CN111434202B - 被安装物作业装置 - Google Patents

Abstract

该被安装物作业装置(100)具备：形状测定部(6)，用于对包含相互交叉的多个安装面(201)的立体形状的被安装物(200)的立体形状进行测定；以及控制部(8)，根据基于形状测定部的测定结果而得到的被安装物的立体形状信息，取得安装位置(201)的相对于设计位置的位置误差，并且基于所取得的安装位置的相对于设计位置的位置误差，进行与安装位置相关的校正控制。

Description

被安装物作业装置

技术领域

本发明涉及一种被安装物作业装置，尤其涉及一种对包含相互交叉的多个安装面的立体形状的被安装物进行作业的被安装物作业装置。

背景技术

以往，已知有对包含相互交叉的多个安装面的立体形状的被安装物进行作业的被安装物作业装置。在日本特开2012-119643号公报中公开了这样的被安装物作业装置。

在日本特开2012-119643号公报中，公开了一种进行电子电路元件向包含相互交叉的多个被装配面的立体形状的立体基板的装配的电子电路元件装配机(被安装物作业装置)。立体基板包含上表面以及相对于上表面倾斜的四个侧面。上表面以及四个侧面都是设有布线图案以及基准标记的被装配面。在将电子电路元件向这些被装配面装配的情况下，在该电子电路元件装配机中，首先，使被装配面形成为水平。然后，拍摄水平的被装配面的基准标记。然后，一边基于基准标记的拍摄结果来计算元件装配部位的位置误差，一边向被装配面装配电子电路元件。在该电子电路元件装配机中，对每个被装配面进行以上的动作。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-119643号公报

发明内容

发明所要解决的课题

然而，在上述日本特开2012-119643号公报所记载的电子电路元件装配机中，由于对每个被装配面进行测定(拍摄)以及装配，因此仅基于单一的被装配面的基准标记的测定结果(拍摄结果)来取得元件装配部位的位置误差。仅从单一的被装配面的基准标记的测定结果那样的平面信息来看，认为与立体基板相关的信息量较少。因此，认为在充分地反映了因立体基板的立体形状的伸缩、变形等引起的位置误差、因立体基板的固定时(保持时)的三维的位置偏移而引起的位置误差等的状态下，无法取得元件装配部位的位置误差。由于在无法充分地反映这些位置误差的情况下，无法高精度地取得元件装配部位的位置误差，因此认为存在有无法高精度地进行与元件装配部位(安装位置)相关的校正控制的问题点。

本发明就是为了解决上述那样的课题而完成的，本发明的一个目的在于提供一种能够在立体形状的被安装物中高精度地进行与安装位置相关的校正控制的被安装物作业装置。

用于解决课题的技术方案

本发明的一个方面的被安装物作业装置具备：被安装物保持部，保持包含相互交叉的多个安装面的立体形状的被安装物；头，对被安装物保持部所保持的被安装物进行作业；形状测定部，用于测定被安装物的立体形状；以及控制部，基于形状测定部对多个安装面的测定结果，取得被安装物的立体形状信息，基于所取得的被安装物的立体形状信息，取得安装位置的相对于设计位置的位置误差，并且基于所取得的安装位置的相对于设计位置的位置误差，进行与安装位置相关的校正控制。

在本发明的一个方面的被安装物作业装置中，如上所述，基于被安装物的立体形状信息来取得安装位置的相对于设计位置的位置误差。由此，与仅基于单一的安装面的测定结果那样的平面信息来取得安装位置的相对于设计位置的位置误差的情况相比，能够通过较多的信息量来取得安装位置的相对于设计位置的位置误差。其结果是，能够在充分地反映了因被安装物的立体形状的伸缩、变形等引起的位置误差、因被安装物的固定时(保持时)的三维的位置偏移而引起的位置误差等的状态下，取得安装位置的相对于设计位置的位置误差。由此，能够高精度地取得安装位置的相对于设计位置的位置误差，因此在立体形状的被安装物中，能够高精度地进行与安装位置相关的校正控制。

在上述一个方面的被安装物作业装置中，优选的是，控制部构成为，使形状测定部对每个安装面分别依次测定被安装物的多个安装面，并且基于对每个安装面分别依次测定出的多个安装面的测定结果，取得被安装物的立体形状信息。这样，若将控制部构成为使形状测定部对每个安装面分别依次测定被安装物的多个安装面，则能够高精度地取得多个安装面各自的信息。另外，若将控制部构成为基于对每个安装面分别依次测定的多个安装面的测定结果，取得被安装物的立体形状信息，则能够取得包含高精度地取得的多个安装面各自的信息在内的被安装物的立体形状信息。其结果是，基于该立体形状信息，能够在多个安装面的各安装面中可靠且高精度地进行与安装位置相关的校正控制。

在该情况下，优选的是，控制部构成为进行如下控制：在使形状测定部对每个安装面分别依次测定多个安装面时，通过被安装物保持部而使被安装物移动，以使所测定的安装面与基准面大致平行且大致一致。若这样构成，则能够在与基准面大致平行且大致一致的状态下，使形状测定部测定多个安装面中的每一个。其结果是，能够使多个安装面各自的测定条件一致。由此，能够稳定地取得多个安装面各自的测定结果。另外，在形状测定部为激光位移计、相机的情况下，若在激光位移计、相机的焦点位置设定基准面，则能够通过作为激光位移计、相机的形状测定部高精度地测定位于焦点位置的多个安装面中的每一个。

在使上述形状测定部对每个安装面分别依次测定被安装物的多个安装面的结构中，优选的是，该被安装物作业装置还具备位置测定部，该位置测定部用于测定被安装物的安装面的特征部的位置，控制部构成为进行如下控制：在使形状测定部对每个安装面分别依次测定多个安装面时，使位置测定部与形状测定部一起对每个安装面分别依次测定被安装物的多个安装面的特征部。这样，若构成为还具备用于对被安装物的安装面的特征部的位置进行测定的位置测定部，则除了立体形状信息以外，还能够基于位置测定部的被安装物的安装面的特征部的位置的测定结果，更高精度地取得安装位置的相对于设计位置的位置误差。另外，若将控制部构成为进行使位置测定部与形状测定部一起进行对每个安装面分别依次测定被安装物的多个安装面的特征部的控制，则在不仅是形状测定部而位置测定部也对每个安装面分别依次测定多个安装面的情况下，也能够简化基于形状测定部以及位置测定部的测定动作，且能够缩短该测定动作所需的时间。

在上述一个方面的被安装物作业装置中，优选的是，被安装物保持部包括使所述被安装物倾斜的倾斜机构部，控制部构成为进行如下控制：基于被安装物的立体形状信息中的安装面的高度信息，取得表示安装面的测定平面的信息，并且在至少通过被安装物保持部的倾斜机构部而使被安装物倾斜移动以使所取得的安装面的测定平面与基准面大致平行的状态下，使头向被安装物的安装面进行作业。在此，头通常被设计为在安装面与基准面大致平行的状态下进行作业(涂敷作业、安装作业等)。因此，在安装面相对于基准面倾斜的情况下，由头向被安装物的安装面进行的作业的精度降低。为此，如上述那样，若将控制部构成为进行在至少通过被安装物保持部的倾斜机构部而使被安装物倾斜移动以使安装面的测定平面与基准面大致平行的状态下使头向被安装物的安装面进行作业的控制，则能够在尽可能地使安装面与基准面大致平行的状态下使头向被安装物的安装面进行作业。其结果是，由于能够抑制由头向被安装物的安装面进行的作业精度的降低，因此相应地，能够高精度地由头向被安装物的安装面进行作业。

在上述一个方面的被安装物作业装置中，优选的是，控制部构成为进行如下控制：在对具有曲面的被安装物进行作业的情况下，取得表示被安装物的安装面的安装位置附近的测定平面的信息，并且在通过被安装物保持部而使被安装物移动以使所取得的安装位置附近的测定平面与基准面大致平行的状态下，使头对被安装物的安装面进行作业。根据这样的结构，即使在具有曲面的被安装物中，也能够抑制由头向被安装物的安装面进行的作业精度降低，且能够高精度地由头向被安装物的安装面进行作业。

在上述控制部取得表示安装面的测定平面的信息的结构中，优选的是，控制部构成为，基于被安装物的立体形状信息中的安装面的高度信息，以对单一的安装面进行分割的方式取得表示多个测定平面的信息。若这样构成，则能够对每个测定平面使安装面与基准面大致平行，因此能够一边尽可能更可靠地维持使安装面与基准面大致平行的状态，一边使头向被安装物的安装面进行作业。其结果是，能够进一步抑制由头向被安装物的安装面进行的作业精度降低，且能够更高精度地由头向被安装物的安装面进行作业。

在上述控制部取得表示安装面的测定平面的信息的结构中，优选的是，安装面的测定平面是基于最小二乘法的最小二乘平面。若这样构成，则能够容易且高精度地取得安装面的测定平面。

在上述一个方面的被安装物作业装置中，优选的是，控制部构成为，基于安装位置的相对于设计位置的位置误差，进行与安装位置相关的校正控制，以便校正头的目标位置。若这样构成，则仅通过校正头的目标位置(移动位置)就能够进行与安装位置相关的校正控制。

在上述一个方面的被安装物作业装置中，优选的是，控制部构成为进行如下控制：在使形状测定部测定批次的第二个以后的被安装物的情况下，使形状测定部在比批次的最初的被安装物少的测定部位测定被安装物，控制部构成为，在批次的第二个以后的被安装物中取得安装位置的相对于设计位置的位置误差的情况下，还基于批次的最初的被安装物的立体形状信息，取得安装位置的相对于设计位置的位置误差。这样，若将控制部构成为进行在使形状测定部测定批次的第二个以后的被安装物的情况下使形状测定部在比批次的最初的被安装物少的测定部位测定被安装物的控制，则在批次的第二个以后的被安装物中，能够缩短基于形状测定部的测定所需的时间。另外，若控制部构成为在批次的第二个以后的被安装物中取得安装位置的相对于设计位置的位置误差的情况下，还基于批次的最初的被安装物的立体形状信息，取得安装位置的相对于设计位置的位置误差，则即使测定部位变少，也能够利用批次的最初的被安装物的立体形状信息来维持安装位置的相对于设计位置的位置误差的取得精度。其结果是，在批次的第二个以后的被安装物中，能够一边维持安装位置的相对于设计位置的位置误差的取得精度，一边缩短基于形状测定部的测定所需的时间。

发明效果

根据本发明，如上所述，能够提供一种能够在立体形状的被安装物中高精度地进行与安装位置相关的校正控制的被安装物作业装置。

附图说明

图1是表示一个实施方式的被安装物作业装置的整体结构的俯视图。

图2是表示一个实施方式的被安装物作业装置的整体结构的侧视图。

图3是表示一个实施方式的被安装物作业装置的控制结构的框图。

图4是表示具有多面形状的被安装物的图。

图5是表示具有半球形状的被安装物的图。

图6是用于说明因被安装物的立体形状的伸缩、变形等引起的位置误差的图。

图7是用于说明因被安装物的固定时的位置偏移而引起的位置误差的图。

图8是用于说明基于一个实施方式的被安装物作业装置的具有多面形状的被安装物的测定的图。

图9是用于说明基于一个实施方式的被安装物作业装置的具有半球形状的被安装物的测定的图。

图10是用于说明基于一个实施方式的被安装物作业装置的测定时的安装面的设计平面相对于基准面的定位的图。

图11是用于说明一个实施方式的被安装物作业装置的安装面的测定平面的取得、该测定平面相对于基准面的定位以及向安装面的安装的图。

图12是用于说明在一个实施方式的被安装物作业装置中将单一的安装面分割为多个测定平面的一个例子的图。

图13是用于说明在一个实施方式的被安装物作业装置中将单一的安装面分割为多个测定平面的其它例子的图。

图14是用于说明在一个实施方式的被安装物作业装置中同一批次内的被安装物的测定的图。

图15是用于说明基于一个实施方式的被安装物作业装置的安装处理的流程图。

具体实施方式

以下，基于附图来说明将本发明具体化的实施方式。

(被安装物作业装置的结构)

首先，参照图1以及图2，说明本发明的一个实施方式的被安装物作业装置100的整体结构。此外，在以下的说明中，将沿被安装物的搬运方向的方向设为X方向，将在水平面内与X方向正交的方向设为Y方向，将与X方向以及Y方向正交的上下方向设为Z方向。

被安装物作业装置100是将IC、晶体管、电容器以及电阻等元件(电子元件)E向形成有用于对元件E进行布线的电子电路(图案)的被安装物(工件)200安装的装置。此外，“将元件安装于被安装物”是指“将元件搭载于被安装物”。

如图1～图3所示，被安装物作业装置100具备搬运部1、头单元2、头水平移动机构部3、被安装物保持部4、元件拍摄部5、形状测定部6、位置测定部7以及控制部8。

搬运部1对被安装物200进行搬入、搬运以及搬出。搬运部1包括配置于相互在Y方向上分离的位置的一对搬运带11。搬运部1通过一对搬运带11而从下方支撑保持被安装物200的保持部件300的Y方向上的两端并沿搬运方向(X方向)搬运被安装物200。

保持部件300是被安装物200的搬运用的部件。在被安装物作业装置100中，被安装物200在被保持并固定于搬运用的保持部件300上的状态下被搬运部1搬运。保持部件300包括保持并固定被安装物200的被安装物固定部301和被安装物保持部4所保持的被保持部302。被安装物固定部301例如形成为平板形状。被安装物200例如通过螺纹部件、夹持部件、粘接带等被保持并固定于被安装物固定部301。被保持部302例如形成为从被安装物固定部301向下侧(Z2方向侧)突出的凸形状。此外，在能够通过搬运部1直接搬运被安装物200自身的情况下，保持部件300不是必须的。

如图4以及图5所示，在被安装物作业装置100中，被安装物200是包含相互交叉的多个安装面201的立体形状的被安装物。被安装物200与平板形状(通常的印刷基板)相比具有立体的形状。安装面201是立体形状的被安装物200中的形成有电子电路(图案)的大致平坦的面。安装面201包含供元件E配置的安装位置202。安装位置202是在安装面201形成有供元件E配置的焊盘图案的位置。

上述安装位置202是各个安装面201内的位置。安装位置202例如被确定为以该安装面201内的预定位置为基准(坐标原点)的XY坐标位置。该安装面201例如被确定为以后述的基准面204内的预定位置为基准(坐标原点)的三维坐标位置。即，进行安装面201的确定，并且通过对所确定的安装面201内的位置进行确定而将各安装位置202确定为三维坐标。具体地说，根据该安装面201相对于基准面204的倾斜角度(与各个面正交的法线彼此所成的角度的补角的角度)(用于使安装面201与基准面204一致时的后述的A2轴的控制。)、与两面正交的平面和基准面204相交的直线在基准面204上的方向(用于使安装面201与基准面204一致时的后述的A1轴的控制。)、该安装面201的高度信息(用于使安装面201与基准面204一致时的基于后述的驱动马达41a的Z方向移动控制。)以及该安装面201与同该安装面201相邻的面(安装面201等)所成的边缘的位置，将该安装面201确定为三维坐标位置。此外，表示由此确定的安装面201的是安装面201的后述的设计平面，这样确定出的位置是安装位置202的后述的设计位置。在将元件E安装于安装位置202的情况下，基于将上述设计位置数值化而存储于被安装物作业装置100内的数据，以使该安装面201与基准面204一致且使该基准面204内的XY坐标轴与被安装物作业装置100的头单元2的XY坐标轴一致的方式进行定位。上述安装面201内的坐标原点位置只要是在这样被定位时形成为被安装物作业装置100的头单元2的移动的原点位置的位置即可。另外，上述安装面201内的坐标原点位置也可以在这样被定位时在以作为三维物体的被安装物200的预定位置为基准(坐标原点)的三维坐标位置进行确定。三维坐标位置可以用正交的XYZ轴来表示，也可以用使本实施方式的保持部件300移动的各驱动轴的轴向(后述的A1、A2、Z)的偏移量来表示。

如图4所示，例如，被安装物200是具有多面形状的被安装物200a。多面形状的被安装物200a具有六个安装面201。多面形状的被安装物200a具有作为上表面的两个安装面201a以及201b和作为侧面的四个安装面201c～201f。作为上表面的安装面201a以及201b相互大致平行。安装面201b相对于安装面201a配置在下侧。作为侧面的安装面201c～201f以包围作为上表面的安装面201b的方式分别配置。作为侧面的安装面201c～201f和作为上表面的安装面201a以及201b相互交叉。另外，作为侧面的安装面201c～201f相互交叉。

如图5所示，例如，被安装物200是具有曲面的被安装物200b。被安装物200b具有半球形状。半球形状的被安装物200b具有七个安装面201。在半球形状的被安装物200b中，安装面201形成于与安装位置202相对应的位置。在半球形状的被安装物200b中，安装位置202的附近形成为大致平坦。半球形状的被安装物200b具有形成于顶部的一个安装面201g和形成于顶部以外的侧部的六个安装面201h～201m。安装面201g～201m互相交叉。另外，以下，在不需要特别区分的情况下，将被安装物200a和200b简称为被安装物200。

如图1～图3所示，搬运部1将搬入的被安装物200搬运至交接位置A并使其停止。交接位置A是用于将被安装物200从搬运部1交接到被安装物保持部4的位置。

头单元2是能够进行涂敷作业和安装作业这两个作业的头单元。头单元2进行在被安装物保持部4所保持的被安装物200的安装位置202涂敷焊料等接合部件的涂敷作业以及安装元件E的安装作业。头单元2包括一个涂敷头21和多个(五个)安装头22。涂敷头21以及安装头22是技术方案的“头”的一个例子。

涂敷头21对被安装物保持部4所保持的被安装物200的安装位置202进行涂敷作业。涂敷头21与接合部件供给源(未图示)连接。涂敷头21构成为能够将从接合部件供给源供给的接合部件从装配于前端的涂敷嘴21a喷出。涂敷头21构成为，通过从涂敷嘴21a喷出接合部件而能够涂敷于被安装物200的安装位置202。

安装头22对被安装物保持部4所保持的被安装物200的安装位置202进行安装作业。安装头22与真空产生装置(未图示)连接。安装头22构成为，通过从真空产生装置供给的负压而能够使装配于前端的安装嘴22a保持(吸附)元件E。另外，安装头22构成为，通过解除元件E的保持(吸附)而能够向被安装物200的安装位置202安装元件E。

另外，在被安装物作业装置100中，在Y方向的两侧(Y1侧以及Y2侧)配置有供给向被安装物200的安装位置202安装的元件E的多个元件供给装置100a。元件供给装置100a例如是通过输送保持元件E的元件供给带来供给元件E的带式供料器。元件供给装置100a也可以是通过供给保持元件E的托盘来供给元件E的托盘供料器。安装头22保持(吸附)从元件供给装置100a供给的元件E。

另外，头单元2包括与涂敷头21以及安装头22相对应地设置的头上下移动机构部23。头上下移动机构部23使对象的头的嘴(涂敷头21的涂敷嘴21a或者安装头22的安装嘴22a)沿上下方向(Z方向)移动。由此，涂敷头21的涂敷嘴21a构成为能够在为了涂敷接合部件而下降的下降位置与为了不涂敷接合部件而上升的上升位置之间沿上下方向移动。另外，安装头22的安装嘴22a构成为能够在为了保持元件E而下降的下降位置与为了移载元件E而上升的上升位置之间沿上下方向移动。头上下移动机构部23具有安装有对象的头(涂敷头21或者安装头22)的滚珠丝杠轴机构23a和使滚珠丝杠轴机构23a的滚珠丝杠轴旋转的驱动马达23b。

另外，头单元2包括与安装头22相对应地设置的头旋转机构部24(参照图3)。头旋转机构部24使安装头22的安装嘴22a绕沿Z方向延伸的旋转轴线旋转。安装头22的安装嘴22a构成为，通过在保持有元件E的状态下通过头旋转机构部24而旋转，能够对所保持的元件E的朝向进行调整。头旋转机构部24具有使安装头22旋转的驱动马达。

头水平移动机构部3构成为，在比被安装物200靠上侧处，使头单元2在水平面内(X-Y平面内)移动。头水平移动机构部3包括X轴移动机构部31和Y轴移动机构部32。

X轴移动机构部31构成为使头单元2沿搬运方向(X方向)移动。在X轴移动机构部31安装有头单元2。X轴移动机构部31具有安装有头单元2的滚珠丝杠轴机构31a和使滚珠丝杠轴机构31a的滚珠丝杠轴旋转的驱动马达31b。Y轴移动机构部32构成为使X轴移动机构部31与头单元2一起沿Y方向移动。在Y轴移动机构部32安装有X轴移动机构部31。Y轴移动机构部32具有安装有X轴移动机构部31的滚珠丝杠轴机构32a和使滚珠丝杠轴机构32a的滚珠丝杠轴旋转的驱动马达32b。

被安装物保持部4在搬运部1中配置于与交接位置A相对应的位置。被安装物保持部4对配置于交接位置A的被安装物200进行保持。具体地说，被安装物保持部4通过对保持部件300的被保持部302进行保持而经由保持部件300保持被安装物200。被安装物保持部4相对于保持部件300以及被安装物200配置于下侧(Z2方向侧)。

被安装物保持部4构成为能够使所保持的被安装物200立体地移动。被安装物保持部4构成为能够使所保持的被安装物200沿上下方向(Z方向)移动、或者使其旋转或倾斜。被安装物保持部4包括升降机构部41、倾斜机构部42、旋转机构部43以及保持部44。在被安装物保持部4中，保持部44安装于旋转机构部43，旋转机构部43安装于倾斜机构部42，倾斜机构部42安装于升降机构部41。

升降机构部41具有驱动马达41a，通过驱动马达41a的驱动力，经由保持部件300使保持部44所保持的被安装物200沿上下方向(Z方向)移动。倾斜机构部42具有驱动马达42a，通过驱动马达42a的驱动力，经由保持部件300使保持部44所保持的被安装物200绕沿水平方向(X方向)延伸的旋转轴线A1旋转。由此，倾斜机构部42经由保持部件300使保持部44所保持的被安装物200倾斜。旋转机构部43具有驱动马达43a，通过驱动马达43a的驱动力，经由保持部件300使保持部44所保持的被安装物200绕与旋转轴线A1大致正交的旋转轴线A2旋转。保持部44对保持部件300的被保持部302进行保持。由此，保持部44经由保持部件300从下侧(Z2方向侧)保持被安装物200。保持部44具有多个固定部44a，通过多个固定部44a固定地对保持部件300的被保持部302进行保持。固定部44a例如是把持保持部件300的被保持部302的能够滑移的爪部。

元件拍摄部5是元件识别用的相机。元件拍摄部5在由头单元2的安装头22进行的元件E向安装物200移载的过程中，对安装头22的安装嘴22a所保持(吸附)的元件E进行拍摄。元件拍摄部5固定于被安装物作业装置100的基台的上表面上，从元件E的下侧(Z2方向侧)对安装头22的安装嘴22a所保持(吸附)的元件E进行拍摄。基于元件拍摄部5拍摄元件E的拍摄图像，控制部8取得(识别)元件E的保持状态(旋转姿势以及相对于安装头22的安装嘴22a的保持位置)。

形状测定部6是用于测定被安装物200的立体形状的测定部。形状测定部6由激光位移计构成。形状测定部6从上侧(Z1方向侧)对被安装物200照射激光，并接收来自被安装物200的反射光，从而取得被安装物200的测定结果。形状测定部6固定安装于头单元2。形状测定部6构成为在比被安装物200靠上侧处能够与头单元2一起在水平面内(X-Y平面内)移动。此外，基于形状测定部6的测定的详细内容见后述。

位置测定部7是用于测定被安装物200的安装面201的特征部203(基准标记、图案、边缘等)的位置的测定部。位置测定部7由相机构成。位置测定部7相对于被安装物200从上侧(Z1方向侧)对被安装物200的安装面201的特征部203进行拍摄。位置测定部7以使光轴形成为沿上下方向的朝向的方式固定安装于头单元2。位置测定部7构成为在比被安装物200靠上侧处能够与头单元2一起在水平面内(X-Y平面内)移动。此外，由于位置测定部7与形状测定部6这双方都固定于相同的头单元2，因此不论头单元2的移动位置如何，位置测定部7与形状测定部6的水平距离以及位置关系都相同。另外，基于位置测定部7的测定的详细内容见后述。

控制部8是对被安装物作业装置100的动作进行控制的控制电路。控制部8包括CPU(Central Processing Unit)、ROM(Read Only Memory)以及RAM(Random Access Memory)等。控制部8依据生产程序对搬运部1、头单元2、头上下移动机构部23、头水平移动机构部3、元件拍摄部5、形状测定部6、位置测定部7等的动作进行控制，由此进行向被安装物200的安装位置202涂敷接合材料且安装元件E的控制。

(位置误差的主要原因)

在此，参照图6以及图7，说明被安装物200的安装面201的安装位置202的相对于设计位置的位置误差的主要原因。此外，安装位置202的相对于设计位置的位置误差是指将被安装物200的安装面201的设计平面定位在后述的基准面204的状态下的、实际的安装位置202的位置坐标相对于设计位置坐标的位置误差。该位置误差包括水平方向(X-Y方向)上的位置误差以及上下方向(Z方向)上的位置误差。基准面204是在被安装物作业装置100中预先设定的面，是位于基准高度位置的水平面。

如图6所示，有时在立体形状的被安装物200产生有变形、伸缩。在被安装物200产生有变形、伸缩的情况下，即使将被安装物200的安装面201的设计平面定位在基准面204，安装位置202也与设计位置不一致。其理由在于，由于被安装物200的变形、伸缩而在被安装物200的安装面201的安装位置202产生有相对于设计位置的位置误差。此外，在图6中，为了便于理解而夸张地示出被安装物200的变形、伸缩。

另外，如图7所示，在被安装物200中，在被安装物200向保持部件300的固定时(保持时)以及被安装物保持部4对保持部件300的固定时(保持时)，有时会产生位置偏移、旋转、倾斜。在被安装物200产生有位置偏移、旋转、倾斜的情况下，即使将被安装物200的安装面201的设计平面定位在基准面204，安装位置202也与设计位置不一致。其理由在于，由于被安装物200的位置偏移、旋转、倾斜而在被安装物200的安装面201的安装位置202产生有相对于设计位置的位置误差。此外，在图7中，为了便于理解而夸张地示出被安装物200的位置偏移。

此外，为了确认保持部44是否在正规的位置固定有保持部件300，也可以在保持部44把持被保持部302的把持动作后，通过作为激光位移计的形状测定部6来测定保持部件300的上表面的高度位置。从保持部件300的上表面的至少3点的高度位置检测保持部件300的上表面的倾斜，在该倾斜角度大于预定的允许值的情况下，判断为无法可靠地进行固定。也可以在倾斜角度大于允许值的情况下进行警告，并且停止之后的动作。另外，在被安装物200的倾斜(被安装物200的预定的平面的倾斜)大于容许值的情况下也可以同样地进行警告等。这样，能够防止保持部件300没有好好地被保持部44把持而导致保持部件300相对于保持部44在之后发生偏移或者脱离。

如上所述，即使将被安装物200的安装面201的设计平面定位在基准面204，在安装位置202也会产生相对于设计位置的位置误差。因此，为了在安装位置202高精度地进行涂敷作业、安装作业，需要高精度地取得该位置误差，进行与该位置误差相关的校正控制。

(与安装位置相关的校正控制)

为此，在本实施方式中，控制部8构成为，至少根据基于形状测定部6的测定结果而得到的被安装物200的立体形状信息，取得安装位置202相对于设计位置的位置误差。被安装物200的立体形状信息例如包含被安装物200的安装面201的高度信息、被安装物200的安装面201的边缘的位置信息、被安装物200的安装面201之间的角度信息等。被安装物200的安装面201的高度信息、被安装物200的安装面201的边缘的位置信息例如表示为以预定位置(基准面204的预定位置等)为基准(坐标原点)的三维坐标位置的信息。另外，被安装物200的安装面201之间的角度信息表示为包含相同的边缘的安装面201彼此所成的角度的信息。

另外，控制部8构成为，不仅基于被安装物200的立体形状信息，还根据基于位置测定部7的测定结果而得到的被安装物200的安装面201的特征部203的位置信息，取得安装位置202相对于设计位置的位置误差。控制部8例如基于被安装物200的立体形状信息以及特征部203的位置信息，取得被安装物200相对于设计形状的伸缩、被安装物200相对于设计形状的变形、被安装物200基于固定(保持)的位置偏移、被安装物200的安装面201内的安装位置202相对于特征部203的相对位置等。控制部8例如基于所取得的这些信息，取得安装位置202相对于设计位置的位置误差。控制部8例如基于被安装物200的安装面201内的安装位置202相对于特征部203的相对位置，取得安装位置202相对于设计位置的概略的位置误差。然后，控制部8通过将被安装物200相对于设计形状的伸缩、被安装物200相对于设计形状的变形以及被安装物200基于固定(保持)的位置偏移加入到概略的位置误差中而取得详细的位置误差。所取得的安装位置202相对于设计位置的位置误差包含因被安装物200的形状(变形、伸缩等)而引起的位置误差以及因被安装物200的固定时(保持时)的位置偏移而引起的位置误差。此外，在已知安装面201相对于安装面201的设计平面倾斜的情况下，也能够对因该倾斜而引起的倾斜进行修正从而取得使安装面201形成为水平的情况下的水平方向上的位置误差。另外，将所测定的实际的安装面201视为一个平面，但是在各个安装位置202存在有高度方向上的位置误差的情况下(即在安装面201存在有凹凸的情况下)，预先存储该安装位置202相对于后述的测定平面205的高度方向(Z方向)上的位置误差，以该位置误差值控制头上下移动机构部23，从而校正涂敷头21或者安装头22的上下移动。即，通过被安装物保持部4的驱动而使被测定的安装面201与基准面204一致，但是无法通过上述方法校正的各个安装面201的高度的位置误差通过安装头22等的上下移动来校正。

控制部8构成为，基于所取得的安装位置202相对于设计位置的位置误差，进行与安装位置202相关的校正控制。具体地说，控制部8构成为，至少基于安装位置202相对于设计位置的位置误差，进行与安装位置202相关的校正控制，以对头(涂敷头21以及安装头22)的目标位置进行校正。在校正了目标位置的情况下，控制部8进行使头(涂敷头21以及安装头22)朝向校正后的目标位置移动的控制，以在校正后的目标位置进行作业。此外，目标位置是在头(涂敷头21以及安装头22)进行作业时作为目标的位置坐标。

例如，控制部8基于安装位置202相对于设计位置的水平方向(XY方向)上的位置误差，对头(涂敷头21以及安装头22)的水平方向上的目标位置(XY位置)进行校正。在该情况下，头(涂敷头21以及安装头22)通过头单元2而朝向校正后的水平方向上的目标位置(XY位置)沿水平方向移动。另外，例如，控制部8基于安装位置202相对于设计位置的上下方向(Z方向)上的位置误差，对头(涂敷头21以及安装头22)的上下方向上的目标位置(Z位置)进行校正。在该情况下，头(涂敷头21以及安装头22)通过头上下移动机构部23而朝向校正后的上下方向上的目标位置(Z位置)下降。安装位置202相对于设计位置的上下方向上的位置误差根据头(涂敷头21以及安装头22)的行程量(下降量)而被校正。

<被安装物的测定>

接着，参照图8～图10，说明形状测定部6以及位置测定部7对被安装物200的测定。

如图8以及图9所示，控制部8构成为，进行使形状测定部6对每个安装面201分别依次测定被安装物200的多个安装面201的控制。控制部8构成为，进行使形状测定部6以预先决定的顺序依次连续地测定被安装物200的全部多个安装面201的控制。另外，控制部8构成为，基于对每个安装面201分别依次测定的多个安装面201的测定结果(全部多个安装面201的测定结果)，取得被安装物200的立体形状信息。控制部8例如基于多个安装面201的测定结果(全部多个安装面201的测定结果)，对被安装物200的设计形状信息进行校正，从而取得被安装物200的立体形状信息。

在测定安装面201的情况下，作为激光位移计的形状测定部6从安装面201的上侧(Z1方向侧)照射激光。作为激光位移计的形状测定部6例如与头单元2一起在安装面201的上侧移动，以扫描安装面201的方式照射激光。或者，作为激光位移计的形状测定部6与头单元2一起在安装面201的上侧移动，对安装面201上的预先决定的多个测定点的每个测定点呈点状地照射激光。作为激光位移计的形状测定部6将来自被安装物200的安装面201的反射光的受光结果作为测定结果并向控制部8输出。此外，在形状测定部6对每个测定点呈点状地照射激光的情况下、且在取得安装面201的边缘的位置信息的情况下，为了高精度地取得安装面201的边缘的位置信息，需要将测定点彼此之间的间隔(测定间隔、激光的照射间隔)设为微小距离。然而，在取得安装面201的高度信息的情况下，与取得安装面201的边缘的位置信息的情况相比，无需缩短测定间隔，因此也可以通过比取得安装面201的边缘的位置信息的情况更长的测定间隔来进行测定。

另外，在本实施方式中，控制部8构成为进行如下控制：在使形状测定部6对每个安装面201分别依次测定多个安装面201时，使位置测定部7与形状测定部6一起对每个安装面201分别依次测定被安装物200的多个安装面201的特征部203。控制部8构成为，进行使位置测定部7与形状测定部6一起以预先决定的顺序依次连续地测定被安装物200的全部多个安装面201的控制。控制部8构成为进行如下控制：在使形状测定部6以及位置测定部7测定多个安装面201中的预定的安装面201的情况下，使形状测定部6、位置测定部7依次测定预定的安装面201。

在测定安装面201的情况下，作为相机的位置测定部7从安装面201的上侧(Z1方向侧)拍摄被安装物200的安装面201的特征部203。作为相机的位置测定部7拍摄预先决定的多个特征部203。作为相机的位置测定部7将被安装物200的安装面201的特征部203的拍摄结果作为测定结果向控制部8输出。

如图10所示，控制部8构成为进行如下控制：在使形状测定部6以及位置测定部7对每个安装面201分别依次测定多个安装面201时，通过被安装物保持部4使被安装物200移动，以使所测定的安装面201的设计平面与基准面204大致平行且大致一致。被安装物保持部4基于来自控制部8的指令，通过基于升降机构部41的上下移动(沿Z方向的移动)、基于旋转机构部43的旋转移动(绕旋转轴线A2的旋转移动)以及基于倾斜机构部42的倾斜移动(绕旋转轴线A1的旋转移动)中的至少一个而使被安装物200移动，以使所测定的安装面201的设计平面与基准面204大致平行且大致一致。控制部8构成为进行如下控制：在将所测定的安装面201的设计平面定位于基准面204的状态下，使形状测定部6以及位置测定部7测定安装面201。此外，在图10中，作为一个例子，示出被安装物200a的第一安装面201a～第三安装面201c的测定。

基准面204被设定在与作为激光位移计的形状测定部6的焦点位置以及作为相机的位置测定部7的焦点位置相对应的高度位置。在作为相机的位置测定部7的焦点位置与基准面204的高度位置存在有差值的情况下，也可以根据基于形状测定部6的测定结果而得到的安装面201的高度信息，对位置测定部7的测定结果(拍摄结果)的比例(倍率)进行校正。由此，能够更高精度地取得安装面201的特征部203的位置。

参照图8，说明测定多面形状的被安装物200a的情况。如图8所示，在对多面形状的被安装物200a进行测定的情况下，首先，作为被安装物200a的上表面的第一安装面201a被定位于基准面204。然后，在相对于第一安装面201a设定于上侧(Z1方向侧)的测定位置配置有作为激光位移计的形状测定部6。然后，通过配置于测定位置的作为激光位移计的形状测定部6来测定第一安装面201a的高度。然后，在相对于第一安装面201a设定于上侧的测定位置配置有作为相机的位置测定部7。然后，通过配置于测定位置的作为相机的位置测定部7来拍摄第一安装面201a的特征部203。

然后，通过被安装物保持部4使作为被安装物200a的上表面的第二安装面201b向上方移动，从而被定位于基准面204。然后，在相对于第二安装面201b设定于上侧的测定位置配置有作为激光位移计的形状测定部6，通过形状测定部6来测定第二安装面201b的高度。然后，在相对于第二安装面201b设定于上侧的测定位置配置有作为相机的位置测定部7，通过位置测定部7来拍摄第二安装面201b的特征部203。

然后，作为被安装物200a的侧面的第三安装面201c例如通过被安装物保持部4上下移动以及倾斜移动，从而被定位于基准面204。然后，在相对于第三安装面201c设定于上侧的测定位置配置有作为激光位移计的形状测定部6，通过形状测定部6来测定第三安装面201c的高度。然后，在相对于第三安装面201c设定于上侧的测定位置配置有作为相机的位置测定部7，通过位置测定部7来拍摄第三安装面201c的特征部203。

然后，作为被安装物200a的侧面的第四安装面201d通过例如被安装物保持部4而旋转移动，从而被定位于基准面204。然后，在相对于第四安装面201d设定于上侧的测定位置配置有作为激光位移计的形状测定部6，通过形状测定部6来测定第四安装面201d的高度。然后，在相对于第四安装面201d设定于上侧的测定位置配置有作为相机的位置测定部7，通过位置测定部7来拍摄第四安装面201d的特征部203。以后，同样地，对于作为被安装物200a的侧面的第五安装面201e以及第六安装面201f，也进行基于形状测定部6以及位置测定部7的测定。

参照图9，说明测定半球形状的被安装物200b的情况。如图9所示，在对半球形状的被安装物200b进行测定的情况下，首先，被安装物200b的顶部的第一安装面201g被定位于基准面204。然后，在相对于第一安装面201g设定于上侧(Z1方向侧)的测定位置配置有作为激光位移计的形状测定部6。然后，通过配置于测定位置的作为激光位移计的形状测定部6来测定第一安装面201g的安装位置202附近的高度。然后，在相对于第一安装面201g设定于上侧的测定位置配置有作为相机的位置测定部7。然后，通过配置于测定位置的作为相机的位置测定部7来拍摄第一安装面201g的特征部203(安装位置202的焊盘图案)。

然后，被安装物200b的侧部的上侧的第二安装面201h例如通过被安装物保持部4而倾斜移动，从而被定位于基准面204。然后，在相对于第二安装面201h设定于上侧(Z1方向侧)的测定位置配置有作为激光位移计的形状测定部6，通过作为激光位移计的形状测定部6来测定第二安装面201h的安装位置202附近的高度。然后，在相对于第二安装面201h设定于上侧的测定位置配置有作为相机的位置测定部7，通过作为相机的位置测定部7来拍摄第二安装面201h的特征部203(安装位置202的焊盘图案)。

然后，被安装物200b的侧部的下侧的第三安装面201i例如通过被安装物保持部4而倾斜移动，从而被定位于基准面204。然后，在相对于第三安装面201i设定于上侧(Z1方向侧)的测定位置配置有作为激光位移计的形状测定部6，通过作为激光位移计的形状测定部6来测定第三安装面201i的安装位置202附近的高度。然后，在相对于第三安装面201i设定于上侧的测定位置配置有作为相机的位置测定部7，通过作为相机的位置测定部7来拍摄第三安装面201i的特征部203(安装位置202的焊盘图案)。以后，同样地，对于被安装物200b的侧部的第四安装面201j、第五安装面201k、第六安装面201l以及第七安装面201m，也进行基于形状测定部6以及位置测定部7的测定。

〈安装面的测定平面〉

接着，参照图11～图13，说明上述安装面201的测定后且向安装面201的安装前的作为控制动作的、表示安装面201的测定平面205的信息的取得以及该测定平面205相对于基准面204的定位。

如图11所示，控制部8构成为，基于被安装物200的立体形状信息中的安装面201的高度信息，取得表示安装面201的测定平面205的信息。安装面201的测定平面205是基于形状测定部6的安装面201的高度的测定结果(高度信息)而得到的安装面201的近似平面。安装面201的测定平面205例如是基于最小二乘法的最小二乘平面。

控制部8构成为进行如下控制：在对多个安装面201中的预定的安装面201进行基于头(涂敷头21以及安装头22)的作业之前，通过被安装物保持部4而使被安装物200移动，以使所取得的预定的安装面201的测定平面205与基准面204大致平行。被安装物保持部4基于来自控制部8的指令，至少通过基于倾斜机构部42的倾斜移动(绕旋转轴线A1的旋转移动)而使被安装物200移动，以使预定的安装面201的测定平面205与基准面204大致平行。由此，安装面201的测定平面205相对于基准面204被定位。控制部8构成为进行如下控制：在安装面201的测定平面205被定位为与基准面204大致平行(即，水平)的状态下，使头(涂敷头21以及安装头22)向被安装物200的预定的安装面201进行作业。

另外，控制部8构成为，不仅是安装位置202相对于设计位置的位置误差，还基于在通过被安装物保持部4而使被安装物200移动以使预定的安装面201的测定平面205与基准面204大致平行时产生的安装位置202的位置位移，进行与安装位置202相关的校正控制以校正头(涂敷头21以及安装头22)的目标位置。具体地说，控制部8构成为进行如下控制：以使在上述安装位置202相对于设计位置的位置误差中加上使被安装物200移动时产生的安装位置202的位置位移的方式对头(涂敷头21以及安装头22)的目标位置进行校正。

另外，在本实施方式中，控制部8构成为，在对具有曲面的被安装物200(200b等)进行作业的情况下，取得表示被安装物200的安装面201的安装位置202附近的测定平面205的信息。控制部8构成为进行如下控制：在通过被安装物保持部4而使被安装物200移动以使所取得的被安装物200的安装面201的安装位置202附近的测定平面205与基准面204平行的状态(定位的状态)下，使头(涂敷头21以及安装头22)向被安装物200的安装面201进行作业。

另外，在本实施方式中，如图12以及图13所示，控制部8构成为，基于被安装物200的立体形状信息中的安装面201的高度信息，以对单一的安装面201进行分割的方式取得表示多个(在图12以及图13中为两个)测定平面205的信息。

具体地说，控制部8构成为，基于被安装物200的立体形状信息中的安装面201的高度信息，取得安装面201的平面度。控制部8基于所取得的安装面201的平面度，以对单一的安装面201进行分割的方式取得表示相互倾斜的多个测定平面205的信息。

安装面201的平面度例如是安装位置202的倾斜角度(即，安装位置202处的安装面201的倾斜角度)。安装位置202的倾斜角度例如是安装位置202相对于基准面204(水平)的倾斜角度、取得单一的测定平面205的情况下的安装位置202相对于该测定平面205的倾斜角度等。控制部8例如基于安装位置202的倾斜角度，判别倾斜角度大于预先决定的阈值的安装位置202(安装位置202组)和倾斜角度为阈值以下的安装位置202(安装位置202组)。然后，控制部8以对单一的安装面201进行分割的方式取得表示倾斜角度大于预先决定的阈值的安装位置202(安装位置202组)用的测定平面205和倾斜角度为阈值以下的安装位置202(安装位置202组)用的测定平面205这两种测定平面205的信息。如上所述，在将安装面201设为一个平面并使其与基准面204一致从而进行元件E的安装时，通过安装头22的升降行程来校正高度方向(Z方向)上的位置误差，因此在安装位置202的倾斜过大的情况下，能够设为能够允许安装位置202的倾斜的范围。

在取得多个测定平面205的情况下，控制部8构成为进行如下控制：针对多个测定平面205中的每一个，在通过被安装物保持部4而使被安装物200移动以使测定平面205与基准面204大致平行的状态下，使头(涂敷头21以及安装头22)向被安装物200的安装面201进行作业。此时，被安装物保持部4基于来自控制部8的指令，针对多个测定平面205中的每一个，通过至少基于倾斜机构部42的倾斜移动(绕旋转轴线A1的旋转移动)而使被安装物200移动，以使预定的安装面201的测定平面205与基准面204大致平行。此外，若未基于根据测定平面205的倾斜的状态取得倾斜移动(绕旋转轴线A1的旋转移动)、旋转移动(绕旋转轴线A2的旋转移动)这两方而成的立体形状信息来进行上述控制，则有时无法与基准面204平行，但是在该情况下，倾斜移动和旋转移动只要分别独立地执行应旋转的角度量旋转，结果就能够与基准面204平行。

参照图12，说明取得表示多个测定平面205的信息的一个例子。如图12所示，例如，基于安装面201的平面度，取得与安装面201的一个区域相对应的测定平面205a以及与安装面201的另一个区域相对应的测定平面205b这两个测定平面205。然后，通过被安装物保持部4而使被安装物200移动，以使测定平面205a与基准面204大致平行。然后，在与测定平面205a建立了关联的安装位置202进行基于头(涂敷头21以及安装头22)的作业。然后，通过被安装物保持部4而使被安装物200移动，以使测定平面205b与基准面204平行。然后，在与测定平面205b建立了关联的安装位置202进行基于头(涂敷头21以及安装头22)的作业。

参照图13，说明取得表示多个测定平面205的信息的其它例子。如图13所示，例如，基于安装面201的平面度，取得与安装面201的大致整体相对应的测定平面205c以及与安装面201的局部区域(一部分区域)相对应的测定平面205d这两个测定平面205。然后，通过被安装物保持部4而使被安装物200移动，以使测定平面205c与基准面204大致平行。然后，在与测定平面205c建立了关联的安装位置202进行基于头(涂敷头21以及安装头22)的作业。然后，通过被安装物保持部4而使被安装物200移动，以使测定平面205d与基准面204平行。然后，在与测定平面205d建立了关联的安装位置202进行基于头(涂敷头21以及安装头22)的作业。

<同一批次内的被安装物的测定>

接着，参照图14，说明同一批次内的被安装物200的测定。

在此，在同一批次内，被安装物200相对于设计形状的伸缩、被安装物200相对于设计形状的变形、被安装物200的安装面201内的安装位置202相对于特征部203的相对位置等被认为大致一定(相同)。

为此，在本实施方式中，控制部8构成为进行如下控制：在使形状测定部6以及位置测定部7测定批次的第二个以后的被安装物200的情况下，在比批次的最初(初品)的被安装物200少的测定部位使形状测定部6以及位置测定部7测定被安装物200。控制部8构成为，在使形状测定部6以及位置测定部7测定批次的第二个以后的被安装物200的情况下，对多个安装面201中的一部分进行使形状测定部6以及位置测定部7测定被安装物200的控制。控制部8例如进行使形状测定部6以及位置测定部7仅对被安装物200的多个安装面201中的一个安装面201测定被安装物200的控制。或者，控制部8进行使形状测定部6以及位置测定部7仅对被安装物200的安装面201中的一个安装面201的一部分测定被安装物200的控制。

另外，控制部8构成为，在批次的第二个以后的被安装物200中取得安装位置202的相对于设计位置的位置误差的情况下，不仅是所测定的被安装物200的测定结果，还基于批次的最初的被安装物200的立体形状信息以及批次的最初的被安装物200的安装面201的特征部203的位置信息，取得安装位置202的相对于设计位置的位置误差。控制部8构成为，在批次的第二个以后的被安装物200中取得安装位置202相对于设计位置的位置误差的情况下，利用批次的最初的被安装物200的测定结果，取得安装位置202的相对于设计位置的位置误差。

此外，在批次的第二个以后的被安装物200中使测定部位减少的情况下，可以在比最初的被安装物200的测定部位少的一定数量的测定部位(相同数量的测定部位)持续地进行测定，也可以随着批次内的生产的进行而使测定部位逐渐减少。

(安装处理)

接着，参照图15，基于流程图来说明基于本实施方式的被安装物作业装置100的安装处理。流程图的各处理由控制部8来进行。

如图15所示，首先，在步骤S1中，被安装物200的安装面201的设计平面被定位为水平。在步骤S1中，通过被安装物保持部4而使被安装物200移动，以使安装面201的设计平面与水平的基准面204平行且大致一致。

然后，在步骤S2中，进行形状测定部6对安装面201的测定。在步骤S2中，通过作为激光位移计的形状测定部6，从安装面201的上侧对安装面201照射激光。另外，取得来自安装面201的反射光的受光结果而作为形状测定部6的测定结果。

然后，在步骤S3中，进行位置测定部7对安装面201的测定。在步骤S3中，通过作为相机的位置测定部7，从安装面201的上侧拍摄安装面201的特征部203。另外，取得安装面201的特征部203的拍摄结果而作为位置测定部7的测定结果。

然后，在步骤S4中，判断是否测定了所有安装面201。在判断为未测定所有安装面201的情况下，进入步骤S1。然后，重复步骤S1～S3的处理，测定未测定的安装面201。

另外，在步骤S4中，在判断为测定了所有安装面201的情况下，进入步骤S5。

然后，在步骤S5中，基于形状测定部6的测定结果，取得被安装物200的立体形状信息。另外，在步骤S5中，基于位置测定部7的测定结果，取得被安装物200的安装面201的特征部203的位置信息。

然后，在步骤S6中，基于被安装物200的立体形状信息以及被安装物200的安装面201的特征部203的位置信息，取得安装位置202相对于设计位置的位置误差。另外，在步骤S6中，基于被安装物200的立体形状信息中的安装面201的高度信息，对每个安装面201分别取得安装面201的测定平面205。

然后，在步骤S7中，安装面201的测定平面205被定位为水平。在步骤S7中，通过被安装物保持部4而使被安装物200移动，以使安装面201的测定平面205与水平的基准面204平行。

然后，在步骤S8中，使涂敷头21向校正后的目标位置移动，并且通过涂敷头21在安装面201的安装位置202涂敷接合材料。

然后，在步骤S9中，使安装头22向校正后的目标位置移动，并且通过安装头22向在步骤S8中进行了涂敷作业的安装面201的安装位置202安装元件E。

然后，在步骤S10中，判断是否在所有安装面201上完成了安装作业。在判断为并未在所有安装面201上完成安装作业的情况下，进入步骤S7。然后，重复步骤S7～S9的处理，在未完成安装作业的安装面201上进行涂敷作业以及安装作业。

另外，在步骤S10中，在判断为在所有安装面201上完成了安装作业的情况下，结束安装处理。

(本实施方式的效果)

在本实施方式中，能够得到以下这样的效果。

在本实施方式中，如上所述，基于被安装物200的立体形状信息来取得安装位置202相对于设计位置的位置误差。由此，与仅基于单一的安装面201的测定结果那样的平面信息来取得安装位置202相对于设计位置的位置误差的情况相比，能够通过较多的信息量来取得安装位置202相对于设计位置的位置误差。其结果是，能够在充分地反映了因被安装物200的立体形状伸缩、变形等引起的位置误差、因被安装物200的固定时(保持时)的三维的位置偏移而引起的位置误差等的状态下，取得安装位置202相对于设计位置的位置误差。由此，能够高精度地取得安装位置202相对于设计位置的位置误差，因此在立体形状的被安装物200中，能够高精度地进行与安装位置202相关的校正控制。

另外，在本实施方式中，如上所述，将控制部8构成为，使形状测定部6对每个安装面201分别依次测定被安装物200的多个安装面201，并且基于对每个安装面201分别依次测定出的多个安装面201的测定结果，取得被安装物200的立体形状信息。这样，通过将控制部8构成为使形状测定部6对每个安装面201分别依次测定被安装物200的多个安装面201，能够高精度地取得多个安装面201各自的信息。另外，通过将控制部8构成为基于对每个安装面201分别依次测定出的多个安装面201的测定结果而取得被安装物200的立体形状信息，能够取得包含高精度地取得的多个安装面201各自的信息在内的被安装物200的立体形状信息。其结果是，基于该立体形状信息，能够在多个安装面201中的每一个上可靠且高精度地进行与安装位置202相关的校正控制。

另外，在本实施方式中，如上所述，将控制部8构成为进行如下的控制：在使形状测定部6对每个安装面201分别依次测定多个安装面201时，通过被安装物保持部4而使被安装物200移动以使测定的安装面201与基准面204大致平行且大致一致。由此，能够在与基准面204大致平行且大致一致的状态下，使形状测定部6测定多个安装面201中的每一个。其结果是，能够使多个安装面201各自的测定条件一致。由此，能够稳定地取得多个安装面201各自的测定结果。另外，在如本实施方式那样形状测定部6为激光位移计、位置测定部7为相机的情况下，若在激光位移计、相机的焦点位置设定基准面204，则能够通过作为激光位移计的形状测定部6、作为相机的位置测定部7来高精度地测定位于焦点位置的多个安装面201中的每一个。

另外，在本实施方式中，如上所述，被安装物作业装置100具备用于对被安装物200的安装面201的特征部203的位置进行测定的位置测定部7。另外，将控制部8构成为进行如下的控制：在使形状测定部6对每个安装面201分别依次测定多个安装面201时，使位置测定部7与形状测定部6一起对每个安装面201分别依次测定被安装物200的多个安装面201的特征部203。这样，通过构成为具备用于对被安装物200的安装面201的特征部203的位置进行测定的位置测定部7，除了立体形状信息以外，也基于位置测定部7的被安装物200的安装面201的特征部203的位置的测定结果，能够更高精度地取得安装位置202相对于设计位置的位置误差。另外，通过将控制部8构成为进行使位置测定部7与形状测定部6一起进行对每个安装面201分别依次测定被安装物200的多个安装面201的特征部203的控制，在不仅是形状测定部6而位置测定部7也对每个安装面201分别依次测定多个安装面201的情况下，也能够简化基于形状测定部6以及位置测定部7的测定动作，且能够缩短该测定动作所需的时间。

另外，在本实施方式中，如上所述，将控制部8构成为进行如下的控制：基于被安装物200的立体形状信息中的安装面201的高度信息，取得表示安装面201的测定平面205的信息，并且在通过被安装物保持部4而使被安装物200移动以使所取得的安装面201的测定平面205与基准面204大致平行的状态下，使头(涂敷头21以及安装头22)向被安装物200的安装面201进行作业。在此，头(涂敷头21以及安装头22)通常被设计为在安装面201与基准面204大致平行的状态下进行作业(涂敷作业、安装作业等)。因此，在安装面201相对于基准面204倾斜的情况下，由头(涂敷头21以及安装头22)向被安装物200的安装面201进行的作业的精度降低。为此，如上所述，通过将控制部8构成为进行如下的控制：在通过被安装物保持部4而使被安装物200移动以使安装面201的测定平面205与基准面204大致平行的状态下，使头(涂敷头21以及安装头22)向被安装物200的安装面201进行作业，从而能够在使安装面201尽可能地与基准面204大致平行的状态下，使头(涂敷头21以及安装头22)向被安装物200的安装面201进行作业。其结果是，能够抑制由头(涂敷头21以及安装头22)向被安装物200的安装面201进行的作业的精度降低，因此能够相应地高精度地由头(涂敷头21以及安装头22)向被安装物200的安装面201进行作业。

另外，在本实施方式中，如上所述，将控制部8构成为进行如下的控制：在对具有曲面的被安装物200(被安装物200b等)进行作业的情况下，取得表示被安装物200的安装面201的安装位置202附近的测定平面205的信息，并且在通过被安装物保持部4而使被安装物200移动以使所取得的安装位置202附近的测定平面205与基准面204大致平行的状态下，使头(涂敷头21以及安装头22)对被安装物200的安装面201进行作业。由此，即使在具有曲面的被安装物200中，也能够抑制由头(涂敷头21以及安装头22)向被安装物200的安装面201进行的作业的精度降低，且能够高精度地由头(涂敷头21以及安装头22)向被安装物200的安装面201进行作业。

另外，在本实施方式中，如上所述，将控制部8构成为，基于被安装物200的立体形状信息中的安装面201的高度信息，以对单一的安装面201进行分割的方式取得表示多个测定平面205的信息。由此，能够对每个测定平面205使安装面201与基准面204大致平行，因此能够更可靠地维持使安装面201尽可能与基准面204大致平行的状态，并且能够使头(涂敷头21以及安装头22)向被安装物200的安装面201进行作业。其结果是，能够进一步抑制由头(涂敷头21以及安装头22)向被安装物200的安装面201进行的作业的精度降低，且能够更高精度地由头(涂敷头21以及安装头22)向被安装物200的安装面201进行作业。

另外，在本实施方式中，如上所述，安装面201的测定平面205是基于最小二乘法的最小二乘平面。由此，能够容易且高精度地取得安装面201的测定平面205。

另外，在本实施方式中，如上所述，将控制部8构成为，基于安装位置202的相对于设计位置的位置误差，进行与安装位置202相关的校正控制，以对头(涂敷头21以及安装头22)的目标位置进行校正。由此，仅通过对头(涂敷头21以及安装头22)的目标位置(移动位置)进行校正就能够进行与安装位置202相关的校正控制。

另外，在本实施方式中，如上所述，将控制部8构成为进行如下的控制：在使形状测定部6测定批次的第二个以后的被安装物200的情况下，使形状测定部6在比批次的最初的被安装物200少的测定部位测定被安装物200。另外，将控制部8构成为在批次的第二个以后的被安装物200中取得安装位置202的相对于设计位置的位置误差的情况下，还基于批次的最初的被安装物200的立体形状信息，取得安装位置202的相对于设计位置的位置误差。这样，通过将控制部8构成为进行如下的控制：在使形状测定部6测定批次的第二个以后的被安装物200的情况下，使形状测定部6在比批次的最初的被安装物200少的测定部位测定被安装物200，能够在批次的第二个以后的被安装物200中缩短基于形状测定部6的测定所需的时间。另外，通过将控制部8构成为在批次的第二个以后的被安装物200中取得安装位置202的相对于设计位置的位置误差的情况下，还基于批次的最初的被安装物200的立体形状信息，取得安装位置202的相对于设计位置的位置误差，即使测定部位变少，也能够利用批次的最初的被安装物200的立体形状信息来维持安装位置202的相对于设计位置的位置误差的取得精度。其结果是，在批次的第二个以后的被安装物200中，能够维持安装位置202相对于设计位置的位置误差的取得精度，并且能够缩短基于形状测定部6的测定所需的时间。

[变形例]

此外，应认为本次公开的实施方式在所有方面都是示例而非限制性的内容。本发明的范围不是由上述实施方式的说明来表示的，而是由权利要求书来表示的，还包括与权利要求书等同的意思以及范围内的全部变更(变形例)。

例如，在上述实施方式中，示出了将本发明应用于通过头来进行涂敷作业以及安装作业的被安装物作业装置的例子，但是本发明并不局限于此。本发明也可以应用于通过头来仅进行涂敷作业或者仅进行安装作业的被安装物作业装置。另外，本发明也可以应用于通过头来进行除了涂敷作业以及安装作业以外的作业的被安装物作业装置。

另外，在上述实施方式中，示出了由激光位移计构成形状测定部的例子，但是本发明并不局限于此。例如，也可以由能够测定被摄体的形状的立体相机来构成形状测定部。

另外，在上述实施方式中，示出了由相机构成位置测定部的例子，但是本发明并不局限于此。在本发明中，位置测定部也可以由相机以外的装置构成。

另外，在上述实施方式中，示出了通过形状测定部来测定被安装物的全部多个安装面的例子，但是本发明并不局限于此。若能够取得立体形状信息，则也可以通过形状测定部仅测定被安装物的多个安装面的一部分的面(几个面)。

另外，在上述实施方式中，示出了基于被安装物的立体形状信息以及安装面的特征部的位置信息取得被安装物相对于设计形状的伸缩、被安装物相对于设计形状的变形、被安装物基于固定(保持)的位置偏移、被安装物的安装面内的安装位置相对于特征部的相对位置的例子，但是本发明并不局限于此。例如，也可以仅基于被安装物的立体形状信息，取得被安装物相对于设计形状的伸缩、被安装物相对于设计形状的变形、被安装物基于固定(保持)的位置偏移、被安装物的安装面内的安装位置相对于特征部的相对位置。

另外，在上述实施方式中，示出了使位置测定部与形状测定部一起对每个安装面分别依次测定多个安装面的例子，但是本发明并不局限于此。例如，也可以在使形状测定部对每个安装面分别依次测定多个安装面之后，使位置测定部对每个安装面分别依次测定多个安装面。

另外，在上述实施方式中，示出了取得表示安装面的测定平面的信息并且在将取得的测定平面相对于基准面定位的状态下使头向被安装物的安装面进行作业的例子，但是本发明并不局限于此。在本发明中，并不一定取得安装面的测定平面。例如，也可以在将安装面的设计平面相对于基准面定位的状态下，使头向被安装物的安装面进行作业。

另外，在上述实施方式中，示出了进行与安装位置相关的校正控制以对头的目标位置进行校正的例子，但是本发明并不局限于此。例如，也可以进行对与安装位置相关的校正控制，以对头的目标位置进行校正，并且通过被安装物保持部使被安装物沿上下方向移动。

另外，在上述实施方式中，示出了在测定批次的第二个以后的被安装物的立体形状的情况下在比批次的最初的被安装物少的测定部位使形状测定部测定被安装物的例子，但是本发明并不局限于此。在本发明中，在测定批次的第二个以后的被安装物的立体形状的情况下，也可以在与批次的最初的被安装物相同的测定部位使形状测定部测定被安装物。

附图标记说明

4 被安装物保持部

6 形状测定部

7 位置测定部

8 控制部

21 涂敷头(头)

22 安装头(头)

200、200a、200b 被安装物

201、201a～201m 安装面

202 安装位置

203 特征部

204 基准面

205、205a～205d 测定平面

Claims (15)

1.一种被安装物作业装置，具备：

被安装物保持部，保持包含相互交叉的多个安装面的立体形状的被安装物；

头，对所述被安装物保持部所保持的所述被安装物进行作业；

形状测定部，用于测定所述被安装物的立体形状；以及

控制部，基于所述形状测定部对所述多个安装面的全部或一部分安装面的测定结果，取得所述被安装物的立体形状信息，基于所取得的所述被安装物的立体形状信息，取得安装位置的相对于设计位置的位置误差，并且基于所取得的所述安装位置的相对于设计位置的位置误差，进行与所述安装位置相关的校正控制。

2.根据权利要求1所述的被安装物作业装置，其中，

所述控制部构成为，使所述形状测定部对每个所述安装面分别依次测定所述被安装物的所述多个安装面，并且基于对每个所述安装面分别依次测定出的所述多个安装面的测定结果，取得所述被安装物的立体形状信息。

3.根据权利要求2所述的被安装物作业装置，其中，

所述控制部构成为进行如下控制：在使所述形状测定部对每个所述安装面分别依次测定所述多个安装面时，通过所述被安装物保持部而使所述被安装物移动，以使所测定的所述安装面与基准面平行且一致。

4.根据权利要求2所述的被安装物作业装置，其中，

所述被安装物作业装置还具备位置测定部，所述位置测定部用于测定所述被安装物的所述安装面的特征部的位置，

所述控制部构成为进行如下控制：在使所述形状测定部对每个所述安装面分别依次测定所述多个安装面时，使所述位置测定部与所述形状测定部一起对每个所述安装面分别依次测定所述被安装物的所述多个安装面的所述特征部。

5.根据权利要求3所述的被安装物作业装置，其中，

所述被安装物作业装置还具备位置测定部，所述位置测定部用于测定所述被安装物的所述安装面的特征部的位置，

所述控制部构成为进行如下控制：在使所述形状测定部对每个所述安装面分别依次测定所述多个安装面时，使所述位置测定部与所述形状测定部一起对每个所述安装面分别依次测定所述被安装物的所述多个安装面的所述特征部。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的被安装物作业装置，其中，

所述被安装物保持部包括使所述被安装物倾斜的倾斜机构部，

所述控制部构成为进行如下控制：基于所述被安装物的立体形状信息中的所述安装面的高度信息，取得表示所述安装面的测定平面的信息，并且在至少通过所述被安装物保持部的所述倾斜机构部而使所述被安装物倾斜移动以使所取得的所述安装面的测定平面与基准面平行的状态下，使所述头向所述被安装物的所述安装面进行作业。

7.根据权利要求1～5中任一项所述的被安装物作业装置，其中，

所述控制部构成为进行如下控制：在对具有曲面的所述被安装物进行作业的情况下，取得表示所述被安装物的所述安装面的所述安装位置附近的测定平面的信息，并且在通过所述被安装物保持部而使所述被安装物移动以使所取得的所述安装位置附近的测定平面与基准面平行的状态下，使所述头向所述被安装物的所述安装面进行作业。

8.根据权利要求6所述的被安装物作业装置，其中，

所述控制部构成为，基于所述被安装物的立体形状信息中的所述安装面的高度信息，以对单一的所述安装面进行分割的方式取得表示多个测定平面的信息。

9.根据权利要求7所述的被安装物作业装置，其中，

所述控制部构成为，基于所述被安装物的立体形状信息中的所述安装面的高度信息，以对单一的所述安装面进行分割的方式取得表示多个测定平面的信息。

10.根据权利要求6所述的被安装物作业装置，其中，

所述安装面的测定平面是基于最小二乘法的最小二乘平面。

11.根据权利要求7所述的被安装物作业装置，其中，

所述安装面的测定平面是基于最小二乘法的最小二乘平面。

12.根据权利要求8所述的被安装物作业装置，其中，

所述安装面的测定平面是基于最小二乘法的最小二乘平面。

13.根据权利要求9所述的被安装物作业装置，其中，

所述安装面的测定平面是基于最小二乘法的最小二乘平面。

14.根据权利要求1～5中任一项所述的被安装物作业装置，其中，

所述控制部构成为，基于所述安装位置的相对于设计位置的位置误差，进行与所述安装位置相关的校正控制，以校正所述头的目标位置。

15.根据权利要求1～5中任一项所述的被安装物作业装置，其中，

所述控制部构成为进行如下控制：在使所述形状测定部测定批次的第二个以后的所述被安装物的情况下，使所述形状测定部在比批次的最初的所述被安装物少的测定部位测定所述被安装物，

所述控制部构成为，在批次的第二个以后的所述被安装物中取得所述安装位置的相对于设计位置的位置误差的情况下，还基于批次的最初的所述被安装物的立体形状信息，来取得所述安装位置的相对于设计位置的位置误差。

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