JP2000103674A - 圧電磁器組成物およびその製造方法 - Google Patents
圧電磁器組成物およびその製造方法Info
- Publication number
- JP2000103674A JP2000103674A JP27494598A JP27494598A JP2000103674A JP 2000103674 A JP2000103674 A JP 2000103674A JP 27494598 A JP27494598 A JP 27494598A JP 27494598 A JP27494598 A JP 27494598A JP 2000103674 A JP2000103674 A JP 2000103674A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric ceramic
- resonance frequency
- main component
- ceramic composition
- thermal shock
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims abstract description 25
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 24
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims abstract description 5
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims abstract description 4
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims abstract description 4
- 238000001354 calcination Methods 0.000 claims abstract description 3
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims description 2
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 claims 1
- 230000008859 change Effects 0.000 abstract description 27
- 230000010287 polarization Effects 0.000 abstract description 19
- 230000035939 shock Effects 0.000 abstract description 14
- 230000001351 cycling effect Effects 0.000 abstract description 3
- AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L manganese oxide Inorganic materials [Mn].O[Mn]=O.O[Mn]=O AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L 0.000 abstract 2
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract 2
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 abstract 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 abstract 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 description 7
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000028161 membrane depolarization Effects 0.000 description 2
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 101000939676 Androctonus crassicauda Toxin a Proteins 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- RPEUFVJJAJYJSS-UHFFFAOYSA-N zinc;oxido(dioxo)niobium Chemical compound [Zn+2].[O-][Nb](=O)=O.[O-][Nb](=O)=O RPEUFVJJAJYJSS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は圧電磁器組成物およびその製造方法
に関するもので、耐衝撃性を高めることを目的とするも
のである。 【解決手段】 一般式（化１）で表される主成分に、副
成分として前記主成分１００重量％に対してＭｎ3Ｏ4を
０．３〜０．８重量％添加して形成した。 【化１】
に関するもので、耐衝撃性を高めることを目的とするも
のである。 【解決手段】 一般式（化１）で表される主成分に、副
成分として前記主成分１００重量％に対してＭｎ3Ｏ4を
０．３〜０．８重量％添加して形成した。 【化１】
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、特に厚みすべりモ
ード共振を利用したフィルタ、発振子に用いるもので、
耐熱性が良好で熱衝撃および温度サイクル前後での共振
周波数変化が少ない高精度の共振周波数を有する圧電磁
器組成物およびその製造方法に関するものである。
ード共振を利用したフィルタ、発振子に用いるもので、
耐熱性が良好で熱衝撃および温度サイクル前後での共振
周波数変化が少ない高精度の共振周波数を有する圧電磁
器組成物およびその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より圧電磁器組成物としてはチタン
酸ジルコン酸鉛磁器、マグネシウムニオブ酸チタン酸ジ
ルコン酸鉛磁器および亜鉛ニオブ酸チタン酸ジルコン酸
鉛磁器などがあり、使用目的に応じて種々の改良がなさ
れてきた。
酸ジルコン酸鉛磁器、マグネシウムニオブ酸チタン酸ジ
ルコン酸鉛磁器および亜鉛ニオブ酸チタン酸ジルコン酸
鉛磁器などがあり、使用目的に応じて種々の改良がなさ
れてきた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】フィルタ、発振子に用
いる圧電磁器組成物は表面実装タイプのチップ部品に対
応するため半田付け実装温度に耐えうる耐熱性（脱分極
が少ない）と耐熱後の共振周波数変化が小さいことが要
求されている。
いる圧電磁器組成物は表面実装タイプのチップ部品に対
応するため半田付け実装温度に耐えうる耐熱性（脱分極
が少ない）と耐熱後の共振周波数変化が小さいことが要
求されている。
【０００４】さらに従来の圧電磁器組成物は実用上に重
要な信頼性の一つである温度サイクル前後で共振周波数
が変化するという問題があり、電子機器の安定動作のた
め共振周波数の変化をできるだけ低く押さえる必要があ
った。
要な信頼性の一つである温度サイクル前後で共振周波数
が変化するという問題があり、電子機器の安定動作のた
め共振周波数の変化をできるだけ低く押さえる必要があ
った。
【０００５】そこで本発明は、厚みすべりモード共振を
利用したフィルタ、発振子に適した耐熱性に優れ、熱衝
撃印加後の共振周波数変化がきわめて小さく、温度サイ
クルによる共振周波数変化の少ない圧電磁器組成物を提
供することを目的とするものである。
利用したフィルタ、発振子に適した耐熱性に優れ、熱衝
撃印加後の共振周波数変化がきわめて小さく、温度サイ
クルによる共振周波数変化の少ない圧電磁器組成物を提
供することを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の圧電磁器組成物は、一般式（化３）で表され
る主成分に、副成分として前記主成分１００重量％に対
してＭｎ3Ｏ4を０．３〜０．８重量％添加して形成した
ことを特徴とするものである。
に本発明の圧電磁器組成物は、一般式（化３）で表され
る主成分に、副成分として前記主成分１００重量％に対
してＭｎ3Ｏ4を０．３〜０．８重量％添加して形成した
ことを特徴とするものである。
【０００７】
【化３】
【０００８】熱衝撃および温度サイクル試験前後での共
振周波数安定化の機構は詳細には明らかにできていない
が、過剰のＭｎが粒界中に偏析することで焼結時および
分極時の内部歪みが緩和されていることと、Ｍｎの原子
価が不安定であるため粒界相の抵抗が下がり分極後耐熱
での焦電効果で生じた表面電荷が早く逃がされる等の効
果が考えられる。これにより耐熱による脱分極が最低限
に押さえられかつ空間電荷が生成した安定状態への移行
がスムーズに行われる可能性がある。その結果上記目的
が達成できるものであると思われる。
振周波数安定化の機構は詳細には明らかにできていない
が、過剰のＭｎが粒界中に偏析することで焼結時および
分極時の内部歪みが緩和されていることと、Ｍｎの原子
価が不安定であるため粒界相の抵抗が下がり分極後耐熱
での焦電効果で生じた表面電荷が早く逃がされる等の効
果が考えられる。これにより耐熱による脱分極が最低限
に押さえられかつ空間電荷が生成した安定状態への移行
がスムーズに行われる可能性がある。その結果上記目的
が達成できるものであると思われる。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、一般式（化４）で表される主成分に、副成分として
前記主成分１００重量％に対してＭｎ3Ｏ4を０．３〜
０．８重量％添加して形成したことを特徴とする圧電磁
器組成物であり、厚みすべりモード共振を利用したフィ
ルタ、発振子に適した耐熱性に優れ、熱衝撃印加後の共
振周波数変化がきわめて小さく、温度サイクルによる共
振周波数変化の少ないものである。
は、一般式（化４）で表される主成分に、副成分として
前記主成分１００重量％に対してＭｎ3Ｏ4を０．３〜
０．８重量％添加して形成したことを特徴とする圧電磁
器組成物であり、厚みすべりモード共振を利用したフィ
ルタ、発振子に適した耐熱性に優れ、熱衝撃印加後の共
振周波数変化がきわめて小さく、温度サイクルによる共
振周波数変化の少ないものである。
【００１０】
【化４】
【００１１】請求項２に記載の発明は、一般式（化５）
で表される主成分に、副成分として前記主成分１００重
量％に対してＭｎ3Ｏ4を０．３〜０．８重量％添加、混
合する第１の工程と、この混合物を仮焼して粉砕する第
２の工程と、この粉砕原料に有機結合材を加えて所定形
状に成形する第３の工程と、この成形体を焼成して焼結
体を得る第４の工程と、この焼結体を１３０〜１８０℃
の温度範囲において２．５〜３．５kV／mmの範囲内の直
流電界を印加して分極する第５の工程とからなる圧電磁
器組成物の製造方法であり、厚みすべりモード共振を利
用したフィルタ、発振子に適した耐熱性に優れ、熱衝撃
印加後の共振周波数変化がきわめて小さく、温度サイク
ルによる共振周波数変化の少ない圧電磁器組成物を提供
するものである。
で表される主成分に、副成分として前記主成分１００重
量％に対してＭｎ3Ｏ4を０．３〜０．８重量％添加、混
合する第１の工程と、この混合物を仮焼して粉砕する第
２の工程と、この粉砕原料に有機結合材を加えて所定形
状に成形する第３の工程と、この成形体を焼成して焼結
体を得る第４の工程と、この焼結体を１３０〜１８０℃
の温度範囲において２．５〜３．５kV／mmの範囲内の直
流電界を印加して分極する第５の工程とからなる圧電磁
器組成物の製造方法であり、厚みすべりモード共振を利
用したフィルタ、発振子に適した耐熱性に優れ、熱衝撃
印加後の共振周波数変化がきわめて小さく、温度サイク
ルによる共振周波数変化の少ない圧電磁器組成物を提供
するものである。
【００１２】
【化５】
【００１３】以下本発明の実施の形態について図面を参
照しながら説明する。 （実施の形態）図１は本実施の形態における厚みすべり
モード共振子の斜視図であり、圧電磁器１の上、下両面
に共振電極２を形成したものである。
照しながら説明する。 （実施の形態）図１は本実施の形態における厚みすべり
モード共振子の斜視図であり、圧電磁器１の上、下両面
に共振電極２を形成したものである。
【００１４】まず原料としてＰｂＯ、ＴｉＯ2、Ｚｒ
Ｏ2、Ｎｂ2Ｏ5、Ｍｎ3Ｏ4を（表１）の組成となるよう
に正確に秤量し、ボールミルによりよく混合した。
Ｏ2、Ｎｂ2Ｏ5、Ｍｎ3Ｏ4を（表１）の組成となるよう
に正確に秤量し、ボールミルによりよく混合した。
【００１５】
【表１】
【００１６】なお原料はこれらのみに限られるものでな
く化学反応により上記の酸化物を生成するものであれば
他の化合物を使用しても良い。次に前記混合物を９００
℃の温度で仮焼し、さらにボールミルにより粉砕した。
これを乾燥した後結合剤としてのポリビニールアルコー
ル水溶液を加え、造粒した後１ton／cm2の圧力で加圧成
形し、縦５０mm、横４５mm、高さ７mmの成形体を得た。
ここで得られた成形体を閉炉中で１１５０〜１２９０℃
の温度で１時間焼成し、得られた圧電磁器矩形板より厚
みすべり振動共振子を以下のようにして作製した。
く化学反応により上記の酸化物を生成するものであれば
他の化合物を使用しても良い。次に前記混合物を９００
℃の温度で仮焼し、さらにボールミルにより粉砕した。
これを乾燥した後結合剤としてのポリビニールアルコー
ル水溶液を加え、造粒した後１ton／cm2の圧力で加圧成
形し、縦５０mm、横４５mm、高さ７mmの成形体を得た。
ここで得られた成形体を閉炉中で１１５０〜１２９０℃
の温度で１時間焼成し、得られた圧電磁器矩形板より厚
みすべり振動共振子を以下のようにして作製した。
【００１７】まず圧電磁器矩形板を研磨して厚み５mmの
圧電磁器１とした後、両面に銀電極を焼き付け、１２５
〜１８５℃のシリコンオイル中で２．４〜３．６０kV／
mmの直流電界を３０分間印加して分極処理した。次に厚
み方向に０．５mm厚みにスライスし、０．０５μｍＣｒ
−１μｍＡｕの二層蒸着膜よりなる共振電極２をスライ
ス面に形成し、分極方向に切断することにより図１に示
した矩形板状の厚みすべりモード共振子を得た。これら
の試料につき密度ρ、比誘電率ε11 T／ε0、電気機械結
合係数ｋ15を測定した。耐熱性は共振子を２８０℃のホ
ットプレート上で１分間保持した後のｋ15および共振周
波数の変化率を測定した。ｋ15≧０．３、｜ｋ15変化率
｜≦５％、｜共振周波数変化率｜≦０．１％のものを耐
熱性良好と判定した。
圧電磁器１とした後、両面に銀電極を焼き付け、１２５
〜１８５℃のシリコンオイル中で２．４〜３．６０kV／
mmの直流電界を３０分間印加して分極処理した。次に厚
み方向に０．５mm厚みにスライスし、０．０５μｍＣｒ
−１μｍＡｕの二層蒸着膜よりなる共振電極２をスライ
ス面に形成し、分極方向に切断することにより図１に示
した矩形板状の厚みすべりモード共振子を得た。これら
の試料につき密度ρ、比誘電率ε11 T／ε0、電気機械結
合係数ｋ15を測定した。耐熱性は共振子を２８０℃のホ
ットプレート上で１分間保持した後のｋ15および共振周
波数の変化率を測定した。ｋ15≧０．３、｜ｋ15変化率
｜≦５％、｜共振周波数変化率｜≦０．１％のものを耐
熱性良好と判定した。
【００１８】測定結果の内で本発明の範囲内の分極を施
したものを磁器焼成温度（密度最大）とともに（表２）
にまとめた。
したものを磁器焼成温度（密度最大）とともに（表２）
にまとめた。
【００１９】
【表２】
【００２０】（表３）は（表１）の試料No.１の圧電磁
器で密度最大のものにつき分極条件を種々に変えた場合
の共振子特性を示したものである。
器で密度最大のものにつき分極条件を種々に変えた場合
の共振子特性を示したものである。
【００２１】
【表３】
【００２２】温度サイクル（外１）前後での共振周波数
の変動（（ｆr−ｆro）／ｆroの値；％）も上記共振子
により測定し（表２）、（表３）に示した。
の変動（（ｆr−ｆro）／ｆroの値；％）も上記共振子
により測定し（表２）、（表３）に示した。
【００２３】
【外１】
【００２４】温度サイクルによる共振周波数変動につい
ては０．１％以下のものを良品と判定した。
ては０．１％以下のものを良品と判定した。
【００２５】以下本実施の形態について表を参照しなが
ら説明する。（表１）〜（表３）によるとα＜１．００
の試料No.１２は温度サイクルによる共振周波数変化が
大きく（０．１％以上）、α＞１．０５の試料No.１３
は熱衝撃前後での共振周波数変化が大きい（｜共振周波
数変化率｜＞０．１％）ため本発明の範囲から除外し
た。
ら説明する。（表１）〜（表３）によるとα＜１．００
の試料No.１２は温度サイクルによる共振周波数変化が
大きく（０．１％以上）、α＞１．０５の試料No.１３
は熱衝撃前後での共振周波数変化が大きい（｜共振周波
数変化率｜＞０．１％）ため本発明の範囲から除外し
た。
【００２６】ｘ＜０．０７である試料No.１４は熱衝撃
前後での共振周波数変化が大きく（｜共振周波数変化率
｜＞０．１％）、ｘ＞０．２８である試料No.１５はキ
ューリー温度の低下が顕著で耐熱後の脱分極が大きい
（ｋ15変化率＞５％）ことから本発明の範囲から除外し
た。
前後での共振周波数変化が大きく（｜共振周波数変化率
｜＞０．１％）、ｘ＞０．２８である試料No.１５はキ
ューリー温度の低下が顕著で耐熱後の脱分極が大きい
（ｋ15変化率＞５％）ことから本発明の範囲から除外し
た。
【００２７】ｙ＜０．４２である試料No.１６は熱衝撃
前後での共振周波数変化が大きく（｜共振周波数変化率
｜＞０．１％）、ｙ＞０．６２である試料No.１７は圧
電性が低下している（ｋ15＜０．３）ため本発明の範囲
から除外した。
前後での共振周波数変化が大きく（｜共振周波数変化率
｜＞０．１％）、ｙ＞０．６２である試料No.１７は圧
電性が低下している（ｋ15＜０．３）ため本発明の範囲
から除外した。
【００２８】ｚ＜０．１８である試料No.１８は焼結性
および圧電性が低下している（ｋ15＜０．３）ため、ｚ
＞０．４５である試料No.１９は熱衝撃前後での共振周
波数変化が大きい（｜共振周波数変化率｜＞０．１％）
とともに温度サイクルによる共振周波数変化率が大きい
（０．１％以上）ため本発明の範囲から除外した。
および圧電性が低下している（ｋ15＜０．３）ため、ｚ
＞０．４５である試料No.１９は熱衝撃前後での共振周
波数変化が大きい（｜共振周波数変化率｜＞０．１％）
とともに温度サイクルによる共振周波数変化率が大きい
（０．１％以上）ため本発明の範囲から除外した。
【００２９】副成分であるＭｎ3Ｏ4の添加量については
主成分１００重量％に対し、０．３重量％未満の試料N
o.２０では熱衝撃前後での共振周波数変化が大きく（｜
共振周波数変化率｜＞０．１％）かつ温度サイクルによ
る共振周波数変化が大きい（＞０．１％）ことから、ま
た０．８重量％より多い試料No.２１では焼結性および
圧電性が低下している（ｋ15＜０．３）ため本発明の範
囲から除外した。
主成分１００重量％に対し、０．３重量％未満の試料N
o.２０では熱衝撃前後での共振周波数変化が大きく（｜
共振周波数変化率｜＞０．１％）かつ温度サイクルによ
る共振周波数変化が大きい（＞０．１％）ことから、ま
た０．８重量％より多い試料No.２１では焼結性および
圧電性が低下している（ｋ15＜０．３）ため本発明の範
囲から除外した。
【００３０】分極条件については（表３）に示したよう
に分極温度１３０℃未満（分極条件ア）では分極未飽和
で、分極温度が１８０℃より高い温度（分極条件エ）で
は圧電磁器の比抵抗が低下し２．５kV／mm以上の直流電
圧が印加できなくなる。また分極電圧２．５kV／mm未満
（分極条件オ）では分極未飽和で、分極電圧が３．５kV
／mmより高い電圧（分極条件ケ）では分極中の圧電磁器
の歪みが大きく、磁器割れが多発することから本発明の
範囲から除外した。
に分極温度１３０℃未満（分極条件ア）では分極未飽和
で、分極温度が１８０℃より高い温度（分極条件エ）で
は圧電磁器の比抵抗が低下し２．５kV／mm以上の直流電
圧が印加できなくなる。また分極電圧２．５kV／mm未満
（分極条件オ）では分極未飽和で、分極電圧が３．５kV
／mmより高い電圧（分極条件ケ）では分極中の圧電磁器
の歪みが大きく、磁器割れが多発することから本発明の
範囲から除外した。
【００３１】
【発明の効果】以上本発明によると、厚みすべりモード
共振を利用したフィルタ、発振子用圧電磁器で半田リフ
ロー加熱を伴うチップ部品への応用が可能な耐熱性に優
れ、熱衝撃および温度サイクルによる共振周波数変動の
小さな高精度の圧電磁器組成物を提供することができ
る。
共振を利用したフィルタ、発振子用圧電磁器で半田リフ
ロー加熱を伴うチップ部品への応用が可能な耐熱性に優
れ、熱衝撃および温度サイクルによる共振周波数変動の
小さな高精度の圧電磁器組成物を提供することができ
る。
【００３２】特に本発明の圧電磁器組成物は厚みすべり
モード共振子としたときに図２に示したように２８０℃
以下の熱衝撃であれば直後の共振周波数変動がほとんど
ない安定した共振特性を有するものであり、表面実装直
後でのデバイス特性検査を実施可能にするものである。
モード共振子としたときに図２に示したように２８０℃
以下の熱衝撃であれば直後の共振周波数変動がほとんど
ない安定した共振特性を有するものであり、表面実装直
後でのデバイス特性検査を実施可能にするものである。
【図１】本発明の一実施の形態における厚みすべりモー
ド共振子の斜視図
ド共振子の斜視図
【図２】熱衝撃印加後の共振周波数経時変化を示す特性
曲線図
曲線図
１ 圧電磁器 ２ 共振電極
Claims (2)
- 【請求項１】 一般式（化１）で表される主成分に、副
成分として前記主成分１００重量％に対してＭｎ3Ｏ4を
０．３〜０．８重量％添加して形成したことを特徴とす
る圧電磁器組成物。 【化１】 - 【請求項２】 一般式（化２）で表される主成分に、副
成分として前記主成分１００重量％に対してＭｎ3Ｏ4を
０．３〜０．８重量％添加、混合する第１の工程と、こ
の混合物を仮焼して粉砕する第２の工程と、この粉砕原
料に有機結合材を加えて所定形状に成形する第３の工程
と、この成形体を焼成して焼結体を得る第４の工程と、
この焼結体を１３０〜１８０℃の温度範囲において２．
５〜３．５kV／mmの範囲内の直流電界を印加して分極す
る第５の工程とからなる圧電磁器組成物の製造方法。 【化２】
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27494598A JP2000103674A (ja) | 1998-09-29 | 1998-09-29 | 圧電磁器組成物およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27494598A JP2000103674A (ja) | 1998-09-29 | 1998-09-29 | 圧電磁器組成物およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000103674A true JP2000103674A (ja) | 2000-04-11 |
Family
ID=17548754
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27494598A Pending JP2000103674A (ja) | 1998-09-29 | 1998-09-29 | 圧電磁器組成物およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000103674A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002356372A (ja) * | 2001-05-31 | 2002-12-13 | Kyocera Corp | 圧電磁器組成物及び圧電トランス |
| WO2005092817A1 (ja) * | 2004-03-26 | 2005-10-06 | Tdk Corporation | 圧電磁器組成物 |
| JP2006067496A (ja) * | 2004-08-30 | 2006-03-09 | Tdk Corp | レゾネータ |
| JP2008094706A (ja) * | 2006-09-12 | 2008-04-24 | Tdk Corp | 圧電磁器組成物及びレゾネータ |
| JP2009078964A (ja) * | 2007-09-06 | 2009-04-16 | Tdk Corp | 圧電磁器の製造方法 |
| JP2009096688A (ja) * | 2007-10-18 | 2009-05-07 | Tdk Corp | 圧電磁器組成物、及び発振子 |
| JP2009096690A (ja) * | 2007-10-18 | 2009-05-07 | Tdk Corp | 圧電磁器組成物、及び発振子 |
| US7608215B2 (en) | 2003-09-24 | 2009-10-27 | Tdk Corporation | Method of manufacturing a piezoelectric ceramic composition |
| CN103073290A (zh) * | 2013-01-25 | 2013-05-01 | 瑞声声学科技(深圳)有限公司 | 压电陶瓷材料及其制备方法 |
-
1998
- 1998-09-29 JP JP27494598A patent/JP2000103674A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002356372A (ja) * | 2001-05-31 | 2002-12-13 | Kyocera Corp | 圧電磁器組成物及び圧電トランス |
| US7608215B2 (en) | 2003-09-24 | 2009-10-27 | Tdk Corporation | Method of manufacturing a piezoelectric ceramic composition |
| WO2005092817A1 (ja) * | 2004-03-26 | 2005-10-06 | Tdk Corporation | 圧電磁器組成物 |
| US8142677B2 (en) | 2004-03-26 | 2012-03-27 | Tdk Corporation | Piezoelectric ceramic composition |
| JP2006067496A (ja) * | 2004-08-30 | 2006-03-09 | Tdk Corp | レゾネータ |
| JP4497301B2 (ja) * | 2004-08-30 | 2010-07-07 | Ｔｄｋ株式会社 | レゾネータ |
| JP2008094706A (ja) * | 2006-09-12 | 2008-04-24 | Tdk Corp | 圧電磁器組成物及びレゾネータ |
| JP2009078964A (ja) * | 2007-09-06 | 2009-04-16 | Tdk Corp | 圧電磁器の製造方法 |
| JP2009096688A (ja) * | 2007-10-18 | 2009-05-07 | Tdk Corp | 圧電磁器組成物、及び発振子 |
| JP2009096690A (ja) * | 2007-10-18 | 2009-05-07 | Tdk Corp | 圧電磁器組成物、及び発振子 |
| CN103073290A (zh) * | 2013-01-25 | 2013-05-01 | 瑞声声学科技(深圳)有限公司 | 压电陶瓷材料及其制备方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4510966B2 (ja) | 圧電体セラミックス | |
| JP2000103674A (ja) | 圧電磁器組成物およびその製造方法 | |
| JP2002068836A (ja) | 圧電磁器組成物およびそれを用いた圧電セラミック素子 | |
| JP4169203B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| KR100966595B1 (ko) | 페로브스카이트 구조를 가지는 무연계 압전 세라믹스 및 그제조방법 | |
| JP4449331B2 (ja) | 圧電磁器およびそれを用いた圧電磁器素子 | |
| JP4569062B2 (ja) | 圧電磁器 | |
| JPWO2005030673A1 (ja) | 圧電磁器組成物、圧電素子 | |
| JP4992796B2 (ja) | 発振子 | |
| JP2001048642A (ja) | 圧電セラミックス | |
| JPH11209176A (ja) | 圧電磁器組成物およびその製造方法 | |
| JPH11322420A (ja) | 圧電磁器組成物およびその製造方法 | |
| JPH11100264A (ja) | 圧電磁器組成物およびその製造方法 | |
| JPH11322419A (ja) | 圧電磁器組成物およびその製造方法 | |
| JP3550918B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JPH09221359A (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP2910339B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP3106507B2 (ja) | 圧電性磁器組成物 | |
| JP3097217B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP2910338B2 (ja) | 圧電性磁器組成物 | |
| JP2910340B2 (ja) | 圧電性磁器組成物 | |
| JP3508244B2 (ja) | 圧電磁器組成物およびその製造方法 | |
| JP3097216B2 (ja) | 圧電性磁器組成物 | |
| JP2007258597A (ja) | 圧電体の分極方法 | |
| JP2007182353A (ja) | 圧電磁器、及び圧電部品 |