CN103695858B - 一种用于刀具涂层沉积的多功能全自动离子镀膜机及其使用方法 - Google Patents
一种用于刀具涂层沉积的多功能全自动离子镀膜机及其使用方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103695858B CN103695858B CN201310729628.0A CN201310729628A CN103695858B CN 103695858 B CN103695858 B CN 103695858B CN 201310729628 A CN201310729628 A CN 201310729628A CN 103695858 B CN103695858 B CN 103695858B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- magnetron sputtering
- source
- vacuum chamber
- bipolar pulse
- work rest
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本发明涉及薄膜材料技术领域,尤其涉及一种用于刀具涂层沉积的多功能全自动离子镀膜机,包括真空室、双极脉冲磁控溅射靶、矩形的阳极层气体离子源、高功率脉冲磁控溅射源、偏压电源、阴极电弧源、工件架和支座,所述双极脉冲磁控溅射靶、阳极层气体离子源、高功率脉冲磁控溅射源、偏压电源和阴极电弧源分别通过五组单独的开关控制。本发明通过以上结构,不仅可以制备纯金属、合金、反应膜层,还可以制备多元、多层纳米复合涂层,含氧涂层,以满足形状和大小不一的金属切削刀具,达到高速加工的要求。
Description
技术领域
本发明涉及薄膜材料技术领域,尤其涉及一种用于刀具涂层沉积的多功能全自动离子镀膜机及其使用方法。
背景技术
表面涂层技术已经成为切削刀具领域的一项关键技术,对刀具性能的改善以及加工技术的进步起到了至关重要的作用。刀具表面涂层的沉积方法主要包括化学气相沉积(CVD)和物理气相沉积(PVD)。CVD技术生长涂层的温度较高,并且该方法对环境有污染。一般情况下,CVD技术需要温度超过800℃以促使纳米晶粒的生长,但过高的沉积温度会引起基材的变形和开裂、晶体晶粒长大、尺寸精度下降等问题。PVD技术主要包括磁控溅射、阴极弧离子镀、离子束辅助沉积。磁控溅射沉积温度低,制备的涂层表面光滑,比CVD生长的涂层更能有效地阻止横向裂纹的扩展,同时降低摩擦系数,但磁控溅射技术存在气体离化率及靶材利用率低的问题。多弧离子镀可以获得接近90%的离化率和较快的沉积速率,入射粒子能量高,沉积膜的质量和膜机结合力好,并能够蒸发高熔点的难熔材料;但电弧放电会飞溅出微米级液滴从而导致膜层粗糙度增加。同时,气体离子源的使用越来越受到较多的关注。气体离子源具有方向性,在其表面高密度所体的等离子体可以作为离子轰击工件清洗使用,也可以作为反应气体的离化源,作辅助沉积使用。
发明内容
本发明的目的在于克服以上缺陷,提出一种用于刀具涂层沉积的多功能全自动离子镀膜机,该装置具有镀膜速度快、气体离化率高、绕射性好、可实现精确气体控制的特点。
本发明的另一个目的在于提出一种用于刀具涂层沉积的多功能全自动离子镀膜机的使用方法。
为达此目的,本发明采用以下技术方案:
一种用于刀具涂层沉积的多功能全自动离子镀膜机,包括真空室、双极脉冲磁控溅射靶、矩形的阳极层气体离子源、高功率脉冲磁控溅射源、偏压电源、阴极电弧源、工件架和支座;
所述真空室为密封结构,其上开设有抽气口,所述双极脉冲磁控溅射靶、阳极层气体离子源、高功率脉冲磁控溅射源、阴极电弧源和工件架固定在所述真空室内,所述支座与所述工件架连接;
所述工件架为导电材质,与所述旋转支架连接,位于所述双极脉冲磁控溅射靶、阳极层气体离子源、高功率脉冲磁控溅射源和阴极电弧源之间;所述工件架与所述真空室绝缘,所述真空室接地,所述偏压电源的阳极连接真空室,阴极连接所述工件架;
所述双极脉冲磁控溅射靶、阳极层气体离子源、高功率脉冲磁控溅射源、偏压电源和阴极电弧源分别通过五组单独的开关控制。
进一步,所述真空室内设有四个所述阴极电弧源。
进一步,所述阴极电弧源电源使用真空电弧直流逆变电源,设有气动自动引弧系统,手动引弧装置和实时在线监测装置。
进一步,所述真空室内设有一个高功率脉冲磁控溅射源,其采用非平衡磁场布置,单向柱状或者平板靶可调。
进一步,真空室内设有两块单向非平衡柱状所述双极脉冲磁控溅射靶,所述双极脉冲磁控溅射靶与所述真空室绝缘,两块所述双极脉冲磁控溅射靶采用孪生对靶设计,互为阴阳极;该孪生对靶采用非平衡磁场布置,单向柱状或者平板靶可调。
进一步,所述阳极层气体离子源的阴极与所述真空室连接,其阳极与所述真空室绝缘。
进一步,所述真空室内还设有高温加热装置。
进一步,所述工件架设有工件的公转机构和自转机构。
进一步,所述真空室采用闭循环气体控制系统。
使用上述用于刀具涂层沉积的多功能全自动离子镀膜机的方法,步骤包括:
将硬质合金刀具清洗干净,装夹在工件架上,开始抽真空,当真空度高于5×10-3Pa时,开始加热除气,温度控制在300-600℃,工件架保持6-10rpm的转速;
当真空度2-5×10-3Pa时,通入Ar气,打开所述偏压电源,对工件进行辉光清洗,真空保持在0.1-2Pa,偏压为500-1000V,占空比60-80%,辉光时间10-30分钟;
辉光清洗结束后,真空调节为2×10-1Pa,打开所述阴极电弧源的Cr靶,对刀具基体轰击5-30分钟约50-300纳米厚的Cr过渡层,偏压保持在-400-1000V,占空比30-80%;
在轰击完毕后,偏压降到-50-200V,占空比10-80%,断掉Ar气,通入N2气真空调节到1.0-3.0Pa,开始沉积CrN过渡层,沉积5-30分钟约50-300纳米;
CrN过渡层沉积结束后,开启所述高功率脉冲磁控溅射源及所述双极脉冲磁控溅射靶,通过调节N2把真空控制在0.1-3Pa,偏压占空比不变,打开所述阴极电弧源,开始制备CrTiAlSiN,沉积时间40-100分钟,结束后,自然冷却,当温度降到50℃以下时,取出工件。
本发明通过以上结构,具有以下优点:动态电磁驱动阴极电弧靶或过滤电弧靶可以有效抑制液滴;双极脉冲及高能脉冲磁控溅射可以有效提高靶材的利用率及气体离化率,增强绕射性及涂层均匀性;阳极层离子源在镀膜过程中的轰击能够提高膜层的致密性及结合力,从而可以实现在各种试片和刀具上沉积各种材质的复合涂层。本系统具有改进后的电弧镀和高功率磁控溅射镀的优点,不但降低设备投入的成本,而且提高涂层质量。
附图说明
图1是本发明一种实例的主视剖面结构示意图。
图2是本发明一种实例的俯视结构示意图。
其中:1、真空室;2、双极脉冲磁控溅射靶;3、阳极层气体离子源;4、高功率脉冲磁控溅射源;5、偏压电源;6、阴极电弧源;7、工件架;8、支座;9、抽气口;10、高温加热装置。
具体实施方式
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。
如图1、图2所示,一种用于刀具涂层沉积的多功能全自动离子镀膜机,包括真空室1、双极脉冲磁控溅射靶2、矩形的阳极层气体离子源3、高功率脉冲磁控溅射源4、偏压电源5、阴极电弧源6、工件架7和支座8;
如图1所示,所述真空室1为密封结构,其上开设有抽气口9,所述双极脉冲磁控溅射靶2、阳极层气体离子源3、高功率脉冲磁控溅射源4、阴极电弧源6和工件架7固定在所述真空室1内,所述支座8与所述工件架7连接;
所述工件架7为导电材质,与所述支座8连接,位于所述双极脉冲磁控溅射靶2、阳极层气体离子源3、高功率脉冲磁控溅射源4和阴极电弧源6之间;所述工件架7与所述真空室1绝缘,所述真空室1接地,所述偏压电源5的阳极连接真空室1,阴极连接所述工件架7;
所述双极脉冲磁控溅射靶2、阳极层气体离子源3、高功率脉冲磁控溅射源4、偏压电源5和阴极电弧源6分别通过五组单独的开关控制,可以单独或协同工作。
进一步,如图2所示,所述真空室1内设有四个所述阴极电弧源6。
进一步,所述阴极电弧源6电源使用真空电弧直流逆变电源,设有气动自动引弧系统、手动引弧装置和实时在线监测装置。
进一步,如图2所示,所述真空室1内设有一个高功率脉冲磁控溅射源4,其采用非平衡磁场布置,单向柱状或者平板靶可调。
进一步,如图2所示,真空室1内设有两块单向非平衡柱状的双极脉冲磁控溅射靶2,所述双极脉冲磁控溅射靶2与所述真空室1绝缘,两块所述双极脉冲磁控溅射靶2采用孪生对靶设计,互为阴阳极;该孪生对靶采用非平衡磁场布置,单向柱状或者平板靶可调。这种设计可以有效避免出现溅射靶中毒和打火的现象,提高沉积的效率。
进一步,所述阳极层气体离子源3的阴极与所述真空室1连接,其阳极与所述真空室1绝缘。所述阳极层气体离子源3配合所述双极脉冲磁控溅射靶2的尺寸,能够均匀离化反应气体,并均匀覆盖被镀工件。
进一步,如图1所示,所述真空室1内还设有高温加热装置10。
进一步,所述工件架7设有工件的公转机构和自转机构。
进一步,所述真空室1采用闭循环气体控制系统,可以对工作时的电压、气流量进行精确的控制。
进一步,还包括PLC控制模块和工控机总线控制模块,使用镀膜机专用操作软件对整个控制流程实行全自动控制和数据保存。
进一步,所述高功率脉冲磁控源4单独控制一个磁控溅射靶。平均功率5-10KW,峰值电压1-2KV,峰值功率1-2Mw,峰值电流0.5-1kA,输出脉冲宽度1-200μs。
采用多功能全自动复合离子镀膜机制备TiAlCrSiN纳米复合涂层的实例:
所述阴极电弧源6包括Ti靶和Cr靶,所述双极脉冲磁控溅射靶2为Si靶,所述高功率脉冲磁控溅射源4为Al靶。同时,在镀膜过程中开启所述阳极层气体离子源3轰击基片,以提高膜层致密性及附着力,并增加N2离化率。具体生产工艺过程如下:
首先,将硬质合金刀具清洗干净,装夹在工件架上,开始抽真空,当真空度高于5×10-3Pa时,开始加热除气,温度控制在300-600℃,工件架保持6-10rpm的转速,当真空度2-5×10-3Pa时,通入Ar气,打开所述偏压电源5,对工件进行辉光清洗,真空保持在0.1-2Pa,偏压为500-1000V,占空比60-80%,辉光时间10-30分钟。辉光清洗结束后,真空调节为2×10-1Pa,打开所述阴极电弧源6的Cr靶,对刀具基体轰击5-30分钟约50-300纳米厚的Cr过渡层(底层),偏压保持在-400-1000V,占空比30-80%;在轰击完毕后,偏压降到-50-200V,占空比10-80%,断掉Ar气,通入N2气真空调节到1.0-3.0Pa,开始沉积CrN过渡层,沉积5-30分钟约50-300纳米。CrN过渡层沉积结束后,开启所述高功率脉冲磁控溅射源4(Al靶)及所述双极脉冲磁控溅射靶2(Si靶),通过调节N2把真空控制在0.1-3Pa,偏压占空比不变,打开所述阴极电弧源6(Ti和Cr多弧靶)开始制备CrTiAlSiN,沉积时间40-100分钟,结束后,自然冷却,当温度降到50℃以下时,取出工件。
本发明使用动态电磁场驱动电弧源,可以有效抑制电弧离子镀蒸镀过程中产生的微液滴。由于传统的磁控溅射存在沉积速率低,靶面刻蚀不均匀和靶材的利用率低等缺点,通过改进磁路布置、改变磁场的施加方式,优化等离子体分布,可以改善此问题。为改善膜层的沉积质量,研发出了非平衡磁控溅射技术;采用孪生对靶的双极脉冲磁控溅射设计,可以避免出现溅射靶中毒和打火的现象,提高沉积的效率。高功率脉冲磁控溅射技术(HIPIMS)是近年来发展起来的一种高离化率PVD技术,该技术是利用较高的脉冲峰值功率来实现产生高金属离化率(>50%)。高功率脉冲磁控溅射技术综合了磁控溅射表面光滑、无颗粒缺陷和电弧离子镀离化率高、膜基结合力强、涂层致密的优点,且离子束流不含大颗粒,在控制涂层微结构的同时获得优异的膜基结合力,在降低涂层内应力,以及提高涂层致密性、均匀性,尤其是对复杂几何形状工件沉积材料到不同区域的导向等都具有显著的技术优势。
本发明充分利用了多弧离子镀、高能脉冲磁控溅射及离子源轰击的优点:(1)动态电磁驱动阴极电弧可以有效抑制液滴,(2)双极脉冲及高能脉冲磁控溅射可以有效提高靶材的利用率及气体离化率,增强绕射性及涂层均匀性,(3)阳极层离子源在镀膜过程中的轰击能够提高膜层的致密性及结合力。同时采用闭循环气体控制系统,对反应时的电压、气流量进行精确的控制。此外,多元纳米复合涂层的制备对设备的要求越来越高,纳米复合结构的多元涂层通过添加不同金属或非金属元素,优化涂层成分、结构,可以获得高硬度、良好的韧性以及优异的高温稳定性等。采用多弧离子镀、双极脉冲和高功率脉冲溅射的综合技术,可以使涂层材料的选择更为广泛。本发明可以实现在各种基片和刀具上沉积各种多种材质的纳米复合、多层薄膜。
本发明通过以上结构,不仅可以制备纯金属、合金、反应膜层,还可以制备多元、多层纳米复合涂层,含氧涂层,以满足形状和大小不一的金属切削刀具,达到高速加工的要求。
以上结合具体实施例描述了本发明的技术原理。这些描述只是为了解释本发明的原理,而不能以任何方式解释为对本发明保护范围的限制。基于此处的解释,本领域的技术人员不需要付出创造性的劳动即可联想到本发明的其它具体实施方式,这些方式都将落入本发明的保护范围之内。
Claims (2)
1.一种用于刀具涂层沉积的多功能全自动离子镀膜机,其特征在于:包括真空室、双极脉冲磁控溅射靶、矩形的阳极层气体离子源、高功率脉冲磁控溅射源、偏压电源、阴极电弧源、工件架和支座;
所述真空室为密封结构,其上开设有抽气口,所述双极脉冲磁控溅射靶、阳极层气体离子源、高功率脉冲磁控溅射源、阴极电弧源和工件架固定在所述真空室内,所述支座与所述工件架连接;
所述工件架为导电材质,与所述旋转支架连接,位于所述双极脉冲磁控溅射靶、阳极层气体离子源、高功率脉冲磁控溅射源和阴极电弧源之间;所述工件架与所述真空室绝缘,所述真空室接地,所述偏压电源的阳极连接真空室,阴极连接所述工件架;
所述双极脉冲磁控溅射靶、阳极层气体离子源、高功率脉冲磁控溅射源、偏压电源和阴极电弧源分别通过五组单独的开关控制;
所述真空室内设有四个所述阴极电弧源;
所述阴极电弧源电源使用真空电弧直流逆变电源,设有气动自动引弧系统,手动引弧装置和实时在线监测装置;
所述真空室内设有一个高功率脉冲磁控溅射源,其采用非平衡磁场布置,单向柱状或者平板靶可调;
真空室内设有两块单向非平衡柱状所述双极脉冲磁控溅射靶,所述双极脉冲磁控溅射靶与所述真空室绝缘,两块所述双极脉冲磁控溅射靶采用孪生对靶设计,互为阴阳极;该孪生对靶采用非平衡磁场布置,单向柱状或者平板靶可调;
所述阳极层气体离子源的阴极与所述真空室连接,其阳极与所述真空室绝缘;
所述真空室内还设有高温加热装置;
所述工件架设有工件的公转机构和自转机构;
所述真空室采用闭循环气体控制系统。
2.使用如权利要求1所述的用于刀具涂层沉积的多功能全自动离子镀膜机的方法,其特征在于:步骤包括:
将硬质合金刀具清洗干净,装夹在工件架上,开始抽真空,当真空度高于5×10-3Pa时,开始加热除气,温度控制在300-600℃,工件架保持6-10rpm的转速;
当真空度2-5×10-3Pa时,通入Ar气,打开所述偏压电源,对工件进行辉光清洗,真空保持在0.1-2Pa,偏压为500-1000V,占空比60-80%,辉光时间10-30分钟;
辉光清洗结束后,真空调节为2×10-1Pa,打开所述阴极电弧源的Cr靶,对刀具基体轰击5-30分钟约50-300纳米厚的Cr过渡层,偏压保持在-400-1000V,占空比30-80%;
在轰击完毕后,偏压降到-50-200V,占空比10-80%,断掉Ar气,通入N2气真空调节到1.0-3.0Pa,开始沉积CrN过渡层,沉积5-30分钟约50-300纳米;
CrN过渡层沉积结束后,开启所述高功率脉冲磁控溅射源及所述双极脉冲磁控溅射靶,通过调节N2把真空控制在0.1-3Pa,偏压占空比不变,打开所述阴极电弧源,开始制备CrTiAlSiN,沉积时间40-100分钟,结束后,自然冷却,当温度降到50℃以下时,取出工件。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201310729628.0A CN103695858B (zh) | 2013-12-26 | 2013-12-26 | 一种用于刀具涂层沉积的多功能全自动离子镀膜机及其使用方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201310729628.0A CN103695858B (zh) | 2013-12-26 | 2013-12-26 | 一种用于刀具涂层沉积的多功能全自动离子镀膜机及其使用方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN103695858A CN103695858A (zh) | 2014-04-02 |
CN103695858B true CN103695858B (zh) | 2015-11-18 |
Family
ID=50357516
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201310729628.0A Active CN103695858B (zh) | 2013-12-26 | 2013-12-26 | 一种用于刀具涂层沉积的多功能全自动离子镀膜机及其使用方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN103695858B (zh) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105463388B (zh) * | 2016-02-11 | 2018-01-19 | 广东工业大学 | 氧化铝系复合涂层、具有该复合涂层的梯度超细硬质合金刀具及其制备方法 |
CN105586572B (zh) * | 2016-02-11 | 2018-06-15 | 广东工业大学 | (Ti,Al,Zr)N多组元复合涂层、具有该复合涂层的梯度超细硬质合金刀具及其制备方法 |
CN107130213B (zh) * | 2017-05-03 | 2019-04-09 | 成都真锐科技涂层技术有限公司 | 多元合金复合薄膜制备设备和制备方法 |
CN107723674A (zh) * | 2017-11-08 | 2018-02-23 | 重庆大学 | 一种离子源辅助高功率脉冲磁控溅射沉积装置 |
CN109722623B (zh) * | 2019-03-08 | 2020-07-28 | 北京师范大学 | 一种锯片表面处理方法 |
CN111397519A (zh) * | 2020-04-22 | 2020-07-10 | 江西江钨硬质合金有限公司 | 一种纳米涂层厚度的检测方法 |
CN111519151A (zh) * | 2020-04-30 | 2020-08-11 | 苏州艾钛科纳米科技有限公司 | 一种多元硬质涂层及其电磁增强磁控溅射制备工艺 |
CN111424247B (zh) * | 2020-05-12 | 2022-05-10 | 肇庆市科润真空设备有限公司 | 一种旋转式长寿命多弧靶及其使用方法 |
CN111826626A (zh) * | 2020-08-08 | 2020-10-27 | 南京纳弧新材料科技有限公司 | 超硬纳米复合涂层的制备pvd设备、方法及层结构 |
CN113529038A (zh) * | 2021-07-19 | 2021-10-22 | 中山市气相科技有限公司 | 一种耐摩擦、耐腐蚀TiN薄膜的制备方法 |
CN114293144A (zh) * | 2022-01-12 | 2022-04-08 | 松山湖材料实验室 | 一种刀具镀膜工艺及设备 |
CN114622180A (zh) * | 2022-03-11 | 2022-06-14 | 松山湖材料实验室 | 一种多功能等离子体设备及等离子体生成方法 |
CN114875358B (zh) * | 2022-05-10 | 2024-04-19 | 北京大学深圳研究生院 | 一种复合真空镀膜设备及其使用方法 |
CN115354289B (zh) * | 2022-08-26 | 2023-09-05 | 松山湖材料实验室 | 一种离子源辅助沉积系统、沉积方法及真空镀膜设备 |
CN115466928A (zh) * | 2022-09-02 | 2022-12-13 | 东莞市华升真空镀膜科技有限公司 | 复合镀膜设备、复合镀膜方法以及镀膜工件 |
CN115522169A (zh) * | 2022-09-30 | 2022-12-27 | 广东工业大学 | 氧化物硬质涂层的复合沉积方法及涂层刀具 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1854333A (zh) * | 2005-04-27 | 2006-11-01 | 北京实力源科技开发有限责任公司 | 一种新的真空镀膜方法和设备 |
CN1898406A (zh) * | 2004-09-10 | 2007-01-17 | 山特维克知识产权股份有限公司 | 具有耐磨涂层的刀具及其制造方法 |
CN101182631A (zh) * | 2006-11-14 | 2008-05-21 | 应用材料公司 | 磁控管溅射源、溅射涂敷设备及对衬底进行涂敷的方法 |
CN103668092A (zh) * | 2012-09-24 | 2014-03-26 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 一种等离子体辅助磁控溅射沉积方法 |
-
2013
- 2013-12-26 CN CN201310729628.0A patent/CN103695858B/zh active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1898406A (zh) * | 2004-09-10 | 2007-01-17 | 山特维克知识产权股份有限公司 | 具有耐磨涂层的刀具及其制造方法 |
CN1854333A (zh) * | 2005-04-27 | 2006-11-01 | 北京实力源科技开发有限责任公司 | 一种新的真空镀膜方法和设备 |
CN101182631A (zh) * | 2006-11-14 | 2008-05-21 | 应用材料公司 | 磁控管溅射源、溅射涂敷设备及对衬底进行涂敷的方法 |
CN103668092A (zh) * | 2012-09-24 | 2014-03-26 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 一种等离子体辅助磁控溅射沉积方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103695858A (zh) | 2014-04-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN103695858B (zh) | 一种用于刀具涂层沉积的多功能全自动离子镀膜机及其使用方法 | |
CN103668095B (zh) | 一种高功率脉冲等离子体增强复合磁控溅射沉积装置及其使用方法 | |
CN103273687B (zh) | TiSiN+ZrSiN复合纳米涂层刀具及其制备方法 | |
CN100460555C (zh) | 一种电弧离子镀低温沉积高质量装饰薄膜的设备和方法 | |
JP6884495B2 (ja) | イオン源強化のSi含有量及び結晶寸法が勾配変化するAlCrSiNコーティング | |
CN103132019B (zh) | 一种A1ZrCrN复合双梯度涂层刀具及其制备方法 | |
CN203174194U (zh) | 一种多功能等离子体增强涂层系统 | |
CN101787512A (zh) | 一种多元金属元素掺杂类金刚石膜的制备方法 | |
CN107937873B (zh) | 碳掺杂的过渡金属硼化物涂层、碳-过渡金属硼化物复合涂层、制备方法及应用和切削工具 | |
CN111349901B (zh) | 一种切削刀具用耐高温氧化铝厚膜涂层的制备方法 | |
CN108165925B (zh) | 一种低负偏压高能Ar+刻蚀清洗改善AlTiSiN涂层性能的方法 | |
CN107338409B (zh) | 可调控磁场电弧离子镀制备氮基硬质涂层的工艺方法 | |
CN101457359B (zh) | 一种Ti-Si-N纳米晶-非晶复合超硬涂层的制备方法 | |
CN104325738B (zh) | 一种冷轧圆盘飞剪的硬质涂层及其制备方法 | |
CN107164731B (zh) | 一种镁合金表面铝复合防护层的制备方法 | |
CN103276362B (zh) | 多级磁场直管磁过滤与脉冲偏压复合的电弧离子镀方法 | |
CN108251800A (zh) | 一种Cu-Al梯度薄膜材料及其制备方法 | |
CN104593737A (zh) | 高硅超硬pvd涂层制备工艺 | |
CN112689688B (zh) | 一种钛合金和高温合金加工用的涂层刀具及其制备方法 | |
CN106119798A (zh) | 阳极膜线性离子源辅助立方氮化硼涂层刀具的制备方法 | |
CN101403101A (zh) | 一种快速硬质陶瓷涂层离子镀装置 | |
CN113774347A (zh) | 一种超硬且韧纳米复合涂层、制备方法及使用设备 | |
CN106835036B (zh) | 一种调制高功率脉冲磁控溅射制备AlCrN涂层的方法 | |
CN209307474U (zh) | 一种提高硬质涂层与基材结合力的装置 | |
CN112941463A (zh) | 一种钛合金表面纳米多层氧氮化物耐蚀防护涂层及其制备方法和应用 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant |