JP3508244B2 - 圧電磁器組成物およびその製造方法 - Google Patents
圧電磁器組成物およびその製造方法Info
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Landscapes
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は１０ＭＨｚ以上の高周波
に対応可能で耐熱衝撃性に優れると同時に共振周波数の
温度特性の良好な厚みすべりエネルギー閉込めモードの
圧電磁器共振子に適した圧電磁器組成物およびその製造
方法に関するものである。
に対応可能で耐熱衝撃性に優れると同時に共振周波数の
温度特性の良好な厚みすべりエネルギー閉込めモードの
圧電磁器共振子に適した圧電磁器組成物およびその製造
方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来この種の圧電磁器組成物は、チタン
酸鉛やジルコン酸鉛を主成分とし、副成分として種々の
添加物を添加したものが知られている。チタン酸鉛は、
キュリー温度が高く（４７０℃）、誘電率の小さい（〜
１７０）圧電材料であるが、単成分では焼結が極めて困
難で、緻密な焼結体が得られていなかった。
酸鉛やジルコン酸鉛を主成分とし、副成分として種々の
添加物を添加したものが知られている。チタン酸鉛は、
キュリー温度が高く（４７０℃）、誘電率の小さい（〜
１７０）圧電材料であるが、単成分では焼結が極めて困
難で、緻密な焼結体が得られていなかった。
【０００３】そこで、特開昭４８−３００９７号公報に
示されているように、チタン酸鉛に、少量のＬａ2Ｏ3と
ＭｎＯ2を同時に添加することにより、空孔率１．５％
程度の緻密なチタン酸鉛磁器を得ることができる。しか
し、このチタン酸鉛磁器に圧電性を付与するためには、
分極条件が１８０〜２００℃の高温下で６．０〜８．０
ｋＶ／ｍｍ以上の印加電圧と厳しく、分極中に絶縁破壊
を起こしやすく歩留りが低いという問題点を有してい
た。
示されているように、チタン酸鉛に、少量のＬａ2Ｏ3と
ＭｎＯ2を同時に添加することにより、空孔率１．５％
程度の緻密なチタン酸鉛磁器を得ることができる。しか
し、このチタン酸鉛磁器に圧電性を付与するためには、
分極条件が１８０〜２００℃の高温下で６．０〜８．０
ｋＶ／ｍｍ以上の印加電圧と厳しく、分極中に絶縁破壊
を起こしやすく歩留りが低いという問題点を有してい
た。
【０００４】厚みすべりエネルギー閉込めモードを使用
した圧電共振子は一般的にチタン酸ジルコン酸鉛系磁器
が用いられ、図１に示す構造を有している。
した圧電共振子は一般的にチタン酸ジルコン酸鉛系磁器
が用いられ、図１に示す構造を有している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ＰＺＴ系圧電材料を１
０ＭＨｚ以上の高周波領域で厚みすべりエネルギー閉込
めモード共振子として使用する場合１２０μｍ以下の厚
みに研磨加工する必要があるが、割れ等により良好な歩
留りは期待できなかった。また、誘電率が高いため高周
波で使用した場合に、素子の入出力インピーダンスが低
下し、外部回路とのインピーダンス整合に問題があっ
た。
０ＭＨｚ以上の高周波領域で厚みすべりエネルギー閉込
めモード共振子として使用する場合１２０μｍ以下の厚
みに研磨加工する必要があるが、割れ等により良好な歩
留りは期待できなかった。また、誘電率が高いため高周
波で使用した場合に、素子の入出力インピーダンスが低
下し、外部回路とのインピーダンス整合に問題があっ
た。
【０００６】一方ＰＴ系圧電材料では周波数定数Ｎ15が
大きく、誘電率が小さく、機械的品質係数が大きいとい
った特徴があり厚みすべりエネルギー閉込めモード共振
子としたときに優れた特性が期待できることに着目し
た。
大きく、誘電率が小さく、機械的品質係数が大きいとい
った特徴があり厚みすべりエネルギー閉込めモード共振
子としたときに優れた特性が期待できることに着目し
た。
【０００７】本発明は、１０ＭＨｚ以上の高周波領域に
対応でき、耐熱衝撃性に優れ、共振周波数の温度係数が
小さく、高い共振応答レベルを有する厚みすべりエネル
ギー閉込めモード共振素子に適した圧電磁器組成物を提
供することを目的とするものである。
対応でき、耐熱衝撃性に優れ、共振周波数の温度係数が
小さく、高い共振応答レベルを有する厚みすべりエネル
ギー閉込めモード共振素子に適した圧電磁器組成物を提
供することを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の圧電磁器組成物は、一般式（化３）で表さ
れる主成分に、副成分として少なくとも０．１〜１．２
重量％のＭｎＯ2を含有させたものを焼結させた後、１
３０〜１８０℃の温度範囲において、３．３〜６．０ｋ
Ｖ／ｍｍの直流電界を１５分以上印加して分極処理した
ことを特徴とするものである。
に、本発明の圧電磁器組成物は、一般式（化３）で表さ
れる主成分に、副成分として少なくとも０．１〜１．２
重量％のＭｎＯ2を含有させたものを焼結させた後、１
３０〜１８０℃の温度範囲において、３．３〜６．０ｋ
Ｖ／ｍｍの直流電界を１５分以上印加して分極処理した
ことを特徴とするものである。
【０００９】
【化３】
【００１０】
【作用】上記構成によると、Ｐｂの一部をＬａ，Ｃａ
で、Ｔｉの一部をＳｎ，Ｎｂで置換することにより、分
極条件を緩和しても、飽和分極できるようになるため、
分極中の絶縁破壊を防ぎ、歩留りを高めることができ
る。ここでＬａは圧電磁器の焼結性を向上させ、Ｃａは
温度特性を改善し、Ｓｎ，Ｎｂは焼結温度を低くするこ
とができるとともに、分極しやすくするという効果を有
する。
で、Ｔｉの一部をＳｎ，Ｎｂで置換することにより、分
極条件を緩和しても、飽和分極できるようになるため、
分極中の絶縁破壊を防ぎ、歩留りを高めることができ
る。ここでＬａは圧電磁器の焼結性を向上させ、Ｃａは
温度特性を改善し、Ｓｎ，Ｎｂは焼結温度を低くするこ
とができるとともに、分極しやすくするという効果を有
する。
【００１１】また、ＭｎＯ2は磁器の焼結性を向上させ
るという効果を有する。その結果、１０ＭＨｚ以上の高
周波領域に対応でき、耐熱衝撃性に優れ、共振周波数の
温度係数が小さく、高い共振応答レベルを有する厚みす
べりエネルギー閉込めモード共振素子を得ることができ
る。
るという効果を有する。その結果、１０ＭＨｚ以上の高
周波領域に対応でき、耐熱衝撃性に優れ、共振周波数の
温度係数が小さく、高い共振応答レベルを有する厚みす
べりエネルギー閉込めモード共振素子を得ることができ
る。
【００１２】
【実施例】以下本発明の実施例について具体的に説明す
る。
る。
【００１３】原料としてＰｂＯ，ＴｉＯ2，ＭｎＯ2，Ｓ
ｎＯ2，Ｎｂ2Ｏ5，Ｌａ2Ｏ3，ＣａＣＯ3，Ｃｒ2Ｏ3，Ｆ
ｅ2Ｏ3，ＣｏＯ，ＮｉＯ，Ａｌ2Ｏ3を（表１）、（表
２）の組成となるように正確に秤量し、ボールミルによ
りよく混合した。
ｎＯ2，Ｎｂ2Ｏ5，Ｌａ2Ｏ3，ＣａＣＯ3，Ｃｒ2Ｏ3，Ｆ
ｅ2Ｏ3，ＣｏＯ，ＮｉＯ，Ａｌ2Ｏ3を（表１）、（表
２）の組成となるように正確に秤量し、ボールミルによ
りよく混合した。
【００１４】
【表１】
【００１５】
【表２】
【００１６】なお素原料としてはＰｂ3Ｏ4，ＭｎＣＯ3
のように分解してＰｂＯ，ＭｎＯ2を生成するものでも
良い。次に前記混合物を８５０℃の温度で仮焼し、さら
にボールミルにより粉砕した。これを乾燥した後、結合
剤としてポリビニールアルコール水溶液を加え、造粒し
た後、１ｔｏｎ／ｃｍ2の圧力で加圧成形し、直径２０
ｍｍ−厚み７ｍｍの円柱状成形体を得た。これを閉炉中
で１２３０〜１２７０℃の温度で３時間焼成することに
より得られた円柱状圧電磁器を高さ方向に精密研磨し、
高さを５．１ｍｍとした後、焼結体密度を測定し、つい
で上下面に銀電極を焼き付け、１２０〜２００℃のシリ
コーンオイル中で、３．０〜６．５ｋＶ／ｍｍの直流電
界を１０〜３０分間印加し分極処理した。ついで分極方
向に厚み０．５ｍｍでスライス後、厚み方向精密研磨に
より厚みを０．１８ｍｍに圧電磁器２を仕上げた後、共
振銀電極１を蒸着、ついで分極方向に０．８ｍｍ幅で切
断し、図１に示した５．１×０．８０×０．１８ｍｍの
厚みすべりエネルギー閉込めモード共振素子を得た。こ
れより誘電率ε11／ε0、電気機械結合係数Ｋ15、厚み
すべり基本波の山谷比［２０×ｌｏｇ10（反共振インピ
ーダンス／共振インピーダンス）］、
のように分解してＰｂＯ，ＭｎＯ2を生成するものでも
良い。次に前記混合物を８５０℃の温度で仮焼し、さら
にボールミルにより粉砕した。これを乾燥した後、結合
剤としてポリビニールアルコール水溶液を加え、造粒し
た後、１ｔｏｎ／ｃｍ2の圧力で加圧成形し、直径２０
ｍｍ−厚み７ｍｍの円柱状成形体を得た。これを閉炉中
で１２３０〜１２７０℃の温度で３時間焼成することに
より得られた円柱状圧電磁器を高さ方向に精密研磨し、
高さを５．１ｍｍとした後、焼結体密度を測定し、つい
で上下面に銀電極を焼き付け、１２０〜２００℃のシリ
コーンオイル中で、３．０〜６．５ｋＶ／ｍｍの直流電
界を１０〜３０分間印加し分極処理した。ついで分極方
向に厚み０．５ｍｍでスライス後、厚み方向精密研磨に
より厚みを０．１８ｍｍに圧電磁器２を仕上げた後、共
振銀電極１を蒸着、ついで分極方向に０．８ｍｍ幅で切
断し、図１に示した５．１×０．８０×０．１８ｍｍの
厚みすべりエネルギー閉込めモード共振素子を得た。こ
れより誘電率ε11／ε0、電気機械結合係数Ｋ15、厚み
すべり基本波の山谷比［２０×ｌｏｇ10（反共振インピ
ーダンス／共振インピーダンス）］、
【００１７】
【外１】
【００１８】による共振周波数の変化率を測定した。測
定結果は磁器焼成温度（密度最大）とともに（表３）、
（表４）にまとめた。
定結果は磁器焼成温度（密度最大）とともに（表３）、
（表４）にまとめた。
【００１９】
【表３】
【００２０】
【表４】
【００２１】（表３）、（表４）から明らかなように
（化３）のｘ，ｙ，ｚの範囲内にある試料No.１−１，
１−４，１−５，１−９，１−１０，１−１１，１−１
３，３，４，７，８，１２，１３，１７，１８のものは
誘電率が３００以下と低く、共振周波数の熱衝撃による
変化率が−０．２％以下と小さく、共振周波数温度係数
が−６０ｐｐｍ／℃以内と比較的小さく、共振応答レベ
ルが山谷比で６０ｄＢ以上と高くなっている。また共振
周波数温度係数に着目すると本発明の請求項２および請
求項３の範囲内にある試料No.２０−１，２０−４，２
０−５，２０−９，２０−１０，２０−１３，２１，２
２，２３，２４，２５−１，２５−４，２５−５，２５
−９，２５−１０，２５−１３のものは本発明の請求項
１および請求項２の範囲内にある試料よりも小さくなっ
ておりＣｒ2Ｏ3，Ｆｅ2Ｏ3，ＣｏＯ，ＮｉＯ，Ａｌ2Ｏ3
のうち少なくとも１種を添加することにより共振周波数
温度特性が−３０ｐｐｍ／℃以内に改善されていること
が分かる。
（化３）のｘ，ｙ，ｚの範囲内にある試料No.１−１，
１−４，１−５，１−９，１−１０，１−１１，１−１
３，３，４，７，８，１２，１３，１７，１８のものは
誘電率が３００以下と低く、共振周波数の熱衝撃による
変化率が−０．２％以下と小さく、共振周波数温度係数
が−６０ｐｐｍ／℃以内と比較的小さく、共振応答レベ
ルが山谷比で６０ｄＢ以上と高くなっている。また共振
周波数温度係数に着目すると本発明の請求項２および請
求項３の範囲内にある試料No.２０−１，２０−４，２
０−５，２０−９，２０−１０，２０−１３，２１，２
２，２３，２４，２５−１，２５−４，２５−５，２５
−９，２５−１０，２５−１３のものは本発明の請求項
１および請求項２の範囲内にある試料よりも小さくなっ
ておりＣｒ2Ｏ3，Ｆｅ2Ｏ3，ＣｏＯ，ＮｉＯ，Ａｌ2Ｏ3
のうち少なくとも１種を添加することにより共振周波数
温度特性が−３０ｐｐｍ／℃以内に改善されていること
が分かる。
【００２２】（表３）、（表４）で本発明の範囲外の試
料には＊印を付したが、本発明の範囲外の磁器組成を有
する試料No.２，５，６，９，１０，１１，１４，１
５，１６，１９のものはいずれも焼結が不十分であった
り、耐熱衝撃性が低かったり、共振周波数温度特性が悪
かったり、誘電率が高く高周波領域での使用に不利であ
ったり等の不具合が少なくとも１つ以上あった。また試
料No.２６，３０のものは磁器組成の副成分がＭｎＯ2以
外にＣｒ2Ｏ3，Ｆｅ2Ｏ3，ＣｏＯ，ＮｉＯ，Ａｌ2Ｏ3の
うち少なくとも１種を加えたものであるが添加量が適正
範囲から外れているため共振周波数温度係数が改善され
ていなかったり、分極できないという不具合を有してい
た。
料には＊印を付したが、本発明の範囲外の磁器組成を有
する試料No.２，５，６，９，１０，１１，１４，１
５，１６，１９のものはいずれも焼結が不十分であった
り、耐熱衝撃性が低かったり、共振周波数温度特性が悪
かったり、誘電率が高く高周波領域での使用に不利であ
ったり等の不具合が少なくとも１つ以上あった。また試
料No.２６，３０のものは磁器組成の副成分がＭｎＯ2以
外にＣｒ2Ｏ3，Ｆｅ2Ｏ3，ＣｏＯ，ＮｉＯ，Ａｌ2Ｏ3の
うち少なくとも１種を加えたものであるが添加量が適正
範囲から外れているため共振周波数温度係数が改善され
ていなかったり、分極できないという不具合を有してい
た。
【００２３】また本発明の範囲外の条件で分極処理を施
したNo.１−２，１−３，１−６，１−７，１−８，１
−１２，２０−２，２０−３，２０−６，２０−７，２
０−８，２０−１１，２０−１２，２５−２，２５−
３，２５−６，２５−７，２５−８，２５−１１，２５
−１２のものはいずれも分極が未飽和で、共振子の応答
レベルが低かったり、熱衝撃が加わったときの共振周波
数の変化が大きい等の不具合が少なくとも１つ以上あっ
た。
したNo.１−２，１−３，１−６，１−７，１−８，１
−１２，２０−２，２０−３，２０−６，２０−７，２
０−８，２０−１１，２０−１２，２５−２，２５−
３，２５−６，２５−７，２５−８，２５−１１，２５
−１２のものはいずれも分極が未飽和で、共振子の応答
レベルが低かったり、熱衝撃が加わったときの共振周波
数の変化が大きい等の不具合が少なくとも１つ以上あっ
た。
【００２４】ここで圧電磁器組成を本発明の請求の範囲
に限定した理由を以下に説明する。ｘについてはｘ＜
０．０３の場合焼結性が低下し圧電特性が低下すること
およびｘ＞０．１２の場合キュリー温度が低下し耐熱衝
撃性が低下することから本発明の範囲から除外した。
に限定した理由を以下に説明する。ｘについてはｘ＜
０．０３の場合焼結性が低下し圧電特性が低下すること
およびｘ＞０．１２の場合キュリー温度が低下し耐熱衝
撃性が低下することから本発明の範囲から除外した。
【００２５】ｙについてはｙ＜０．０２の場合共振周波
数温度特性が悪化し、ｙ＞０．０８の場合には誘電率が
３００以上となり高周波領域での使用に不利となるため
本発明の範囲から除外した。
数温度特性が悪化し、ｙ＞０．０８の場合には誘電率が
３００以上となり高周波領域での使用に不利となるため
本発明の範囲から除外した。
【００２６】ｚについてはｚ＜０．０１の場合磁器の焼
成温度を低下させて焼結性を向上させるＰｂ（Ｓｎ1/3
Ｎｂ2/3）Ｏ3の効果が得られないため圧電性が低下し、
またｚ＞０．１０の場合誘電率が大きくなり高周波領域
での使用に不利となると同時にキュリー温度が低下し耐
熱衝撃性が低下することから本発明の範囲から除外し
た。
成温度を低下させて焼結性を向上させるＰｂ（Ｓｎ1/3
Ｎｂ2/3）Ｏ3の効果が得られないため圧電性が低下し、
またｚ＞０．１０の場合誘電率が大きくなり高周波領域
での使用に不利となると同時にキュリー温度が低下し耐
熱衝撃性が低下することから本発明の範囲から除外し
た。
【００２７】副成分としてのＭｎＯ2添加量について
０．１重量％以下では耐熱衝撃性が低下するため、１．
２重量％以上では高電界における比抵抗が低下し分極処
理が困難となるため本発明の範囲から除外した。
０．１重量％以下では耐熱衝撃性が低下するため、１．
２重量％以上では高電界における比抵抗が低下し分極処
理が困難となるため本発明の範囲から除外した。
【００２８】本発明においては上記の添加物以外に、さ
らにＣｒ2Ｏ3，Ｆｅ2Ｏ3，ＣｏＯ，ＮｉＯ，Ａｌ2Ｏ3の
うち少なくとも１種を適量添加すれば、さらに優れた特
性を有する圧電磁器組成物が得られることを見いだし
た。
らにＣｒ2Ｏ3，Ｆｅ2Ｏ3，ＣｏＯ，ＮｉＯ，Ａｌ2Ｏ3の
うち少なくとも１種を適量添加すれば、さらに優れた特
性を有する圧電磁器組成物が得られることを見いだし
た。
【００２９】共振周波数の温度係数はＣｒ2Ｏ3，Ｆｅ2
Ｏ3，ＣｏＯ，ＮｉＯ，Ａｌ2Ｏ3のうち少なくとも１種
を０．０２〜０．５０重量％添加することにより著しく
低下する。例えば（表４）に示す磁器組成物では共振周
波数温度係数は３０ｐｐｍ／℃以下と小さいものになっ
ている。ここでこれらの添加物の添加量を上記範囲に限
定したのは以下の理由による。
Ｏ3，ＣｏＯ，ＮｉＯ，Ａｌ2Ｏ3のうち少なくとも１種
を０．０２〜０．５０重量％添加することにより著しく
低下する。例えば（表４）に示す磁器組成物では共振周
波数温度係数は３０ｐｐｍ／℃以下と小さいものになっ
ている。ここでこれらの添加物の添加量を上記範囲に限
定したのは以下の理由による。
【００３０】添加量０．０２％以内では共振周波数の温
度特性を改善する効果が得られず添加量を０．５０重量
％以上とした場合にはＣｒ2Ｏ3，Ｆｅ2Ｏ3，ＣｏＯ，Ｎ
ｉＯでは高電界における比抵抗が低下し分極処理が困難
となるため、Ａｌ2Ｏ3では焼結性が低下し圧電特性の低
下が顕著となるため本発明の範囲から除外した。
度特性を改善する効果が得られず添加量を０．５０重量
％以上とした場合にはＣｒ2Ｏ3，Ｆｅ2Ｏ3，ＣｏＯ，Ｎ
ｉＯでは高電界における比抵抗が低下し分極処理が困難
となるため、Ａｌ2Ｏ3では焼結性が低下し圧電特性の低
下が顕著となるため本発明の範囲から除外した。
【００３１】次に分極条件を上記のものに限定した理由
を記載する。前述したように従来のＰＴ系磁器は分極条
件が非常に厳しく、絶縁破壊等で歩留りが低いという問
題があったが、本発明の磁器組成物についてはＰｂの一
部をＬａ，Ｃａで、Ｔｉの一部をＳｎ，Ｎｂで置換して
いるため分極条件を緩和しても飽和分極できるようにな
った。
を記載する。前述したように従来のＰＴ系磁器は分極条
件が非常に厳しく、絶縁破壊等で歩留りが低いという問
題があったが、本発明の磁器組成物についてはＰｂの一
部をＬａ，Ｃａで、Ｔｉの一部をＳｎ，Ｎｂで置換して
いるため分極条件を緩和しても飽和分極できるようにな
った。
【００３２】分極温度については（表３）、（表４）に
示したように１３０℃以下では分極が未飽和で共振子の
応答レベルが低下すると同時に熱衝撃が加わったときの
共振特性の変化が大きいため、１８０℃以上では磁器の
比抵抗が減少し高電界が印加できなくなるため本発明の
範囲から除外した。
示したように１３０℃以下では分極が未飽和で共振子の
応答レベルが低下すると同時に熱衝撃が加わったときの
共振特性の変化が大きいため、１８０℃以上では磁器の
比抵抗が減少し高電界が印加できなくなるため本発明の
範囲から除外した。
【００３３】分極電圧についても（表３）、（表４）に
示したように３．３ｋＶ／ｍｍ以下であれば分極未飽和
であり、熱衝撃が加わったときに脱分極しやすく、それ
にともない共振特性の変化が大きいため本発明の範囲か
ら除外した。
示したように３．３ｋＶ／ｍｍ以下であれば分極未飽和
であり、熱衝撃が加わったときに脱分極しやすく、それ
にともない共振特性の変化が大きいため本発明の範囲か
ら除外した。
【００３４】分極時間についても（表３）、（表４）に
示したように１５分以内であれば上記温度、印加電圧条
件であっても磁器組成によっては未飽和のものがあり、
共振子の応答レベルが低下すると同時に熱衝撃が加わっ
たときの共振特性の変化が大きいため本発明の範囲から
除外した。
示したように１５分以内であれば上記温度、印加電圧条
件であっても磁器組成によっては未飽和のものがあり、
共振子の応答レベルが低下すると同時に熱衝撃が加わっ
たときの共振特性の変化が大きいため本発明の範囲から
除外した。
【００３５】
【発明の効果】以上、本発明の圧電磁器組成物は、誘電
率、共振周波数の熱衝撃による変化率、共振周波数温度
係数が小さく、共振応答レベルが高いので、例えば、１
０ＭＨｚ以上の高周波領域に対応でき、耐熱衝撃性に優
れ、共振周波数の温度係数が小さく、高い共振応答レベ
ルを有する厚みすべりエネルギー閉込めモード共振素子
を得ることができる。
率、共振周波数の熱衝撃による変化率、共振周波数温度
係数が小さく、共振応答レベルが高いので、例えば、１
０ＭＨｚ以上の高周波領域に対応でき、耐熱衝撃性に優
れ、共振周波数の温度係数が小さく、高い共振応答レベ
ルを有する厚みすべりエネルギー閉込めモード共振素子
を得ることができる。
【図１】一般的な厚みすべりエネルギー閉込めモード共
振子の斜視図
振子の斜視図
２ 圧電磁器
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
C04B 35/46
H01L 41/187
ＣＡ（ＳＴＮ)
ＲＥＧＩＳＴＲＹ（ＳＴＮ)
Claims (3)
- 【請求項１】 一般式（化１）で表される基本組成物
に、副成分として少なくとも０．１〜１．２重量％のＭ
ｎＯ2を添加含有させた圧電磁器組成物。 【化１】 - 【請求項２】 副成分としてさらに、Ｃｒ2Ｏ3，Ｆｅ2
Ｏ3，ＣｏＯ，ＮｉＯ，Ａｌ2Ｏ3のうち少なくとも１種
を０．０２〜０．５０重量％添加含有させた請求項１記
載の圧電磁器組成物。 - 【請求項３】 一般式（化２）で表される基本組成物
に、副成分として少なくとも０．１〜１．２重量％のＭ
ｎＯ2を添加して成形し、焼成後、１３０〜１８０℃の
温度範囲において、３．３〜６．０ｋＶ／ｍｍの直流電
界を１５分以上印加して分極を行う圧電磁器組成物の製
造方法。 【化２】
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26865394A JP3508244B2 (ja) | 1994-11-01 | 1994-11-01 | 圧電磁器組成物およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26865394A JP3508244B2 (ja) | 1994-11-01 | 1994-11-01 | 圧電磁器組成物およびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08133828A JPH08133828A (ja) | 1996-05-28 |
| JP3508244B2 true JP3508244B2 (ja) | 2004-03-22 |
Family
ID=17461543
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26865394A Expired - Fee Related JP3508244B2 (ja) | 1994-11-01 | 1994-11-01 | 圧電磁器組成物およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3508244B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4299891B2 (ja) * | 1997-01-23 | 2009-07-22 | 株式会社日本触媒 | 粒状触媒の供給方法及びその供給装置 |
| JPH11343171A (ja) | 1998-05-29 | 1999-12-14 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電セラミック、圧電セラミックの製造方法、および圧電発振子 |
-
1994
- 1994-11-01 JP JP26865394A patent/JP3508244B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08133828A (ja) | 1996-05-28 |
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