JPH11100264A - 圧電磁器組成物およびその製造方法 - Google Patents
圧電磁器組成物およびその製造方法Info
- Publication number
- JPH11100264A JPH11100264A JP26313797A JP26313797A JPH11100264A JP H11100264 A JPH11100264 A JP H11100264A JP 26313797 A JP26313797 A JP 26313797A JP 26313797 A JP26313797 A JP 26313797A JP H11100264 A JPH11100264 A JP H11100264A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 比較的低温での焼成が可能で電気機械結合係
数が比較的大きく、２８０℃近傍の半田付け実装温度で
も電気特性劣化の少ない、温度サイクルによる共振周波
数変化の少ない圧電磁器組成物を提供することを目的と
する。 【解決手段】 一般式（化１）で表される組成物中のＰ
ｂの５ｍｏｌ％以上２０ｍｏｌ％以下をＣａ，Ｓｒ，Ｂ
ａのうち少なくとも一種で置換した主成分に、副成分と
してＣｒ2Ｏ3およびＭｎＯ2のうち少なくとも一種を
０．０５〜２．０重量％含有させたことを特徴とする圧
電磁器組成物である。 【化１】
数が比較的大きく、２８０℃近傍の半田付け実装温度で
も電気特性劣化の少ない、温度サイクルによる共振周波
数変化の少ない圧電磁器組成物を提供することを目的と
する。 【解決手段】 一般式（化１）で表される組成物中のＰ
ｂの５ｍｏｌ％以上２０ｍｏｌ％以下をＣａ，Ｓｒ，Ｂ
ａのうち少なくとも一種で置換した主成分に、副成分と
してＣｒ2Ｏ3およびＭｎＯ2のうち少なくとも一種を
０．０５〜２．０重量％含有させたことを特徴とする圧
電磁器組成物である。 【化１】
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、特に厚みすべりモ
ード共振を利用した発振子・フィルタに用いるもので電
気機械結合係数が比較的大きく、耐熱性が良好で温度サ
イクル前後での共振周波数変化が少ない圧電磁器組成物
およびその製造方法に関するものである。
ード共振を利用した発振子・フィルタに用いるもので電
気機械結合係数が比較的大きく、耐熱性が良好で温度サ
イクル前後での共振周波数変化が少ない圧電磁器組成物
およびその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より圧電磁器組成物としてはチタン
酸バリウム磁器、チタン酸ジルコン酸鉛磁器、マグネシ
ウムニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛磁器、および亜鉛ニ
オブ酸チタン酸ジルコン酸鉛磁器などがあり、使用目的
に応じて種々の改良がなされてきた。
酸バリウム磁器、チタン酸ジルコン酸鉛磁器、マグネシ
ウムニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛磁器、および亜鉛ニ
オブ酸チタン酸ジルコン酸鉛磁器などがあり、使用目的
に応じて種々の改良がなされてきた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】発振子・フィルタなど
に用いる圧電磁器組成物はエネルギー、環境問題および
電気特性ばらつき低減の観点からできるだけ低温での焼
成が可能でかつ表面実装タイプのチップ部品に対応する
ため半田付け実装温度に耐えうる耐熱性が要求されてい
る。
に用いる圧電磁器組成物はエネルギー、環境問題および
電気特性ばらつき低減の観点からできるだけ低温での焼
成が可能でかつ表面実装タイプのチップ部品に対応する
ため半田付け実装温度に耐えうる耐熱性が要求されてい
る。
【０００４】さらに従来の圧電磁器組成物は実用上に重
要な信頼性の一つである温度サイクル前後で共振周波数
が変化するという問題があり、電子機器の安定動作のた
め共振周波数の変化をできるだけ低く押さえる必要があ
った。
要な信頼性の一つである温度サイクル前後で共振周波数
が変化するという問題があり、電子機器の安定動作のた
め共振周波数の変化をできるだけ低く押さえる必要があ
った。
【０００５】そこで本発明は、厚みすべりモード共振を
利用した発振子・フィルタに適した比較的低温での焼成
が可能で電気機械結合係数が比較的大きく、２８０℃近
傍の半田付け実装温度でも電気特性劣化の少ない、温度
サイクルによる共振周波数変化の少ない圧電磁器組成物
を提供することを目的とするものである。
利用した発振子・フィルタに適した比較的低温での焼成
が可能で電気機械結合係数が比較的大きく、２８０℃近
傍の半田付け実装温度でも電気特性劣化の少ない、温度
サイクルによる共振周波数変化の少ない圧電磁器組成物
を提供することを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の圧電磁器組成物は、一般式（化３）で表され
る組成物中のＰｂの５ｍｏｌ％以上２０ｍｏｌ％以下を
Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａのうち少なくとも一種で置換した主成
分に、副成分としてＣｒ2Ｏ3およびＭｎＯ2のうち少な
くとも一種を０．０５〜２．０重量％含有させたことを
特徴とするものである。
に本発明の圧電磁器組成物は、一般式（化３）で表され
る組成物中のＰｂの５ｍｏｌ％以上２０ｍｏｌ％以下を
Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａのうち少なくとも一種で置換した主成
分に、副成分としてＣｒ2Ｏ3およびＭｎＯ2のうち少な
くとも一種を０．０５〜２．０重量％含有させたことを
特徴とするものである。
【０００７】
【化３】
【０００８】この構成によると、Ｐｂを特定比率のＣ
ａ，Ｓｒ，Ｂａのうち少なくとも一種で置換することに
より比誘電率の値を調整し、デバイスに応じた適切なも
のとすることができ、かつ温度サイクルによる共振周波
数変化を低減できる。
ａ，Ｓｒ，Ｂａのうち少なくとも一種で置換することに
より比誘電率の値を調整し、デバイスに応じた適切なも
のとすることができ、かつ温度サイクルによる共振周波
数変化を低減できる。
【０００９】またＰｂ量を化学量論比より若干多くする
ことにより焼成時のＰｂＯ飛散の影響を低減し、ＰＺＴ
組成系でＰｂ（Ｃｏ1/3Ｔａ2/3）Ｏ3を第３成分として
固溶させることにより焼成温度低減（焼結性向上）と、
電気機械結合係数増加、耐熱性向上をはかった。
ことにより焼成時のＰｂＯ飛散の影響を低減し、ＰＺＴ
組成系でＰｂ（Ｃｏ1/3Ｔａ2/3）Ｏ3を第３成分として
固溶させることにより焼成温度低減（焼結性向上）と、
電気機械結合係数増加、耐熱性向上をはかった。
【００１０】さらに副成分としてのＣｒ2Ｏ3およびＭｎ
Ｏ2添加により圧電性を低下させることなく耐熱性と温
度サイクルでの電気特性変化低減を実現した。発振子・
フィルタなどに適した２８０℃近傍の半田付け実装温度
でも電気特性変化が少なく、温度サイクルによる共振周
波数変化の少ない圧電磁器組成物が得られる。
Ｏ2添加により圧電性を低下させることなく耐熱性と温
度サイクルでの電気特性変化低減を実現した。発振子・
フィルタなどに適した２８０℃近傍の半田付け実装温度
でも電気特性変化が少なく、温度サイクルによる共振周
波数変化の少ない圧電磁器組成物が得られる。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、一般式（化４）で表される組成物中のＰｂの５ｍｏ
ｌ％以上２０ｍｏｌ％以下をＣａ，Ｓｒ，Ｂａのうち少
なくとも一種で置換した主成分に、副成分としてＣｒ2
Ｏ3およびＭｎＯ2の少なくとも一種を０．０５〜２．０
重量％含有させたことを特徴とする圧電磁器組成物であ
り、厚みすべりモード共振を利用した発振子・フィルタ
に適した比較的低温での焼成が可能で電気機械結合係数
が比較的大きく、２８０℃近傍の半田付け実装温度でも
電気特性劣化の少ない、温度サイクルによる共振周波数
変化の少ないものである。
は、一般式（化４）で表される組成物中のＰｂの５ｍｏ
ｌ％以上２０ｍｏｌ％以下をＣａ，Ｓｒ，Ｂａのうち少
なくとも一種で置換した主成分に、副成分としてＣｒ2
Ｏ3およびＭｎＯ2の少なくとも一種を０．０５〜２．０
重量％含有させたことを特徴とする圧電磁器組成物であ
り、厚みすべりモード共振を利用した発振子・フィルタ
に適した比較的低温での焼成が可能で電気機械結合係数
が比較的大きく、２８０℃近傍の半田付け実装温度でも
電気特性劣化の少ない、温度サイクルによる共振周波数
変化の少ないものである。
【００１２】
【化４】
【００１３】請求項２に記載の発明は、一般式（化５）
で表される組成物中のＰｂの５ｍｏｌ％以上２０ｍｏｌ
％以下をＣａ，Ｓｒ，Ｂａのうち少なくとも一種で置換
した主成分に、副成分としてＣｒ2Ｏ3およびＭｎＯ2の
少なくとも一種を０．０５〜２．０重量％添加混合する
第１の工程と、混合物を仮焼する第２の工程と、仮焼原
料を粉砕する第３の工程と、粉砕原料に有機結合材を加
えて所定形状に成形する第４の工程と、成形体を焼成し
て焼結体を得る第５の工程と、焼結体を１３０〜１８０
℃の温度範囲において３．５ｋＶ／ｍｍ以上の直流電界
を印加して分極する第５の工程と、分極済み焼結体を２
２０〜２８０℃の高温下で熱処理する第６の工程とを備
えたことを特徴とする圧電磁器組成物の製造方法であ
り、厚みすべりモード共振を利用した発振子・フィルタ
に適した比較的低温での焼成が可能で電気機械結合係数
が比較的大きく、２８０℃近傍の半田付け実装温度でも
電気特性劣化の少ない、温度サイクルによる共振周波数
変化の少ない圧電磁器組成物を得ることができる。
で表される組成物中のＰｂの５ｍｏｌ％以上２０ｍｏｌ
％以下をＣａ，Ｓｒ，Ｂａのうち少なくとも一種で置換
した主成分に、副成分としてＣｒ2Ｏ3およびＭｎＯ2の
少なくとも一種を０．０５〜２．０重量％添加混合する
第１の工程と、混合物を仮焼する第２の工程と、仮焼原
料を粉砕する第３の工程と、粉砕原料に有機結合材を加
えて所定形状に成形する第４の工程と、成形体を焼成し
て焼結体を得る第５の工程と、焼結体を１３０〜１８０
℃の温度範囲において３．５ｋＶ／ｍｍ以上の直流電界
を印加して分極する第５の工程と、分極済み焼結体を２
２０〜２８０℃の高温下で熱処理する第６の工程とを備
えたことを特徴とする圧電磁器組成物の製造方法であ
り、厚みすべりモード共振を利用した発振子・フィルタ
に適した比較的低温での焼成が可能で電気機械結合係数
が比較的大きく、２８０℃近傍の半田付け実装温度でも
電気特性劣化の少ない、温度サイクルによる共振周波数
変化の少ない圧電磁器組成物を得ることができる。
【００１４】
【化５】
【００１５】以下本発明の一実施の形態について図面を
参照しながら説明する。図１は本実施の形態における厚
みすべりモード共振子の斜視図であり、圧電磁器１の
上、下両面に共振電極２を形成したものである。
参照しながら説明する。図１は本実施の形態における厚
みすべりモード共振子の斜視図であり、圧電磁器１の
上、下両面に共振電極２を形成したものである。
【００１６】まず原料としてＰｂＯ，ＴｉＯ2，Ｚｒ
Ｏ2，Ｃｏ3Ｏ4，Ｔａ2Ｏ5，Ｃｒ2Ｏ3，ＭｎＣＯ3，Ｃａ
ＣＯ3，ＳｒＣＯ3，ＢａＣＯ3を（表１）、（表２）の
組成となるように正確に秤量し、ボールミルによりよく
混合した。
Ｏ2，Ｃｏ3Ｏ4，Ｔａ2Ｏ5，Ｃｒ2Ｏ3，ＭｎＣＯ3，Ｃａ
ＣＯ3，ＳｒＣＯ3，ＢａＣＯ3を（表１）、（表２）の
組成となるように正確に秤量し、ボールミルによりよく
混合した。
【００１７】
【表１】
【００１８】
【表２】
【００１９】なお原料はこれらのみに限られるものでな
く化学反応により上記の酸化物を生成するものであれば
他の化合物を使用しても良い。次に前記混合物を８５０
℃の温度で仮焼し、さらにボールミルにより粉砕した。
これを乾燥した後結合剤としてのポリビニールアルコー
ル水溶液を加え、造粒した後１ｔｏｎ／ｃｍ2の圧力で
加圧成形し、縦５０ｍｍ、横４５ｍｍ、高さ７ｍｍの成
形体を得た。ここで得られた成形体を閉炉中で１１８０
〜１２８０℃の温度で１時間焼成し、得られた圧電磁器
より厚みすべり振動共振子を以下のようにして作製し
た。
く化学反応により上記の酸化物を生成するものであれば
他の化合物を使用しても良い。次に前記混合物を８５０
℃の温度で仮焼し、さらにボールミルにより粉砕した。
これを乾燥した後結合剤としてのポリビニールアルコー
ル水溶液を加え、造粒した後１ｔｏｎ／ｃｍ2の圧力で
加圧成形し、縦５０ｍｍ、横４５ｍｍ、高さ７ｍｍの成
形体を得た。ここで得られた成形体を閉炉中で１１８０
〜１２８０℃の温度で１時間焼成し、得られた圧電磁器
より厚みすべり振動共振子を以下のようにして作製し
た。
【００２０】まず圧電磁器矩形板をラッピングして厚み
５ｍｍの圧電磁器１とした後、両面に銀電極を焼き付
け、１２５〜１８５℃のシリコンオイル中で３．４〜
４．０ｋＶ／ｍｍの直流電界を３０分間印加して分極処
理し、ついで所定の条件で熱処理を行った。次に厚み方
向に０．５ｍｍ厚みでスライスし０．０５μｍＣｒ−１
μｍＡｕの二層蒸着膜よりなる共振電極２をスライス面
に形成し、分極方向にダイシングすることにより図１に
示した矩形板状の厚みすべりモード共振子を得た。これ
らの試料につき密度ρ、比誘電率ε11 T／ε0、電気機械
結合係数ｋ15を測定した。耐熱性は共振子を２８０℃の
ホットプレート上で１分間保持した後、３０分経過時点
でのｋ15および共振周波数の変化率を測定した。ｋ15≧
０．３、｜ｋ 15変化率｜≦５％、｜共振周波数変化率｜
≦０．３％を耐熱性良好と判定した。測定結果の内で本
発明の範囲内の分極および分極後熱処理を施したものを
磁器焼成温度（密度最大）とともに（表３）、（表４）
にまとめた。
５ｍｍの圧電磁器１とした後、両面に銀電極を焼き付
け、１２５〜１８５℃のシリコンオイル中で３．４〜
４．０ｋＶ／ｍｍの直流電界を３０分間印加して分極処
理し、ついで所定の条件で熱処理を行った。次に厚み方
向に０．５ｍｍ厚みでスライスし０．０５μｍＣｒ−１
μｍＡｕの二層蒸着膜よりなる共振電極２をスライス面
に形成し、分極方向にダイシングすることにより図１に
示した矩形板状の厚みすべりモード共振子を得た。これ
らの試料につき密度ρ、比誘電率ε11 T／ε0、電気機械
結合係数ｋ15を測定した。耐熱性は共振子を２８０℃の
ホットプレート上で１分間保持した後、３０分経過時点
でのｋ15および共振周波数の変化率を測定した。ｋ15≧
０．３、｜ｋ 15変化率｜≦５％、｜共振周波数変化率｜
≦０．３％を耐熱性良好と判定した。測定結果の内で本
発明の範囲内の分極および分極後熱処理を施したものを
磁器焼成温度（密度最大）とともに（表３）、（表４）
にまとめた。
【００２１】
【表３】
【００２２】
【表４】
【００２３】（表５）は（表１）の共振子を分極条件、
分極後熱処理条件を種々に変えた場合の共振子特性を示
したものである。
分極後熱処理条件を種々に変えた場合の共振子特性を示
したものである。
【００２４】
【表５】
【００２５】温度サイクル（外１）前後での共振周波数
の変動（（ｆr−ｆr0）／ｆr0の値；％）も上記共振子
により測定し（表３）、（表４）、（表５）に示した。
の変動（（ｆr−ｆr0）／ｆr0の値；％）も上記共振子
により測定し（表３）、（表４）、（表５）に示した。
【００２６】
【外１】
【００２７】温度サイクルによる共振周波数変動につい
ては０．３％以下のものを良品と判定した。
ては０．３％以下のものを良品と判定した。
【００２８】以下本実施の形態について表を参照しなが
ら説明する。（表１）〜（表５）によるとα＜１．０の
試料４は焼成温度が１２５０℃以上と上昇しているが、
これは焼結反応における液層生成量が減少し焼結性が低
下したためである。α＞１．０６の試料７は電気機械結
合係数ｋ15が０．３以下まで低下しているが、これは過
剰のＰｂＯがガラス成分となって焼結体中に残留したた
めである。
ら説明する。（表１）〜（表５）によるとα＜１．０の
試料４は焼成温度が１２５０℃以上と上昇しているが、
これは焼結反応における液層生成量が減少し焼結性が低
下したためである。α＞１．０６の試料７は電気機械結
合係数ｋ15が０．３以下まで低下しているが、これは過
剰のＰｂＯがガラス成分となって焼結体中に残留したた
めである。
【００２９】従ってαは１．０≦α≦１．０６の範囲に
限定した。Ａ＜０．０２である試料８は圧電性が低く
（ｋ15＜０．３）、Ａ＞０．２３である試料１１は耐熱
性が低下しているためＡは０．０２≦Ａ≦０．２３の範
囲に限定した。
限定した。Ａ＜０．０２である試料８は圧電性が低く
（ｋ15＜０．３）、Ａ＞０．２３である試料１１は耐熱
性が低下しているためＡは０．０２≦Ａ≦０．２３の範
囲に限定した。
【００３０】Ｂ＜０．４６である試料１２は温度サイク
ルによる共振周波数変化率が０．３％以上と大きく、Ｂ
＞０．７８である試料１５は圧電性が低下している（ｋ
15＜０．３）ためＢの範囲は０．４６≦Ｂ≦０．７８の
範囲に限定した。
ルによる共振周波数変化率が０．３％以上と大きく、Ｂ
＞０．７８である試料１５は圧電性が低下している（ｋ
15＜０．３）ためＢの範囲は０．４６≦Ｂ≦０．７８の
範囲に限定した。
【００３１】Ｃ＜０．２５である試料１６は焼結性およ
び圧電性が低下している（ｋ15＜０．３）ため、Ｃ＞
０．４５である試料１９は耐熱後の共振周波数変化率が
−０．３％を越え、温度サイクルによる共振周波数変化
率が０．３％以上と大きくなっているためＣは０．２５
≦Ｃ≦０．４５の範囲に限定した。
び圧電性が低下している（ｋ15＜０．３）ため、Ｃ＞
０．４５である試料１９は耐熱後の共振周波数変化率が
−０．３％を越え、温度サイクルによる共振周波数変化
率が０．３％以上と大きくなっているためＣは０．２５
≦Ｃ≦０．４５の範囲に限定した。
【００３２】ＰｂのＣａ，Ｓｒ，Ｂａのうち少なくとも
一種での置換量が５ｍｏｌ％以下である試料２４，２
５，２６，２７，２８，２９，３０，３１では温度サイ
クルによる共振周波数変化率が０．３％以上と大きいた
め、置換量が２０ｍｏｌ％以上の試料３５，３６，３
７，３８，３９，４０，４１，４２，４３では耐熱性が
低下しているため本発明の範囲から除外した。
一種での置換量が５ｍｏｌ％以下である試料２４，２
５，２６，２７，２８，２９，３０，３１では温度サイ
クルによる共振周波数変化率が０．３％以上と大きいた
め、置換量が２０ｍｏｌ％以上の試料３５，３６，３
７，３８，３９，４０，４１，４２，４３では耐熱性が
低下しているため本発明の範囲から除外した。
【００３３】副成分であるＣｒ2Ｏ3およびＭｎＯ2（少
なくとも１種）の添加量については０．０５重量％以下
の試料４４，４５，４６の場合では圧電性が低い（ｋ15
＜０．３）か温度サイクルによる共振周波数変化率が
０．３％以上と大きいため、２．０重量％以上の試料５
０，５１，５２では焼結体密度が７．５ｇ／ｃｍ3に低
下するとともに圧電性が低下している（ｋ15＜０．３）
ため本発明の範囲から除外した。
なくとも１種）の添加量については０．０５重量％以下
の試料４４，４５，４６の場合では圧電性が低い（ｋ15
＜０．３）か温度サイクルによる共振周波数変化率が
０．３％以上と大きいため、２．０重量％以上の試料５
０，５１，５２では焼結体密度が７．５ｇ／ｃｍ3に低
下するとともに圧電性が低下している（ｋ15＜０．３）
ため本発明の範囲から除外した。
【００３４】分極条件については（表５）に示したよう
に分極温度１３０℃以下では分極未飽和で、分極温度１
８０℃以上では圧電磁器の抵抗が低下し３．５ｋＶ／ｍ
ｍ以上の電圧が印加できなくなることから、分極時の直
流印加電圧については本発明の分極温度範囲で３．５ｋ
Ｖ／ｍｍ以下では分極未飽和となるため本発明の範囲か
ら除外した。
に分極温度１３０℃以下では分極未飽和で、分極温度１
８０℃以上では圧電磁器の抵抗が低下し３．５ｋＶ／ｍ
ｍ以上の電圧が印加できなくなることから、分極時の直
流印加電圧については本発明の分極温度範囲で３．５ｋ
Ｖ／ｍｍ以下では分極未飽和となるため本発明の範囲か
ら除外した。
【００３５】分極後の熱処理条件についても（表５）に
示したように２２０℃以下の温度では熱衝撃後の共振周
波数変化もしくはｋ15変化が大きいため、また２８０℃
以上の温度では脱分極が大きく、圧電性低下が顕著であ
る（ｋ15＜０．３）ため本発明の範囲から除外した。
示したように２２０℃以下の温度では熱衝撃後の共振周
波数変化もしくはｋ15変化が大きいため、また２８０℃
以上の温度では脱分極が大きく、圧電性低下が顕著であ
る（ｋ15＜０．３）ため本発明の範囲から除外した。
【００３６】
【発明の効果】以上本発明によると、厚みすべりモード
共振を利用した発振子・フィルタ用圧電磁器で比較的低
温での焼成が可能で、電気機械結合係数が比較的大き
く、２８０℃近傍の半田付け実装温度でも電気特性変化
の少ない、温度サイクルによる共振周波変化の少ない圧
電磁器組成物を提供することができる。
共振を利用した発振子・フィルタ用圧電磁器で比較的低
温での焼成が可能で、電気機械結合係数が比較的大き
く、２８０℃近傍の半田付け実装温度でも電気特性変化
の少ない、温度サイクルによる共振周波変化の少ない圧
電磁器組成物を提供することができる。
【図１】本発明の一実施の形態における厚みすべりモー
ド共振子の斜視図
ド共振子の斜視図
１ 圧電磁器 ２ 共振電極
Claims (2)
- 【請求項１】 一般式（化１）で表される組成物中のＰ
ｂの５ｍｏｌ％以上２０ｍｏｌ％以下をＣａ，Ｓｒ，Ｂ
ａのうち少なくとも一種で置換した主成分に、副成分と
してＣｒ2Ｏ3およびＭｎＯ2の少なくとも一種を０．０
５〜２．０重量％含有させたことを特徴とする圧電磁器
組成物。 【化１】 - 【請求項２】 一般式（化２）で表される組成物中のＰ
ｂの５ｍｏｌ％以上２０ｍｏｌ％以下をＣａ，Ｓｒ，Ｂ
ａのうち少なくとも一種で置換した主成分に、副成分と
してＣｒ2Ｏ3およびＭｎＯ2の少なくとも一種を０．０
５〜２．０重量％添加混合する第１の工程と、混合物を
仮焼する第２の工程と、仮焼原料を粉砕する第３の工程
と、粉砕原料に有機結合材を加えて所定形状に成形する
第４の工程と、成形体を焼成して焼結体を得る第５の工
程と、焼結体を１３０〜１８０℃の温度範囲において
３．５ｋＶ／ｍｍ以上の直流電界を印加して分極する第
５の工程と、分極済み焼結体を２２０〜２８０℃の高温
下で熱処理する第６の工程とを備えたことを特徴とする
圧電磁器組成物の製造方法。 【化２】
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26313797A JPH11100264A (ja) | 1997-09-29 | 1997-09-29 | 圧電磁器組成物およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26313797A JPH11100264A (ja) | 1997-09-29 | 1997-09-29 | 圧電磁器組成物およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11100264A true JPH11100264A (ja) | 1999-04-13 |
Family
ID=17385334
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26313797A Pending JPH11100264A (ja) | 1997-09-29 | 1997-09-29 | 圧電磁器組成物およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11100264A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100471978B1 (ko) * | 2000-12-22 | 2005-03-07 | 재단법인 포항산업과학연구원 | 가속도 센서용 압전 세라믹스 조성물 |
| KR100673192B1 (ko) * | 2000-12-27 | 2007-01-22 | 주식회사 하이닉스반도체 | 압전 세라믹을 이용한 강유전체 제조 방법 |
-
1997
- 1997-09-29 JP JP26313797A patent/JPH11100264A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100471978B1 (ko) * | 2000-12-22 | 2005-03-07 | 재단법인 포항산업과학연구원 | 가속도 센서용 압전 세라믹스 조성물 |
| KR100673192B1 (ko) * | 2000-12-27 | 2007-01-22 | 주식회사 하이닉스반도체 | 압전 세라믹을 이용한 강유전체 제조 방법 |
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