KR101240148B1 - 내마모성 코팅을 포함한 절삭 공구와 그의 제조 방법 - Google Patents

내마모성 코팅을 포함한 절삭 공구와 그의 제조 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR101240148B1
KR101240148B1 KR1020067011715A KR20067011715A KR101240148B1 KR 101240148 B1 KR101240148 B1 KR 101240148B1 KR 1020067011715 A KR1020067011715 A KR 1020067011715A KR 20067011715 A KR20067011715 A KR 20067011715A KR 101240148 B1 KR101240148 B1 KR 101240148B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cutting tool
layer
target
sputtering
layers
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
KR1020067011715A
Other languages
English (en)
Korean (ko)
Other versions
KR20070050862A (ko
Inventor
마리아 아스트란드
토르비에른 셀린데르
마트스 시에스트란드
Original Assignee
산드빅 인터렉츄얼 프로퍼티 에이비
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 산드빅 인터렉츄얼 프로퍼티 에이비 filed Critical 산드빅 인터렉츄얼 프로퍼티 에이비
Publication of KR20070050862A publication Critical patent/KR20070050862A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101240148B1 publication Critical patent/KR101240148B1/ko
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
    • C23C30/005—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process on hard metal substrates
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/0021—Reactive sputtering or evaporation
    • C23C14/0036—Reactive sputtering
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0641—Nitrides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C23C14/3485—Sputtering using pulsed power to the target
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C23C14/35—Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering
    • C23C14/352—Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering using more than one target
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
    • H01J37/3402—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering using supplementary magnetic fields
    • H01J37/3405—Magnetron sputtering
    • H01J37/3408—Planar magnetron sputtering
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
    • H01J37/3411—Constructional aspects of the reactor
    • H01J37/3414—Targets
    • H01J37/3426—Material
    • H01J37/3429—Plural materials
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
    • H01J37/3464—Operating strategies
    • H01J37/3467—Pulsed operation, e.g. HIPIMS
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24942—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
    • Y10T428/2495—Thickness [relative or absolute]
    • Y10T428/24967—Absolute thicknesses specified
    • Y10T428/24975—No layer or component greater than 5 mils thick
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
    • Y10T428/263—Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
    • Y10T428/264—Up to 3 mils
    • Y10T428/265—1 mil or less

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Drilling Tools (AREA)
KR1020067011715A 2004-09-10 2005-09-09 내마모성 코팅을 포함한 절삭 공구와 그의 제조 방법 Expired - Fee Related KR101240148B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE04021/80-4 2004-09-10
SE0402180A SE0402180D0 (sv) 2004-09-10 2004-09-10 Deposition of Ti1-xAlxN using Bipolar Pulsed Dual Magnetron Sputtering
PCT/SE2005/001310 WO2006041366A1 (en) 2004-09-10 2005-09-09 Cutting tool with wear resistant coating and method of making the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20070050862A KR20070050862A (ko) 2007-05-16
KR101240148B1 true KR101240148B1 (ko) 2013-03-07

Family

ID=33157510

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020067011715A Expired - Fee Related KR101240148B1 (ko) 2004-09-10 2005-09-09 내마모성 코팅을 포함한 절삭 공구와 그의 제조 방법

Country Status (8)

Country Link
US (1) US7749594B2 (https=)
EP (2) EP2264209B1 (https=)
JP (1) JP4885859B2 (https=)
KR (1) KR101240148B1 (https=)
CN (1) CN1898406B (https=)
IL (1) IL175135A0 (https=)
SE (1) SE0402180D0 (https=)
WO (1) WO2006041366A1 (https=)

Families Citing this family (93)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007070745A2 (en) * 2005-12-01 2007-06-21 Mynosys Cellular Devices, Inc. Micro surgical cutting instruments
WO2007092852A2 (en) 2006-02-06 2007-08-16 Mynosys Cellular Devices, Inc. Microsurgical cutting instruments
SE530516C2 (sv) 2006-06-15 2008-06-24 Sandvik Intellectual Property Belagt hårdmetallskär, metod att tillverka detta samt dess användning vid fräsning av gjutjärn
WO2008077135A1 (en) * 2006-12-19 2008-06-26 Acme United Corporation Cutting instrument
SE0602814L (sv) * 2006-12-27 2008-06-28 Sandvik Intellectual Property Skärverktyg med multiskiktbeläggning
SE0701760L (sv) * 2007-06-01 2008-12-02 Sandvik Intellectual Property Hårdmetallskär för avstickning, spårstickning och gängning
US8455116B2 (en) 2007-06-01 2013-06-04 Sandvik Intellectual Property Ab Coated cemented carbide cutting tool insert
SE0701761L (sv) * 2007-06-01 2008-12-02 Sandvik Intellectual Property Finkornig hårdmetall för svarvning i varmhållfasta superlegeringar (HRSA) och rostfria stål
SE0701449L (sv) 2007-06-01 2008-12-02 Sandvik Intellectual Property Finkornig hårdmetall med förfinad struktur
SE533395C2 (sv) * 2007-06-08 2010-09-14 Sandvik Intellectual Property Sätt att göra PVD-beläggningar
CN101368260A (zh) 2007-09-14 2009-02-18 山特维克知识产权股份有限公司 用于在基底上沉积涂层的方法和设备
US20090074522A1 (en) * 2007-09-17 2009-03-19 Northwestern University Reduced-friction coatings
KR20090052174A (ko) * 2007-11-20 2009-05-25 아이시스(주) 확산박막 증착 방법 및 장치
US7947363B2 (en) 2007-12-14 2011-05-24 Kennametal Inc. Coated article with nanolayered coating scheme
EP2279837B1 (en) * 2008-04-25 2013-07-10 Kanefusa Kabushiki Kaisha Wood cutting tool
DE102008026358A1 (de) * 2008-05-31 2009-12-03 Walter Ag Werkzeug mit Metalloxidbeschichtung
JP5027760B2 (ja) * 2008-08-20 2012-09-19 株式会社神戸製鋼所 硬質皮膜形成部材
ES2388899T3 (es) * 2008-09-05 2012-10-19 Lmt Fette Werkzeugtechnik Gmbh & Co. Kg Herramienta de fresado por generación con un revistimiento y procedimiento para el nuevo revestimiento de una herramienta de fresado por generación
DE102009015477A1 (de) * 2009-03-26 2010-09-30 Roth & Rau Ag PVD-Beschichtungsverfahren
EP2298954B1 (en) * 2009-09-18 2013-03-13 Sandvik Intellectual Property Ab A PVD method for depositing a coating onto a body and coated bodies made thereof
CN102534525A (zh) * 2010-12-25 2012-07-04 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 镀膜件及其制备方法
CN102534487A (zh) * 2010-12-30 2012-07-04 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 具有硬质涂层的被覆件及其制备方法
TWI477637B (zh) * 2011-01-24 2015-03-21 Hon Hai Prec Ind Co Ltd 具有硬質塗層的被覆件及其製備方法
SE536285C2 (sv) * 2011-04-07 2013-07-30 Ionautics Ab Sputtringsprocess för att sputtra ett target av kol
US9604275B2 (en) * 2011-09-28 2017-03-28 Hitachi Metals, Ltd. Covering member with excellent sliding properties
CN103132014A (zh) * 2011-12-01 2013-06-05 深圳富泰宏精密工业有限公司 镀膜件及其制备方法
RU2478138C1 (ru) * 2011-12-02 2013-03-27 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС" Способ вакуумного ионно-плазменного нанесения многослойного износостойкого покрытия для режущего инструмента
WO2013089254A1 (ja) 2011-12-15 2013-06-20 株式会社神戸製鋼所 多層硬質皮膜およびその製造方法
RU2502827C1 (ru) * 2012-04-26 2013-12-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Нижегородский государственный технический университет им. Р.Е. Алексеева" (НГТУ) Способ изготовления режущих пластин
EP2669401A1 (en) * 2012-05-29 2013-12-04 Seco Tools AB Method for depositing a coating and a coated cutting tool
RU2495956C1 (ru) * 2012-06-26 2013-10-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2490362C1 (ru) * 2012-06-26 2013-08-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2490363C1 (ru) * 2012-06-26 2013-08-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2490364C1 (ru) * 2012-06-26 2013-08-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2503743C1 (ru) * 2012-07-03 2014-01-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2490365C1 (ru) * 2012-07-03 2013-08-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2490366C1 (ru) * 2012-07-03 2013-08-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2495960C1 (ru) * 2012-07-03 2013-10-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2495957C1 (ru) * 2012-07-03 2013-10-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2494169C1 (ru) * 2012-07-03 2013-09-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2495961C1 (ru) * 2012-07-03 2013-10-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2494171C1 (ru) * 2012-07-03 2013-09-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
US9103036B2 (en) 2013-03-15 2015-08-11 Kennametal Inc. Hard coatings comprising cubic phase forming compositions
RU2533576C1 (ru) * 2013-04-04 2014-11-20 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пермский национальный исследовательский политехнический университет" Способ получения многослойного многофункционального покрытия
RU2557935C2 (ru) * 2013-07-23 2015-07-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2557864C2 (ru) * 2013-07-23 2015-07-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
US9896767B2 (en) 2013-08-16 2018-02-20 Kennametal Inc Low stress hard coatings and applications thereof
US9168664B2 (en) 2013-08-16 2015-10-27 Kennametal Inc. Low stress hard coatings and applications thereof
RU2567125C2 (ru) * 2013-11-22 2015-11-10 Публичное акционерное общество "ФЕД" Износостойкое антифрикционное покрытие
RU2553767C1 (ru) * 2013-12-03 2015-06-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2558307C2 (ru) * 2013-12-03 2015-07-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2553771C1 (ru) * 2013-12-03 2015-06-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2558309C2 (ru) * 2013-12-03 2015-07-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2558310C2 (ru) * 2013-12-03 2015-07-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2558308C2 (ru) * 2013-12-03 2015-07-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
CN103695854A (zh) * 2013-12-12 2014-04-02 宁夏东方钽业股份有限公司 Pvd法包覆钽或铌制作耐蚀金属材料的工艺
CN103695858B (zh) * 2013-12-26 2015-11-18 广东工业大学 一种用于刀具涂层沉积的多功能全自动离子镀膜机及其使用方法
CN105980596B (zh) * 2014-02-13 2018-09-18 敏斯材料公司 涂覆基底以提供控制的平面内组成调制的方法
CN104131256B (zh) * 2014-07-25 2017-01-11 广东工业大学 一种多层纳米复合刀具涂层及其制备方法
CN104674179B (zh) * 2015-02-04 2017-07-07 金华万得福日用品股份有限公司 真空双极溅射餐具镀膜方法
RU2596531C1 (ru) * 2015-03-13 2016-09-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
US9994958B2 (en) * 2016-01-20 2018-06-12 Sumitomo Electric Hardmetal Corp. Coating, cutting tool, and method of manufacturing coating
RU2631572C1 (ru) * 2016-04-11 2017-09-25 Общество с ограниченной ответственностью "Научно-производственное предприятие "Уралавиаспецтехнология" Способ нанесения многослойного ионно-плазменного покрытия на поверхность гравюры штампа из жаропрочной стали
RU2631573C1 (ru) * 2016-04-11 2017-09-25 Общество с ограниченной ответственностью "Научно-производственное предприятие "Уралавиаспецтехнология" Способ нанесения многослойного ионно-плазменного покрытия на поверхность гравюры штампа из жаропрочного никелевого сплава
RU2637861C1 (ru) * 2016-10-11 2017-12-07 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2630735C1 (ru) * 2016-10-11 2017-09-12 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
CN106978594B (zh) * 2017-03-30 2019-05-10 中南大学 (V1-xAlx)N/氮化硅复合涂层
US10570501B2 (en) 2017-05-31 2020-02-25 Kennametal Inc. Multilayer nitride hard coatings
CN107338416A (zh) * 2017-07-03 2017-11-10 济宁学院 ZrMoCN梯度复合涂层刀具及其制备方法
CN107475711B (zh) * 2017-08-11 2020-08-11 沈阳钛成科技合伙企业（普通合伙） 一种钛合金刀具耐磨涂层及其制备方法
US10974323B2 (en) 2017-08-15 2021-04-13 Moldino Tool Engineering, Ltd. Coated cutting tool
RU2687615C1 (ru) * 2017-11-10 2019-05-15 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2697596C2 (ru) * 2017-11-10 2019-08-15 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2696917C2 (ru) * 2017-11-10 2019-08-07 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2697592C2 (ru) * 2017-11-10 2019-08-15 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2687614C1 (ru) * 2017-11-10 2019-05-15 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2681585C1 (ru) * 2017-11-14 2019-03-11 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2681584C1 (ru) * 2017-11-14 2019-03-11 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2681586C1 (ru) * 2017-11-14 2019-03-11 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
CN108286039B (zh) * 2017-12-20 2019-10-29 中国科学院合肥物质科学研究院 一种氮化钼基梯度多元纳米多层涂层及制备方法
CN109097743B (zh) * 2018-09-16 2020-03-31 烟台大学 一种超硬W-Cr-Al-Ti-N纳米梯度多层膜及其制备方法
CN110306190A (zh) * 2019-06-13 2019-10-08 东南大学 一种多元纳米梯度涂层刀具及其制备方法
CN110273127A (zh) * 2019-07-22 2019-09-24 上海妙壳新材料科技有限公司 一种刀具涂层及其生产设备
CN110616400B (zh) * 2019-09-24 2021-08-24 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 一种具有耐高温水蒸气氧化和强韧性的叠层防护涂层及制备方法和应用
CN111394710A (zh) * 2020-05-26 2020-07-10 阳江市金彪马实业有限公司 一种氮化钛涂层不锈钢刀制备工艺
CN112239855B (zh) * 2020-10-30 2023-02-14 贵州大学 一种无基体偏压下获得的刚玉和立方结构三氧化二铝铬混合相涂层及其制备方法
CN117480023A (zh) * 2021-06-30 2024-01-30 住友电工硬质合金株式会社 切削工具
CN113737144B (zh) * 2021-08-27 2022-05-20 西安交通大学 一种高频电刀用Al2O3/CrN复合绝缘涂层及其制备方法
CN114855120B (zh) * 2022-04-14 2023-12-19 超微中程纳米科技（苏州）有限公司 刀具蓝纳米复合涂层
PL445059A1 (pl) * 2023-05-30 2024-12-02 Jg Group Spółka Z Ograniczoną Odpowiedzialnością Ceramiczny materiał kompozytowy wzmacniany włóknami tlenku glinu z powłoką PVD oraz sposób jego wytwarzania
CN117926180A (zh) * 2024-01-11 2024-04-26 上海应用技术大学 一种硬质耐磨防腐CrN(CrAlN/CrAlCN)多层涂层及其制备方法
CN119663184B (zh) * 2024-12-25 2025-09-16 吉林大学 一种Ti3Al基复合材料紧固件的高熵硅碳化物抗氧化涂层及其制备方法
CN120099455B (zh) * 2025-05-08 2025-07-18 赣州澳克泰工具技术有限公司 一种复合涂层刀具及其制备方法和应用

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08127863A (ja) * 1994-10-28 1996-05-21 Sumitomo Electric Ind Ltd 積層体
US6103357A (en) * 1997-04-18 2000-08-15 Sandvik Ab Multilayered coated cutting tool

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02194159A (ja) 1988-03-24 1990-07-31 Kobe Steel Ltd 耐摩耗性皮膜形成方法
EP0592986B1 (en) 1992-10-12 1998-07-08 Sumitomo Electric Industries, Limited Ultra-thin film laminate
JP2979922B2 (ja) * 1992-10-12 1999-11-22 住友電気工業株式会社 超薄膜積層部材
JP2638406B2 (ja) * 1992-10-26 1997-08-06 神鋼コベルコツール株式会社 耐摩耗性多層型硬質皮膜構造
US5700551A (en) * 1994-09-16 1997-12-23 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Layered film made of ultrafine particles and a hard composite material for tools possessing the film
JP4185172B2 (ja) 1997-06-19 2008-11-26 住友電工ハードメタル株式会社 被覆硬質工具
SE518134C2 (sv) * 1997-12-10 2002-09-03 Sandvik Ab Multiskiktbelagt skärverktyg
EP0972091A1 (en) * 1998-02-04 2000-01-19 OSG Corporation Multilayer coated tool
DE19860474A1 (de) * 1998-12-28 2000-07-06 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren und Einrichtung zum Beschichten von Substraten mittels bipolarer Puls-Magnetron-Zerstäubung
SE9903122D0 (sv) * 1999-09-06 1999-09-06 Sandvik Ab Coated cemented carbide insert
DE10016958A1 (de) 2000-04-06 2001-10-18 Widia Gmbh Verfahren zur Herstellung von Multilagenschichten auf Substratkörpern und Verbundwerkstoff, bestehend aus einem beschichteten Substratkörper
DE10124749A1 (de) 2001-05-21 2002-11-28 Wolf-Dieter Muenz Kombiniertes Beschichtungs Verfahren magnetfeldunterstützte Hochleistungs-Impuls-Kathodenzerstäubung und Unbalanziertes Magnetron
EP1266980B1 (en) * 2001-06-11 2005-11-02 Mitsubishi Materials Corporation Surface-coated carbide alloy tool
US6660133B2 (en) * 2002-03-14 2003-12-09 Kennametal Inc. Nanolayered coated cutting tool and method for making the same
DE10314932A1 (de) * 2002-04-17 2003-11-06 Cemecon Ag Zerstäubungseinrichtung

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08127863A (ja) * 1994-10-28 1996-05-21 Sumitomo Electric Ind Ltd 積層体
US6103357A (en) * 1997-04-18 2000-08-15 Sandvik Ab Multilayered coated cutting tool

Also Published As

Publication number Publication date
SE0402180D0 (sv) 2004-09-10
US7749594B2 (en) 2010-07-06
EP1791986A1 (en) 2007-06-06
WO2006041366A1 (en) 2006-04-20
JP4885859B2 (ja) 2012-02-29
IL175135A0 (en) 2006-09-05
EP2264209B1 (en) 2012-11-28
KR20070050862A (ko) 2007-05-16
US20070275179A1 (en) 2007-11-29
CN1898406A (zh) 2007-01-17
EP1791986B1 (en) 2018-05-16
EP2264209A3 (en) 2011-05-25
EP2264209A2 (en) 2010-12-22
JP2008512261A (ja) 2008-04-24
CN1898406B (zh) 2011-01-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101240148B1 (ko) 내마모성 코팅을 포함한 절삭 공구와 그의 제조 방법
JP2008512261A6 (ja) 耐摩耗性被膜を備えた切削工具及びその製造方法
JP2008512261A5 (https=)
US8197647B2 (en) Hard laminated film, method of manufacturing the same and film-forming device
KR101255430B1 (ko) 표면 피복 절삭 공구
KR101089528B1 (ko) 경질 내마모성 질화알루미늄계 코팅
KR100755772B1 (ko) 코팅된 인서트
RU2507303C2 (ru) НЕГАММАФАЗНЫЙ КУБИЧЕСКИЙ AlCrO
US20100183900A1 (en) Method for producing pvd coatings
US20130056348A1 (en) Vacuum coating apparatus and method for depositing nanocomposite coatings
CA2853137C (en) Drill having a coating
US9822438B2 (en) Coated cutting tool and method for the production thereof
JP3416938B2 (ja) 積層体
CN110945156A (zh) 涂层切削工具及其制造方法
Delplancke-Ogletree et al. Deposition of titanium carbide films from mixed carbon and titanium plasma streams
JP2011011286A (ja) 表面被覆切削工具
KR100674773B1 (ko) 경질 필름, 다층 경질 필름 및 그 제조 방법
JP2004050403A (ja) 切削工具インサートおよびその製造方法
Åstrand et al. Deposition of Ti1− xAlxN using bipolar pulsed dual magnetron sputtering
JP5035979B2 (ja) 高速ミーリング加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具およびその製造方法
JPWO2020070967A1 (ja) 表面被覆切削工具及びその製造方法
JP2009125914A (ja) 表面被覆工具
CN121794412A (zh) 用于广泛工具应用范围中改善性能的AlCrSiN基涂层

Legal Events

Date Code Title Description
PA0105 International application

St.27 status event code: A-0-1-A10-A15-nap-PA0105

PG1501 Laying open of application

St.27 status event code: A-1-1-Q10-Q12-nap-PG1501

A201 Request for examination
P11-X000 Amendment of application requested

St.27 status event code: A-2-2-P10-P11-nap-X000

P13-X000 Application amended

St.27 status event code: A-2-2-P10-P13-nap-X000

PA0201 Request for examination

St.27 status event code: A-1-2-D10-D11-exm-PA0201

E902 Notification of reason for refusal
PE0902 Notice of grounds for rejection

St.27 status event code: A-1-2-D10-D21-exm-PE0902

P11-X000 Amendment of application requested

St.27 status event code: A-2-2-P10-P11-nap-X000

P13-X000 Application amended

St.27 status event code: A-2-2-P10-P13-nap-X000

E90F Notification of reason for final refusal
PE0902 Notice of grounds for rejection

St.27 status event code: A-1-2-D10-D21-exm-PE0902

E13-X000 Pre-grant limitation requested

St.27 status event code: A-2-3-E10-E13-lim-X000

P11-X000 Amendment of application requested

St.27 status event code: A-2-2-P10-P11-nap-X000

P13-X000 Application amended

St.27 status event code: A-2-2-P10-P13-nap-X000

E701 Decision to grant or registration of patent right
PE0701 Decision of registration

St.27 status event code: A-1-2-D10-D22-exm-PE0701

GRNT Written decision to grant
PR0701 Registration of establishment

St.27 status event code: A-2-4-F10-F11-exm-PR0701

PR1002 Payment of registration fee

St.27 status event code: A-2-2-U10-U12-oth-PR1002

Fee payment year number: 1

PG1601 Publication of registration

St.27 status event code: A-4-4-Q10-Q13-nap-PG1601

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160127

Year of fee payment: 4

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170201

Year of fee payment: 5

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 5

R18-X000 Changes to party contact information recorded

St.27 status event code: A-5-5-R10-R18-oth-X000

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180124

Year of fee payment: 6

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190123

Year of fee payment: 7

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200123

Year of fee payment: 8

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20210125

Year of fee payment: 9

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20220125

Year of fee payment: 10

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 10

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 11

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 12

PC1903 Unpaid annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U13-oth-PC1903

Not in force date: 20250228

Payment event data comment text: Termination Category : DEFAULT_OF_REGISTRATION_FEE

H13 Ip right lapsed

Free format text: ST27 STATUS EVENT CODE: N-4-6-H10-H13-OTH-PC1903 (AS PROVIDED BY THE NATIONAL OFFICE); TERMINATION CATEGORY : DEFAULT_OF_REGISTRATION_FEE

Effective date: 20250228

PC1903 Unpaid annual fee

St.27 status event code: N-4-6-H10-H13-oth-PC1903

Ip right cessation event data comment text: Termination Category : DEFAULT_OF_REGISTRATION_FEE

Not in force date: 20250228