形態に係る高周波信号伝送線路基板10の変形例の高周波信号伝送線路基板10aを説明する。高周波信号伝送線路基板10aは、基本的には上記の高周波信号伝送線路基板10と同様な構成で形成されているので、高周波信号伝送線路基板10と異なる部分について説明する。
図2に示すように、高周波信号伝送線路基板10aは、第1の配線12と誘電体基板11、11a、11bの積層体の一方の主面に露出する信号線用ビア13との間に、第1の配線12と一方の端部を接続し、他方の端部を信号線用ビア13の端面に接続する繋ぎ配線19を設けている。この高周波信号伝送線路基板10aは、積層体の厚さの調整不可により、第1の配線12、信号線用ビア13、及び第2の配線17で形成される伝送線路の信号線用ビア13の線路長に不足が発生し、信号線用ビア13を特性インピーダンス1/21/2・Z0の波長/4線路に設計することができなくなった場合に、誘電体基板11の上面において、信号線用ビア13接続部の配線パターンの幅、長さ、形状を調整することによる繋ぎ配線19を設けることで、容易に不足した特性インピーダンス1/21/2・Z0の波長/4線路を追加することができる。
図2に示すように、高周波信号伝送線路基板10aは、第1の配線12と誘電体基板11、11a、11bの積層体の一方の主面に露出する信号線用ビア13との間に、第1の配線12と一方の端部を接続し、他方の端部を信号線用ビア13の端面に接続する繋ぎ配線19を設けている。この高周波信号伝送線路基板10aは、積層体の厚さの調整不可により、第1の配線12、信号線用ビア13、及び第2の配線17で形成される伝送線路の信号線用ビア13の線路長に不足が発生し、信号線用ビア13を特性インピーダンス1/21/2・Z0の波長/4線路に設計することができなくなった場合に、誘電体基板11の上面において、信号線用ビア13接続部の配線パターンの幅、長さ、形状を調整することによる繋ぎ配線19を設けることで、容易に不足した特性インピーダンス1/21/2・Z0の波長/4線路を追加することができる。
それぞれの厚さが0.20mm、外形が70mm×40mmのアルミナ(Al2O3)からなる3枚の誘電体基板に、タングステンからなる導体金属を用いて配線や信号線用ビアの伝送線路、グランドパターンやグランド用ビア等をスクリーン印刷で形成し、3枚を重ね合わせて積層して積層体を形成し、焼成して第1の配線、繋ぎ配線、信号線用ビア、及び第2の配線からなる伝送線路を有する高周波信号伝送線路基板(上記の高周波信号伝送線路基板10aに相当する)を作製した。そして、この高周波信号伝送線路基板について、高周波信号の伝送特性として示されるSパラメーターのS11である反射係数、S21である通過係数を有限要素法を用いたシミュレーションによって調査した。
図3に示すように、Sパラメータシミュレーションを行った結果は、周波数が25GHz付近の高周波領域で、反射係数S11が−25dB以下で良好な結果を示し、通過係数S21が−4dB以上で良好な結果を示した。
本発明は、伝送線路に高周波用の信号を2分配して通過させることができる高周波信号伝送線路基板であり、特性インピーダンスの整合をして、例えば複数のアンプへの信号を入力させるため等に用いることができる。
10、10a:高周波信号伝送線路基板、11:誘電体基板、12:第1の配線、13:信号線用ビア、14、14a:金属導体パターン、15:くり抜き部、16:グランド用ビア、17:第2の配線、18:分岐点、19:繋ぎ配線
Claims (2)
- 複数の誘電体基板の積層体の両主面のそれぞれに設けられる第1、第2の配線及び該第1、第2の配線を繋ぐ信号線用ビアを有する特性インピーダンスZ0系の高周波用信号を伝送するための伝送線路がいずれか一方の主面に設けられる分岐点で2分配される高周波信号伝送線路基板において、
前記伝送線路の前記信号線用ビアで1/21/2・Z0の波長/4線路を構成すると共に、前記積層体の一方の主面に露出する前記信号線用ビアの端面と前記第2の配線との接続部を前記分岐点とすることを特徴とする高周波信号伝送線路基板。 - 複数の誘電体基板の積層体の両主面のそれぞれに設けられる第1、第2の配線及び該第1、第2の配線を繋ぐ信号線用ビアと繋ぎ配線を有する特性インピーダンスZ0系の高周波用信号を伝送するための伝送線路がいずれか一方の主面に設けられる分岐点で2分配される高周波信号伝送線路基板において、
前記第1の配線と一方の端部を接続し、他方の端部を前記積層体の一方の主面に露出する前記信号線用ビアの端面に接続する前記繋ぎ配線と、前記信号線用ビアとで1/21/2・Z0の波長/4線路を構成すると共に、前記積層体の他方の主面に露出する前記信号線用ビアの端面と前記第2の配線との接続部を前記分岐点とすることを特徴とする高周波信号伝送線路基板。
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KR20200046964A (ko) * | 2018-10-26 | 2020-05-07 | 삼성전자주식회사 | 신호 전송기 및 이를 구비하는 반도체 소자 검사 장치 |
CN111540997A (zh) * | 2020-04-29 | 2020-08-14 | 西南电子技术研究所(中国电子科技集团公司第十研究所) | 集成垂直过渡功分器 |
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2004
- 2004-06-01 JP JP2004163075A patent/JP2005347924A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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