JP3164721B2 - 圧電磁器組成物 - Google Patents
圧電磁器組成物Info
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- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電磁器組成物に係わ
り、例えばセラミックフィルタ，セラミックレゾネー
タ，超音波応用振動子，圧電ブザー，圧電点火ユニッ
ト，超音波モータ，圧電ファン，圧電アクチュエータお
よび加速度センサ，ノッキングセンサ，ＡＥセンサ等の
圧電センサ等に適する圧電磁器組成物に関する。
り、例えばセラミックフィルタ，セラミックレゾネー
タ，超音波応用振動子，圧電ブザー，圧電点火ユニッ
ト，超音波モータ，圧電ファン，圧電アクチュエータお
よび加速度センサ，ノッキングセンサ，ＡＥセンサ等の
圧電センサ等に適する圧電磁器組成物に関する。
【０００２】
【従来技術】従来から、圧電磁器を利用した製品として
は、例えばセラミックフィルタ，セラミックレゾネー
タ，超音波応用振動子，圧電ブザー，圧電点火ユニッ
ト，超音波モータ，圧電ファン，圧電センサ，圧電アク
チュエータ等がある。
は、例えばセラミックフィルタ，セラミックレゾネー
タ，超音波応用振動子，圧電ブザー，圧電点火ユニッ
ト，超音波モータ，圧電ファン，圧電センサ，圧電アク
チュエータ等がある。
【０００３】セラミックフィルタ，セラミックレゾネー
タ等の素子としては、ＰｂＺｒＯ3−ＰｂＴｉＯ3 を主
成分とした磁器組成物が利用されており、これによりＮ
ｂ2Ｏ5 やＭｎＯ2 等の金属酸化物、Ｐｂ（Ｎｂ2/3 Ｍ
ｇ1/3 ）Ｏ3 やＰｂ（Ｎｂ2/ 3 Ｍｎ1/3 ）Ｏ3 等の複合
ペロブスカイト酸化物を添加したり置換することにより
圧電特性の向上が図られている。このような圧電磁器組
成物としては、電気機械結合係数Ｋｐが大きく圧電性に
優れた材料として、例えばＰｂ（Ｎｂ2/3 Ｃｏ1/3 ）Ｏ
3 −ＰｂＺｒＯ3 −ＰｂＴｉＯ3 系の磁器組成物が知ら
れている。
タ等の素子としては、ＰｂＺｒＯ3−ＰｂＴｉＯ3 を主
成分とした磁器組成物が利用されており、これによりＮ
ｂ2Ｏ5 やＭｎＯ2 等の金属酸化物、Ｐｂ（Ｎｂ2/3 Ｍ
ｇ1/3 ）Ｏ3 やＰｂ（Ｎｂ2/ 3 Ｍｎ1/3 ）Ｏ3 等の複合
ペロブスカイト酸化物を添加したり置換することにより
圧電特性の向上が図られている。このような圧電磁器組
成物としては、電気機械結合係数Ｋｐが大きく圧電性に
優れた材料として、例えばＰｂ（Ｎｂ2/3 Ｃｏ1/3 ）Ｏ
3 −ＰｂＺｒＯ3 −ＰｂＴｉＯ3 系の磁器組成物が知ら
れている。
【０００４】一方、近年では、セラミックフィルタ，セ
ラミックレゾネータのような圧電部品においても基板等
の表面に実装可能なように種々の条件に対応できること
が要求されており、このような圧電部品においては、部
品を基板にリフロー半田付けする際、基板に実装された
部品が３００℃程度の高温に曝されるために圧電素子に
も耐熱性が要求されている。
ラミックレゾネータのような圧電部品においても基板等
の表面に実装可能なように種々の条件に対応できること
が要求されており、このような圧電部品においては、部
品を基板にリフロー半田付けする際、基板に実装された
部品が３００℃程度の高温に曝されるために圧電素子に
も耐熱性が要求されている。
【０００５】また、例えば、図１に示すようなラダー形
フィルタは直列共振子１と並列共振子２からなり、直列
共振子１は、特性として、機械的品質係数Ｑｍが小さ
く、電気機械結合係数Ｋｐが大きく、かつ補償減衰量を
大きくするため比誘電率εｒが小さく、耐熱性に優れた
材料が必要になる。
フィルタは直列共振子１と並列共振子２からなり、直列
共振子１は、特性として、機械的品質係数Ｑｍが小さ
く、電気機械結合係数Ｋｐが大きく、かつ補償減衰量を
大きくするため比誘電率εｒが小さく、耐熱性に優れた
材料が必要になる。
【０００６】
【発明が解決しようとする問題点】しかしながら、従来
の例えば上記したＰｂ（Ｎｂ2/3 Ｃｏ1/3 ）Ｏ3 −Ｐｂ
ＺｒＯ3 −ＰｂＴｉＯ3 系の磁器組成物は、比誘電率が
１５００程度と大きく、電気機械結合係数Ｋｐが５０％
程度と大きいが、耐熱性が低いためリフロー半田付け前
後の圧電特性や共振周波数の温度変化が大きく、実用上
の問題となっていた。また、例えば、ラダー形フィルタ
の直列共振子には比誘電率εｒが小さいことが要求され
るが、素子の比誘電率εｒを小さくすると電気機械結合
係数Ｋｐが急激に低下するという問題があった。
の例えば上記したＰｂ（Ｎｂ2/3 Ｃｏ1/3 ）Ｏ3 −Ｐｂ
ＺｒＯ3 −ＰｂＴｉＯ3 系の磁器組成物は、比誘電率が
１５００程度と大きく、電気機械結合係数Ｋｐが５０％
程度と大きいが、耐熱性が低いためリフロー半田付け前
後の圧電特性や共振周波数の温度変化が大きく、実用上
の問題となっていた。また、例えば、ラダー形フィルタ
の直列共振子には比誘電率εｒが小さいことが要求され
るが、素子の比誘電率εｒを小さくすると電気機械結合
係数Ｋｐが急激に低下するという問題があった。
【０００７】本発明の圧電磁器組成物は、比誘電率が小
さく、高い電気機械結合係数を示すとともに、耐熱性に
優れた圧電磁器組成物を提供することを目的とするもの
で、特にセラミックフィルタに用いられる比誘電率の小
さい直列共振子や超音波振動子に好適な圧電磁器組成物
を提供することを目的とする。
さく、高い電気機械結合係数を示すとともに、耐熱性に
優れた圧電磁器組成物を提供することを目的とするもの
で、特にセラミックフィルタに用いられる比誘電率の小
さい直列共振子や超音波振動子に好適な圧電磁器組成物
を提供することを目的とする。
【０００８】
【問題点を解決するための手段】本発明者等は、Ｐｂ、
Ｚｒ、Ｔｉ、Ｎｂ、Ｙｂ、Ｉｎを含む複合ペロブスカイ
ト型化合物であって、これらを特定の組成に制御するこ
とにより、誘電率が小さく、高い電気機械結合係数を有
し、耐熱性および耐熱衝撃性に優れた圧電磁器組成物が
得られることを知見し、本発明に至った。
Ｚｒ、Ｔｉ、Ｎｂ、Ｙｂ、Ｉｎを含む複合ペロブスカイ
ト型化合物であって、これらを特定の組成に制御するこ
とにより、誘電率が小さく、高い電気機械結合係数を有
し、耐熱性および耐熱衝撃性に優れた圧電磁器組成物が
得られることを知見し、本発明に至った。
【０００９】即ち、本発明の圧電磁器組成物は、金属成
分として少なくともＰｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｎｂ、Ｙｂ、Ｉ
ｎを含む複合ペロブスカイト型化合物であって、これら
の金属元素のモル比による組成式をＰｂa 〔（Ｎｂb Ｙ
ｂc Ｉｎd ）e Ｔｉf Ｚｒ1- e-f 〕Ｏ3 と表わした時、
ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆが０．９５≦ａ≦１．０５、ｂ
＝１．００、０．２５≦ｃ≦０．９０、０．１０≦ｄ≦
０．７５、０．０５≦ｅ≦０．１５、０．３２≦ｆ≦
０．４０を満足するものであり、Ｐｂの一部がＣａ，Ｓ
ｒ，Ｂａ，Ｐｒ，Ｎｄの少なくとも一種で２．０モル％
以下で置換されていることが特に望ましい。
分として少なくともＰｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｎｂ、Ｙｂ、Ｉ
ｎを含む複合ペロブスカイト型化合物であって、これら
の金属元素のモル比による組成式をＰｂa 〔（Ｎｂb Ｙ
ｂc Ｉｎd ）e Ｔｉf Ｚｒ1- e-f 〕Ｏ3 と表わした時、
ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆが０．９５≦ａ≦１．０５、ｂ
＝１．００、０．２５≦ｃ≦０．９０、０．１０≦ｄ≦
０．７５、０．０５≦ｅ≦０．１５、０．３２≦ｆ≦
０．４０を満足するものであり、Ｐｂの一部がＣａ，Ｓ
ｒ，Ｂａ，Ｐｒ，Ｎｄの少なくとも一種で２．０モル％
以下で置換されていることが特に望ましい。
【００１０】ここで、ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆを上記の
範囲に設定した理由について説明する。Ｐｂ量のａを
０．９５≦ａ≦１．０５としたのは、ａが０．９５未満
の場合は電気機械結合係数Ｋｐが低下し、ａが１．０５
よりも大きい場合には電気機械結合係数Ｋｐ、機械的品
質係数Ｑｍや耐熱性ｆｒa が低下するからである。Ｐｂ
量は０．９９≦ａ≦１．０１であることが特に望まし
い。
範囲に設定した理由について説明する。Ｐｂ量のａを
０．９５≦ａ≦１．０５としたのは、ａが０．９５未満
の場合は電気機械結合係数Ｋｐが低下し、ａが１．０５
よりも大きい場合には電気機械結合係数Ｋｐ、機械的品
質係数Ｑｍや耐熱性ｆｒa が低下するからである。Ｐｂ
量は０．９９≦ａ≦１．０１であることが特に望まし
い。
【００１１】さらに、Ｙｂ量のｃを０．２５≦ｃ≦０．
９０としたのは、ｃが０．２５未満の場合や０．９０よ
りも大きい場合には電気機械結合係数Ｋｐが低下するか
らである。Ｙｂ量は０．５０≦ｃ≦０．７５であること
が特に望ましい。
９０としたのは、ｃが０．２５未満の場合や０．９０よ
りも大きい場合には電気機械結合係数Ｋｐが低下するか
らである。Ｙｂ量は０．５０≦ｃ≦０．７５であること
が特に望ましい。
【００１２】Ｉｎ量のｄを０．１０≦ｄ≦０．７５とし
たのは、ｄが０．１０未満の場合や０．７５よりも大き
い場合には電気機械結合係数Ｋｐが低下するからであ
る。
たのは、ｄが０．１０未満の場合や０．７５よりも大き
い場合には電気機械結合係数Ｋｐが低下するからであ
る。
【００１３】（Ｎｂb Ｙｂc Ｉｎd ）のＺｒへの置換量
ｅを０．０５≦ｅ≦０．１５としたのは、ｅが０．０５
未満では電気機械結合係数Ｋｐが低下したり耐熱性の効
果が認められず、また０．１５よりも大きいと電気機械
結合係数Ｋｐが急激に低下するからである。（Ｎｂb Ｙ
ｂc Ｉｎd ）のＺｒへの置換量ｅは０．１０≦ｅ≦０．
１５であることが特に望ましい。
ｅを０．０５≦ｅ≦０．１５としたのは、ｅが０．０５
未満では電気機械結合係数Ｋｐが低下したり耐熱性の効
果が認められず、また０．１５よりも大きいと電気機械
結合係数Ｋｐが急激に低下するからである。（Ｎｂb Ｙ
ｂc Ｉｎd ）のＺｒへの置換量ｅは０．１０≦ｅ≦０．
１５であることが特に望ましい。
【００１４】ＴｉのＺｒへの置換量ｆを０．３２≦ｆ≦
０．４０としたのは、ｆが０．３２未満の場合や０．４
０よりも大きい場合には耐熱性が悪化したり電気機械結
合係数Ｋｐが低下するからである。ＴｉのＺｒへの置換
量ｆは０．３５≦ｆ≦０．４０であることが特に望まし
い。
０．４０としたのは、ｆが０．３２未満の場合や０．４
０よりも大きい場合には耐熱性が悪化したり電気機械結
合係数Ｋｐが低下するからである。ＴｉのＺｒへの置換
量ｆは０．３５≦ｆ≦０．４０であることが特に望まし
い。
【００１５】また、Ｐｂの一部をＣａ，Ｓｒ，Ｂａ，Ｎ
ｄ，Ｐｒの少なくとも一種で２．０モル％以下で置換し
たのは、置換することにより共振周波数の温度特性を向
上することができるとともに、電気機械結合係数Ｋｐを
向上することができるからである。この置換量を２．０
モル％以下に限定したのは、２．０モル％よりも多くな
ると電気機械結合係数Ｋｐが低下し易いからである。Ｐ
ｂのＣａ，Ｓｒ，Ｂａ，Ｎｄ，Ｐｒによる置換量は０．
５モル％以上２．０モル％以下であることが特に望まし
い。
ｄ，Ｐｒの少なくとも一種で２．０モル％以下で置換し
たのは、置換することにより共振周波数の温度特性を向
上することができるとともに、電気機械結合係数Ｋｐを
向上することができるからである。この置換量を２．０
モル％以下に限定したのは、２．０モル％よりも多くな
ると電気機械結合係数Ｋｐが低下し易いからである。Ｐ
ｂのＣａ，Ｓｒ，Ｂａ，Ｎｄ，Ｐｒによる置換量は０．
５モル％以上２．０モル％以下であることが特に望まし
い。
【００１６】本発明の圧電磁器は、原料として、例え
ば、ＰｂＯ、ＺｒＯ2 、ＴｉＯ2 、Ｎｂ2 Ｏ5 、Ｙｂ2
Ｏ3 、Ｉｎ2 Ｏ3 、ＣａＣＯ3 、ＳｒＣＯ3 およびＢａ
ＣＯ3、Ｎｂ2 Ｏ3 、Ｐｒ6 Ｏ11の各原料粉末を所定量
秤量し、ボールミル等で１０〜２４時間湿式混合し、次
いで、この混合物を脱水、乾燥した後、５００〜１００
０℃で１〜３時間仮焼し、当該仮焼物を再びボールミル
等で粉砕する。
ば、ＰｂＯ、ＺｒＯ2 、ＴｉＯ2 、Ｎｂ2 Ｏ5 、Ｙｂ2
Ｏ3 、Ｉｎ2 Ｏ3 、ＣａＣＯ3 、ＳｒＣＯ3 およびＢａ
ＣＯ3、Ｎｂ2 Ｏ3 、Ｐｒ6 Ｏ11の各原料粉末を所定量
秤量し、ボールミル等で１０〜２４時間湿式混合し、次
いで、この混合物を脱水、乾燥した後、５００〜１００
０℃で１〜３時間仮焼し、当該仮焼物を再びボールミル
等で粉砕する。
【００１７】その後、この粉砕物に有機バインダーを混
合し、造粒後、所定圧力で成形して成形体を作製し、こ
れらを大気中において１２００〜１３５０℃で０．５〜
４時間焼成することにより得られる。
合し、造粒後、所定圧力で成形して成形体を作製し、こ
れらを大気中において１２００〜１３５０℃で０．５〜
４時間焼成することにより得られる。
【００１８】
【作用】本発明の圧電磁器組成物では、ＰｂＺｒＯ3 −
ＰｂＴｉＯ3 系の磁器組成物のＺｒ，Ｔｉの一部をＮ
ｂ，Ｙｂ，Ｉｎで置換することにより、比誘電率が３０
０〜１０００で、電気機械結合係数Ｋｐが３０％以上の
高い特性を示すとともに、２５０℃程度の温度サイクル
に対しても優れた耐熱性を有し、共振周波数の変化が殆
ど生じることがなく、優れた安定性を示す。このため、
リフロー半田付けにより素子を基板に実装する場合にお
いて、特性の変化がなく、製造時の良品率を高めること
ができる。
ＰｂＴｉＯ3 系の磁器組成物のＺｒ，Ｔｉの一部をＮ
ｂ，Ｙｂ，Ｉｎで置換することにより、比誘電率が３０
０〜１０００で、電気機械結合係数Ｋｐが３０％以上の
高い特性を示すとともに、２５０℃程度の温度サイクル
に対しても優れた耐熱性を有し、共振周波数の変化が殆
ど生じることがなく、優れた安定性を示す。このため、
リフロー半田付けにより素子を基板に実装する場合にお
いて、特性の変化がなく、製造時の良品率を高めること
ができる。
【００１９】
【実施例】以下、本発明を次の実施例で説明する。原料
粉末としてＰｂＯ、ＺｒＯ2 、ＴｉＯ2 、Ｎｂ2 Ｏ5 、
Ｙｂ2 Ｏ3 、Ｉｎ2 Ｏ3 、ＣａＣＯ3 、ＳｒＣＯ3 ，Ｂ
ａＣＯ3 、Ｎｂ2 Ｏ3 およびＰｒ6 Ｏ11の各原料粉末を
表１および表２に示すように所定量秤量し、ボールミル
で１２時間湿式混合し、次いで、この混合物を脱水、乾
燥した後、９５０℃で３時間仮焼し、当該仮焼物を再び
ボールミルで粉砕する。
粉末としてＰｂＯ、ＺｒＯ2 、ＴｉＯ2 、Ｎｂ2 Ｏ5 、
Ｙｂ2 Ｏ3 、Ｉｎ2 Ｏ3 、ＣａＣＯ3 、ＳｒＣＯ3 ，Ｂ
ａＣＯ3 、Ｎｂ2 Ｏ3 およびＰｒ6 Ｏ11の各原料粉末を
表１および表２に示すように所定量秤量し、ボールミル
で１２時間湿式混合し、次いで、この混合物を脱水、乾
燥した後、９５０℃で３時間仮焼し、当該仮焼物を再び
ボールミルで粉砕する。
【００２０】その後、この粉砕物に有機バインダー（Ｐ
ＶＡ）を混合し、造粒した。得られた粉末を１．５ｔ／
ｃｍ2 の圧力で直径２３ｍｍ、厚さ２ｍｍの寸法からな
る円板にプレス成形した。更に、これらの成形体をＭｇ
Ｏ等からなる容器内に密閉し、大気中１３００℃で２時
間の条件で焼成した。
ＶＡ）を混合し、造粒した。得られた粉末を１．５ｔ／
ｃｍ2 の圧力で直径２３ｍｍ、厚さ２ｍｍの寸法からな
る円板にプレス成形した。更に、これらの成形体をＭｇ
Ｏ等からなる容器内に密閉し、大気中１３００℃で２時
間の条件で焼成した。
【００２１】得られた焼結体を研磨して厚み０．５ｍｍ
の円板を形成した。この円板の両主面にＡｇペーストを
焼付けることにより電極を形成し、８０℃のシリコンオ
イル中で３ｋｖ／ｍｍの直流電圧を３０分間印加して分
極処理した後、電気機械結合係数Ｋｐ，耐熱性，比誘電
率εｒ，機械的品質係数Ｑｍを評価した。
の円板を形成した。この円板の両主面にＡｇペーストを
焼付けることにより電極を形成し、８０℃のシリコンオ
イル中で３ｋｖ／ｍｍの直流電圧を３０分間印加して分
極処理した後、電気機械結合係数Ｋｐ，耐熱性，比誘電
率εｒ，機械的品質係数Ｑｍを評価した。
【００２２】電気機械結合係数Ｋｐ、比誘電率εｒ，機
械的品質係数Ｑｍはインピーダンスアナライザーにより
算出した。耐熱性は、２５０℃をピークとするリフロー
炉に３回連続して通過させる試験を行った際の、試験前
の共振周波数ｆｒ1 と試験後の共振周波数ｆｒ2 の値か
ら、Δｆｒa ＝（ｆｒ2 −ｆｒ1 ）／ｆｒ1 ×１００の
式を用いて算出した変化率Δｆｒa で評価した。結果を
表１，２に示す。
械的品質係数Ｑｍはインピーダンスアナライザーにより
算出した。耐熱性は、２５０℃をピークとするリフロー
炉に３回連続して通過させる試験を行った際の、試験前
の共振周波数ｆｒ1 と試験後の共振周波数ｆｒ2 の値か
ら、Δｆｒa ＝（ｆｒ2 −ｆｒ1 ）／ｆｒ1 ×１００の
式を用いて算出した変化率Δｆｒa で評価した。結果を
表１，２に示す。
【００２３】
【表１】
【００２４】
【表２】
【００２５】これらの表から、本発明の磁器組成物は、
比誘電率εｒが３００〜１０００、電気機械結合係数Ｋ
P が３０％以上と大きく、また、耐熱試験における共振
周波数の温度変化Δｆｒa が０．２０％以下と小さいこ
とが判る。
比誘電率εｒが３００〜１０００、電気機械結合係数Ｋ
P が３０％以上と大きく、また、耐熱試験における共振
周波数の温度変化Δｆｒa が０．２０％以下と小さいこ
とが判る。
【００２６】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明によれば、Ｐ
ｂＺｒＯ3 −ＰｂＴｉＯ3 系の磁器組成物のＺｒおよび
Ｔｉの一部をＮｂ，Ｙｂ，Ｉｎで置換することにより、
比誘電率が小さく、高い電気機械結合係数を示し、耐熱
性を向上することができ、表面実装用圧電部品などの素
子として有効に用いられる圧電磁器組成物を得ることが
できる。
ｂＺｒＯ3 −ＰｂＴｉＯ3 系の磁器組成物のＺｒおよび
Ｔｉの一部をＮｂ，Ｙｂ，Ｉｎで置換することにより、
比誘電率が小さく、高い電気機械結合係数を示し、耐熱
性を向上することができ、表面実装用圧電部品などの素
子として有効に用いられる圧電磁器組成物を得ることが
できる。
【図１】ラダー形フィルタを示す説明図である。
１ 直列共振子 ２ 並列共振子
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C04B 35/49 ＣＡ（ＳＴＮ) ＲＥＧＩＳＴＲＹ（ＳＴＮ)
Claims (2)
- 【請求項１】金属成分として少なくともＰｂ、Ｚｒ、Ｔ
ｉ、Ｎｂ、Ｙｂ、Ｉｎを含む複合ペロブスカイト型化合
物であって、これらの金属元素のモル比による組成式を
Ｐｂa 〔（Ｎｂb Ｙｂc Ｉｎd ）e Ｔｉf Ｚｒ1-e-f 〕
Ｏ3 と表わした時、ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆが ０．９５≦ａ≦１．０５ ｂ＝１．００ ０．２５≦ｃ≦０．９０ ０．１０≦ｄ≦０．７５ ０．０５≦ｅ≦０．１５ ０．３２≦ｆ≦０．４０ を満足することを特徴とする圧電磁器組成物。 - 【請求項２】Ｐｂの一部がＣａ，Ｓｒ，Ｂａ，Ｐｒ，Ｎ
ｄのうち少なくとも一種で２．０モル％以下置換されて
いることを特徴とする請求項１記載の圧電磁器組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29936593A JP3164721B2 (ja) | 1993-11-30 | 1993-11-30 | 圧電磁器組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29936593A JP3164721B2 (ja) | 1993-11-30 | 1993-11-30 | 圧電磁器組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07149562A JPH07149562A (ja) | 1995-06-13 |
| JP3164721B2 true JP3164721B2 (ja) | 2001-05-08 |
Family
ID=17871619
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29936593A Expired - Fee Related JP3164721B2 (ja) | 1993-11-30 | 1993-11-30 | 圧電磁器組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3164721B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100417592C (zh) * | 2004-12-01 | 2008-09-10 | 长春理工大学 | 沸石与硫化镉纳米复合材料及其制备方法 |
-
1993
- 1993-11-30 JP JP29936593A patent/JP3164721B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100417592C (zh) * | 2004-12-01 | 2008-09-10 | 长春理工大学 | 沸石与硫化镉纳米复合材料及其制备方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07149562A (ja) | 1995-06-13 |
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