NL194175C

NL194175C - Magnetische transducentkop.

Info

Publication number: NL194175C
Application number: NL8503246A
Authority: NL
Original assignee: Sony Corp
Priority date: 1984-11-26
Filing date: 1985-11-25
Publication date: 2001-08-03
Also published as: CN1009136B; CA1254299A; KR860004390A; IT8548826A0; DE3541762A1; CN85109351A; JPS61129716A; AT393568B; DE3541762C2; NL8503246A; KR940003642B1; IT1200147B; AU583320B2; JPH0654527B2; ATA343485A; GB8529056D0; AU5003785A; GB2167597A; US4788611A; FR2573902B1

Description

1 194175

Magnetische transducentkop

De uitvinding heeft betrekking op een magnetische transducentkop, voorzien van een samengestelde magnetische kern met een eerste en een tweede samengesteld magnetisch kerndeel, waarvan respectieve 5 platte, naar elkaar gekeerde oppervlakken dicht tegen elkaar bevestigd zijn, waarbij een tussengelegen scheidingsgebied een scheidingsvlak van de magnetische kern bepaalt, terwijl de samengestelde magnetische kern voorts een registratiemediumaanrakingsoppervlak voor aangrijping op een magnetisch registratiemedium, benevens een in het scheidingsgebied tussen de platte, naar elkaar gekeerde oppervlakken van de genoemde kerndelen aanwezige koppelspleet voor koppeling van de samengestelde magnetische kern met 10 een registratiemediumgedeeite ter plaatse van het aanrakingsoppervlak vertoont, welk eerste en tweede kerndeel respectieve kernelementen van een ferriet met magnetische eigenschappen bevatten en een inkepingsconfiguratie vertonen voor opname van een magnetische poolstuklaag van een met het desbetreffende kernelement van ferriet tot één geheel verenigd metaal met magnetische eigenschappen, waarbij de respectieve poolstuklagen schuin ten opzichte van de genoemde platte, naar elkaar gekeerde oppervlakken 15 van de kerndelen zijn aangebracht, en ieder een althans ten minste nagenoeg in eenzelfde vlak als het genoemde aanrakingsoppervlak liggend randvlak hebben en voorts terzijde van het scheidingsgebied een de koppelspleet van de transducentkop bepalende poolstukrand vertonen.

Op het gebied van magnetische opneem- en/of weergeefapparatuur, zoals videobandapparaten (VTR’s), is sedert geruime tijd behoefte aan een vergroting van de signaalregistratiedichtheid, welke op het 20 toegepaste registratiemedium kan worden bereikt. Ter vergroting van de signaalregistratiedichtheid gaat men er meer en meer toe over zogenaamde "metaalpoeder”-banden en zogenaamde ’’gemetalliseerde" magneetbanden met een hoge coërcitiefkracht (He) te gebruiken. Voor de metaalpoederbanden maakt men gebruik van ferro-magnetische metalen in poedervorm, zoals ijzer, kobalt of nikkel of legeringen daarvan, terwijl voor de gemetalliseerde banden door opdampen een dunne laag van ferro-magnetisch metaal op een 25 filmsubstraat wordt gevormd. In verband met de hoge coërcitiviteit van deze types magnetische registratiemedia geldt voor het magnetische kernmateriaal van de transducentkop, en in het bijzonder voor een voor signaalopname gebruikte transducentkop, dat de magnetische fluxdichtheid (Bg), waarvoor magnetische verzadiging van het materiaal optreedt, hoog ligt. Bij magnetisch ferriet, dat in overheersende mate bij magnetische signaalopname wordt gebruikt, ligt de magnetische fluxdichtheid, waarvoor verzadiging 30 optreedt, betrekkelijk laag. Daarentegen vertoont metaal met sterk magnetische eigenschappen, zoals "Permalloy”, het nadeel van een geringe slijtagebestendigheid.

Ter vergroting van de signaalregistratiedichtheid is het gewenst om op het magnetische registratiemedium registratiesporen van geringe breedte toe te passen, waartoe het noodzakelijk is dat de koppelspleet van de voor het vormen van de registratiesporen gebruikte, magnetische transducentkop een 35 overeenkomstig kleine afmeting in zijdelingse richting heeft.

In een poging om aan deze vereisten te voldoen, heeft men reeds een magnetische transducentkop van samengesteld type ontwikkeld, waarbij een laag ferro-magnetisch metaal op een substraat van niet-magnetisch materiaal, bijvoorbeeld keramisch materiaal, is aangebracht, zodanig dat de dikte van de gevormde laag overeenkomt met de registratiespoorbreedte. Een dergelijk type magnetische transducentkop 40 vertoont echter voor hoogfrequente signaalcomponenten een hoge magnetische reluctantie, aangezien de gehele baan voor de magnetische signaalflux in de kop wordt gevormd door de ferro-magnetische metaallaag, welke een laag weerstandswaarde heeft. Als gevolg van het feit dat de magnetische metaallaag wordt gevormd door middel van opdampen, hetgeen karakteristiek met een lage afzetsnelheid plaatsvindt, kan bovendien het vereiste dat de dikte van de afgezette laag gelijk aan de registratiespoorbreedte dient te 45 zijn, tot een betrekkelijk lange bewerkingsduur en tot als gevolg daarvan aanzienlijk toegenomen productiekosten leiden.

Voorts is een magnetische transducentkop van het samengestelde type bekend, waarbij de magnetische kernelementen bestaan uit ferro-magnetische oxiden, zoals ferriet, waarbij ter bepaling van de transducent-spleet ferro-magnetische metaallagen op naar elkaar gekeerde oppervlakken van de kernelementen zijn 50 gevormd. In dat geval strekken de magnetische fluxbaan en de grote oppervlakken van de magnetische metaallagen zich onder een rechte hoek ten opzichte van elkaar uit, met als gevolg dat de weergeefsignaal-sterkte ten gevolge vanuit deze constellatie resulterende wervelstroomverliezen kan dalen. Bovendien treedt aan het scheidingsvlak tussen de kernelementen van ferriet en de bijbehorende metaallaag steeds een "pseudo-spleef ’ op, hetgeen ten koste van de gewenste frequentieresponsie bij weergave gaat.

55 Een magnetische transducentkop volgens de aanhef van conclusie 1 wordt beschreven in de oudere, niet-voorgepubliceerde Nederlandse octrooiaanvrage NL 8403971. Deze magnetische transducentkop van het samengestelde type is geschikt voor signaalopname bij hoge registratiedichtheid op magneetbanden 194175 2 met hoge coërcitiviteit, zoals de zogenaamde ”metaalpoeder”-banden en ’’gemetalliseerde" magneetbanden, waarnaar reeds is verwezen. Een voorbeeld van deze kop is afgebeeld in figuur 20 van de bijbehorende tekening van een paar magnetische kernelementen 101 en 102 van ferriet met schuin verlopende oppervlakken 103,104, waarop lagen 105,106 van een metaal met sterk magnetische eigenschappen, 5 zoals ’’Sendust”, door middel van opdampen zijn gevormd. De lagen 105 en 106 zijn met een zodanige oriëntatierichting gevormd, dat de randvlakken van de lagen een transducentspleet 107 bepalen, welke met een grotere registratiespoorbreedte dan de dikte van de afgezette lagen overeenkomt. De voorste delen van de magnetische kernelementen 101 en 102 van ferriet zijn van elkaar gescheiden door ter weerszijden van het spleetgebied 107 aanwezige hoeveelheden niet-magnetisch vulmateriaal 108,109,110 en 111. De 10 hoeveelheden 108,109 strekken zich in een gelijkliggende, steunende relatie met de bandaangrijprand-vlakken van de gevormde lagen 105 en 106 uit teneinde op die wijze de lagen tegen slijtage te beschermen. De toepassing van de hoeveelheden niet-magnetisch materiaal 108-111 verleent aan de magnetische structuur van de transducentkop een vorm, welke met de gewenste registratiespoorbreedte overeenkomt.

De materiaalhoeveelheden 108 en 109 in figuur 20 kunnen bijvoorbeeld van glas met een betrekkelijk lage 15 smelttemperatuur zijn, terwijl de materiaalhoeveelheden 110 en 111 van glas met een betrekkelijk hoge smelttemperatuur kunnen zijn. De magneetkop volgens figuur 20 vertoont in vergelijking met eerdere koppen aanzienlijke betere eigenschappen wat betreft zijn betrouwbare werking, magnetische prestatie en slijtagebestendigheid.

Bij de vervaardiging van de magnetische transducentkop volgens figuur 20 wordt eerst een paar 20 kernblokken gevormd, zodanig dat nadat deze in de juiste oriëntatierelatie met elkaar zijn verenigd, een aantal afzonderlijke, als transducentkoppen bestemde chips kan worden afgesneden. Zoals in figuur 20 is te zien, kunnen de samengestelde kerndelen met de respectievelijk bijbehorende kernelementen 101 en 102 van ferriet worden vervaardigd uit aan een praktisch identieke voorbewerking onderworpen kernblokken, welke slechts in zoverre van elkaar verschillen dat tijdens de genoemde voorbewerking in het ene blok een 25 groef wordt gemaakt, welke in de uiteindelijke kemeenheid als de wikkelingsopening 112 moet dienen. De vervaardiging geschiedt bijvoorbeeld in de opeenvolgende stappen, waarbij eerst in een substraat van ferriet een serie onderling evenwijdige, V-vormige groeven wordt gevormd, welke vervolgens worden gevuld met glas met een betrekkelijk hoge smelttemperatuur, dat uiteindelijk de hoeveelheden niet-magnetisch vulmateriaal 110,111 voor iedere uit de desbetreffende vervaardiging resulterende transducentkop zal 30 vormen. Vervolgens kunnen verdere V-vormige groeven tussen de reeds gevormde groeven worden aangebracht. Een zijwand van iedere dergelijke verdere groef zal uiteindelijk overeenkomen met een schuin verlopend oppervlak, zoals 103 of 104, van een resulterende transducentkopkerneenheid volgens figuur 20. Tijdens een daaropvolgende vervaardigingsstap kan op het door ieder substraat van ferriet, de met glas gevulde eerste groeven en de open verdere groeven daarvan bepaalde oppervlak een laag van een 35 geschikt metaal met sterk magnetische eigenschappen, zoals "Sendust’’, worden aangebracht. De open groeven met de daarop aangebrachte laag kunnen worden gevuld met een glas met een lage smelttemperatuur, dat uiteindelijk de hoeveelheden niet-magnetisch materiaal 108 en 109 volgens figuur 20 vormt. Het overschot aan afgezet, sterk magnetisch metaal wordt verwijderd en het resulterende oppervlak wordt gepolijst tot een plat spiegeloppervlak voor coplanaire samenwerking met een ander dergelijk spiegel-40 oppervlak. De desbetreffende spiegeloppervlakken van twee dergelijke kernblokken worden onder tussenvoeging van een voor vorming van de reeds genoemde spleet bestemde, als afstandhouder werkende hoeveelheid materiaal tegenover elkaar geplaatst, waarna de beide kernblokken met elkaar worden verenigd tot een eenheid, waaruit daarna volgens onderling evenwijdige snijvlakken een aantal ieder een afzonderlijke transducentkop-chip vormende plakken wordt gesneden. Bij het snijden van deze plakken 45 volgens onderling evenwijdige snijvlakken ontstaan de zijvlakken 114 en 115 van de transducentkop volgens figuur 20.

Ondanks zijn uitstekende eigenschappen, is een magnetische transducentkop volgens figuur 20 echter toch niet optimaal als gevolg van het feit, dat de zijranddelen 105a en 106a van de afgezette metaallagen 105 en 106 met sterk magnetische eigenschappen tijdens het hiervoor genoemde snijden van plakken en 50 snijbewerking ondergaan, welke een nadelige invloed heeft op de magnetische eigenschappen van de lagen 105 en 106. Meer in het bijzonder neemt de magnetische reluctantie van de belangrijkste fluxbanen voor magnetische signalen in de lagen 105 en 106 toe, wordt de voor signaalopname nuttige, magnetische fluxdichtheid aan de spleet 106 tijdens opname kleiner, en neemt ook de gevoeligheid van de transducentkop tijdens weergave af. Verondersteld wordt, dat deze nadelige toename van de magnetische reluctantie 55 van de belangrijkste magnetische signaalfluxbanen wordt veroorzaakt door een verschil in thermische uitzetting tussen de ferrietoppervlakken 103 en 104, en de afgezette metaallagen, zoals 105 en 106. Meer in het bijzonder wordt verondersteld, dat de mechanische belasting, welke door het verschil in thermische 3 194175 uitzetting wordt veroorzaakt, tot het optreden van scheuren in de afgezette lagen 105 en 106 en dergelijke leidt, waaruit een verstoring van de uniformiteit van de magnetische eigenschappen van de lagen, zoals deze oorspronkelijk zijn gevormd, resulteert.

De onderhavige uitvinding stelt zich ten doel, de hiervoor genoemde moeilijkheden met betrekking tot de 5 magnetische metaallagen, welke in een magnetische transducentkop van het samengestelde type het spleetgebied bepalen, zodanig weg te nemen dat die delen van de afgezette metaallagen, welke een wezenlijk onderdeel van de magnetische signaalfluxbaan van de transducentkop vormen, althans ten minste nagenoeg vrij van, gezien zijn nadelige uitwerking ongewenste uit thermische verschijnselen resulterende, mechanische spanning zijn.

10 Daartoe vertoont de magnetische transducentkop van de in de inleiding beschreven soort het kenmerk dat de inkepingsconfiguratie van de respectieve kerndelen, beschouwd aan het registratiemediumaanra-kingsoppervlak, een eerste inkeping bepalende oppervlakken vertoont welke zich vanaf het respectievelijk bijbehorende van de platte, naar elkaar gekeerde oppervlakken van de beide kerndelen schuin, dicht langs en conform met een zijde van de respectievelijk bijbehorende poolstuklaag uitstrekken, en een verdere 15 inkeping bepalende oppervlakken vertoont welke uitbreidingen van de een eerste inkeping bepalende oppervlakken vormen, zich vanaf deze oppervlakken uitstrekken en zijdelings buiten deze oppervlakken een zijdelings uiteinde hebben, dat ter verhindering, dat de magnetische poolstuklagen aan schadelijke thermische spanningen worden blootgesteld, door een nabewerking van het genoemde registratiemediu-maanrakingsoppervlak is verwijderd, en dat de samengestelde magnetische kern kernzijvlakken heeft, welke 20 een kerndikte van aanzienlijk grotere waarde dan de breedte van het registratiemediumaanrakingsoppervlak bepalen, terwijl de een verdere inkeping bepalende oppervlakken tussen de bijbehorende een eerste inkeping bepalende oppervlakken en hun bijbehorende zijdelingse uiteinde een bocht vertonen, waar vanaf het zijdelingse uiteinde zich algemeen naar het scheidingsvlak uitstrekt, waarbij het zijdelingse uiteinde van ieder kerndeel ten opzichte van het niveau van het aanrakingsoppervlak in de diepterichting is verplaatst.

25 Volgens de uitvinding worden kernblokken van een oxide met ferro-magnetische eigenschappen in de gewenste relatie tot elkaar geplaatst, waarbij zich schuin uitstrekkende poolstuklagen van afgezet metaal met sterk magnetische eigenschappen in de gewenste alignering op een als scheidingvlak dienend gebied tussen de naar elkaar gerichte kernblokken aanwezig zijn. In vooraanzicht op de kernblokkeneenheid vertonen de groeven, welke de poolstuklagen opnemen de configuratie van inkepingen, waarbij eerste, een 30 inkeping bepalende oppervlakken, welke de poolstuklagen ondersteunen, zich schuin vanaf de bijbeho* j rende, naar elkaar gekeerde oppervlakken uitstrekken. In verband met het profiel van de groeven, vertonen | verdere een inkeping bepalende oppervlakken, welke voortzettingen van de eerste een inkeping bepalende j oppervlakken vormen, een gebogen contour en zijdelingse uitsteeksels, welke zijdelings aan de poolstuk i lagen naar buiten toe uitsteken. Door buiten de gebogen contouren plakken van de kernblokkeneenheid te | 35 snijden, wordt het effect verkregen dat de poolstuklagen worden beschut tegen de thermische spanning, welke het gevolg is van de uitgeoefende snijkrachten. Teneinde het voor aanraking aan een magneetband dienende oppervlak tot de gewenste breedte te beperken, is het mogelijk dat de inkepingsconfiguratie zodanig wordt afgekant, dat slechts de poolstuklagen randvlakken op het niveau van het genoemde aanrakingsoppervlak hebben en dat de genoemde zijdelingse uitsteeksels van dat oppervlak worden 40 verwijderd.

Bij een voorkeursuitvoeringsvorm van een magnetische transducentkop vertoont een door afsnijding uit een kernblokkeneenheid verkregen, samengestelde magnetische kern zijkanten, welke zich op enige afstand zijdelings buiten de poolstuklagen bevinden, zodat deze laatstgenoemden ten minste nagenoeg vrij zijn van de thermische spanning, welke bij transducentkoppen van het in figuur 20 weergegeven type een 45 nadelige uitwerking blijkt te hebben. Daar de poolstuklagen in het optimale geval een zich volledig over het voor aanraking aan een magneetband bestemde oppervlak uitstrekkende, rechte lijn vormen, kan het optreden van een nadelige thermische spanning worden vermeden door de transducentkop-chip eerst met een grotere afmeting in zijdelingse richting dan de voor het aanrakingsoppervlak gewenste breedte af te snijden en vervolgens de ongewenste uitsteeksels, welke in zijdelingse richting aan de poolstuklagen 50 uitsteken, te verwijderen, bijvoorbeeld door aan de zijkanten van de transducentkop afkanting aan te brengen. Daarbij verdient het in het bijzonder de voorkeur, dat de transducentkop-chip van een samengestelde kernblokkeneenheid worden afgesneden volgens snijvlakken, welke zich zijdelings buitenwaarts uitstrekken vanaf de gebogen contouren, welke dan de poolstuklagen beschermen tegen het optreden van nadelige warmtespanningen als gevolg van de uitgeoefende snijkrachten, zodanig dat zelfs op basis van 55 massaproductie een stabiele en zeer bedrijfszekere transducentkop wordt verkregen.

Bij een modificatie kunnen de uitsteeksels van de poolstuklagen zich in het algemeen zowel van het scheidingsvlak af als zijdelings uitstrekken, een gebogen contour vertonen en een geringe dikte hebben, 194175 4 waardoor de poolstuklagen van eventueel optredende warmtespanningen vrijgehouden worden. De snijvlakken kunnen zijdelings buiten de respectieve betrekkelijk scherp gebogen contouren van dergelijke uitsteeksels liggen en de zijdelingse uiteinden van de afgezette lagen, welke betrekkelijk dun zijn en zich aan de scherp gebogen contouren hoofdzakelijk naar het scheidingsvlak uitstrekken, snijden. De zijdelingse 5 uiteinden kunnen door afkanting van het bandaanrakingsoppervlak worden verwijderd.

De uitvinding zal worden verduidelijkt in de nu volgende beschrijving van de bijbehorende tekening. Daarin tonen: figuur 1, in perspectief, een voorbeeld van een magneetkop, waarbij de kopwikkeling ter wille van de 10 duidelijkheid is weggelaten, figuur 2, op grotere schaal en enigszins schematisch, een bovenaanzicht op een gedeelte van de magneetkop volgens figuur 1, dat wil zeggen op het voorste gebied van de kop met het bandaanrakingsoppervlak nabij de spleet, figuur 3-9, schematisch en in perspectief, een voorbeeld van een aantal opeenvolgende stappen bij de 15 vervaardiging van een magneetkop volgens de figuren 1 en 2, figuur 10, op grotere schaal, een bovenaanzicht op een gedeelte van een magneetkop met voorste gebieden van een kerneneenheid, welke is onderworpen aan afkanting volgens een onderlinge afstand W vertonende snijvlakken in plaats van volgens een onderlinge afstand van meer dan D (zoals in figuur 9) vertonende snijvlakken, 20 figuur 11 een soortgelijk aanzicht als in figuur 10 met een verdere modificatie, figuur 12, in perspectief, een uitvoeringsvorm van een magneetkop, waarbij de magnetische metaallagen slechts tot een beperkte diepte onder het bandaanrakingsoppervlak van de transducentkop zijn gevormd, figuur 13-19, schematisch en in perspectief, een voorbeeld van een aantal opeenvolgende stappen bij de vervaardiging van een magneetkop volgens figuur 12, en 25 figuur 20, in perspectief, een magnetische transducentkop van samengesteld type, zoals beschreven in de vermelde stand van de techniek.

Figuur 1 toont in perspectief een voorbeeld van een samengestelde magneetkop. De verwijzingsgetallen I en II hebben betrekking op respectieve kerndelen van samengesteld type, welke tijdens een voorafgaande 30 behandelingsstap met elkaar zijn verenigd en vervolgens ter verkrijging van een afzonderlijke kerneneenheid van het type volgens figuur 1 zijn afgesneden volgens snijvlakken, welke zich evenwijdig aan de grote zijvlakken van de kerndelen uitstrekken. Het kerndeel I bevat een magneetkernelement 1 met een voorste gedeelte 1A en een hoofdgedeelte 1B. Het met het kerndeel I samenwerkende kerndeel II bevat een magneetkernelement 2 met een voorste gedeelte 2A en een hoofdgedeelte 2B. Het magneetkernelement 2 35 vertoont een wikkelingssleuf 2C, zodanig, dat om de door het magneetkernelement 2 gevormde, magnetische signaalfluxbaan een elektrische wikkeling kan worden aangebracht.

In figuur 2 zijn de eerste oppervlakgedeelten IA en HA van de respectieve kerndelen I en II op grotere schaal in aanzicht weergegeven voorzover het het spleetgebied betreft. In figuur 2 is de breedte van de hoofdgedeelten 1B en 2B met de letter W aangeduid. De magneetkernelementen 1 en 2 kunnen bijvoor-40 beeld zijn vervaardigd van een oxide met ferro-magnetische eigenschappen, zoals mangaan-zinkferriet.

Zoals figuur 2 laat zien vertonen de kerndelen respectieve inkepingsconfiguraties 3 en 4, welke respectieve lagen 5 en 6 van een metaal met sterk magnetische eigenschappen bevatten. Tot de lagen 5 en 6 behoren zich in eikaars verlengde uitstrekkende, respectieve gedeelten 5A en 6A, welke hier als ’’magnetische poolstuklagen” zullen worden aangeduid en voor aanraking aan een opneemmagneetband bestemde 45 randvlakken 5a, respectievelijk 6a hebben en bovendien wezenlijke delen van de magnetische signaalfluxbaan van de transducentkop bij opname vormen. De genoemde poolstuklagen 5A en 6A strekken zich dicht langs schuin verlopende gedeelten 7A en 8A van een uitsparing bepalende oppervlakken 7 en 8 uit. Bij een bepaalde uitvoeringsvorm worden de lagen 5 en 6 gevormd door opdamping van een metaal met sterk magnetische eigenschappen op de een inkeping bepalende oppervlakken 7 en 8.

50 Zoals figuur 2 laat zien, vormen de oppervlakgedeelten 7A en 8A ieder een hoek met een scheidingsvlak, dat samenvalt met een scheidingsgebied 9 tussen de samengestelde kerndelen I en II. De poolstuklagen 5A en 6A hebben een althans ten minste nagenoeg gelijke dikte, welke in figuur 2 links onderaan met ”t” is aangeduid. De poolstuklagen 5A en 6A hebben naar elkaar toegekeerde randvlakken, welke zich ter weerszijden van het scheidingsgebied 9 bevinden en tezamen een transducentkoppelspleet 10 voor 55 magnetische koppeling van de transducentkop met een registratiespoor van een magnetisch registratiemedium, zoals een magneetband, bepalen. Daarbij is de afmeting in zijdelingse richting van de spleet 10 in wezen bepalend voor de breedte Tw van een door de kop tijdens opname en/of weergave afgetast 5 194175 registratiespoor.

Zoals figuur 2 laat zien, vertonen de samengestelde kerndelen uitsparingsconfiguraties 11 en 12, terwijl de lagen 5 en 6 verdere uitsparingsconfiguraties vertonen. De uitsparingsconfiguraties van de lagen 5 en 6 zijn gevuld met hoeveelheden niet-magnetisch materiaal 13 en 14, terwijl de uitsparingsconfiguraties 11 en 5 12 hoeveelheden niet-magnetisch materiaal 15 en 16 bevatten. Voor het niet-magnetische materiaal 13 en 14 kan bijvoorbeeld een glas met een relatief hoge smelttemperatuur worden gebruikt, terwijl voor het niet-magnetische materiaal 15 en 16 een glas met een lagere smelttemperatuur kan worden gebruikt.

Het scheidingsgebied 9 kan bestaan uit een in aanmerking komend spleetmateriaal, zoals silicium dioxide (Si02), dat op één van beide of beide met elkaar samenwerkende oppervlakken van de samenge-10 stelde kerndelen I en II wordt aangebracht. De hoek Θ tussen de respectieve schuine oppervlakken 7A en 8A, welke de poolstuklagen 5A en 6A ondersteunen, en het vlak van het scheidingsgebied 9 ligt bij voorkeur in het gebied van 20-28°. Voor een hoek Θ van minder dan 20° neemt bij signaalweergave de overspraak uit aangrenzende registratiesporen toe, zodat voor de hoek Θ bij voorkeur een hogere waarde dan 20° wordt gekozen. Anderzijds wordt voor de hoek Θ een waarde gekozen, welke kleiner dan 80° bedraagt, 15 aangezien de slijtagebestendigheid aanzienlijk afneemt wanneer de hoek Θ naar 90° gaat. Voor een hoek Θ van 90° dienen de afgezette metaallagen 5 en 6 een aan de registratiespoorbreedte Tw gelijke dikte te hebben. Dit is echter ongewenst, aangezien de vorming van een dergelijke laag door opdamping uiterst tijdsintensief is; voorts kan in dit verband worden opgemerkt, dat naarmate de dikte van de laag groter wordt, de structuur van de laag minder gelijkmatig wordt, waardoor de magnetische eigenschappen van de 20 transducentkop nadelig beïnvloed worden.

Omtrent de ruimtelijke verhoudingen van de transducentkop volgens figuur 2 wordt opgemerkt, dat de dikte t van de poolstuklagen 5A en 6A kleiner is dan de registratiespoorbreedte, en zulks volgens de relatie: t = Tw.sinö, waarin Tw de spoorbreedte is en Θ de hoek tussen de respectieve schuin verlopende oppervlakgedeelten 25 7 A en 8A enerzijds en het vlak van het scheidingsgebied 9 anderzijds is. Door geschikte keuze van de hoek Θ is het derhalve mogelijk om de filmlaagdikte t zodanig klein ten opzichte van de spoorbreedte Tw te kiezen, dat bij de vervaardiging van de magneetkop een overeenkomstige tijdsbesparing wordt verkregen.

De materialen voor de magnetische metaallagen 5 en 6 kunnen niet-kristaliijne, ferro-magnetische metaallegeringen omvatten, dat wil zeggen zogenaamde amorfe legeringen, bijvoorbeeld amorfe metaal-30 metalloide legeringen, zoals legeringen die zijn samengesteld uit één of een aantal metalen uit een groep die omvat ijzer (Fe), nikkel (Ni) en kobalt (Co), en één of een aantal elementen uit de groep die omvat fosfor (P), koolstof (C), boor (B), en silicium (Si), of legeringen die in hoofdzaak bestaan uit elementen uit deze groepen en ook omvatten aluminium (Al), germanium (Ge), beryllium (Be), tin (Sn), indium (In), molybdeen (Mo), wolfraam (W), titaan (Ti), mangaan (Mn), chroom (Cr), zirconium (Zr), hafnium (Hf) of 35 niobium (Nb), of amorfe metaal-metaallegeringen die in hoofdzaak bestaan uit kobalt (Co), hafnium (HO of zirconium (Zr); ijzer-aluminium-siliciumlegeringen (Sendust-legeringen); ijzer-aluminiumlegeringen; en nikkel-ijzer legeringen (Permalloys-legeringen). Het afzetten van de in dit geval gewenste lagen kan worden uitgevoerd volgens elke gebruikelijke methode voor het fysisch afzetten via de gasfase, zoals vlam* verdampen, gasverdampen, het plateren met ionen, versproeien en afzetten met behulp van een bundel van 40 ionclusters.

De uitsparingsconfiguraties met de hoeveelheden niet-magnetisch materiaal 13-16 verlenen aan de transducentkop een zodanige magnetische structuur, dat de magnetische signaalflux in het gebied van de spleet 10 wordt geconcentreerd; daarnaast heeft de transducentkop een zeer stabiel bandaanrakingsopper-vlak van grote slijtagebestendigheid.

45 Zoals in figuur 2 te zien is, hebben de afgezette metaallagen 5 en 6 een algemeen V-vormige configuratie, waarbij de poolstuklagen 5A en 6A met respectieve zijdelingse uitsteeksels 5B en 6B van aanzienlijk geringere dikte zijn verbonden door middel van respectieve bochtstukken 5C en 6C.

De zijdelingse uitsteeksels of uiteinden 5B en 6B van de respectieve poolstuklagen bevinden zich op enige afstand in de diepterichting van het niveau van het bandaanrakingsoppervlak van de kop, zoals in 50 figuur 1 duidelijk voor het uiteinde 6B zichtbaar is. Bij beschouwing van figuur 1 blijkt, dat de poolstuklagen 5A en 6A zich als respectieve gedeelten van de lagen 5 en 6 vanaf een met het bandaanrakingsoppervlak gelijkliggend niveau over een aanzienlijke diepte uitstrekken, dat wil zeggen tot aan de bodem van de transducentspleet 10. Bij de uitvoeringsvorm volgens de figuren 1 en 2 vindt de verwijdering van de laaggedeelten 5B, 5C en 6B, 6C vanaf het niveau van het genoemde bandaanrakingsoppervlak plaats door 55 afkanting van de samengestelde kerndelen I en II, waaruit de L-vormig getrapte oppervlakken 17 en 18 in figuur 1 resulteren.

Zoals hierna nog aan de hand van de figuren 8 en 9 zal worden verduidelijkt, wordt bij de hier beschre- 194175 6 ven uitvoeringsvorm voor de zijdelingse afmeting D, welke in figuur 2 is weergegeven en de totale afmeting in zijdelingse richting van de beide naast elkaar gevormde inkepingsconfiguraties 3 en 4 vertegenwoordigt, een waarde gekozen, welke kleiner is dan die van de dikte W van de hoofdgedeelten 1B en 2B van de transducentkop. Op deze wijze wordt zekergesteld, dat wanneer een paar bij elkaar passende en in de 5 juiste relatie ten opzichte van elkaar geplaatste kernblokken aan afsnijding ter verkrijging van afzonderlijke magneetkop-chips, zoals die volgens de figuren 1 en 2, wordt onderworpen, de snijwerking plaatsvindt op enige zijdelingse afstand tot het paar in eikaars verlengde liggende poolstuklagen 5A en 6A, zodanig, dat deze lagen worden vrijgehouden van de uit de thermische effecten van de afsnijding resulterende, mechanische spanning. Als gevolg daarvan behouden de poolstuklagen 5A en 6A hun oorspronkelijke 10 magnetische eigenschappen en wordt in het bijzonder de vorming van scheuren in de lagen 5A en 6A verhinderd, welke een nadelige invloed op die magnetische eigenschappen zouden hebben.

Bij een op dergelijke wijze vervaardigde magneetkop strekken de zijdelingse uiteinden 5B en 6B van de door afzetting gevormde lagen van metaal met sterk magnetische eigenschappen zich van de bochtstukken 5C, 6C in een hoofdzakelijk naar het scheidingsgebied 9 verlopende richting uit, zoals in figuur 2 is te zien. 15 Indien dergelijke zijdelingse uitsteeksels 5B en 6B zich aan het bandaanrakingsoppervlak van de transducentkop zouden bevinden, zouden zogenaamde ’’pseudo-spleten" worden gevormd. Hier bevinden de oppervlakken 17a, 18a met de zijdelingse uiteinden 5B en 6B en de aangrenzende zijrandgedeelten van de kernelementen 1 en 2 zich echter op enige afstand van het niveau van het bandaanrakingsoppervlak, zodat aan dit oppervlak slechts de door de poolstuklagen 5A en 6B bepaalde, gewenste transducentspleet 10 20 aanwezig is.

Aan de hand van de figuren 3-9 zal vervolgens een voorkeursuitvoeringsvorm van de vervaardiging van de magnetische transducentkop volgens de figuren 1 en 2 worden beschreven.

Bij de in figuur 3 weergegeven vervaardigingsstap wordt door middel van een niet in de tekening weergegeven slijpinrichting een aantal zich op enige afstand van elkaar uitstrekkende V-vormige groeven 21 25 gevormd in het bovenoppervlak 20a van een substraat 20; deze V-vormige groeven hebben schuin verlopende oppervlakken 21a en 21b. Het bovenoppervlak 20a van het substraat 20 kan worden beschouwd als één van een paar bij elkaar behorende oppervlakken, aangezien twee dergelijke oppervlakken van respectieve soortgelijke substraten na verdere bewerking tegen elkaar worden gebracht, zoals figuur 8 laat zien. Het desbetreffende oppervlak 20a strekt zich evenwijdig aan het scheidingsvlak van de uiteindelijk 30 gevormde kopeenheid uit. De schuin verlopende oppervlakken 21a van de groeven 21 vertonen de gekozen hoek Θ (zie figuur 2) ten opzichte van het bovenoppervlak 20a van het substraat. Bij de hier beschreven uitvoeringsvorm is voor de hoek Geen waarde van ongeveer 45° gekozen.

Zoals figuur 4 laat zien wordt vervolgens een metaallaag 22 met sterk magnetische eigenschappen, bijvoorbeeld "Sendust” of dergelijke, op het van groeven voorziene bovenoppervlak 20a van het substraat 35 20 aangebracht, waaruit laaggedeelten 23A met een laagdikte t op de schuin verlopende oppervlakken 21a in figuur 3 resulteren. De laag 23 vertoont aan zijn buitenzijde of bovenzijde aan het genoemde oppervlak 20a evenwijdige oppervlakgedeelten en uitsparingen 24, welke hoofdzakelijk de contour van de oorspronkelijke groeven 21 volgen. De laag 23 kan in gedeelten, zoals 23B in figuur 4, welke aan de zijde van de schuin verlopende oppervlakken 21b van de groeven 21 door opdamping worden gevormd, een geringere 40 dikte hebben, overeenkomende met de geringere dikte van de afzonderlijke lagen, zoals 5 en 6 in figuur 2, ter plaatse van hun respectieve uiteinden 5B en 6B. Wanneer de laag 23 door opdamping wordt gevormd, bijvoorbeeld door ’’spetteren", kan het substraat 20 onder een zodanige hoek ten opzichte van de spetterinrichting worden gehouden, dat het materiaal in hoofdzaak op de schuin verlopende oppervlakken 21 a wordt afgezet, terwijl de afzetting van materiaal tot een geringere dikte aan de tegenover gelegen 45 oppervlakken 21b van de V-vormige groeven 21 optreedt.

Zoals figuur 5 laat zien, kunnen uitsparingen 24 volgens figuur 4 vervolgens worden gevuld met niet-magnetisch materiaal 25, zoals glas met een hoge smelttemperatuur. Het oppervlak met de daarop gevormde laag 23 volgens figuur 4 wordt vervolgens zodanig vlak geslepen, dat de randgedeelten, zoals 23a en 23b van de afgezette metaallaag 23 in eenzelfde vlak komen te liggen met het bovenoppervlak 20a 50 van het substraat, waardoor de gehele, op de beschreven wijze van groeven voorziene zijde van het substraat 20 een ononderbroken, glad, plat oppervlak gaat vertonen.

Vervolgens wordt, zoals in figuur 56 is weergegeven evenwijdig aan de oorspronkelijke V-vormige groeven 21 volgens figuur 3 een tweede stel groeven 27 in het bovenoppervlak 20a gevormd, waarbij iedere dergelijke groef 27 dicht bij het randgedeelte 23a van een respectieve, op de hiervoor beschreven wijze 55 door opdampen gevormde poolstuklaag 23A terechtkomt; deze bewerkingsstap is gericht op het vormen van de uitsparingen 11 en 12 in figuur 2, welke zich dicht nabij de randen van de spleet 10 uitstrekken. Het tegen dèt van een ander dergelijk substraat te brengen oppervlak 20a en de daarmee in één plat vlak 7 194175 liggende oppervlakken 23a en 23b van de laag 23 en oppervlakken 25a van het niet*magnetische materiaal 25 worden vervolgens aan een oppervlaktebehandeling tot spiegelkwaliteit onderworpen. De groeven 27 kunnen de aangrenzende randen van de randvlakken 23a van de poolstuklagen in geringe mate overlappen, waardoor verhinderd wordt, dat aan de zijdelingse uiteinden van de koppelspleet, dat wil zeggen de 5 spleet 10 in figuur 2, nog magnetisch substraatmateriaal aanwezig is. De gecombineerde afmeting in zijdelingse richting of breedte van de groeven 21 en 27 komt overeen met de afmeting D in figuur 2; voor deze gecombineerde breedte wordt bij de hier beschreven uitvoeringsvorm een waarde gekozen, welke kleiner is dan de in figuur 8 met M aangeduide afsnijdbreedte en althans ten minste nagenoeg overeenkomt met de breedte W in figuur 2.

10 De tweede groeven 27 volgens figuur 6 kunnen bijvoorbeeld een veelhoekige dwarsdoorsnede hebben, zodat het binnenwandoppervlak van iedere groef 27 een buiging in twee stappen vertoont, waarbij oppervlakken 27a, welke aan de respectieve poolstuklagen 23A grenzen, een bij voorkeur betrekkelijk steile hoek met het vlak van het bovenoppervlak 20a in figuur 6 insluiten. De contour van de groeven of sleuven 27 wordt zodanig gekozen, dat een bepaalde, gewenste afstand wordt verkregen tussen de magnetische 15 oxidelaag van bijvoorbeeld het kernelement 1 in figuur 2 en de magnetische metaallaag 6A in figuur 2. De desbetreffende contour- of profielkeuze van de groeven 27 is erop gericht om het optreden van overspraak-verschijnselen bij de weergave van opgenomen signalen van betrekkelijk grote golflengte zoveel mogelijk te beperken. Het oxidemateriaal met magnetische eigenschappen van de kernelementen 1 en 2 ondersteunt de respectieve poolstuklagen 5A en 6A volgens figuur 2 ter plaatse van het reeds genoemde band-20 aanrakingsoppervlak in nauw conforme relatie over de gehele uitgestrektheid van de poolstuklagen 5A en 6A, en voorts over een diepte, welke overeenkomt met de diepte van de spleet 10; de laatstgenoemde diepte wordt beperkt door de aanwezigheid van de sleuf 2C in het kernelement 2B in figuur 1. Het profiel van de sleuven 27 volgens figuur 6 maakt het bovendien mogelijk, dat de naar elkaar gekeerde vlakken van het oxidemateriaal met magnetische eigenschappen van de kernelementen 1 en 2 een helling vertonen ten 25 opzichte van het vlak van de spleet 10; daardoor wordt opname van leksignalen in de aftastrichting van de kop vermeden en bovendien de overspraak van signalen uit een aangrenzend en uit een daaraan grenzend registratiespoor tijdens signaalweergave verminderd. Het optreden van dergelijke ongewenste overspraak-verschijnselen bij signaalweergave wordt namelijk verhinderd, respectievelijk tegengegaan, als gevolg van zogenaamde "azimuth-verlies”, dat optreedt als gevolg van de schuine hoek van oppervlakken, zoals de 30 oppervlakken 1a en 2a in figuur 2, welke schuine hoek zelf het gevolg is van de voor de groeven 27 in figuur 6 gekozen contour met de oppervlakken 27a en 27b.

Figuur 7 toont een uit een substraat 30 bestaand kernblok, dat eerst op de wijze volgens de figuren 3-6 is voorbewerkt, doch waarin vervolgens een groef 29 is gevormd, welke zich onder een rechte hoek uitstrekt ten opzichte van de respectievelijk met de groeven 21 en 27 van het eerder beschreven substraat 20 35 overeenkomende groeven 21' en 27'. Deze groef 29 dient als wikkelingssleuf, zoals 2C in figuur 1, voor de afzonderlijke kerneneenheden, welke uit het substraat worden gevormd. Op het substraat 30 bevindt zich, net als bij het substraat 20, weer een bijvoorbeeld door opdampen gevormde laag 33 van een metaal met sterk magnetische eigenschappen; de laag 33 verschaft de poolstuklagen 33A met de poolstukrandvlakken 33a. Het uit het substraat 30 gevormde kernblok vertoont aan zijn gegroefde zijde het oppervlak 30a, dat als 40 gevolg van spiegelpolijsten een zich in een plat vlak uitstrekkend oppervlak vormt, dat tot nauwe passing kan worden gebracht tegen het soortgelijke oppervlak 20a volgens figuur 6.

Figuur 7 laat zien, dat de totale breedte van een groef 21' en een aangrenzende groef 27' Dw bedraagt, overeenkomende met de afmeting D in figuur 2. Op het door polijsting in een spiegelvlak veranderde oppervlak 20a van het substraat 20 volgens figuur 6 en/of op het door polijsting in een spiegelvlak 45 veranderde oppervlak 30a van het substraat 30 volgens figuur 7 wordt een hoeveelheid voor bepaling van de spleet bestemd afstandsmateriaal aangebracht, zodanig, dat zich tussen de tegenover elkaar gelegen laagranden 23a en 33a een hoeveelheid dergelijk materiaal bevindt, welke de gewenste langsafmeting voor de spleet bepaalt. Zoals figuur 8 laat zien, worden de uit het substraat 20 volgens figuur 6 en het substraat 30 volgens figuur 7 bestaande kernblokken tegen elkaar gepast en zodanig ten opzichte van elkaar 50 gepositioneerd, dat de respectieve paren poolstuklagen 23A en 33A nauwkeurig in eikaars verlengde komen te liggen voor bepaling van transducentspleten, zoals de spleet 10 in figuur 2. De uit de substraten 20 en 30 bestaande kernblokken worden met elkaar verbonden door glas, terwijl de groeven 27 en 27' worden gevuld met respectieve glashoeveelheden 28 en 28' zonder magnetische eigenschappen. Het spleetmateriaal voor het vormen van de scheidingsgebieden, zoals 9 in figuur 2, en voor het vormen van de transducentspleten, 55 zoals 10, kan worden gekozen uit een groep, welke silicium dioxide (SiO^, zirconium dioxide (ZrOg), tantalium pentoxide (Ta205) en chroom (Cr) omvat.

De uit de voorbewerkte substraten 20 en 30 gevormde, tegen elkaar gepaste kernblokken worden 194175 8 vervolgens aan afsnijding onderworpen volgens snijvlakken zoals A-A en A'-A' in figuur 8, welke zich op een onderlinge afstand M uitstrekken; deze is groter dan de afmeting Dw in figuur 7 en groter dan de afmeting W in figuur 2. Als gevolg daarvan ontstaat een aantal transducentkop-chips volgens figuur 9 met ieder twee zijvlakken 38 en 39, welke platte vlakken zijn en zich onder een rechte hoek ten opzichte van het 5 scheidingsvlak tussen de kerndelen uitstrekken op een onderlinge afstand of breedte W, zodat zij zich derhalve zijdelings buiten de uiteinden 5B en 6B van de respectieve lagen 5 en 6 bevinden. Dit wil zeggen, dat de voor bepaling van de fluxbaan van een transducentkop wezenlijke gedeelten 5A en 6A van de respectieve metaallagen 5 en 6 thermisch van de zijvlakken 38 en 39 zijn geïsoleerd en als gevolg daarvan vrijblijven van de schadelijke warmtespanningen, welke kunnen resulteren uit de bij het separeren van de 10 afzonderlijke transducentkoppen volgens de reeds genoemde snijvlakken A-A en A'-A' van de tegen elkaar gepaste kernblokken volgens figuur 8 uitgeoefende snijkrachten. Zoals in de praktijk is gebleken, behouden de lagen 5A en 6a als gevolg van deze bij de vervaardiging toegepaste configuratie de gewenste gelijkmatige magnetische eigenschappen, welke de lagen voorafgaande aan het separeren volgens figuur 8 in hun oorspronkelijke toestand volgens de figuren 6 en 7 hebben.

15 Zoals figuur 9 laat zien, bevat een afzonderlijke transducentkop-chip 40, welke bij de separatie volgens figuur 8 wordt verkregen, een gedeelte 20A van het substraat 20 en een gedeelte 30A van het substraat 30. Voor het vormen van het voor aanraking aan een magneetband bestemde aanrakingsoppervlak van het kernmateriaal bij 40a wordt het materiaal bij 40b en bij 40c, dat wil zeggen het zijdelings buiten de lijn C-C en C'-C' in figuur 9, in een afkantende bewerking weggeslepen, terwijl het overblijvende oppervlak van het 20 gedeelte 40a in figuur 9 tot een cilindersegment wordt geslepen, waaruit een magnetische transducentkop met de gedaante volgens de figuren 1 en 2 resulteert. Door afkanting van het materiaal aan de langsranden 40b en 40c in figuur 9 worden de pseudospleten, welke anders aan de langsranden 40b en 40c zouden overblijven, zoals in figuur 9 te zien is, verwijderd van het niveau van het genoemde bandaanrakingsopper-vlak in het middengedeelte 40a in figuur 9. De langsranden 40b en 40c kunnen in plaats van tot getrapte 25 oppervlakken, zoals 17 en 18 in figuur 1, tot afgeronde of afgeschuinde oppervlakken worden afgekant.

Bij de hiervoor beschreven vervaardigingswijze is het niet van wezenlijk belang, dat het aanbrengen van het glas 28 en 28' in de respectieve groeven 27 en 27' in de door bewerking van de substraten 20 en 30 gevormde kernblokken volgens de figuren 6 en 7 tegelijkertijd plaatsvindt met het verbinden van de beide kernblokken, zoals eerder is beschreven. Zo is het bijvoorbeeld mogelijk, dat bij de bewerkingen volgens de 30 figuren 6 en 7 het glas 28 en 28' in de groeven 27 en 27' wordt aangebracht, terwijl bij de bewerking volgens figuur 8 slechts het tot één geheel verbinden van de kernblokken door middel van glas plaatsvindt.

Er zijn meerdere uitvoeringsvormen mogelijk. Zoals figuur 10 bijvoorbeeld laat zien, kan voor de totale breedte van de inkepingsconfiguraties 3 en 4 en ook voor de totale breedte van de uitsparingsconfiguraties 11 en 12 een waarde (in figuur 10 met D aangeduid) worden gekozen, welke enigszins groter is dan de 35 breedte W van de magnetische kernlichaamsdelen 1B en 2B. Bij een dergelijke uitvoeringsvorm snijden de snijvlakken de zijdelingse uitsteeksels of uiteinden 5B en 6B van de afgezette, magnetische metaallagen; deze zijdelingse uiteinden liggen zijdelings buiten de bochtstukken 5C en 6C, zoals beschouwing van de transducentspleet 10 laat zien. De dikte van de afgezette laag metaal met magnetische eigenschappen is in deze zijdelingse uiteinden 5B en 6B aanzienlijk geringer, zodat het minder waarschijnlijk is, dat de 40 thermische spanningen welke aan de separatie van de afzonderlijke chips gepaard gaan in zodanige mate op de magnetische poolstuklagen 5A en 6A worden overgebracht, dat deze daarvan een beschadiging ondergaan. In het algemeen geldt voor de verschillende voorkeursuitvoeringsvormen, dat naarmate de laagdikte van de magnetische metaallaag ter plaatse van de zijdelingse uitsteeksels kleiner is, ook de waarschijnlijkheid geringer is, dat thermische spanningen naar de poolstuklagen in de nabijheid van de 45 transducentspleet 10 worden overgebracht. Opgemerkt wordt, dat de langsrandgedeelten 41b en 41c, welke buiten de vlakken E-E en E'-E' liggen, worden afgekant, zodat deze gedeelten op enige afstand komen van het eerdergenoemde bandaanrakingsoppervlak, dat zich bevindt in het met de gebieden IA en IIA in figuur 1 overeenkomende, centrale gebied 41a.

Zoals figuur 11 laat zien, kunnen volgens een verdere modificatie de naast elkaar gevormde inkepings-50 configuraties 3 en 4 ter plaatse van de respectieve uitsteeksels 3B en 4B van de eerste een inkeping bepalende oppervlakken 3A en 4A een sinusvormig profiel hebben. Bij deze uitvoeringsvorm kunnen de door afzetting gevormde lagen 5 en 6 een metaal met sterk magnetische eigenschappen S-vormig gebogen zijn uitgevoerd met betrekkelijk scherpe bochten bij 5D en 6D, waarbij gebieden 5E en 6E zich enigszins gebogen van het scheidingsvlak af uitstrekken en daarbij tussen de respectieve poolstuklagen 5A en 6A 55 enerzijds en de betrekkelijk scherpe bochten 5D en 6D een voortdurend afnemende dikte vertonen, terwijl de zijdelingse uiteinden 5F en 6F een zeer geringe dikte hebben en zich van de relatief scherpe bochten 5D en 6D af in zowel zijdelings buitenwaartse als naar het scheidingsvlak toe verlopende lichting uitstrekken.

9 194175

Bij de uitvoeringsvorm volgens figuur 11 snijden de bij de separatie van de afzonderlijke transducentkop-chips gevolgde snijvlakken, waaruit de zijvlakken 43 en 44 van iedere chip resulteren, de uiteinden 5F en 6F zijdelings buiten de betrekkelijk scherpe bochten 5D en 6D. Evenals bij de uitvoeringsvorm volgens figuur 10 bestaat ook in dit geval weinig gevaar, dat in de poolstuklagen 5A en 6A in de nabijheid van de 5 transducentspleet 10 door thermische spanningen veroorzaakte beschadiging optreedt of dat scheuren in de, de uitsparingen bepalende oppervlakken 3A en 4A van oxide met sterk magnetische eigenschappen ontstaan. Bij de uitvoeringsvormen volgens de figuren 10 en 11 worden de polstuklagen 5A en 6A derhalve wezenlijk vrijgehouden van gevaarlijke thermische spanningen, welke nadelige scheuren in de poolstuklagen zouden kunnen veroorzaken. In figuur 11 worden de buiten de vlakken F-F en F'-F' gelegen zijrand-10 gedeelten 42b en 42c door afkanting verwijderd, zoals bij de uitvoeringsvorm volgens figuur 1. De scherpe bochten 5D en 6D en de zijdelingse uiteinden 5F en 6F worden op die wijze op enige afstand van het genoemde bandaanrakingsoppervlak 42a gebracht, respectievelijk daarvan verwijderd.

Bij de vervaardiging van de in figuur 12 weergegeven uitvoeringsvorm van een magnetische transducent-kop is zodanig tewerkgegaan, dat de metaallagen met sterk magnetische eigenschappen slechts in de 15 onmiddellijke nabijheid van de koppelspleet van de transducentkop zijn aangebracht. De laatstgenoemde bestaat uit een paar kernelementen 51 en 52 van een ferro-magnetisch oxide, zoals mangaan-zinkferriet, terwijl slechts op de voorste gedeelten van de kerndelen in de onmiddellijke nabijheid van de magneetspleet g magnetische metaallagen 54 van een legering met hoge permeabiliteit, zoals ’’Sendust” door filmvorming onder vacuüm, zoals versproeiing, zijn afgezet. De verwijzingsgetallen 55 en 56 hebben betrekking op een 20 niet-magnetisch vulmateriaal, bijvoorbeeld glas dat in zijn gesmolten toestand in de uitsparingsconfiguraties aan de beide zijranden van de spleet g is gevoerd. Evenals bij de in het voorafgaande beschreven uitvoeringsvormen, vertonen de poolstuklagen 54A, welke als de wezenlijke onderdelen van de magnetische fluxbaan van de transducentkop dienen te functioneren, althans ten minste nagenoeg uniforme magnetische eigenschappen; bovendien zijn de poolstuklagen wezenlijk vrijgehouden van nadelige thermische spannin-25 gen, waaruit een magnetische transducentkop resulteert, met optimale, uiterst stabiele magnetische eigenschappen en een gedurende een zeer aanzienlijke levensduur betrouwbare werking.

De vervaardiging van de transducentkop volgens figuur 12, waarbij de langsrandgedeelten 57 en 58 ter weerszijden van het bandaanrakingsoppervlak 59 schuin zijn afgekant, kan in opeenvolgende stappen plaatsvinden volgens de figuren 13-19.

30 Bij de in figuur 13 weergegeven stap wordt door middel van een slijpschijf of door middel van een elektrisch etsproces een aantal op onderling gelijke afstanden gelegen, tweevlakshoekige groeven 61 gevormd aan de ene dwarsrand van een substraat 60 van een ferro-magnetisch oxide, zoals mangaan-zinkferriet. Het bovenoppervlak 60a van het substraat 60 volgens figuur 13 vormt een onderdeel van het pasoppervlak van een kernblok, zoals bij de eerder beschreven uitvoeringsvormen. De groeven 61 strekken 35 zich echter slechts over dèt gedeelte van het oppervlak 60a uit, dat zich bevindt nabij de koppelspleten van de afzonderlijke transducentkop-chips, welke uit een paar dergelijke kernblokken worden gevormd.

Zoals figuur 14 laat zien wordt iedere groef 61 gevuld met een hoeveelheid glas 62 in gesmolten toestand, waarna de buitenoppervlakken 62a en 62b van het glas worden geslepen tot zij in de respectieve platte vlakken van het kernblok komen te liggen.

40 Zoals figuur 15 laat zien, wordt voorts een aantal tweede groeven 65 gevormd, welke aan de met glas 62 gevulde groeven 61 grenzen en deze gedeeltelijk overlappen. Bij het vormen van de groeven 65 wordt iedere keer een gedeelte 62c van het een groef 61 vullende glas 62 blootgelegd, zodanig, dat het tezamen met de groefwand 65a van de desbetreffende tweede groef 65 een deel gaat vormen van een, een inkeping bepalend oppervlak 67. De resulterende, een inkeping bepalende oppervlakken 67 snijden ieder het vlak 45 van het bovenoppervlak 60a volgens een lijn 66, welke zich onder een rechte hoek ten opzichte van het door het voor het oppervlak 60b van het substraat 60 bepaalde voorvlak uitstrekt. De, een inkeping bepalende, oppervlakken 67 sluiten ieder een vooraf gekozen hoek van bijvoorbeeld 45° met het door het bovenoppervlak 60a bepaalde vlak in. De gecombineerde breedte van ieder paar aangrenzende groeven 61 en 65 in het door het vooroppervlak 60b van het substraat bepaalde voorvlak kan enigszins kleiner dan de 50 breedte, corresponderende met de afmeting W in figuur 2, van de uit de nog te beschrijven separatie resulterende transducentkop-chips worden gekozen.

Vervolgens wordt door middel van een willekeurig geschikte methode voor het fysisch afzetten via de gasfase, zoals versproeien, een metaal met sterk magnetische eigenschappen, bijvoorbeeld een legering met hoge permeabiliteit, zoals "Sendust”, in de vorm van een dunne laag 68 op het bovenoppervlak 60a 55 afgezet; deze dunne laag 68 bedekt ten minste de tweede groeven 65 zodanig, dat restuitsparingen 65' overblijven, zoals in figuur 16 is te zien. Tijdens een dergelijke behandeling wordt het substraat 60 volgens figuur 15 in een schuine of hellende stand in een versproeiingsinrichting geplaatst, waardoor een meer 194175 10 doeltreffende afzetting van de legering met hoge permeabiliteit op de, een uitsparing bepalend oppervlakken 67 in figuur 15 wordt verkregen. Als gevolg daarvan heeft de afgezette laag in de uiteindelijk uit de vervaardiging resulterende transducentkop-chips ter plaatse van de zijdelingse uiteinden, zoals 54B in figuur 12, een aanzienlijke geringere dikte dan ter plaatse van de poolstuklagen 54A in figuur 12.

5 Terzijde wordt opgemerkt, dat in het voorgaande regelmatig sprake is van ’’afzetten” en van "opdampen”, doch dat daarbij meer algemeen gedoeld wordt op een willekeurig geschikte methode voor het fysisch afzetten via de gasfase, zoals vlamverdampen, gasverdampen, het plateren met ionen, versproeien en het afzetten met behulp van een bundel van ionclusters.

Na het voorgaande wordt, zoals figuur 17 laat zien, een hoeveelheid glas 69 met een lager smelttempe-10 ratuur dan het eerder aangebrachte glas 62 in gesmolten toestand toegevoerd aan de restuitsparingen 65', welke worden bepaald door de met een magnetische metaallaag 68 beklede, tweede groeven 65 (zie figuur 16). De kernblokzijvlakken, en meer in het bijzonder het bovenoppervlak 60a en het vooroppervlak 60b, worden dan tot spiegelvlakken gepolijst. Daarbij blijft een gedeelte van de magnetische metaallaag 68 in de tweede groeven 65 achter, zodat bij beschouwing van het door het vooroppervlak 60b van het substraat 60 15 bepaalde voorvlak van het kernblok V-vormige laagconfiguraties met laagsegmenten 68A en 68B als afzettingen op de wanden van de tweede groeven 65 zichtbaar blijven.

Ter verkrijging van een wikkelingssleuf voor de uiteindelijke transducentkop-chips wordt een tweede kernblok vervaardigd, praktisch geheel overeenkomende met het op het substraat 60 van een oxide met sterk magnetische eigenschappen volgens figuur 17 gebaseerde kernblok, doch dit tweede kernblok op 20 basis van een substraat 70 wordt volgens figuur 18 aan een verdere bewerking ter verkrijging van een wikkelingsgroef 71 onderworpen. Het resulterende tweede kernblok vertoont een zich in een plat vlak uitstrekkend pasoppervlak 70a, zoals figuur 18 laat zien.

Vervolgens worden de pasoppervlakken van de beide kernblokken met de respectieve substraten 60 en 70 op elkaar geplaatst, zoals figuur 19 laat zien, waarbij de pasoppervlakken met de respectieve oppervlak-25 gedeelten 60a en 70a tegenover elkaar komen en slechts van elkaar worden gescheiden door een afzetting van een hoeveelheid voor bepaling van de spleet bestemd afstandsmateriaal, zoals bij de eerder beschreven uitvoeringsvorm. De kernblokken met de substraten 60 en 70 worden dan door gesmolten glas met elkaar verbonden. De daaruit resulterende, één geheel vormende kernblokkeneenheid met de substraten 60 en 70 wordt vervolgens aan separatie of afsnijding volgens vlakken G-G en G'-G' in figuur 19 onderwor-30 pen, waaruit een aantal afzonderlijke transducentkop-chips resulteert.

Het bandaanrakïngsoppervlak van iedere dergelijke transducentkop-chip wordt tot een cilindersegmentvormig oppervlak, zoals 59 in figuur 12 afgeslepen; de langsranden ter weerszijden van het bandaanrakings-oppervlak 59 worden eveneens door slijpen afgekant tot afgeronde of afgeschuinde zijranden, zoals 57 en 58 in figuur 12.

35 Een met behulp van de werkwijze volgens de figuren 13-19 vervaardigde magneetkop van het type volgens figuur 12 heeft het belangrijke voordeel, dat de kop met een zeer hoog goedkeurpercentage in massaproductie kan worden vervaardigd en dat geen gevaar bestaat voor het optreden van nadelige scheuren in de poolstuklagen, zoals 54A, of in de een inkeping bepalende oppervlakken 78 en 79, zoals reeds in het voorgaande is uiteengezet. De uitvoeringsvorm volgens de figuren 12-19 kenmerkt zich 40 bovendien door een aanzienlijke besparing op de benodigde hoeveelheid legeringsmateriaal met hoge permeabiliteit, daar dit materiaal slechts in het gebied van de transducentspleet van iedere kop behoeft te worden afgezet. De benodigde hoeveelheid glas of ander niet-magnetisch materiaal is bovendien aanzienlijk geringer dan bij de uitvoeringsvorm volgens de figuren 1-9. De transducentkoppen volgens de figuren 10 en 11 kunnen met behulp van de werkwijze volgens de figuren 3-9 of met behulp van de werkwijze volgens de 45 figuren 13-19 worden vervaardigd.

Voor iedere van de hiervoor beschreven magneetkopconfiguraties geldt, dat de door een afgezette metaallaag met magnetische eigenschappen gevormde poolstuklagen zich schuin ten opzichte van het scheidingsvlak in de nabijheid van de koppelspleet uitstrekken en een scherpe hoek van aanzienlijke, gekozen waarde vormen, welke bijvoorbeeld in het gebied tussen 20 en ongeveer 80° ligt. Bovendien 50 vertonen de inkepingsconfiguraties tussen de poolstuklagen en de zijranden van de kop betrekkelijk scherpe bochten, zodat de poolstuklagen wezenlijk vrijgehouden worden van door hun uitwerking schadelijke, thermische spanningen, terwijl bovendien het ontstaan van scheuren in de poolstuklagen of in het aangrenzende oxide met ferro-magnetische eigenschappen als gevolg van de separatie van de transducentkop-chips van een kernblokkeneenheid merkbaar is afgenomen. De voorkeursvervaardigingswijze volgens de 55 uitvinding verschaft bovendien magnetische transducentkoppen met stabiele magnetische eigenschappen en een zeer betrouwbare werking bij lange levensduur. Als gevolg van de bescherming van de afgezette magneetpoolstuklagen tegen de thermische spanningen, welke bij de separatie van de chips kunnen

Claims

11 194175 optreden, wordt het gevaar van scheurvorming in de poolstuklagen of in het deze ondersteunende oxide met ferro-magnetische eigenschappen in aanzienlijke mate verminderd, zodat het afkeurpercentage bij de vervaardiging zeer gering is. Bovendien wordt de hoeveelheid glas of dergelijke niet-magnetisch materiaal, dat in de, de registratie-5 spoorbreedte bepalende uitsparingsconfiguraties wordt toegepast, verminderd als gevolg van de aanwezigheid van de scherpe bochten in de inkepingsconfiguraties, zoals scheurvorming in dit niet-magnetische materiaal, in de door afzetting gevormde poolstuklagen of in het ondersteunende oxide met magnetische eigenschappen wordt verhinderd. 10

1. Magnetische transducentkop, voorzien van een samengestelde magnetische kem met een eerste en een tweede samengesteld magnetisch kerndeel, waarvan respectieve platte, naar elkaar gekeerde oppervlakken 15 dicht tegen elkaar bevestigd zijn, waarbij een tussengelegen scheidingsgebied van scheidingsvlak van de magnetische kern bepaalt, terwijl de samengestelde magnetische kern voorts een registratiemediumaanra-kingsoppervlak voor aangrijping op een magnetisch registratiemedium, benevens een in het scheidingsgebied tussen de platte, naar elkaar gekeerde oppervlakken van de genoemde kerndelen aanwezige koppelspleet voor koppeling van de samengestelde magnetische kem met een registratiemediumgedeelte 20 ter plaatse van het aanrakingsoppervlak vertoont, welk eerste en tweede kerndeel respectieve kernelementen van een ferriet met magnetische eigenschappen bevatten en een inkepingsconfiguratie vertonen voor opname van een magnetische poolstuklaag van een met het desbetreffende kernelement van ferriet tot één geheel verenigd metaal met magnetische eigenschappen, waarbij de respectieve poolstuklagen schuin ten opzichte van de genoemde platte, naar elkaar gekeerde oppervlakken van de kerndelen zijn aange-25 bracht, en ieder een althans ten minste nagenoeg in eenzelfde vlak als het genoemde aanrakingsoppervlak liggend randvlak hebben en voorts terzijde van het scheidingsgebied een de koppelspleet van de transducentkop bepalende poolstukrand vertonen, met het kenmerk, dat de inkepingsconfiguratie (3, 4) van de respectieve kerndelen (I, II), beschouwd aan het registratiemediumaanrakingsoppervlak (IA, HA; 42a), een eerste inkeping bepalende oppervlakken (7A, 8A; 3A, 4A) vertoont welke zich vanaf het respectievelijk 30 bijbehorende van de platte, naar elkaar gekeerde oppervlakken van de beide kerndelen schuin, dicht langs en conform met een zijde van de respectievelijk bijbehorende poolstuklaag (5A, 6A) uitstrekken, en een verdere inkeping bepalende oppervlakken (7, 8; 3B, 4B) vertoont welke uitbreidingen van de een eerste inkeping bepalende oppervlakken (7A, 8A; 3A, 4A) vormen, zich vanaf deze oppervlakken uitstrekken en zijdelings buiten deze oppervlakken een zijdelings uiteinde (5B, 6B; 5F, 6F) hebben, dat ter verhindering, 35 dat de magnetische poolstuklagen aan schadelijke thermische spanningen worden blootgesteld, door een nabewerking van het genoemde registratiemediumaanrakingsoppervlak is verwijderd, en dat de samengestelde magnetische kem kemzijvlakken (36, 39; 43, 44) heeft, welke een kemdikte (W) van aanzienlijk grotere waarde dan de breedte (D) van het registratiemediumaanrakingsoppervlak bepalen, terwijl de een verdere inkeping bepalende oppervlakken (7, 8; 3B, 4B) tussen de bijbehorende een eerste inkeping 40 bepalende oppervlakken (7A, 8A; 3A, 4A) en hun bijbehorende zijdelingse uiteinde (5B, 5B; 5F, 6F) een bocht (5C, 6C; 5D, 6D) vertonen, waar vanaf het zijdelingse uiteinde zich algemeen naar het scheidingsvlak (9) uitstrekt, waarbij het zijdelingse uiteinde van ieder kerndeel (I, II) ten opzichte van het niveau van het aanrakingsoppervlak in de diepterichting is verplaatst.

2. Magnetische transducentkop volgens conclusie 1, waarbij de respectieve magnetische poolstuklagen ten 45 minste aan het registratiemediumaanrakingsoppervlak althans ten minste nagenoeg in één rechte lijn liggen en aan de platte, naar elkaar gekeerde oppervlakken van de kerndelen de evenwijdige, de koppelspleet bepalende poolstukranden vertonen, met het kenmerk, dat het metaal (5, 6) met magnetische eigenschappen zich vanaf de, de koppelspleet (10) bepalende poolstukranden langs de een eerste (7A, 8A) en de een verdere (7, 8) inkeping bepalende oppervlakken van ieder kerndeel (I, II) zodanig uitstrekt, dat in ieder 50 kerndeel tussen het desbetreffende metaal en het bijbehorende van de naar elkaar gekeerde vlakken een eerste uitsparing (3,4) aanwezig is, terwijl aan de van de eerste uitsparing afgekeerde zijde van de respectieve poolstuklaag een verdere uitsparing (11,12) aanwezig is, welke eerste en welke verdere uitsparing in beide kerndelen met een niet-magnetisch materiaal (13,14, respectievelijk 15,16) zijn gevuld, zodanig, dat de koppeling van de transducentkop met een magnetisch registratiemedium ter plaatse van de 55 koppelspleet wordt geconcentreerd.

3. Magnetische transducentkop volgens conclusie 2, met het kenmerk, dat het metaal (5,6) met magnetische eigenschappen zich dicht langs en conform met de een verdere inkeping bepalende oppervlakken (7, 194175 12 8. en vanaf de bijbehorende bocht (5C, 6C) in algemene richting naar het scheidingsvlak (9) toe uitstrekt, doch tezamen met de een verdere inkeping bepalende oppervlakken ten opzichte van het niveau van het aanrakingsoppervlak in de diepterichting is verplaatst.

4. Magnetische transducentkop volgens conclusie 3, met het kenmerk, dat het metaal (5, 6) met magneti-5 sche eigenschappen in ieder kerndeel (I, II) een aanzienlijk geringe laagdikte in de nabijheid van de zijdelingse uiteinden (5B, 6B) van de bijbehorende, een verdere inkeping bepalende oppervlakken (7, 8) vertoont dan in de nabijheid van het scheidingsvlak (9).

5. Magnetische transducentkop volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de inkepingsconfiguratie (3, 4) van ieder kerndeel (I, II) een tussengelegen bocht (5C, 6C) vertoont, waarbij het zijdelingse uiteinde (5B, 10 6B) van de bijbehorende een verdere inkeping bepalende oppervlakken (7, 8) zich vanaf de bocht algemeen naar het scheidingsvlak (9) uitstrekt, terwijl het metaal (5, 6) met magnetische eigenschappen zich dicht langs en conform met het zijdelingse uiteinde uitstrekt en ter plaatse daarvan ten opzichte van het niveau van het aanrakingsoppervlak (IA, IIA) in de diepterichting is verplaatst.

6. Magnetische transducentkop volgens conclusie 5, met het kenmerk, dat het metaal (5, 6) aan het 15 zijdelingse uiteinde (5B, 6B) betrekkelijk dun in vergelijking met zijn dikte (t) ter plaatse van de poolstuk-lagen (5A, 6A) is.

7. Magnetische transducentkop volgens conclusie 5, met het kenmerk, dat de samengestelde magnetische kern kernzijvlakken heeft, welke een kerndikte (W) van aanzienlijk grotere waarde dan de breedte (D) van het registratiemediumaanrakingsoppervlak (IA, IIA) bepalen en dat het metaal (5, 6) met magnetische 20 eigenschappen zich dicht langs en conform met de zijdelingse uiteinden (5B, 6B) van de een verdere inkeping bepalende oppervlakken (7, 8) uitstrekt en in de kernzijvlakken eindigt, terwijl ieder kerndeel (I, II) tussen het metaal met magnetische eigenschappen en het scheidingsvlak (9) uitsparingen vertoont.

8. Magnetische transducentkop volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de een verdere inkeping bepalende oppervlakken (3B, 4B) delen van het dicht daarlangs en conform daarmee aangebrachte metaal 25 (5, 6) met magnetische eigenschappen bevatten en zich tezamen met die delen van het metaal vanaf de respectieve poolstuklagen (5A, 6A) zodanig uitstrekken, dat zij een algemeen sinusvormige contour vertonen, waarbij de respectieve zijdelingse uiteinden (5F, 6F) van de een verdere inkeping bepalende oppervlakken ten opzichte van het niveau van het aanrakingsoppervlak (42a) in de diepterichting zijn verplaatst.

9. Magnetische transducentkop volgens conclusie 8, met het kenmerk, dat het metaal (5, 6) met magnetische eigenschappen aan de zijdelingse uiteinden (5F, 6F) van de een verdere inkeping bepalende oppervlakken (3B, 4B) aanwezig Is in de gedaante van een laag, welke betrekkelijk dun is in vergelijking met de magnetische poolstuklagen (5A, 6A).

10. Magnetische transducentkop volgens conclusie 8, met het kenmerk, dat de zijdelingse uiteinden (5F, 35 6F) van de een verdere inkeping bepalende oppervlakken (3B, 4B) van de beide kerndelen (I, II) in de respectieve kernzijvlakken (43, 44) daarvan eindigen. Hierbij 8 bladen tekening