JP2007335898A - ニードル位置補正方法およびポッティング装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】アンダーフィルポッティングなどを行う際、ニードルによる樹脂の滴下位置を高精度に位置決めする。
【解決手段】 ニードルをX−Y座標テーブル上において予め設定された複数の座標位置(X1,Y1),(X1+Px,Y1),・・・に位置決めし、その位置決めされたそれぞれの座標位置ごとに当該ニードルから樹脂を位置測定用として滴下する。その滴下された位置測定用の樹脂A1〜A9をカメラで撮像することによって、それぞれの樹脂A1〜A9の実際の滴下位置座標を求める。その実際の滴下座標位置とそれを滴下したときのニードルの座標位置との差から、ニードルの実際の滴下位置とそれを滴下したときのニードル位置とのずれΔx1,Δy1、Δx2,Δy2、・・・を求め、このずれの平均値を求めることによってカメラに対するニードル位置の補正を行う。
【選択図】図3
【解決手段】 ニードルをX−Y座標テーブル上において予め設定された複数の座標位置(X1,Y1),(X1+Px,Y1),・・・に位置決めし、その位置決めされたそれぞれの座標位置ごとに当該ニードルから樹脂を位置測定用として滴下する。その滴下された位置測定用の樹脂A1〜A9をカメラで撮像することによって、それぞれの樹脂A1〜A9の実際の滴下位置座標を求める。その実際の滴下座標位置とそれを滴下したときのニードルの座標位置との差から、ニードルの実際の滴下位置とそれを滴下したときのニードル位置とのずれΔx1,Δy1、Δx2,Δy2、・・・を求め、このずれの平均値を求めることによってカメラに対するニードル位置の補正を行う。
【選択図】図3
Description
本発明は、たとえば、半導体チップをアンダーフィルポッティングする際に用いられるニードルからの樹脂滴下位置を高精度に制御できるニードル位置補正方法およびそのニードル位置補正方法を適用し高精度なポッティングを可能とするポッティング装置に関る。
帯状の薄い基板(テープ基板と呼ぶ)に実装された半導体チップなどをエポキシ樹脂などの熱硬化樹脂でポッティングするポッティンッグシステムがある。
このポッティングシステムの主な処理工程には、テープ基板に実装された半導体チップに対して、適度な粘性を有する液状のエポキシ樹脂などが充填されたニードルを2次元座標テーブル(ここではX−Y座標テーブルとする)上で、X軸方向およびY軸方向に所定量だけ移動制御し、樹脂の滴下位置を高精度に位置決めして、その先端部から粘性を有した液状の樹脂を滴下するポッティング工程と、このポッティング工程によってポッティングされた樹脂を熱硬化処理する樹脂硬化工程がある。
上述のポッティング工程におけるポッティング方法として、アンダーフィルと呼ばれるポッティング方法がある。このアンダーフィルポッティングは、図6に示すように、ニードル1からの適度な粘性を有した液状の樹脂10を半導体チップ11の側面11aのテープ基板12に対する付け根部に滴下させることによって、表面張力で半導体チップ11の裏側(テープ基板12面に対向する側の面)とテープ基板12との隙間に樹脂が入り込み、半導体チップ11の底面をテープ基板12に固定するポッティング方法である。
このようなアンダーフィルポッティングにおいては、樹脂を滴下させるためのニードル1を高精度に位置決めする必要がある。なお、ニードル1の内径は、0.2mmから0.5mm程度の微細なものである。また、上述したアンダーフィルの場合、ポッティング対象となる半導体チップ11に対するニードル1の位置は、半導体チップ11の側面11aからニードル1の先端外側面までの間隔Pがわずか0.1mm程度に設定されるのが普通であるため、その位置制御は高い精度が要求される。
なお、ニードル1は、図6に示すように、撮像装置として、たとえばCCDカメラなど(以下では単にカメラ2という)とともにヘッド3に取り付けられている。カメラ2から出力される画像データによって、テープ基板12に対する半導体チップ11の取り付け位置(X−Y座標上における位置)を検出しておいた上で、ニードル1がX−Y座標上の滴下位置となるようにヘッド3を移動制御し、その滴下位置でニードル1から液状の樹脂を滴下させる。その後、ニードル1を半導体チップ11の4つの側面に沿って移動させる。
このとき、カメラ2とニードル1との間隔は、予め設定された値に保持されている必要がある。つまり、X−Y座標テーブル上において、カメラ2の光軸の位置とニードル1の先端中心との位置がX軸方向およびY軸方向にそれぞれ予め定められた距離で保持された状態であれば、そのカメラ2の光軸とニードル1の先端中心との位置関係に基づいて、X−Y座標テーブル上でカメラの位置制御を行えば、ニードル1を正確に滴下すべき座標点に位置させることができる。
しかし、カメラ2の光軸に対するニードル1の先端中心の位置関係がくずれると(ニードル1の位置がずれてしまうと)、そのずれの分だけ滴下位置がずれてしまうこととなる。このようなことから、カメラ2に対するニードル1の位置は、正確に設定されることが重要である。
しかし、ニードル1は、長時間の使用などにより交換されることがあり、新しいニードル1が取り付けられた場合、ニードル1の取り付け具合などによって、ニードル1にわずかな傾きが生じたりする場合もある。また、ニードル1の交換時ばかりでなく、同じニードル1によって半導体チップ11に対するポッティング操作が長期間繰り返されると、ニードル1の先端部に樹脂が付着し、これによって、その後の滴下位置にずれが生じる場合がある。
そこで従来では、カメラ2に対するニードル1の位置を正確に設定するために、種々の方法を用いてニードル1の位置の計測を行い、その計測結果に基づいて、カメラ2に対するニードル1の位置を設定するようにしている。
このようなニードル1の位置を決めるためのニードル1の位置計測方法としては、たとえば、ここでは図示しないが発光素子とその光を受ける受光素子からなる光電変換素子を2組用い、これら2組の光電変換素子を、それぞれの発光素子からの光が直交するように配置し、その光の直交点にニードル1の先端を位置させることでニードル1の位置を計測する方法がある。
しかし、このような位置測方法では、しばらくの間、ポッティング操作を行ったあと、ニードル1の位置を計測し直すような場合、ニードル1の先端に樹脂などが付着した状態で計測を行うと、付着した樹脂が邪魔となって正確な計測結果が得られないという問題がある。
また、この種の位置計測方法は、ニードル1の位置そのものを計測するものである。つまり、そのニードル1によって実際に樹脂を滴下したときの滴下された樹脂の位置を計測するものではない。したがって、ニードル1の位置を計測した結果、たとえ、その計測結果が適正であると判定された場合でも、実際に樹脂を滴下したときに所望とする正確な位置に滴下されるとは限らない。
本発明は、樹脂の滴下位置を高精度に制御できるニードル位置補正方法およびそのニードル位置補正方法を適用することで高精度なポッティングを可能とするポッティング装置を提供することを目的としている。
上述した目的を達成するために、本発明のニードル位置補正方法は、テープ上に樹脂をニードルから塗布する樹脂塗布装置のニードル位置補正方法であって、所定のパラメータから計算されたニードル計算位置を、実際に樹脂を塗布するニードル塗布位置で補正するニードル位置補正方法において、予め設定された位置にニードルから樹脂を点状に塗布し、点状に塗布された樹脂の外形から樹脂の平面重心位置を演算し、この重心位置をニードル塗布位置とし、予め設定された位置に対応するニードル計算位置を、予め設定された位置に対応するニードル塗布位置で補正するようにしている。
このように、所定のパラメータから計算されたニードル計算位置を、実際に樹脂を塗布するニードル塗布位置で補正するようにしているので、たとえば、ニードルの交換時などにおいて、撮像装置に対するニードル位置を適正に補正することができ、撮像装置とニードルとの位置関係を常に適正に保持することができる。このニードル位置補正方法において、樹脂を塗布する予め設定された位置は、複数からなり、位置に対応するニードル計算位置の平均値を、位置に対応するニードル塗布位置の平均値で補正することが好ましい。これにより、撮像装置に対するニードル位置のずれを高精度に求めることができる。
また、本発明のニードル位置補正方法は、撮像装置とともにヘッドに取り付けられ、当該撮像装置の光軸の2次元座標上の位置に対する自身の先端中心の2次元座標上の位置の差を上記撮像装置との間隔とし、この間隔に基づいて位置制御がなされて、その先端から粘性を有した液状樹脂の滴下を行うニードルの撮像装置に対する2次元座標上における位置補正を行うニードル位置補正方法において、ニードルを2次元座標上において予め設定された複数の座標に位置決めし、その位置決めされたそれぞれの位置を理論的な滴下位置座標としてその理論的な滴下位置座標ごとに当該ニードルから樹脂を位置測定用として滴下し、その滴下された位置測定用の樹脂を撮像装置で撮像することによって、それぞれの樹脂の実際の滴下位置座標を求め、その実際の滴下位置座標とニードルの理論的な滴下位置座標とのずれを求め、このずれを利用して撮像装置に対するニードル位置の補正を行うようにしている。
このように、2次元座標テーブル上におけるニードルの位置と、実際の滴下位置座標との位置のずれ(2次元座標をX−Y座標とすれば、X軸方向の位置のずれと、Y軸方向の位置のずれ)を求めて、撮像装置とニードルとの間隔を補正しているので、たとえば、ニードルの交換時などにおいて、撮像装置に対するニードル位置を適正に補正することができ、撮像装置とニードルとの位置関係を常に適正に保持することができる。
また、ニードルの実際の滴下位置と前記理論的な滴下位置座標とのずれは、理論的な滴下位置座標に滴下された樹脂ごとに、それぞれの理論的な滴下位置座標とそれぞれの実際の滴下位置座標との差を求め、求められたそれぞれの差の平均をとった値とするのが好ましい。これにより、撮像装置に対するニードル位置のずれを高精度に求めることができる。
また、差の平均を求める際、理論的な滴下位置座標上に滴下された複数箇所の位置測定用の樹脂のうち、最初に滴下された位置測定用の樹脂は、平均を求める際の計算対象外とするようにするのが好ましい。
このように、最初に滴下された位置測定用の樹脂を、平均を求める際の計算対象外とするのは、ニードルによる樹脂滴下動作の立ち上がりに不安定さがあることを考慮したものである。つまり、最初に滴下された樹脂は、その形や樹脂量が適切でないこともあるので、最初の滴下樹脂については、ずれの平均を求める対象から除外した方が、より正確なずれの平均を求めることができるからであり、これによって、より正確なずれの平均を得ることができる。
また、位置測定用のそれぞれの樹脂は、2次元座標上において、3×3のマトリクス状の配置とするのが好ましい。
このように、滴下位置を3×3の合計9箇所のマトリクス状とすることによって、いろいろなポッティング位置に対応したずれを調べることができる。また、滴下位置を9箇所とすることによって、演算を複雑化することなく、かつ、平均値として信頼性の高い値とすることができる。
また、本発明のポッティング装置は、半導体の実装されたテープ基板を送るテープ基板送り機構と、撮像装置とニードルを両者の間隔を保持した状態で2次元座標テーブル上の予め設定された位置に移動可能な移動手段と、この移動手段の駆動制御を行うとともに、ポッティング動作を行うに必要な制御を行うポッティング制御部を有し、撮像装置の光軸の2次元座標上の位置に対する上記ニードルの先端中心の2次元座標上の位置の差を撮像装置とニードルの間隔とし、この間隔に基づいて当該ニードルの位置制御を行って、ニードル先端から粘性を有した液状樹脂を滴下させることで半導体に対するポッティングを行うポッティング装置において、撮像装置の光軸の2次元座標上の位置に対するニードルの先端中心の2次元座標上の位置は、上述したニードル位置補正方法によって補正されたのち、その補正後の位置情報に基づいて、移動手段の駆動制御を行うことでニードルのポッティング位置制御を行うようにしている。
これにより、たとえば、ニードルの交換時などやニードルを長期間使用後においても、ニードル位置補正を行うことで、撮像装置とニードルとの位置関係を常に適正に保持することができ、高精度なポッティングを行うことができる。
また、ポッティングは、アンダーフィルポッティングであって、半導体に対しニードルによって樹脂を塗布する際は、ニードルを塗布の開始位置から一方向に一筆書き的に移動させることで樹脂の塗布を行うようにするのが好ましい。
このように、ニードルを一方向に一筆書き的に移動させるだけで、ポッティングが可能となるので、ニードルの制御が容易なものとなり、また、滴下された樹脂に気泡などが生じにくくなる。
以上説明したように、本発明のニードル位置補正方法によれば、2次元座標テーブル上におけるニードルの位置と、実際の滴下位置座標との位置のずれ(2次元座標をX−Y座標とすれば、X軸方向の位置のずれと、Y軸方向の位置のずれ)を求めて、撮像装置とニードルとの間隔を補正しているので、たとえば、ニードルの交換時などにおいて、撮像装置に対するニードル位置を適正に補正することができ、撮像装置とニードルとの位置関係を常に適正に保持することができる。このため、樹脂の滴下位置を高精度に制御できることとなる。
また、本発明のポッティング装置は、上述したニードル位置補正方法を適用することで、ニードルの交換時などにおいても、撮像装置とニードルとの位置関係を常に適正に保持することができ、樹脂の滴下位置を高精度に制御でき高精度なポッティングを行うことができる。
以下、本発明の実施の形態について説明する。なお、この実施の形態で説明する内容は、本発明のニードル位置補正方法と、そのニードル位置補正方法を適用してポッティングを行うポッティング装置の両方を含むものである。また、従来の技術で説明した構成要素と同一の部材には同一の符号を付し、その説明を省略または簡略化する。
図1は、本発明のニードル位置補正方法を説明するに必要な構成要素を示すもので、ニードル1とCCDなどの撮像装置2(カメラ2という)が取り付けられたヘッド3と、このヘッド3を2次元座標テーブルとしてここではX−Y座標テーブル(図示せず)上の任意の座標位置に移動可能なヘッド駆動部4と、ニードル1から適度な粘性を有したエポキシ樹脂などの液状の樹脂(この実施の形態では単に樹脂という)を試験的に滴下する際に使用するガラス板などの樹脂滴下位置計測用治具5と、カメラ2が取り込んだ画像を処理する機能やヘッド駆動部4を制御する機能などポッティング動作を行うに必要な制御を行うポッティング制御部6とを有した構成となっている。
なお、これらの構成要素のうち、ニードル1とカメラ2が取り付けられたヘッド3、ヘッド駆動部4、ポッティング制御部6などはポッティング装置に従来から備えられているものである。本発明は、これらの構成要素の他に、樹脂滴下位置計測用治具5を用意し、この樹脂滴下位置計測治具5に対して、ニードル1から実際に樹脂を滴下し、その滴下された樹脂位置に基づいて、カメラ2に対するニードル1の位置を計測して、その計測結果からカメラ2に対するニードル1の位置補正を行うものである。以下、本発明のニードル位置補正方法の実施の形態について説明する。
なお、カメラ2とニードル1は、上述したようにヘッド3に取り付けられているが、カメラ2の光軸2aとニードル1の先端中心1aとの距離dを正確に保持しておく必要がある。この距離dは、カメラ2の光軸2aとニードル1の先端中心1aのX−Y座標テーブル上におけるX軸方向の距離とY軸方向の距離として求めることができる。
具体的にはこの距離dは、ポッティング装置において、テープ基板が走行するテープ基板走行台上に設定されたある位置(基準位置という)に樹脂を滴下させ、その滴下された樹脂が画像モニタの中心に映るように位置を教示することで得る。
このときのカメラ2の光軸2aのX−Y座標テーブル上における座標を得て、次に、その基準位置(たとえばくぼみの中央)に光軸2aを移動させ、その状態をカメラ2で撮像し、その状態のときの光軸2aの座標値を得る。このように2つの座標値を得ることによって、カメラ2の光軸2aとニードル1の先端中心1aとの間隔として、カメラ2の光軸2aに対するニードル1の先端中心1aのX軸方向の距離と、Y軸方向の距離を求めることができる。
なお、ここでは、カメラ2の光軸2aとニードル1の先端中心1aとの間隔dは、図2に示すように、X−Y座標テーブルにおいてX軸方向にX1、Y軸方向にY1だけ離れた位置であるとする。
以上のようにして求められたニードル1の先端中心1aとカメラ2の光軸2aの間隔dは、以下に説明するニードル位置補正方法において利用される。
本実施の形態のニードル位置補正方法では、まず、ガラスなどからなる樹脂滴下位置計測用治具5(以下では、ガラス治具5という)を所定位置に設置して、そのガラス治具5にニードル1から樹脂を滴下する。図3は、その滴下された樹脂の様子を示すもので、ガラス治具5上に樹脂が計9回滴下される。ここでは、ガラス治具5の上に3×3のマトリクス状、つまり、X−Y座標上のX軸方向に3個、Y軸方向に3個の合計9個の滴下された樹脂が配置される。滴下された樹脂は、図3に示すように、それぞれ円形状となる。
なお、この図3において、それぞれの滴下された円形状樹脂(これを滴下樹脂という)に対し、説明の都合上、上段の滴下樹脂については、左から順に、A1,A2,A3の符号を付し、中段の滴下樹脂についても同様に左から順にA4,A5,A6の符号を付し、下段の滴下樹脂についても同様に、左から順にA7,A8,A9の符号を付すことにする。
なお、この図3における滴下樹脂A1のX−Y座標テーブル上の本来の中心座標は、(X1,Y1)であり、それぞれの滴下樹脂の滴下間隔はX−Y座標テーブル上において、X軸方向がPx、Y軸方向がPyであるとする。
つまり、この滴下樹脂A1の本来の中心座標(X1,Y1)は、カメラ2の光軸2aをX−Y座標テーブル上のある基準となる位置に合わせた状態のときのニードル1の先端中心1aのX−Y座標テーブル上の位置座標である。つまり、この場合、前述したように、ニードル1の先端中心1aは、カメラ2の光軸2aに対してX軸方向にXm、Y軸方向にYmだけ離れた位置となっているので、滴下樹脂A1が滴下された座標すなわち、滴下樹脂A1の本来の中心座標(X1,Y1)は、X−Y座標テーブル上において、カメラ2の光軸2aの座標からX軸方向にXm、Y軸方向にYmだけ離れた理論上の滴下位置座標であるということができる。このため、以下では、この滴下樹脂A1の本来の中心座標(X1,Y1)を理論的な滴下位置座標という。
そして、その他の滴下樹脂A2,A3,・・・,A9の座標は、ニードル1をX−Y座標テーブル上における理論的な滴下位置座標(X1,Y1)を基点に、X軸方向にはPx、Y軸方向にはPyだけ移動させたときの座標である。
幾つかの例で説明すれば、まず、理論的な滴下位置座標(X1,Y1)において樹脂を滴下させたあと、ニードル1をX軸方向にPxだけ移動させ、(X1+Px,Y1)の座標に位置させて、その座標でニードル1が樹脂を滴下したものが滴下樹脂A2である。さらに、ニードル1をX軸方向にPxだけ移動させ、(X1+2Px,Y1)の座標に位置させて、その位置でニードル1が樹脂を滴下したものが滴下樹脂A3である。
また、座標(X1,Y1)を基点に、ニードル1をY軸方向にPyだけ移動させ、(X1,Y1+Py)の座標に位置させて、その座標位置でニードル1が樹脂を滴下したものが滴下樹脂A4であり、さらに、ニードル1をY軸方向にPyだけ移動させ、(X1,Y1+2Py)の座標に位置させて、その座標位置でニードル1が樹脂を滴下したものが滴下樹脂A7である。
なお、図3における各滴下樹脂A1,A2,・・・,A9に対応して記載されているそれぞれの座標は、ここでいう理論的な滴下位置座標である。
そして、次に、カメラ2によってそれぞれの滴下樹脂A1,A2,・・・,A9を1つ1つ撮影し、それぞれの滴下樹脂A1,A2,・・・.A9の重心位置の座標を求める。このカメラ2によって撮影された滴下樹脂A1,A2,・・・.A9の画像から得られた座標(それぞれの滴下樹脂の重心位置の座標)は、ニードル1によって滴下された実際の滴下位置である。
このようにして、ニードル1による9箇所の滴下樹脂A1,A2,・・・,A9のそれぞれの滴下位置座標(X−Y座標テーブル上での理論的な滴下位置座標)と、カメラ2で撮影されて得られた9箇所の滴下樹脂に対する実際の滴下位置座標が求められる。その後、これら理論的な滴下位置座標と、実際の滴下位置座標との位置のずれ(X軸方向の位置のずれと、Y軸方向の位置のずれ)を求める。
ここで、たとえば、滴下樹脂A1の理論的な滴下位置座標と実際の滴下位置座標のX軸方向のずれがΔx1、Y軸方向のずれがΔy1として求められ、滴下樹脂A2の理論的な滴下位置座標と実際の滴下位置座標のX軸方向のずれがΔx2、Y軸方向のずれがΔy2として求められたとする。また、滴下樹脂A3の理論的な滴下位置座標と実際の滴下位置座標のX軸方向のずれがΔx3、Y軸方向のずれがΔy3として求められ、滴下樹脂A4の理論的な滴下位置座標と実際の滴下位置座標のX軸方向のずれがΔx4、Y軸方向のずれがΔy4として求められたとする。
さらに、滴下樹脂A5の理論的な滴下位置座標と実際の滴下位置座標のX軸方向のずれがΔx5、Y軸方向のずれがΔy5として求められ、滴下樹脂A6の理論的な滴下位置座標と実際の滴下位置座標のX軸方向のずれがΔx6、Y軸方向のずれがΔy6として求められたとする。また、滴下樹脂A7の理論的な滴下位置座標と実際の滴下位置座標のX軸方向のずれがΔx7、Y軸方向のずれがΔy7として求められ、滴下樹脂A8の理論的な滴下位置座標と実際の滴下位置座標のX軸方向のずれがΔx8、Y軸方向のずれがΔy8として求められたとする。さらに、滴下樹脂A9の理論的な滴下位置座標と実際の滴下位置座標のX軸方向のずれがΔx9、Y軸方向のずれがΔy9として求められたとする。
これらのずれは、ニードル1をX−Y座標テーブル上でのある座標に位置決めして、樹脂を滴下したときのX−Y座標テーブル上の位置と、その滴下された滴下樹脂の実際の位置のずれである。
たとえば、滴下樹脂A1を例にとって考えると、ニードル1をX−Y座標テーブル上では(X1,Y1)の座標位置に位置させて樹脂を滴下したつもりが、その滴下樹脂をカメラ2で撮影してその重心位置を求めると、その重心の位置座標は、(X1+Δx1,Y1+Δy1)であったということである。つまり、ニードル1をX−Y座標テーブル上では(X1,Y1)の座標位置に位置させて樹脂を滴下すると、実際の滴下位置は、理論的な滴下位置座標(X1,Y1)に対して、X軸方向にΔx1、Y軸方向にΔy1のずれが生じたということである。
これは、カメラ2の光軸2aとニードル1の先端中心1aとの間隔が、X−Y座標テーブル上で、本来は、X軸方向にXm、Y軸方向にYmと設定されているはずが、実際には、X軸方向にXm+Δx1、Y軸方向にYm+Δy1となっているということである。したがって、半導体チップのポッティングを行う際は、このずれの分を考慮してニードル1の滴下位置を制御すれば、正確な位置にポッティングすることができる。
ここでは、ニードル1によってガラス治具5に9箇所滴下を試み、それぞれの滴下樹脂A1,A2,・・・.A9に対するX軸方向のずれとY軸方向のずれを求めているので、この9箇所のずれの平均を求めることで、カメラ2の光軸2aに対するニードル1の先端中心1aの平均的なずれを求めることができる。ここで、X軸方向のずれの平均をΔx、Y軸方向のずれの平均をΔyで表せば、これらX軸方向のずれの平均をΔxとY軸方向のずれの平均をΔyは、
Δx=(Δx1+Δx2+Δx3+・・・+Δx9)/9 (1)
Δy=(Δy1+Δy2+Δy3+・・・+Δy9)/9 (2)
と求めることができる。
Δx=(Δx1+Δx2+Δx3+・・・+Δx9)/9 (1)
Δy=(Δy1+Δy2+Δy3+・・・+Δy9)/9 (2)
と求めることができる。
すなわち、このニードル1は、X−Y座標テーブル上のどの座標に位置決めされたとしても、その位置で樹脂を滴下すると、X軸方向にΔx、Y軸方向にΔyだけずれた位置に樹脂が滴下されるということである。
したがって、このずれの平均を用い、X−Y座標テーブル上におけるカメラ2の光軸2aとニードル1の先端中心1aとの間隔を補正する。このカメラ2の光軸2aとニードル1の先端中心1aとの間隔、つまり、X−Y座標テーブル上のX軸方向の平均距離を で表し、Y軸座標上の平均距離をYで表せば、
X=Xm+Δx (3)
Y=Ym+Δy (4)
と表すことができる。このX,Yがカメラ2の光軸2aとニードル1の実際の滴下位置の間隔、つまり、カメラ2の光軸2aとニードル1の先端中心1aは、X−Y座標テーブルにおいて、実際には、X軸方向にX、Y軸方向にYだけ離れた位置であることを示す値として、ポッティング制御部6に登録する。
X=Xm+Δx (3)
Y=Ym+Δy (4)
と表すことができる。このX,Yがカメラ2の光軸2aとニードル1の実際の滴下位置の間隔、つまり、カメラ2の光軸2aとニードル1の先端中心1aは、X−Y座標テーブルにおいて、実際には、X軸方向にX、Y軸方向にYだけ離れた位置であることを示す値として、ポッティング制御部6に登録する。
これによって、カメラ2の光軸2aとニードル1の実際の滴下位置の間隔が正確なものとなる。したがって、このカメラ2とニード1を取り付けたヘッド3は、X−Y座標テーブル上でカメラ2を基準に駆動制御されることで、ニードル1の滴下位置を高精度に位置決めすることができる。なお、上述したようなニードル1の位置補正操作は、ヘッド3に対してニードル1を交換したときや、長期間の使用によりニードル1の滴下を再調整するときなどに行われる。
このようなニードル1の位置補正を行うことにより、たとえ、ニードル1の取り付け時にニードル1が多少傾きを有した状態で取り付けられたとしても、実際の滴下位置に基づいて、カメラ2に対するニードル1の間隔のずれを正確に求めることができる。このため、求められたずれを考慮したカメラ2とニードル1の正確な間隔を得ることができ、そのカメラ2とニードル1の間隔を登録しておくことで、実際のポッティングを行う際、半導体チップに対して高精度なポッティング位置に樹脂の滴下を行うことができる。
ところで、上述した例では、ニードルの位置のずれを求める際、図3に示すように、9個の滴下樹脂A1,A2,・・・.A9すべてについて、カメラ2によってその位置座標を求め、それぞれの滴下樹脂A1,A2,・・・.A9ごとに、X座標上のずれΔx1,Δx2,・・・,Δx9とY座標上のずれΔy1,Δy2,・・・,Δy9を求めている。しかし、第1番目に滴下される滴下樹脂A1は、ニードル1の樹脂滴下動作の立ち上がりが不安定であることが原因で、滴下された樹脂の形や量が適切でないこともあるので、この第1番目の滴下樹脂A1についてはそのずれを求めないようにしてもよい。また、仮にずれが求められたとしても、それを用いずに、他の8個の滴下樹脂A2,A3,・・・,A9によって求められたずれを用いて、平均のずれを求めるようにしてもよい。
なお、もし、滴下樹脂A1について、Δx1,Δy1が求められている場合には、前述の(1)式および(2)式において、Δx1=0、Δy1=0として、Δx2+Δx3+・・・+Δx9を8で割り算したものをΔxとし、同様に、Δy2+Δy3+・・・+Δy9を8で割り算したものをΔyとする。
次にこのようなニードル位置補正方法を適用可能なポッティング装置について説明する。
図4は、本発明のポッティング装置が組み込まれたポッティングシステムである。このポッティングシステムは、その構成を大きく分けると、テープ基板供給装置21、ポッティング装置22、樹脂硬化装置23、テープ基板巻き取り装置24からなるが、ここではポッティング装置22について説明する。
ポッティング装置22は、テープ基板供給装置21から送り出される多数の半導体チップ11(図示の破線で示す円形枠Z参照)が実装された樹脂からなるテープ状のテープ基板12を前方(矢印a方向)に送るテープ基板送り機構となる送りローラ221とテープ基板12にテンションをかけるためのテンションローラ222を有するとともに、そのテープ基板12の表面に実装された半導体チップ11に対してエポキシ樹脂などの熱硬化樹脂をポッティングするポッティング部223を有する。
このポッティング部223は、図1で説明したように、ニードル1とカメラ2が取り付けられたヘッド3と、このヘッド3をX−Y座標テーブル(図示せず)上の任意の座標位置に移動可能なヘッド駆動手段となるヘッド駆動部4と、カメラ2が取り込んだ画像を処理する機能やヘッド駆動部4を制御する機能などポッティング処理を行うに必要な様々な制御を行うポッティング制御部6を有している。
このように構成されたポッティングシステムにおけるポッティング装置22は、テープ基板供給装置21から送られてきたテープ基板12に対し、そのテープ基板12に実装された半導体チップ11に樹脂をポッティング(ここではアンダーフィルポッティング)するものである。このポッティングを行う際は、カメラ2で半導体チップ11の予め設定した部分の画像を取り込んで、その半導体チップ11の位置座標を求め、求められた位置座標に基づいてニードル1の滴下位置を決めたのち、ヘッド3を駆動させてニードル1の先端中心1aがその求められた滴下位置になるようにヘッド3を駆動制御する。
たとえば、テープ基板12上の半導体チップ11の対角線上の2箇所の角部11b,11cを検出してその角部11b,11cの位置を計測して、半導体チップ11の位置を求める。なお、半導体チップ11の角部11b,11cの検出は、カメラ1により取り込んだ画像データをパターンマッチング処理やエッジ検出処理することによって行うことができる。なお、図5に示すように、角部11b,11cは、カメラ2の取り込み画像13,13の略中心となるようにしてカメラ2に取り込まれる。
このようにして、半導体チップ11の位置がわかれば、その後はヘッド3の駆動制御を行うことで、ニードル1をポッティングすべき座標に位置させてポッティングを行うことができる。
なお、ここでは、前述したニードル1の位置補正は既に行われ、前述の(3)式および(4)式により得られたX,Y(カメラ2に対するニードル1の実際の位置座標)がポッティング制御部6に登録されているものとする。
これによって、ヘッド3をX−Y座標テーブル上で予め設定されたポッティング位置に移動させれば、ニードル1からの樹脂は、ポッティング位置に高精度に滴下される。
なお、ここで行われるポッティングは、前述したように、アンダーフィルポッティングであり、図6で説明したように、ニードル1の先端中心部1aを半導体チップ11の側面11aテープ基板12に対する付け根に位置させて樹脂を滴下するものである。
なお、本実施の形態では、ポッティング位置の精度が向上しているため、図5に示すように、ニードル1は、半導体チップ11の1つの側面11aに沿って、一方向(矢印X方向)に一筆書き的に移動させるだけである。このように、ポッティング位置の精度が向上しているため、ニードル1を幅長の1つの側面11aのみに沿って移動させながら樹脂を滴下するだけでも、滴下された樹脂は毛細管現象によって、半導体チップ11の裏面とテープ基板12の表面との間に形成されるわずかな隙間に流れ込んで行き、樹脂はさらに半導体チップ11の反対側の側面11dや搬送方向の側面11eから流出して、図6に示すように半導体チップ11のすべての側面11a,11d,11e,11fを覆うようになる。
このように、ニードル1を一方向に一筆書き的に移動させながら樹脂を滴下することによってポッティングする利点としては、ポッティング動作を単純化できることや、塗布された樹脂に気泡が生じにくいといったことが挙げられる。この一筆書き的な塗布に当たっては、この実施の形態では、1つの半導体チップ11に対しての塗布量を4mmgとし、塗布時のニードル1の塗布圧は2.1kpa(キロパスカル)で、エポキシ樹脂の粘度が0.5Pas(パスカルセコンド)で、サイクルタイムは6.0秒とされている。なお、塗布圧は、0.85〜3.43kpaが好ましく、粘度は0.2〜0.7Pasが好ましい。
なお、このようなアンダーフィルポッティングを行う際、ニードル1の先端側面と半導体チップ11の側面との間隔は図6で説明したように0.1mm程度であり、また、ニードル1の内径は0.2mm〜0.5mmでその外径は0.4mm〜0.8mmというように、それぞれがきわめて微細な数値であるため、樹脂を滴下する際の半導体チップ11に対するニードル1の位置はきわめて高精度な位置決めが要求される。
このニードル1のポッティング位置を高精度に位置決めするには、前述したように、カメラ2の光軸2aとニードル1の先端中心1aとの間隔を適正に保持する必要がある。そこで、これを実現するために、前述したようなニードル1の位置補正が有効なものとなる。このニードル1の位置補正は、ニードル1の交換時や長期間の樹脂塗布動作後にニードル1の位置の再調整が必要なときなど、必要に応じて行うことができる。
このカメラ2に対するニードル1の間隔、つまり、カメラ2の光軸2aとニードル1の先端中心1aのX−Y座標テーブル上におけるX軸方向の距離とY軸方向の距離は、ニードル1によって樹脂を実際に滴下した位置に基づいて計算されているので、適正な値を得ることができ、その間隔を登録しておくことで、高精度なニードル1の位置制御を行うことができる。このため、半導体チップ11をテープ基板12に対して確実に固定させることができ、テープ基板12から半導体チップ11が剥がれるというような不具合が生じないものとすることができる。
なお、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能となるものである。たとえば、本発明のニードル位置補正方法は、前述の実施の形態では、ガラス治具5にニードル1によって、 軸方向およびY軸方向にそれぞれ3箇所の合計9箇所に樹脂をマトリクス状に滴下させる例で説明したが、これは9箇所に限られるものではない。たとえば、X軸方向およびY軸方向にそれぞれ2箇所の合計4箇所に樹脂をマトリクス状に滴下させるようしてもよく、また、X軸方向およびY軸方向にそれぞれ4箇所の合計16箇所に樹脂をマトリクス状に滴下させることもでき、その数は任意に設定することができる。
また、前述の実施の形態では、ニードル1とカメラ2は1つのヘッド3に取り付けられ、ヘッド3を駆動することよってニードル1とカメラ2が2次元座表テーブル上で一体的に動くようにした例で説明したが、ニードル1とカメラ2は必ずしも1つのヘッド3に取り付けられたものでなくてもよい。すなわち、両者が予め設定された間隔を保持した状態で移動できるような構成とすれば、ニードル1とカメラ2は必ずしも1つのヘッド3に取り付けられる必要はなく、それぞれを別体として設けるようにすることもできる。
また、前述の実施の形態で説明した一方向のみの一筆書き的な塗布は、前述のニードル位置補正方法での補正ではなく、他の位置補正方法によって補正された場合にも使用して好適なものとなる。また、この一筆書き的な塗布は、ニードル1の位置精度が高く維持されるものであれば、位置補正を行わないポッティング装置にも適用できる。
また、前述の実施の形態のポッティング装置22では、カメラ2とニードル1からなるヘッド3は1個、つまり、1ヘッド方式の場合を例にして説明したが、これは1ヘッド方式に限られるものではない。たとえば2ヘッド方式など複数のヘッドが設けられて、それぞれのヘッドによってテープ基板12上の半導体チップ11に対してポッティングを行うポッティング装置であってもよい。このようなポッティング装置においてニードル位置補正を行う場合、それぞれのヘッドごとに上述したニードル位置補正方法を適用すればよい。
1 ニードル
1a ニードルの先端中心
2 カメラ(撮像装置)
2a カメラの光軸
3 ヘッド
4 ヘッド駆動部
5 ガラス治具(樹脂滴下位置計測用治具)
6 ポッティング制御部
11 半導体チップ
12 テープ基板
21 テープ基板供給装置
22 ポッティング装置
23 樹脂硬化装置
24 テープ基板巻き取り装置
223 ポッティング部
1a ニードルの先端中心
2 カメラ(撮像装置)
2a カメラの光軸
3 ヘッド
4 ヘッド駆動部
5 ガラス治具(樹脂滴下位置計測用治具)
6 ポッティング制御部
11 半導体チップ
12 テープ基板
21 テープ基板供給装置
22 ポッティング装置
23 樹脂硬化装置
24 テープ基板巻き取り装置
223 ポッティング部
Claims (4)
- テープ上に樹脂をニードルから塗布する樹脂塗布装置のニードル位置補正方法であって、
所定のパラメータから計算されたニードル計算位置を、実際に上記樹脂を塗布するニードル塗布位置で補正する上記ニードル位置補正方法において、
樹脂滴下位置計測用治具上の予め設定された位置に上記ニードルから上記樹脂を点状に塗布し、点状に塗布された上記樹脂の外形から上記樹脂の平面重心位置を演算し、この平面重心位置を上記ニードル塗布位置とし、予め設定された上記位置に対応する上記ニードル計算位置を、予め設定された上記位置に対応する上記ニードル塗布位置で補正すること を特徴とするニードル位置補正方法。 - 前記樹脂を塗布する予め設定された前記位置は、複数からなり、前記位置に対応する前記ニードル計算位置の平均値を、前記位置に対応する前記ニードル塗布位置の平均値で補正すること
を特徴とする請求項1記載のニードル位置補正方法。 - 半導体の実装されたテープ基板を送るテープ基板送り機構と、撮像装置とニードルを両者の間隔を保持した状態で2次元座標テーブル上の予め設定された位置に移動可能な移動手段と、この移動手段の駆動制御を行うとともに、ポッティング動作を行うに必要な制御を行うポッティング制御部を有し、上記撮像装置の光軸の2次元座標上の位置に対する上記ニードルの先端中心の2次元座標上の位置の差を上記撮像装置と上記ニードルの間隔とし、この間隔に基づいて当該ニードルの位置制御を行って、上記ニードル先端から粘性を有した液状樹脂を滴下させることで上記半導体に対するポッティングを行うポッティング装置において、
上記撮像装置の光軸の2次元座標上の位置に対する上記ニードルの先端中心の2次元座標上の位置は、前記請求項1から2のいずれか1項に記載のニードル位置補正方法によって補正されたのち、その補正後の位置情報に基づいて、上記移動手段の駆動制御を行うことで上記ニードルのポッティング位置制御を行うこと
を特徴とするポッティング装置。 - 前記ポッティングは、アンダーフィルポッティングであって、半導体に対し前記ニードルによって樹脂を塗布する際は、樹脂の塗布開始位置から前記ニードルを一方向に一筆書き的に移動させることで樹脂の塗布を行うこと
を特徴とする請求項3記載のポッティング装置。
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