TW200520962A - Method for accurately positioning a pattern on a substrate - Google Patents

Description

200520962 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明相關於一種用以將一基板及一圖案化裝置相對於 彼此定位在一圖案化位置上之方法，在該位置處，該圖案 化裝置會啟動以施加圖案於該基板。 【先前技術】 利用圖案化裝置將圖案施加到基板之過程實際上係為人 所知，並且是許多類型之產品製造過程的一部分。將圖案 施加到基板之過程可以以多種方式實現，例如藉由印刷或 雷射寫入。一般來說，印刷包含將一層墨水放置在該基板 上，而雷射寫入則包含移除該基板之部分。 為了將圖案配置給基板，該基板係放置在圖案化機器 内，其中配置-圖案化裝置。通常，該圖案化機器包含— 可移動平台’用以支揮及移動該基板。該圖案形成過程的 發生係藉❹對於該圖案化裝置㈣支撐著該基板之平台 而間歇地啟動該圖案化裝置來達成。在該基板上之合成= 案一方面係藉由該圖案化裝置之輸出來決定，另一方回 疋藉由支撐該基板之平台相對於該圖荦 、 來決定。 案化破置之採用位置 隹罵要形成 —·小w罕匕列甲，今 成過程包含-些圖案形成步驟，在該過程中，該等^❺ 置在該基板上。每個圖案形成步驟都 9 +確執行，以巧 免造成該等不同層偏離及該圖案失直。— ^ 個包含一此圖赛 形成步驟之圖案形成過程的範例是指 即 ^ α ^ ”肩不斋之噴墨印刷y 94558.doc 200520962 程，其中顯示元件之尺寸係屬於微米等級。在該過程期間， 非常重要的是在該基板上之圖案的不同層的位置要彼此精 確地相符合。 【發明内容】 本發明之目的係要提供一種方法，用以相對彼此定位一 基板及一圖案化裝置，該方法適合為了圖案形成過程之應 用，其中必須符合有關該基板上圖案之位置的高標準，例 如顯示器之喷墨印刷過程。該目的係藉由一種方法來達 成，該方法將一基板及一圖案化裝置相對於彼此定位在一 圖案化位置上，在該位置處，該圖案化裝置係被啟動以將 圖案施加於該基板，該方法包含一步驟，該步驟決定該基 板與該圖案化裝置相對於彼此之圖案化位置與該基板上$ 案之位置之間的實際關係。 藉由實行根據本發明之方法，可以決定在 ，可以決定在該基板與該圖

加於該基板之預先決定的位置上。 當實行根據本發明之方法時，

方也加到該基板；及執行— 由該圖案化裝置，將一測試圖案 量測以獲得一結果，而該結果係 94558.doc 200520962 相關於該基板上測試圖案所獲得位置，其中在該基板與該 圖案化裝置相對於彼此之圖案化位置與該圖案在該 之位置間的實際關^基於該量測所獲得之結果來二定。 由該量測所獲得的結果可能包含例如該測試圖案在該基板 上之實際所獲得的位置，或該基板上測試圖案之實際所獲 得的位置與該基板上測試圖案之預先決定位置之間的偏 移，其中該基板上測試圖案之預先決定位置係基於 與該圖案化裝置相對於彼此之圖案化位置與該基板上圖案 之位置之間的預先決定關係來決定。不論利用該量測所獲 得之結果的確實特性如何，確實地該基板與該圖案化裝置 相對於彼此之圖案化位置與該基板上圖案之位置間的實際 關係一方面是基於相關於該預先決定的測試位置之資訊來 決定，另一方面是基於相關於該測試圖案在該基板上之實 際所獲得的位置的資料來決定。 當根據本發明之方法係藉由跟隨在該前段所提之步驟來 貫行的時候’該圖案施加於該基板的位置與基於該圖案化 I置相對於該基板之位置的所預期位置之間的可能系統偏 移會自動地修正。結果，當在該基板與該圖案化裝置相對 於彼此之圖案化位置與該基板上圖案之位置之間的實際關 係是被使用，以基於該基板上圖案之預先決定位置找出所 要求的圖案化位置，該所要求的圖案化位置係以非常準確 方式決定。 根據本發明之方法特別適合應用在圖案化技術的領域 中’該等圖案化技術包含以一般稱作為，，直接寫入，，之方法 94558.doc 200520962 將圖案施加到基板。該等圖案化技術可能包含直接將圖案 文置在基板上’例如藉由印刷’或直接變形該基板，例如 藉由雷射寫入。

再者根據本發明之方法特別適合應用在諸如P〇lyLED 顯示器或液晶顯示器之類的顯示器的製造過程中，其中該 等顯示器可以是可撓曲或不可撓曲。 【實施方式】 圖1概略地表示一印刷機i，其包含一控制單元1〇，用以 抆制一印刷頭20及一基板30之共同位置，而圖2概略地表示 忒印刷頭20及該印刷機1之一些其他元件，以及該基板3〇。 該印刷機1包含一平台40，其支撐一花岗石41。一 χ_γ平 台50係鑲嵌在該花岗石41的頂部。χ方向及γ方向對應於該 花岗石41之上表面42延伸之平面上的方向，其中該χ方向及 該Υ方向係彼此互相垂直。在圖2中，該又方向及該γ方向分 別藉由箭頭X及箭頭γ來表示。該χ_γ平台5〇包含一 X平台 51，其在該χ方向上係可移動，及一 γ平台52，其在該γ方 向上係可移動。用以挾持及支撐該基板3〇之基板支架53係 定位在該Χ-Υ平台50之頂部上。 再者，該印刷機1包含一門口（p0rtal)43及一 ζ滑槽 (slide)55,該Z滑槽係懸掛於該門口 43。一 Z方向係垂直該χ 方向及該Y方向。在圖2中，該Z方向係利用箭頭z來表示。 該Z滑槽可以在該z方向上移動，並且支撐該印刷頭2〇及一 照相機25。 為了控制該X - Y平台5 0及该Z滑槽5 5之移動，該印刷機1 94558.doc 200520962 之控制單元10包含一電腦u及馬達控制組㈣。在該印刷 m之操作期間，該電mi決定該χ平台51、該γ平台η及 滑槽55之所要求位置及移動，及將代表㈣要求移動之 信號傳送給該等馬達控制組件12。以該等接收信號為基 礎，該等馬達控制組件控制驅動該Χ平台51、該γ平台52 及该Ζ滑槽55之馬達（未顯示）的操作。 有利地，該印刷機！包含一排氣器（未顯示），其靠近該χ_γ 平台5〇及該基板支架&用以排出有害氣體，該氣體在印 刷過程期間會被釋放。 在下文中，該印刷機丨運作的方式係參考圖3來解釋。 圖3概略地表示該基板支架53、該基板30、該印刷頭2〇 及4控制早7C 10。在印刷過程期間，該控制單元以該基 板30之位置為基礎，控制該基板支架53之位移，以及該^ 刷頭20之作用。當該基板3()及該印刷頭2()相對於彼此位在 一印刷位置上時，該控制單元1〇會將一發射脈衝傳送給該 印刷頭20。該印刷頭2〇一接收到該發射脈衝，則會在該基 板30之方向上發射一墨水滴21。藉由重複該過程，一印刷 圖案便形成在該基板3〇上。 該印刷頭20及該基板30之可能組態說明在圖4中，該圖示 概略地表示該印刷頭2〇及該基板3〇之上視圖。如同在圖々I 概略表示之印刷頭2〇係包含一些噴嘴22，這些噴嘴係利用 小圓點來表示。每個喷嘴22係由該控制單元1〇來控制，而 能夠一收到該控制單元1〇之發射脈衝便發射墨水滴Η。當 該基板30相對於該印刷頭2〇在如圖4中之箭頭所表示的方 94558.doc -10- 200520962 向上移動而該印刷頭20之噴嘴22係被控制以間歇地釋放墨 水滴21時，便可以獲得如圖5所示之印刷圖案35。影響該圖 案35之外表的印刷過程的特性就其本身而言是該印刷頭加 之噴嘴22之發射頻率及該基板3〇相對於該印刷頭2〇移動之 特丨生。景》響§亥圖案3 5在該基板3 〇上之位置的印刷過程的特 性為該基板30相對於該印刷頭20之採用位置及該方向，在 该方向上利用該印刷頭2〇之喷嘴22來釋放該墨水滴21。 在本發明之範圍内，該圖案35之外表存在數種可能性。 例如，該圖案35可以包含一個點或複數個點，而在後面例 子可以是規則的或是不規則的。 如同在該前文中所描述將一圖案35提供給一基板3〇之方 法（其中该圖案35係藉由相對於一印刷頭2〇移動該基板％ 而糟由該印刷頭20間歇地釋放墨水滴2丨在該基板3〇之方向 上）可以應用例如$ 了製造顯#器，肖別是所謂的 顯示器。P〇lyLED顯示器包含大量的發光二極體，其中每個 發光二極體（通常稱作為LED)包含一疊個別層。這些層係利 用將溶解在-溶劑内之這些層的材料摻雜到一像素内來形 成’其中一像素為具有預先決定尺寸之限制區域。應了解 的是為了提供該等層給該基板3〇而由該印刷頭2〇所釋放之 墨水滴2 1包含該溶劑及該等層之材料。 在p離即顯示器之領域内，通常使用含有玻璃之基板 30。该等像素之直徑及該等像素之共同距離的適當數值分 別為50微米及2〇〇微米。 為了上述應用在該P〇lyLED||示器之製造過程期間，該印 94558.doc 11 200520962 刷過程必須符合非常高的要求。—項重要的要求為該等個 別層之圖案35相對於彼此以非常準確方式來定位，使得這 些圖案35能夠避免偏移。通常，預先圖案化之基板％係被 應用，而重要的是該已印刷圖案35係相對於已經存在該基 板30上之圖案準確地定位。為了符合這些要求，該已印： 圖案35在該基板30上之定位必需非常準確地執行。 該圖案35在該基板30上所要求位置係_在該㈣μ 10之電腦11内。在該印刷過程期間，該電㈣透過該馬達 控制組件12控制該基板30相對於該印刷頭加之位置，使得 該圖案35在該基板30上所獲得的位置符合該圖案35在該基 板30上所要求的位置。在該過程期間’一些實際錯誤需要 補償，該等錯誤包含相關於該基板3〇相對於該χ_γ平台5〇 之位置的錯誤及相關於該印刷頭2〇相對於該χ_γ平台咒之 位置的錯誤。本發明揭示一種印刷方法，其中一些重要錯 誤會被補償，使得該圖案35在該基板3〇上之準確=位能= 實現’及使得該印刷方法可應用在該印刷顯示器之領域 内。在該下文中，實行根據本發明之方法的較佳方式係參 考圖2及6加以描述。為了簡化起ι，圖2並沒有表示該基板 支架53。相車交於圖4中所示之範<列，該範例[經討論在該前 文内，在® 2中所不之範例中，該印刷頭2〇包含一單喷嘴 22。這強調一項事實京尤是根據本發明之方法的應用並非取 決於該印刷頭2〇之噴嘴22的數量。 在該印刷過程開始之前’該基板3G係放置在該印刷機i 之基板支架53上。在該過程中’該基板3〇係以任何已知適 94558.doc -12- 200520962 當方式相對於該基板支架5 3大概地放置在—預先決定位置 上’例如在該基板支架53上之固定筆(㈣的幫助下。在需 要印刷之基板30之該面上，兩個參考標記刊、”存在於該 基板30上。 > μ

當該基板30以適當的方式放置在該基板支架53上時，便 開始對準過程。在該對準過程中移動該χ_γ平台⑼是^為一 第一步驟，^後該電腦會在該照相機25之幫助下^尋位I 該基板30上之參考標記36、37。該電腦包含—影像卡，用 以捕抓來自該照相機25之影像，還有軟體，用以辨識及處 理該等影像。該軟體已認識該#標記36、37之外表而能^ 從該照相機25所捕抓到的影像中搜尋與已認識外表匹配的 影像。以此方式，該f腦能夠決定該等參考標記％、 對於該X-Y平台50之位置。

該等個別參考標記36、37相對於該χ_γ平台⑽位置的 藉由將該等參考標記36、37之一，例如參考標記％ 設定成具有Χ-Υ座標（〇,〇)之新的零位置來補償。在延伸穿』 參考標記36、37之虛構參考線與該又方向之間的角度η 言之就是基板旋轉的角度錄以該等個別標記‘Ml 的比較為基礎來決定。當參考標記36之乂彳座標設定j (〇,〇)，該旋轉角度φ簡單地被發現就是參考標記η之Y座才 除以該參考標記37之X座標之結果的正切值。該旋轉角产 係使用在以-已印刷點在該基㈣上之預先決定位置^ 礎來計算該Χ·Υ平台5G之實際印刷位置的過程中，所使用白 方式將會描述在該下文中。該實際印刷位置可以視為實搜 94558.doc 13 200520962 么上需要被該Χ-Υ平台50所採用之位置，以便讓該印刷頭2〇 旎夠印刷該點在該基板3〇之預先決定的位置上。 為了在該對準過程中執行—第二步驟，該控制單元W之 電腦11係如此程式化以將該χ_γ平台50朝向相對於該新的 零位置的預先決定的測試位置移動。該χ_γ平台50一採用該 預先决疋的測。式位置’則該印刷頭20係由該電腦11所啟動 而釋放-墨水滴21。該釋放墨水滴21形成_測試點38在該 基板30上。該測試點38係印刷在該基板邛之一區域上，而 該區域原本並非要接收該功能印刷@ _，即當該製造過 程完成時，該印刷圖案35意圖實際上執行一功能，而該印 刷基板30係為了它本來所設計之目的應用。 一互該測試點38已經㈣，便有可能量職载點38之 預先決定的位置與實際上所獲得的位置之間的偏移。該偏 移也可以使用圖案辨識以光學方式來決定，也就是在該照 相機25及搜尋該測試點38之先前所認識的外表的幫助下。 基於該已決定的方走轉角度及在該測試點38之預先決定的 位置及該實際所獲得的位置之間所量測到的偏移，該控制 單元10之電腦11便能夠決定該χ _ γ平台5 〇為了在該基板3 〇 之預先決定的位置上印刷一點之實際印刷位置。在該下文 中解釋該電腦U決定該Χ-Υ平台5〇之實際印刷位置的方 法，其中參考圖6，及其中使用該等下列符號： X h =該測試點3 8在該X方向上之預先決定的位置與實際 所獲得的位置之間的偏移； Y h =該測試點3 8在該γ方向上之預先決定的位置與實際 94558.doc -14- 200520962 所獲得的位置之間的偏移；

Xc=該測試點38在該X方向上之預先決定的位置與實際 所獲得的位置之間的修正偏移；

Yc =該測試點38在該γ方向上之預先決定的位置與實際 所獲得的位置之間的修正偏移； 該點相對於參考標記36之預先決定位置之χ座標； 該點相對於參考標記36之預先決定位置之γ座標； 在補償旋轉角度必之前，該χ_γ平台5〇之實際印刷位 置的X座標； 在補償旋轉角度必之前，該χ_γ平台5〇之實際印刷位 置的Υ座標； Χρ=該Χ-Υ平台50之實際印刷位置的X座標；及 Υρ==該Χ-Υ平台50之實際印刷位置的γ座標。 首先，該測試點38之預先決定的位置與實際上所獲得的 位置之間所量測到偏移需要修正旋轉角度φ。這樣做的理由 是在該測試點38之印刷期間，由於該基板3〇相對於該χ_γ 平台50之旋轉的影響，該基板所在的位置已經並非準確符 合該預先決定的測試位置。該已修正偏移之座標係藉由該 下列公式來決定：

Ac ^ -yjx]r ^}ηΊ2 + = \rXir I Yh? Ί arclatii.VA,)7?)} 使用該已修正偏移，該X-Y平台50之實際印刷位置可以在 兩步驟内決定。在該第一步驟中考慮該修正偏移，而在第 二步驟中考慮該旋轉角度φ。 94558.doc -15- 200520962 - ΛΊ -}；c 41 一 sin φ Jp. ‘ βηψ cotiff 以XP及Yp之計算值為基礎，該控制單元1〇之電腦u透過 該馬達控制組件12控制驅動該X平台51及該γ平台52之馬 達，使知5亥X-Y平台50採用該實際印刷位置。當該平台 50抵達該實際印刷位置時，該印刷過程可以藉由啟動該印 刷頭20而開始，據此至少發射一墨水滴21，該墨水滴相對 於參考t 4 36形成一點在該基板3〇之預先決定位置上。 事實上，該對準過程包含決定該χ_γ平台5〇之實際印刷位 置與該點相對於參考標記36之預先決定的位置之間實際關 係，這是基於該電腦U能夠決定為了印刷一圖案35所要求 之實際印刷位置，及考慮該圖案35可以視同大量點。 原則上，在該印刷過程發生之前，該對準過程對每一基 板30只需執行一次’特別像是該基板3〇尺寸很小時。該電 腦能夠儲存該量測旋轉角度φ及該測試點38之預先決定的 位置與實際所獲得的位置之間的量測偏移。以這兩參數為 基礎’該電腦U便能夠計算該X_Y平台5〇對整個需要被印刷 在該基板30上之圖案的實際印刷位置。然而，$ 了將一圖 案35印刷在相當大尺寸的基板3〇上，該對準過程較佳地需 要多次執行，不僅在該印刷過程開始之前，在該印刷過程 之某些階段時也要執行。對於每次對準過程，+同的預先 決定測試位置係制在將—賴㈣印刷在該基板3〇上的 過程中。藉由對單一基板30多次實行該對準過程，便有可 94558.doc 200520962 冗36、37定位該圖案 能隨著時間而發生的 能可以非常準確地相對於該等參考標 35，同時修正該印刷頭2〇之噴嘴22功 變化。 該上述對準過程之重要優點是該過程為完全自動化。告 縣㈣放置在該基板支架53上之後，該電㈣在該照才田目 機35的幫助下執行該對準過程，其中並不需要人工介入。 田》亥對準過程包含該上述步料，該步驟為印刷一測試 點38及然後量測該測試點38之預先決定的位置與實際所獲 得的位置之間的偏移，則在該測試點38之實際所獲得⑭ 置與該印刷頭2 0之位置為基礎之預期位置之間的可能系統 偏差會自動地修正。 該對準過程可以以各種方式實行。例如，並不一定該等 標記36、37要先搜尋而該測試點38接著才印刷，該對準過 程的這些步驟也可以以相反的次序實行。 该對準過程包含量測該測試點38之預先決定位置與實際 所獲得的位置之間的偏移的步驟並非不可或缺。根據其他 可行的可能性，該測試點38係在該照相機25的幫助下搜 哥，而當該測試點3 8 —被發現，則該測試點3 8之實際所獲 得的位置便會被量測。基於該測試點38之實際所獲得的位 置與該X-Y平台50之設定測試位置之組合，有可能決定該 平台50之設定印刷位置與一點在該基板3〇上之所獲得 位置之間的關係。使用該關係，該控制單元10之電腦11便 月匕夠控制該基板30相對於該印刷頭20之位置及該印刷頭20 之操作，使得在該基板30之預先決定的位置上能夠獲得一 94558.doc -17- 200520962 圖案35。雖然量測該測巧 別4點38之實際所獲得的位置也可以 產生很好的結果，但是實行該對準過程之方式卻具有一項 缺點’該缺點是增加找出該測試點38所花費時間。 料㈣使用在—印刷頭2Q包含應用複數個嗔 嘴的情形中。在該範例中，該對準過程可能包含—步驟， 在該步驟期間該X-Y平台5〇係移動到一預先決定的測試位 置，而該印刷頭2〇之所有喷嘴係一起啟動以釋放-墨水滴 21。結果’在該基板3G上係獲得—測試行（卿）而非一測試 點38。該電腦U所認識的影像(用以搜尋該測試行)較佳地係 包含該測試行之結尾部分及鄰近空白部分。該測試行之结 尾部分例如包含兩點。該鄰近空白部分在該測試行延伸之 方向上的尺寸應該會超過連續兩點之間的距離，以便該電 腦11能夠直接找到該测試行之結尾部分。以該方式，該電 腦11便能夠量測該測試行之預先決定的位置與實際上所獲 得的位置之間的偏移。此外’該電腦11也可以程式化以找 出該測試行之預先決定的方向與該測試行之實際上所獲得 的方向之間的偏差，以便決定該印刷頭20之喷嘴22之行與 該χ_γ平台5G之間的旋轉角度。假使決^ 了該旋轉角度，較 佳地是使用一Χ-Υ-0平台移動該基板3〇而非使用一χ_Υ平 台50 ’使得該旋轉角度可以藉由該χ_γ_0平台之旋轉來獲得 補償。 在複數個喷鳴22之背景下的另一種可能性是該電腦1 i係 耘式化以決定屬於该測試行之一部分的每個測試點％之預 先決定位置與實際上所獲得的位置之間的偏移，或決定每 94558.doc _ 18 _ 200520962 個測試點38之實際上所獲得的位置。以該方式，針對每個 個別喷嘴22,該電腦U能夠決定支撐該基板3〇之平台的印 刷位置與位在該基板30上之印刷點所獲得的位置之間的關 係。基於該關係，該電腦丨丨夠控制該印刷過程，使得所要 求圖案能夠精確地放置在該基板3〇上，其中該圖案h之多 數點之共同位置與該圖案35在該基板3〇上之位置的準確性 係符合該等要求。事實±，以該方式，在一印刷頭2〇具有 單一喷嘴22之背景下，在該前文中所描述之對準過程是 針對具有超過一個噴嘴22之印刷頭2〇的每個個別喷嘴以來 執行。 由於如同該前面段落所描述之過程，實際上，該等噴嘴 22並非準確地同時啟動，因為與某一噴嘴22有關之該平台 之印刷位置與-印刷點在該基板3()上之所獲得的位置之間 的實際關係是不同於與其他喷嘴22有關的該關係。假使從 該對準過程中發現有一個或更多個噴嘴22並沒有適當發揮 作用，則該電腦η甚至可以被程式化成不需使用所有噴嘴 22。在該範例中，該電腦丨丨控制該印刷頭2〇之噴嘴μ，使 付名等失效噴嘴22之功能係由其他嘴嘴22所取代，使得在 該基板30所獲得的圖案35不會中斷。 很明顯地，對於熟悉該項技藝者本發明之範圍並沒有受 限於在該前文中所討論的範例，而在不違背本發明在該等 附屬申。月專利範圍中所定義之範圍的情形下，其數項改善 及修正是可行。 該所示的印刷m包含一 χ_γ平台5〇,用以為了相對於彼 94558.doc -19'- 200520962 此定位該基板30及該印刷頭20及為了相對於彼此定位該基 板3 0及該照相機2 5，移動該基板3 0。該印刷頭2 〇及該照相 機25藉由該Z滑槽55都只能在該Z方向移動。原則上，在本 發明之範圍内，該印刷頭20及該照相機25可以在該X方向及 該Y方向上移動也有可能，而該基板30之位置在該等方向是 固定不動。甚至也有可能該印刷頭20 '該照相機25及該基 板30在該X方向及該γ方向都可以移動。然而，在此所示之 配置係較佳於其他可能性。重要的是該基板3〇及該印刷頭 20相對於彼此在該X方向及該γ方向上是可移動，相同地對 於咸基板3 0及該照相機2 5也是一樣。所有能夠讓這一點實 行之可能方式都在本發明之範圍内。 在該所示範例中，一單一照相機25係用以偵測該等標記 36、37及該已印刷測試點38。應了解的是也有可能應用超 過一個以上的照相機25。然而，在該範例中，相對於彼此 定位該基板30及該印刷頭20之準確性係會受到該等照相機 25之共同位置之錯誤的負面影響。因此，較佳地要確定及 考慮這些錯誤。 一照相機25並不一定需要用以偵測該等標記％、37及該 、J式點3 8。取决於該專標記3 6、3 7及該測試點3 8之特性， 2 一種偵測裝置也可以應用，例如紅外線照相機，或在該 等標記36、37及/或該測試點38在該基板3()上包含不平坦之 範例中，甚至可以應用追蹤器（tracer)。 一 在該前文中，本發明係在印刷，特別是印刷顯示器的背 景下來加以描述。這並非意指本發明不能應用於以其他方 9455S.doc 200520962 式k供圖案給基板。相反地，本發明也可以應用於例如雷 射寫入之領域，其中根據本發明之方法可用以相對於一基 ，準確地定位—遮罩（mask)。事實上，本發明可以應用於 :種十月形中，例如在—基板需要配置—圖案的情形中及在 需要使用-圖案化裝置的情形中，而該圖案化裝置需要相 對於該基板準確地定位。

在該對準方法之某-步驟中，該基板3〇對於該χ_γ平台5〇 之紋轉的角度0係被決定，如同在該前文中所描述。為了計 算該X-Υ平台50之實際印刷位置，該旋轉角娜被加以考 慮。取代藉由調整該χ_γ平台5〇之實際印職置來補償該旋 轉角度’這也可以應用—X，平台。在該平台屬於該印刷 戍 ^刀的範例中，所量測的旋轉角度0可以藉由該 X-Υ-</>平台之Φ平台之旋轉來補償。

根據本备明之方法的應用可以產生準確圖案化的最後產 品。該最後產品不僅配置一功能性圖案，即藉由該圖案該 最後產π口犯夠執行一指派任務，而且也可以配置一測試圖 案’其只有在該產品之製造過程期間使用。 在”亥則文中，一印刷機1係加以描述，其包含一 χ_γ平台 5〇，用以在一又方向及一 γ方向上，相對於一印刷頭2〇移動 一基板30。在一印刷過程期間，該基板30係被移動，而該 印刷頭係間歇地啟動以發射墨水滴21，以便形成一圖案35 在該基板3 0上。 在離該印刷頭2〇之某一距離處，一照相機2係配置用以提 供"亥基板32之影像給一電腦11，該電腦係被程式化以辨識 94558.doc -21 - 200520962 圖案。為了該印刷頭20能夠印刷一點在該基板30之一預先 決定的位置上，該基板30及該印刷頭20之預先決定的共同 位置與該基板30及該印刷頭20之實際的共同位置之間的偏 移被量測後而加以補償。為了量測該偏移，一測試點38係 印刷在該基板30上，而該測試點38之預先決定的位置與實 際上所獲得的位置之間的偏移係藉由圖案辨識來量測。 【圖式簡單說明】 本發明將參考該等圖示更詳細地解釋，其中類似零件利 用該等相同參考符號來表示，及其中： 圖1概略地表示印刷機，其包含一控制翠开，田、，λ ° 用以控制— 印刷頭及一基板之共同位置； 些元件以及基板 圖2概略地表示如圖1所示之印刷機之_ 的透視圖； 圖3概略地說明圖1中所示之印刷機所運作的方气 圖4概略地說明該基板相對於該印刷頭之仅置 ’ 圖5概略地表示在該基板上之所獲得圖案· 多動’ ，及 圖6概略地說明決定實際印刷位置之方法。 【主要元件符號說明】 1 圖案化機器 10 控制早元 11 電腦 12 馬達控制組件 20 印刷頭 25 照相機 94558.doc -22- 200520962 40 平台 41 花崗石 42 上表面 43 門口 50 X-Y平台 51 X平台 52 Y平台 53 基板支架 55 Z滑槽 30 基板 36 參考標記 37 參考標記 38 印刷測試圖案 21 墨水滴 22 喷嘴 35 功能圖案

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Claims (1)

1. 200520962 十、申請專利範圍： 1 · 一種用以相對於彼此定位一基板（30)及一圖案化裝置（2〇) 在一圖案化位置上之方法，在該位置處，該圖案化裝置（2〇) 係被啟動以將一圖案（35)施加於該基板（30)，該方法包含 以下步驟··決定該基板（30)及該圖案化裝置（20)相對於彼 此之圖案化位置與該圖案（35)在該基板（30)上之位置之 間的實際關係。 2·如請求項1之方法，其包含該等下列步驟： -相對於彼此定位該基板（3〇)及該圖案化裝置（2〇)在一 預先決定的測試位置上； -猎由該圖案化裝置（2〇)將一測試圖案（38)施加於該基 板（30);及 -執仃一 ^測，以便獲得與該測試圖案（38)在該基板（3〇) 上之實際所獲得的位£有關之結果，纟中該基板⑽及該 圖案化裝置（20)相對於彼此之圖案化位置與該圖案（35) 在忒基板（30)上之位置之間的實際關係是基於利用該量 測所獲得的結果來決定。 3.如請求項2之方法，其中該量測係以使用圖案辨識之光學 方式來執行。 4.如2求項2或3之方法，其中該測試圖案（38)在該基板⑽ 之貝際上所獲得的位置與該測試圖案⑽在該基板⑽ 上之預先決定的位置之間的偏移係被量測，其_該測試 圖案（38)在該基板（3〇)上之早g春 1 )上之預先決定的位置係基於該基 板(3〇)與該圖案化裝置⑽相對於彼此之圖案化位置與 94558.doc 200520962 該圖案（35)在該基板（30)上之位置之間預先決定的關係 來決定，及其中該基板（30)及該圖案化裝置（20)相對於彼 此之圖案化位置與該圖案（35)在該基板（30)上之位置之 間的實際關係是利用修正該預先決定的關係所量測到的 偏移來決定。 5·如請求項2或3之方法，其中該測試圖案（38)在該基板（3〇) 上之貫際所獲得的位置係被量測，及其中該基板（3〇)及該 圖案化裝置（20)相對於彼此之圖案化位置與該圖案（35) 在該基板（30)上之位置之間的實際關係是藉由將如同所 量測的測試圖案（38)在該基板（30)上之實際上所獲得的 位置連接到該預先決定測試位置來決定。 6·如請求項1、2或3之方法，其包含以下步驟：決定該基板 (30)和該圖案化裝置（2〇)相對於彼此之移動的實際直線 與該基板（30)和該圖案化裝置（20)相對於彼此之移動的 預先決定直線之間的旋轉角度（令），其中該基板（3〇)和該 圖案化裝置（20)相對於彼此之圖案化位置與該圖案（35) 在該基板（30)上之位置之間的實際關係是修正該旋轉角 度（Φ) 0 7·如請求項6之方法，其中該旋轉角度（φ)係以使用圖案辨識 之光學方式來決定。 8·如請求項6之方法，其中該基板（3〇)及該圖案化裝置（2〇) 相對於彼此之移動的預先決定的直線係藉由兩參考標記 (36,37)來標示在該基板（30)上。 9·如請求項8之方法，其中該旋轉角度削利用根據該移動 94558.doc 200520962 之貫際直線，相對於彼此移動該基板（30)及該圖案化裝置 (=，及比較該等參考標記（36,37)在實f上垂直於該移動 之貫際直線之方向上的位置來決定。 10.如清求項1、2或3之方法，為了印刷顯示器之應用，特別 疋PolyLED顯示器或液晶顯示器，其中該該圖案化裝置包 含一印刷頭（20)，其具有至少一喷嘴（22)，用以釋放墨水 滴（21) 〇 11· 一種圖案化機器（1)，適合用以執行如請求項卜之方 法，其包含： -一第一接收組件（53)，用以接收一基板（3〇); -一第二接收組件，用以接收一圖案化裝置，該圖 案化裝置將一圖案（35)施加到該基板（3〇); -移動裝置（50)，用以相對於彼此移動該基板（3〇)及該圖 案裝置（20); -一電腦（11);及 -檢測裝置，用以檢測標記（36,37)及圖案（38)在該基板 (30)上，其中該電腦（u)係被程式化以辨識該等標記 (36,37)及該等圖案（38)，及決定相對於該移動裝置（5〇)該 等標記（36,37)及該等圖案（38)之位置。 12·如請求項11之圖案化機器（丨），其中該偵測裝置係包含至 少一照相機（25)，用以提供該基板（30)之影像給該電腦 (11)’及其中該電腦（11)係被程式化以抓取來自該照相機 (25)之影像，以及辨識該等影像。 13·如請求項12之圖案化機器（1)，其中該電腦（11)係被程式化 94558.doc 200520962 以執行一對準過程，其包含該等下列步驟： -控制該移動裂置（50)，使得相對於彼此定位該基板（3〇) 及該圖案化裝置（20)在一預先決定的測試位置上； -將-啟動脈衝傳輸到該圖案化裝置(2〇)，以便將一測 試圖案（3 8)施加於該基板（3〇); -控制該移動裝置（5〇)，使得相對於彼此定位該基板⑽ 及該照相機(25)在一預先決定的測試位置上；及 -藉由該照相機（25)，使用圖案辨識，量測該測試圖案 ㈢之實際所獲得的位置與該測試圖案（38)之預先決定 的位置之間的偏移。 14·如明求項12之圖案化機器⑴，其中該電腦⑴）係被程式化 以執行-對準過程，其包含料下列步驟： 控制β亥移動裝置（50)，使得相對於彼此定位該基板⑽ 及該圖案化裝置（2G)在-預先決定的測試位置上； •將一啟動脈衝傳輸到該圖案化裝置（2〇)，以便將一測 試圖案（38)施加於該基板（3〇); -藉由該照相機（25)，使用圖案辨識，檢測該測試圖案 (38)在該基板（38)上之實際所獲得位置。 κ如請求和或η之圖案化機器⑴，其中該電腦⑴）係被程 式化以對某一基板（30)執行該對準過程超過一次以上，及 其中該對準過程係與一過程交替發生，在該過程期間， 一圖案（35)係藉由該圖案化裝置（2〇)施加於該基板（3〇)。 16.如請求項η、12、13或14之圖案化機器⑴，其令該移動 裝置包含一Χ-Υ平台（50)。 94558.doc 200520962 1 7 ·如請求項1 1、]， 月柊貝 2、13或14之圖案化趟时/ΐλ 仆壯番勺人 ^ 化钱裔（1)，其中該圖案 化裊置包含-印刷平 诞4, 、有至J 一喷嘴（22)，用以 釋放墨水滴（21>。 18. -種印刷顯示器，特別是⑽㈣顯示器或液晶顯示器， 其包含至少兩參考標記〇6,37)及-印刷測試圖案（38)，其 係定位在一區域之外，該區域具有一功能圖案叫，該圖 案適合用以顯示一影像。

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