JP3385999B2 - 圧電磁器組成物、それを利用した圧電ブザーおよび圧電アクチュエータ - Google Patents
圧電磁器組成物、それを利用した圧電ブザーおよび圧電アクチュエータInfo
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は圧電磁器組成物、
それを利用した圧電ブザーおよび圧電アクチュエータに
関し、特にたとえば、圧電アクチュエータ、圧電ブザ
ー、圧電センサ、圧電セラミックフィルタなどに利用す
るのに適する圧電磁器組成物、それを利用した圧電ブザ
ーおよび圧電アクチュエータに関する。
それを利用した圧電ブザーおよび圧電アクチュエータに
関し、特にたとえば、圧電アクチュエータ、圧電ブザ
ー、圧電センサ、圧電セラミックフィルタなどに利用す
るのに適する圧電磁器組成物、それを利用した圧電ブザ
ーおよび圧電アクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、圧電磁器組成物を利用した圧電装
置は多種多様であり、たとえば、圧電ブザー、圧電アク
チュエータ、圧電センサ、圧電セラミックフィルタなど
がある。
置は多種多様であり、たとえば、圧電ブザー、圧電アク
チュエータ、圧電センサ、圧電セラミックフィルタなど
がある。
【０００３】図１はこの発明の背景となりかつこの発明
が適用され得る圧電ブザーの一例を示す平面図であり、
図２はその圧電ブザーの正面図である。図１および図２
に示す圧電ブザー１０は、たとえば円板状の金属板１２
を含む。金属板１２上の中央には、たとえば円板状の圧
電磁器１４が形成される。この圧電磁器１４は厚み方向
に分極される。また、圧電磁器１４上には、電極１６が
形成される。この圧電ブザー１０では、金属板１２と電
極１６との間に交流信号が入力されると、圧電磁器１４
および金属板１２が振動し、音が発生する。
が適用され得る圧電ブザーの一例を示す平面図であり、
図２はその圧電ブザーの正面図である。図１および図２
に示す圧電ブザー１０は、たとえば円板状の金属板１２
を含む。金属板１２上の中央には、たとえば円板状の圧
電磁器１４が形成される。この圧電磁器１４は厚み方向
に分極される。また、圧電磁器１４上には、電極１６が
形成される。この圧電ブザー１０では、金属板１２と電
極１６との間に交流信号が入力されると、圧電磁器１４
および金属板１２が振動し、音が発生する。
【０００４】図３はこの発明の背景となりかつこの発明
が適用され得る圧電アクチュエータの一例を示す側面図
である。図３に示す圧電アクチュエータ２０は、積層さ
れる多数の短冊状の圧電磁器２２を含む。これらの圧電
磁器２２は、隣合うものが互いに逆の厚み方向に分極さ
れる。これらの圧電磁器２２間には、内部電極２４がそ
れぞれ形成される。この場合、１つおきの内部電極２４
は圧電磁器２２の長手方向における一端にそれぞれ引き
出され、他の内部電極２４は圧電磁器２４の長手方向に
おける他端にそれぞれ引き出される。また、これらの圧
電磁器２４の両側面には、外部電極２６、２６がそれぞ
れ形成される。この場合、一方の外部電極２６は１つお
きの内部電極２４に接続され、他方の外部電極２６は他
の内部電極２４に接続される。この圧電アクチュエータ
２０では、外部電極２６、２６間に一定方向に直流信号
を印加すると、全体が圧電磁器２２の厚み方向に伸び
て、スイッチなどの他の部材に作用する。
が適用され得る圧電アクチュエータの一例を示す側面図
である。図３に示す圧電アクチュエータ２０は、積層さ
れる多数の短冊状の圧電磁器２２を含む。これらの圧電
磁器２２は、隣合うものが互いに逆の厚み方向に分極さ
れる。これらの圧電磁器２２間には、内部電極２４がそ
れぞれ形成される。この場合、１つおきの内部電極２４
は圧電磁器２２の長手方向における一端にそれぞれ引き
出され、他の内部電極２４は圧電磁器２４の長手方向に
おける他端にそれぞれ引き出される。また、これらの圧
電磁器２４の両側面には、外部電極２６、２６がそれぞ
れ形成される。この場合、一方の外部電極２６は１つお
きの内部電極２４に接続され、他方の外部電極２６は他
の内部電極２４に接続される。この圧電アクチュエータ
２０では、外部電極２６、２６間に一定方向に直流信号
を印加すると、全体が圧電磁器２２の厚み方向に伸び
て、スイッチなどの他の部材に作用する。
【０００５】上述のような圧電装置の実装工程において
は、圧電磁器がたとえばリフロー炉などの２００℃以上
の高温下にさらされることがある。このような背景から
圧電磁器の耐熱性が求められている。チタン酸ジルコン
酸鉛（以下、ＰＺＴと称す）系圧電磁器の耐熱性を向上
させるためには、圧電磁器のキュリー温度を高くするこ
とと、圧電磁器の電気抵抗率を低下させることが有効で
あることが知られている。圧電磁器の電気抵抗率を低下
させる理由は、キュリー温度より低い温度で発生する焦
電電荷によって生じる逆電界のために分極が反転し、圧
電特性（圧電ｄ定数、電気機械結合係数）が劣化するの
を抑制する効果が得られるためである。ＰＺＴ系磁器の
キュリー温度を大きく低下させずに電気抵抗率を低下さ
せるには、ＣｒやＭｎを微量添加させる方法が知られて
いる。しかし、ＣｒやＭｎを添加すると圧電特性が低下
するため、さらにＮｂやＳｂを添加したり、ＰｂをＣ
ａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｌａなどで置換することにより、キュ
リー点がやや低下するものの電気抵抗率は低いままで圧
電特性の低下を抑制していた。このような圧電磁器組成
物として、たとえば、特開平１０−７４６０号公報およ
び特開平１０−９５６６６号公報には、ＰＺＴにＬａ、
Ｃｒ、Ｓｂを含有させたものが開示されている。
は、圧電磁器がたとえばリフロー炉などの２００℃以上
の高温下にさらされることがある。このような背景から
圧電磁器の耐熱性が求められている。チタン酸ジルコン
酸鉛（以下、ＰＺＴと称す）系圧電磁器の耐熱性を向上
させるためには、圧電磁器のキュリー温度を高くするこ
とと、圧電磁器の電気抵抗率を低下させることが有効で
あることが知られている。圧電磁器の電気抵抗率を低下
させる理由は、キュリー温度より低い温度で発生する焦
電電荷によって生じる逆電界のために分極が反転し、圧
電特性（圧電ｄ定数、電気機械結合係数）が劣化するの
を抑制する効果が得られるためである。ＰＺＴ系磁器の
キュリー温度を大きく低下させずに電気抵抗率を低下さ
せるには、ＣｒやＭｎを微量添加させる方法が知られて
いる。しかし、ＣｒやＭｎを添加すると圧電特性が低下
するため、さらにＮｂやＳｂを添加したり、ＰｂをＣ
ａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｌａなどで置換することにより、キュ
リー点がやや低下するものの電気抵抗率は低いままで圧
電特性の低下を抑制していた。このような圧電磁器組成
物として、たとえば、特開平１０−７４６０号公報およ
び特開平１０−９５６６６号公報には、ＰＺＴにＬａ、
Ｃｒ、Ｓｂを含有させたものが開示されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
従来の圧電磁器組成物では、ＣｒやＭｎによる圧電特性
の劣化が大きく、ＮｂやＳｂを添加、またはＰｂをＣ
ａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｌａなどで置換することにより圧電特
性の劣化を抑制しても、まだまだ圧電特性が低く、圧電
ブザーや圧電アクチュエータに求められるような高い圧
電特性と高耐熱性を高い水準で両立させることはできな
いという問題があった。圧電ブザー、圧電アクチュエー
タなどの性能は、圧電磁器の圧電特性（圧電ｄ定数、電
気機械結合係数）が大きいほど高くなる。一方でリフロ
ーによる実装により性能が劣化しないことや、高温下で
の安定な駆動などが重要であるため、圧電磁器の耐熱性
も要求される。
従来の圧電磁器組成物では、ＣｒやＭｎによる圧電特性
の劣化が大きく、ＮｂやＳｂを添加、またはＰｂをＣ
ａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｌａなどで置換することにより圧電特
性の劣化を抑制しても、まだまだ圧電特性が低く、圧電
ブザーや圧電アクチュエータに求められるような高い圧
電特性と高耐熱性を高い水準で両立させることはできな
いという問題があった。圧電ブザー、圧電アクチュエー
タなどの性能は、圧電磁器の圧電特性（圧電ｄ定数、電
気機械結合係数）が大きいほど高くなる。一方でリフロ
ーによる実装により性能が劣化しないことや、高温下で
の安定な駆動などが重要であるため、圧電磁器の耐熱性
も要求される。
【０００７】それゆえに、この発明の主たる目的は、圧
電磁器の耐熱性と圧電特性を従来より高い水準で両立さ
せることができる圧電磁器組成物を提供することであ
る。また、この発明の他の目的は、耐熱性および圧電特
性を従来より高い水準で両立した圧電磁器が用いられた
圧電ブザーを提供することである。さらに、この発明の
他の目的は、耐熱性および圧電特性を従来より高い水準
で両立した圧電磁器が用いられた圧電アクチュエータを
提供することである。
電磁器の耐熱性と圧電特性を従来より高い水準で両立さ
せることができる圧電磁器組成物を提供することであ
る。また、この発明の他の目的は、耐熱性および圧電特
性を従来より高い水準で両立した圧電磁器が用いられた
圧電ブザーを提供することである。さらに、この発明の
他の目的は、耐熱性および圧電特性を従来より高い水準
で両立した圧電磁器が用いられた圧電アクチュエータを
提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明にかかる圧電磁
器組成物は、組成式ＰｂA 〔（Ｔｉx Ｚｒ1-x ）a （Ｓ
ｎy Ｃｒ1-y ）b Ｓｂc 〕Ｏ3 の組成で表されるチタン
酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）のＰｂ原子の０．２モル％以
上２モル％以下をＬａで置換し、かつ、組成式中のＡ、
ｘ、ｙ、ａ、ｂ、ｃは０．９４≦Ａ≦１．０２、０．４
６≦ｘ≦０．５１、０．０１≦ｙ≦０．５、０．０１≦
ｂ≦０．０３、０．０１≦ｃ≦０．０４、ａ＋ｂ＋ｃ＝
１であることを特徴とする、圧電磁器組成物である。こ
の発明にかかる圧電ブザーは、圧電磁器が用いられた圧
電ブザーであって、圧電磁器にこの発明にかかる圧電磁
器組成物が利用された、圧電ブザーである。この発明に
かかる圧電アクチュエータは、圧電磁器が用いられた圧
電アクチュエータであって、圧電磁器にこの発明にかか
る圧電磁器組成物が利用された、圧電アクチュエータで
ある。
器組成物は、組成式ＰｂA 〔（Ｔｉx Ｚｒ1-x ）a （Ｓ
ｎy Ｃｒ1-y ）b Ｓｂc 〕Ｏ3 の組成で表されるチタン
酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）のＰｂ原子の０．２モル％以
上２モル％以下をＬａで置換し、かつ、組成式中のＡ、
ｘ、ｙ、ａ、ｂ、ｃは０．９４≦Ａ≦１．０２、０．４
６≦ｘ≦０．５１、０．０１≦ｙ≦０．５、０．０１≦
ｂ≦０．０３、０．０１≦ｃ≦０．０４、ａ＋ｂ＋ｃ＝
１であることを特徴とする、圧電磁器組成物である。こ
の発明にかかる圧電ブザーは、圧電磁器が用いられた圧
電ブザーであって、圧電磁器にこの発明にかかる圧電磁
器組成物が利用された、圧電ブザーである。この発明に
かかる圧電アクチュエータは、圧電磁器が用いられた圧
電アクチュエータであって、圧電磁器にこの発明にかか
る圧電磁器組成物が利用された、圧電アクチュエータで
ある。
【０００９】この発明にかかる圧電磁器組成物では、Ｐ
ＺＴのＰｂ原子の一部をＬａで置換し、かつ、Ｔｉおよ
びＺｒサイト（Ｂサイト）の一部をＳｂで置換すること
により、圧電磁器の高い圧電特性（圧電ｄ定数、電気機
械結合係数）を得ることができる。さらに、この発明に
かかる圧電磁器組成物では、Ｂサイトの一部をＣｒで置
換することにより、圧電磁器の圧電特性は若干低下する
ものの、電気抵抗率を低下させ、耐熱性を向上させるこ
とができる。さらに、この発明にかかる圧電磁器組成物
では、Ｃｒの一部をＳｎで置換することにより、圧電磁
器の耐熱性は良好のままで、Ｃｒによる圧電特性の低下
をさらに抑制することができる。これは、ＳｎがＣｒと
比較して粒内に固溶しやすいため、Ｓｂの粒内への固溶
も促進されると考えられる。その結果として、Ｓｂの粒
界への析出が減少するため、ＰｂとＳｂからなる異相化
合物の生成が抑制され、圧電磁器の圧電特性が向上する
と考えられる。
ＺＴのＰｂ原子の一部をＬａで置換し、かつ、Ｔｉおよ
びＺｒサイト（Ｂサイト）の一部をＳｂで置換すること
により、圧電磁器の高い圧電特性（圧電ｄ定数、電気機
械結合係数）を得ることができる。さらに、この発明に
かかる圧電磁器組成物では、Ｂサイトの一部をＣｒで置
換することにより、圧電磁器の圧電特性は若干低下する
ものの、電気抵抗率を低下させ、耐熱性を向上させるこ
とができる。さらに、この発明にかかる圧電磁器組成物
では、Ｃｒの一部をＳｎで置換することにより、圧電磁
器の耐熱性は良好のままで、Ｃｒによる圧電特性の低下
をさらに抑制することができる。これは、ＳｎがＣｒと
比較して粒内に固溶しやすいため、Ｓｂの粒内への固溶
も促進されると考えられる。その結果として、Ｓｂの粒
界への析出が減少するため、ＰｂとＳｂからなる異相化
合物の生成が抑制され、圧電磁器の圧電特性が向上する
と考えられる。
【００１０】この発明の上述の目的、その他の目的、特
徴および利点は、以下の発明の実施の形態の詳細な説明
から一層明らかとなろう。
徴および利点は、以下の発明の実施の形態の詳細な説明
から一層明らかとなろう。
【００１１】
【発明の実施の形態】（実施例）原料粉末として、Ｐｂ
Ｏ、Ｌａ2 Ｏ3 、ＴｉＯ2 、ＺｒＯ2 、Ｃｒ2 Ｏ3 、Ｓ
ｎＯ2 、Ｓｂ2 Ｏ3 を用意した。次に、これらの粉末を
表１に示す組成になるように秤量し、これに水を加え
て、ボールミルを用いて１６時間湿式混合した。なお、
表１には、組成式ＰｂA 〔（Ｔｉx Ｚｒ1-x ）a （Ｓｎ
y Ｃｒ1-y ）b Ｓｂ c 〕Ｏ3 の組成で表されるチタン酸
ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）のＰｂ原子をＬａで置換した割
合Ｌａ（モル％）と、その組成式中のＡ、ｘ、ｙ、ｂ、
ｃの各値とを示す。また、その組成式中、ａ＋ｂ＋ｃ＝
１である。
Ｏ、Ｌａ2 Ｏ3 、ＴｉＯ2 、ＺｒＯ2 、Ｃｒ2 Ｏ3 、Ｓ
ｎＯ2 、Ｓｂ2 Ｏ3 を用意した。次に、これらの粉末を
表１に示す組成になるように秤量し、これに水を加え
て、ボールミルを用いて１６時間湿式混合した。なお、
表１には、組成式ＰｂA 〔（Ｔｉx Ｚｒ1-x ）a （Ｓｎ
y Ｃｒ1-y ）b Ｓｂ c 〕Ｏ3 の組成で表されるチタン酸
ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）のＰｂ原子をＬａで置換した割
合Ｌａ（モル％）と、その組成式中のＡ、ｘ、ｙ、ｂ、
ｃの各値とを示す。また、その組成式中、ａ＋ｂ＋ｃ＝
１である。
【００１２】
【表１】
【００１３】そして、得られた混合物を乾燥し、８００
〜９５０℃の温度で仮焼した。この仮焼粉に有機バイン
ダーを加え、プレス成形した後、１０５０〜１２００℃
の温度で焼成し、所望の磁器を得た。この磁器を厚さ
０．６ｍｍに研磨した後、その両主面に電極を形成し、
絶縁オイル中で２〜３ｋＶ／ｍｍの電界で分極処理を行
った。その後、この磁器を３ｍｍ×１３ｍｍ×０．６ｍ
ｍの圧電素子となるようにカットした。
〜９５０℃の温度で仮焼した。この仮焼粉に有機バイン
ダーを加え、プレス成形した後、１０５０〜１２００℃
の温度で焼成し、所望の磁器を得た。この磁器を厚さ
０．６ｍｍに研磨した後、その両主面に電極を形成し、
絶縁オイル中で２〜３ｋＶ／ｍｍの電界で分極処理を行
った。その後、この磁器を３ｍｍ×１３ｍｍ×０．６ｍ
ｍの圧電素子となるようにカットした。
【００１４】次に、この圧電素子の比誘電率（ε33 T ／
ε0 ）、圧電特性（ｋ31、｜ｄ31｜）、電気抵抗率
（ρ）、キュリー温度（Ｔｃ）を測定した。耐熱性の指
標としては、加熱後測定として、その圧電素子を２４０
℃中に３分間放置し、室温で２４時間経過後の圧電特性
（ｋ31、｜ｄ31｜）を測定した。それらの結果を表２に
示す。なお、表１および２において、試料番号に＊印を
付したものはこの発明の範囲外のものである。
ε0 ）、圧電特性（ｋ31、｜ｄ31｜）、電気抵抗率
（ρ）、キュリー温度（Ｔｃ）を測定した。耐熱性の指
標としては、加熱後測定として、その圧電素子を２４０
℃中に３分間放置し、室温で２４時間経過後の圧電特性
（ｋ31、｜ｄ31｜）を測定した。それらの結果を表２に
示す。なお、表１および２において、試料番号に＊印を
付したものはこの発明の範囲外のものである。
【００１５】
【表２】
【００１６】表１および２に示すように、この発明にか
かる圧電磁器組成物の組成範囲の圧電素子は、圧電ｄ31
定数が｜ｄ31｜≧２００ｐＣ／Ｎと大きく、かつ、その
圧電素子を２４０℃中に３分間放置し、室温で２４時間
経過後の圧電定数ｄ31も、｜ｄ31｜≧２００ｐＣ／Ｎと
大きいという特徴を持つ。
かる圧電磁器組成物の組成範囲の圧電素子は、圧電ｄ31
定数が｜ｄ31｜≧２００ｐＣ／Ｎと大きく、かつ、その
圧電素子を２４０℃中に３分間放置し、室温で２４時間
経過後の圧電定数ｄ31も、｜ｄ31｜≧２００ｐＣ／Ｎと
大きいという特徴を持つ。
【００１７】一方、試料番号６および１１のように、こ
の発明にかかる圧電磁器組成物の組成式においてＰｂの
含有量Ａが０．９４≦Ａ≦１．０２の範囲から外れる領
域では、圧電磁器の焼結性が悪いため、好ましくない。
の発明にかかる圧電磁器組成物の組成式においてＰｂの
含有量Ａが０．９４≦Ａ≦１．０２の範囲から外れる領
域では、圧電磁器の焼結性が悪いため、好ましくない。
【００１８】また、試料番号１のようにＰｂと置換する
ＬａのＰｂに対するモル比が０．２モル％未満のもの、
試料番号１２および１５のようにＴｉ／Ｚｒ比における
Ｔｉのモル比ｘが０．４６≦ｘ≦０．５１の範囲から外
れるもの、試料番号２４のようにＳｂの含有量ｃが０．
０１未満のもの、試料番号２３のようにＳｎとＣｒの合
計の含有量ｂが０．０３を超えるもの、試料番号１６の
ようにＣｒをＳｎで置換しないものは、圧電ｄ31定数が
｜ｄ31｜＜２００ｐＣ／Ｎと小さく、好ましくない。
ＬａのＰｂに対するモル比が０．２モル％未満のもの、
試料番号１２および１５のようにＴｉ／Ｚｒ比における
Ｔｉのモル比ｘが０．４６≦ｘ≦０．５１の範囲から外
れるもの、試料番号２４のようにＳｂの含有量ｃが０．
０１未満のもの、試料番号２３のようにＳｎとＣｒの合
計の含有量ｂが０．０３を超えるもの、試料番号１６の
ようにＣｒをＳｎで置換しないものは、圧電ｄ31定数が
｜ｄ31｜＜２００ｐＣ／Ｎと小さく、好ましくない。
【００１９】また、試料番号５のようにＰｂと置換する
ＬａのＰｂに対するモル比が２モル％を超えるものは、
キュリー温度が２５０℃以下となり、耐熱性が悪く、好
ましくない。
ＬａのＰｂに対するモル比が２モル％を超えるものは、
キュリー温度が２５０℃以下となり、耐熱性が悪く、好
ましくない。
【００２０】また、試料番号１９のようにＳｎのＣｒに
対する置換量ｙが０．５を超えるもの、試料番号２０の
ようにＣｒとＳｎの合計の含有量ｂが０．０１未満のも
の、試料番号２７のようにＳｂの含有量ｃが０．０４を
超えるものは、絶縁抵抗率が１×１０10Ω・ｍ以上と大
きくなるため、耐熱性が悪く、好ましくない。
対する置換量ｙが０．５を超えるもの、試料番号２０の
ようにＣｒとＳｎの合計の含有量ｂが０．０１未満のも
の、試料番号２７のようにＳｂの含有量ｃが０．０４を
超えるものは、絶縁抵抗率が１×１０10Ω・ｍ以上と大
きくなるため、耐熱性が悪く、好ましくない。
【００２１】以上より、実施例において、この発明の範
囲内における圧電磁器は、圧電定数ｄ31、およびその圧
電磁器を２４０℃中に３分間放置し、室温で２４時間経
過後の圧電定数ｄ31が、｜ｄ31｜≧２００ｐＣ／Ｎと大
きい。すなわち、この発明にかかる圧電磁器組成物から
なる圧電磁器は、従来の圧電磁器と比較して、圧電特性
（ｋ31、｜ｄ31｜）と耐熱性を高い水準で両立するもの
である。
囲内における圧電磁器は、圧電定数ｄ31、およびその圧
電磁器を２４０℃中に３分間放置し、室温で２４時間経
過後の圧電定数ｄ31が、｜ｄ31｜≧２００ｐＣ／Ｎと大
きい。すなわち、この発明にかかる圧電磁器組成物から
なる圧電磁器は、従来の圧電磁器と比較して、圧電特性
（ｋ31、｜ｄ31｜）と耐熱性を高い水準で両立するもの
である。
【００２２】この発明にかかる圧電磁器組成物は、たと
えば、図１および図２に示す圧電ブザー１０の圧電磁器
１４や図３に示す圧電アクチュエータ２０の圧電磁器２
２に利用することができるとともに、圧電磁器を用いた
他の圧電装置にも利用することができる。この場合、圧
電磁器は耐熱性および圧電特性を従来より高い水準で両
立する。
えば、図１および図２に示す圧電ブザー１０の圧電磁器
１４や図３に示す圧電アクチュエータ２０の圧電磁器２
２に利用することができるとともに、圧電磁器を用いた
他の圧電装置にも利用することができる。この場合、圧
電磁器は耐熱性および圧電特性を従来より高い水準で両
立する。
【００２３】
【発明の効果】この発明によれば、圧電磁器の高耐熱性
と高い圧電特性を従来より高い水準で両立させることが
できる圧電磁器組成物が得られる。そのため、この発明
にかかる圧電磁器組成物をたとえば圧電ブザーや圧電ア
クチュエータに用いることにより、実装時のリフローや
高温下での駆動に対して安定であり、かつ電界誘起変位
の大きい圧電装置を得ることができる。
と高い圧電特性を従来より高い水準で両立させることが
できる圧電磁器組成物が得られる。そのため、この発明
にかかる圧電磁器組成物をたとえば圧電ブザーや圧電ア
クチュエータに用いることにより、実装時のリフローや
高温下での駆動に対して安定であり、かつ電界誘起変位
の大きい圧電装置を得ることができる。
【図１】この発明の背景となりかつこの発明が適用され
得る圧電ブザーの一例を示す平面図である。
得る圧電ブザーの一例を示す平面図である。
【図２】図１に示す圧電ブザーの正面図である。
【図３】この発明の背景となりかつこの発明が適用され
得る圧電アクチュエータの一例を示す側面図である。
得る圧電アクチュエータの一例を示す側面図である。
１０ 圧電ブザー
１２ 金属板
１４ 圧電磁器
１６ 電極
２０ 圧電アクチュエータ
２２ 圧電磁器
２４ 内部電極
２６ 外部電極
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平３−104179（ＪＰ，Ａ)
特開 平10−95665（ＪＰ，Ａ)
特開 平１−170299（ＪＰ，Ａ)
特開 平10−95666（ＪＰ，Ａ)
特開 昭51−125900（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 41/187
Claims (3)
- 【請求項１】 組成式ＰｂA 〔（Ｔｉx Ｚｒ1-x ）
a （Ｓｎy Ｃｒ1-y ）bＳｂc 〕Ｏ3 の組成で表される
チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）のＰｂ原子の０．２モ
ル％以上２モル％以下をＬａで置換し、かつ、組成式中
のＡ、ｘ、ｙ、ａ、ｂ、ｃは０．９４≦Ａ≦１．０２、
０．４６≦ｘ≦０．５１、０．０１≦ｙ≦０．５、０．
０１≦ｂ≦０．０３、０．０１≦ｃ≦０．０４、ａ＋ｂ
＋ｃ＝１であることを特徴とする、圧電磁器組成物。 - 【請求項２】 圧電磁器が用いられた圧電ブザーであっ
て、前記圧電磁器に請求項１に記載の圧電磁器組成物が
利用された、圧電ブザー。 - 【請求項３】 圧電磁器が用いられた圧電アクチュエー
タであって、前記圧電磁器に請求項１に記載の圧電磁器
組成物が利用された、圧電アクチュエータ。
Priority Applications (6)
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|---|---|---|---|
| JP10094199A JP3385999B2 (ja) | 1999-04-08 | 1999-04-08 | 圧電磁器組成物、それを利用した圧電ブザーおよび圧電アクチュエータ |
| DE10015183A DE10015183C2 (de) | 1999-04-08 | 2000-03-27 | Piezoelektrische Keramikzusammensetzung, dieselbe verwendender Summer und Aktuator |
| CN00106525A CN1104395C (zh) | 1999-04-08 | 2000-04-06 | 压电陶瓷组合物及其在制备蜂鸣器和控制器中的应用 |
| US09/544,850 US6280650B1 (en) | 1999-04-08 | 2000-04-06 | Piezoelectric ceramic composition, buzzer and actuator using the same |
| FR0004383A FR2791974B1 (fr) | 1999-04-08 | 2000-04-06 | Composition ceramique piezo-electrique et vibreur et actuateur l'utilisant |
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|---|---|---|---|
| JP10094199A JP3385999B2 (ja) | 1999-04-08 | 1999-04-08 | 圧電磁器組成物、それを利用した圧電ブザーおよび圧電アクチュエータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000294852A JP2000294852A (ja) | 2000-10-20 |
| JP3385999B2 true JP3385999B2 (ja) | 2003-03-10 |
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP10094199A Expired - Fee Related JP3385999B2 (ja) | 1999-04-08 | 1999-04-08 | 圧電磁器組成物、それを利用した圧電ブザーおよび圧電アクチュエータ |
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| JP3678234B2 (ja) * | 2002-07-25 | 2005-08-03 | 株式会社村田製作所 | 積層型圧電部品の製造方法、及び積層型電子部品 |
| DE112005002386B4 (de) * | 2004-10-01 | 2010-06-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd., Nagaokakyo | Piezoelektrische Keramikzusammensetzung und piezoelektrisches keramisches Elektronikbauteil |
| CN100431186C (zh) * | 2005-08-18 | 2008-11-05 | 音赐股份有限公司 | 压电陶瓷复合体及其制成的压电激发器、压电喇叭和压电蜂鸣器 |
| GB0710078D0 (en) * | 2007-05-25 | 2007-07-04 | Stfc Science & Technology | Extension sensing actuator |
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| JPS5939913B2 (ja) * | 1978-08-17 | 1984-09-27 | 株式会社村田製作所 | 圧電性磁器の製造方法 |
| JPH0766692B2 (ja) * | 1990-02-26 | 1995-07-19 | 太陽誘電株式会社 | 高周波用誘電体磁器組成物 |
| JPH107460A (ja) * | 1996-06-20 | 1998-01-13 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 圧電磁器組成物 |
| JPH1095667A (ja) * | 1996-09-18 | 1998-04-14 | Taiyo Yuden Co Ltd | 誘電体磁器組成物及び磁器コンデンサ |
-
1999
- 1999-04-08 JP JP10094199A patent/JP3385999B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-03-27 DE DE10015183A patent/DE10015183C2/de not_active Expired - Fee Related
- 2000-04-06 FR FR0004383A patent/FR2791974B1/fr not_active Expired - Fee Related
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