SU1068029A3 - Способ изготовлени пьезоэлектрического керамического материала - Google Patents

Способ изготовлени пьезоэлектрического керамического материала Download PDF

Info

Publication number
SU1068029A3
SU1068029A3 SU792806600A SU2806600A SU1068029A3 SU 1068029 A3 SU1068029 A3 SU 1068029A3 SU 792806600 A SU792806600 A SU 792806600A SU 2806600 A SU2806600 A SU 2806600A SU 1068029 A3 SU1068029 A3 SU 1068029A3
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
alpha
composition
oxygen
lie
firing
Prior art date
Application number
SU792806600A
Other languages
English (en)
Inventor
Огава Тосио
Original Assignee
Мурата Мануфакчуринг Ко.Лтд (Фирма)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Мурата Мануфакчуринг Ко.Лтд (Фирма) filed Critical Мурата Мануфакчуринг Ко.Лтд (Фирма)
Application granted granted Critical
Publication of SU1068029A3 publication Critical patent/SU1068029A3/ru

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/85Piezoelectric or electrostrictive active materials
    • H10N30/853Ceramic compositions

Description

нительно ввод т по крайней мере, одно соединение каЛ1;ЦИК,, бари , стронци р кадми  из расчета замещени  до 20 ат,% свинца в конечном продукте,
3. Способ по п. 1, о т л и ч аю щ и и с   там; что величины к , i , Z лежат в многоугольнике AF5ri ria тройной диаграмме (за исключени пр мой ДН); границы которого соответствуют значени м
4 Способ по п 1, о т л и ч Fю Ц и и с   тем. что зел чин1л ,( , :/ , Z в многоугольнике J/KLG: На тройной диаграмме, грс1ницы которого соответствуют значени м
Изобретение относиго  к области пььзотехники и может быть применено в различных устройствах с пьезоэлект рической керамикой, п частности плч изготозлегги  элементов , работа:о1цих на поверхностных акустиггеских волнах
Из есте -: сцособ изготовлени  и;:.а:и электрических керамических материалов оонове титаната баон  или циркоката-титаната свинца по о5 лгчнэк кepaми ecкoй технологии с испо; ьэо ванием об/хнга в возд ;:ЛЕ;о;1 атмог- Ье ре 1.
Однако тагсим образом не удаетс  получить достаточно горочную и беспо ристую керамику, что преп тствует ее; применению в устройствах с иополъзо занием поверхностных с1кусткческкх волк и образцов малой толщины, а Caic;:cG дл  получени  бс льишк амп л г-уд колебаний„
Наиболее близким к ,цанному способ иэготозлани  пьезоэлекчрнчёского керамического матермала :;а основе сист мы
;ръ(,„,)о,.. )5 --;:Ръх.-п, ,
где 1/4 i с. 3/4, а величины ;, ч 2 лекат в многоугольнике А BCD БF ка тройной диаграмме, границы гсоторогп соответстзуют значени м
6, Способ по п : 1; ю щ и и о   теМ; что обхсиг а :iiмосфере сиолорода на шнаот  гж темiiyTc-jv ;;; у;е1;;иЕани  иоодн.лх с;;а;;ине Пий :;.виндГ; олова.; :.урьглы.. тчтана и циркони , формовани  jaroTDEOK и их обжига Г2 .
Однако таким обрезом ка удастс  получить пьезоэлектрический латериал высокого качестг;а меха н ич е с к о и ч н с:-;: порами ,:
даль изобретени  есва изделий.
Указанна  pejib ,;io что согласно спосоЕ-у :; 1 е .S оэ л е к ;г р кч е с к о г с iaTG; ;иал :Э на осьюве
о- T-ix 3 Ле 1/4 о- i 3/4. rs величины х , / лежат в многоугол;,никб ABCDE ройной диаграмме  ,- искллче ниег.1 пр мой AE), границы которого соответствуют значени м путем смешивани  исходных соединений свинца, олова, сурьмы, титана и циркони , формо-вани  заготовок и их обжига, в .исходную шихту дополн тельно ввод т 0,05-5 мас.%, по кра ней мере, одного оксида из группы Мп02 , MgO, Сг202, а Обжиг провод т в атмосфере кислорода с содержание 02 80 об.%. При этом возможно дополнительн введение в шихту, по крайней мере одного соединени  кальци , бари , стронци , кадми  из расчета замещ ни  до 20 ат„% св-индав конечном продукте. Величины X, v, 2 могут также лежать в многоугольнике на тройной диаграмг е (за исключением пр мой АН), границы которого соот ветствуют значени м Величины X , У,2 лежат в много на тройной диаг угольнике , границы которого соответств ют значени м Величины X , У,2 лежат в мног угольнике NBCOLP на тройной ди рамме, границы которого соответст вуют значени м Обжиг в атмосфере кислорода начинают при температуре не ниже 1000с. Составь., заключенные в многоугольнике AFGH , предназначены предпочтительно дл  использовани  в электромеханических преобразовател х, работающих при высокой температуре. Составы,заключенные в многоугольнике :7/KLGM , предпочтительно могут быть использованы в резонаторах пьезоэлектрических фильтров, а в многоугольнике NBCOLP - дл  элементов, работающих на поверхностных волнах. Исходные материалы взвешивают в соответствии с формулой ХРЬ{ .)Оз -4ГЪТ10з - PbZrO, где d. Находитс  в пределах 1/4-3/4, К смеси добавл ют компоненты-добавки (соединени  Мп, Mg, Сг) в виде оксидов, карбонатов, гидроксидов, оксалатов и других соединений, разлагающихс  при термообработке с образованием оксидов. Смесь.увлажн ют и перемешивают в шаровой мельнице по .крайней мере 10 ч, затем кальцинируют при ббО-ЭОС С, перетирают при увлажнении с соответствующими св зующими, сушат, гранулируют и формуют заготовки (диски, пластины) при давлении 700-1000 кг/см. Заготовки обжигают при 1100-1350°С в атмосфере , содержащей не менее 80 об.% кислорода о В керамике указанных составов образуетс  промежуточна  фаза со структурой типа пирохлора состава Pb2 ni2 Sb2 2o;07-ot котора  располагаетс  на границах зерен на ранних этапах обжига. Эта фаза существует примерно вплоть до 1200°С, когда происходит образование конечного продукта, и вли ет на микроструктуру и свойства керамики. Кислородные дефекты пирохлорной фазы способствуют переносу ионов кислорода к границам зерен, что делает возможным изготовление мелкозернистой и плотной керамики . На конечном этапе пирохлорна  фаза переходит в фазу перовскитную РЬ(ЯГ.ПЪ)ОЗ, При обжиге в атмосфере с содержанием более 80% кислорода подвижность ионов кислорода сквозь кислородные дефекты пирохлорной фазы резко возрастает без испарени  оксида свинца и реакции агломерации жидкой фазы. Содержание кислорода 95% обеспечивает получение малопористого материала с высокой механической прочностью. Обжиг можно вести двум  пут ми: первый , когда спекание в атмосфере с высоким содержанием кислорода начинаетс  непосредственно перед по влением плотно расположенных пор, иначе говор  около 1000°С, или спекание в атмосфере с большой концентрацией кислорода проводитс  на всем этапе
ние 2 ч. Кальцинированный материал перетирают с соответствующими органическими св зующими веществами, сушат и гранулируют дл  получени  мелкозернистого порошка. Полученный порошок формуют в пластины в форме квадрата со стороной 50 мм и толщиной 1,2 мм или в диски диаметром
1/20,010,980,01
3/40,010,600,39
3/40,01-0,600,39
2/30,010,550,44
1/20,01 0,440,55
1/30,010,400,59
3/40,010,400,59
1/20,010,400,59
1/40,010,400,59
1/20,010,300,69
3/40,010,300,69
3/40,010,040,95
1/30,030,770,20 1/40,040,010,95
3/40,050,550,40
1/20,050,550,40
1/40,050,550,40
1/40,050,550,40
1/20,050,350,60
1/20,050,300,65
1/20,050,300,65
3/40,050,100,85
3/40,050,100,85
22 мм и толщиной 1,2 мм под давлением 1000 кг/см. Пластины и диски обжигают с использованием корундовой трубчатой печи, представленной на фиг„ 1, при 1250с в течение 2 ч в кислородной атмосфере. Концентраци  кислорода в атмосфере приведена в табл. 1.
Таблица 1
Продолжение табл. 1
5,0
2,0
100 90
- - 1,0
85
0,1 0,1 100
L , 5 1,5
90
О , 7 100 1 О О 100
90
95
Продолжение табл. 1
il3 nOJiyxfeilHCJ
у г:ьйзозлект} ОБЯТ розоьагч H;v;e радиа,пг,Н( име колпба; / ; образом J ающие на asryc
BOJTHax о Ii3 oiOBJitttiyie к s режиме р; зозле(т1эл | ее; .Зжен на
,цс
золирующе;
о и
,i;,KCK сИ(-,Ь:;{ен и; зйрпинм :;:i3jfтрех; имени  T;;;LPO}.;( и; : l-iзc:Jl spy;:;;;;Г: ( прило}ке11:ем . i4;   f; I i о; ; .1 з j 11 к т р} i , О к В/мм , ;
TzpOV : -;; l;j (Г ГГООТИПОГ О,ПОЖНЬ
;Т ;ог:ог; . л/п-i-ovи ,и. мости I ;. коэффициен:ект ромеханическо  св зи (Кр) ;фф;-;циг:нта механической добротЛ- . :ip:
колебани ми по тол3 течение . ч выдерживают в пе5н ibUC дл  проведени  первого : тс рмкческого старени , затем -(ел ют коэффициент эле ктромеха:ко ; ;.;ЕЯЗИ К , ; к fvexaHH4ecKyic jTHoci-b (Од,) После этого ре:ор -с вновь помеи/ают в печь при е услози х дл  проведени  втоifHKira термического старени , i определ ют 1соэффиг :ие нт элект;анической св зи (К }„ лоиое старекке провод т непо;Tiie;;iio после копировки дл  11Кл а ни и г;ьезозлектрических юэтсму результатыJ полуJO ;:ооле второго цикла тер ичеост ронк , отображают характе - -ку :;ормкч,еското старени  керараоотаюгдие ка акустирхьостных волнах, подэрени м :созффициента кической св зи на поверхстическкх волнах (К), ого коэффициента иентраль -../-,-: 1/
,е J5 с 1-, ; и запоЕерхностных спространзник (L) Импеа :. I:-i ) раоочитыЕают гребенчатых элект- ,Ло:с: ричеокую :1роницаемость :; ;- резонаторов, работамцих -1ме радиального расширени , У1атс;роп,, работа ощих s режиме ую толщине- измер ют с :10 омкосГлого 1-.10ота. КоэффициvjiGi-/ ром€:ханичеокой с.з зи ,. и :спэс1;г;-ицие 1т механической ::.- 1: ...р - --.) измер ют с .и:- ;тг-;|;,:;р(ртных схеМ;,
112
2 Потери Я|1при рас . простi НИИ ,
1ДБ/СМ 351518 31,9 30,3 5,0 506 361885 30,7 30,3 1,3 777 18,7 +40 495 33 20.18 25,4 25,0 1,6 916 17,2 +21
19,25,4132016,6 -25 477 113 0,6
--- 8,9 -75 250 239 0,4
- -.
- - 11.,з -70 217 275 0,5
26,85,0101 26,45,4705
28,11,4724 28,81,0741
28,41,41359 17,6 +15 426 46 0,3
19,65,31664 16,5 +41 410 153 0,5 19,44,91703 15,,3 +10 402 161 0,4 - - 15,4 -65 301 218 0,6 - -- 15,3 -58 297 225 0,3
- -
- -.- .
18,95., 5653 35,64,8 80
32,36,1536
34,51,4102 32,44,7174
4,56,3976 16,0 +32 378 175 0,4
Продолжение табл. 2 579 105 0,5 566 108 0,6
|(хдпри pacI I простI ipaHei I кии, i дБ./CM 905 26 1318 21,1 20,9 0,9 894 25 1523 21,0 20,8 1,0 1753 3 133 - - 512 27 2558 20,6 19,6 4,9 437192019-45962573 -28410108-- 66310 40112125-67292 534252108-4,84,5 6,3 68 40324 19565,05,0 0, 37513328-- 71 303 2448593-- 3079118-- 2947294-- 2156618-- 2736128-- 2445466-- 2355248 Состав керамики выходит за пределы объема
Коэффициент электромеханической св зи дл  акустических поверхност- ных волн (Кддуу) получен из следующего уравнени :
(V2- V,)/-/, 1-1 + ( 1/2()
где скорость акустической поверхностной волны, если на пути распространени  отсутствует металлический слой; V2- скорость акустической поверхности волны, если на пути распространени  предусмотрен металлический слой.
tf
Продолжение табл. 2
Температурный коэффициент центральной частоты получен из следующего уравнени :
51ШЬ. 10V°C,
max ,5AW
f
20 °C
f 20 с - центральна  частота
при 2 Ос;
- максимальное значение
mav центральной частоты при изменении температуры от до
+8о°с; 00 34 18 -15,0 -42 543 121 0,5 -9,9 -75 566 110 0,6 64 287 данного изобретени 
миьимальное значение центральной частоты при HSMGbietiMH темпера , Сг
туры от -20 С до
80 ;
Потери при распространении в фил трах на акустических поверхностных волках определ ют следующим образом С использованием указа нных пластин пьезоэлектрической керамики готов  фильтры на акустических поверхностн волнах с центральной частотой 10 i-ir (как показано на фиг. 3) при помощи обеспечени  гребенчатых электродов
Т
Т,
на пове рхности
-1 2 пластины , g i. .ji j -i
электроды Т
гребенчатого электрода ны от
и е.(р, р.,
рассто ние венно (размер
электродов указа; на фиг, 5)„
Потери при рассчитаны из
V ДГ),/С
во врем  распростраКени  акустических поверхностных волн от преобразовательного электрс- да Т
к преобразовательным элгк дам Т2 и Tj соответстве-нно.
Из табл, 1 и 2 видно, что получаема  пьезоэлектрическа  керамика на основе системы }-Ъ ( Яп..,:Ь,, /(i,-- р; ,менее 25%, причем при гер  гческом старении скорость изменени  К мала,
Пьезоэлектрическа  керамика составлена из мелких сферическгих зсреч с одинаковым размером; Б то врем  кан типова  керамика сравниваемого оорп;-;ца составлена из болыи.их, разного размера зерен. Это доказывают, ч-::о образование пр омежуточной фазы, i.e. пирохлорной фазы с кислородным дефон:том , происходит в системе РЬ : г;,,,: :i/, ,,- Пирохлорна  фаза кислородным дефектом, зыраженна 
формулой Ь2ivjo/: 1)2..1(,/ 7-0/- образуег с  на границах зерен на раннем vvr;-пе обжига и присутствует гшлоть ло повышек1-1ой температуры около 12ЭО:;: в твердом сОСТо кии, При :ITOM o;ia ограничивает рост зерен, не происходит агломераци  пор,- так ка:-; кислородный способствует говышениЕо подвижнос ти газо образного кислорода на границах зерен. 1а закл ;1читальном этапе спекани  пирохлорна  фаза с кислородным дефрктг)м преобразуетс  s структуру перопскита .
Таким образом, возможно nojsy e ние мелкозернистой и плотной пьезоэлектрической керамики с малым ра::мером пор и малой пори стостью, обладающей высокой механической проч ностью,, повгткченным коэффициентом
:.бжи1
три :
1КИЯ
: т в
дл  использовани  в элементах на акустических поверхностных волнах. Причиной того, что в р де колонок отсутствуют экспериментальные данные ,  вл етс  то, что состав не предназначен дл  использовани  в этих област х.
Пример 2. Этот пример даетс  в качестве объ снени  свойств пьезоэлектрической керамики, предназначенной дл  использовани  в фильтрах на акустических поверхностных волнах. В примере используют соста7 ,90(6 0,02)528 7,86(Й 0,01)477 7,75(i 0,03)282 7,87(6 0,02)519 7,84(6 0,01)394 7,73(6 0,04)212 7,85(d 0,03)427 7,85((э 0,01)456 7,73Й 0,02)271 ( воздух 1 7,86(6 0,02; 27-3 Гор чее прессование 7,85(6 0,01) 366 34-1 90 7,75(6 0,03.) 243 34-2 20 ( ВОЗЛУХ : 7,85(6 0,02) 375 34-3 Гор чее прессорнние 7,90(С;, 0,01) 400 18-1 100 7,79(6 0,02) 236 18-2 20 ( во-злух
вы, соответствующие составам образцов 19 и 31 в примере 1. Контрольные образцы готов т по примеру 1, за тем исключением, что измен ют концентрацию кислорода (указана в табл, 3).
Дл  сравнени  прессованием получают образцы из тех же составов, что и указанные образцы. Гор чую прессовку провод т при 350 кг/см в течение 2 ч при 1200°С.
Физические и механические свойства полученных образцов представлены в табл. 3.
Таблица 3 1518 1355 672 1437 1058 563 1197 1125 -3 683 ГЗ
2
2 1
8-15 8-15
12
Объемну ; плотност. керамргкк о редел ют метсдом ги;г1рсм:татлческс; взвешиванр   с использованием пол рованных образцоз с: тонким слоем воска, их norpyiKasoa в папну с );чи КИМ гексахлор-1-3-:;бу. aiineiiObi inn ность 1,6829 //c-i- 1-РИ 20 :;:; , ilp веденные s тобп, 3 результаты  и югс  средней зе.гкчjiuoi- ,пл  измерений , каждсгс o6pari.a, Б табл,, -5р ;к:до;:г) также .;;иое отк.по :ен;1о ; --г, .
и
Ра,Яг.:ер TKKJ (H pi;;;6jHnyr iron oi ража ч ель ного э;ю;т;(.)н но го ми к о скопа с иС1 :оль:; ;;a::i :;-ECN: 1;ол :ровп ;: Образцов, ;;i. ;-:м vopoa к рамики оутркдол л;; . рР: r-(Mo:;U-i pa розого злектрО|; о: T; микрсзслола : noJlb30Ba -uiOM ;а:; ;р:глианных pfioa; ; под13 ;:р1нуть;х ;; гололне .; нию мри J2C(V л 1 а-М()сфс;р( (л-л-и-л-г свинца. JliH л л;: J л Л слр-iH :л: гллг иг, ти к лласГ1гл л лои д(л(;ог Л-;-.1л-тл ::.i7. л ют таордосл, ил Знхлск :л. (iU/,) ; KoTOj-)yL:, f; ал г л-лгы7;а;от с 1лл:л ура7П1ени 
JiiJO-ii ocT;; ка 5-;з1иб опрс; прр; уHKi)Upcaj;bKoic; i i-ioro прибора да трех KOiKT, разцоо ; 5-30 толщина О;5зерек опредо.
1Лл лоры - Вл юто  сферическими,
П Г; и г-1 с р 3. 3TfjT пример при:лу1Л ): д.л  с-бъ сйени  свойств пьезоьлек лллгеел-гггй керамики дл  керамим ;-1-ал вибра fopof . 1с;1ользу:-от солчл:вь; , соолветструголио составам обра:ли н ; 5, 2/- и 34, Контрольные образпь; лодулают до примеру 2. Кон: )аци  кислорода щзиведена в 3, (.;оолаг Ы обрагщов 25 и 34 )длы дл  нспользоБани  в зысс л 1 слчлералурл - х керамичеосих вибраOp jC:MHaH члотносгЬ- твердость Л) В л :керс у лролкость ка изгиб, лглл.:сл 3cpL- ::ристалла и средний ра:: ;лар or рглтел ют гл лримеру 2,. ;ллл.л- ; аль. 1;г)едс в абл. 3
;,;,;Л СЛЛОДОЛЛ НИЯ ЛРОЧЛОСТИ КЭраМИгГИ
,;,-ллллллг.:К: образцы 21-1 и 27-2 г:од лмч лол л лг-)еменному нап1э жению : .Л1 KOje6aH:ift 0,01 с, ПрихоJЛ (::лллл ла лдикицу плогцади злеклрил;лксл з;лдлл   мен етс  от 3 до ; ЛЛ ir. При каждом из значений з:.л( лглчоз кол мо;дносли исподь зуют ::1зл;:л- об ллл;о;л Колилестио разруша :;;:лл сл; .амил(( зибрато;эов гфед ;сллгро Л; Hijf образдн 34-л и 34-2 :1: :лнллг aiov иллгьгаикю на термический уллл. Уел мТлчил провод т в ,1иапазоме ЛЛ комьа нок температурн до 250°;; лллду-oiiiKM образом. В вчение 20 мин
2с. В испытании используют 36 образцов .
Из фиг. 5 и 6 видно, что процесс обжига при высокой концентрации кислорода обеспечивает получение вибраторов , предназначенных дл  работы при повышенных температурах с высоткой устойчивостью к действию термических ударов,
Пример 4 „ Этот приме 1 приведен в качестве объ снени  свойств пьезоэлектрической керамики, предназначенной дл  использовани  в керамических фильтрах.
Готов т образцы, состав их соответствует составу образцов 18 и 28, способ изготовлени  по примеру 2. Концентраци  кислорода дл  каадого образца .приведена в табл„ 3. Состав образца 18 пригоден дл  использовани  в фильтрах с продольным типом колебаний, состав образца 28 - дл  фильтров с колебани ми по толщине. Контрольные образцы готов т методом гор чей прессовки по примеру 2.
Объемна  плотность, твердость по Виккерсу, прочность на изгиб, размер зерен и средний размер по керамики определ ют по примеру 2„ Результаты представлены в табл. 3.
В табл. 3 дл  сравнени  приведены также результаты испытани  образdll N2
а
иг.2
г
цов, изготовленных из состава 0,48 РЪТ10з-0,52 РъггОз+ 0,5 вес.% АХ ОзЧ+0 ,5 вес.% SiO известной технологии . Контрольные образцы дл  сравнени  R-1 и R-2 готов т обжигом в кислодной атмосфере, концентраци  кислорода приведена в табл. 3, а образцы Р,-1) готов т гор чей прессовкой при указанных услови х.
Приведенные в табл. 3 данные твердости по Виккерсу, прочности на изгиб, размеру зерен и среднему размеру пор  вл ютс  средней величиной дл  дес ти измерений.
Из табл. 3 видно, что возможно .получение пьезоэлектрической керамики с малой пористостью, малым средним размером пор и мелкими зернами в сравнении с керамикой, полученной при гор чей прессовке. Кроме того, полученна  керамика обладает твердостью по Виккерсу и высокой прочностью на изгиб в сравнении с образцами, полученными при гор чей прессовке.
Несмотр  на то г что существует веро тность загр знени  такими примес ми , как AlgO, Si02 и т.д., содержащимис  в исходных материалах или в материалах, использованных дл  создани  атмосферы свинца, такие примеси  вл ютс  допустимыми.
gPbTiO,
5i)ljWOO
f(-f 0/KSHHfffl :://iP/ff/7p(-//TSCffyfl 2-7, / ,;
Фиг. 6

Claims (4)

1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКОГО КЕРАМИЧЕСКОГО МАТЕРИАЛА на .основе системы х Рс ( Г) ) 03 - |-J ri 03 - ζ о7.гоэ , где 1/4 4 об Г 3/4, а величины х, у , ζ лежат в многоугольнике АВСДЕ на тройной диаграмме (за исключением прямой АВ), границы которого соответствуют значениям
X У ζ A 0,01 0,9 9 0,00 В 0,01 0,04 0,95 с 0,04 0,01 0,95 D 0,40 0,01 0,59 E 0,40 0,60 0,00
путем смешивания исходных соединений свинца, олова, сурьмы, титана и циркония, формования заготовок и их обжига, отличающийся тем, что, с целью.повышения качества изделий, в исходную шихту дополнительно вводят 0,05-5 мас.%, по крайней мере, одного оксида из группы Мп02, мк0, Сг, а обжиг проводят в атмосфере кислорода с содержанием О2 } 80 об.%.
с \шшйиши й ./
5 Фиг.1
SU ,,,1068029
2. Способ по π. 1, о т л и ч аю щ и й с я тем, что з шихту дополнительно вводят, по крайней мере, одно соединение'кальция, бария, стронция, кадмия из расчета замете.....
ния до 20 ат,% свинца в конечном продукте,
3, Способ по π. 1, о т л и ч аю щ и й с я тем, что величины к , ч , ζ лежат в многоугольнике AFQH На тройной диаграмме (за исключением прямой АН), границы которого соответствуют значениям
X 3 2 А 0,01 0/9 9 0,00 F 0 , 01 0,40 0,59 (; 0 , 2 -5 0,50 0,25 Н 0 . 3 5 0,65 0 , 00
4 , Способ ПО П о
1 ,
0 , 01 0 ,01 0, 0' 6 0 3 0 0 Q ,39 ,69 0 ; 1 5 О 2 О 0 ,60 . с Гг . . . Л1 - -Ч . ... J !j' ;· /.· о (, , 2 5 0,- 5 0 0 ,25 ж 0,15 0, 6 0 0 , 2 5 5 „ Способ ю п t 1 , о т л и ч а- Ю ill о2 й с л тем - что величины л, у , Z лежат в многоу гольиикеn&COlP я ск тройной диаграмме , границы кото- рог С; сорт вето ТВ у ют '/ начениям
отлил а-щ и й с я тем, что величины у , .ζ лежат в многоугольнике ч/КГСМ на тройной диаграмме, границы которого соответствуют значени2
ϋ : . 01 0 ,44 0,55 0 01 0 , С т 0 , 9 5 у с; С 4 ϋ , ϋ Λ 0,95 0; 2 5 0 ,01 0-, 7 4 0 25 с 0,50 0 , . 1 5 о ,f -- - 0,50 6 . Сп ос ;об по и : 1 . о т л и ч а и й 0 я тем - что обхеиг в ат-
мосфере кислорода начинают при темпсратуре не ниже 1С00сС.
SU792806600A 1978-08-17 1979-08-16 Способ изготовлени пьезоэлектрического керамического материала SU1068029A3 (ru)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP53101212A JPS5939913B2 (ja) 1978-08-17 1978-08-17 圧電性磁器の製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1068029A3 true SU1068029A3 (ru) 1984-01-15

Family

ID=14294597

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU792806600A SU1068029A3 (ru) 1978-08-17 1979-08-16 Способ изготовлени пьезоэлектрического керамического материала

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4255272A (ru)
JP (1) JPS5939913B2 (ru)
DE (1) DE2932870A1 (ru)
NL (1) NL186935C (ru)
SU (1) SU1068029A3 (ru)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL7903964A (nl) * 1979-05-21 1980-11-25 Philips Nv Pieezo-elektrisch lichaam voor een elektromechanisch omvormingselement.
US4565642A (en) * 1982-07-14 1986-01-21 Hitachi, Ltd. Piezoelectric substances
US4542107A (en) * 1983-05-30 1985-09-17 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Dielectric ceramic compositions
JPS61236176A (ja) * 1985-04-11 1986-10-21 Murata Mfg Co Ltd 圧電性磁器組成物
JPS61276279A (ja) * 1985-05-30 1986-12-06 Nippon Denso Co Ltd 圧電磁器組成物
US4832893A (en) * 1986-12-17 1989-05-23 Nippondenso Co., Ltd. Method for producing a PLZT compound
US4990324A (en) * 1986-12-17 1991-02-05 Nippondenso Co., Ltd. Method for producing two-component or three-component lead zirconate-titanate
DK0395912T3 (da) * 1989-05-02 1993-12-06 Lonza Ag Sintringsdygtigt zirconiumoxidpulver og fremgangsmåde til dets fremstilling
US5527501A (en) * 1991-06-25 1996-06-18 Nippon Soken Inc. Process for producing piezoelectric ceramic sheet and dielectric ceramic sheet
US5308807A (en) * 1992-07-15 1994-05-03 Nalco Chemical Company Production of lead zirconate titanates using zirconia sol as a reactant
US5433917A (en) * 1993-09-16 1995-07-18 The Penn State Research Foundation PZT ceramic compositions having reduced sintering temperatures and process for producing same
JP3162584B2 (ja) * 1994-02-14 2001-05-08 日本碍子株式会社 圧電/電歪膜型素子及びその製造方法
JP3385999B2 (ja) * 1999-04-08 2003-03-10 株式会社村田製作所 圧電磁器組成物、それを利用した圧電ブザーおよび圧電アクチュエータ
JP3678234B2 (ja) * 2002-07-25 2005-08-03 株式会社村田製作所 積層型圧電部品の製造方法、及び積層型電子部品
JP2005072113A (ja) * 2003-08-21 2005-03-17 Ngk Insulators Ltd 圧電/電歪デバイス

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3179594A (en) * 1965-04-20 Pzt piezoelectric wave filteh ceramics
DE1223290B (de) * 1962-01-03 1966-08-18 Clevite Corp Keramik fuer ein piezolelektrisches Filter
FR1375303A (fr) * 1963-09-20 1964-10-16 Clevite Corp Compositions céramiques ferroélectriques améliorées
US3856693A (en) * 1972-12-18 1974-12-24 Bell Telephone Labor Inc Method for producing lead zirconate titanate polycrystalline ceramics
JPS5432516B2 (ru) * 1973-09-04 1979-10-15
GB1456616A (en) * 1973-12-12 1976-11-24 Murata Manufacturing Co Ferroelectric ceramic composition
JPS5436757B2 (ru) * 1974-10-09 1979-11-10
US4210546A (en) * 1974-10-09 1980-07-01 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Piezoelectric ceramic compositions
JPS5436759B2 (ru) * 1974-10-09 1979-11-10

Also Published As

Publication number Publication date
NL186935C (nl) 1991-04-02
DE2932870C2 (ru) 1989-01-19
JPS5527672A (en) 1980-02-27
US4255272A (en) 1981-03-10
NL7906251A (nl) 1980-02-19
NL186935B (nl) 1990-11-01
DE2932870A1 (de) 1980-02-28
JPS5939913B2 (ja) 1984-09-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SU1068029A3 (ru) Способ изготовлени пьезоэлектрического керамического материала
US4230589A (en) Method for producing piezoelectric ceramics
US11572317B2 (en) Dense lead metaniobate piezoelectric ceramic material and preparation method thereof
JP2990494B2 (ja) 積層セラミックキャパシタ
JP2001151573A (ja) 圧電磁器組成物
JP2003238248A (ja) 圧電磁器組成物と圧電デバイス
JP2002145666A (ja) 弾性表面波素子用圧電磁器組成物及び弾性表面波フィルタ
JP2004018321A (ja) 無鉛圧電磁器組成物及びその製造方法
JP2005194150A (ja) 圧電セラミックス
JP3266483B2 (ja) 圧電磁器組成物
JPH09124367A (ja) 圧電磁器組成物
JP3761970B2 (ja) 圧電磁器組成物
JP3771762B2 (ja) 圧電磁器組成物
JPH04270172A (ja) 圧電磁器の製造方法
JPH08231270A (ja) 圧電磁器組成物
JP3318480B2 (ja) 圧電磁器組成物
JP2003020275A (ja) 圧電磁器及びその組成物
JPH0336773A (ja) 圧電性磁器材料
JPH0616473A (ja) 圧電磁器組成物
JPS6057162B2 (ja) 強誘電性磁器組成物
JPH03271161A (ja) 強誘電性圧電磁器組成物
JP3111206B2 (ja) 鉛系複合ペロブスカイトセラミックスの製造方法
JPH08165169A (ja) 圧電磁器組成物
JPH07172913A (ja) 圧電磁器組成物
JPH0891927A (ja) 圧電磁器組成物