CN103416116A - 元件安装方法及元件安装装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种通过简单的元件安装动作控制，能够高精度且在短时间内将元件安装在具有非平坦元件安装面的基板上的元件安装方法及元件安装装置，因此，基于基板保持装置信息及基板信息使基板保持装置（2）的基板保持台（21）旋转，使得非平坦元件安装面（11a）上的安装部（11d）的法线朝向铅垂方向。由此，在使元件移载装置（6）拾取的元件向安装部（11d）的法线上移动之后，通过仅使元件移载装置（6）沿着铅垂方向移动的简单的元件安装动作控制，就能够安装元件，防止元件位置偏差，能够在短时间内进行元件安装。而且，基于旋转量、基板保持装置信息及基板信息来运算安装部（11d）的位置的修正量，并根据该安装部（11d）的位置的修正量及基板信息来运算修正安装位置。由此，能够求出水平、铅垂方向上的准确的修正安装位置，能够高精度地安装元件。

Description

元件安装方法及元件安装装置

技术领域

本发明涉及一种向具有非平坦元件安装面的基板上安装元件的元件安装方法及元件安装装置。

背景技术

作为具有非平坦元件安装面的基板，例如可列举出具有由圆柱状的一部分、球状的一部分等构成的曲面状的元件安装面的基板、具有棱锥型那样的倾斜成多个角度的多个面的元件安装面的基板等。例如，在专利文献1中公开了一种在吸附头（元件吸嘴）的前端吸附元件、并向立体基板（具有非平坦元件安装面的基板）的倾斜的安装部壁面（元件安装面）进行安装的元件安装方法。该吸附头能够沿着水平方向及铅垂方向移动、且能够绕着铅垂方向的轴线转动。而且，吸附头的前端部分能够绕着水平方向的轴线转动，即，构成为能够相对于铅垂方向的轴线进行弯折。该元件安装方法中，在吸附头的前端吸附元件，根据立体基板的安装部壁面的倾斜角度而将吸附头的前端部分折弯，并使吸附头移动而向立体基板的安装部壁面进行安装。

专利文献1：日本特开平11-154798号公报（段落编号0009，图4）

发明内容

在专利文献1记载的元件安装方法中，在将元件向立体基板的倾斜的安装部壁面安装时，必须使吸附头沿着折弯方向即安装部壁面的法线方向移动，需要复杂的动作控制。另一方面，在使吸附头保持折弯的状态沿着铅垂方向移动来进行元件安装时，可以是简单的动作控制。然而，在将元件向立体基板的倾斜的安装部壁面安装时，可能会发生元件的位置偏差。

另外，吸附头对应安装元件数的次数而在元件供给装置与基板之间相应地往复移动以安装元件。在平板状的基板的情况下，将全部的安装部设定为恒定的安装基准高度，由此能够使吸附头的铅垂方向的移动行程为必要最小限度，能够实现元件安装时间的缩短化。然而，在具有非平坦元件安装面的基板的情况下，全部的安装部没有成为恒定的安装基准高度。由此，吸附头的铅垂方向的移动行程有时变长，元件安装时间存在变长的倾向。

本发明鉴于上述情况而作出，其目的在于提供一种能够通过简单的元件安装动作控制来高精度且短时间地将元件安装到具有非平坦元件安装面的基板上的元件安装方法及元件安装装置。

为了解决上述的课题，技术方案1的本发明涉及一种元件安装方法，是元件安装装置的元件安装方法，所述元件安装装置具备：基板保持装置，具有保持部件，该保持部件将所述基板保持在基板保持面的保持位置并进行旋转，以将元件安装到具有非平坦元件安装面的基板上；基板搬运装置，将所述基板相对于所述保持部件的基板保持面进行搬入搬出；元件供给装置，供给向所述基板安装的所述元件；及元件移载装置，从所述元件供给装置拾取所述元件，沿着水平面内的相垂直的两个方向及铅垂方向移动，并向保持在所述基板保持面的保持位置的所述基板的安装部安装，所述元件安装方法包括如下工序：基板信息输入工序，输入与用于将所述基板定位到所述基板保持面上的定位部的位置及所述安装部的位置相关的基板信息；基板搬入保持工序，通过所述基板搬运装置将所述基板搬入到所述基板保持面的保持位置，并通过设于所述基板保持装置的保持单元将所搬入的所述基板保持在所述基板保持面的保持位置；基板旋转工序，基于预先存储的基板保持装置信息和所输入的所述基板信息使所述基板保持装置的所述保持部件旋转，使得所述非平坦元件安装面上的所述安装部的法线朝向铅垂方向，其中，所述预先存储的基板保持装置信息是与所述保持部件的旋转轴在所述基板保持装置中所处的位置、所述旋转轴和所述基板保持面之间的位置关系及所述基板保持面的保持位置的位置相关的信息；修正安装位置运算工序，基于所述基板旋转工序中的所述保持部件的旋转量、所述基板保持装置信息及所述基板信息来运算通过所述基板旋转工序使法线朝向了铅垂方向的所述安装部的位置在所述水平面内的相垂直的两个方向及铅垂方向上的修正量，并根据所述水平面内的相垂直的两个方向及铅垂方向上的修正量和所述基板信息来运算修正安装位置；及元件安装工序，基于所述修正安装位置将所述元件安装到所述基板的所述安装部上。

技术方案2的发明以技术方案1为基础，其中，所述基板保持装置构成为，能够沿着铅垂方向移动，所述元件安装工序中，使所述基板保持装置沿着铅垂方向修正移动所述修正安装位置运算工序中算出的所述铅垂方向上的修正量。

技术方案3的发明以技术方案1或2为基础，其中，包括基板位置识别工序，通过摄像装置拍摄保持于所述基板保持面的保持位置的所述基板并通过图像对该基板相对于所述保持位置的位置偏差量进行识别，所述修正安装位置运算工序中，基于所述位置偏差量、所述基板旋转工序中的所述保持部件的旋转量、所述基板保持装置信息及所述基板信息来运算通过所述基板旋转工序而使法线朝向了铅垂方向的所述安装部的位置在所述水平面内的相垂直的两个方向及铅垂方向上的修正量。

技术方案4的发明以技术方案1～3中任一项为基础，其中，包括如下工序：旋转后安装位置识别工序，在通过所述基板旋转工序使所述保持部件旋转而使得所述安装部的位置的法线朝向铅垂方向之后，通过摄像装置拍摄所述安装部并通过图像对所述旋转后的安装部的位置进行识别；基板再修正位置运算工序，按照通过所述图像识别出的所述旋转后的安装部的位置与所述修正安装位置运算工序中算出的所述修正安装位置之差对所述修正安装位置进行再修正，所述元件安装工序基于所述再修正后的修正安装位置将所述元件安装到所述基板的所述安装部上。

技术方案5的发明涉及一种元件安装装置，具备：基板保持装置，具有保持部件，该保持部件将所述基板保持在基板保持面的保持位置并进行旋转，以将元件安装到具有非平坦元件安装面的基板上；基板搬运装置，将所述基板相对于所述保持部件的基板保持面进行搬入搬出；元件供给装置，供给向所述基板安装的所述元件；元件移载装置，从所述元件供给装置拾取所述元件并沿着水平面内的相垂直的两个方向及铅垂方向移动，并向保持在所述基板保持面的保持位置上的所述基板的安装部安装；及控制装置，控制所述基板保持装置、所述基板搬运装置、所述元件供给装置及所述元件移载装置的动作，所述元件安装装置的特征在于，所述控制装置具备：输入单元，输入基板信息和基板保持装置信息，其中，所述基板信息是与用于将所述基板定位到所述基板保持面上的定位部的位置及所述安装部的位置相关的信息，所述基板保持装置信息是与所述保持部件的旋转轴在所述基板保持装置中所处的位置、所述旋转轴和所述基板保持面之间的位置关系及所述基板保持面的保持位置的位置相关的信息；存储单元，存储所输入的所述基板信息及所述基板保持装置信息；基板搬入保持单元，通过所述基板搬运装置将所述基板搬入到所述基板保持面的保持位置，并通过设于所述基板保持装置的保持单元将所搬入的所述基板保持在所述基板保持面的保持位置；基板旋转单元，基于所述基板信息及所述基板保持装置信息使所述基板保持装置的所述保持部件旋转，使得所述非平坦元件安装面上的所述安装部的法线朝向铅垂方向；修正安装位置运算单元，基于通过所述基板旋转单元使所述保持部件产生的旋转量、所述基板保持装置信息及所述基板信息来运算通过所述基板旋转单元使法线朝向了铅垂方向的所述安装部的位置在所述水平面内的相垂直的两个方向及铅垂方向上的修正量，并根据所述水平面内的相垂直的两个方向及铅垂方向上的修正量和所述基板信息来运算修正安装位置；元件安装单元，基于所述修正安装位置将所述元件安装到所述基板的所述安装部上。

技术方案6以技术方案5为基础，其中，所述基板保持装置构成为，能够沿着铅垂方向移动，所述元件安装单元使所述基板保持装置沿着铅垂方向修正移动由所述修正安装位置运算单元算出的所述铅垂方向上的修正量。

技术方案7以技术方案5或6为基础，其中，所述元件安装装置具备能够拍摄所述基板的摄像装置，所述控制装置具备基板位置识别单元，该基板位置识别单元通过所述摄像装置拍摄保持于所述基板保持面的保持位置的所述基板并通过图像对该基板相对于所述保持位置的位置偏差量进行识别，所述修正安装位置运算单元基于所述位置偏差量、通过所述基板旋转单元使所述保持部件产生的旋转量、所述基板保持装置信息及所述基板信息来运算通过所述基板旋转单元使法线朝向了铅垂方向的所述安装部的位置在所述水平面内的相垂直的两个方向及铅垂方向上的修正量。

技术方案8以技术方案5～7中任一项为基础，其中，所述保持部件由第一保持部件和第二保持部件构成，其中，所述第一保持部件具有能够绕着水平方向的轴进行旋转的第一旋转轴，所述第二保持部件具有能够在该第一保持部件上绕着与所述第一旋转轴垂直的方向的轴进行旋转的第二旋转轴，所述基板旋转单元基于所述基板信息及所述基板保持装置信息，使所述基板保持装置的所述第一保持部件及所述第二保持部件分别旋转，使得所述非平坦元件安装面上的所述安装部的法线朝向铅垂方向。

发明效果

根据本技术方案1的发明，基于基板保持装置信息及基板信息而使基板保持装置的保持部件旋转，使得非平坦元件安装面上的安装部的法线朝向铅垂方向。由此，在使元件移载装置拾取的元件向安装部的法线上移动之后，通过仅使元件移载装置沿着铅垂方向移动的简单的元件安装动作控制，就能够在安装部上安装元件。由此，不需要以往那样使元件移载装置沿着倾斜方向移动的复杂的元件安装动作控制，能够防止安装部的元件的位置偏差，能够在短时间内将元件安装于安装部。而且，基于保持部件的旋转量、基板保持装置信息及基板信息来运算安装部的位置的修正量，并根据该安装部的位置的修正量及基板信息来运算修正安装位置。由此，能够求出水平方向及铅垂方向上的准确的修正安装位置。由此，能够高精度地将元件安装于安装部。

根据本发明第二方面，安装部的位置的铅垂方向上的修正通过使基板保持装置沿着铅垂方向移动来进行。此处，元件移载装置对应安装元件数的次数而在元件供给装置与基板之间相应地往复移动以安装元件。在平板状的基板的情况下，将全部的安装部设定成恒定的安装基准高度，由此能够将元件移载装置的铅垂方向上的移动行程设为必要最小限度，能够实现元件安装时间的缩短化。然而，在具有非平坦元件安装面的基板，尤其是元件安装面与基板保持装置的保持部件的旋转轴的中心的距离发生变化那样的例如波板状的基板的情况下，无法使全部的安装部成为恒定的安装基准高度。因此，使基板保持装置沿着铅垂方向移动而使安装部成为恒定的安装基准高度。由此，能够将元件移载装置的铅垂方向的移动行程设为必要最小限度。因此，能够实现在具有非平坦元件安装面的基板上安装元件时的元件安装时间的缩短化。

根据本发明第三方面，通过图像识别出基板相对于保持部件的基板保持面的保持位置的位置偏差量，基于该位置偏差量、保持部件的旋转量、基板保持装置信息及基板信息来运算安装部的位置的修正量，并根据该安装部的位置的修正量及基板信息来运算修正安装位置。由此，由于还参考了位置偏差量，相应地能够得到高精度的修正安装位置。因此，能够更高精度地在安装部上安装元件。

根据本发明第四方面，通过图像识别出使基板保持装置的保持部件旋转之后的安装部的位置，将修正安装位置再修正该安装部的位置与修正安装位置之差。由此，例如，即使在安装部上开设用于插入元件的孔且该孔的中心在水平方向上的位置因保持部件的旋转而发生变化的情况下，也能够通过再修正来提高安装部的修正安装位置的精度，因此能够顺畅地将元件插入并安装于安装部的孔。

根据本发明第五方面，基板旋转单元基于基板保持装置信息及基板信息使基板保持装置的保持部件旋转，使得非平坦元件安装面上的安装部的法线朝向铅垂方向。由此，在使元件移载装置拾取的元件向安装部的法线上移动之后，通过仅使元件移载装置沿着铅垂方向移动的简单的元件安装动作控制，就能够在安装部上安装元件。由此，不需要以往那样使元件移载装置沿着倾斜方向移动的复杂的元件安装动作控制，能够防止安装部的元件的位置偏差，能够在短时间内将元件安装于安装部。而且，修正安装位置运算单元基于保持部件的旋转量、基板保持装置信息及基板信息来运算安装部的位置的修正量，并根据该安装部的位置的修正量及基板信息来运算修正安装位置。由此，能够求出水平方向及铅垂方向上的准确的修正安装位置。由此，元件安装单元能够高精度地将元件安装于安装部。

根据本发明第六方面，元件安装单元通过使基板保持装置沿着铅垂方向移动来进行非平坦元件安装面上的安装部的位置的铅垂方向上的修正。根据上述的理由，在具有非平坦元件安装面的基板，尤其是元件安装面与基板保持装置的保持部件的旋转轴的中心的距离发生变化那样的例如波板状的基板的情况下，无法使全部的安装部成为恒定的安装基准高度。因此，使基板保持装置沿着铅垂方向移动而使安装部成为恒定的安装基准高度。由此，能够将元件移载装置的铅垂方向的移动行程设为必要最小限度。因此，能够实现元件安装单元在具有非平坦元件安装面的基板上安装元件时的元件安装时间的缩短化。

根据本发明第七方面，修正安装位置运算单元基于通过图像识别出的位置偏差量、保持部件的旋转量、基板保持装置信息及基板信息来运算安装部的位置的修正量，并根据该安装部的位置的修正量及基板信息来运算修正安装位置。由此，由于还参考了位置偏差量，相应地能够得到高精度的修正安装位置。因此，元件安装单元能够更高精度地在安装部上安装元件。

根据本发明第八方面，基板旋转单元基于基板信息及基板保持装置信息使基板保持装置的第一保持部件及第二保持部件分别旋转，使得非平坦元件安装面上的安装部的法线朝向铅垂方向。由此，例如，即使是球状的基板，仅通过使元件移载装置拾取的元件沿着铅垂方向移动，就能够在安装部上安装元件。由此，通过简单的元件安装动作控制，能够高精度且在短时间内将元件安装于具有更复杂的非平坦元件安装面的基板。

附图说明

图1是表示本发明的第一实施方式的元件安装装置的整体结构的概略结构的俯视图。

图2是表示图1的元件安装装置的基板保持装置、基板搬运装置及元件移载装置的概略结构的主视图。

图3是表示图1的元件安装装置的基板保持装置及元件移载装置的概略结构的侧视图。

图4是表示通过图1的元件安装装置进行元件安装的基板的例子的立体图。

图5中，（A）、（B）是表示向图1的元件安装装置的基板保持装置移载基板前后的情况的立体图。

图6中，（A）、（B）是表示本发明的第二实施方式的元件安装装置的基板保持装置的概略结构的俯视图及主视图。

图7是表示通过图6的元件安装装置进行元件安装的基板的例子的立体图。

图8中，（A）、（B）是表示向图6的元件安装装置的基板保持装置移载基板前后的情况的立体图。

图9中，（A）、（B）是表示用于说明求出安装部的位置的X、Y、Z方向上的修正量的方法的坐标的图及表示坐标的详情的图。

图10中，（A）、（B）是表示向图1的元件安装装置的基板保持装置所保持的基板的第一安装位置及第二安装位置安装元件时的动作的图。

图11中，（A）是表示向图6的元件安装装置的基板保持装置所保持的基板的第一安装位置安装元件时的动作的图，（B）、（C）是表示向第二安装位置安装元件时的动作的图。

图12是用于说明图1的元件安装装置进行的元件安装的动作的流程图。

图13是用于说明图1的元件安装装置进行的元件安装的另一动作的流程图。

具体实施方式

以下，基于附图，说明本发明的实施方式。此外，在附图中，将基板搬运方向设为Y方向，将与Y方向正交的水平方向设为X方向，将与Y方向正交的铅垂方向设为Z方向。首先，说明第一实施方式的元件安装装置1。如图1～3所示，第一实施方式的元件安装装置1由基板保持装置2、三台基板搬运装置3、元件供给装置4、元件移载装置6、对这些装置2～6进行动作控制的控制装置7概略构成。该元件安装装置1例如图4所示，向具有非平坦元件安装面11a的基板11安装元件。

该基板11的俯视图形成为矩形形状，侧视图形成为具有圆弧状的部分及从圆弧两端向外侧突出的部分的形状。即，基板11形成为如下形状：将中空圆筒状的部件的端部的圆弧部分沿着轴线方向切断并在各切断部分上分别一体化形成有带状的部件的形状。该基板11的圆弧状的周面例如形成为在设置成格子状的多个安装部11d上分别安装多个元件的元件安装面11a。而且，基板11的带状的部分形成为：作为后述的基板保持装置2的保持单元而与定位引导件211抵接的定位部11b；及作为基板保持装置2的保持单元而由夹紧部件212夹紧的夹紧部11c。

如图1～3所示，基板保持装置2配置在基台10上表面的里侧中央（图1中的上侧中央），借助后述的移动装置23的沿Z方向的上升，能够将由基板搬运装置3搬入到基板保持台21的上方的基板11从基板搬运装置3向基板保持面21a移载，而且，借助移动装置23的沿Z方向的下降，能够将基板11从基板保持面21a向基板搬运装置3移载。并且，基板保持装置2是将基板11保持在后述的保持位置211X、211Y并进行旋转以通过后述的方法将元件安装到基板11上的装置。该基板保持装置2由基板保持台21、旋转装置22及移动装置23而概略构成，其中，该基板保持台21作为载置并保持基板11的保持部件，该旋转装置22使由基板保持台21保持的基板11与基板保持台21一起绕着Y方向的轴线旋转，该移动装置23使由基板保持台21保持的基板11与基板保持台21及旋转装置22一起沿着Z方向移动。

基板保持台21形成为长方体状，且上表面形成作为载置并保持基板11的基板保持面21a。在基板保持面21a上设有L字状的定位引导件211和夹紧部件212，该定位引导件211通过与载置的基板11的定位部11b的正交两边的部分抵接而将基板11沿着X方向及Y方向定位并保持，该夹紧部件212通过按压该基板11的夹紧部11c的上表面而将基板11在其与基板保持面21a之间夹紧。定位引导件211中的与基板11的定位部11b在X方向及Y方向上的抵接位置设定为基板保持面21a的基板11的保持位置211X、211Y。夹紧部件212通过未图示的气缸等，能够相对于基板保持面21a接近/分离而对基板11进行夹紧/非夹紧。

旋转装置22由旋转台221、一对支撑部件223、带/带轮机构224及步进电动机225、以及底座226概略构成，其中，该旋转台221载置固定基板保持台21、且能够绕着从两端向Y方向外侧分别延伸的一对旋转轴222进行旋转，所述一对支撑部件223将一对旋转轴222分别支撑为能够旋转，所述带/带轮机构224及步进电动机225使旋转台221的旋转轴222旋转，该底座226对支撑部件223及步进电动机225进行固定。基板保持台21能够借助步进电动机225而定位在任意的旋转位置。

移动装置23由四根引导部件231、滚珠丝杠/螺母机构232及步进电动机233、以及底座234概略构成，其中，该四根引导部件231贯装在旋转装置22的底座226的四角而对底座226的Z方向的移动进行引导，该滚珠丝杠/螺母机构232及步进电动机233设置在底座226的中央且在底座226上沿着Z方向移动，该底座234对四根引导部件231及步进电动机233进行固定。基板保持台21能够借助步进电动机233而定位在任意的Z方向的位置。

三台基板搬运装置3在基板保持装置2的上方及基板保持装置2的Y方向两侧分别配置成一直线状，Y方向一侧的基板搬运装置3将元件安装前的基板11向基板保持装置2搬入，基板保持装置2的上方的基板搬运装置3将被搬入的基板11定位在元件安装位置，Y方向另一侧的基板搬运装置3是将元件安装后的基板11从基板保持装置2搬出的装置。各基板搬运装置3为相同结构，由对基板11的搬运进行引导的一对导轨31和搬运基板11的一对输送带32概略构成。一对导轨31沿着Y方向延伸并隔开与基板11的定位部11b和夹紧部11c之间的宽度大致相同的距离而相互平行地配置。一对输送带32并列设置在导轨31的正下方。

元件供给装置4配置在基台10上表面的跟前侧（图1中的下侧），是对收容在盒式的多个供料器41内的不同元件种类的元件进行供给的装置。供料器41由在后部设置有元件供给卷轴42的供料器主体41a和设于该供料器主体41a的前部的元件取出部41b概略构成。在元件供给卷轴42上卷绕有载带42a，该载带42a以规定间距配置元件且由罩带（未图示）覆盖。供料器41构成为，载带42a由供料器主体41a所具备的带齿卷盘（未图示）以规定间距拉出而将罩带剥落，将元件向元件取出部41b依次送入并卷绕载带42a。

元件移载装置6配置在基台10上表面的上方，是从元件供给装置4拾取元件而向搬入到基板保持装置2上的基板11进行安装的装置。元件移载装置由一对固定轨道51、头移动轨道52、元件移载头53、吸附元件的元件吸附部61概略构成。

一对固定轨道51在两台基板搬运装置3的两端部的上方沿着X方向延伸且相互平行地配置。头移动轨道52沿着Y方向延伸地配置而两端被支撑为能够沿着一对固定轨道51移动。头移动轨道52的移动经由滚珠丝杠（未图示）而由伺服电动机（未图示）控制。元件移载头53被支撑为能够沿着头移动轨道52移动。移载头53的移动经由滚珠丝杠（未图示）而由伺服电动机（未图示）控制。

元件吸附部61由从元件移载头53向下方突出地设置的吸嘴支架部611和设于该吸嘴支架部611的下端部而对元件进行吸附保持的元件吸嘴612概略构成。吸嘴支架部611以能够通过伺服电动机（未图示）沿着Z轴方向升降且能够绕着Z轴旋转的方式支撑于元件移载头53。元件吸嘴612安装在吸嘴支架部611的下端部，以能够通过吸嘴前端吸引元件的方式与真空泵（未图示）连接。而且，将基板摄像相机55以从元件移载头53向下方突出的方式设置而作为拍摄基板11的摄像装置，以通过图像对基板11相对于基板保持面21a的保持位置211X、211Y的位置偏差量等进行识别。而且，在基板保持装置2与元件供给装置4之间安装有拍摄元件的元件摄像相机62，以对吸嘴支架部611的元件的吸附状态进行识别。

在以上那样的结构的第一实施方式的元件安装装置1中，说明将基板11保持于基板保持装置2的动作。如图5所示，通过未图示的基板搬运装置3向基板保持装置2的上方搬运基板11而定位在规定的位置。这样一来，基板保持装置2的基板保持台21的夹紧部件212向外侧打开，基板保持台21开始向上方移动（参照图5（A））。然后，基板11从基板搬运装置3向基板保持台21的基板保持面21a移载。

此时，基板11的定位部11b的X方向及Y方向的两边的部分与基板保持装置2的定位引导件211的保持位置211X、211Y抵接而被定位，基板11的夹紧部11c由基板保持装置2的夹紧部件212夹紧（参照图5（B））。并且，虽然详细情况在后面叙述，但是，使基板保持台21绕着旋转轴222的轴旋转，使得基板11的各安装部11d的法线朝向Z方向（铅垂方向），而且在必要时使基板保持台21沿着Z方向（铅垂方向）移动以使安装部11d位于安装基准高度。然后，向基板11的各安装部11d安装元件。

接下来，说明第二实施方式的元件安装装置8。第二实施方式的元件安装装置8与第一实施方式的元件安装装置1相比，三台基板搬运装置3中的配置在基板保持装置2的Y方向两侧的两台基板搬运装置3、元件供给装置4、元件移载装置6、控制装置7是相同的结构，但如图6所示，基板保持装置9与基板保持装置2为不同的结构，而且未设置基板保持装置2的上方的基板搬运装置3，而新设置了基板移载装置5。因此，以下对基板保持装置9及基板移载装置5进行说明。例如图7所示，该元件安装装置8向具有非平坦元件安装面12a的基板12安装元件。

该基板12的俯视图形成为圆形形状，侧视图形成为具有圆弧状的部分及从圆弧两端向外侧突出的部分的形状。即，基板12形成为如下形状：将球状的部件的一部分沿着与径向平行的方向切断、并在切断部分一体化形成有环状的部件的形状。该基板12的球状的周面形成为例如在设置成同心圆状的多个安装部12c分别安装多个元件的元件安装面12a。而且，基板12的环状的部分形成为定位部12b，该定位部12b作为后述的基板保持装置9的保持单元而由定位保持装置93夹持、定位并夹紧。

如图6所示，基板保持装置9由多台（在本例中为三台）基板保持台91、保持台旋转装置92、多台（在本例中为三台）定位装置93、旋转装置22、以及移动装置23，所述多台基板保持台91对通过基板移载装置5从基板搬运装置3移载的基板12进行载置、保持，该保持台旋转装置92使由各基板保持台91保持的基板12与基板保持台91一起沿着基板12的周向旋转，所述多台定位装置93将由各基板保持台91保持的基板12分别夹持、定位并夹紧，该旋转装置22使由各基板保持台91保持的基板12与基板保持台91一起绕着Y方向的轴线旋转，该移动装置23使由各基板保持台91保持的基板12与基板保持台91及旋转装置22一起沿着Z方向移动。基板保持装置9的旋转装置22及移动装置23与第一实施方式为同一结构，同一部件标注同一编号而省略同一部件的详细说明。

各基板保持台91形成为圆柱状，且上表面形成作为载置并保持基板12的基板保持面91a。并且，在各基板保持台91设有从下表面向下方延伸并将旋转台221支撑为能够旋转的旋转轴91a。即，各基板保持台91构成为第一保持部件且构成为第二保持部件，该第一保持部件能够在旋转台221上绕着作为第一旋转轴的旋转轴222的轴进行旋转，该第二保持部件能够绕着与旋转轴222垂直的方向的作为第二旋转轴的旋转轴911的轴进行旋转。

保持台旋转装置92由使各旋转轴911旋转的带/带轮机构921及固定在旋转台221的下表面的步进电动机922概略构成。各基板保持台91能够借助步进电动机922而定位在任意的旋转位置。

各定位装置93与各基板保持台91并列设置且固定在旋转台221的上表面。各定位装置93由一对定位臂931a、931b和臂移动装置932概略构成，其中，该一对定位臂931a、931b作为能够夹持并保持基板12的定位部12b的保持单元，该臂移动装置932仅使一方的定位臂931b相对于另一方的定位臂931a平行移动，由电动机及齿轮机构等构成。定位臂931a固定在旋转台221的上表面，定位臂931b以能够相对于定位臂931a平行移动的方式与臂移动装置932连接。沿着长度方向延伸的槽部931c、931d以相向的方式分别设置在一对定位臂931a、931b。

定位装置93构成为，一方的定位臂931b相对于另一方的定位臂931a平行移动，使载置在基板保持面91a上的基板12的定位部12b进入到各槽部931c、931d内并对定位部12b进行夹持，由此在基板保持面91a定位并夹紧基板12。由此，作为基板保持面91a的基板12的保持位置，以固定的定位臂931a的槽部931c的底位置成为基准位置的方式进行设定。

基板移载装置5配置在基台10上表面的上方，是在基板搬运装置3与基板保持装置9之间移载基板11的装置。基板移载装置5由基板移载头56和把持基板11的基板把持部54概略构成。基板移载头56与元件移载头53同样地被支撑为能够沿着头移动轨道52移动。基板移载头56的移动经由滚珠丝杠（未图示）而由伺服电动机（未图示）控制。

基板把持部54由从基板移载头56向下方突出地设置的多个（在本例中为三个）爪支架部541和分别设于各爪支架部541的下端部并对基板11进行把持的一对基板把持爪542概略构成。爪支架部541以能够借助伺服电动机（未图示）沿着Z轴方向升降且能够绕Z轴旋转的方式支撑于基板移载头56。一对基板把持爪542以能够通过伺服电动机（未图示）进行开闭的方式安装在爪支架部541的下端部。三台基板把持部54的间隔设为与三台基板保持台91的间隔相同。并且，在基板12的搬入侧的基板搬运装置3上设有使搬入的三个基板12以三台基板把持部54的间隔停止的未图示的止动件。由此，三台基板把持部54在基板搬运装置3与基板保持装置9之间，能够同时移载三个基板12。

在以上那样的结构的第二实施方式的元件安装装置8中，说明将基板12保持于基板保持装置9的动作。如图8所示，基板12在通过基板搬运装置3搬运到基板保持装置9的附近时借助基板移载装置5从基板搬运装置3向基板保持装置9的基板保持台91的上方移动（参照图8（A））。然后，基板12借助基板移载装置5而载置在基板保持台91的基板保持面91a上。此时，基板12的定位部12b由定位装置93的一对定位臂931a、931b夹持、定位并夹紧（参照图8（B））。并且，虽然详细情况后述，但使基板保持台91绕着旋转轴222及旋转轴911的轴旋转以使基板12的各安装部12c的法线朝向Z方向（铅垂方向），而且在必要时使基板保持台21沿着Z方向（铅垂方向）移动以使安装部12c位于恒定的安装基准高度。然后，向基板12的各安装部12c安装元件。

接着，说明使基板保持台21、91旋转等以使基板11、12的安装部11d、12c的法线朝向Z方向（铅垂方向）且使安装部11d、12c位于恒定的安装基准高度的理由。由于基板11、12的元件安装面11a、12a的侧视图为圆弧状，因此在安装部11d、12c的法线相对于Z方向的轴线发生倾斜的情况下，必须使元件吸嘴612沿着倾斜方向移动，从而需要复杂的动作控制。另一方面，为了使元件吸嘴612的动作控制变得简单而使元件吸嘴612沿着Z方向移动而安装元件时，可能会发生元件的位置偏差。

另外，元件吸嘴612对应安装元件数的次数而在元件供给装置4与基板11、12之间相应地往复移动以安装元件。在平板状的基板的情况下，将全部的安装部设定成为恒定的安装基准高度，由此能够使元件吸嘴612的铅垂方向的移动行程设为必要最小限度，从而能够实现元件安装时间的缩短化。然而，在具有非平坦元件安装面的基板11、12的情况下，全部的安装部不会成为恒定的安装基准高度。因此，元件吸嘴612的铅垂方向的移动行程有时会变长，元件安装时间处于变长的倾向。因此，在本实施方式的元件安装装置1、8中，使基板保持装置2、9的基板保持台21、91旋转，并且在必要时使其沿着Z方向移动，从而进行修正以使安装部11d、12c的法线朝向Z方向并使安装部11d、12c位于安装基准高度，从而消除上述问题。

上述的修正方法中，使用基板11、12的信息及基板保持装置2、9的信息。作为基板11、12的信息，是定位部11b、12b的位置及安装部11d、12c的位置等。定位部11b、12b的位置由与定位引导件211抵接的定位部11b的正交两边的X、Y、Z方向的各坐标表示，在将基板11、12定位保持于基板保持台21、91的状态下进行元件安装的情况下使用。另一方面，在借助基板摄像相机55通过图像识别基板11、12而进行元件安装的情况下，由于将预先形成在基板11、12上的基准孔（未图示）用作定位部，因此可以取代定位部11b、12b的位置而将基准孔的位置用作基板信息。安装部11d、12c的位置由X、Y、Z方向的各坐标及X、Y方向的斜率表示。

另外，作为基板保持装置2、9的信息，是基板保持台21、91的旋转轴222的基板保持装置2、9的位置、旋转轴222与基板保持面21a、91a的位置关系、及基板保持面21a的保持位置211X、211Y等。此外，关于基板保持面91a的保持位置，如前述那样，是以定位臂931a的槽部931c的底位置成为基准位置的方式进行设定的位置。基板保持台21、91的旋转轴222在基板保持装置2、9中所处的位置、旋转轴222与基板保持面21a、91a的位置关系、以及基板保持面21a的保持位置211X、211Y由X、Y、Z方向的各坐标表示。

基板保持装置2、9的基板保持台21、91的旋转是基于上述的基板11、12的信息及基板保持装置2、9的信息而以安装部11d、12c的法线朝向Z方向的方式进行的。由此，在使由元件吸嘴612拾取的元件在安装部11d、12c的法线上移动之后，通过仅使元件吸嘴612沿着铅垂方向移动的简单的元件安装动作控制，就能够向安装部11d、12c安装元件。因此，不需要以往那样使元件吸嘴612沿着倾斜方向移动的复杂的元件安装动作控制，能够防止安装部11d、12c中的元件的位置偏差，并能够在短时间内将元件安装于安装部11d、12c。

并且，该安装部11d、12c的位置的X、Y、Z方向上的修正量是基于基板保持台21、91的旋转量、基板11、12的信息及基板保持装置2、9的信息来运算的。基板保持装置2、9的基板保持台21、91沿Z方向的移动通过运算出的安装部11d、12c的位置的Z方向上的修正量来进行。安装部11d、12c的修正安装位置根据运算出的安装部11d、12c的位置的X、Y、Z方向上的修正量及基板11、12的信息来运算。基于如此求出的安装部11d、12c的修正安装位置而高精度地将元件安装于基板11、12的安装部11d、12c。

另外，在借助基板摄像相机55通过图像识别基板11、12而进行元件安装的情况下，通过图像识别出基板11、12相对于保持位置211X、211Y等的位置偏差量。并且，该安装部11d、12c的位置的X、Y、Z方向上的修正量基于通过图像识别出的位置偏差量、基板保持台21、91的旋转量、基板11、12的信息及基板保持装置2、9的信息来运算。由此，还参考了位置偏差量，相应地能够更高精度地进行元件向基板11、12的安装部11d、12c的安装。

此外，也可以在基板保持装置2、9的基板保持台21、91旋转后，通过图像识别基板11、12的安装部11d、12c的位置而进行元件安装。这种情况下，将安装部11d、12c的修正安装位置再修正通过图像识别出的基板11、12的安装部11d、12c的位置与运算出的安装部11d、12c的修正安装位置之差。由此，例如即使在安装部11d、12c开设用于插入元件的孔且该孔的中心在水平方向上的位置因基板保持台21、91的旋转而发生变化的情况下，也可通过再修正来提高安装部11d、12c的修正安装位置的精度，因此能够将元件顺畅地插入并安装于安装部11d、12c的孔。

上述的安装部11d、12c的位置的X、Y、Z方向上的修正量是将基板11、12搬入至基板保持台21、91时的安装部11d、12c在机械坐标系（元件安装装置1）中的位置坐标与使基板保持台21、91旋转后的安装部11d、12c在机械坐标系中的位置坐标的偏差量。

例如图9所示，考虑X、Z方向，将机械坐标系设为Xm、Zm，Zm通过基板保持台21、91的旋转中心C而沿着铅垂方向延伸，Xm与Zm正交且通过基板保持台21、91的水平的基板保持面21a、91a上，机械原点设为M0。而且，将基板保持面21a、91a上的基板坐标系设为Xp、Zp，Zp沿着铅垂方向延伸，Xp与Zp正交且与Xm成为同一直线，将基板原点设为P0。并且，将机械原点M0与旋转中心C在X方向上的距离设为0，在Z方向上的距离设为B，将基板原点P0与旋转中心C在X方向上的距离设为A，Z方向的距离设为B。而且，将机械坐标系Xm、Zm以旋转中心C为中心顺时针旋转角度θ后的旋转坐标系设为Xθ、Zθ。此外，在借助基板摄像相机55而通过图像进行识别时，X方向上的距离在A的基础上，还进一步参考了相机偏差量ΔA。

上述的偏差量能够通过如下方式导出：首先使基板坐标系Xp、Zp平行移动（沿着X方向移动距离A）而与机械坐标系Xm、Zm一致，接着，使与机械坐标系Xm、Zm一致的基板坐标系Xp、Zp以旋转中心C为中心旋转（顺时针旋转角度θ）。

例如，将基板坐标系Xp、Zp中的安装部11d、12c的位置的坐标设为（xp，zp），当将该坐标（xp，zp）变换为机械坐标系Xm、Zm的坐标（xm，zm）时，成为下式（1）。

xm=xp+A、zm=zp…（1）

接着，将坐标（xm，zm）变换为旋转坐标系Xθ、Zθ的坐标（xθ，zθ）。坐标（xm，zm）与旋转中心C的距离为Q时，能得到下式（2）。

Q=√（（B+zm）²+xm²）…（2）

接着，将坐标（xm，zm）和坐标（xθ，zθ）连结的线与旋转中心C的距离为S时，能得到下式（3）。

S=Q·cosθ/2…（3）

接着，从坐标（xθ，zθ）引出的平行于Zm的直线与旋转中心C的距离为T时，能得到下式（4）。其中，α=cos^-1（（B+zm）/Q）。

T=2Scos（π-θ/2-α）-xm…（4）

接着，从旋转中心C引出的平行于Xm的直线与坐标（xθ，zθ）的距离为U时，能得到下式（5）。

U=√（Q²-T²）…（5）

根据以上，利用下式（6）能够将坐标（xθ，zθ）变换成机械坐标系Xm、Zm。

xθ=T=2Scos（π-θ/2-α）-xm、zθ=U-B=√（Q²-T²）-B

=√（（（B+zm）²+xm²）-（2Scos（π-θ/2-α）-xm）²）-B…（6）

由此，能够求出将基板11、12搬入到基板保持台21、91时的安装部11d、12c在机械坐标系中的位置坐标与使基板保持台21、91旋转后的安装部11d、12c在机械坐标系中的位置坐标的偏差量，即安装部11d、12c的位置的X、Z方向上的修正量。关于Y方向上的修正量，也与上述同样地求出。

接着，列举具体例来说明上述的修正方法。首先，如图10所示，说明各基板11、12的元件安装面11a、12a的曲率圆的中心Cp与基板保持装置2、9的基板保持台21、91的旋转轴222的中心C一致的情况，即各基板11、12的元件安装面11a、12a与基板保持台21、91的旋转轴222的中心C的距离始终恒定的情况。在基板保持台21、91的基板保持面21a、91a处于水平状态时，基板11、12的元件安装面11a、12a的顶点的第一安装部Pa位于安装基准高度H且其法线Lpa朝向Z方向（参照图10（A））。由此，通过仅使元件吸嘴612沿着Z方向移动最小行程的简单的动作控制，就能够高精度且在短时间内将元件安装于第一安装部Pa。

并且，在将元件安装于从第一安装部Pa沿着逆时针旋转θ度的第二安装部Pb时，基板保持台21、91的基板保持面21a、91a倾斜θ度，即基板保持台21、91顺时针旋转θ度（参照图10（B））。由此，能够以第二安装部Pb的法线Lpb朝向Z方向且第二安装部Pb位于安装基准高度H的方式进行调整。由此，通过仅使元件吸嘴612沿着Z方向移动最小行程的简单的动作控制，就能够高精度且在短时间内将元件安装于第二安装部Pb。

接着，如图11所示，说明基板13的元件安装面13a与基板保持台21、91的旋转轴222的中心C的距离发生变化那样的例如波板状的基板13的情况。基板保持台21、91的基板保持面21a、91a从水平向右下降地倾斜度时，相对于法线Lpc朝向Z方向且位于安装基准高度H的第三安装部Pc，使基板保持面21a、91a顺时针旋转度（参照图11（A））。由此，仅通过使元件吸嘴612沿着Z方向移动最小行程的简单的动作控制，就能够高精度且在短时间内将元件安装于第三安装部Pc。

并且，在基板保持台21、91的基板保持面21a、91a从水平向左下降地倾斜度时，相对于法线Lpd朝向Z方向的第四安装部Pd，使顺时针旋转

度的状态下的基板保持面21a、91a逆时针旋转

度（参照图11（B））。此时，由于第四安装部Pd并未位于安装基准高度H，因此使基板保持台21、91沿着Z方向移动α（参照图11（C））。由此，通过仅使元件吸嘴612沿着Z方向移动最小行程的简单的动作控制，就能够高精度且在短时间内将元件安装于第四安装部Pd。

接着，参照图12的流程图，说明上述的元件安装装置1进行的元件安装方法。此处，预先测定由基板保持台21的旋转轴222在基板保持装置2中所处的位置、旋转轴222与基板保持面21a的位置关系及基板保持面21a的保持位置211X、211Y构成的基板保持装置2的信息并存储在控制装置7的存储器中。控制装置7判断是否输入了由定位部11b的位置及安装部11d的位置构成的基板11的信息（步骤1），在输入前，输入该基板信息并存储在控制装置7的存储器中（步骤2，相当于本发明的“基板信息输入工序”）。

控制装置7对基板搬运装置3进行动作控制而将基板11搬入到基板保持装置2的附近（步骤3），并对基板移载装置5进行动作控制而将基板11从基板搬运装置3向基板保持装置2移载（步骤4）。此时，使基板11的定位部11b抵接于基板保持装置2的定位引导件211而进行定位。然后，对基板保持装置2的夹紧部件212进行动作控制而使基板11的夹紧部11c夹紧（步骤5，相当于本发明的“基板搬入保持工序”）。

控制装置7基于存储在存储器中的基板保持装置信息及基板信息对基板保持装置2的旋转装置22进行动作控制而使基板保持台21旋转以使基板11的元件安装面11a的安装部11d的法线朝向铅垂方向（步骤6，相当于本发明的“基板旋转工序”）。然后，基于基板保持台21的旋转量、基板信息及基板保持装置信息来运算安装部11d的位置的X、Y、Z方向上的修正量，并根据运算出的安装部11d的位置的X、Y、Z方向上的修正量及基板信息来运算安装部11d的修正安装位置（步骤7、8，相当于本发明的“修正安装位置运算工序”）。

控制装置7判断安装部11d是否位于安装基准高度（步骤9），在安装部11d并未位于安装基准高度时，对移动装置23进行动作控制而使基板保持台21沿着Z方向移动安装部11d的位置的Z方向的修正量以使安装部11d位于安装基准高度的方式（步骤10）。然后，基于运算出的安装部11d的修正安装位置对元件移载装置6进行动作控制，将元件安装在安装部11d的修正安装位置（步骤11，相当于本发明的“元件安装工序”）。此外，也可以不使基板保持台21移动而使元件吸嘴612沿着Z方向移动安装部11d的位置的Z方向上的修正量来进行元件安装。

控制装置7判断当前基板11的元件安装是否完毕（步骤12），在当前基板11的元件安装未完毕时，返回步骤6而执行上述的处理。另一方面，在当前基板11的元件安装完毕时，对基板保持装置2的夹紧部件212进行动作控制而将基板11的夹紧部11c设为非夹紧。然后，对基板移载装置5进行动作控制而使基板11从基板保持装置2向基板搬运装置3移载（步骤13），并对基板搬运装置3进行动作控制而将基板11搬出（步骤14）。控制装置7判断全部的基板11的生产是否结束（步骤15），在全部的基板11的生产未结束时，返回步骤1而执行上述的处理。另一方面，在全部的基板11的生产结束时，结束元件安装程序。

以上的元件安装方法是如下方法：通过将基板11的定位部11b抵接于基板保持装置2的定位引导件211而进行定位，在基板11的元件安装面11a的各安装部11d安装元件。作为另一元件安装方法，有如下方法：借助基板摄像相机55通过图像识别基板11而在基板11的元件安装面11a的各安装部11d安装元件，参照图13的流程图进行说明。此处，预先测定由基板保持台21的旋转轴222在基板保持装置2中所处的位置、旋转轴222与基板保持面21a的位置关系、及基板保持面21a的保持位置211X、211Y构成的基板保持装置2的信息并存储在控制装置7的存储器中。

控制装置7判断是否输入了由定位部11b的位置及安装部11d的位置构成的基板11的信息（步骤21），在输入前，输入该基板信息并存储在控制装置7的存储器中（步骤22，相当于本发明的“基板信息输入工序”）。然后，对基板搬运装置3进行动作控制而将基板11搬入至基板保持装置2的附近（步骤23），并对基板移载装置5进行动作控制而将基板11从基板搬运装置3向基板保持装置2移载（步骤24）。这种情况下，将基板11的定位部11b抵接于基板保持装置2的定位引导件211而进行定位时的精度可以粗略。然后，对基板保持装置2的夹紧部件212进行动作控制而将基板11的夹紧部11c夹紧（步骤25，相当于本发明的“基板搬入保持工序”）。

控制装置7对基板移载装置5及基板摄像相机55进行动作控制而拍摄基板11（步骤26），通过图像识别出基板11相对于保持位置211X、211Y的位置偏差量（步骤27，相当于本发明的“基板位置识别工序”）。然后，基于存储在存储器中的基板保持装置信息及基板信息对基板保持装置2的旋转装置22进行动作控制而使基板保持台21旋转以使基板11的元件安装面11a的安装部11d的法线朝向铅垂方向（步骤28，相当于本发明的“基板旋转工序”）。

控制装置7基于基板11相对于保持位置211X、211Y的位置偏差量、基板保持台21的旋转量、基板信息及基板保持装置信息来运算安装部11d的位置的X、Y、Z方向上的修正量，并根据运算出的安装部11d的位置的X、Y、Z方向上的修正量及基板信息来运算安装部11d的修正安装位置（步骤29、30，相当于本发明的“修正安装位置运算工序”）。然后，判断安装部11d是否位于安装基准高度（步骤31），在安装部11d并未位于安装基准高度时，对移动装置23进行动作控制而使基板保持台21沿着Z方向移动安装部11d的位置的Z方向的修正量以使安装部11d位于安装基准高度（步骤32）。

此处，例如，在基板11的元件安装面11a的安装部11d开设孔，预想到该孔的中心在水平方向上的位置因基板11的旋转而发生变化的事态的情况下等，在要提高安装部11d的修正安装位置的精度时，只要再次拍摄基板11而通过图像识别出旋转后的安装部11d的位置即可。因此，控制装置7判断是否需要再次拍摄基板11（步骤33），在不需要再次拍摄基板11时进入步骤37。

另一方面，在需要再次拍摄基板11时，控制装置7对基板移载装置5及基板摄像相机55进行动作控制而再次拍摄基板11（步骤34），通过图像识别出旋转后的安装部11d的位置（步骤35，相当于本发明的“旋转后安装位置识别工序”）。然后，将安装部11d的修正安装位置再修正通过图像识别出的基板11的安装部11d的位置与运算出的安装部11d的修正安装位置之差（步骤36，相当于本发明的“基板再修正位置运算工序”）。然后，基于运算出的安装部11d的修正安装位置或再修正后的修正安装位置，对元件移载装置6进行动作控制而将元件安装在安装部11d的修正安装位置（步骤37，相当于本发明的“元件安装工序”）。

控制装置7判断当前基板11的元件安装是否完毕（步骤38），在当前基板11的元件安装未完毕时，返回步骤28而执行上述的处理。另一方面，在当前基板11的元件安装完毕时，对基板保持装置2的夹紧部件212进行动作控制而将基板11的夹紧部11c设为非夹紧。然后，对基板移载装置5进行动作控制而将基板11从基板保持装置2向基板搬运装置3移载（步骤39），对基板搬运装置3进行动作控制而将基板11搬出（步骤40）。控制装置7判断全部的基板11的生产是否结束（步骤41），在全部的基板11的生产未结束时，返回步骤1而执行上述的处理。另一方面，在全部的基板11的生产结束时，结束元件安装程序。

工业实用性

本发明能够适用于在具有曲面、倾斜面等的非平坦元件安装面的基板上安装元件的情况。

附图标记说明

1、8…元件安装装置，2、9…基板保持装置，3…基板搬运装置，4…元件供给装置，5…基板移载装置，6…元件移载装置，7…控制装置，11、12、13…基板，11a、12a、13a…元件安装面，21、91…基板保持台，22…旋转装置，23…移动装置，92…第二旋转装置，93…定位装置。

Claims (8)

1.一种元件安装方法，是元件安装装置的元件安装方法，

所述元件安装装置具备：

基板保持装置，具有保持部件，该保持部件将所述基板保持在基板保持面的保持位置并进行旋转，以将元件安装到具有非平坦元件安装面的基板上；

基板搬运装置，将所述基板相对于所述保持部件的基板保持面进行搬入搬出；

元件供给装置，供给向所述基板安装的所述元件；及

元件移载装置，从所述元件供给装置拾取所述元件，沿着水平面内的相垂直的两个方向及铅垂方向移动，并向保持在所述基板保持面的保持位置的所述基板的安装部安装，

所述元件安装方法包括如下工序：

基板信息输入工序，输入与用于将所述基板定位到所述基板保持面上的定位部的位置及所述安装部的位置相关的基板信息；

基板搬入保持工序，通过所述基板搬运装置将所述基板搬入到所述基板保持面的保持位置，并通过设于所述基板保持装置的保持单元将所搬入的所述基板保持在所述基板保持面的保持位置；

基板旋转工序，基于预先存储的基板保持装置信息和所输入的所述基板信息使所述基板保持装置的所述保持部件旋转，使得所述非平坦元件安装面上的所述安装部的法线朝向铅垂方向，其中，所述预先存储的基板保持装置信息是与所述保持部件的旋转轴在所述基板保持装置中所处的位置、所述旋转轴和所述基板保持面之间的位置关系及所述基板保持面的保持位置的位置相关的信息；

修正安装位置运算工序，基于所述基板旋转工序中的所述保持部件的旋转量、所述基板保持装置信息及所述基板信息来运算通过所述基板旋转工序使法线朝向了铅垂方向的所述安装部的位置在所述水平面内的相垂直的两个方向及铅垂方向上的修正量，并根据所述水平面内的相垂直的两个方向及铅垂方向上的修正量和所述基板信息来运算修正安装位置；及

元件安装工序，基于所述修正安装位置将所述元件安装到所述基板的所述安装部上。

2.根据权利要求1所述的元件安装方法，其中，

所述基板保持装置构成为，能够沿着铅垂方向移动，

所述元件安装工序中，使所述基板保持装置沿着铅垂方向修正移动所述修正安装位置运算工序中算出的所述铅垂方向上的修正量。

3.根据权利要求1或2所述的元件安装方法，其中，

包括基板位置识别工序，通过摄像装置拍摄保持于所述基板保持面的保持位置的所述基板并通过图像对该基板相对于所述保持位置的位置偏差量进行识别，

所述修正安装位置运算工序中，基于所述位置偏差量、所述基板旋转工序中的所述保持部件的旋转量、所述基板保持装置信息及所述基板信息来运算通过所述基板旋转工序而使法线朝向了铅垂方向的所述安装部的位置在所述水平面内的相垂直的两个方向及铅垂方向上的修正量。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的元件安装方法，其中，

包括如下工序：

旋转后安装位置识别工序，在通过所述基板旋转工序使所述保持部件旋转而使得所述安装部的位置的法线朝向铅垂方向之后，通过摄像装置拍摄所述安装部并通过图像对所述旋转后的安装部的位置进行识别；

基板再修正位置运算工序，按照通过所述图像识别出的所述旋转后的安装部的位置与所述修正安装位置运算工序中算出的所述修正安装位置之差对所述修正安装位置进行再修正，

所述元件安装工序基于所述再修正后的修正安装位置将所述元件安装到所述基板的所述安装部上。

5.一种元件安装装置，具备：

基板保持装置，具有保持部件，该保持部件将所述基板保持在基板保持面的保持位置并进行旋转，以将元件安装到具有非平坦元件安装面的基板上；

基板搬运装置，将所述基板相对于所述保持部件的基板保持面进行搬入搬出；

元件供给装置，供给向所述基板安装的所述元件；

元件移载装置，从所述元件供给装置拾取所述元件并沿着水平面内的相垂直的两个方向及铅垂方向移动，并向保持在所述基板保持面的保持位置上的所述基板的安装部安装；及

控制装置，控制所述基板保持装置、所述基板搬运装置、所述元件供给装置及所述元件移载装置的动作，

所述元件安装装置的特征在于，

所述控制装置具备：

输入单元，输入基板信息和基板保持装置信息，其中，所述基板信息是与用于将所述基板定位到所述基板保持面上的定位部的位置及所述安装部的位置相关的信息，所述基板保持装置信息是与所述保持部件的旋转轴在所述基板保持装置中所处的位置、所述旋转轴和所述基板保持面之间的位置关系及所述基板保持面的保持位置的位置相关的信息；

存储单元，存储所输入的所述基板信息及所述基板保持装置信息；

基板搬入保持单元，通过所述基板搬运装置将所述基板搬入到所述基板保持面的保持位置，并通过设于所述基板保持装置的保持单元将所搬入的所述基板保持在所述基板保持面的保持位置；

基板旋转单元，基于所述基板信息及所述基板保持装置信息使所述基板保持装置的所述保持部件旋转，使得所述非平坦元件安装面上的所述安装部的法线朝向铅垂方向；

修正安装位置运算单元，基于通过所述基板旋转单元使所述保持部件产生的旋转量、所述基板保持装置信息及所述基板信息来运算通过所述基板旋转单元使法线朝向了铅垂方向的所述安装部的位置在所述水平面内的相垂直的两个方向及铅垂方向上的修正量，并根据所述水平面内的相垂直的两个方向及铅垂方向上的修正量和所述基板信息来运算修正安装位置；

元件安装单元，基于所述修正安装位置将所述元件安装到所述基板的所述安装部上。

6.根据权利要求5所述的元件安装方法，其中，

所述基板保持装置构成为，能够沿着铅垂方向移动，

所述元件安装单元使所述基板保持装置沿着铅垂方向修正移动由所述修正安装位置运算单元算出的所述铅垂方向上的修正量。

7.根据权利要求5或6所述的元件安装装置，其中，

所述元件安装装置具备能够拍摄所述基板的摄像装置，

所述控制装置具备基板位置识别单元，该基板位置识别单元通过所述摄像装置拍摄保持于所述基板保持面的保持位置的所述基板并通过图像对该基板相对于所述保持位置的位置偏差量进行识别，

所述修正安装位置运算单元基于所述位置偏差量、通过所述基板旋转单元使所述保持部件产生的旋转量、所述基板保持装置信息及所述基板信息来运算通过所述基板旋转单元使法线朝向了铅垂方向的所述安装部的位置在所述水平面内的相垂直的两个方向及铅垂方向上的修正量。

8.根据权利要求5～7中任一项所述的元件安装装置，其中，

所述保持部件由第一保持部件和第二保持部件构成，其中，所述第一保持部件具有能够绕着水平方向的轴进行旋转的第一旋转轴，所述第二保持部件具有能够在该第一保持部件上绕着与所述第一旋转轴垂直的方向的轴进行旋转的第二旋转轴，

所述基板旋转单元基于所述基板信息及所述基板保持装置信息，使所述基板保持装置的所述第一保持部件及所述第二保持部件分别旋转，使得所述非平坦元件安装面上的所述安装部的法线朝向铅垂方向。

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