JPH07172913A - 圧電磁器組成物 - Google Patents
圧電磁器組成物Info
- Publication number
- JPH07172913A JPH07172913A JP5319541A JP31954193A JPH07172913A JP H07172913 A JPH07172913 A JP H07172913A JP 5319541 A JP5319541 A JP 5319541A JP 31954193 A JP31954193 A JP 31954193A JP H07172913 A JPH07172913 A JP H07172913A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- heat resistance
- piezoelectric ceramic
- composition
- electromechanical coupling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】
【目的】高い電気機械結合係数及び低い誘電率を示し、
耐熱性を向上することができる圧電磁器組成物を提供す
る。 【構成】金属成分として少なくともＰｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、
Ｎｂ、Ｍｎ、Ｗを含む複合ペロブスカイト型化合物であ
って、これらの金属元素のモル比による組成式をＰｂa
〔（Ｎｂb Ｍｎc Ｗd ）e Ｔｉf Ｚｒ1-e-f 〕Ｏ3 と表
わした時、ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆが０．９５≦ａ≦
１．０５、０．１０≦ｂ≦０．６０、０．３０≦ｃ≦
０．６０、０．０５≦ｄ≦０．５０、０．０４≦ｅ≦
０．１２、０．２０≦ｆ≦０．３０、ｂ＋ｃ＋ｄ＝１を
満足するものである。
耐熱性を向上することができる圧電磁器組成物を提供す
る。 【構成】金属成分として少なくともＰｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、
Ｎｂ、Ｍｎ、Ｗを含む複合ペロブスカイト型化合物であ
って、これらの金属元素のモル比による組成式をＰｂa
〔（Ｎｂb Ｍｎc Ｗd ）e Ｔｉf Ｚｒ1-e-f 〕Ｏ3 と表
わした時、ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆが０．９５≦ａ≦
１．０５、０．１０≦ｂ≦０．６０、０．３０≦ｃ≦
０．６０、０．０５≦ｄ≦０．５０、０．０４≦ｅ≦
０．１２、０．２０≦ｆ≦０．３０、ｂ＋ｃ＋ｄ＝１を
満足するものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電磁器組成物に係わ
り、例えばセラミックフィルタ，セラミックレゾネー
タ，超音波応用振動子，圧電ブザー，圧電点火ユニッ
ト，超音波モータ，圧電ファン，圧電アクチュエータお
よび加速度センサ，ノッキングセンサ，ＡＥセンサ等の
圧電センサ等に適する圧電磁器組成物に関する。
り、例えばセラミックフィルタ，セラミックレゾネー
タ，超音波応用振動子，圧電ブザー，圧電点火ユニッ
ト，超音波モータ，圧電ファン，圧電アクチュエータお
よび加速度センサ，ノッキングセンサ，ＡＥセンサ等の
圧電センサ等に適する圧電磁器組成物に関する。
【０００２】
【従来技術】従来から、圧電磁器組成物を利用した製品
としては、例えばセラミックフィルタ，セラミックレゾ
ネータ，超音波応用振動子，圧電ブザー，圧電点火ユニ
ット，超音波モータ，圧電ファン，圧電センサ，圧電ア
クチュエータ等がある。ここで、セラミックフィルタ，
セラミックレゾネータ等の素子としては、ＰｂＺｒＯ3
−ＰｂＴｉＯ3 を主成分とした磁器組成物が利用されて
おり、これにＮｂ2 Ｏ5 やＭｎＯ2 等の金属酸化物、Ｐ
ｂ（Ｎｂ2/3 Ｍｇ1/3 ）Ｏ3 やＰｂ（Ｎｂ2/3Ｃ
ｏ1/3 ）Ｏ3 等の複合ペロブスカイト酸化物を添加した
り置換することにより圧電特性の向上が図られている。
としては、例えばセラミックフィルタ，セラミックレゾ
ネータ，超音波応用振動子，圧電ブザー，圧電点火ユニ
ット，超音波モータ，圧電ファン，圧電センサ，圧電ア
クチュエータ等がある。ここで、セラミックフィルタ，
セラミックレゾネータ等の素子としては、ＰｂＺｒＯ3
−ＰｂＴｉＯ3 を主成分とした磁器組成物が利用されて
おり、これにＮｂ2 Ｏ5 やＭｎＯ2 等の金属酸化物、Ｐ
ｂ（Ｎｂ2/3 Ｍｇ1/3 ）Ｏ3 やＰｂ（Ｎｂ2/3Ｃ
ｏ1/3 ）Ｏ3 等の複合ペロブスカイト酸化物を添加した
り置換することにより圧電特性の向上が図られている。
【０００３】そして、機械的品質係数Ｑｍ、電気機械結
合係数Ｋｐが大きく誘電率が小さく、最適焼成温度が広
い性質を有する圧電磁器組成物としてはＰｂ（Ｎｂ2/3
Ｍｎ1/3 ）Ｏ3 −ＰｂＺｒＯ3 −ＰｂＴｉＯ3 の三成分
固溶体からなる圧電磁気組成物が知られている（特公昭
４６−１６６３２号公報）。また、電気機械結合係数Ｋ
ｐが大きく圧電性に優れた材料として、例えば、Ｐｂ
（Ｍｎ2/3 Ｗ1/3 ）Ｏ3−ＰｂＺｒＯ3 −ＰｂＴｉＯ3
系の磁器組成物が知られている。
合係数Ｋｐが大きく誘電率が小さく、最適焼成温度が広
い性質を有する圧電磁器組成物としてはＰｂ（Ｎｂ2/3
Ｍｎ1/3 ）Ｏ3 −ＰｂＺｒＯ3 −ＰｂＴｉＯ3 の三成分
固溶体からなる圧電磁気組成物が知られている（特公昭
４６−１６６３２号公報）。また、電気機械結合係数Ｋ
ｐが大きく圧電性に優れた材料として、例えば、Ｐｂ
（Ｍｎ2/3 Ｗ1/3 ）Ｏ3−ＰｂＺｒＯ3 −ＰｂＴｉＯ3
系の磁器組成物が知られている。
【０００４】一方、近年では、セラミックフィルタ，セ
ラミックレゾネータのような圧電部品においても基板等
の表面に実装可能なように種々の条件に対応できること
が要求されており、このような圧電部品においては、部
品を基板にリフロー半田付けする際、基板に実装された
部品が３００℃程度の高温に曝されるために部品が組み
込まれる圧電素子にも耐熱性が要求されている。
ラミックレゾネータのような圧電部品においても基板等
の表面に実装可能なように種々の条件に対応できること
が要求されており、このような圧電部品においては、部
品を基板にリフロー半田付けする際、基板に実装された
部品が３００℃程度の高温に曝されるために部品が組み
込まれる圧電素子にも耐熱性が要求されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする問題点】しかしながら、上記
したＰｂ（Ｎｂ2/3 Ｍｎ1/3 ）Ｏ3 −ＰｂＺｒＯ3 −Ｐ
ｂＴｉＯ3 系や、Ｐｂ（Ｍｎ2/3 Ｗ1/3 ）Ｏ3 −ＰｂＺ
ｒＯ3 −ＰｂＴｉＯ3 系の磁器組成物では、耐熱性が低
くリフロー半田付け前後の圧電特性や共振周波数の変化
が大きく、実用上の問題となっていた。
したＰｂ（Ｎｂ2/3 Ｍｎ1/3 ）Ｏ3 −ＰｂＺｒＯ3 −Ｐ
ｂＴｉＯ3 系や、Ｐｂ（Ｍｎ2/3 Ｗ1/3 ）Ｏ3 −ＰｂＺ
ｒＯ3 −ＰｂＴｉＯ3 系の磁器組成物では、耐熱性が低
くリフロー半田付け前後の圧電特性や共振周波数の変化
が大きく、実用上の問題となっていた。
【０００６】本発明の圧電磁器組成物は、電気機械結合
係数Ｋｐが大きく、高周波用途に適した比誘電率の小さ
い材料であり、かつ耐熱性に優れた圧電磁器組成物を提
供することを目的とする。
係数Ｋｐが大きく、高周波用途に適した比誘電率の小さ
い材料であり、かつ耐熱性に優れた圧電磁器組成物を提
供することを目的とする。
【０００７】
【問題点を解決するための手段】本発明者等は、Ｐｂ、
Ｚｒ、Ｔｉ、Ｎｂ、Ｍｎ、Ｗを含む複合ペロブスカイト
型化合物であって、一定の組成を有するものは、高い電
気機械結合係数Ｋｐを有し、比誘電率が小さく、耐熱性
に優れた圧電磁器組成物を得ることができることを知見
し、本発明に至った。
Ｚｒ、Ｔｉ、Ｎｂ、Ｍｎ、Ｗを含む複合ペロブスカイト
型化合物であって、一定の組成を有するものは、高い電
気機械結合係数Ｋｐを有し、比誘電率が小さく、耐熱性
に優れた圧電磁器組成物を得ることができることを知見
し、本発明に至った。
【０００８】即ち、本発明の圧電磁器組成物は、金属元
素として少なくともＰｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｎｂ、Ｍｎ、Ｗ
を含む複合ペロブスカイト型化合物であって、これらの
金属元素のモル比による組成式をＰｂa 〔（Ｎｂb Ｍｎ
c Ｗd ）e Ｔｉf Ｚｒ1-e-f〕Ｏ3 と表わした時、ａ，
ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆが０．９５≦ａ≦１．０５、０．１
０≦ｂ≦０．６０、０．３０≦ｃ≦０．６０、０．０５
≦ｄ≦０．５０、０．０４≦ｅ≦０．１２、０．２０≦
ｆ≦０．３０、ｂ＋ｃ＋ｄ＝１．００を満足するもので
ある。
素として少なくともＰｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｎｂ、Ｍｎ、Ｗ
を含む複合ペロブスカイト型化合物であって、これらの
金属元素のモル比による組成式をＰｂa 〔（Ｎｂb Ｍｎ
c Ｗd ）e Ｔｉf Ｚｒ1-e-f〕Ｏ3 と表わした時、ａ，
ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆが０．９５≦ａ≦１．０５、０．１
０≦ｂ≦０．６０、０．３０≦ｃ≦０．６０、０．０５
≦ｄ≦０．５０、０．０４≦ｅ≦０．１２、０．２０≦
ｆ≦０．３０、ｂ＋ｃ＋ｄ＝１．００を満足するもので
ある。
【０００９】ここで、ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆを上記の
範囲に設定した理由について説明する。Ｐｂ量のａを
０．９５≦ａ≦１．０５としたのは、ａが０．９５未満
の場合や１．０５よりも大きい場合には電気機械結合係
数Ｋｐが低下するからである。
範囲に設定した理由について説明する。Ｐｂ量のａを
０．９５≦ａ≦１．０５としたのは、ａが０．９５未満
の場合や１．０５よりも大きい場合には電気機械結合係
数Ｋｐが低下するからである。
【００１０】また、Ｎｂ量のｂを０．１０≦ｂ≦０．６
０としたのは、ｂが０．１０未満では耐熱性が低下し、
ｂが０．６０よりも大きい場合には、耐熱性が低下する
とともに電気機械結合係数Ｋｐが低下するからである。
０としたのは、ｂが０．１０未満では耐熱性が低下し、
ｂが０．６０よりも大きい場合には、耐熱性が低下する
とともに電気機械結合係数Ｋｐが低下するからである。
【００１１】さらに、Ｍｎ量のｃを０．３０≦ｃ≦０．
６０としたのは、ｃが０．３０未満の場合には耐熱性が
低下し、０．６０よりも大きい場合には電気機械結合係
数Ｋｐが低下するからである。
６０としたのは、ｃが０．３０未満の場合には耐熱性が
低下し、０．６０よりも大きい場合には電気機械結合係
数Ｋｐが低下するからである。
【００１２】Ｗ量のｄを０．０５≦ｄ≦０．５０とした
のは、ｄが０．０５未満では耐熱衝撃性が低下し、０．
５０よりも大きいと耐熱性が低下するからである。
のは、ｄが０．０５未満では耐熱衝撃性が低下し、０．
５０よりも大きいと耐熱性が低下するからである。
【００１３】（Ｎｂb Ｍｎc Ｗd ）のＺｒへの置換量ｅ
を０．０４≦ｅ≦０．１２としたのは、ｅが０．０４未
満では耐熱性や耐熱衝撃性向上の効果が認められず、ま
た０．１２よりも大きいと電気機械結合係数Ｋｐが急激
に低下するからである。
を０．０４≦ｅ≦０．１２としたのは、ｅが０．０４未
満では耐熱性や耐熱衝撃性向上の効果が認められず、ま
た０．１２よりも大きいと電気機械結合係数Ｋｐが急激
に低下するからである。
【００１４】ＴｉのＺｒへの置換量ｆを０．２０≦ｆ≦
０．３０としたのは、ｆが０．２０未満の場合は電気機
械結合定数Ｋｐが低下し、０．３０よりも大きい場合に
は比誘電率が高くなり過ぎるためである。
０．３０としたのは、ｆが０．２０未満の場合は電気機
械結合定数Ｋｐが低下し、０．３０よりも大きい場合に
は比誘電率が高くなり過ぎるためである。
【００１５】また、本発明では、共振周波数の温度係数
を改善するために、Ｐｂの一部をＢａ，Ｃａ，Ｓｒ，Ｐ
ｒ，Ｎｄで置換しても良い。
を改善するために、Ｐｂの一部をＢａ，Ｃａ，Ｓｒ，Ｐ
ｒ，Ｎｄで置換しても良い。
【００１６】そして、本発明の圧電磁器は、例えば、原
料としてＰｂＯ、ＺｒＯ2 、ＴｉＯ2 、Ｎｂ2 Ｏ5 、Ｍ
ｎ2 Ｏ3 およびＷＯ3 の各原料粉末を所定量秤量し、ボ
ールミル等で１０〜２４時間湿式混合し、次いで、この
混合物を脱水、乾燥した後、５００〜１０００℃で１〜
３時間仮焼し、当該仮焼物を再びボールミル等で粉砕す
る。その後、この粉砕物に有機バインダーを混合し、造
粒後、所定圧力で成形して成形体を作製し、これらを大
気中において１２００〜１３５０℃で０．５〜４時間焼
成することにより得られる。
料としてＰｂＯ、ＺｒＯ2 、ＴｉＯ2 、Ｎｂ2 Ｏ5 、Ｍ
ｎ2 Ｏ3 およびＷＯ3 の各原料粉末を所定量秤量し、ボ
ールミル等で１０〜２４時間湿式混合し、次いで、この
混合物を脱水、乾燥した後、５００〜１０００℃で１〜
３時間仮焼し、当該仮焼物を再びボールミル等で粉砕す
る。その後、この粉砕物に有機バインダーを混合し、造
粒後、所定圧力で成形して成形体を作製し、これらを大
気中において１２００〜１３５０℃で０．５〜４時間焼
成することにより得られる。
【００１７】
【作用】本発明の圧電磁器組成物では、ＰｂＺｒＯ3 −
ＰｂＴｉＯ3 系の磁器組成物のＺｒおよびＴｉの一部を
Ｎｂ，Ｍｎ，Ｗで所定量置換することにより、高い電気
機械結合係数、低い比誘電率を示すとともに、耐熱性を
向上することが可能となる。これにより、リフロー半田
付け前後の圧電特性や共振周波数の変化を小さく、安定
した特性の部品を製造することができる。
ＰｂＴｉＯ3 系の磁器組成物のＺｒおよびＴｉの一部を
Ｎｂ，Ｍｎ，Ｗで所定量置換することにより、高い電気
機械結合係数、低い比誘電率を示すとともに、耐熱性を
向上することが可能となる。これにより、リフロー半田
付け前後の圧電特性や共振周波数の変化を小さく、安定
した特性の部品を製造することができる。
【００１８】
【実施例】以下、本発明を次の実施例で説明する。原料
粉末としてＰｂＯ、ＺｒＯ2 、ＴｉＯ2 、Ｎｂ2 Ｏ5 、
ＭｎＯ3 およびＷＯ3 の各原料粉末を表１に示すように
所定量秤量し、ボールミルで１２時間湿式混合し、次い
で、この混合物を脱水、乾燥した後、９５０℃で３時間
仮焼し、当該仮焼物を再びボールミルで粉砕する。
粉末としてＰｂＯ、ＺｒＯ2 、ＴｉＯ2 、Ｎｂ2 Ｏ5 、
ＭｎＯ3 およびＷＯ3 の各原料粉末を表１に示すように
所定量秤量し、ボールミルで１２時間湿式混合し、次い
で、この混合物を脱水、乾燥した後、９５０℃で３時間
仮焼し、当該仮焼物を再びボールミルで粉砕する。
【００１９】その後、この粉砕物に有機バインダー（Ｐ
ＶＡ）を混合し、造粒した。得られた粉末を１．５ｔ／
ｃｍ2 の圧力で直径２３ｍｍ、厚さ２ｍｍの寸法からな
る円板にプレス成形した。更に、これらの成形体をＭｇ
Ｏ等からなる容器内に密閉し、大気中１３００℃で２時
間の条件で焼成した。
ＶＡ）を混合し、造粒した。得られた粉末を１．５ｔ／
ｃｍ2 の圧力で直径２３ｍｍ、厚さ２ｍｍの寸法からな
る円板にプレス成形した。更に、これらの成形体をＭｇ
Ｏ等からなる容器内に密閉し、大気中１３００℃で２時
間の条件で焼成した。
【００２０】得られた焼結体を研磨して厚み０．５ｍｍ
の円板を形成した。この円板の両主面にＡｇペーストを
焼付けることにより電極を形成し、８０℃のシリコンオ
イル中で３ｋｖ／ｍｍの直流電圧を３０分間印加して分
極処理した後、電気機械結合係数，耐熱性を評価した。
また、比誘電率εｒをインピーダンスメータで求められ
た容量から計算して求めた。
の円板を形成した。この円板の両主面にＡｇペーストを
焼付けることにより電極を形成し、８０℃のシリコンオ
イル中で３ｋｖ／ｍｍの直流電圧を３０分間印加して分
極処理した後、電気機械結合係数，耐熱性を評価した。
また、比誘電率εｒをインピーダンスメータで求められ
た容量から計算して求めた。
【００２１】電気機械結合係数Ｋｐはインピーダンスメ
ータで測定した共振周波数と反共振周波数の値から計算
により求めた。耐熱性は、２６０℃をピークとするリフ
ロー炉に３回連続して通過させる試験を行った際の、試
験前の共振周波数ｆｒ1 と試験後の共振周波数ｆｒ2 の
値から、Δｆｒ＝（ｆｒ2 −ｆｒ1 ）／ｆｒ1 ×１００
の式を用いて算出した変化率Δｆｒで評価した。
ータで測定した共振周波数と反共振周波数の値から計算
により求めた。耐熱性は、２６０℃をピークとするリフ
ロー炉に３回連続して通過させる試験を行った際の、試
験前の共振周波数ｆｒ1 と試験後の共振周波数ｆｒ2 の
値から、Δｆｒ＝（ｆｒ2 −ｆｒ1 ）／ｆｒ1 ×１００
の式を用いて算出した変化率Δｆｒで評価した。
【００２２】結果を表１に示す。
【００２３】
【表１】
【００２４】この表１から、本発明の磁器組成物は電気
機械結合係数Ｋｐが１５％以上と大きく、また、比誘電
率は３５０以下と低く、さらに、耐熱試験による共振周
波数の変化が±０．１％以下と小さく、耐熱性に優れて
いることが判る。
機械結合係数Ｋｐが１５％以上と大きく、また、比誘電
率は３５０以下と低く、さらに、耐熱試験による共振周
波数の変化が±０．１％以下と小さく、耐熱性に優れて
いることが判る。
【００２５】尚、従来のＰｂ（Ｎｂ2/3 Ｍｎ1/3 ）0.1
Ｚｒ0.66Ｔｉ0.24Ｏ3 からなる圧電磁器では、試料Ｎo.
２０に示すように、電気機械結合係数Ｋｐが２０．９
％、比誘電率が３２０、耐熱性が−０．２５％であり、
耐熱性が非常に悪かったが、本発明品では従来の圧電磁
器よりも耐熱性を大幅に向上していることが判る。
Ｚｒ0.66Ｔｉ0.24Ｏ3 からなる圧電磁器では、試料Ｎo.
２０に示すように、電気機械結合係数Ｋｐが２０．９
％、比誘電率が３２０、耐熱性が−０．２５％であり、
耐熱性が非常に悪かったが、本発明品では従来の圧電磁
器よりも耐熱性を大幅に向上していることが判る。
【００２６】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明によれば、Ｐ
ｂＺｒＯ3 −ＰｂＴｉＯ3 系の磁器組成物のＺｒおよび
Ｔｉの一部をＮｂ，Ｍｎ，Ｗで置換することにより、高
い電気機械結合係数Ｋｐ及び低い誘電率を示し、耐熱性
を向上することができ、表面実装用圧電部品などの素子
として有効に用いられる圧電磁器組成物を得ることがで
きる。
ｂＺｒＯ3 −ＰｂＴｉＯ3 系の磁器組成物のＺｒおよび
Ｔｉの一部をＮｂ，Ｍｎ，Ｗで置換することにより、高
い電気機械結合係数Ｋｐ及び低い誘電率を示し、耐熱性
を向上することができ、表面実装用圧電部品などの素子
として有効に用いられる圧電磁器組成物を得ることがで
きる。
Claims (1)
- 【請求項１】金属元素として少なくともＰｂ、Ｚｒ、Ｔ
ｉ、Ｎｂ、Ｍｎ、Ｗを含む複合ペロブスカイト型化合物
であって、これらの金属元素のモル比による組成式をＰ
ｂa 〔（Ｎｂb Ｍｎc Ｗd ）e Ｔｉf Ｚｒ1-e-f 〕Ｏ3
と表わした時、ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆが ０．９５≦ａ≦１．０５ ０．１０≦ｂ≦０．６０ ０．３０≦ｃ≦０．６０ ０．０５≦ｄ≦０．５０ ０．０４≦ｅ≦０．１２ ０．２０≦ｆ≦０．３０ ｂ＋ｃ＋ｄ＝１．００ を満足することを特徴とする圧電磁器組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5319541A JPH07172913A (ja) | 1993-12-20 | 1993-12-20 | 圧電磁器組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5319541A JPH07172913A (ja) | 1993-12-20 | 1993-12-20 | 圧電磁器組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07172913A true JPH07172913A (ja) | 1995-07-11 |
Family
ID=18111406
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5319541A Pending JPH07172913A (ja) | 1993-12-20 | 1993-12-20 | 圧電磁器組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07172913A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2813075A1 (fr) * | 2000-08-18 | 2002-02-22 | Murata Manufacturing Co | Materiau en ceramique piezoelectrique, compact en ceramique piezoelectrique fritte et dispositif en ceramique piezoelectrique |
-
1993
- 1993-12-20 JP JP5319541A patent/JPH07172913A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2813075A1 (fr) * | 2000-08-18 | 2002-02-22 | Murata Manufacturing Co | Materiau en ceramique piezoelectrique, compact en ceramique piezoelectrique fritte et dispositif en ceramique piezoelectrique |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3482394B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP3654408B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP3198906B2 (ja) | 圧電体磁器組成物 | |
| JP3481832B2 (ja) | 圧電磁器 | |
| JP4361990B2 (ja) | 圧電体磁器組成物 | |
| JP3215013B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JPH07172913A (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP3164721B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP3266483B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP3228648B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JPH09124367A (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP3761970B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP3981221B2 (ja) | 圧電磁器 | |
| JP3404212B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JPS6358782B2 (ja) | ||
| JP2892268B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP3318480B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP2737451B2 (ja) | 圧電磁器材料 | |
| JPH0891927A (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JPH08231270A (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JPH09142931A (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JPH07187775A (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP2910339B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JPH1017364A (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP3481441B2 (ja) | 圧電磁器組成物 |