RU2017139171A - Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента - Google Patents

Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента Download PDF

Info

Publication number
RU2017139171A
RU2017139171A RU2017139171A RU2017139171A RU2017139171A RU 2017139171 A RU2017139171 A RU 2017139171A RU 2017139171 A RU2017139171 A RU 2017139171A RU 2017139171 A RU2017139171 A RU 2017139171A RU 2017139171 A RU2017139171 A RU 2017139171A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
wear
resistant coating
obtaining
cutting tools
titanium
Prior art date
Application number
RU2017139171A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2697596C2 (ru
RU2017139171A3 (ru
Inventor
Владимир Петрович Табаков
Алексей Валерьевич Чихранов
Дамир Ильдарович Сагитов
Original Assignee
федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" filed Critical федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет"
Priority to RU2017139171A priority Critical patent/RU2697596C2/ru
Publication of RU2017139171A publication Critical patent/RU2017139171A/ru
Publication of RU2017139171A3 publication Critical patent/RU2017139171A3/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2697596C2 publication Critical patent/RU2697596C2/ru

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/0021—Reactive sputtering or evaporation
    • C23C14/0036—Reactive sputtering
    • C23C14/0057—Reactive sputtering using reactive gases other than O2, H2O, N2, NH3 or CH4
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/0021—Reactive sputtering or evaporation
    • C23C14/0036—Reactive sputtering
    • C23C14/0068—Reactive sputtering characterised by means for confinement of gases or sputtered material, e.g. screens, baffles
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0641—Nitrides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0664—Carbonitrides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
    • C23C14/16—Metallic material, boron or silicon on metallic substrates or on substrates of boron or silicon
    • C23C14/165—Metallic material, boron or silicon on metallic substrates or on substrates of boron or silicon by cathodic sputtering

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Claims (1)

  1. Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента, включающий вакуумно-плазменное нанесение покрытия, отличающийся тем, что наносят износостойкое покрытие из нитрида или карбонитрида титана, алюминия, кремния, циркония и молибдена при их соотношении, мас. %: титан - 56,15, алюминий - 9,74, кремний - 0,91, цирконий - 29,08, молибден - 4,12, а нанесение покрытия осуществляют расположенными горизонтально в одной плоскости тремя катодами, первый из которых выполняют из сплава титана и кремния, второй - из сплава титана и алюминия и располагают противоположно первому, а третий изготавливают составным из циркония и молибдена и располагают между ними.
RU2017139171A 2017-11-10 2017-11-10 Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента RU2697596C2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017139171A RU2697596C2 (ru) 2017-11-10 2017-11-10 Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017139171A RU2697596C2 (ru) 2017-11-10 2017-11-10 Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента

Publications (3)

Publication Number Publication Date
RU2017139171A true RU2017139171A (ru) 2019-05-13
RU2017139171A3 RU2017139171A3 (ru) 2019-05-13
RU2697596C2 RU2697596C2 (ru) 2019-08-15

Family

ID=66548667

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2017139171A RU2697596C2 (ru) 2017-11-10 2017-11-10 Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2697596C2 (ru)

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE0402180D0 (sv) * 2004-09-10 2004-09-10 Sandvik Ab Deposition of Ti1-xAlxN using Bipolar Pulsed Dual Magnetron Sputtering
RU2548858C2 (ru) * 2013-07-23 2015-04-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2561579C2 (ru) * 2013-12-03 2015-08-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента

Also Published As

Publication number Publication date
RU2697596C2 (ru) 2019-08-15
RU2017139171A3 (ru) 2019-05-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2013134897A (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2013153911A (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2013132577A (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2013132574A (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2013134893A (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2017139672A (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
WO2017083086A8 (en) HIGH VISCOSITY BASIC OIL COMPOSITIONS
RU2013153913A (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2013153912A (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2017139670A (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2017139171A (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2017139693A (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2017139683A (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2017139690A (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2017139679A (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2017139169A (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2017139681A (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2017139173A (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2017139675A (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2017139666A (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2017139162A (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2017139662A (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2017139688A (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2017139695A (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2017139175A (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20191111