RU2687614C1 - Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента - Google Patents

Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента Download PDF

Info

Publication number
RU2687614C1
RU2687614C1 RU2017139166A RU2017139166A RU2687614C1 RU 2687614 C1 RU2687614 C1 RU 2687614C1 RU 2017139166 A RU2017139166 A RU 2017139166A RU 2017139166 A RU2017139166 A RU 2017139166A RU 2687614 C1 RU2687614 C1 RU 2687614C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
titanium
silicon
coating
layer
cathodes
Prior art date
Application number
RU2017139166A
Other languages
English (en)
Inventor
Владимир Петрович Табаков
Алексей Валерьевич Чихранов
Станислав Николаевич Власов
Original Assignee
федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" filed Critical федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет"
Priority to RU2017139166A priority Critical patent/RU2687614C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2687614C1 publication Critical patent/RU2687614C1/ru

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/0021Reactive sputtering or evaporation
    • C23C14/0036Reactive sputtering
    • C23C14/0057Reactive sputtering using reactive gases other than O2, H2O, N2, NH3 or CH4
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/0021Reactive sputtering or evaporation
    • C23C14/0036Reactive sputtering
    • C23C14/0068Reactive sputtering characterised by means for confinement of gases or sputtered material, e.g. screens, baffles
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0641Nitrides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0664Carbonitrides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/14Metallic material, boron or silicon
    • C23C14/16Metallic material, boron or silicon on metallic substrates or on substrates of boron or silicon
    • C23C14/165Metallic material, boron or silicon on metallic substrates or on substrates of boron or silicon by cathodic sputtering

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Изобретение относится к способам нанесения износостойких покрытий на режущий инструмент и может быть использовано в металлообработке. Проводят нанесение многослойного покрытия. Сначала наносят нижний слой из нитрида титана и кремния при их соотношении, мас.%: титан 98,6-99,0, кремний 1,0-1,4. Затем наносят промежуточный слой из нитрида соединения титана, кремния и циркония при их соотношении, мас.%: титан 83,15-87,35, кремний 0,65-0,85, цирконий 12,0-16,0. Далее наносят верхний слой из нитрида титана. Нанесение слоев покрытия осуществляют расположенными горизонтально в одной плоскости тремя катодами, первый из которых выполняют из сплава титана и кремния, второй - составным из титана и циркония и располагают противоположно первому, а третий изготавливают из титана и располагают между ними, причем нижний слой наносят с использованием первого и третьего катодов, промежуточный слой - с использованием всех трех катодов, а верхний спой - с использованием третьего катода. В результате нанесения многослойного покрытия повышается работоспособность режущего инструмента. 1 табл.

Description

Изобретение относится к способам нанесения износостойких покрытий на режущий инструмент и может быть использовано в металлообработке.
Известен способ повышения стойкости режущего инструмента (РИ), при котором на его поверхность наносят износостойкое ионно-плазменное покрытие из нитрида титана (TiN) (см. Табаков В.П. Формирование износостойких ионно-плазменных покрытий режущего инструмента. - М.: Машиностроение, 2008. - 311 с). К причинам, препятствующим достижению указанного ниже технического результата при использовании известного способа, относится то, что в известном способе покрытия имеют относительно низкую твердость. В результате этого покрытие в большей мере подвергается износу, в нем быстро зарождаются и распространяются трещины, приводящие к разрушению покрытия, что снижает стойкость РИ с покрытием.
Наиболее близким способом того же назначения к заявленному изобретению по совокупности признаков является способ нанесения многослойного покрытая, состоящего из нижнего слоя нитрида соединения титана, кремния и хрома TiSiCrN и верхнего слоя нитрида титана TiN (Патент на изобретение RU 2545955 С2), принятый за прототип.
К причинам, препятствующим достижению указанного ниже технического результата при использовании известного режущего инструмента с покрытием, принятого за прототип, относятся то, что в известном способе многослойное покрытие обладает недостаточной твердостью и остаточными сжимающими напряжениями, а, следовательно, трещиностойкостью. В результате покрытие плохо сопротивляется процессам износа и разрушения и быстро разрушается при резании.
Повышение в последнее время стоимости металлорежущего инструмента и ужесточение требований к точности обрабатываемых деталей сделало еще более актуальной проблему повышения стойкости РИ. Одним из путей повышения стойкости и, как следствие, работоспособности РИ с покрытием является нанесение покрытий многослойного типа со слоями с различными физико-механическими свойствами. В многослойном покрытии нижний слой должен обладать хорошей адгезией к инструментальной основе, высокими сжимающими напряжениями, что должно препятствовать образованию и развитию трещин в покрытии. Кроме того, создание микрослоистости в нижнем и промежуточном слоях приводит к увеличению его твердости и трещиностойкости и, как следствие, работоспособности РИ с покрытием.
Технический результат - повышение работоспособности РИ.
Указанный технический результат три осуществлении изобретения достигается тем, что наносят многослойное ионно-плазменное покрытие, состоящее из нижнего слоя нитрида соединения титана и кремния при их соотношении, мас. %: титан 98,6-99,0, кремний 1,0-1,4, промежуточного - из нитрида соединения титана, кремния и циркония при их соотношении, мас. %: титан 83,15-87,35, кремний 0,65-0,85, цирконий 12,0-16,0, и верхнего - из нитрида титана, а нанесение слоев покрытия осуществляют расположенными горизонтально в одной плоскости тремя катодами, первый из которых выполняют из сплава титана и кремния, второй - составным из титана и циркония и располагают противоположно первому, а третий изготавливают из титана и располагают между ними, причем нижний слой наносят с использованием первого и третьего катодов, промежуточный слой - с использованием всех трех катодов, а верхний слой - с использованием третьего катода.
Такая структура покрытия позволяет получить нижний и промежуточный слои, обладающие высокой твердостью, уровнем остаточных сжимающих напряжений и трещиностойкостью из-за дополнительного легирования материала слоя, наличию в структуре микрослоистости, получаемой при нанесении покрытий по предлагаемой схеме расположения катодов
Сущность изобретения заключается в следующем. В покрытии при резании происходят процессы трещинообразования, приводящие к его разрушению. В этих условиях покрытие должно иметь слоистую структуру для торможения трещин. Слои покрытия должны обладать высокой твердостью для повышения износо- и трещиностойкости. При этом слои многослойного покрытия должны иметь высокую прочность связи между собой, что обеспечивается их высоким сродством друг с другом из-за наличия общих элементов.
Пластины с покрытиями, полученные с отклонениями от указанной технологии получения, показали более низкие результаты.
Для экспериментальной проверки заявленного способа было нанесено покрытие-прототип, а также многослойное покрытие по предлагаемому способу.
Нанесение предлагаемого покрытия осуществляется следующим образом. Твердосплавные пластины МК8 (размером 4,7×12×12 мм) промывают в ультразвуковой ванне, протирают ацетоном, спиртом и устанавливают на поворотное устройстве в вакуумной камере установки «Булат-6», снабженной тремя катодами, расположенными горизонтально в одной плоскости. При нанесении покрытия используют первый катод, изготовленный из сплава титана и кремния, второй составной катод, изготовленный из титана и циркония и расположенный противоположно первому, и третий катод, изготовленный из титана и расположенный между ними.
Камеру откачивают до давления 6,65⋅10-3 Па, включают поворотное устройство, подают па него отрицательное напряжение 1,1 кВ, включают третий катод и при токе дуги 100 А производят ионную очистку и нагрев пластин до температуры 580-620°C. Ток фокусирующей катушки 0,4 А. Затем при отрицательном напряжении 220 В, токе дуги 110 А, токе катушек 0,3 А. подаче реакционного газа - азота и включенном первом и третьем катодах осаждают нижний слой покрытия TiSiN толщиной 2,0 мкм. Далее при отрицательном напряжении 250 В, токе дуги 120 А, токе катушек 0,3 А и подаче реакционного газа азота и включенных трех катодах осаждают промежуточный слой покрытия TiSiZrN толщиной 2,0 мкм. Верхний слой покрытия TiN толщиной 2,0 мкм наносят при отрицательном напряжении 250 В, токе дуги 120 А, токе катушек 0,3 А, включенном третьем катоде и подаче реакционного газа - азота. Затем отключают испарители, подачу реакционного газа, напряжение и вращение приспособления. Через 15-20 мин камеру открывают и извлекают инструмент с покрытием.
Микротвердость покрытий определяли на микротвердомере «ПМТ-3» под нагрузкой 100 г. Остаточные напряжения в покрытии определяли на рентгеновском дифрактометре «ДРОН-3М» с использованием фильтрованного Cuκα-излучения. Стойкостные испытания режущего инструмента проводили при симметричном торцовом фрезеровании заготовок из стали 5ХНМ на станке; 6Р12. Испытывали твердосплавные пластины марки МК8, обработанные по известному и предлагаемому способам. Режимы резания были следующими: скорость резания V=247 м/мин подача S=0.4 мм/зуб, глубина резания t=1,5 мм, ширина фрезерования В=20 мм. За критерий износа была принята величина фаски износа по задней поверхности h3=0,4 мм.
В табл. 1 приведены результаты испытаний РИ с полученными покрытиями.
Как видно из приведенных в таблице 1 данных, стойкость пластин, с покрытиями, нанесенными по предлагаемому способу, выше стойкости пластин с покрытием, нанесенным по способу-прототипу в 1,10-1,20 раза.
Figure 00000001
Прим.: в числителе указан химический состав промежуточного слоя, в знаменателе - нижнего; * - содержание хрома в нижнем слое покрытия

Claims (1)

  1. Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента, отличающийся тем, что наносят многослойное ионно-плазменное покрытие, состоящее из нижнего слоя нитрида соединения титана и кремния при их соотношении, мас.%: титан 98,6-99,0, кремний 1,0-1,4, промежуточного - из нитрида соединения титана, кремния и циркония при их соотношении, мас.%: титан 83,15-87,35, кремний 0,65-0,85, цирконий 12,0-16,0, и верхнего - из нитрида титана, а нанесение слоев покрытия осуществляют расположенными горизонтально в одной плоскости тремя катодами, первый из которых выполняют из сплава титана и кремния, второй - составным из титана и циркония и располагают противоположно первому, а третий изготавливают из титана и располагают между ними, причем нижний слой наносят с использованием первого и третьего катодов, промежуточный слой - с использованием всех трех катодов, а верхний слой - с использованием третьего катода.
RU2017139166A 2017-11-10 2017-11-10 Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента RU2687614C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017139166A RU2687614C1 (ru) 2017-11-10 2017-11-10 Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017139166A RU2687614C1 (ru) 2017-11-10 2017-11-10 Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2687614C1 true RU2687614C1 (ru) 2019-05-15

Family

ID=66579106

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2017139166A RU2687614C1 (ru) 2017-11-10 2017-11-10 Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2687614C1 (ru)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7749594B2 (en) * 2004-09-10 2010-07-06 Sandvik Intellectual Property Ab Cutting tool with wear resistant coating and method of making the same
RU2545955C2 (ru) * 2013-07-23 2015-04-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2585564C1 (ru) * 2014-12-01 2016-05-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7749594B2 (en) * 2004-09-10 2010-07-06 Sandvik Intellectual Property Ab Cutting tool with wear resistant coating and method of making the same
RU2545955C2 (ru) * 2013-07-23 2015-04-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2585564C1 (ru) * 2014-12-01 2016-05-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
ТАБАКОВ В.П. Формирование износостойких ионно-плазменных покрытий режущего инструмента, М., Машиностроение, 2008, с.221-310. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2639425C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2687614C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2687615C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2691157C2 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2637865C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2585564C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2548859C2 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2681584C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2641440C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2639189C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2639192C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2641441C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2644983C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2681586C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2566220C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2638874C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2643758C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2641438C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2640691C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2640690C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2681585C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2735478C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2464348C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2717130C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2720014C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20191111