SU1068029A3 - Способ изготовлени пьезоэлектрического керамического материала - Google Patents
Способ изготовлени пьезоэлектрического керамического материала Download PDFInfo
- Publication number
- SU1068029A3 SU1068029A3 SU792806600A SU2806600A SU1068029A3 SU 1068029 A3 SU1068029 A3 SU 1068029A3 SU 792806600 A SU792806600 A SU 792806600A SU 2806600 A SU2806600 A SU 2806600A SU 1068029 A3 SU1068029 A3 SU 1068029A3
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- alpha
- composition
- oxygen
- lie
- firing
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
- H10N30/853—Ceramic compositions
Description
нительно ввод т по крайней мере, одно соединение каЛ1;ЦИК,, бари , стронци р кадми из расчета замещени до 20 ат,% свинца в конечном продукте,
3. Способ по п. 1, о т л и ч аю щ и и с там; что величины к , i , Z лежат в многоугольнике AF5ri ria тройной диаграмме (за исключени пр мой ДН); границы которого соответствуют значени м
4 Способ по п 1, о т л и ч Fю Ц и и с тем. что зел чин1л ,( , :/ , Z в многоугольнике J/KLG: На тройной диаграмме, грс1ницы которого соответствуют значени м
Изобретение относиго к области пььзотехники и может быть применено в различных устройствах с пьезоэлект рической керамикой, п частности плч изготозлегги элементов , работа:о1цих на поверхностных акустиггеских волнах
Из есте -: сцособ изготовлени и;:.а:и электрических керамических материалов оонове титаната баон или циркоката-титаната свинца по о5 лгчнэк кepaми ecкoй технологии с испо; ьэо ванием об/хнга в возд ;:ЛЕ;о;1 атмог- Ье ре 1.
Однако тагсим образом не удаетс получить достаточно горочную и беспо ристую керамику, что преп тствует ее; применению в устройствах с иополъзо занием поверхностных с1кусткческкх волк и образцов малой толщины, а Caic;:cG дл получени бс льишк амп л г-уд колебаний„
Наиболее близким к ,цанному способ иэготозлани пьезоэлекчрнчёского керамического матермала :;а основе сист мы
;ръ(,„,)о,.. )5 --;:Ръх.-п, ,
где 1/4 i с. 3/4, а величины ;, ч 2 лекат в многоугольнике А BCD БF ка тройной диаграмме, границы гсоторогп соответстзуют значени м
6, Способ по п : 1; ю щ и и о теМ; что обхсиг а :iiмосфере сиолорода на шнаот гж темiiyTc-jv ;;; у;е1;;иЕани иоодн.лх с;;а;;ине Пий :;.виндГ; олова.; :.урьглы.. тчтана и циркони , формовани jaroTDEOK и их обжига Г2 .
Однако таким обрезом ка удастс получить пьезоэлектрический латериал высокого качестг;а меха н ич е с к о и ч н с:-;: порами ,:
даль изобретени есва изделий.
Указанна pejib ,;io что согласно спосоЕ-у :; 1 е .S оэ л е к ;г р кч е с к о г с iaTG; ;иал :Э на осьюве
о- T-ix 3 Ле 1/4 о- i 3/4. rs величины х , / лежат в многоугол;,никб ABCDE ройной диаграмме ,- искллче ниег.1 пр мой AE), границы которого соответствуют значени м путем смешивани исходных соединений свинца, олова, сурьмы, титана и циркони , формо-вани заготовок и их обжига, в .исходную шихту дополн тельно ввод т 0,05-5 мас.%, по кра ней мере, одного оксида из группы Мп02 , MgO, Сг202, а Обжиг провод т в атмосфере кислорода с содержание 02 80 об.%. При этом возможно дополнительн введение в шихту, по крайней мере одного соединени кальци , бари , стронци , кадми из расчета замещ ни до 20 ат„% св-индав конечном продукте. Величины X, v, 2 могут также лежать в многоугольнике на тройной диаграмг е (за исключением пр мой АН), границы которого соот ветствуют значени м Величины X , У,2 лежат в много на тройной диаг угольнике , границы которого соответств ют значени м Величины X , У,2 лежат в мног угольнике NBCOLP на тройной ди рамме, границы которого соответст вуют значени м Обжиг в атмосфере кислорода начинают при температуре не ниже 1000с. Составь., заключенные в многоугольнике AFGH , предназначены предпочтительно дл использовани в электромеханических преобразовател х, работающих при высокой температуре. Составы,заключенные в многоугольнике :7/KLGM , предпочтительно могут быть использованы в резонаторах пьезоэлектрических фильтров, а в многоугольнике NBCOLP - дл элементов, работающих на поверхностных волнах. Исходные материалы взвешивают в соответствии с формулой ХРЬ{ .)Оз -4ГЪТ10з - PbZrO, где d. Находитс в пределах 1/4-3/4, К смеси добавл ют компоненты-добавки (соединени Мп, Mg, Сг) в виде оксидов, карбонатов, гидроксидов, оксалатов и других соединений, разлагающихс при термообработке с образованием оксидов. Смесь.увлажн ют и перемешивают в шаровой мельнице по .крайней мере 10 ч, затем кальцинируют при ббО-ЭОС С, перетирают при увлажнении с соответствующими св зующими, сушат, гранулируют и формуют заготовки (диски, пластины) при давлении 700-1000 кг/см. Заготовки обжигают при 1100-1350°С в атмосфере , содержащей не менее 80 об.% кислорода о В керамике указанных составов образуетс промежуточна фаза со структурой типа пирохлора состава Pb2 ni2 Sb2 2o;07-ot котора располагаетс на границах зерен на ранних этапах обжига. Эта фаза существует примерно вплоть до 1200°С, когда происходит образование конечного продукта, и вли ет на микроструктуру и свойства керамики. Кислородные дефекты пирохлорной фазы способствуют переносу ионов кислорода к границам зерен, что делает возможным изготовление мелкозернистой и плотной керамики . На конечном этапе пирохлорна фаза переходит в фазу перовскитную РЬ(ЯГ.ПЪ)ОЗ, При обжиге в атмосфере с содержанием более 80% кислорода подвижность ионов кислорода сквозь кислородные дефекты пирохлорной фазы резко возрастает без испарени оксида свинца и реакции агломерации жидкой фазы. Содержание кислорода 95% обеспечивает получение малопористого материала с высокой механической прочностью. Обжиг можно вести двум пут ми: первый , когда спекание в атмосфере с высоким содержанием кислорода начинаетс непосредственно перед по влением плотно расположенных пор, иначе говор около 1000°С, или спекание в атмосфере с большой концентрацией кислорода проводитс на всем этапе
ние 2 ч. Кальцинированный материал перетирают с соответствующими органическими св зующими веществами, сушат и гранулируют дл получени мелкозернистого порошка. Полученный порошок формуют в пластины в форме квадрата со стороной 50 мм и толщиной 1,2 мм или в диски диаметром
1/20,010,980,01
3/40,010,600,39
3/40,01-0,600,39
2/30,010,550,44
1/20,01 0,440,55
1/30,010,400,59
3/40,010,400,59
1/20,010,400,59
1/40,010,400,59
1/20,010,300,69
3/40,010,300,69
3/40,010,040,95
1/30,030,770,20 1/40,040,010,95
3/40,050,550,40
1/20,050,550,40
1/40,050,550,40
1/40,050,550,40
1/20,050,350,60
1/20,050,300,65
1/20,050,300,65
3/40,050,100,85
3/40,050,100,85
22 мм и толщиной 1,2 мм под давлением 1000 кг/см. Пластины и диски обжигают с использованием корундовой трубчатой печи, представленной на фиг„ 1, при 1250с в течение 2 ч в кислородной атмосфере. Концентраци кислорода в атмосфере приведена в табл. 1.
Таблица 1
Продолжение табл. 1
5,0
2,0
100 90
- - 1,0
85
0,1 0,1 100
L , 5 1,5
90
О , 7 100 1 О О 100
90
95
Продолжение табл. 1
il3 nOJiyxfeilHCJ
у г:ьйзозлект} ОБЯТ розоьагч H;v;e радиа,пг,Н( име колпба; / ; образом J ающие на asryc
BOJTHax о Ii3 oiOBJitttiyie к s режиме р; зозле(т1эл | ее; .Зжен на
,цс
золирующе;
о и
,i;,KCK сИ(-,Ь:;{ен и; зйрпинм :;:i3jfтрех; имени T;;;LPO}.;( и; : l-iзc:Jl spy;:;;;;Г: ( прило}ке11:ем . i4; f; I i о; ; .1 з j 11 к т р} i , О к В/мм , ;
TzpOV : -;; l;j (Г ГГООТИПОГ О,ПОЖНЬ
;Т ;ог:ог; . л/п-i-ovи ,и. мости I ;. коэффициен:ект ромеханическо св зи (Кр) ;фф;-;циг:нта механической добротЛ- . :ip:
колебани ми по тол3 течение . ч выдерживают в пе5н ibUC дл проведени первого : тс рмкческого старени , затем -(ел ют коэффициент эле ктромеха:ко ; ;.;ЕЯЗИ К , ; к fvexaHH4ecKyic jTHoci-b (Од,) После этого ре:ор -с вновь помеи/ают в печь при е услози х дл проведени втоifHKira термического старени , i определ ют 1соэффиг :ие нт элект;анической св зи (К }„ лоиое старекке провод т непо;Tiie;;iio после копировки дл 11Кл а ни и г;ьезозлектрических юэтсму результатыJ полуJO ;:ооле второго цикла тер ичеост ронк , отображают характе - -ку :;ормкч,еското старени керараоотаюгдие ка акустирхьостных волнах, подэрени м :созффициента кической св зи на поверхстическкх волнах (К), ого коэффициента иентраль -../-,-: 1/
,е J5 с 1-, ; и запоЕерхностных спространзник (L) Импеа :. I:-i ) раоочитыЕают гребенчатых элект- ,Ло:с: ричеокую :1роницаемость :; ;- резонаторов, работамцих -1ме радиального расширени , У1атс;роп,, работа ощих s режиме ую толщине- измер ют с :10 омкосГлого 1-.10ота. КоэффициvjiGi-/ ром€:ханичеокой с.з зи ,. и :спэс1;г;-ицие 1т механической ::.- 1: ...р - --.) измер ют с .и:- ;тг-;|;,:;р(ртных схеМ;,
112
2 Потери Я|1при рас . простi НИИ ,
1ДБ/СМ 351518 31,9 30,3 5,0 506 361885 30,7 30,3 1,3 777 18,7 +40 495 33 20.18 25,4 25,0 1,6 916 17,2 +21
19,25,4132016,6 -25 477 113 0,6
--- 8,9 -75 250 239 0,4
- -.
- - 11.,з -70 217 275 0,5
26,85,0101 26,45,4705
28,11,4724 28,81,0741
28,41,41359 17,6 +15 426 46 0,3
19,65,31664 16,5 +41 410 153 0,5 19,44,91703 15,,3 +10 402 161 0,4 - - 15,4 -65 301 218 0,6 - -- 15,3 -58 297 225 0,3
- -
- -.- .
18,95., 5653 35,64,8 80
32,36,1536
34,51,4102 32,44,7174
4,56,3976 16,0 +32 378 175 0,4
Продолжение табл. 2 579 105 0,5 566 108 0,6
|(хдпри pacI I простI ipaHei I кии, i дБ./CM 905 26 1318 21,1 20,9 0,9 894 25 1523 21,0 20,8 1,0 1753 3 133 - - 512 27 2558 20,6 19,6 4,9 437192019-45962573 -28410108-- 66310 40112125-67292 534252108-4,84,5 6,3 68 40324 19565,05,0 0, 37513328-- 71 303 2448593-- 3079118-- 2947294-- 2156618-- 2736128-- 2445466-- 2355248 Состав керамики выходит за пределы объема
Коэффициент электромеханической св зи дл акустических поверхност- ных волн (Кддуу) получен из следующего уравнени :
(V2- V,)/-/, 1-1 + ( 1/2()
где скорость акустической поверхностной волны, если на пути распространени отсутствует металлический слой; V2- скорость акустической поверхности волны, если на пути распространени предусмотрен металлический слой.
tf
Продолжение табл. 2
Температурный коэффициент центральной частоты получен из следующего уравнени :
51ШЬ. 10V°C,
max ,5AW
f
20 °C
f 20 с - центральна частота
при 2 Ос;
- максимальное значение
mav центральной частоты при изменении температуры от до
+8о°с; 00 34 18 -15,0 -42 543 121 0,5 -9,9 -75 566 110 0,6 64 287 данного изобретени
миьимальное значение центральной частоты при HSMGbietiMH темпера , Сг
туры от -20 С до
80 ;
Потери при распространении в фил трах на акустических поверхностных волках определ ют следующим образом С использованием указа нных пластин пьезоэлектрической керамики готов фильтры на акустических поверхностн волнах с центральной частотой 10 i-ir (как показано на фиг. 3) при помощи обеспечени гребенчатых электродов
Т
Т,
на пове рхности
-1 2 пластины , g i. .ji j -i
электроды Т
гребенчатого электрода ны от
и е.(р, р.,
рассто ние венно (размер
электродов указа; на фиг, 5)„
Потери при рассчитаны из
V ДГ),/С
во врем распростраКени акустических поверхностных волн от преобразовательного электрс- да Т
к преобразовательным элгк дам Т2 и Tj соответстве-нно.
Из табл, 1 и 2 видно, что получаема пьезоэлектрическа керамика на основе системы }-Ъ ( Яп..,:Ь,, /(i,-- р; ,менее 25%, причем при гер гческом старении скорость изменени К мала,
Пьезоэлектрическа керамика составлена из мелких сферическгих зсреч с одинаковым размером; Б то врем кан типова керамика сравниваемого оорп;-;ца составлена из болыи.их, разного размера зерен. Это доказывают, ч-::о образование пр омежуточной фазы, i.e. пирохлорной фазы с кислородным дефон:том , происходит в системе РЬ : г;,,,: :i/, ,,- Пирохлорна фаза кислородным дефектом, зыраженна
формулой Ь2ivjo/: 1)2..1(,/ 7-0/- образуег с на границах зерен на раннем vvr;-пе обжига и присутствует гшлоть ло повышек1-1ой температуры около 12ЭО:;: в твердом сОСТо кии, При :ITOM o;ia ограничивает рост зерен, не происходит агломераци пор,- так ка:-; кислородный способствует говышениЕо подвижнос ти газо образного кислорода на границах зерен. 1а закл ;1читальном этапе спекани пирохлорна фаза с кислородным дефрктг)м преобразуетс s структуру перопскита .
Таким образом, возможно nojsy e ние мелкозернистой и плотной пьезоэлектрической керамики с малым ра::мером пор и малой пори стостью, обладающей высокой механической проч ностью,, повгткченным коэффициентом
:.бжи1
три :
1КИЯ
: т в
дл использовани в элементах на акустических поверхностных волнах. Причиной того, что в р де колонок отсутствуют экспериментальные данные , вл етс то, что состав не предназначен дл использовани в этих област х.
Пример 2. Этот пример даетс в качестве объ снени свойств пьезоэлектрической керамики, предназначенной дл использовани в фильтрах на акустических поверхностных волнах. В примере используют соста7 ,90(6 0,02)528 7,86(Й 0,01)477 7,75(i 0,03)282 7,87(6 0,02)519 7,84(6 0,01)394 7,73(6 0,04)212 7,85(d 0,03)427 7,85((э 0,01)456 7,73Й 0,02)271 ( воздух 1 7,86(6 0,02; 27-3 Гор чее прессование 7,85(6 0,01) 366 34-1 90 7,75(6 0,03.) 243 34-2 20 ( ВОЗЛУХ : 7,85(6 0,02) 375 34-3 Гор чее прессорнние 7,90(С;, 0,01) 400 18-1 100 7,79(6 0,02) 236 18-2 20 ( во-злух
вы, соответствующие составам образцов 19 и 31 в примере 1. Контрольные образцы готов т по примеру 1, за тем исключением, что измен ют концентрацию кислорода (указана в табл, 3).
Дл сравнени прессованием получают образцы из тех же составов, что и указанные образцы. Гор чую прессовку провод т при 350 кг/см в течение 2 ч при 1200°С.
Физические и механические свойства полученных образцов представлены в табл. 3.
Таблица 3 1518 1355 672 1437 1058 563 1197 1125 -3 683 ГЗ
2
2 1
8-15 8-15
12
Объемну ; плотност. керамргкк о редел ют метсдом ги;г1рсм:татлческс; взвешиванр с использованием пол рованных образцоз с: тонким слоем воска, их norpyiKasoa в папну с );чи КИМ гексахлор-1-3-:;бу. aiineiiObi inn ность 1,6829 //c-i- 1-РИ 20 :;:; , ilp веденные s тобп, 3 результаты и югс средней зе.гкчjiuoi- ,пл измерений , каждсгс o6pari.a, Б табл,, -5р ;к:до;:г) также .;;иое отк.по :ен;1о ; --г, .
и
Ра,Яг.:ер TKKJ (H pi;;;6jHnyr iron oi ража ч ель ного э;ю;т;(.)н но го ми к о скопа с иС1 :оль:; ;;a::i :;-ECN: 1;ол :ровп ;: Образцов, ;;i. ;-:м vopoa к рамики оутркдол л;; . рР: r-(Mo:;U-i pa розого злектрО|; о: T; микрсзслола : noJlb30Ba -uiOM ;а:; ;р:глианных pfioa; ; под13 ;:р1нуть;х ;; гололне .; нию мри J2C(V л 1 а-М()сфс;р( (л-л-и-л-г свинца. JliH л л;: J л Л слр-iH :л: гллг иг, ти к лласГ1гл л лои д(л(;ог Л-;-.1л-тл ::.i7. л ют таордосл, ил Знхлск :л. (iU/,) ; KoTOj-)yL:, f; ал г л-лгы7;а;от с 1лл:л ура7П1ени
JiiJO-ii ocT;; ка 5-;з1иб опрс; прр; уHKi)Upcaj;bKoic; i i-ioro прибора да трех KOiKT, разцоо ; 5-30 толщина О;5зерек опредо.
1Лл лоры - Вл юто сферическими,
П Г; и г-1 с р 3. 3TfjT пример при:лу1Л ): д.л с-бъ сйени свойств пьезоьлек лллгеел-гггй керамики дл керамим ;-1-ал вибра fopof . 1с;1ользу:-от солчл:вь; , соолветструголио составам обра:ли н ; 5, 2/- и 34, Контрольные образпь; лодулают до примеру 2. Кон: )аци кислорода щзиведена в 3, (.;оолаг Ы обрагщов 25 и 34 )длы дл нспользоБани в зысс л 1 слчлералурл - х керамичеосих вибраOp jC:MHaH члотносгЬ- твердость Л) В л :керс у лролкость ка изгиб, лглл.:сл 3cpL- ::ристалла и средний ра:: ;лар or рглтел ют гл лримеру 2,. ;ллл.л- ; аль. 1;г)едс в абл. 3
;,;,;Л СЛЛОДОЛЛ НИЯ ЛРОЧЛОСТИ КЭраМИгГИ
,;,-ллллллг.:К: образцы 21-1 и 27-2 г:од лмч лол л лг-)еменному нап1э жению : .Л1 KOje6aH:ift 0,01 с, ПрихоJЛ (::лллл ла лдикицу плогцади злеклрил;лксл з;лдлл мен етс от 3 до ; ЛЛ ir. При каждом из значений з:.л( лглчоз кол мо;дносли исподь зуют ::1зл;:л- об ллл;о;л Колилестио разруша :;;:лл сл; .амил(( зибрато;эов гфед ;сллгро Л; Hijf образдн 34-л и 34-2 :1: :лнллг aiov иллгьгаикю на термический уллл. Уел мТлчил провод т в ,1иапазоме ЛЛ комьа нок температурн до 250°;; лллду-oiiiKM образом. В вчение 20 мин
2с. В испытании используют 36 образцов .
Из фиг. 5 и 6 видно, что процесс обжига при высокой концентрации кислорода обеспечивает получение вибраторов , предназначенных дл работы при повышенных температурах с высоткой устойчивостью к действию термических ударов,
Пример 4 „ Этот приме 1 приведен в качестве объ снени свойств пьезоэлектрической керамики, предназначенной дл использовани в керамических фильтрах.
Готов т образцы, состав их соответствует составу образцов 18 и 28, способ изготовлени по примеру 2. Концентраци кислорода дл каадого образца .приведена в табл„ 3. Состав образца 18 пригоден дл использовани в фильтрах с продольным типом колебаний, состав образца 28 - дл фильтров с колебани ми по толщине. Контрольные образцы готов т методом гор чей прессовки по примеру 2.
Объемна плотность, твердость по Виккерсу, прочность на изгиб, размер зерен и средний размер по керамики определ ют по примеру 2„ Результаты представлены в табл. 3.
В табл. 3 дл сравнени приведены также результаты испытани образdll N2
а
иг.2
г
цов, изготовленных из состава 0,48 РЪТ10з-0,52 РъггОз+ 0,5 вес.% АХ ОзЧ+0 ,5 вес.% SiO известной технологии . Контрольные образцы дл сравнени R-1 и R-2 готов т обжигом в кислодной атмосфере, концентраци кислорода приведена в табл. 3, а образцы Р,-1) готов т гор чей прессовкой при указанных услови х.
Приведенные в табл. 3 данные твердости по Виккерсу, прочности на изгиб, размеру зерен и среднему размеру пор вл ютс средней величиной дл дес ти измерений.
Из табл. 3 видно, что возможно .получение пьезоэлектрической керамики с малой пористостью, малым средним размером пор и мелкими зернами в сравнении с керамикой, полученной при гор чей прессовке. Кроме того, полученна керамика обладает твердостью по Виккерсу и высокой прочностью на изгиб в сравнении с образцами, полученными при гор чей прессовке.
Несмотр на то г что существует веро тность загр знени такими примес ми , как AlgO, Si02 и т.д., содержащимис в исходных материалах или в материалах, использованных дл создани атмосферы свинца, такие примеси вл ютс допустимыми.
gPbTiO,
5i)ljWOO
f(-f 0/KSHHfffl :://iP/ff/7p(-//TSCffyfl 2-7, / ,;
Фиг. 6
Claims (4)
1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКОГО КЕРАМИЧЕСКОГО МАТЕРИАЛА на .основе системы х Рс ( Г) ) 03 - |-J ri 03 - ζ о7.гоэ , где 1/4 4 об Г 3/4, а величины х, у , ζ лежат в многоугольнике АВСДЕ на тройной диаграмме (за исключением прямой АВ), границы которого соответствуют значениям
путем смешивания исходных соединений свинца, олова, сурьмы, титана и циркония, формования заготовок и их обжига, отличающийся тем, что, с целью.повышения качества изделий, в исходную шихту дополнительно вводят 0,05-5 мас.%, по крайней мере, одного оксида из группы Мп02, мк0, Сг, а обжиг проводят в атмосфере кислорода с содержанием О2 } 80 об.%.
с \шшйиши й ./
5 Фиг.1
SU ,,,1068029
2. Способ по π. 1, о т л и ч аю щ и й с я тем, что з шихту дополнительно вводят, по крайней мере, одно соединение'кальция, бария, стронция, кадмия из расчета замете.....
ния до 20 ат,% свинца в конечном продукте,
3, Способ по π. 1, о т л и ч аю щ и й с я тем, что величины к , ч , ζ лежат в многоугольнике AFQH На тройной диаграмме (за исключением прямой АН), границы которого соответствуют значениям
4 , Способ ПО П о
1 ,
отлил а-щ и й с я тем, что величины у , .ζ лежат в многоугольнике ч/КГСМ на тройной диаграмме, границы которого соответствуют значени2
мосфере кислорода начинают при темпсратуре не ниже 1С00сС.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP53101212A JPS5939913B2 (ja) | 1978-08-17 | 1978-08-17 | 圧電性磁器の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1068029A3 true SU1068029A3 (ru) | 1984-01-15 |
Family
ID=14294597
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU792806600A SU1068029A3 (ru) | 1978-08-17 | 1979-08-16 | Способ изготовлени пьезоэлектрического керамического материала |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4255272A (ru) |
JP (1) | JPS5939913B2 (ru) |
DE (1) | DE2932870A1 (ru) |
NL (1) | NL186935C (ru) |
SU (1) | SU1068029A3 (ru) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL7903964A (nl) * | 1979-05-21 | 1980-11-25 | Philips Nv | Pieezo-elektrisch lichaam voor een elektromechanisch omvormingselement. |
US4565642A (en) * | 1982-07-14 | 1986-01-21 | Hitachi, Ltd. | Piezoelectric substances |
US4542107A (en) * | 1983-05-30 | 1985-09-17 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Dielectric ceramic compositions |
JPS61236176A (ja) * | 1985-04-11 | 1986-10-21 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電性磁器組成物 |
JPS61276279A (ja) * | 1985-05-30 | 1986-12-06 | Nippon Denso Co Ltd | 圧電磁器組成物 |
US4832893A (en) * | 1986-12-17 | 1989-05-23 | Nippondenso Co., Ltd. | Method for producing a PLZT compound |
US4990324A (en) * | 1986-12-17 | 1991-02-05 | Nippondenso Co., Ltd. | Method for producing two-component or three-component lead zirconate-titanate |
DK0395912T3 (da) * | 1989-05-02 | 1993-12-06 | Lonza Ag | Sintringsdygtigt zirconiumoxidpulver og fremgangsmåde til dets fremstilling |
US5527501A (en) * | 1991-06-25 | 1996-06-18 | Nippon Soken Inc. | Process for producing piezoelectric ceramic sheet and dielectric ceramic sheet |
US5308807A (en) * | 1992-07-15 | 1994-05-03 | Nalco Chemical Company | Production of lead zirconate titanates using zirconia sol as a reactant |
US5433917A (en) * | 1993-09-16 | 1995-07-18 | The Penn State Research Foundation | PZT ceramic compositions having reduced sintering temperatures and process for producing same |
JP3162584B2 (ja) * | 1994-02-14 | 2001-05-08 | 日本碍子株式会社 | 圧電/電歪膜型素子及びその製造方法 |
JP3385999B2 (ja) * | 1999-04-08 | 2003-03-10 | 株式会社村田製作所 | 圧電磁器組成物、それを利用した圧電ブザーおよび圧電アクチュエータ |
JP3678234B2 (ja) * | 2002-07-25 | 2005-08-03 | 株式会社村田製作所 | 積層型圧電部品の製造方法、及び積層型電子部品 |
JP2005072113A (ja) * | 2003-08-21 | 2005-03-17 | Ngk Insulators Ltd | 圧電/電歪デバイス |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3179594A (en) * | 1965-04-20 | Pzt piezoelectric wave filteh ceramics | ||
DE1223290B (de) * | 1962-01-03 | 1966-08-18 | Clevite Corp | Keramik fuer ein piezolelektrisches Filter |
FR1375303A (fr) * | 1963-09-20 | 1964-10-16 | Clevite Corp | Compositions céramiques ferroélectriques améliorées |
US3856693A (en) * | 1972-12-18 | 1974-12-24 | Bell Telephone Labor Inc | Method for producing lead zirconate titanate polycrystalline ceramics |
JPS5432516B2 (ru) * | 1973-09-04 | 1979-10-15 | ||
GB1456616A (en) * | 1973-12-12 | 1976-11-24 | Murata Manufacturing Co | Ferroelectric ceramic composition |
JPS5436757B2 (ru) * | 1974-10-09 | 1979-11-10 | ||
US4210546A (en) * | 1974-10-09 | 1980-07-01 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Piezoelectric ceramic compositions |
JPS5436759B2 (ru) * | 1974-10-09 | 1979-11-10 |
-
1978
- 1978-08-17 JP JP53101212A patent/JPS5939913B2/ja not_active Expired
-
1979
- 1979-08-14 DE DE19792932870 patent/DE2932870A1/de active Granted
- 1979-08-16 NL NLAANVRAGE7906251,A patent/NL186935C/xx not_active IP Right Cessation
- 1979-08-16 SU SU792806600A patent/SU1068029A3/ru active
- 1979-08-17 US US06/067,420 patent/US4255272A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
NL186935C (nl) | 1991-04-02 |
DE2932870C2 (ru) | 1989-01-19 |
JPS5527672A (en) | 1980-02-27 |
US4255272A (en) | 1981-03-10 |
NL7906251A (nl) | 1980-02-19 |
NL186935B (nl) | 1990-11-01 |
DE2932870A1 (de) | 1980-02-28 |
JPS5939913B2 (ja) | 1984-09-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
SU1068029A3 (ru) | Способ изготовлени пьезоэлектрического керамического материала | |
US4230589A (en) | Method for producing piezoelectric ceramics | |
US11572317B2 (en) | Dense lead metaniobate piezoelectric ceramic material and preparation method thereof | |
JP2990494B2 (ja) | 積層セラミックキャパシタ | |
JP2001151573A (ja) | 圧電磁器組成物 | |
JP2003238248A (ja) | 圧電磁器組成物と圧電デバイス | |
JP2002145666A (ja) | 弾性表面波素子用圧電磁器組成物及び弾性表面波フィルタ | |
JP2004018321A (ja) | 無鉛圧電磁器組成物及びその製造方法 | |
JP2005194150A (ja) | 圧電セラミックス | |
JP3266483B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
JPH09124367A (ja) | 圧電磁器組成物 | |
JP3761970B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
JP3771762B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
JPH04270172A (ja) | 圧電磁器の製造方法 | |
JPH08231270A (ja) | 圧電磁器組成物 | |
JP3318480B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
JP2003020275A (ja) | 圧電磁器及びその組成物 | |
JPH0336773A (ja) | 圧電性磁器材料 | |
JPH0616473A (ja) | 圧電磁器組成物 | |
JPS6057162B2 (ja) | 強誘電性磁器組成物 | |
JPH03271161A (ja) | 強誘電性圧電磁器組成物 | |
JP3111206B2 (ja) | 鉛系複合ペロブスカイトセラミックスの製造方法 | |
JPH08165169A (ja) | 圧電磁器組成物 | |
JPH07172913A (ja) | 圧電磁器組成物 | |
JPH0891927A (ja) | 圧電磁器組成物 |