RU2009125306A - Устройство для регулирования угла наклона и устройство для крепления заготовки - Google Patents

Устройство для регулирования угла наклона и устройство для крепления заготовки Download PDF

Info

Publication number
RU2009125306A
RU2009125306A RU2009125306/02A RU2009125306A RU2009125306A RU 2009125306 A RU2009125306 A RU 2009125306A RU 2009125306/02 A RU2009125306/02 A RU 2009125306/02A RU 2009125306 A RU2009125306 A RU 2009125306A RU 2009125306 A RU2009125306 A RU 2009125306A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
adjusting
angle
inclination
workpiece
body part
Prior art date
Application number
RU2009125306/02A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2521776C2 (ru
Inventor
Харуюки ХИРАЯМА (JP)
Харуюки ХИРАЯМА
Хирохиса ЯМАДА (JP)
Хирохиса ЯМАДА
Йосинори НАКАНИСИ (JP)
Йосинори НАКАНИСИ
Томохиро ОКАМОТО (JP)
Томохиро ОКАМОТО
Original Assignee
Койо Машин Индастриз Ко., Лтд. (Jp)
Койо Машин Индастриз Ко., Лтд.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Койо Машин Индастриз Ко., Лтд. (Jp), Койо Машин Индастриз Ко., Лтд. filed Critical Койо Машин Индастриз Ко., Лтд. (Jp)
Publication of RU2009125306A publication Critical patent/RU2009125306A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2521776C2 publication Critical patent/RU2521776C2/ru

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
    • B24B41/06—Work supports, e.g. adjustable steadies
    • B24B41/061—Work supports, e.g. adjustable steadies axially supporting turning workpieces, e.g. magnetically, pneumatically
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
    • H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
    • H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
    • H01L21/304—Mechanical treatment, e.g. grinding, polishing, cutting
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/005—Control means for lapping machines or devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
    • B24B37/07—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool
    • B24B37/10—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool for single side lapping
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/27—Work carriers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B7/00—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor
    • B24B7/20—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground
    • B24B7/22—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground for grinding inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain
    • B24B7/228—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground for grinding inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain for grinding thin, brittle parts, e.g. semiconductors, wafers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)

Abstract

1. Устройство для регулирования угла наклона, содержащее: ! опору; ! подвижную корпусную часть, подсоединенную к опоре; ! причем угол наклона заданного участка регулирования, противоположного опоре подвижной корпусной части, является регулируемым, при этом: ! опора имеет косо наклоненную поверхность для регулирования угла наклона; ! подвижная корпусная часть имеет поверхность для регулирования угла наклона, которая входит в контакт с поверхностью опоры, предназначенной для регулирования угла наклона, а заданный участок регулирования не параллелен поверхности опоры для регулирования угла наклона; ! на чем-то одном из опоры и подвижной корпусной части расположен круговой выступ для регулирования угла наклона, выступающий к альтернативной стороне по существу по вертикали к поверхности для регулирования угла наклона для удерживания альтернативной стороны с возможностью относительного поворота; и ! имеется соединительное средство для соединения опоры и подвижной корпусной части способом, обеспечивающим возможность выполнения регулирования с поворотом вокруг кругового выступа для регулирования угла наклона. ! 2. Устройство для крепления заготовки, содержащее: ! корпусную часть для крепления заготовки, имеющую поверхность для крепления заготовки; ! поворотную корпусную часть для удерживания с возможностью поворота корпусной части для крепления заготовки; ! причем угол наклона поверхности для крепления заготовки является регулируемым, при этом: ! поворотная корпусная часть имеет поверхность для регулирования угла наклона, наклоненную относительно оси поворотной корпусной части; ! корпусная часть дл�

Claims (11)

1. Устройство для регулирования угла наклона, содержащее:
опору;
подвижную корпусную часть, подсоединенную к опоре;
причем угол наклона заданного участка регулирования, противоположного опоре подвижной корпусной части, является регулируемым, при этом:
опора имеет косо наклоненную поверхность для регулирования угла наклона;
подвижная корпусная часть имеет поверхность для регулирования угла наклона, которая входит в контакт с поверхностью опоры, предназначенной для регулирования угла наклона, а заданный участок регулирования не параллелен поверхности опоры для регулирования угла наклона;
на чем-то одном из опоры и подвижной корпусной части расположен круговой выступ для регулирования угла наклона, выступающий к альтернативной стороне по существу по вертикали к поверхности для регулирования угла наклона для удерживания альтернативной стороны с возможностью относительного поворота; и
имеется соединительное средство для соединения опоры и подвижной корпусной части способом, обеспечивающим возможность выполнения регулирования с поворотом вокруг кругового выступа для регулирования угла наклона.
2. Устройство для крепления заготовки, содержащее:
корпусную часть для крепления заготовки, имеющую поверхность для крепления заготовки;
поворотную корпусную часть для удерживания с возможностью поворота корпусной части для крепления заготовки;
причем угол наклона поверхности для крепления заготовки является регулируемым, при этом:
поворотная корпусная часть имеет поверхность для регулирования угла наклона, наклоненную относительно оси поворотной корпусной части;
корпусная часть для крепления заготовки имеет противоположную поверхности для крепления заготовки поверхность для регулирования угла наклона, которая наклонена относительно поверхности для крепления заготовки и входит в контакт с предназначенной для регулирования угла наклона поверхностью поворотной корпусной части;
на чем-то одном из корпусной части для крепления заготовки и поворотной корпусной части расположен круговой выступ для регулирования угла наклона, выступающий к альтернативной стороне по существу по вертикали к поверхности для регулирования угла наклона для удерживания альтернативной стороны с возможностью относительного поворота, и
имеется соединительное средство для соединения поворотной корпусной части и корпусной части для крепления заготовки способом, обеспечивающим возможность выполнения регулирования с поворотом вокруг кругового выступа для регулирования угла наклона.
3. Устройство для крепления заготовки по п.2, в котором корпусная часть для крепления заготовки представляет собой поворотный стол, имеющий поверхность для крепления заготовки и поверхность для регулирования угла наклона.
4. Устройство для крепления заготовки по п.2, в котором корпусная часть для крепления заготовки включает в себя поворотный стол, имеющий поверхность для крепления заготовки, а корпусная часть для регулировки угла наклона с возможностью относительного поворота вставляется между поворотным столом и поворотной корпусной частью;
поверхность для регулирования угла наклона расположена в корпусной части для регулирования угла наклона;
на лицевой стороне корпусной части для регулирования угла наклона и поворотного стола находится входящая в поверхностный контакт поверхность для регулирования фазового угла, по существу параллельная поверхности для крепления заготовки;
в чем-то одном из корпусной части для регулирования угла наклона и поворотного стола расположен круговой выступ для регулирования фазового угла, который выступает по существу по вертикали к альтернативной стороне относительно поверхности для регулирования фазового угла, так чтобы удерживать альтернативную сторону с возможностью относительного вращения.
5. Устройство для крепления заготовки по любому из пп.2-4, в котором угол, образованный между поворотной корпусной частью и поверхностью для регулирования угла наклона, и угол, образованный между поверхностью для крепления заготовки корпусной части для крепления заготовки и поверхностью для регулирования угла наклона по существу идентичны.
6. Устройство для крепления заготовки по п.3 или 4, дополнительно содержащее:
трубчатую, неподвижно закрепленную ось для удерживания поворотной корпусной части с внутренней периферийной стороны с помощью подшипника;
выступающий шток, который выступает внутри к неподвижно закрепленной оси, на осевой линии поворотного стола;
соединительное средство между выступающим штоком и неподвижно закрепленной осью;
при этом соединительное средство включает в себя смещающее средство для смещения поворотного стола в осевом направлении в сторону поворотной корпусной части.
7. Устройство для крепления заготовки по п.2 или 3, в котором соединительное средство содержит часть в виде шайбы, расположенную между неподвижно закрепленной осью и выступающим штоком, которая установлена с возможностью скольжения вокруг выступающего штока в осевом направлении;
смещающее средство, установленное вокруг выступающего штока, чтобы смещать поворотный стол в осевом направлении в сторону поворотной корпусной части;
упорный подшипник, расположенный между частью в виде шайбы и смещающим средством.
8. Устройство для крепления заготовки по п.3, дополнительно содержащее:
разъединительное средство для разъединения соединения между поворотной корпусной частью и корпусной частью для крепления заготовки с помощью давления текучей среды;
регулировочное средство для регулирования вращения корпусной части для крепления заготовки с помощью соединения с корпусной частью для крепления заготовки способом зацепления с возможностью расцепления;
приводное средство для приведения во вращение поворотной корпусной части.
9. Устройство для крепления заготовки по п.4, дополнительно содержащее:
первое разъединительное средство для разъединения соединения между поворотной корпусной частью и корпусной частью для регулирования угла наклона с помощью давления текучей среды;
второе разъединительное средство для разъединения соединения между корпусной частью для регулирования угла наклона и поворотным столом с помощью давления текучей среды;
первое регулировочное средство для регулирования вращения корпусной части для регулирования угла наклона путем соединения с корпусной частью для регулирования угла наклона зацеплением, с возможностью расцепления;
второе регулировочное средство для регулирования вращения поворотного стола путем соединения с поворотным столом зацеплением, с возможностью расцепления;
приводное средство для приведения во вращение поворотной корпусной части.
10. Устройство для крепления заготовки по п.4, в котором:
поворотная корпусная часть вращается вокруг оси, по существу параллельной валу шлифовального круга, для шлифования поверхности заготовки, закрепленной на поверхности поворотного стола, предназначенной для крепления заготовки;
причем соответствующие поверхности для регулирования угла наклона, образованные на противоположных поверхностях поворотной корпусной части и корпусной части для регулирования угла наклона, наклонены по отношению к оси;
соответствующие поверхности для регулирования фазового угла, образованные на противоположных поверхностях поворотного стола и корпусной части для регулирования угла наклона по существу параллельны поверхности для крепления заготовки.
11. Устройство для крепления заготовки по п.2, в котором на поворотной корпусной части для покрытия поворотной корпусной части сверху расположена корпусная часть для крепления заготовки, а с нижней стороны подшипника расположено уплотнение для уплотнения зазора между поворотной корпусной частью и неподвижно закрепленной осью.
RU2009125306/02A 2008-07-02 2009-07-01 Устройство для крепления заготовки RU2521776C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008-173234 2008-07-02
JP2008173234A JP4783405B2 (ja) 2008-07-02 2008-07-02 傾斜角調整装置及びワーク装着装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2009125306A true RU2009125306A (ru) 2011-01-10
RU2521776C2 RU2521776C2 (ru) 2014-07-10

Family

ID=41464752

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2009125306/02A RU2521776C2 (ru) 2008-07-02 2009-07-01 Устройство для крепления заготовки

Country Status (4)

Country Link
US (1) US8403732B2 (ru)
JP (1) JP4783405B2 (ru)
KR (1) KR101592579B1 (ru)
RU (1) RU2521776C2 (ru)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101610832B1 (ko) * 2010-03-03 2016-04-08 삼성전자주식회사 화학적 기계적 연마 설비
JP5926501B2 (ja) * 2011-06-15 2016-05-25 東京応化工業株式会社 保持装置および保持方法
JP5355766B2 (ja) * 2012-03-06 2013-11-27 株式会社東京精密 研削装置
KR101407708B1 (ko) * 2012-03-06 2014-06-13 도쿄 세이미츄 코퍼레이션 리미티드 연삭 장치
JP2022033494A (ja) * 2020-08-17 2022-03-02 株式会社ディスコ 加工装置

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU433994A1 (ru) * 1971-06-21 1974-06-30 Наклоняемый стол
DE3060986D1 (en) * 1979-03-27 1982-12-02 Oerlikon Buehrle Ag Device for holding cutters of a gear cutting machine on a grinding machine
JPS58211840A (ja) * 1982-05-29 1983-12-09 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 傾斜面加工用治具
SU1127746A1 (ru) * 1983-08-04 1984-12-07 Московский Машиностроительный Завод "Коммунар" Устройство дл изменени положени издели при обработке
JPH0288167A (ja) * 1988-09-27 1990-03-28 Hitachi Electron Eng Co Ltd ディスク回転装置
SU1731485A1 (ru) * 1989-09-19 1992-05-07 Производственное объединение "Коломенский завод тяжелого станкостроения" Стол зубообрабатывающего станка
DE4335980C2 (de) * 1993-10-21 1998-09-10 Wacker Siltronic Halbleitermat Verfahren zum Positionieren einer Werkstückhalterung
JPH08215964A (ja) * 1995-02-10 1996-08-27 Rap Master S F T Kk ベースプレートの傾き調整機構
JPH1015795A (ja) 1996-07-08 1998-01-20 Koyo Mach Ind Co Ltd 単結晶材料の方位修正用支持装置および研削装置
US5816895A (en) * 1997-01-17 1998-10-06 Tokyo Seimitsu Co., Ltd. Surface grinding method and apparatus
JP2003148583A (ja) * 2001-11-14 2003-05-21 Fuji Seiki Kk ワーク姿勢調整装置
US6966817B2 (en) * 2004-02-11 2005-11-22 Industrial Technology Research Institute Wafer grinder
KR100865941B1 (ko) * 2006-11-28 2008-10-30 세메스 주식회사 스핀헤드 및 상기 스핀헤드의 기판 척킹/언척킹방법,그리고 상기 스핀헤드를 구비하는 기판 처리 장치
KR101036605B1 (ko) * 2008-06-30 2011-05-24 세메스 주식회사 기판 지지 유닛 및 이를 이용한 매엽식 기판 연마 장치
KR101004434B1 (ko) * 2008-11-26 2010-12-28 세메스 주식회사 기판 지지 유닛과, 이를 이용한 기판 연마 장치 및 방법

Also Published As

Publication number Publication date
JP4783405B2 (ja) 2011-09-28
JP2010012540A (ja) 2010-01-21
KR101592579B1 (ko) 2016-02-05
US20100003908A1 (en) 2010-01-07
US8403732B2 (en) 2013-03-26
KR20100004068A (ko) 2010-01-12
RU2521776C2 (ru) 2014-07-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2009125305A (ru) Устройство для регулирования угла наклона и устройство для крепления заготовки
RU2009125306A (ru) Устройство для регулирования угла наклона и устройство для крепления заготовки
US7753629B1 (en) Tilt table
RU2013147373A (ru) Шлифовальный станок с поворотной опорой узла шлифовального шпинделя и способ поворота шлифовального шпинделя в шлифовальном станке
EP2095896A3 (en) Machine tool and workpiece inner surface machining method using the machine tool
JP2009508297A5 (ru)
JP2015182149A (ja) クランプ装置およびクランプ方法
JP3203023U (ja) バリ取り装置
JP6505558B2 (ja) 傾斜割出し装置
CN104526506A (zh) 一种双工位数控抛光机
CN202053317U (zh) 电动工具
CN206998508U (zh) 玻璃研磨机及其研磨头总成
CN110714935B (zh) 一种角度可调的风机轴承座及其工作方法
JP6411985B2 (ja) 調整機構を備えた回転軸支持装置
CN202114589U (zh) 工业机器人抛光机砂带胀紧纠偏机构
JP5434094B2 (ja) 研磨装置
CN208214993U (zh) 圆柱零件周向磨削装置
JP2006198085A (ja) ミシンの布切りメス装置
CN208322964U (zh) 一种用于棒材刻环槽的装置
TW200623087A (en) Optical disc system with an adjustable position of the rotating disc
CN109465654A (zh) 一种圆柱形工件加工用夹具
JP2007075830A (ja) トランス付きポ―タブルガンの主軸構造
JP5648370B2 (ja) 予圧可変式スピンドル
JP2005169507A (ja) 溶接ガンのアーム支持機構
CN205465588U (zh) 砂带机及其自动张紧机构