JPH0336773A - 圧電性磁器材料 - Google Patents
圧電性磁器材料Info
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- JPH0336773A JPH0336773A JP1172529A JP17252989A JPH0336773A JP H0336773 A JPH0336773 A JP H0336773A JP 1172529 A JP1172529 A JP 1172529A JP 17252989 A JP17252989 A JP 17252989A JP H0336773 A JPH0336773 A JP H0336773A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、セラミックフィルタ、セラミック発振子、セ
ラミックディスクリミネータ、表面弾性波素子などの圧
電素子に用いられる圧電性磁器材料に関するものである
。
ラミックディスクリミネータ、表面弾性波素子などの圧
電素子に用いられる圧電性磁器材料に関するものである
。
(従来技術)
従来、上述のような圧電素子に用いられる圧電性磁器材
料には、PbT t03−PbZr03−Pb (Mg
1/3Nb2/3)03系やPbTl03−PbZrO
3Pb(Mg1/3Nb2/3)Os系などの三元系の
ものがあった。
料には、PbT t03−PbZr03−Pb (Mg
1/3Nb2/3)03系やPbTl03−PbZrO
3Pb(Mg1/3Nb2/3)Os系などの三元系の
ものがあった。
しかしながら、このような三元系の圧電性磁器材料は、
300℃程度のキュリー点を有しているが、実際には、
第1図の圧電特性(径方向の電気機械結合係数〉と温度
との関係を示す特性図の点MAから理解できるように、
キュリー点よりも100℃以下低い温度から圧電特性が
劣化しはじめる。このために、従来の三元系の圧電性磁
器材料の使用上限温度を200℃程度の限定しなければ
ならず、耐熱性が悪かった。この原因としては、第3戒
分として固溶させた P b (M n !/3N b 2/3) OstP
b(Mg1/3Nb2/3)03 のキュリー点が低いこと、圧電性磁器材料が本質的に脱
分極を起こしやすいことなどが挙げられる。
300℃程度のキュリー点を有しているが、実際には、
第1図の圧電特性(径方向の電気機械結合係数〉と温度
との関係を示す特性図の点MAから理解できるように、
キュリー点よりも100℃以下低い温度から圧電特性が
劣化しはじめる。このために、従来の三元系の圧電性磁
器材料の使用上限温度を200℃程度の限定しなければ
ならず、耐熱性が悪かった。この原因としては、第3戒
分として固溶させた P b (M n !/3N b 2/3) OstP
b(Mg1/3Nb2/3)03 のキュリー点が低いこと、圧電性磁器材料が本質的に脱
分極を起こしやすいことなどが挙げられる。
また一方では、近年、電子部品のチップ化が進んでおり
、小型で表面実装が可能なチップ型圧電素子が開発され
ている。このようなチップ型圧電素子は、半田付は時に
300℃程度の高温にさらされるようになり、従来の三
元系の圧電性磁器材料では、耐熱性において信頼性の高
いチップ型圧型素子t−得ることができず、耐熱性の高
い圧電性磁器材料の要求が高まっている。
、小型で表面実装が可能なチップ型圧電素子が開発され
ている。このようなチップ型圧電素子は、半田付は時に
300℃程度の高温にさらされるようになり、従来の三
元系の圧電性磁器材料では、耐熱性において信頼性の高
いチップ型圧型素子t−得ることができず、耐熱性の高
い圧電性磁器材料の要求が高まっている。
また、従来の三元系の圧電性磁器材料では、第2図の共
振周波数変化率と経過時間との関係を示す特性図の点*
Cから理解できるように、共振周波数の変化率が0.5
%/Time dicade程度になり、圧電素子に加
工した後で、圧電素子の共振周波数を初期の値から大き
く変動してしまった。
振周波数変化率と経過時間との関係を示す特性図の点*
Cから理解できるように、共振周波数の変化率が0.5
%/Time dicade程度になり、圧電素子に加
工した後で、圧電素子の共振周波数を初期の値から大き
く変動してしまった。
このような問題点を解決するために、
PbT103 PbZr03−
Pb(Yb1/2Nb1/2)03系の三元系の圧電性
磁器材料が案出されている(特公昭45−10311号
公報参照)。
磁器材料が案出されている(特公昭45−10311号
公報参照)。
←従来技術の問題点)
上述した圧電性磁器材料は、耐熱性や共振周波数の経時
変化率については改良されるものの、焼成後の圧電素子
に寸法的に大きな反りやうねりが生じ、実際に使用する
ことは困難であった。
変化率については改良されるものの、焼成後の圧電素子
に寸法的に大きな反りやうねりが生じ、実際に使用する
ことは困難であった。
そこで本発明は、上述した問題点を解消しようとするも
のであり、耐熱性、共振周波数の経時変化率に優れ、し
かも圧電素子に生じる反りやうねりが小さい圧電性磁器
材料を提供することを目的とするものである。
のであり、耐熱性、共振周波数の経時変化率に優れ、し
かも圧電素子に生じる反りやうねりが小さい圧電性磁器
材料を提供することを目的とするものである。
(問題点を解決するための手段)
本発明の圧電性磁器材料は、上述した目的を達成するた
めに次のような構成が採用される。
めに次のような構成が採用される。
すなわち、
一般式:
%式%
で表され、その組成比の範囲が、
0.95 ≦ ^ ≦ 1,05
0.20 ≦ α ≦ 0.80
(但し、α=0.5を除く)
0.01 ≦ X ≦ 0.20
0 ≦ y 50.70
0.29 ≦ 2 ≦ 0.99
(但し、x+y+z=1)であることを特徴とする。
本発明の圧電性磁器材料が一般式:
%式%
で表わされ、その組成比の範囲を、
0.95 ≦ A ≦ 1.05
0.20 ≦ α ≦ 0.80
(但し、α=0.5を除く)
0.01 ≦ X ≦ 0.20
0 ≦ y ≦ 0.70
0.29 ≦ 2 ≦ 0599
に限定するのは、次のような理由からである。
1)Aが0.95未満あるいは1.05を超えた場合に
は、製造時の焼結性が悪くなってしまう。
は、製造時の焼結性が悪くなってしまう。
2)αが0.2未満あるいは0.8を超えた場合には、
所望の高い電気機械結合係数が得られず、また、α=0
.5の場合では焼成後の圧電素子に大きな反りやうねり
を生じさせてしまう。
所望の高い電気機械結合係数が得られず、また、α=0
.5の場合では焼成後の圧電素子に大きな反りやうねり
を生じさせてしまう。
3)xが0.01未満では、耐熱性を向上させることが
できず、また、Xが0.20を超えると耐熱性が低下し
てしまう。
できず、また、Xが0.20を超えると耐熱性が低下し
てしまう。
4)yが0.70を超えると、所望の高い電気機械結合
係数が得られない。
係数が得られない。
5 ) zが0.29未満では、所望の高い電気機械結
合係数が得られず、また2が0.99を超えるとx+y
+z=1のためXは0.01未満となり耐熱性を向上す
ることができない。
合係数が得られず、また2が0.99を超えるとx+y
+z=1のためXは0.01未満となり耐熱性を向上す
ることができない。
(実施例)
以下に、本発明の実施例を詳細に説明する。
まず、出発原料としてPbO,TlO2゜ZrO2*
Yb203t Nb2O5の各酸化物を所定の割合で、
第1表に示す一般式: %式%) で表される組成になるように秤量しこれら酸化物をボー
ルミルにて湿式混合を行い、原料粉末を得た。
Yb203t Nb2O5の各酸化物を所定の割合で、
第1表に示す一般式: %式%) で表される組成になるように秤量しこれら酸化物をボー
ルミルにて湿式混合を行い、原料粉末を得た。
次に、この原料粉末を乾燥後、700〜900℃の温度
で2〜3時間、仮焼し、仮焼粉末を得た。
で2〜3時間、仮焼し、仮焼粉末を得た。
次に、この仮焼粉末にPVAのような有機系バインダー
を加え、再びボールミルにて湿式混合を行なった後、整
粒し、成形圧力1t/Cm2で加圧成形することによっ
て、円板状の成形体を得た。
を加え、再びボールミルにて湿式混合を行なった後、整
粒し、成形圧力1t/Cm2で加圧成形することによっ
て、円板状の成形体を得た。
次に、この成形体を1000〜1250℃の温度で2〜
8時間焼成し、直径20mm、厚さ1mmの圧電性磁器
を得た。
8時間焼成し、直径20mm、厚さ1mmの圧電性磁器
を得た。
次に、この圧電性磁器の両生表面に焼付けることによっ
て銀電極を形成した後、50〜80℃の絶縁油中におい
て、2〜3KV/mmの電圧を印加して30分間分極処
理を行い、圧電素子の試料を得た。
て銀電極を形成した後、50〜80℃の絶縁油中におい
て、2〜3KV/mmの電圧を印加して30分間分極処
理を行い、圧電素子の試料を得た。
この試料について、誘電率(εrL径方向の電気機械結
合係数(Kpy%)9機械的品質係数(Qm)、耐熱温
度(’C)および反り、うねり変形量(m m )を測
定し、その結果を第2表に示した。
合係数(Kpy%)9機械的品質係数(Qm)、耐熱温
度(’C)および反り、うねり変形量(m m )を測
定し、その結果を第2表に示した。
なお、耐熱温度は、試料を3分間保持して、Kpの値が
初期値に対して90%以上の値を示す温度の中での最高
温度を示した。
初期値に対して90%以上の値を示す温度の中での最高
温度を示した。
また、反り、うねり変形量は、第3図に示すように、圧
電素子1を板3の上におき、板8の上面から圧電素子1
の反り部2の上面までの距離(T)から圧電素子1の厚
み(1)を減した値で示した。
電素子1を板3の上におき、板8の上面から圧電素子1
の反り部2の上面までの距離(T)から圧電素子1の厚
み(1)を減した値で示した。
さらに、第1表中の「*」印は、本発明の範囲外を示す
。
。
また、第1図および第2図には、従来の圧電性磁器材料
との圧電特性を比較するために、本発明の圧電性磁器材
料の実施例である試料(試料番号13)t−用いて、本
発明の圧電性磁器材料の径方向の電気機械結合係数を測
定し、その結果をそれぞれ実線Bおよび実線りとして示
している。
との圧電特性を比較するために、本発明の圧電性磁器材
料の実施例である試料(試料番号13)t−用いて、本
発明の圧電性磁器材料の径方向の電気機械結合係数を測
定し、その結果をそれぞれ実線Bおよび実線りとして示
している。
(以下、余白)
第1表
*印は本発明の範囲外
星主炎
本印は本発明の範囲外
第1表および第2表から一般式:
PbA((YbaNbl−a)xTlyZrz )03
で表された、A、α、x、y、zの組成比の範囲を、0
.95 ≦ A ≦ 1.05 0.20 ≦ α ≦ 0.80 (但し、α=0.5を除く) 0.01 ≦ X ≦ 0.20 0 ≦ y :50.70 0.29 ≦ 2 ≦ 0.99 としたことによって本発明が成り立つことが明らかであ
る。
で表された、A、α、x、y、zの組成比の範囲を、0
.95 ≦ A ≦ 1.05 0.20 ≦ α ≦ 0.80 (但し、α=0.5を除く) 0.01 ≦ X ≦ 0.20 0 ≦ y :50.70 0.29 ≦ 2 ≦ 0.99 としたことによって本発明が成り立つことが明らかであ
る。
まず、Aについては試料番号1〜5に注目すれば明らか
なように、本発明の試料(試料番号2〜4)は本発明の
範囲外の試料(試料番号1,5)に比べて、誘電率、電
気機械結合係数2機械的品質係数、耐熱温度に優れてい
る。
なように、本発明の試料(試料番号2〜4)は本発明の
範囲外の試料(試料番号1,5)に比べて、誘電率、電
気機械結合係数2機械的品質係数、耐熱温度に優れてい
る。
αについては、試料番号6〜10に注目すれば明らかな
ように、本発明の試N(試料番号7,9)は、本発明の
範囲外の試料(試料番号6.10)に比べて、誘電率、
電気機械結合係数2機械的品質係数、耐熱温度に優れて
おり、また、α=0゜5の試料(試料番号8)と比べる
と、反り、うねり変形量を約90%小さくできるように
なる。
ように、本発明の試N(試料番号7,9)は、本発明の
範囲外の試料(試料番号6.10)に比べて、誘電率、
電気機械結合係数2機械的品質係数、耐熱温度に優れて
おり、また、α=0゜5の試料(試料番号8)と比べる
と、反り、うねり変形量を約90%小さくできるように
なる。
Xについては、試料番号11〜14に注目すれば明らか
なように、本発明の試料(試料番号12゜13)は本発
明の範囲外の試料(試料番号11゜14)に比べて、耐
熱性が向上することがわかる。
なように、本発明の試料(試料番号12゜13)は本発
明の範囲外の試料(試料番号11゜14)に比べて、耐
熱性が向上することがわかる。
’Ws Zについては、試料番号15〜19に注目す
れば明らかなように、本発明の試料(試料番号15〜1
7)は、本発明の範囲外の試′!4(試料番号18.1
9)に比べて、高い電気機械結合係数を得ることができ
る。
れば明らかなように、本発明の試料(試料番号15〜1
7)は、本発明の範囲外の試′!4(試料番号18.1
9)に比べて、高い電気機械結合係数を得ることができ
る。
また、第1図から明らかなように、本発明の圧電性磁器
材料は径方向の電気機械結合係数が800℃になっても
大きく劣化することがなく、従来のものと比べて、耐熱
性が向上している。
材料は径方向の電気機械結合係数が800℃になっても
大きく劣化することがなく、従来のものと比べて、耐熱
性が向上している。
さらに、第2図から明らかなように、本発明の圧電性磁
器材料は、共振周波数の変化率が061/T1me d
ecade程度になり、従来のものに比べて共振周波数
の経時変化が非常に小さくなっている。
器材料は、共振周波数の変化率が061/T1me d
ecade程度になり、従来のものに比べて共振周波数
の経時変化が非常に小さくなっている。
また、本発明の圧電性磁器材料によれば、焼成後の圧電
素子の反り、うねりの変化量を従来のものに比べて、約
90%減少させることができる。
素子の反り、うねりの変化量を従来のものに比べて、約
90%減少させることができる。
(発明の効果)
以上説明したように、本発明は圧電性磁器材料によれば
、高い耐熱性を得ることができ、しかも共振周波数の経
時変化を小さくすることができる。
、高い耐熱性を得ることができ、しかも共振周波数の経
時変化を小さくすることができる。
第1図は圧電性磁器材料の圧電特性←径方向の電気機械
結合係数)と温度との関係を示す特性図、第2図は圧電
性磁器材料の共振周波数変化率と経過時間との関係を示
す特性図、第3図は圧電素子の反り、うねり変形量を説
明するための一部側面図である。 1・・・圧電素子、2・・・反り部、3・・・板。
結合係数)と温度との関係を示す特性図、第2図は圧電
性磁器材料の共振周波数変化率と経過時間との関係を示
す特性図、第3図は圧電素子の反り、うねり変形量を説
明するための一部側面図である。 1・・・圧電素子、2・・・反り部、3・・・板。
Claims (1)
- (1)一般式: Pb_A{(YbαNb_1−α)xTiyZrz}O
_3で表され、その組成比の範囲が、 0.95≦ _A≦1.05 0.20≦α≦0.80 (但し、α=0.5を除く) 0.01≦x≦0.20 0≦y≦0.70 0.29≦z≦0.99 (但し、x+y+z=1)であることを特徴とする圧電
性磁器材料。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1172529A JPH0336773A (ja) | 1989-07-04 | 1989-07-04 | 圧電性磁器材料 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1172529A JPH0336773A (ja) | 1989-07-04 | 1989-07-04 | 圧電性磁器材料 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0336773A true JPH0336773A (ja) | 1991-02-18 |
Family
ID=15943610
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1172529A Pending JPH0336773A (ja) | 1989-07-04 | 1989-07-04 | 圧電性磁器材料 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0336773A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0663700A1 (en) * | 1993-12-27 | 1995-07-19 | TDK Corporation | Piezoelectric ceramic composition |
-
1989
- 1989-07-04 JP JP1172529A patent/JPH0336773A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0663700A1 (en) * | 1993-12-27 | 1995-07-19 | TDK Corporation | Piezoelectric ceramic composition |
US5527481A (en) * | 1993-12-27 | 1996-06-18 | Tdk Corporation | Piezoelectric ceramic composition |
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