SE0402180D0 - Deposition of Ti1-xAlxN using Bipolar Pulsed Dual Magnetron Sputtering - Google Patents

Deposition of Ti1-xAlxN using Bipolar Pulsed Dual Magnetron Sputtering

Info

Publication number
SE0402180D0
SE0402180D0 SE0402180A SE0402180A SE0402180D0 SE 0402180 D0 SE0402180 D0 SE 0402180D0 SE 0402180 A SE0402180 A SE 0402180A SE 0402180 A SE0402180 A SE 0402180A SE 0402180 D0 SE0402180 D0 SE 0402180D0
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
target
magnetron
deposition
xalxn
bipolar pulsed
Prior art date
Application number
SE0402180A
Other languages
English (en)
Swedish (sv)
Inventor
Maria Aastrand
Torbjoern Selinder
Mats Sjoestrand
Original Assignee
Sandvik Ab
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sandvik Ab filed Critical Sandvik Ab
Priority to SE0402180A priority Critical patent/SE0402180D0/xx
Publication of SE0402180D0 publication Critical patent/SE0402180D0/xx
Priority to US10/579,333 priority patent/US7749594B2/en
Priority to KR1020067011715A priority patent/KR101240148B1/ko
Priority to EP05777956.3A priority patent/EP1791986B1/en
Priority to JP2007531129A priority patent/JP4885859B2/ja
Priority to EP10177809A priority patent/EP2264209B1/en
Priority to CN2005800013462A priority patent/CN1898406B/zh
Priority to PCT/SE2005/001310 priority patent/WO2006041366A1/en
Priority to IL175135A priority patent/IL175135A0/en

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
    • C23C30/005—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process on hard metal substrates
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/0021—Reactive sputtering or evaporation
    • C23C14/0036—Reactive sputtering
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0641—Nitrides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C23C14/3485—Sputtering using pulsed power to the target
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C23C14/35—Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering
    • C23C14/352—Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering using more than one target
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
    • H01J37/3402—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering using supplementary magnetic fields
    • H01J37/3405—Magnetron sputtering
    • H01J37/3408—Planar magnetron sputtering
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
    • H01J37/3411—Constructional aspects of the reactor
    • H01J37/3414—Targets
    • H01J37/3426—Material
    • H01J37/3429—Plural materials
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
    • H01J37/3464—Operating strategies
    • H01J37/3467—Pulsed operation, e.g. HIPIMS
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24942—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
    • Y10T428/2495—Thickness [relative or absolute]
    • Y10T428/24967—Absolute thicknesses specified
    • Y10T428/24975—No layer or component greater than 5 mils thick
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
    • Y10T428/263—Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
    • Y10T428/264—Up to 3 mils
    • Y10T428/265—1 mil or less

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Drilling Tools (AREA)
SE0402180A 2004-09-10 2004-09-10 Deposition of Ti1-xAlxN using Bipolar Pulsed Dual Magnetron Sputtering SE0402180D0 (sv)

Priority Applications (9)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE0402180A SE0402180D0 (sv) 2004-09-10 2004-09-10 Deposition of Ti1-xAlxN using Bipolar Pulsed Dual Magnetron Sputtering
US10/579,333 US7749594B2 (en) 2004-09-10 2005-09-09 Cutting tool with wear resistant coating and method of making the same
KR1020067011715A KR101240148B1 (ko) 2004-09-10 2005-09-09 내마모성 코팅을 포함한 절삭 공구와 그의 제조 방법
EP05777956.3A EP1791986B1 (en) 2004-09-10 2005-09-09 Cutting tool with wear resistant coating and method of making the same
JP2007531129A JP4885859B2 (ja) 2004-09-10 2005-09-09 耐摩耗性被膜を備えた切削工具及びその製造方法
EP10177809A EP2264209B1 (en) 2004-09-10 2005-09-09 Method of making a coated cutting tool
CN2005800013462A CN1898406B (zh) 2004-09-10 2005-09-09 具有耐磨涂层的刀具及其制造方法
PCT/SE2005/001310 WO2006041366A1 (en) 2004-09-10 2005-09-09 Cutting tool with wear resistant coating and method of making the same
IL175135A IL175135A0 (en) 2004-09-10 2006-04-24 Cutting tool with wear resistant coating and method of making the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE0402180A SE0402180D0 (sv) 2004-09-10 2004-09-10 Deposition of Ti1-xAlxN using Bipolar Pulsed Dual Magnetron Sputtering

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SE0402180D0 true SE0402180D0 (sv) 2004-09-10

Family

ID=33157510

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE0402180A SE0402180D0 (sv) 2004-09-10 2004-09-10 Deposition of Ti1-xAlxN using Bipolar Pulsed Dual Magnetron Sputtering

Country Status (8)

Country Link
US (1) US7749594B2 (https=)
EP (2) EP2264209B1 (https=)
JP (1) JP4885859B2 (https=)
KR (1) KR101240148B1 (https=)
CN (1) CN1898406B (https=)
IL (1) IL175135A0 (https=)
SE (1) SE0402180D0 (https=)
WO (1) WO2006041366A1 (https=)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112239855A (zh) * 2020-10-30 2021-01-19 贵州大学 一种无基体偏压下获得的刚玉和立方结构三氧化二铝铬混合相涂层及其制备方法

Families Citing this family (92)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007070745A2 (en) * 2005-12-01 2007-06-21 Mynosys Cellular Devices, Inc. Micro surgical cutting instruments
WO2007092852A2 (en) 2006-02-06 2007-08-16 Mynosys Cellular Devices, Inc. Microsurgical cutting instruments
SE530516C2 (sv) 2006-06-15 2008-06-24 Sandvik Intellectual Property Belagt hårdmetallskär, metod att tillverka detta samt dess användning vid fräsning av gjutjärn
WO2008077135A1 (en) * 2006-12-19 2008-06-26 Acme United Corporation Cutting instrument
SE0602814L (sv) * 2006-12-27 2008-06-28 Sandvik Intellectual Property Skärverktyg med multiskiktbeläggning
SE0701760L (sv) * 2007-06-01 2008-12-02 Sandvik Intellectual Property Hårdmetallskär för avstickning, spårstickning och gängning
US8455116B2 (en) 2007-06-01 2013-06-04 Sandvik Intellectual Property Ab Coated cemented carbide cutting tool insert
SE0701761L (sv) * 2007-06-01 2008-12-02 Sandvik Intellectual Property Finkornig hårdmetall för svarvning i varmhållfasta superlegeringar (HRSA) och rostfria stål
SE0701449L (sv) 2007-06-01 2008-12-02 Sandvik Intellectual Property Finkornig hårdmetall med förfinad struktur
SE533395C2 (sv) * 2007-06-08 2010-09-14 Sandvik Intellectual Property Sätt att göra PVD-beläggningar
CN101368260A (zh) 2007-09-14 2009-02-18 山特维克知识产权股份有限公司 用于在基底上沉积涂层的方法和设备
US20090074522A1 (en) * 2007-09-17 2009-03-19 Northwestern University Reduced-friction coatings
KR20090052174A (ko) * 2007-11-20 2009-05-25 아이시스(주) 확산박막 증착 방법 및 장치
US7947363B2 (en) 2007-12-14 2011-05-24 Kennametal Inc. Coated article with nanolayered coating scheme
EP2279837B1 (en) * 2008-04-25 2013-07-10 Kanefusa Kabushiki Kaisha Wood cutting tool
DE102008026358A1 (de) * 2008-05-31 2009-12-03 Walter Ag Werkzeug mit Metalloxidbeschichtung
JP5027760B2 (ja) * 2008-08-20 2012-09-19 株式会社神戸製鋼所 硬質皮膜形成部材
ES2388899T3 (es) * 2008-09-05 2012-10-19 Lmt Fette Werkzeugtechnik Gmbh & Co. Kg Herramienta de fresado por generación con un revistimiento y procedimiento para el nuevo revestimiento de una herramienta de fresado por generación
DE102009015477A1 (de) * 2009-03-26 2010-09-30 Roth & Rau Ag PVD-Beschichtungsverfahren
EP2298954B1 (en) * 2009-09-18 2013-03-13 Sandvik Intellectual Property Ab A PVD method for depositing a coating onto a body and coated bodies made thereof
CN102534525A (zh) * 2010-12-25 2012-07-04 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 镀膜件及其制备方法
CN102534487A (zh) * 2010-12-30 2012-07-04 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 具有硬质涂层的被覆件及其制备方法
TWI477637B (zh) * 2011-01-24 2015-03-21 Hon Hai Prec Ind Co Ltd 具有硬質塗層的被覆件及其製備方法
SE536285C2 (sv) * 2011-04-07 2013-07-30 Ionautics Ab Sputtringsprocess för att sputtra ett target av kol
US9604275B2 (en) * 2011-09-28 2017-03-28 Hitachi Metals, Ltd. Covering member with excellent sliding properties
CN103132014A (zh) * 2011-12-01 2013-06-05 深圳富泰宏精密工业有限公司 镀膜件及其制备方法
RU2478138C1 (ru) * 2011-12-02 2013-03-27 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС" Способ вакуумного ионно-плазменного нанесения многослойного износостойкого покрытия для режущего инструмента
WO2013089254A1 (ja) 2011-12-15 2013-06-20 株式会社神戸製鋼所 多層硬質皮膜およびその製造方法
RU2502827C1 (ru) * 2012-04-26 2013-12-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Нижегородский государственный технический университет им. Р.Е. Алексеева" (НГТУ) Способ изготовления режущих пластин
EP2669401A1 (en) * 2012-05-29 2013-12-04 Seco Tools AB Method for depositing a coating and a coated cutting tool
RU2495956C1 (ru) * 2012-06-26 2013-10-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2490362C1 (ru) * 2012-06-26 2013-08-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2490363C1 (ru) * 2012-06-26 2013-08-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2490364C1 (ru) * 2012-06-26 2013-08-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2503743C1 (ru) * 2012-07-03 2014-01-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2490365C1 (ru) * 2012-07-03 2013-08-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2490366C1 (ru) * 2012-07-03 2013-08-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2495960C1 (ru) * 2012-07-03 2013-10-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2495957C1 (ru) * 2012-07-03 2013-10-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2494169C1 (ru) * 2012-07-03 2013-09-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2495961C1 (ru) * 2012-07-03 2013-10-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2494171C1 (ru) * 2012-07-03 2013-09-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
US9103036B2 (en) 2013-03-15 2015-08-11 Kennametal Inc. Hard coatings comprising cubic phase forming compositions
RU2533576C1 (ru) * 2013-04-04 2014-11-20 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пермский национальный исследовательский политехнический университет" Способ получения многослойного многофункционального покрытия
RU2557935C2 (ru) * 2013-07-23 2015-07-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2557864C2 (ru) * 2013-07-23 2015-07-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
US9896767B2 (en) 2013-08-16 2018-02-20 Kennametal Inc Low stress hard coatings and applications thereof
US9168664B2 (en) 2013-08-16 2015-10-27 Kennametal Inc. Low stress hard coatings and applications thereof
RU2567125C2 (ru) * 2013-11-22 2015-11-10 Публичное акционерное общество "ФЕД" Износостойкое антифрикционное покрытие
RU2553767C1 (ru) * 2013-12-03 2015-06-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2558307C2 (ru) * 2013-12-03 2015-07-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2553771C1 (ru) * 2013-12-03 2015-06-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2558309C2 (ru) * 2013-12-03 2015-07-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2558310C2 (ru) * 2013-12-03 2015-07-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2558308C2 (ru) * 2013-12-03 2015-07-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
CN103695854A (zh) * 2013-12-12 2014-04-02 宁夏东方钽业股份有限公司 Pvd法包覆钽或铌制作耐蚀金属材料的工艺
CN103695858B (zh) * 2013-12-26 2015-11-18 广东工业大学 一种用于刀具涂层沉积的多功能全自动离子镀膜机及其使用方法
CN105980596B (zh) * 2014-02-13 2018-09-18 敏斯材料公司 涂覆基底以提供控制的平面内组成调制的方法
CN104131256B (zh) * 2014-07-25 2017-01-11 广东工业大学 一种多层纳米复合刀具涂层及其制备方法
CN104674179B (zh) * 2015-02-04 2017-07-07 金华万得福日用品股份有限公司 真空双极溅射餐具镀膜方法
RU2596531C1 (ru) * 2015-03-13 2016-09-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
US9994958B2 (en) * 2016-01-20 2018-06-12 Sumitomo Electric Hardmetal Corp. Coating, cutting tool, and method of manufacturing coating
RU2631572C1 (ru) * 2016-04-11 2017-09-25 Общество с ограниченной ответственностью "Научно-производственное предприятие "Уралавиаспецтехнология" Способ нанесения многослойного ионно-плазменного покрытия на поверхность гравюры штампа из жаропрочной стали
RU2631573C1 (ru) * 2016-04-11 2017-09-25 Общество с ограниченной ответственностью "Научно-производственное предприятие "Уралавиаспецтехнология" Способ нанесения многослойного ионно-плазменного покрытия на поверхность гравюры штампа из жаропрочного никелевого сплава
RU2637861C1 (ru) * 2016-10-11 2017-12-07 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2630735C1 (ru) * 2016-10-11 2017-09-12 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
CN106978594B (zh) * 2017-03-30 2019-05-10 中南大学 (V1-xAlx)N/氮化硅复合涂层
US10570501B2 (en) 2017-05-31 2020-02-25 Kennametal Inc. Multilayer nitride hard coatings
CN107338416A (zh) * 2017-07-03 2017-11-10 济宁学院 ZrMoCN梯度复合涂层刀具及其制备方法
CN107475711B (zh) * 2017-08-11 2020-08-11 沈阳钛成科技合伙企业（普通合伙） 一种钛合金刀具耐磨涂层及其制备方法
US10974323B2 (en) 2017-08-15 2021-04-13 Moldino Tool Engineering, Ltd. Coated cutting tool
RU2687615C1 (ru) * 2017-11-10 2019-05-15 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2697596C2 (ru) * 2017-11-10 2019-08-15 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2696917C2 (ru) * 2017-11-10 2019-08-07 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2697592C2 (ru) * 2017-11-10 2019-08-15 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2687614C1 (ru) * 2017-11-10 2019-05-15 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2681585C1 (ru) * 2017-11-14 2019-03-11 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2681584C1 (ru) * 2017-11-14 2019-03-11 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2681586C1 (ru) * 2017-11-14 2019-03-11 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
CN108286039B (zh) * 2017-12-20 2019-10-29 中国科学院合肥物质科学研究院 一种氮化钼基梯度多元纳米多层涂层及制备方法
CN109097743B (zh) * 2018-09-16 2020-03-31 烟台大学 一种超硬W-Cr-Al-Ti-N纳米梯度多层膜及其制备方法
CN110306190A (zh) * 2019-06-13 2019-10-08 东南大学 一种多元纳米梯度涂层刀具及其制备方法
CN110273127A (zh) * 2019-07-22 2019-09-24 上海妙壳新材料科技有限公司 一种刀具涂层及其生产设备
CN110616400B (zh) * 2019-09-24 2021-08-24 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 一种具有耐高温水蒸气氧化和强韧性的叠层防护涂层及制备方法和应用
CN111394710A (zh) * 2020-05-26 2020-07-10 阳江市金彪马实业有限公司 一种氮化钛涂层不锈钢刀制备工艺
CN117480023A (zh) * 2021-06-30 2024-01-30 住友电工硬质合金株式会社 切削工具
CN113737144B (zh) * 2021-08-27 2022-05-20 西安交通大学 一种高频电刀用Al2O3/CrN复合绝缘涂层及其制备方法
CN114855120B (zh) * 2022-04-14 2023-12-19 超微中程纳米科技（苏州）有限公司 刀具蓝纳米复合涂层
PL445059A1 (pl) * 2023-05-30 2024-12-02 Jg Group Spółka Z Ograniczoną Odpowiedzialnością Ceramiczny materiał kompozytowy wzmacniany włóknami tlenku glinu z powłoką PVD oraz sposób jego wytwarzania
CN117926180A (zh) * 2024-01-11 2024-04-26 上海应用技术大学 一种硬质耐磨防腐CrN(CrAlN/CrAlCN)多层涂层及其制备方法
CN119663184B (zh) * 2024-12-25 2025-09-16 吉林大学 一种Ti3Al基复合材料紧固件的高熵硅碳化物抗氧化涂层及其制备方法
CN120099455B (zh) * 2025-05-08 2025-07-18 赣州澳克泰工具技术有限公司 一种复合涂层刀具及其制备方法和应用

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02194159A (ja) 1988-03-24 1990-07-31 Kobe Steel Ltd 耐摩耗性皮膜形成方法
EP0592986B1 (en) 1992-10-12 1998-07-08 Sumitomo Electric Industries, Limited Ultra-thin film laminate
JP2979922B2 (ja) * 1992-10-12 1999-11-22 住友電気工業株式会社 超薄膜積層部材
JP2638406B2 (ja) * 1992-10-26 1997-08-06 神鋼コベルコツール株式会社 耐摩耗性多層型硬質皮膜構造
US5700551A (en) * 1994-09-16 1997-12-23 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Layered film made of ultrafine particles and a hard composite material for tools possessing the film
JP3416938B2 (ja) * 1994-10-28 2003-06-16 住友電気工業株式会社 積層体
SE518145C2 (sv) * 1997-04-18 2002-09-03 Sandvik Ab Multiskiktbelagt skärverktyg
JP4185172B2 (ja) 1997-06-19 2008-11-26 住友電工ハードメタル株式会社 被覆硬質工具
SE518134C2 (sv) * 1997-12-10 2002-09-03 Sandvik Ab Multiskiktbelagt skärverktyg
EP0972091A1 (en) * 1998-02-04 2000-01-19 OSG Corporation Multilayer coated tool
DE19860474A1 (de) * 1998-12-28 2000-07-06 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren und Einrichtung zum Beschichten von Substraten mittels bipolarer Puls-Magnetron-Zerstäubung
SE9903122D0 (sv) * 1999-09-06 1999-09-06 Sandvik Ab Coated cemented carbide insert
DE10016958A1 (de) 2000-04-06 2001-10-18 Widia Gmbh Verfahren zur Herstellung von Multilagenschichten auf Substratkörpern und Verbundwerkstoff, bestehend aus einem beschichteten Substratkörper
DE10124749A1 (de) 2001-05-21 2002-11-28 Wolf-Dieter Muenz Kombiniertes Beschichtungs Verfahren magnetfeldunterstützte Hochleistungs-Impuls-Kathodenzerstäubung und Unbalanziertes Magnetron
EP1266980B1 (en) * 2001-06-11 2005-11-02 Mitsubishi Materials Corporation Surface-coated carbide alloy tool
US6660133B2 (en) * 2002-03-14 2003-12-09 Kennametal Inc. Nanolayered coated cutting tool and method for making the same
DE10314932A1 (de) * 2002-04-17 2003-11-06 Cemecon Ag Zerstäubungseinrichtung

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112239855A (zh) * 2020-10-30 2021-01-19 贵州大学 一种无基体偏压下获得的刚玉和立方结构三氧化二铝铬混合相涂层及其制备方法
CN112239855B (zh) * 2020-10-30 2023-02-14 贵州大学 一种无基体偏压下获得的刚玉和立方结构三氧化二铝铬混合相涂层及其制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR101240148B1 (ko) 2013-03-07
US7749594B2 (en) 2010-07-06
EP1791986A1 (en) 2007-06-06
WO2006041366A1 (en) 2006-04-20
JP4885859B2 (ja) 2012-02-29
IL175135A0 (en) 2006-09-05
EP2264209B1 (en) 2012-11-28
KR20070050862A (ko) 2007-05-16
US20070275179A1 (en) 2007-11-29
CN1898406A (zh) 2007-01-17
EP1791986B1 (en) 2018-05-16
EP2264209A3 (en) 2011-05-25
EP2264209A2 (en) 2010-12-22
JP2008512261A (ja) 2008-04-24
CN1898406B (zh) 2011-01-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SE0402180D0 (sv) Deposition of Ti1-xAlxN using Bipolar Pulsed Dual Magnetron Sputtering
KR101820165B1 (ko) 다층 코팅된 절삭 공구
EP1914331B1 (en) Coated cutting tool
JP4022048B2 (ja) ダイヤモンドライクカーボン硬質多層膜成形体およびその製造方法
FI110357B (fi) Työkalu muovaus- ja lastuamislaitteita varten, laite muovaus- ja lastuamismenetelmien säätämiseksi ja menetelmä työkalun valmistamiseksi
KR101159058B1 (ko) 산화물 코팅된 절삭 공구
CN103201410A (zh) 包括多层涂层的切削刀具
CN108884550B (zh) 具有锆附着层的无氢碳涂层
JP2009514769A5 (https=)
JP2008512261A6 (ja) 耐摩耗性被膜を備えた切削工具及びその製造方法
JP5093530B2 (ja) 表面被覆切削工具
JP2008512261A5 (https=)
EP2037000A2 (en) A method and apparatus for depositing a coating onto a substrate
JP4139102B2 (ja) ダイヤモンドライクカーボン硬質多層膜成形体およびその製造方法
EP1918422A2 (en) Coated cutting tool
EP2987890B1 (en) A coated cutting tool
US9822438B2 (en) Coated cutting tool and method for the production thereof
KR20090085593A (ko) 표면 피막 부재 및 그 제조 방법 그리고 절삭 공구 및 공작 기계
US20190226075A1 (en) Coated body and method for production of the body
KR20170008295A (ko) 적층형 경질 피막 및 절삭 공구
JP2003113463A (ja) ＴｉＡｌ化合物膜被覆部材およびその製造方法
WO2009003755A3 (de) Werkzeug mit mehrlagiger metalloxidbeschichtung und verfahren zum herstellen des beschichteten werkzeugs
CN102586734A (zh) TiAlN/Ta多层膜刀具涂层及其制备方法
KR102200647B1 (ko) 절삭공구용 경질피막 및 이의 제조방법
CN114761606B (zh) 其上形成有硬质涂膜的切削工具