JPH0517218A - 圧電性磁器組成物 - Google Patents
圧電性磁器組成物Info
- Publication number
- JPH0517218A JPH0517218A JP3188041A JP18804191A JPH0517218A JP H0517218 A JPH0517218 A JP H0517218A JP 3188041 A JP3188041 A JP 3188041A JP 18804191 A JP18804191 A JP 18804191A JP H0517218 A JPH0517218 A JP H0517218A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- composition
- resonance frequency
- heat resistance
- temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
(57)【要約】
【目的】 電気機械結合係数及び耐熱性が高く、しかも
経時変化が小さい圧電性磁器組成物を得ることを目的と
する。 【構成】 （Ｐｂ1-X ＭｅX )｛（Ｙｂ1/2 Ｎｂ1/2 )a
(Ｍｇ1/2 Ｗ1/2 )b Ｔｉc Ｚｒd｝Ｏ3 （ただし、ＭｅはＣａ，Ｂａ，Ｓｒから選ばれた少なく
とも１種のもの、０＜Ｘ≦０．１５， ０．０１≦ａ≦
０．２０， ０．０１≦ｂ≦０．２００≦ｃ≦０．７
０， ０．２８≦ｄ≦０．９８， ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＝
１）で表される圧電性磁器組成物。
経時変化が小さい圧電性磁器組成物を得ることを目的と
する。 【構成】 （Ｐｂ1-X ＭｅX )｛（Ｙｂ1/2 Ｎｂ1/2 )a
(Ｍｇ1/2 Ｗ1/2 )b Ｔｉc Ｚｒd｝Ｏ3 （ただし、ＭｅはＣａ，Ｂａ，Ｓｒから選ばれた少なく
とも１種のもの、０＜Ｘ≦０．１５， ０．０１≦ａ≦
０．２０， ０．０１≦ｂ≦０．２００≦ｃ≦０．７
０， ０．２８≦ｄ≦０．９８， ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＝
１）で表される圧電性磁器組成物。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電性磁器組成物に関
し、特に、セラミックフィルタ、セラミック発振子、セ
ラミックディスクリミネータ、表面弾性波素子などに用
いる圧電性磁器組成物に関する。
し、特に、セラミックフィルタ、セラミック発振子、セ
ラミックディスクリミネータ、表面弾性波素子などに用
いる圧電性磁器組成物に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、圧電性磁器としては、例え
ば、二元系のＰｂＴｉＯ3 −ＰｂＺｒＯ3 （ＰＺＴ）に
Ｂｉ2 Ｏ3 ，Ｃｒ2 Ｏ3 ，ＭｎＯ2 ，ＺｎＯ等の添加物
を加えて、圧電特性の改善を図ることが試みられてい
る。その他、三元系のＰｂＴｉＯ3 −ＰｂＺｒＯ3 −Ｐ
ｂ（Ｍｎ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3 系、ＰｂＴｉＯ3 −ＰｂＺ
ｒＯ3 −Ｐｂ（Ｍｇ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3系等の圧電材料
も開発されている。また、Ｐｂ（Ｎｉ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ
3 −ＰｂＴｉＯ3 −ＰｂＺｒＯ3 系組成も提案されてい
る（特公昭４５−３７９０７号公報等参照）。
ば、二元系のＰｂＴｉＯ3 −ＰｂＺｒＯ3 （ＰＺＴ）に
Ｂｉ2 Ｏ3 ，Ｃｒ2 Ｏ3 ，ＭｎＯ2 ，ＺｎＯ等の添加物
を加えて、圧電特性の改善を図ることが試みられてい
る。その他、三元系のＰｂＴｉＯ3 −ＰｂＺｒＯ3 −Ｐ
ｂ（Ｍｎ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3 系、ＰｂＴｉＯ3 −ＰｂＺ
ｒＯ3 −Ｐｂ（Ｍｇ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3系等の圧電材料
も開発されている。また、Ｐｂ（Ｎｉ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ
3 −ＰｂＴｉＯ3 −ＰｂＺｒＯ3 系組成も提案されてい
る（特公昭４５−３７９０７号公報等参照）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
圧電性磁器組成物からなる圧電材料は耐熱性、経時変化
特性、共振周波数の温度係数等に大きな問題を有してい
た。従来の圧電性磁器組成物からなる圧電素子、例え
ば、Ｐｂ（Ｎｉ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3 −ＰｂＴｉＯ3 −Ｐ
ｂＺｒＯ3 系のＰｂ｛（Ｎｉ1/3 Ｎｂ2/3 ）0.07Ｔｉ
0.47Ｚｒ0.46｝Ｏ3を加熱していくと、図１に破線で示
すように、キュリー点よりも１００℃以上低い温度から
徐々に熱による脱分極を起こし、電気機械結合係数Ｋｐ
からみた圧電特性の劣化が始まる。このため圧電素子の
使用上限温度はキュリー点よりはるか下の２００℃付近
に限定されていた。この原因としては、第３成分固溶に
よってキュリー点が低下してしまうことと、圧電材料が
本質的に脱分極を起こし易いことが上げられる。
圧電性磁器組成物からなる圧電材料は耐熱性、経時変化
特性、共振周波数の温度係数等に大きな問題を有してい
た。従来の圧電性磁器組成物からなる圧電素子、例え
ば、Ｐｂ（Ｎｉ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3 −ＰｂＴｉＯ3 −Ｐ
ｂＺｒＯ3 系のＰｂ｛（Ｎｉ1/3 Ｎｂ2/3 ）0.07Ｔｉ
0.47Ｚｒ0.46｝Ｏ3を加熱していくと、図１に破線で示
すように、キュリー点よりも１００℃以上低い温度から
徐々に熱による脱分極を起こし、電気機械結合係数Ｋｐ
からみた圧電特性の劣化が始まる。このため圧電素子の
使用上限温度はキュリー点よりはるか下の２００℃付近
に限定されていた。この原因としては、第３成分固溶に
よってキュリー点が低下してしまうことと、圧電材料が
本質的に脱分極を起こし易いことが上げられる。
【０００４】一方で、近年電子部品のチップ化が進み、
小型の表面実装が可能な圧電素子すなわちセラミックフ
ィルタ、セラミック発振子、ディスクリミネータ、トラ
ップ等が開発されている。従来のリード付樹脂モールド
素子や金属ケースに封入された素子では、はんだ付け実
装時に圧電セラミックスの温度上昇は２００℃程度に抑
えられていたが、これらのチップ素子でははんだ付けの
時に圧電セラミックスも３００℃程度の高温にさらされ
るようになった。従って、従来の圧電材料では耐熱性の
高い信頼性の高いチップ部品を作ることが不可能であっ
た。
小型の表面実装が可能な圧電素子すなわちセラミックフ
ィルタ、セラミック発振子、ディスクリミネータ、トラ
ップ等が開発されている。従来のリード付樹脂モールド
素子や金属ケースに封入された素子では、はんだ付け実
装時に圧電セラミックスの温度上昇は２００℃程度に抑
えられていたが、これらのチップ素子でははんだ付けの
時に圧電セラミックスも３００℃程度の高温にさらされ
るようになった。従って、従来の圧電材料では耐熱性の
高い信頼性の高いチップ部品を作ることが不可能であっ
た。
【０００５】また、共振周波数の経時変化にも大きな問
題がある。圧電セラミックスを分極処理してからの経時
変化を、時間を横軸に対数目盛りでとり、共振周波数の
変化率を縦軸にとり、図２に破線で示した。この例から
わかるように、従来の材料は０．５％／time decade 程
度の経時変化を示している。この現象は、フィルタや発
振子として加工した後でその周波数が初期の値から大き
く変動してしまうため大きな問題となっている。さら
に、共振周波数の温度係数にも問題があった。共振周波
数の温度による変化率を、温度を横軸にとり、２０℃を
基準にした共振周波数の変化率を縦軸にとり、図３に破
線で示した。この例からわかるように、従来の材料は５
００ｐｐｍ／℃程度の温度特性を示している。この現象
は使用上問題となっている。
題がある。圧電セラミックスを分極処理してからの経時
変化を、時間を横軸に対数目盛りでとり、共振周波数の
変化率を縦軸にとり、図２に破線で示した。この例から
わかるように、従来の材料は０．５％／time decade 程
度の経時変化を示している。この現象は、フィルタや発
振子として加工した後でその周波数が初期の値から大き
く変動してしまうため大きな問題となっている。さら
に、共振周波数の温度係数にも問題があった。共振周波
数の温度による変化率を、温度を横軸にとり、２０℃を
基準にした共振周波数の変化率を縦軸にとり、図３に破
線で示した。この例からわかるように、従来の材料は５
００ｐｐｍ／℃程度の温度特性を示している。この現象
は使用上問題となっている。
【０００６】本発明は、上記の問題点に鑑みてなされた
ものであり、電気機械結合係数及び耐熱性が高く、しか
も経時変化が小さい圧電性磁器組成物を提供することを
目的とする。
ものであり、電気機械結合係数及び耐熱性が高く、しか
も経時変化が小さい圧電性磁器組成物を提供することを
目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明に係る圧電性磁器
組成物は、（Ｐｂ1-X ＭｅX )｛（Ｙｂ1/2 Ｎｂ1/2 )a
(Ｍｇ1/2 Ｗ1/2 )b Ｔｉc Ｚｒd｝Ｏ3 （ただし、ＭｅはＣａ，Ｂａ，Ｓｒから選ばれた少なく
とも１種のもの ０＜Ｘ≦０．１５， ０．０１≦ａ≦０．２０， ０．
０１≦ｂ≦０．２００≦ｃ≦０．７０， ０．２８≦ｄ
≦０．９８ ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＝１）で表されること
を特徴とする。
組成物は、（Ｐｂ1-X ＭｅX )｛（Ｙｂ1/2 Ｎｂ1/2 )a
(Ｍｇ1/2 Ｗ1/2 )b Ｔｉc Ｚｒd｝Ｏ3 （ただし、ＭｅはＣａ，Ｂａ，Ｓｒから選ばれた少なく
とも１種のもの ０＜Ｘ≦０．１５， ０．０１≦ａ≦０．２０， ０．
０１≦ｂ≦０．２００≦ｃ≦０．７０， ０．２８≦ｄ
≦０．９８ ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＝１）で表されること
を特徴とする。
【０００８】本発明において、圧電性磁器組成物の組成
を上記範囲に限定した理由は次の通りである。Ｐｂの一
部をＣａ，Ｂａ，Ｓｒから選ばれた少なくとも１種のも
のに適当な割合を置換することにより、経時変化と耐熱
性と圧電特性を低下させずに、共振周波数の温度係数を
向上させる。これらのＣａ，Ｂａ，Ｓｒが多くなり、こ
れらが０．１５（モル分率、以下同じ）を超えると耐熱
性が低下し、０であると共振周波数の温度係数が改善さ
れないので、０＜Ｘ≦０．１５とした。また、（Ｙｂ
1/2 Ｎｂ1/2 ）Ｏ3 は、圧電材料の電気機械結合係数を
改善するためのもので、Ｙｂ1/2 Ｎｂ1/2 が０．０１未
満では所望の高い電気機械結合係数が得られず、０．２
０を超えると耐熱性が低下する。それゆえ０．０１≦ａ
≦０．２０とした。 （Ｍｇ1/2 Ｗ1/2 ）Ｏ3 は、圧電材料の機械的品質係数
を改善するためのもので、Ｍｇ1/2 Ｗ1/2 が０．０１未
満では所望の高い機械的品質係数が得られず、０．２０
を超えると耐熱性が低下するので、０．１≦ｂ≦０．２
０とした。Ｔｉ，Ｚｒは、圧電材料の主要な成分であ
り、Ｔｉが０．７０を超えると圧電特性が変わり、所望
の高い電気機械結合係数が得られない。Ｚｒが０．２８
未満では所望の高い電気機械結合係数が得られず、０．
９８を超えると置換、添加成分が０．０１未満となり、
その添加の効果がなくなるので、Ｔｉは０≦ｃ≦０．７
０とし、Ｚｒは０．２８≦ｄ≦０．９８とした。
を上記範囲に限定した理由は次の通りである。Ｐｂの一
部をＣａ，Ｂａ，Ｓｒから選ばれた少なくとも１種のも
のに適当な割合を置換することにより、経時変化と耐熱
性と圧電特性を低下させずに、共振周波数の温度係数を
向上させる。これらのＣａ，Ｂａ，Ｓｒが多くなり、こ
れらが０．１５（モル分率、以下同じ）を超えると耐熱
性が低下し、０であると共振周波数の温度係数が改善さ
れないので、０＜Ｘ≦０．１５とした。また、（Ｙｂ
1/2 Ｎｂ1/2 ）Ｏ3 は、圧電材料の電気機械結合係数を
改善するためのもので、Ｙｂ1/2 Ｎｂ1/2 が０．０１未
満では所望の高い電気機械結合係数が得られず、０．２
０を超えると耐熱性が低下する。それゆえ０．０１≦ａ
≦０．２０とした。 （Ｍｇ1/2 Ｗ1/2 ）Ｏ3 は、圧電材料の機械的品質係数
を改善するためのもので、Ｍｇ1/2 Ｗ1/2 が０．０１未
満では所望の高い機械的品質係数が得られず、０．２０
を超えると耐熱性が低下するので、０．１≦ｂ≦０．２
０とした。Ｔｉ，Ｚｒは、圧電材料の主要な成分であ
り、Ｔｉが０．７０を超えると圧電特性が変わり、所望
の高い電気機械結合係数が得られない。Ｚｒが０．２８
未満では所望の高い電気機械結合係数が得られず、０．
９８を超えると置換、添加成分が０．０１未満となり、
その添加の効果がなくなるので、Ｔｉは０≦ｃ≦０．７
０とし、Ｚｒは０．２８≦ｄ≦０．９８とした。
【０００９】
【作用】本発明に係る圧電性磁器組成物は、上記のよう
にＰｂの一部をＣａ，Ｂａ，Ｓｒから選ばれた少なくと
も１種のものに置換するとともに、第３成分、及び第４
成分のＰｂ（Ｙｂ1/2 Ｎｂ1/2 ）Ｏ3 、Ｐｂ（Ｍｇ1/2
Ｗ1/2 ）Ｏ3 を含ませて構成したので、これらの成分の
相互作用により、キュリー点が従来組成のように大きく
低下することがなく、３００℃程度のキュリー点を有
し、しかもキュリー点直下まで電気機械結合係数が大き
く劣化することがなく、高い耐熱性を持っている。ま
た、共振周波数の経時変化についても、０．１％／time
decade 以下の安定性の非常に高い圧電素子を得ること
ができる。しかも、組成比を選ぶことによりＫｐ＞６０
％、εｒ＞１０００の優れた圧電材料を実現することが
できる。
にＰｂの一部をＣａ，Ｂａ，Ｓｒから選ばれた少なくと
も１種のものに置換するとともに、第３成分、及び第４
成分のＰｂ（Ｙｂ1/2 Ｎｂ1/2 ）Ｏ3 、Ｐｂ（Ｍｇ1/2
Ｗ1/2 ）Ｏ3 を含ませて構成したので、これらの成分の
相互作用により、キュリー点が従来組成のように大きく
低下することがなく、３００℃程度のキュリー点を有
し、しかもキュリー点直下まで電気機械結合係数が大き
く劣化することがなく、高い耐熱性を持っている。ま
た、共振周波数の経時変化についても、０．１％／time
decade 以下の安定性の非常に高い圧電素子を得ること
ができる。しかも、組成比を選ぶことによりＫｐ＞６０
％、εｒ＞１０００の優れた圧電材料を実現することが
できる。
【００１０】本発明に係る圧電性磁器組成物は、上記の
ように共振周波数の経時変化と耐熱性を向上させるの
で、圧電特性にすぐれ、耐熱性が高く、しかも経時変化
が小さい圧電材料を得ることができる。
ように共振周波数の経時変化と耐熱性を向上させるの
で、圧電特性にすぐれ、耐熱性が高く、しかも経時変化
が小さい圧電材料を得ることができる。
【００１１】
【実施例】次に、本発明を実施例により詳しく説明す
る。出発原料として、ＰｂＯ，Ｙｂ2 Ｏ3 ，Ｎｂ2 Ｏ
5 , ＭｇＯ，ＷＯ3 , ＴｉＯ2 及びＺｒＯ2 ，ＣａＯ，
ＢａＯ，及びＳｒＯを使用し、これらの粉末を表１に示
す組成になるように秤量した。この原料粉末を湿式混合
乾燥後、７００〜９００℃で仮焼した。次いで、有機系
バインダーを加え、湿式粉砕して整粒した後成形圧１to
n ／ｃｍ2 で成形した。成形体を１０００〜１２５０℃
で焼成した。
る。出発原料として、ＰｂＯ，Ｙｂ2 Ｏ3 ，Ｎｂ2 Ｏ
5 , ＭｇＯ，ＷＯ3 , ＴｉＯ2 及びＺｒＯ2 ，ＣａＯ，
ＢａＯ，及びＳｒＯを使用し、これらの粉末を表１に示
す組成になるように秤量した。この原料粉末を湿式混合
乾燥後、７００〜９００℃で仮焼した。次いで、有機系
バインダーを加え、湿式粉砕して整粒した後成形圧１to
n ／ｃｍ2 で成形した。成形体を１０００〜１２５０℃
で焼成した。
【００１２】焼成により得られた磁器の両主面に焼付け
電極を形成し、５０〜８０℃の絶縁油中において２〜３
ＫＶ／ｍｍの電圧で３０分間分極処理した。得られた圧
電性磁器について、それぞれ誘電率（εｒ）、径方向の
電気機械結合係数（Ｋｐ）、及び機械的品質係数（Ｑ
ｍ）を測定した。その結果を表２に示すとともに、図１
に試料Ｎｏ．１の組成物の電気機械結合係数（Ｋｐ）と
温度との関係を実線で示し、図２にＮｏ．１の組成物の
共振周波数の変化率と時間との関係を実線で示し、図３
にＮｏ．１の組成物の共振周波数の変化率と温度との関
係を実線で示した。表中の試料Ｎｏ．欄の＊は、本発明
の範囲外の組成であることを示す。なお、圧電特性は、
インピーダンス測定機により共振周波数及び反共振周波
数を測定し、計算により求めた。また、耐熱温度は試料
を３分間保持してＫｐの値が初期値に対して９０％以上
の値を示す温度の中での最高温度であり、共振周波数の
温度係数（Ｔｃ）は次式により与えられる。 Ｔｃ＝（ＦｒMAX −ＦａMIN ）Ｆｒ20 ただし、ＦｒMAX ，ＦａMIN はそれぞれ−２０〜＋８０
℃の温度範囲での共振周波数の最大値及び最小値、Ｆｒ
20は２０℃での共振周波数のものである。以上の測定結
果から、本発明によれば、電気機械結合係数が大きく劣
化することがなく高い耐熱性を持った組成を得ることが
できた。
電極を形成し、５０〜８０℃の絶縁油中において２〜３
ＫＶ／ｍｍの電圧で３０分間分極処理した。得られた圧
電性磁器について、それぞれ誘電率（εｒ）、径方向の
電気機械結合係数（Ｋｐ）、及び機械的品質係数（Ｑ
ｍ）を測定した。その結果を表２に示すとともに、図１
に試料Ｎｏ．１の組成物の電気機械結合係数（Ｋｐ）と
温度との関係を実線で示し、図２にＮｏ．１の組成物の
共振周波数の変化率と時間との関係を実線で示し、図３
にＮｏ．１の組成物の共振周波数の変化率と温度との関
係を実線で示した。表中の試料Ｎｏ．欄の＊は、本発明
の範囲外の組成であることを示す。なお、圧電特性は、
インピーダンス測定機により共振周波数及び反共振周波
数を測定し、計算により求めた。また、耐熱温度は試料
を３分間保持してＫｐの値が初期値に対して９０％以上
の値を示す温度の中での最高温度であり、共振周波数の
温度係数（Ｔｃ）は次式により与えられる。 Ｔｃ＝（ＦｒMAX −ＦａMIN ）Ｆｒ20 ただし、ＦｒMAX ，ＦａMIN はそれぞれ−２０〜＋８０
℃の温度範囲での共振周波数の最大値及び最小値、Ｆｒ
20は２０℃での共振周波数のものである。以上の測定結
果から、本発明によれば、電気機械結合係数が大きく劣
化することがなく高い耐熱性を持った組成を得ることが
できた。
【００１３】
【表１】
【００１４】
【表２】
【００１５】
【発明の効果】本発明による圧電性磁器組成物は、キュ
リー点が３００℃程度で大きく低下することがなく、し
かもキュリー点直下まで電気機械結合係数が大きく劣化
することがない高い耐熱性を持っている。また、共振周
波数の経時変化についても、０．１％／time decade 以
下の高安定な圧電素子を得ることができる。しかも、組
成比を選ぶことによりＫｐ＞６０％、εｒ＞１０００の
優れた圧電材料を実現することができる。以上のように
本発明によれば、大きな電気機械結合係数、高い耐熱性
及び小さな経時変化を持つ圧電磁器組成物を得ることが
できる。
リー点が３００℃程度で大きく低下することがなく、し
かもキュリー点直下まで電気機械結合係数が大きく劣化
することがない高い耐熱性を持っている。また、共振周
波数の経時変化についても、０．１％／time decade 以
下の高安定な圧電素子を得ることができる。しかも、組
成比を選ぶことによりＫｐ＞６０％、εｒ＞１０００の
優れた圧電材料を実現することができる。以上のように
本発明によれば、大きな電気機械結合係数、高い耐熱性
及び小さな経時変化を持つ圧電磁器組成物を得ることが
できる。
【図１】本発明と従来例による圧電材料の耐熱特性の比
較を示すグラフである。
較を示すグラフである。
【図２】本発明と従来例による圧電材料の共振周波数の
変化率の比較を示すグラフである。
変化率の比較を示すグラフである。
【図３】本発明と従来例にによる圧電材料の共振周波数
の温度特性の比較を示すグラフである。
の温度特性の比較を示すグラフである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】（Ｐｂ1-X ＭｅX )｛（Ｙｂ1/2 Ｎｂ1/2 )
a (Ｍｇ1/2 Ｗ1/2 )b Ｔｉc Ｚｒd｝Ｏ3 （ただし、ＭｅはＣａ，Ｂａ，Ｓｒから選ばれた少なく
とも１種のもの、 ０＜Ｘ≦０．１５， ０．０１≦ａ≦０．２０， ０．
０１≦ｂ≦０．２００≦ｃ≦０．７０， ０．２８≦ｄ
≦０．９８， ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＝１）で表されることを
特徴とする圧電性磁器組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3188041A JP2910338B2 (ja) | 1991-07-01 | 1991-07-01 | 圧電性磁器組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3188041A JP2910338B2 (ja) | 1991-07-01 | 1991-07-01 | 圧電性磁器組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0517218A true JPH0517218A (ja) | 1993-01-26 |
| JP2910338B2 JP2910338B2 (ja) | 1999-06-23 |
Family
ID=16216645
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3188041A Expired - Fee Related JP2910338B2 (ja) | 1991-07-01 | 1991-07-01 | 圧電性磁器組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2910338B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5527481A (en) * | 1993-12-27 | 1996-06-18 | Tdk Corporation | Piezoelectric ceramic composition |
| JP2002299710A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-11 | Kyocera Corp | 積層型圧電素子及び噴射装置 |
-
1991
- 1991-07-01 JP JP3188041A patent/JP2910338B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5527481A (en) * | 1993-12-27 | 1996-06-18 | Tdk Corporation | Piezoelectric ceramic composition |
| JP2002299710A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-11 | Kyocera Corp | 積層型圧電素子及び噴射装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2910338B2 (ja) | 1999-06-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100282598B1 (ko) | 압전 세라믹 조성물 | |
| JPH06263535A (ja) | 圧電磁器 | |
| JP2910338B2 (ja) | 圧電性磁器組成物 | |
| JP3097217B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP2910340B2 (ja) | 圧電性磁器組成物 | |
| JP3106507B2 (ja) | 圧電性磁器組成物 | |
| JP3106508B2 (ja) | 圧電性磁器組成物 | |
| JP2910339B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP3097216B2 (ja) | 圧電性磁器組成物 | |
| JP2737451B2 (ja) | 圧電磁器材料 | |
| JP3003087B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JPH11209176A (ja) | 圧電磁器組成物およびその製造方法 | |
| JPH05139824A (ja) | 圧電性磁器組成物 | |
| JP3342555B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP3111564B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JPH06252468A (ja) | 圧電磁器 | |
| JP2874495B2 (ja) | 圧電磁器材料 | |
| JPH06256061A (ja) | 圧電磁器 | |
| JPH061657A (ja) | 圧電磁器 | |
| JPH061655A (ja) | 圧電磁器 | |
| JPH06263534A (ja) | 圧電磁器 | |
| JPH05221717A (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JPH11100264A (ja) | 圧電磁器組成物およびその製造方法 | |
| KR20010029246A (ko) | 압전세라믹 조성물 | |
| JPH061656A (ja) | 圧電磁器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |