RU2697596C2 - Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента - Google Patents

Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента Download PDF

Info

Publication number
RU2697596C2
RU2697596C2 RU2017139171A RU2017139171A RU2697596C2 RU 2697596 C2 RU2697596 C2 RU 2697596C2 RU 2017139171 A RU2017139171 A RU 2017139171A RU 2017139171 A RU2017139171 A RU 2017139171A RU 2697596 C2 RU2697596 C2 RU 2697596C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
titanium
coating
silicon
wear
zirconium
Prior art date
Application number
RU2017139171A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2017139171A (ru
RU2017139171A3 (ru
Inventor
Владимир Петрович Табаков
Алексей Валерьевич Чихранов
Дамир Ильдарович Сагитов
Original Assignee
федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" filed Critical федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет"
Priority to RU2017139171A priority Critical patent/RU2697596C2/ru
Publication of RU2017139171A publication Critical patent/RU2017139171A/ru
Publication of RU2017139171A3 publication Critical patent/RU2017139171A3/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2697596C2 publication Critical patent/RU2697596C2/ru

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/0021Reactive sputtering or evaporation
    • C23C14/0036Reactive sputtering
    • C23C14/0057Reactive sputtering using reactive gases other than O2, H2O, N2, NH3 or CH4
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/0021Reactive sputtering or evaporation
    • C23C14/0036Reactive sputtering
    • C23C14/0068Reactive sputtering characterised by means for confinement of gases or sputtered material, e.g. screens, baffles
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0641Nitrides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0664Carbonitrides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/14Metallic material, boron or silicon
    • C23C14/16Metallic material, boron or silicon on metallic substrates or on substrates of boron or silicon
    • C23C14/165Metallic material, boron or silicon on metallic substrates or on substrates of boron or silicon by cathodic sputtering

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Изобретение относится к получению износостойкого покрытия для режущего инструмента. Способ включает вакуумно-плазменное нанесение покрытия из нитрида или карбонитрида титана, алюминия, кремния, циркония и молибдена при соотношении, мас. %: титан 56,15, алюминий 9,74, кремний 0,91, цирконий 29,08, молибден 4,12, посредством расположенных горизонтально в одной плоскости трех катодов, первый из которых выполняют из сплава титана и кремния, второй выполняют из сплава титана и алюминия и располагают противоположно первому катоду, а третий выполняют составным из циркония и молибдена и располагают между первым и вторым катодами. Обеспечивается повышение работоспособности режущего инструмента с нанесенным покрытием. 1 табл.

Description

Изобретение относится к способам нанесения износостойких покрытий на режущий инструмент и может быть использовано в металлообработке.
Известен способ повышения стойкости режущего инструмента (РИ), при котором на его поверхность вакуумно-плазменным методом наносят износостойкое покрытие (ИП) из нитрида титана и кремния (TiSiN) (см. Чихранов А.В. Повышение работоспособности режущего инструмента путем разработки и применения многоэлементных износостойких покрытий на основе модифицированного нитрида титана: дисс. … канд. тех. наук: 05.03.01, 2006. - 314 с). К причинам, препятствующим достижению указанного ниже технического результата при использовании известного способа, относится то, что в известном способе покрытия имеют относительно низкую твердость. В результате этого покрытие в большей мере подвергается износу, в нем быстро зарождаются и распространяются трещины, приводящие к разрушению покрытия, что снижает стойкость РИ с покрытием.
Наиболее близким способом того же назначения к заявленному изобретению по совокупности признаков является способ нанесения износостойкого покрытия из нитрида титана, кремния и алюминия TiSiAIN (см. Табаков В.П. Формирование износостойких ионно-плазменных покрытий режущего инструмента / В.П. Табаков. - М.: Машиностроение, 2008-312 с.), принятый за прототип.
К причинам, препятствующим достижению указанного ниже технического результата при использовании известного режущего инструмента с покрытием, принятого за прототип, относится то, что в известном способе износостойкое покрытие обладает недостаточной твердостью, а, следовательно, трещиностойкостью. В результате покрытие плохо сопротивляется процессам износа и разрушения и быстро разрушается при резании.
Повышение в последнее время стоимости металлорежущего инструмента и ужесточение требований к точности обрабатываемых деталей сделало еще более актуальной проблему повышения стойкости РИ. Одним из путей повышения стойкости и, как следствие, работоспособности РИ с покрытием является нанесение покрытий, обладающих высокой твердостью, трещино- и износостойкостью. Такой эффект может быть достигнут целенаправленным легированием и созданием микрослоистости покрытия при его осаждении.
Технический результат - повышение работоспособности РИ.
Указанный технический результат при осуществлении изобретения достигается тем, что наносят износостойкое покрытие из нитрида или карбонитрида титана, алюминия, кремния, циркония и молибдена при их соотношении, мас. %: титан 56,15, алюминий 9,74, кремний 0,91, цирконий 29,08, молибден 4,12, а нанесение покрытия осуществляют расположенными горизонтально в одной плоскости тремя катодами, первый из которых выполняют из сплава титана и кремния, второй - из сплава титана и алюминия и располагают противоположно первому, а третий изготавливают составным из циркония и молибдена и располагают между ними.
Такое расположение катодов позволяет получить при осаждении покрытия наибольшее количество микрослоев в покрытии с хорошей адгезией между ними и максимальным их упрочнением за счет взаимного легирования элементами из разных катодов.
Сущность изобретения заключается в следующем. В покрытии при резании происходят процессы трещинообразования, приводящие к его разрушению. В этих условиях покрытие должно иметь слоистую структуру для торможения трещин. Покрытие должно обладать высокой твердостью для повышения износо- и трещиностойкости.
Пластины с покрытиями, полученные с отклонениями от указанной технологии получения, показали более низкие результаты.
Для экспериментальной проверки заявленного способа было нанесено покрытие-прототип, а также износостойкие покрытия по предлагаемому способу.
Нанесение предлагаемых покрытий осуществляется следующим образом. Твердосплавные пластины МК8 (размером 4,7×12×12 мм) промывают в ультразвуковой ванне, протирают ацетоном, спиртом и устанавливают на поворотном устройстве в вакуумной камере установки «Булат-6», снабженной тремя катодами, расположенными горизонтально в одной плоскости. При нанесении покрытия используют первый катод, изготовленный из сплава титана и кремния, второй - из сплава титана и алюминия и располагают противоположно первому, а третий изготавливают составным из циркония и молибдена и располагают между ними.
Камеру откачивают до давления 6,65-10-3 Па, включают поворотное устройство, подают на него отрицательное напряжение 1,1 кВ, включают катод из сплава титана и кремния и при токе дуги 100 А производят ионную очистку и нагрев пластин до температуры 560-580°С.Ток фокусирующей катушки 0,4 А. Затем при отрицательном напряжении 160 В, токе катушек 0,3 А и подаче реакционного газа (азота для нанесения нитридных покрытий или 70% азота и 30% ацетилена для нанесения карбонитридных покрытий) включают все три катода и осаждают износостойкое покрытие TiAISiZrMoN или TiAISiZrMoCN толщиной 6 мкм. Затем отключают испарители, подачу реакционного газа, напряжение и вращение приспособления. Через 15-20 мин камеру открывают и извлекают инструмент с покрытием.
Микротвердость покрытий определяли на микротвердомере «ПМТ-3» под нагрузкой 100 г.
Стойкостные испытания режущего инструмента проводили при продольном точении заготовок из стали 30ХГСА на токарном станке 16К20. Режимы резания: скорость резания V=160 м/мин, подача S=0,3 мм/об, глубина резания t=1,0 мм, обработка производилась без применения СОЖ. Испытывали твердосплавные пластины марки МК8, обработанные по известному и предлагаемому способам. Критерием износа служила фаска износа по задней поверхности шириной 0,4 мм.
В табл. 1 приведены результаты испытаний РИ с полученными покрытиями.
Как видно из приведенных в таблице 1 данных, стойкость пластин, с покрытиями, нанесенными по предлагаемому способу, выше стойкости пластин с покрытием, нанесенным по способу-прототипу в 1,37-1,55 раза.
Figure 00000001

Claims (1)

  1. Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента, включающий вакуумно-плазменное нанесение покрытия, отличающийся тем, что наносят покрытие из нитрида или карбонитрида титана, алюминия, кремния, циркония и молибдена при соотношении, мас. %: титан 56,15, алюминий 9,74, кремний 0,91, цирконий 29,08, молибден 4,12, посредством расположенных горизонтально в одной плоскости трех катодов, первый из которых выполняют из сплава титана и кремния, второй выполняют из сплава титана и алюминия и располагают противоположно первому катоду, а третий выполняют составным из циркония и молибдена и располагают между первым и вторым катодами.
RU2017139171A 2017-11-10 2017-11-10 Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента RU2697596C2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017139171A RU2697596C2 (ru) 2017-11-10 2017-11-10 Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017139171A RU2697596C2 (ru) 2017-11-10 2017-11-10 Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента

Publications (3)

Publication Number Publication Date
RU2017139171A RU2017139171A (ru) 2019-05-13
RU2017139171A3 RU2017139171A3 (ru) 2019-05-13
RU2697596C2 true RU2697596C2 (ru) 2019-08-15

Family

ID=66548667

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2017139171A RU2697596C2 (ru) 2017-11-10 2017-11-10 Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2697596C2 (ru)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7749594B2 (en) * 2004-09-10 2010-07-06 Sandvik Intellectual Property Ab Cutting tool with wear resistant coating and method of making the same
RU2548858C2 (ru) * 2013-07-23 2015-04-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2561579C2 (ru) * 2013-12-03 2015-08-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7749594B2 (en) * 2004-09-10 2010-07-06 Sandvik Intellectual Property Ab Cutting tool with wear resistant coating and method of making the same
RU2548858C2 (ru) * 2013-07-23 2015-04-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2561579C2 (ru) * 2013-12-03 2015-08-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
ТАБАКОВ В.П. Формирование износостойких ионно-плазменных покрытий режущего инструмента, М., Машиностроение, 2008, с.59-76. *

Also Published As

Publication number Publication date
RU2017139171A (ru) 2019-05-13
RU2017139171A3 (ru) 2019-05-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2548860C2 (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2648814C1 (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2548550C2 (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2548862C2 (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2637860C1 (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2561579C2 (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2558306C2 (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2561577C2 (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2548858C2 (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2639425C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2545972C2 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2643536C1 (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2643740C1 (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2622533C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2630736C1 (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2640693C1 (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2697596C2 (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2545941C2 (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2696917C2 (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2691810C2 (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2696916C2 (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2648962C1 (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2648963C1 (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2697592C2 (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2648927C1 (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20191111