NL194772C - Magnetische transducentkop, alsmede werkwijze voor het vervaardigen ervan. - Google Patents

Description

1 194772

Magnetische transducentkop, alsmede werkwijze voor het vervaardigen ervan

De onderhavige uitvinding betreft een magnetische transducentkop, omvattende: - een eerste magnetisch kernelement en een tweede magnetisch kernelement; waarbij 5 - elk van de eerste en tweede magnetische kernelementen een magnetisch ferrietblok en een met het magnetische ferrietblok gekoppelde magnetische metalen dunne film heeft; en - de kernelementen een eerste vlak oppervlak en een tweede vlak oppervlak bezitten.

Een dergelijke transducentkop is bekend uit de Japanse octrooiaanvrage JP-A-56 169 214 waarbij overspraak kan optreden in het bijzonder in een signaal met grote golflengten door het opnemen van 10 signalen van naburige sporen. Bovendien kan plaatselijk slijtage optreden.

De onderhavige uitvinding beoogt bovengenoemde problemen te vermijden en een transducentkop te verschaffen die voordelig in grote getale kan worden geproduceerd, en/of die geschikt is voor het met hoge dichtheid registreren op een magneetband met een hoge coërcive kracht (Hc), van belang zijn voorts de uniforme filterkarakteristieken in de nabijheid van de magneetspleet.

15 Dit bovengenoemde doel wordt bereikt, doordat - de magnetische metalen dunne film op het tweede vlakke oppervlak is aangebracht en met zijn rand naar het eerste vlakke oppervlak wijst, waarbij het tweede vlakke oppervlak ten opzichte van het eerste vlakke oppervlak schuin staat, - de eerste en tweede kernelementen zodanig met elkaar zijn verbonden dat een magnetische workings·. 20 spleet (g) tussen de genoemde rand van de magnetische metalen dunne film op het eerste kernelement en de genoemde rand van de magnetische metalen dunne film op het tweede kernelement is gevormd, waarbij de magnetische metalen dunne film op het eerste kernelement en de magnetische metalen dunne film op het tweede kernelement in een gemeenschappelijk vlak liggen, en dat - door het eerste en het tweede kernelement er een gemeenschappelijk contactoppervlak gevormd is, 25 waarmee een bewegend magnetisch registratiemedium in contact kan worden gebracht.

Voorts verschaft de onderhavige uitvinding een werkwijze voor het vervaardigen van een magnetische transducentkop omvattende de volgende etappen: - het prepareren van een paar magnetische ferrietblokken, het vormen van een groef, het opbrengen van een magnetisch metalen dunne film en het verbinden van de ferrietblokken, gekenmerkt door de volgende 30 stappen: A) het prepareren van een paar magnetische ferrietblokken, waarvan elk een eerste en een tweede naburig oppervlak vertoont, B) het vormen van een eerste groef aan de rand van de eérste en tweede oppervlakten en wel zodanig dat de eerste groef zich verbreedt naar het eerste en tweede oppervlak, 35 C) het vormen van een tweede groef aan de genoemde rand in de nabijheid van de eerste groef, waarbij de tweede groef een derde oppervlak dat naburig is aan de eerste groef bezit waarbij het derde oppervlak ten opzichte van het tweede oppervlak schuin staat en een door het tweede oppervlak aan het derde oppervlak gevormde lijn loodrecht ten opzichte van het eerste oppervlak verloopt, D) het opbrengen van een magnetisch metalen dunne film op het oppervlak door vacuüm neerslag, 40 E) het slijpen van een zijde van het tweede oppervlak om een rand van de magnetisch metalen dunne film bloot te leggen resp. te vormen, F) het vormen van een derde groef voor het opnemen van een spoelwikkeling door ten minste een van de ferrietblokken, Q) het verbinden van de ferrietblokken om een magnetische spleet (g) tussen de randen van de magne-45 tisch metalen dunne film op de genoemde ferrietblokken te verkrijgen.

Op zichzelf zijn twee ten opzichte van elkaar onder een hoek staande oppervlakken bekend uit de Japanse octrooiaanvrage JP-A-56 124 111. Deze transducentkop ontbeert echter de met de ferrietblokken verbonden magnetisch metalen dunne film.

In de Japanse octrooiaanvrage JP-A-58 175 122 wordt een metallisch magnetisch materiaal direct met 50 ferriet verbonden teneinde de afwijking in de dimensionale nauwkeurigheid tussen de koppen te verminderen.

Bij toeneming van registreerdichtheid op magnetische banden die gebruikt worden als registreermedia voor videobandrecorders (VTR’s), worden magnetische banden met een grote overblijvende fluxdichtheid Br en een grote coërcive kracht Hc, bijvoorbeeld magnetische metaalbanden, waarbij magnetisch metaalpoeder 55 in een laag is aangebracht op een niet-magnetisch substraat met behulp van een bindmiddel voor het vormen van een magnetische registreerlaag, in toenemende aantallen toegepast. Wanneer de magnetische transducentkop gebruikt moet worden bij de metaalband, moet de magnetische veldsterkte van de 194772 2 magnetische spleet van de kop verhoogd worden om de grote coêrcive kracht van de band te kunnen verwerken. Het is ook noodzakelijk de spoorbreedte van de magnetische transducentkop te verminderen bij verhoging van registreerdichtheid. Er zijn bekende, verscheidene magnetische transducentkoppen ontworpen om aan deze vereisten te voldoen, zoals de magnetische transducentkop met de in figuur 1 5 weergegeven smalle spoorbreedte. Het grootste deel van de magnetische, in figuur 1 transducentkop is gevormd uit glas of dergelijk non-magnetisch materiaal 1A, 1B, en een ferromagnetisch metalen, dunne film 2 met een gelijke dikte als de spoorbreedte is centraal ten opzichte van de magnetische kop tussen deze non-magnetische materialen gesandwitched. Deze film 2 wordt vervaardigd door het vormen van een · legering met een grote permeabiliteit zoals Sendust (Fe-AI-Si legeringen) op het niet-magnetische materiaal 10 1A in de vorm van een kernhelft door fysische dampneerslag, zoals sputteren. Hoewel de spoorbreedte op deze wijze verminderd kan worden, wordt de magnetische fluxlijn slechts door de metalen dunne film 2 gedefinieerd en wordt zodoende de bedrijfsefficiëntie verminderd vanwege verhoogde magnetische weerstand. De metalen dunne film 2 dient gevormd te worden tot een filmdikte, die gelijk is aan de spoorbreedte door fysische dampneerslag zoals sputteren. Zodoende is de vervaardiging op de magneti-15 sche kop aanzienlijk tijdrovend gezien de lage neerslagsnelheid die met fysische dampneerslag bereikt kan worden. Daar de film 2 op een groot oppervlak gevormd moet worden, is het aantal eenheden dat door een sputtereenheid behandeld kan worden noodzakelijkerwijs gelimiteerd, zodat de. koppen niet efficient in massa's geproduceerd kunnen worden. De metalen films 2 van extreem kleine filmdikte worden met elkaar in contact geplaatst voor de vorming van de magnetische spleet van de magnetische transducentkop, met 20 het resultaat dat nauwkeurigheid qua spleetgrootte en daardoor de bedrijfszekerheid verminderd worden.

De in figuur 2 getoonde magnetische transducentkop is op een zodanige wijze vervaardigd, dat, voor het verhogen van de magnetische veldsterkte van de magnetische spleet, ferromagnetisch metalen dunne films 4 zoals Sendust aan de magnetische spleet zijn gevormd, en zodoende oppervlakken van de kemhelften van ferromagnetische oxiden vormen door gebruik van een fysische dampneerslag, zoals sputteren, en dat 25 de kemhelften onderling worden gekoppeld door het glas 5. Hoewel de magnetische weerstand van de magnetische transducentkop van figuur 2 die gevormd is uit het samengestelde magnetische materiaal, lager gemaakt kan worden dan in het geval van de in figuur 1 getoonde transducentkop, zijn de films 4 gevormd In een richting loodrecht op de magnetische fluxlijn, zodat het terugspeeluitgangssignaal wordt verlaagd vanwege eddy-stroomverliezen. Additionele spleten kunnen ook worden gevormd tussen de 30 ferromagnetische oxidekernen 3 en de metalen magnetische films 4, welke zodoende de bedrijfszekerheid van de transducentkop verminderen.

Ook bekend is een magnetische transducentkop die gevormd is uit samengesteld magnetisch materiaal, en waarvan het de magnetische spleet vormende oppervlak schuin staat ten opzichte van het oppervlak dat de ferromagnetisch metalen film vormt Figuur 3 laat bij voorbeeld in bovenaanzicht het aangrijpoppenriak 35 met de magneetband van de magnetische transducentkop zien.

De in figuur 3 getoonde magnetische transducentkop omvat kemhelften of kernelementen 150,151 die uit ferromagnetische oxiden zoals Mn-Zn-ferriet, gevormd zijn. Ferromagnetisch metalen dunne films 155, 156 zoals Sendust zijn aan beide zijden en schrijlings van de ferrietdelen 153,154 die uitsteken naar een de magnetische spleet 152 vormend oppervlak, aangebracht. Het nummer 157 verwijst naar een stuk 40 versterkt glasmateriaal. De magnetische spleet van de kop wordt gevormd door de dunne films 155,156 van een ferromagnetisch metalen materiaal dat aangebracht is in de nabijheid van de uiteinden van de uitstekende ferrietdelen 153,154. Door deze films 155,156 van het ferromagnetisch metalen materiaal is de groeirichting van de zuilvormige korrelstructuur bij de uiteinden van de uitstekende ferrietdelen 153,154 verschillend van die bij de schuine zijden daarvan, één en ander zodanig, dat de kristallen aan beide, zijden 45 parallel en uniform met een constante hoek ten opzichte van de zijden groeien, terwijl de kristalgroei aan de uiteinden in een waaiervorm is, dat wil zeggen dat de kristallen uit elkaar worden gespreid naar hun ' afgelegen einden toe. Het resultaat is, dat de magnetische permeabiliteit van de ferromagnetische, aan de uiteinden gevormde dunne films 155,156 wordt verlaagd met dienovereenkomstig verlaagde registreer· karakteristieken en terugspeeluitgangssignaal van de magneetkop.

50 Het zou de moeite waard zijn, te weten of de oppervlaktecondities van bij voorbeeld het ferrietsubstraat-oppervlak het filmvormproces beïnvloeden, wanneer de ferromagnetische metalen dunne film wordt gevormd door fysische dampneerslag op het ferrietsubstraat *

In het algemeen wordt een dunne, door een fysisch dampneerslagsproces gevormde magnetische film op bekende wijze beïnvloed door de onderiaagcondities. Behalve de kristalstructuur van het substraat en 55 van de onderiaagfilm die gevormd is als een extreem dunne onderlaag op het substraat, zijn ook de geometrische configuratie en uniformiteit van het substraatoppervlak opmerkenswaardig.

Figuur 4A is een met een aftast-elektronenmicroscoop (SEM) genomen foto van een tweelagige 3 194772

Sendust-film die door sputteren op het ferrietsubstraat met een Si02-film van 500A dikte tussen de Sendustlagen is gevormd. Deze figuur toont, samen met een SEM-foto van figuur 5A het effect van de ferrietsubstraatoppervlak-configuraties op de filmformatie. Figuren 4B en 5B zijn schetsen die slechts de belangrijkste, in de foto's van figuren 4A, resp. 5A verschijnende kenmerken tonen.

5 Figuur 4A toont de op een vlak ferrietsubstraatoppervlak gevormde Sendustfilm. Zoals te zien is in deze foto, zijn de op het vlakke oppervlak gevormde Sendustfilmoppervlakken 159A, 159B uniform en is de groei van de zuilvormige korrelstructuur van de in doorsneden 160A, 160B verschijnende kristallen van de Sendustfilm uniform en strekt deze zich parallel aan de dikte van de film uit. In deze foto, is de gebroken doorsnede niet alleen van de Sendustfilm, maar ook van het ferrietsubstraat genomen en wordt de 10 gebroken doorsnede in beeld gebracht met de aftast-elektronenmicroscoop vanuit een scheve richting. Op de doorsnede van het ferrietsubstraat 161 is de doorsnede 160A van de eerste Sendustlaag gevolgd door de doorsnede 160B van de tweede Sendustlaag te zien. De filmoppervlakken 159A, 150B behoren tot de eerste resp. tweede Sendustlaag. De aan het oppervlak 159B van de tweede Sendustlaag verschijnende dunne lijnen vertegenwoordigen micro-lijnoneffenheden op het gepolijste-oppervlak van de naar de 15 Sendustfilm toe verbreide ferrietplak en deze beïnvloeden de magnetische permeabiliteit van de film niet De foto wordt op zijn kop getoond, dat wil zeggen met de bovenzijde naar beneden en omgekeerd.

Figuur 5A toont de op een onregelmatig oppervlak van het ferrietsubstraat gevormde Sendustfilm. De foto toont het onregelmatige oppervlak 162 van de Sendustfilm overeenkomstig met het originele onregelmatige oppervlak van het ferrietsubstraat. Dit is een aanwijzing voor de vergelijkende groei van de 20 kristalkorreis die niet wordt waargenomen, indien de kristallen op een glad vlak oppervlak kunnen groeien. Ook is de richting van de zuilvormige kristalgroei niet parallel, zoals te zien is in een doorsnede 163 van de Sendustfilm, maar is de zuilvormige kristalgroei uitgespreid in een waaiervorm op de uitstekende delen van het ferrietsubstraat. In de onderhavige SEM-foto, is de gebroken doorsnede niet slechts van de Sendustfilm maar ook van het ferrietsubstraat genomen en de kijkrichting is vanaf de schuine onderzijde. Een Sendust-25 filmdoorsnede 163 is te zien boven een ferrietsubstraatdoorsnede 164. Een grenslijn 164A tussen de . doorsneden 163,164 stelt een uitstekend deel op het ferrietsubstraatoppervlak voor.

De op het ferrietsubstraat met uitsparingen en uitsteeksels gevormde Sendustfilm vertoont een verschillende richting van zuilvormige kristalgroei al naar gelang de helling van de uitsparingen. Zodoende zijn de richting en grootte van de zuilvormige kristallen verschillend al naar gelang het profiel en de helling van de 30 bodem van de substraatuitsparing. Het Sendustfilmoppervlak 162 wordt ook verstoord en de kristalstructuur van de film verschilt aanzienlijk bij verschillende helling op de bodem van de uitsparing. Dergelijke verschillen in de kristalkorrelstructuur nemen grote verschillen in de magnetische permeabiliteit van de Sendustfilm voor hun rekening. De foto in deze figuur is opnieuw in een op-zijn-kop-staande positie genomen.

35 Opgemerkt wordt, dat, daar zowel magnetische permeabiliteit als anisotrope eigenschappen (de richting van gemakkelijke magnetisatie) van een ferromagnetische film aanmerkelijk afhangt van de filmstructuur, het gewenst is, dat de magnetische film die een magnetische transducentkop, in het bijzonder één die gebruikt wordt voor magnetisch opnemen en afspelen, vormt, uniform is in structuur. Het is bij voorbeeld vereist, dat zuilvormige kristallen van de bovengenoemde Sendustfilm uniform en in één richting moeten groeien. Zou 40 de oriëntatie van de kristalgroei niet uniform zijn in een magnetisch film, dan zou een deel van de film de juiste magnetische eigenschappen hebben, terwijl het overblijvende deel daarvan Inferieure magnetische eigenschappen (vanwege anisotropie) zou hebben.

In figuur 6 is schematisch de structuur van een Sendustfilm getoond, dat wil zeggen de oriëntatie van de zuilvormige kristalgroei, indien de Sendustfilm is neergeslagen door middel van sputteren op en schrijlings 45 over het uitstekende deel van het in figuur 3 getoonde ferrietsubstraat Het Is te zien in figuur 6, dat zuilvormige kristallen van de Sendustfilm 171 uniform en onderling parallel aan beide zijden 170A van het uitstekende deel 170 groeien, maar dat deze uit elkaar naar de afgelegen einden toe bij een uiteinde 170B worden uitgespreid. Wanneer de op de uiteinden 170B neergeslagen Sendustfilm 171 is afgeslepen voor het vormen van een magnetisch spleetoppervlak 172, is de filmstructuur bij of in de nabijheid van het 50 spleetoppervlak 172 verschillend van die aan de zijden 170A. Zodoende heeft de film 171, met de transducentkop van het samengestelde magnetische materiaal gebruikmakende van de op het uitstekende deel 170 neergeslagen Sendustfilm 171, indien de Sendustfilm 171 op de zijde 170A een hogere magnetische permeabiliteit in de richting van de magnetische fluxlijn bezit, nabij het uiteinde 170B slechts een slechte magnetische permeabiliteit.

55 In plaats van bij voorbeeld een Sendustfilm op en schrijlings over het uitstekende deel van het ferrietsubstraat te doen neerslaan, is het ook uitvoerbaar de Sendustfilm 177 slechts op één zijde van het uitstekende deel 175 te doen neerslaan, bij voorbeeld door middel van sputteren, waarbij een maskeerplaat 176 wordt 194772 4 geplaatst om de andere zijde van het uitstekende deel 175 te bedekken. De maskeerplaat 176 geeft echter aanleiding tot een schaduweffect, daar een plaatdikte van meer dan verscheidene tientallen microns vereist is met betrekking tot het hanteren, tot de maskeeroplijning en vanwege vormvereisten. Vanwege het schaduweffect is de filmstructuur van de in de nabijheid van het uiteinde 175B van het uitstekende deel 175 5 gevormde Sendustfilm 177 en de daaruit voortvloeiende magnetische permeabiliteitkarakteristiek verschil· lend van die van de filmstructuur op de zijde 175A. Zodoende, indien de op het uiteinde 175B neergeslagen Sendustfilm 177 is afgevlakt tot een magnetisch spleetoppervlak 178 van de magnetische transducentkop, is het niet mogelijk met deze magnetische kop zowel het filmdeel op het uiteinde 175B als het filmdeel op de zijde 175A met hoge permeabiliteit langs de magnetische fluxlijn toe te rusten.

10 Het is ook uitvoerbaar het spleetoppervlak verder af te vlakken om zodoende de filmstructuur bij het uiteinde 175b van de Sendustfilm identiek met die bij de zijde 175a te krijgen. In dit geval echter wordt het ferrietdeel blootgesteld aan het magnetische spleetoppervlak 179 vein de magnetische kop met het resulterende ongemak dat een voldoende magnetische registratie niet kan worden verkregen op de spoordelen van de hoge coêrcive kracht bezittende magneetband, zoals metaalband, overeenkomstig met 15 de breedte van het blootgestelde ferrietdeel.

Figuren 11 en 12 tonen in bovenaanzicht twee andere voorbeelden van het aangrijpoppervlak met de band van de magneetkoppen volgens de stand van de techniek, waarbij het magnetische spleetdeel wordt getoond op een vergrote schaal. Bij de in figuur 11 getoonde magneetkop zijn de Sendustfilms 183 bij voorbeeld slechts aan beide zijden van de naar het de spleetvormende vlakke vlak 180 uitstekende 20 ferrietdelen aangebracht en is het ferrietdeel onbedekt aan het de spleet vormende platte vlak 180. Het nummer 184 verwijst naar een versterkt glasachtig vulmateriaal. Deze magnetische transducentkop maakt gebruik van de op het vlakke oppervlak gevormde Sendustfilm 183 en heeft zodoende geen last van de bovengenoemde non-uniforme filmstructuur. Het magnetisch registreren op een magneetband met een hoge coêrcive kracht Is echter onvoldoende door de breedte van het op het magnetische spleetoppervlak 25 blootgestelde ferrietdeel, en de magnetische registreerkarakteristieken en het terugspeeluitgangssignaal zijn overeenkomstig verlaagd.

In de in figuur 12 getoonde magnetische transducentkop is bij voorbeeld een Sendustfilm 187 op ferrietdelen gevormd en op non-magnetisch gleis, dat voorzien is van een hoog smeltpunt bezittende delen 188 van kernelementen 185,186, zodat de kop wordt gevormd uit samengesteld magnetisch materieel, te 30 weten ferriet en Sendust. Het nummer 190 verwijst naar een glas 190 met en smeltpunt lager dan dat van glas 188. De magneetspleet 189 van de magnetische transducentkop wordt gevormd door de delen van de Sendustfilm 187 die zich parallel aan de magnetische fluxlijn uitstrekken, zodat de Sendustfilm 187A in de nabijheid van de magneetspleet 189 een uniforme filmstructuur vertoont. Het Sendustfilmdeel 187b dat overeenkomt met de bocht of knie van de Sendustfilm 187 en dat zich daardoor over twee vlakke opper-35 vlakken uitstrekt, heeft geen uniforme filmstructuur, zodat de Sendustfilm 187 ais geheel niet constant is qua magnetische permeabiliteit. Ook moet bij deze magnetische transducentkop het Sendustfilmdeel 187a van een filmdeeldikte zijn, die overeenkomt met de spoorbreedte. Vanwege de langzame neerslagsnelheid van de film, zoals mogelijk is met de fysische dampneerslag, is het proces van fabricage van de magnetische transducentkop tijdrovend.

40 De reëds eerdergenoemde Japanse octrooiaanvrage JP-A-56 169 214 toont een magnetische transducentkop, waarin, zoals is getoond in figuur 13, overgangsoppervlakken 195,196 van magnetische legerings-films 191,192 en ferrietdelen 193,194 onder een scherpe hoek met betrekking tot het tegenoverliggende oppervlak van de kopspleet 197 staan of ten opzichte van een richting loodrecht op de relatieve bewegingsrichting van het magnetische registreermedium. Bij de in figuur 13 getoonde magnetische transducentkop 45 echter zijn de magnetische legeringsfiims 191,192 onderling tegenover elkaar liggend in andere delen dan de kopspleet 197 aangebracht, zodat overspraak veroorzaakt kan worden, in het bijzonder in het een grote golflengte bezittend signaal door het opnemen van signalen van naburige sporen of de signalen van elk ander spoor, en tot nu toe zijn geen middelen gevonden voor het vermijden hiervan. Bovendien kan ptaatselijke slijtage worden veroorzaakt door de naar één zijrand van de kopschijf versprongen kopspleet 50 197. De magnetische legeringsfiims 191,192 zijn onderling op een zodanige wijze aanliggend, dat de richting van de zuilvormige kristalgroei van de film 191 niet samenvalt met die van de film 192, en uniforme magnetische eigenschappen zijn moeilijk te bereiken met de magneetkop 197.

Hoewel de kristallijne Sendustfilm hierboven aangegeven is als een voorbeeld van een dunne ferromag-netische film, is een uniforme filmstructuur ook vereist, indien een amorfe legering wordt gebruikt voor het 55 vormen van de dunne film. Daar de film amorf is, gaat het niet om de uniformiteit in de kristalkorrelstructuur, maar om de uniformiteit in de magnetische anisotropie. Indien de amorfe legering op een vlak oppervlak wordt opgedampt voor het vormen van een dunne film, is de magnetische anisotropie hetzelfde over de 5 194772 gehele film. Indien de legering echter schrijlings over een uitstekend deel en over een vlak deel wordt opgedampt, is de magnetische gebiedstructuur of de magnetische permeabiliteit niet uniform.

In de tekening tonen: 5 figuren 1 en 2 perspectivische aanzichten die twee voorbeelden van de gebruikelijke magnetische transducentkoppen tonen, figuur 3 een bovenaanzicht dat op vergrote schaal het op de band aangrijpende oppervlak van een gebruikelijke magneetkop toont, figuur 4A een SEM-foto die een kristallijne structuur van een tweelagige, door sputteren op een vlak 10 ferrietsubstraatoppervlak gevormde Sendustfilm, figuur 4B een schets die slechts de in het oog springende kenmerken van de SEM-foto van figuur 4A toont, figuur 5A een SEM-foto, die een kristallijne structuur van de door sputteren op een onregelmatig ferrietsubstraatoppervlak gevormde Sendustfilm toont, 15 figuur 5B een schets, die slechts de in het oog springende kenmerken van de SEM-foto van figuur 5 toont, figuren 6 tot en met 10 schematische doorsnede-aanzichten die het vervaardigingsproces van de gebruikelijke magnetische transducentkop tonen en in het bijzonder de richting van de zuilvormige kristalgroei van, bij voorbeeld, de op uitstekende ferrietdelen gevormde Sendustfilm tonen, 20 figuren 11 en 12 vergrote bovenaanzichten, die aangrijpoppervlakken met de band van de gebruikelijke magnetische transducentkoppen tonen, figuur 13 een vergroot bovenaanzicht dat het aangrijpvlak met de band van een andere conventionele transducentkop toont, figuur 14 een perspectivisch aanzicht, dat een verbeterde magnetische transducentkop toont 25 figuur 15 een vergroot bovenaanzicht dat het aangrijpoppervlak met de band van de in figuur 14. getoonde magnetische transducentkop toont figuur 16 een geëxplodeerd perspectivisch aanzicht van de in figuur 14 getoonde kop, waarbij de figuur op het de kern scheidende vlak is geëxplodeerd, figuren 17 tot en met 23 perspectivische aanzichten die.de achtereenvolgende stappen voor de 30 vervaardiging van de in figuur 14 getoonde magnetische transducentkop tonen, figuren 24 en 25 schematische doorsnede-aanzichten, die de oriëntatie van de zuilvormige kristalgroei van de ferromagnetisch metalen film (Fe-AI-Si legeringsfilm) die op het substraat bij de in figuur 20 respectievelijk figuur 21 getoonde stappen gevormd zijn, tonen, figuur 26 een perspectivisch aanzicht dat een gemodificeerd groefprofiel voor de in figuur 17 getoonde 35 stap toont, figuur 27 een vergroot bovenaanzicht van het aangrijpvlak met de band van de magnetische transducentkop indien het in figuur 26 getoonde groefprofiel wordt toegepast, figuren 28 tot en met 30 vergrote bovenaanzichten van het aangrijpoppervlak met de band van de magnetische transducentkop overeenkomend met de in figuur 26 getoonde modificatie, 40 figuur 31 een perspectivisch aanzicht van een magnetische transducentkop volgens een verder uitvoeringsvoorbeeld, figuur 32 een vergroot bovenaanzicht van het aangrijpvlak met de band van de magnetische transducentkop volgens figuur 31, figuren 33 tot en met 39 perspectivische aanzichten die de achtereenvolgende stappen voor de 45 vervaardiging van de in figuur 31 getoonde transducentkop tonen, figuren 40 en 41 schematische doorsnede-aanzichten die de oriëntatie van de zuilvormige kristalgroei van de ferromagnetische metaalfilm (Fe-AI-Si legeringsfilm) tonen, welke film is gevormd op het substraat bij de in figuur 36 respectievelijk 37 getoonde processtappen, figuren 42 tot en met 48 perspectivische aanzichten die de achtereenvolgende stappen voor de 50 vervaardiging van een magnetische transducentkop yoigens een andere modificatie tonen, figuur 49 een perspectivisch aanzicht dat een magnetische transducentkop toont, welke volgens de in figuren 42 tot 48 getoonde processtappen is vervaardigd.

Met referentie aan de tekeningen worden verscheidene voorkeursuitvoeringsvormen in detail besproken.

55 . Met referentie allereerst aan figuur 14 wordt een magnetische transducentkop volgens de eerste uitvoeringsvorm beschreven, waarbij een ferromagnetisch metalen dunne film ononderbroken wordt gevormd vanaf de voorzijde of vanaf het de voorspleet vormende oppervlak tot de achterzijde of het de · 194772 6 achterspleet vormende oppervlak van de magnetische transducentkop gevormd.

Deze kop is samengesteld uit uit ferromagnetische oxiden gevormde kernelementen 80,81 bij voorbeeld uit Mn-Zn ferriet. Aan de overgangsoppervlakken van de kernelementen 80,81 zijn metalen dunne films 82 van ferromagnetisch metaal of van metaallegeringen met een hoge permeabiliteit gevormd, zoals Fe-AI-Si 5 legeringen door gebruik van de fysische dampneerslag, zoals sputteren. Deze films 82 zijn ononderbroken gevormd vanaf het de voorspleet vormende oppervlak tot aan het de achterspleet vormende oppervlak. Een magnetische spleet g wordt gevormd slechts door deze dunne films 82. Deze films 82 op de kernelementen 80,81 strekken zich als een schuine rechte lijn uit, gezien vanaf het bandaangrijpoppervlak, indien de kleine dikte van deze films 82 wordt verwaarloosd. De nummers 83, 84 verwijzen naar versterkende non· 10 magnetische secties die zijn gevuld in uitgesneden delen nabij het overgangsoppervlak en ook voor het bepalen van een spoorbreedte Tw worden gebruikt Het nummer 85 verwijst naar een opening voor spoelen.

De metalen dunne films 82 zijn gevormd op een enkel vlak oppervlak dat gedefinieerd wordt door één schuin oppervlak 80a van het kernelement 80 en door een schuin oppervlak 81a van het kernelement 81.

15 Daardoor zijn de metalen dunne films 82 in het geheel van uniforme filmstructuur en vertonen zij een hoge magnetische permeabiliteit in de richting van de magnetische fluxlijn voor het verbeteren van de registreer-karakteristieken en verhoogde terugspeeluitgangssignaal van de magnetische transducentkop.

Het de dunne films 82 bepalende oppervlak vormt een scherpe hoek Θ met het de magnetische spleet g vormende oppervlak, zoals dat getoond is in figuur 15 die het aangrijpvlak met de magneetband in 20 bovenaanzicht toont In de onderhavige uitvoeringsvorm wordt de hoek Θ gekozen met een relatief kleine waarde van ongeveer 45°, zodat de interactie van de magneetspleet g met het scheidingsvlak tussen de schuine oppervlakken 80a, 81a en de dunne films 82 verwaarloosbaar is.

De neergeslagen metalen dunne films 82 behoeven slechts vah een filmdikte t te zijn, zodat t = Tw sin Θ 25 waarbij Tw een spoorbreedte voorstelt en een hoek tussen het de metalen dunne film bepalende oppervlak en het de magnetische spleet bepalende oppervlak voorstelt Het resultaat is dat de film niet behoeft te worden neergeslagen tot een dikte die gelijk is aan de spoorbreedte en zodoende wordt de voor de vervaardiging van de magnetische transducentkop vereiste tijd aanzienlijk teruggebracht

Opgemerkt zij, dat de hoek Θ van 45° tussen het de films 82 bepalende oppervlak en het de magnetische 30 spleet g bepalende oppervlak niet tot die waarde beperkt is en ook een waarde in het gebied van ongeveer 20° tot ongeveer 80° kan bedragen. Niettegenstaande dat, wordt aan een hoek van meer dan 30° de voorkeur gegeven, daar overspraak met'het naburige spoor wordt vermeerderd met een hoek die minder dan 20° bedraagt. De hoek Θ kleiner dan ongeveer 80° heeft de voorkeur, daar slijtweerstand afneemt met de hoek gelijk aan 90°. De hoek Θ gelijk aan 90° heeft eveneens niet de voorkeur, daar de dikte van de 35 dunne film 82 van het ferromagnetisch metaal niet gelijk behoeft te zijn aan de spoorbreedte die aanleiding geeft tot de non-uniforme filmstructuur en de tijdrovende operatie vein het vormen van de dunne film in vacuüm, zoals hierboven is beschreven.

De metalen dunne films 82 kunnen gevormd worden uit ferromagnetische metalen, omvattende Fe-AI-SI legeringen, Fe-AI legeringen, Fe-Si legeringen, Fe-Si-Co legeringen, Ni-Fe legeringen (zogenoemde 40 permlegeringen), ferromagnetische amorfe metaallegeringen, of zogenoemde amorfe legeringen, zoals metaal-metaloïd amorfe legeringen, bij voorbeeld een legering van één of meer uit de groep van Fe, NI en Co gekozen elementen met één of meer van de groep van P, C, B en Si gekozen elementen, of een legering bestaande in hoofdzaak uit de eerstgenoemde legering en bevattende Al, Ge, Be, Sn, In, Mo, W,

Ti, Mn, Cr, Zr, Hf of Nb, of een metaal-metaal amorfe legering bestaande uit in hoofdzaak overgangsmetaal-45 elementen en een glas vormende metalen elementen zoals Hf of Zr.

Bij voorkeur is de samenstelling van de Fe-AI*Si legeringen zodanig gekozen, dat de Al bestanddelen in het gebied van 2 tot 10 gewichtsprocent zijn, en de Si bestanddelen in het gebied van 4 tot 15 gewichts-procent zijn, waarbij de rest Fe is. Daardoor heeft het de voorkeur, dat indien de Fe-AI-Si legeringen worden uitgedrukt als 50 Fe a Al b Si c waarbij a, b en c de gewichtsverhouding van de respectievelijk daarbij behorende componenten de waarden a, b en c in het gebied zijn van: 70 £ a £ 95 2 £b έ 10 55 4£C£15

Indien de Al of Si bestanddelen te weinig of te veel zijn, worden de magnetische eigenschappen van de Fe-AI-Si legeringen verslechterd.

7 194772 in de bovengenoemde samenstelling kan een gedeelte van Fe worden vervangen door ten minste één van Co en Ni.

De verzadigingsmagnetische-fluxdichtheid kan worden verbeterd door het vervangen van een deel Fe met Co. Bovenal kan de maximale verzadigingsmagnetische-fluxdichtheid Bs worden bereikt wanneer 40 5 gewichtsprocent Fe wordt vervangen door Co. Bij voorkeur is de hoeveelheid Co 0 tot 60 gewichtsprocent ten opzichte van Fe.

Anderzijds kan, door het vervangen van een deel Fe met Ni de magnetische permeabiliteit worden gehandhaafd op een hogere waarde zonder de verzadigingsmagnetische fluxdichtheid Bs te verminderen. In dit geval is de hoeveelheid Ni bij voorkeur in het gebied van 0 tot 40 gewichtsprocent ten opzichte van Fe.

10 Andere elementen kunnen ook worden toegevoegd aan de Fe-AI-Si legeringen voor het verbeteren van de corrosie en slijtweerstand. De elementen die als zulke toevoegingen gebruikt kunnen worden, kunnen elementen uit groep lila omvatten, inclusief lanthanides zoals Sc, Y, La, Ce, Nd en Gd, elementen uit groep IVa zoals Ti, Zr of Hf, elementen uit groep Va zoals V, Nb of Ta; elementen uit groep Vla zoals Cr, Mo of W; elementen uit groep Vila zoals Mn, Te of Re; elementen uit groep Ib zoals Cu, Ag of Au, of elementen 15 uit de platinagroep zoals Ru, Rh, Pd, en Ga, In, Ge, Sn, Sb of Bi.

Als filmvormend proces kan elke bekende fysische dampneerslag worden toegepast, zoals ontladingsop-damping, ionenbekleding, sputteren of een gebundeld ionenstraalproces.

Het is bekend, dat bij het produceren van de bovenbeschreven dunne film van een ferromagnetisch metaal door bij voorbeeld sputteren, er een zuilvormige structuur wordt opgewekt in een dunne film van een 20 onder een bepaalde conditie verkregen ferromagnetisch metaal en zodoende een dunne film met excellente magnetische eigenschappen kan worden verkregen. Bovenal wordt in het. algemeen gedacht dat, indien de dunne film van het.ferromagnetische metaal bedoeld is om te worden gebruikt als de samengestelde magnetische kop om de anisotropen van de gevormde film te onderdrukken, er de voorkeur aan wordt gegeven aan het opwekken van de zuilvormige structuur met rechte hoeken met het substraatoppervlak 25 waarop de film is gevormd.

Niettegenstaande dat heeft, bij de op deze wijze verkregen ferromagnetisch metalen dunne film, dat wil zeggen met de zuilvormige structuur die gegroeid is met rechte hoeken op het substraatoppervlak, de kleinste verandering, in sputtercondities of substraatpositie op delicate wijze een invloed op de groei van de zuilvormige structuur hebben, zodat de resulterende dunne film op belangrijke wijze qua magnetische 30 permeabiliteit met daaruit voortvloeiende dispersie in het terugspeeluitgangssignaal van de magnetische transducentkop wordt veranderd.

Daarom heeft het de voorkeur, indien de metalen dunne film 82 op een zodanige manier wordt aangebracht, dat de richting van de zuilvormige kristalgroei onder een vooraf bepaalde hoek λ van 5° tot 45° schuin staat met betrekking tot een op elk van de schuine vlakke oppervlakken 80A, 81A getrokken 35 loodlijn.

Indien ervoor wordt gezorgd dat de metalen dunne films 82 op deze wijze met een vooraf gekozen hoek λ met betrekking tot de op de schuine oppervlakken 80A, 81A getrokken loodlijnen groeien, zijn magnetische eigenschappen van het resulterende ferromagnetische metalen dunne films 82 stabiel en superieur, hetgeen resulteert in verbeterde magnetische eigenschappen van de magnetische transducentkop.

40 De hoek die de richting van de zuilvormige kristalgroei van de metalen dunne film 82 maakt met de loodrechte richting op het schuine oppervlak 80A, 81A is bij voorkeur in het gebied van 5° tot 45° voor de beste resultaten.

Indien de hoek λ minder dan 5° is, is het terugspeeluitgangssignaal van de magnetische transducentkop sterk fluctuerend, wat daardoor resulteert in een lagere opbrengst snelheid en verhoogde kosten. Indien λ 45 meer dan 45° bedraagt, worden de magnetische eigenschappen van de dunne films 82 drastisch beïnvloed door aanzienlijke verarming tussen de zuilvormige kristallen en oppervlakteruwheid die zodoende het terugspeeluitgangssignaal van de magnetische transducentkop doet verminderen. Met de hoek λ in het gebied van 5° tot 45° is de groei van de zuilvormige kristallen gefixeerd vanwege de schuine inval en worden de magnetische eigenschappen niet merkbaar veranderd met kleine fluctuaties in de sputter-50 condities of verschillen in de substraatpositie. De afwisselende condensatie en verdunning tussen of in de zuilvormige kristallen die opgewekt worden door schuine groei, verspreiden de gedurende het sputteren veroorzaakte spanning, het uitgloeien van de film en de werking van de kop, zodat het terugspeeluitgangssignaal wordt verhoogd, waarbij de uitgangsfluctuaties minder dan ongeveer 2dB zijn.

Door middel van het regelen van de groeirichting van de ferromagnetische metalen dunne film 82 kan het 55 substraatoppervlak schuin staan ten opzichte van een verdampingsbron, of kan het substraat rondom de -verdampingsbron geplaatst worden, zodat van een schuine richting komende verdampte magnetische deeltjes op het substraat kunnen worden neergeslagen.

194772 8

Hoewel de metalen dunne film 82 is gevormd als een enkele laag door de bovenbeschreven fysische dampneerslag, kan ook een veelvoud van dunne metalen lagen worden gevormd met een elektrisch isolerende film of films zoals Si02, Ta205, Al203, Zr02, of Si3N4 tussen de naburige dunne metalen laag of lagen. Elk gewenst aantal ferromagnetische metalen lagen kan worden gebruikt voor de vorming van de 5 metalen dunne film.

Daar de magneetspleet g slechts gevormd is door de metalen dunne films 82 die zijn uitgerust met een hoge magnetische permeabiliteit, heeft de magnetische transducentkop een goede registreerkarakteristiek en een terugspeeluitgangssignaal dat vergelijkbaar is met de magneetband die een hoge coêrcive kracht Hc vertoont, zoals metaalband.

10 Daar de metalen dunne films 82 op een gezamenlijk vlak oppervlak zoals het schuine oppervlak 80A van het uitstekende deel van het kernelement 80 of op het schuine oppervlak 81A van het uitstekende deel zijn gevormd, is de filmstructuur van de metalen dunne film 82 (Fe-AI-Si legeringsfilm), te weten de oriëntatie van de zuilvormige kristalgroei uniform en niet slechts parallel in de nabijheid van de magneetspleet g maar over het gehele oppervlak van de schuine zijde 80A, 81A. Het resultaat is dat de metalen dunne film 82 in 15 zijn geheel een hoge magnetische permeabiliteit vertoont langs de magnetische fluxlijnen voor het verbeteren van de registreerkarakteristieken en het verhogen van het terugspeeluitgangssignaal van de magnetische transducentkop.

Het aangrijpoppervlak met de band van de magnetische transducentkop is in hoofdzaak gevormd uit ferromagnetische oxiden, waardoor de slijtweerstand van de kop eveneens wordt verbeterd.

20 In afwijking van de gebruikelijke praktijk volgens welke ferromagnetische metalen folies met de hand worden toegepast met behulp van glas, organische lijm of anorganische lijm, worden de metalen dunne films 82 aangebracht door fysische dampneerslag, zodat de films homogener zijn en de bedrijfszekerheid van de transducentkop eveneens wordt verbeterd.

Spoorbreedten in het gebied van enkele tot enkele tientallen microns kunnen gemakkeiijk gevormd 25 worden en een smal spoor kan worden aangebracht aan de kop door het verminderen van het aantal lagen of van de filmdikte van de metalen dunne film 82.

De hierboven beschreven magnetische transducentkop kan met voordeel gebruikt worden voor het met een hoge-dichtheid registreren op een magneetband met een hoge coêrcive kracht Hc vanwege de hoge magnetische veldsterkte van de magneetspleet g en het versterkte terugspeeluitgangssignaal.

30 Voor het verhelderen van de structuur van de magnetische transducentkop volgens de onderhavige uitvoering, zal het vervaardigingsproces daarvan hieronder worden verklaard met referentie aan figuren 17 tot 23.

Bij het prepareren van de magnetische transducentkop volgens de onderhavige uitvoering, wordt een veelvoud van vee-groeven 91 dwars op het bovenoppervlak van een substraat 90 van ferromagnetische 35 oxiden zoals Mn-Zn ferriet, gevormd met behulp van een ronddraaiende slijpsteen (figuur 17).

Deze groeven 91 kunnen ook veelhoekig in doorsnede zijn en de binnen zijvlakken van deze groeven 91 kunnen in twee of meer stappen gebogen zijn voor het vergroten van de afstand tussen de ferromagneti· sche oxiden en de ferromagnetische metalen dunne film. Met een dergelijk groefprofiel kunnen een hoog uitgangssignaal bezittende magnetische transducentkoppen met minder overspraak in de lange golflengte-40 gebieden worden verkregen, waarbij een groot overgangsoppervlak tussen het ferromagnetische oxide op één kernhelft en de ferromagnetische metalen dunne film op een andere kemhelft wordt onderhouden.

Het profiel van de in figuur 26 getoonde groeven 91 kunnen als voorbeeld worden gebruikt Het aangrijpoppervlak met de band van de resulterende magneetkop is zoals getoond in figuur 27, waarin eindvlakken 80b, 81b van de een spoorbreedte regelende groeven van de kernelementen 80, 81 gebogen 45 zijn in twee stappen, om zodoende in lijn te zijn met het profiel van de groeven 91, dat wii zeggen met een . deel van het binnenzijvlak van een veelhoek.

Zodoende kan ervoor gezorgd worden, dat er enige afstand tussen de eindvlakken 80B, 81B van de een spoorbreedte regelende groeven en de ferromagnetische metalen dunne films 82 worden onderhouden en kunnen de overspraakcomponenten die ontstaan door het weergeven van de lange golflengtecomponenten 50 verlaagd worden.

Voorts staan de eindvlakdelen 80B1f 80B2 of 81B1( 81B2 die de eindvlakken 80B, 81B van de een spoorbreedte regelende groeven bepalen schuin met verschillende hoeken ten opzichte van de azimuthhoek van de magneetspleet g, zodat overspraak met naburige en de volgende sporen wordt verminderd.

In het algemeen worden middelen toegepast voor het verlagen van de overspraak tussen de naburige 55 sporen tot een verwaarloosbaar niveau, bij voorbeeld door het registreren van de naburige sporen met verschillende azimuthhoeken voor het verwijderen van het overspraak effect (magneetband in VTR). Niettegenstaande dat ontstaat overspraak tussen de om de andere gelegen sporen met dezelfde azl·· 9 194772 muthhoek. In de onderhavige uitvoeringsvorm staan de eindvlakken 80B, 81B van de spoorbreedte regelende groeven van de kernelementen 80, 81 schuin in twee stappen met verschillende hoeken ten opzichte van de azimuthhoek van de magnetische spleet g, zodat zelfs indien de randen van de eindvlak-delen 80B1( 80B2, 81 B„ 81B2 van de kernelementen 80, 81 in lijn zijn met elk naburig spoor of om het 5 andere spoor, kan signaalopname van elk naburig spoor of van om het andere spoor of overspraak verlaagd worden door azimuthverfies.

Figuren 28,29 en 30 tonen in bovenaanzicht het aangrijpvlak met de band volgens gemodificeerde uitvoeringsvormen, waarbij de groef 91 qua profiel is veranderd. Bij deze modificaties, zijn de eindvlakken 80B, 81B van de een spoorbreedte regelende groeven aan beide zijden van de magneetspleet g veranderd 10 qua profiel. In de in figuur 28 getoonde uitvoeringsvorm zijn de eindvlakken 80B, 81B van de op kernelementen 80,81 gevormde een spoorbreedte regelende groeven gevormd als flauw gehelde oppervlakken met knieën 80B„ 80B2,81B1t 81B2. In de figuur 29 getoonde uitvoeringsvorm zijn de eindvlakken 80B, 81B van de een spoorbreedte regelende groeven op de kernelementen 80, 81 gevormd als oppervlakken met knieën 80B1( 80B2 81B1( 81B2 met grotere krommingsstralen bij de knieën. In de in figuur 30 getoonde 15 uitvoeringsvorm zijn de eindvlakken 80B, 81B van de een spoorbreedte regelende groeven op de kernelementen 80, 81 gevormd als oppervlakken met dubbele knieën 80B1f 80B2, 8OB3, 81 Bt, 81 Bs, 81 Bg.

De eindvlakken van de een spoorbreedte regelende groeven kunnen ook op een zodanige manier gemodificeerd worden, dat het geschuinde oppervlak met de knie verschillende kantelingen in de respectievelijke door de knie verdeelde segmenten heeft, of dat het geschuinde oppervlak meer dan drie knieën 20 heeft.

Vervolgens wordt een glas met een hoog smeltpunt 92 opgevuld in gesmolten toestand in de groeven 91, waarna het substraatoppervlak glad wordt afgevlakt (figuur 18).

Vervolgens wordt een veelvoud van vee-groeven 93 gevormd die zich naast de bovengenoemde vee-groeven 91 bevinden en daarmee niet overlappen. Het binnenwandoppervlak van elke groef 93 maakt 25 een hoek van ongeveer 45° ten opzichte van het substraatbovenoppervlak (figuur 19).

Daarna wordt een ferromagnetische legering, zoals Fe-AI-Si legering, opgedampt op het bovenoppervlak van het substraat 90 met behulp van welke bekende fysische dampneerslag dan ook, zoals sputteren, met .een ionenlaag. bekleden of vacuüm opdampen, waardoor een metalen dunne film 94 in de vee-groeven gevormd wordt (figuur 20).

30 Vervolgens worden de boven- en vooroppervlakken van het substraat 90 glad afgevlakt en wordt zodoende de metalen dunne film op het oppervlak van het substraat verwijderd (figuur 21).

Voor het vormen van het kernelement op de bindingsgroefzijden worden een groef 95 voor spoelen In de resulterende magnetische transducentkop en een glasvulsei-groef 96 gesneden op het zodoende vervaardigde substraat 90 (figuur 21) voor het verschaffen van een van ferromagnetisch oxide gevormd substraat 35 97 (figuur 22).

De substraten 90 en 97 worden dan samen opgestapeld door het plaatsen van een magneetafstandlaag daartussen en met de respectievelijke van dé metalen dunne films 94 voorziene vlakke oppervlakken naar elkaar toe wijzend. Glazen staven met een laag smeltpunt worden tot in de groeven voor het spoelen 95 en tot in de glasvulsel-groef 96 voor het smeltend onderling koppelen van het substraat tot in één blok 98 40 gestoken. Op dit moment wordt glas met een laag smeltpunt 99 tot in de overblijvende groeven op de metalen dunne films 94 van het substraat 90, 97 gevuld (figuur 23).

Het blok 98 wordt dan langs de lijnen b-b en b'-b' gesneden voor het verschaffen van een veelvoud van kopplakken.

Het aangrijpoppervlak van elke kopschijf met de magneetband wordt dan afgevlakt tot een cilindrisch 45 profiel voor het vervaardig en van de in figuur 14 getoonde magnetische transducentkop. Deze magnetische transducentkop heeft zijn kernelement 80 verkregen van het substraat 90, een ander kernelement 81 verkregen van substraat 90 en een ander kernelement 81 verkregen van substraat 97. De metalen dunne film 82 stemt overeen met de metalen dunne film 94, het non-magnetische vulmateriaal 93 met het glas met een hoog smeltpunt 92 en het non-magnetische vulmateriaal met het glas met een lager smeltpunt 99. De 50 opening voor spoelen 85 komt overeen met de groef voor spoelen 95.

In figuren 24 en 25 zijn doorsneden door het substraat 90 bij de in figuur 20 respectievelijk 21 getoonde stappen genomen voor het illustreren van de filmstructuur van de metalen dunne films 94 (Fe-AI-Si legeringsfilms) of de oriëntatie van de kolomsgewijze kristalgroei. Zoals in deze figuren getoond is, wordt een non-uniforme filmstructuur deel R afgevlakt gedurende de het spleetopperviak slijpende in figuur 21 55 getoonde stap, zodat slechts de metalen dunne film 9.4 met een uniforme filmstructuur overblijft op het schuine oppervlak van de groef 93. Het resultaat is dat de magnetische transducentkop met een hoog en stabiel uitgangssignaal verkregen kan worden, daar elk deel van de op het gezamenlijke vlakke oppervlak 194772 10 gevormde metalen dunne film 82 een hoge permeabiliteit langs de magnetische fluxlijn Kern hebben.

Een gemodificeerde uitvoeringsvorm, waarin de ferromagnetisch metalen dunne film slechts in de nabijheid van de magneetspleet is gevormd, wordt hierna verklaard.

Figuur 31 toont in perspectief de magnetische transducentkop volgens de onderhavige modificatie. De 5 magnetische transducentkop is gevormd uit een samengesteld magnetisch materiaal en bestaat uit een paar kernelementen 10,11 van ferromagnetische oxiden zoals Mn-Zn ferriet. In de nabijheid van de magneetspleet g zijn metalen dunne films 14A, 14B van ferromagnetisch metaal of van een een hoge permeabiliteit bezittende metaallegering, zoals Fe-AI-Si legeringen, gevormd door het gebruik van de fysische damp-neerslag zoals sputteren. Non-magnetische pakkingsmaterialen 12A, 12B en 13 zijn gepakt in gegoten staat 10 in de nabijheid van het vlakke oppervlak van de magneetspleet g.

Opgemerkt wordt, dat het vlakke, de metalen dunne films 14A, 14B vormende oppervlak en het vlakke, de magneetspleet g vormende oppervlak schuin ten opzichte van elkaar staan met een hoek Θ, zoals getoond Is in figuur 32 die het aangrijpvlak met de band van de magnetische transducentkop toont. In de onderhavige uitvoeringsvorm is de hoek Θ ongeveer 45°.

15 Daar de metalen dunne films 14A, 14B slechts in de nabijheid van de magneetspleet g zijn gevormd, kan het filmoppervlak worden verkleind met het resultaat dat het aantal eenheidsplakken dat tegelijkertijd vervaardigd kan worden door middel van bij voorbeeld sputteren, aanzienlijk verhoogd kan worden met verbeterde effectiviteit bij massaproductie. Bij verhoging van het aantal magnetische transducentkoppen dat van een eenheidsfilmoppervlak geproduceerd kan worden, kunnen de vervaardigingskosten van de 20 magnetische transducentkoppen verlaagd worden.

Vanwege het verkleinde oppervlak van de metalen dunne films 14A, 14B op de kernelementen 10,11 van de ferromagnetische oxiden kan welke spanning dan ook van de metalen dunne films 14A, 14B, welke veroorzaakt wordt door het verschil in de coëfficiënten van thermische uitzetting van de kernelementen en van de metalen dunne films, of resulterende breek- of barstoptreden in de kernelementen 10,11, vermeden 25 worden met verbeterde bedrijfsefficiëntie en opbrengstsnelheid in de vervaardiging van de magnetische transducentkoppen.

De metalen dunne films 14A, 14B van hoge magnetische permeabiliteit die de magneetspleet g bepalen, worden gevormd in de nabijheid van de magneetspleet g, en de achterzijde van de kop wordt gevormd door ferromagnetische oxiden met een groot overgangsoppervlak, zodat de kop een verbeterd bedrijf met minder 30 magnetische weerstand en een hoge gevoeligheid vertoont

Daar de magneetspleet g slechts bij de ferromagnetisch metalen dunne film 14A, 14B van hoge magnetische permeabiliteit wordt gevormd, heeft de kop een goede registreerkarakterlstlek en een terugspeeluitgangssignaal dat vergelijkbaar is met magneetbanden met een hoge coëreive kracht zoals metaalband.

35 De metalen dunne film 14A wordt gevormd op een vlak oppervlak op het non-magnetische vulmateriaal 12A en de zijde 10A van het uitstekende deel van het kernelement 10, waarbij de metalen dunne film 148 wordt gevormd op een vlak oppervlak op het non-magnetische vulmateriaal 12B en de zijde 11A van het uitstekende deel van het kernelement 11. Zodoende is de filmstructuur van de oriëntatie van de zuilvormige kristalgroei van de metalen (Fe-AI-Si legeringen) dunne films 14A, 14B uniform en zowel parallel in de 40 nabijheid van de magneetspleet g als op de zijde 10A, 11A. Het resultaat is, dat de metalen dunne films 14A, 14B in hun geheel een hoge magnetische permeabiliteit In de richting van de magnetische fluxlijn vertonen, zodat de registreerkarakteristieken en het terugspeeluitgangsignaal van de magnetische transducentkop aanzienlijk wordt verbeterd.

De achterzijden van de magnetische transducentkop zijn onderling gekoppeld met de ferromagnetische 45 oxiden, zoals Mn-Zn ferriet die onderling aanliggen, zodat een sterke bindkracht kan worden verkregen met verbeterde opbrengstsnelheid, ondanks inferieure bindeigenschappen tussen de metalen dunne films 14a, 14b en de kernelementen 10,11. Er is geen gevaar, dat terugspoorafwijkingen worden veroorzaakt gedurende het vervaardigen, wat zodoende resulteert in een verhoogde bedrijfsbetrouwbaarheid van de magnetische transducentkop.

50 Daar het grootste deel van het aangrijpoppervlak met de band van de magnetische transducentkop wordt gevormd uit ferromagnetische oxiden, wordt ook slijtweerstand van de magnetische transducentkop verbeterd.

In afwijking van gebruikelijke praktijk, waarbij ferromagnetische metalen folies met de hand op elkaar worden gebonden met een lijmlaag van glas, met organische lijm of inorganische lijm, worden de metalen 55 dunne films 14A, 14B gevormd door middel van een fysische dampneerslag, zodat de gevormde film homogeen is voor het verder verbeteren van de bedrijfszekerheid van de magnetische transducentkop.

De spoorbreedte kan gemakkelijk worden gekozen in een uitgestrekt gebied van enkele tot enkele 11 194772 tientallen microns, zodat de magnetische transducentkop met een smalle spoorbreedte verkregen kan worden door gebruik van een verminderde filmdikte of van een verminderd aantal filmlagen.

Zoals hierboven is beschreven, heeft de magnetische transducentkop volgens de onderhavige uitvoeringsvorm een hoge magnetische veldsterkte van de magneetspleet g en een hoog terugspeel-5 uitgangssignaal, zodat deze superieur is qua bedrijfszekerheid en productiviteit, en geschikt is voor het met hoge dichtheid registreren op een magneetband met een hoge coêrcive kracht Hc, zoals metaaiband.

Het vervaardigingsproces voor de in figuur 31 getoonde magnetische transducentkop wordt nu beschreven met referentie aan de figuren 33 tot 39.

Op een langsrand van een substraat 20 van een ferromagnetisch oxide zoals Mn-Zn teniet, zijn een 10 veelvoud van V-vormige uitsparingen 21 gesneden met behulp van een ronddraaiende slijpsteen of met behulp van elektrolytisch etsen (figuur 33). De bovenzijde of oppervlakte 23 van het substraat 20 komt overeen met het de magneetspleet vormende oppervlak, en de uitsparing 21 is gevormd bij een deel van het substraat 20 waar de magneetspleet gevormd moet worden. De uitsparing 21 kan ook veelhoekig en voorzien zijn van gekromde delen, zoals in de voorgaande uitvoeringsvorm.

15 Glas met een hoog smeltpunt wordt in gesmolten vorm gepakt in de uitsparing 21 bij 22a en zowel de bovenzijde 23 als de voorzijde 24 zijn glad afgevlakt (figuur 34).

Op dezelfde rand 25 is dan een twee e veelvoud van V-vormige uitsparingen 25 in de nabijheid van de uitsparing 21 die gevuld is met glasvulsel 22a, gevormd, één en ander zodanig dat deze gedeeltelijk overlappen met de uitsparing 21 (figuur 35). Een deel van het glasvulsel 22a wordt blootgesteld aan een 20 binnenwandzijde of facet 26 van de uitsparing 25. Een kruisingslijn 27 van de wandzijde 26 en van de bovenzijde 23 vormen een rechte hoek met de voorzijde 24, terwijl de binnenwandzijde 26 een hoek van zeg 45° met de bovenzijde 23 maakL

Vervolgens wordt een legering met een hoge permeabiliteit, zoals Fe-AI-Si legeringen, opgedampt in de nabijheid van de uitsparingen 25 van het substraat 20 met als tussenstof een isolerende film, met behulp - 25 van eeri fysische dampneerslag zoals sputteren voor het vormen van ferromagnetisch metalen dunne film 28 (figuur 36). Het substraat 20 wordt op dit moment in het sputterapparaat in een schuine stand geplaatst voor het efficiënter neerslaan van de binnenwandzijde 26.

' Vervolgens wordt een glasvulsel 29 met een smeltpunt lager dan dat van het glasvulsel 22 gevuld in gesmolten toestand in de van de metalen dunne film 28 vooiziene uitsparingen 25, waarna de bovenzijde 30 23 en de voorzijde 24 uiteindelijk als een spiegel worden afgevlakt (figuur 37). Op dit moment blijft een deel van de gedurende de voorgaande stap neergeslagen metalen dunne film 28 over op de wandzijden 26 van -de uitsparingen 25, zodat de ferromagnetisch metalen dunne films 28A worden neergeslagen op de zijde 26.

Voor het vormen van een van een windingsgroef voorzien zijdelings kernelement wordt een groef 31 voor 35 spoelen gevormd in het in figuur 32 getoonde substraat 20 van ferromagnetische oxide voor het verschaften van een in figuur 38 getoond substraat 30 van ferromagnetische oxiden. De uitsparingen 21 van het in figuur 38 getoonde substraat worden gevuld met glas 22b met een hoog smeltpunt in de gesmolten toestand, waarbij de binnenwandzijden van de uitsparingen 25 zijn voorzien van ferromagnetische metalen dunne films 28b.

40 De substraten 20, 30 zijn opgestapeld en onderling gekoppeld met gesmolten glas, waarbij de bovenzijde 23 of het de magneetspleet vormende oppervlak van het substraat 20 aanligt aan het bovenvlak 32 of het de magneetspleet vormende oppervlak van het substraat 30 met het medium van een spleetafstandslaag (figuur 39) voor het verschaffen van een blók dat uit de substraten 20 en 30 bestaat Het blok 33 wordt dan in plakken langs lijnen a-a, a'-a' gesneden voor het vormen van een veelvoud van kopplakken. De 45 spleetafstandslaag kan naar wens gevormd zijn uit St02, Zr02,18205 of Cr.

Het aangrijpoppervlak met de band van de kopplak wordt dan blootgesteld aan cilindrisch slijpen voor het vormen van een magnetische transducentkop, zoals getoond in figuur 31. De kernelementen 10 en 11 van de in figuur 31 getoonde magnetische transducentkop zijn verkregen van de substraten 20 resp. 30. Het non-magnetischë vulmateriaal 12A, 12B komt overeen met de glasvulselmaterialen met een hoog smeltpunt 50 22A resp. 22B, terwijl het non-magnetische vulmateriaal 13 overeenkomt met het glasvulselmateriaal 13 met een laag smeltpunt. De ferromagnetisch metalen dunne films 14A, 14B van de magnetische transducentkop komen overeen met de metalen dunne films 28A, 28B, terwijl de opening voor spoelen 15 overeenkomt met de groef 31 voor spoelen op het substraat

In de bovenbeschreven magnetische transducentkop, wordt een deel Q van de metalen dunne film 28 55 van de non-uniforme filmstructuur die gevormd is gedurende de in figuur 36 getoonde processtap verwijderd door de slijpoperatie van hèt spleetoppervlak, zoals dat schematisch is getoond in figuren 40, 41 die de oriëntatie van zuilvormige kristalgroei of filmstructuur van de ferromagnetisch metalen dunne films, bij 194772 12 voorbeeld de Fe-AI-Si legeringsfilm, tonen. Op deze wijze blijven slechts de metalen dunne films 28A, 28B van de uniforme structuur over op een enkel schuin vlak oppervlak dat de binnenwandzijde van facet 26 van de uitsparing 25 is.

Het resultaat is, dat elk deel van de metalen dunne films 28A, 28B een hoge magnetische permeabiliteit 5 langs de magnetische fluxlijn vertoont en dat de magnetische transducentkop een hoog en stabiel uitgangssignaal heeft

In de onderhavige uitvoeringsvorm, zoals hierboven is beschreven, is een tweede vlak oppervlak dat een hoek van 20° tot 80° ten opzichte van een eerste vlak oppervlak dat later het magneetspleetoppervlak ' vormt, gevormd door het slijpproces en is dit in de nabijheid van de eerste uitsparing 21 van te voren gevuld 10 met glas met een hoog smeltpunt, en is de ferromagnetisch metalen dunne film 28 gevormd door een fysische dampneerslag op het tweede oppervlak dat schuin staat ten opzichte van het eerste vlakke oppervlak, dat daarna afgevlakt wordt, zodat slechts de op het schuine tweede oppervlak gevormde dunne film overblijft ten minste in de nabijheid van de magneetspleet. Het resultaat is, dat de metalen dunne films 28A, 28B van uniforme filmstructuur zijn over hun geheel en zodoende een hoog en stabiel uitgangssignaal 15 van de magnetische transducentkop verschaffen.

Met de bovengenoemde magnetische transducentkop worden de ferromagnetische oxiden van de twee kernhelften smeltend samengebonden direct met gesmolten glas op de achterovergangzijde of achterspleet-oppervlakken van de kop. Het resultaat is, dat de getoonde kopplak een verhoogde breeksterkte heeft en dat deze gemakkelijk vervaardigd kan worden met een verbeterde opbrengstsnelheid.

20 Met referentie aan figuren 42 tot 48, wordt een ander voorbeeld van de magnetische transducentkop die vervaardigd wordt door middel van een ander proces, verklaard.

Op een bovenoppervlak 41 dat overeenkomt met het aangrijpvlak met de band, van het substraat 40 van ferromagnetische oxiden, zoals Mn-Zn ferriet, is een veelvoud van groeven 42 met een vierkantige' doorsnede op schuine wijze gevormd (figuur 42). Elke groef 42 heeft een djepte voor het zich uitstrekken 25 naar de opening voor in de transducentkop aangebrachte spoelen.

Glas met een hoog smeltpunt wordt dan gevuld in gesmolten toestand bij 43a in elke groef 42, waarna de bovenzijde 41 en de voorzijde 44 glad worden afgevlakt (figuur 43).

Vervolgens wordt een tweede veelvoud van groeven 45 met de vierkantige doorsnede gevormd tot de bovenzijde 41 in de omgekeerde schuine richting ten opzichte van de groeven 42, zodat deze gedeeltelijk 30 overlappen metdeze groeven 42 die gevuld zijn met glas 43A met een hoog smeltpunt (figuur 44). Deze groeven 45 zijn bij benadering gelijk in diepte aan de glasgevulde groeven 42. De snijlijn 47 die de binnenzijde 46 van de groef 45 maakt met de voorzijde 44, is gesitueerd op het doorsnede vlak van het glas 43a, dat aan de voorzijde 44 is blootgesteld, en vormt een rechte hoek met de bovenzijde 41. De binnen- ' zijde 46 maakt een hoek van zeg 45° met de voorzijde 44.

35 Vervolgens wordt een film van een legering met een hoge permeabiliteit, zoals Fe-AI-Si legeringen gevormd in de nabijheid van de groeven 44 op het substraat 40 door middel van fysische dampneerslag, zoals sputteren voor het vormen van een ferromagnetisch metalen dunne film 46 (figuur 45). Het substraat 40 wordt in een schuine stand gehouden binnen het sputterappaiaat voor het efficiënter vormen van de film op de binnenzijde 46.

40 Vervolgens wordt een glas 49 met een lager smeltpunt dan het glas 43, gevuld in gesmolten toestand in de van de metalen dunne films 48 voorziene groeven 45, waarna de boven- en voorzijde 41, 44 uiteindelijk als een spiegel worden afgevlakt (figuur 46). Op dit moment blijft een deel van de metalen dunne film 48 over op de binnenzijden 46 van de groeven 45, zodat de ferromagnetisch metalen film 48a is aangebracht op deze binnenzijden 46.

45 Voor het vormen van het van een groef voor spoelen 61 voorzien kernelement, wordt de groef 61 gevormd op het substraat 40 van ferromagnetische oxiden, zoals dat getoond is in figuur 46, voor het produceren van het substraat 60 van ferromagnetische oxiden zoals getoond in figuur 47. De groeven 42 van het substraat 60 zijn gevuld met glas 43b met een hoog smeltpunt in gesmolten toestand, terwijl de ferromagnetisch metalen dunne films 48b zijn gevormd op de binnenzijden 46 van de groeven 45.

50 De substraten 40, 60 worden dan opgestapeld en onderling gekoppeld door middel van gesmolten glas op de voorzijde 44 van het substraat 40, welke later de magnetische spleet die aanligt aan de voorzijde 62 van het substraat 60 vormt, welke later de spleet door het medium van een spleetafstandslaag (figuur 48) vormt voor het verschaffen van een blok 43 dat bestaat uit de substraten 40 en 60. Blok 63 wordt dan in plakken gesneden langs lijnen A-A, A'-A' voor het vormen van een veelvoud van kopplakken.

55 Het aangrijpvlak met de magneetband van de kopplak wordt vervolgens onderworpen aan een cilindrische behandeling voor het vormen van een magnetische, in figuur 49 getoonde transducentkop. De kernelementen 70, 71 van de in figuur 49 getoonde magnetische transducentkop zijn verkregen van de 13 194772 substraten 40 resp. 60. De non-magnetische vulmaterialen 72A, 72B komen overeen met de in de groeven 42 gevulde glasmaterialen 43A, 43B met een hoog smeltpunt, terwijl het non-magnetische vulmateriaal 73 overeenkomt met het tot in de groeven 45 gevulde glasmateriaal 49 met een laag smeltpunt. De op de magnetische transducentkop gevormde ferromagnetisch metalen dunne films 74A, 74B komen overeen met 5 de metalen dunne films 48A, 48B die op de binnenzijden 46 van de groeven 45 gevormd zijn, terwijl de opening voor spoelen 75 overeenkomt met de groef voor spoelen 61.

Bij de met het bovenbeschreven proces vervaardigde magnetische transducentkop van figuur 49 etaat het de magneetspleet vormende vlakke oppervlak schuin met een geschikte hoek met betrekking tot het vlakke oppervlak van de magnetisch metalen dunne films 74A, 74B, die slechts in de nabijheid van de 10 magneetspleet gevormd zijn, en zodoende ervoor zorgen, dat de eigenschappen van de magnetische transducentkop vergelijkbaar zijn met die van de in figuur 31 getoonde magnetische transducentkop.

Daar de magneetspleet g slechts door metalen dunne films 74A, 74B wordt gevormd, Is de kop verbeterd qua uitgangssignaal en vergelijkbaar met metaalbanden.

De metalen dunne film 74A is gevormd op een continu vlak oppervlak dat bestaat uit de zijde 70A van 15 het uitstekende deel van het kernelement 70 en een zijde van het non-magnetische materiaal 72A, terwijl de metalen dunne film 74B is gevormd op een continu vlak oppervlak dat bestaat uit de zijde 71A van het uitstekende deel van het kernelement 71 en een zijde van het non-magnetische materiaal 72B. Het resultaat is, dat de metalen dunne films 74A, 74B in hun geheel van uniforme filmstructuur zijn en een hoge magnetische permeabiliteit in de richting van de magnetische fluxlijn vertonen, zodat een verbetering wordt 20 bereikt In de registreerkarakteristiek en het terugspeeluitgangssignaal van de transducentkop.

Bij de voorgaande uitvoeringsvorm hadden de lijnen a-a, a'-a', waarlangs het samengestelde In figuur 39 getoonde blok in plakken is gesneden, rechte hoeken ten opzichte van de aanliggende oppervlakken van de substraten 20 en 30. Het Is echter mogelijk het blok In een andere richting dan met een rechte hoek in * plakken te snijden voor het verschaffen van een magnetische transducentkop voor azlmuth-registreren. Het 25 is ook mogelijk in de onderhavige uitvoeringsvorm het in figuur 48 getoonde blok in een schuine richting ten opzichte van de aanliggende oppervlakken van het substraat 40, 60 in plakken te snijden In plaats van langs lijnen A-A, A'-A' of met rechte hoeken met de aanliggende oppervlakken voor het op overeenkomstige wijze produceren van magnetische transducentkoppen voor azimuth-reglstreren.

Met de in figuren 14, 31 en 49 getoonde magnetische transducentkop zijn op het substraat van 30 ferromagnetische oxiden gevormde groeven voorheen gevuld met glas en zijn tweede groeven gevormd in de nabijheid van de eerste groeven voor het vormen van schuine vlakke oppervlakken, waarop ferromagnetisch metalen dunne films gevormd worden. Het resultaat Is, dat magnetische eigenschappen van de kop uniform zijn, niet slechts in de nabij de magneetspleet gelegen filmdelen, maar in de filmdelen op de zijden van de uitstekende substraatdelen en worden de ferromagnetische oxiden niet blootgesteld aan het 35 magneetspleetdeel.

Bij gebruik van een magneetband met een hoge coêrcive kracht, zoals metaalband, is gevonden, dat de magnetische transducentkop volgens de onderhavige uitvinding een terugspeeluitgangssignaal heeft, dat ongeveer 3 dB hoger is in het frequentiegebied van 1 tot 5 MHz, heeft, dan vergeleken met de experimentele waarden die verkregen zijn met de gebruikelijke magnetische transducentkop, zoals die getoond is in 40 figuur 11, waarbij het ferriet is blootgesteld in het spleetdeel voor een lengte gelijk aan bij voorbeeld 40% van de spoorbreedte. De beschreven magnetische transducentkop kan vervaardigd worden met kleinere dimensionele fluctuaties dan in het geval van de in figuur 3 getoonde gebruikelijke magnetische transdu-centkop en gebleken is dat deze een terugspeeluitgangssignaal dat ongeveer 3 dB hoger Is dan dat van deze gebruikelijk transducentkop, heeft.

45 Het Ni-Zn ferriet bij voorbeeld kan In plaats van het Mn-Zn ferriet gebruikt worden als het de kernelementen vormende ferromagnetische oxide. Permlegeringen of amorfe legeringen kunnen in plaats van Fe-AI-SI legeringen gebruikt worden als het de ferromagnetisch metalen dunne film vormende materiaal met hoge magnetische permeabiliteit, zoals hieiboven is besproken.

Bij gebruik van de amorfe legeringen worden uniforme filmeigenschappen van de ferromagnetisch 50 metalen dunne film verhinderd door magnetische anisotropie. De metalen dunne film kan in zijn geheel uniforme magnetische eigenschappen hebben door het vormen van de dunne film op een enkel vlak oppervlak in overeenstemming met de onderhavige uitvinding.

De ferromagnetisch metalen dunne film kan op voordelige wij ze worden samengesteld uit één of meer lagen.

55 Het zal duidelijk zijn uit het voorgaande, dat de magnetische transducentkop is samengesteld uit twee, uit ferromagnetische oxiden gevormde kernelementen, en dat de ferromagnetisch metalen dunne film zijn opgedampt door middel van fysische dampneerslag in de nabijheid van het overgangsoppervlak van de

Claims (28)

194772 14 kernelementen, zodat het vlak waarin deze metalen dunne films zich hoofdzakelijk bevinden, schuin staat onder een hoek ten opzichte van het overgangsoppervlak van de kernelementen die later het magneet-spleetoppervlak vormen. De magneetspleet is slechts door de metalen dunne films die op een gezamenlijk vlak oppervlak zijn gevormd, gevormd.

1. Magnetische transducentkop, omvattende: - een eerste magnetisch kernelement en een tweede magnetisch kernelement; waarbij - elk van de eerste en tweede magnetische kernelementen een magnetisch ferrietblok en een met het magnetische ferrietblok gekoppelde magnetische metalen dunne film heeft, 35. de kernelementen een eerste vlak oppervlak en een tweede vlak oppervlak bezitten, met het kenmerk dat; - de magnetische metalen dunne film op het tweede vlakke oppervlak is aangebracht en met zijn rand naar het eerste vlakke oppervlak wijst, waarbij het tweede vlakke oppervlak ten opzichte van het eerste vlakke oppervlak schuin staat, 40. de eerste en tweede kernelementen zodanig met elkaar zijn verbonden dat een magnetische werkingsspleet (g) tussen de genoemde rand van de magnetische metalen dunne film op het eerste kernelement en de genoemde rand van de magnetisch metalen dunne film op het tweede kernelement is gevormd, waarbij de magnetische metalen dunne film op. het eerste kernelement en de magnetische metalen dunne film op het tweede kernelement in een gemeenschappelijk vlak liggen, en dat 45 - door het eerste en het tweede kernelement er een gemeenschappelijk contactoppervlak gevormd is, waarmee een bewegend magnetisch registratiemedium in contact kan worden gebracht

2. Magnetische transducentkop volgens conclusie 1 met het kenmerk dat - het eerste (80; 10; 70) en het tweede (81; 11; 71) magnetische kernelement voor het vormen van een magnetische werkingsspleet (g) tussen telkens twee eerste oppervlakten (90a; 23; 44) daartussen met 50 elkaar zijn verbonden en een contactoppervlak (90b; 24; 41) bezitten dat met een bewegend magnetisch registratiemedium in contact kan worden gebracht; -. de magnetische werkingsspleet (g) zich in hoofdzaak loodrecht op het contactoppervlak in het inwendige van de transducentkop volgens de spleetdiepte daarvan uitstrekt; - elk van de kernelementen uit een ferrietblok bestaat dat op een tweede oppervlakte (80A, 81 A; 10A, 55 11 A; 70A, 71A) een magnetisch metalen dunne film (82; 14A, 14B; 74A, 74B) draagt; - een rand van de magnetisch metalen dunne film uit het eerste oppervlak van het magnetische kernelement verschijnt en zich parallel ten opzichte van de diepterichting van de magnetische workings- 15 194772 spleet uitstrek!; - een andere rand van de magnetisch metalen dunne film aan het contactoppervlak (90b; 24; 41) verschijnt en zich langs een lijn uitstrekt die in bovenaanzicht op het contactoppervlak niet onder een recht hoek ten opzicht van de magnetische spleetlijn verloopt; en dat 5. de kernelementen zodanig met elkaar verbonden zijn dat de magnetische werkingsspleet (g) tussen de randen ligt, die aan de eerste oppervlakten (90a; 23; 44) van elk kernelement verschijnen en de andere rand op een gemeenschappelijke rechte lijn liggen.

3. Magnetische transducentkop volgens conclusie 1 met het kenmerk dat; - het eerste (80; 10; 70) en het tweede (81; 11; 71) magnetische kernelement voor het vormen van de 10 magnetische werkingsspleet (g) tussen telkens eerste vlakke oppervlakten (90a, 90c; 23,32; 44,62) met elkaar verbonden zijn en een contactoppervlak (90b; 24; 41) bezitten dat met een bewegend magnetisch registratiemedium in contact kan worden gebracht, - elk van de magnetisch kernelementen een derde oppervlak heeft dat in de nabijheid van het eerste vlakke oppervlak en de contactoppervlakten is gelegen, 15. de magnetische ferrietblokken van de vertoonde kernelementen een tweede vlakke oppervlak bezitten dat zich uitstrekt van het eerste vlakke oppervlak naar een zijde van het derde oppervlak, - een magnetisch metalen dunne film op het tweede vlakke oppervlak is aangebracht die zich van het eerste vlakke oppervlak naar de zijde van het derde oppervlak en langs een lijn uitstrekt die niet loodrecht op de magnetische spleetlijn bij bovenaanzicht op het contactoppervlak verloopt, 20. een niet-magnetisch materiaaldeel (92; 22A, 22B; 43A, 43B) zich uitstrekt naar het eerste vlakke oppervlak, het contactoppervlak en het derde vlak, - een gedeelte van het eerste vlakke oppervlak zich in de nabijheid van de magnetisch metalen dunne film uitstrekt, waarbij het contactoppervlak en een ander oppervlak zich tot in de nabijheid van het eerste vlakke oppervlak resp. het contactoppervlak uitstrekken, 25. het eerste en tweede kernelement zodanig met elkaar zijn verbonden, dat de magnetische wetklngs- spleet (g) tussen de randen van de magnetisch metalen dunne film is gelegen, die aan het eerste vlakke oppervlak van elk kernelement verschijnen, en dat - filmranden aan beide kernelementen op een gemeenschappelijke rechte lijn in bovenaanzicht op het contactoppervlak zijn gelegen.

4. Magnetische transducentkop volgens conclusie 1,2 of 3, met het kenmerk dat de magnetische werkingsspleet (g) is aangebracht in het centrale gebied van het contactoppervlak (90b 24; 41).

5. Magnetisch transducentkop volgens conclusie 1,2,3 of 4 met het kenmerk dat de hoek (e) tussen het eerste vlakke oppervlak (90a; 23; 44) en het tweede vlakke oppervlak (80A, 81 A; 10A, 11A; 70A, 71A) in bovenaanzicht op de contactoppervlakken tussen ongeveer 20° tot 80°, inclusief de grenswaarde, is 35 gelegen.

5 Zodoende is er bij de vorming van de metalen dunne films geen noodzaak een filmdikte te verschaffen, welke overeenkomt met de spoorbreedte, en kan de transducentkop in massa in een kortere tijd geprodu· ceerd worden. Het belangrijkste deel van het aangrijpoppervlak met de band wordt gevormd uit ferromagnetische oxiden, zodat de kop superieure slijtweerstand heeft

6. Magnetische transducentkop volgens een van de conclusies 1-5, met het kenmerk dat ten minste in een kernelement (81; 11; 71) een opening (85; 15; 75) aan de zijde van het eerste vlakke oppervlak (90c; 32; 62. voor handen is, die voor het opnemen van een spoelwikkeling dient, en de magnetische werkingsspleet (g) van de daar achter liggende spleet scheidt

7. Magnetische transducentkop volgens conclusie 6 met het kenmerk dat de magnetisch metalen dunne film (82; 10A, 11A, 74A, 74B) zich tot de achterste spleet uitstrekt

8. Magnetische transducentkop volgens conclusie 6 of 7, met het kenmerk dat de achterste spleet tussen de desbetreffende ferrietbiokken van de kernelementen (10,11; 70,71) ligt

9. Magnetische transducentkop volgens een van de conclusies 1-8 met het kenmerk dat de magnetisch 45 metalen dunne film een in hoofdzaak gelijkvormig resp. uniforme zuilvormige kristalstructuur over het gehele filmgebied bezit

10. Magnetische transducentkop volgens een van de conclusies 1-9 met het kenmerk dat de magnetische metalen dunne film uit een kristalachtige legering bestaat

10 De magneetspleet wordt slechts uit de metalen dunne films gevormd, zodat de kop een hoog uitgangssignaal heeft en toepasbaar is met dè een hoge coërciviteit bezittende band zoals metaalband. De metalen dunne film wordt gevormd op één vlak oppervlak en is zodoende overal uniform in filmstructuur, terwijl de metalen dunne film als geheel een hoge magnetische permeabiliteit in de richting van de magnetische fluxlijn vertoont. Zodoende is de magnetische transducentkop zeer bruikbaar in gebruik en 15 heeft deze een hoge registreerkarakteristiek en een hoog terugspeeluitgangssignaal. De beschreven magnetische transducentkop is zodanig geconstrueerd, dat de magneetspleet in het centrum van de kopplak is en aan beide zijden omgeven is met non-magnetische materialen voor het vermijden van plaatselijke slijtage van de kop. De, de magneetspleet vormende, ferromagnetisch metalen dunne films zijn op een rechte lijn gezien op 20 het aangrijpvlak met de band gevormd, zodat de ferromagnetisch metalen dunne films niet tegenover elkaar liggen op andere plaatsen dan de magneetspleet. Het resultaat is de verminderde overspraak in het lange golfiengtegebied. De overspraak kan verder worden verminderd door het veranderen van het groefprofiel ten opzichte van het kernelement. De uniforme magnetische eigenschappen kunnen verzekerd worden door de gelijkgerichte groei van de 25 zuilvormige structuur van de-ferromagnetisch metalen dunne films gezien op het contactoppervlak met de band. # 30

11. Magnetische transducentkop volgens een van de conclusies 1-10 met het kenmerk dat de magnetische 50 metalen dunne film uit een Fe-AI-Si-legering bestaat

12. Magnetische transducentkop volgens een van de conclusies 1-11 met het kenmerk dat de magnetische metalen dunne film een in hoofdzaak gelijkvormige resp. uniforme magnetische anisotropie over het gehele .filmbereik bezit

13. Magnetische transducentkop volgens conclusie 12 met het kenmerk dat de magnetische metalen dunne 55 film uit een amorfe4egering bestaat

14. Magnetische transducentkop volgens conclusies 12 of 13 met het kenmerk dat de magnetische metalen dunne film uit een amorfe metaal-metaloïd-legering bestaat 194772 16

15. Magnetische transducentkop volgens conclusies 12 of 13 met het kenmerk dat de magnetische metalen dunne film uit een amorfe metaal-metaallegering bestaat

16. Magnetische transducentkop volgens een van de conclusies 3-15 met het kenmerk dat het niet* magnetische materiaaldeel (92; 22A, 22B; 43A, 43B) uit niet-magnetisch glas met een eerste smeltpunt 5 bestaat

17. Magnetische transducentkop volgens een van de conclusies 3-16 met het kenmerk dat het gedeelte met niet-magnetisch materiaal (99; 29; 49) is gevuld.

18. Magnetische transducentkop volgens conclusie 17 met het kenmerk dat het niet magnetische materiaal (99; 29,49) niet-magnetisch glas met een geringer smeltpunt dan het eerste smeltpunt is.

19. Magnetische transducentkop volgens een van de conclusies 3-18 met het kenmerk dat het gedeelte in de richting van de magnetisch metalen dunne film een uftgestulpt deel bezit.

20. Magnetische transducentkop volgens conclusie 1 met het kenmerk dat de magnetisch metalen dunne film uit een kristalachtige legering bestaat.

21. Magnetische transducentkop volgens conclusie 1 met het kenmerk dat de magnétisch metalen dunne 15 film uit een Fe-AI-SHegering bestaat.

22. Magnetische transducentkop volgens conclusie 1 met het kenmerk dat de magnetisch metalen dunne film uit een amorfe-legering bestaat

23. Magnetische transducentkop volgens conclusie 1 met het kenmerk dat de magnetisch metalen dunne film uit een amorfe metaal-metaloïde-legering bestaat

24. Magnetische transducentkop volgens conclusie 1 met het kenmerk dat de magnetisch metalen dunne film uit een amorfe metaal-metaallegering bestaat

25. Werkwijze voor het vervaardigen van een magnetische transducentkop omvattende de volgende stappen: - het prepareren van een paar magnetische ferrietblokken, het vormen van een groef, het opbrengen 25 van een magnetisch metalen dunne film en het verbinden van de ferrietblokken, gekenmerkt door de volgende stappen: A) het prepareren van een paar magnetische ferrietblokken (90, 97; 20, 30; 40,60) waarvan elk een eerste en een tweede naburig oppervlak vertoont / B) het vormen van een eerste groef (91; 21; 42) aan de rand van de eerste en tweede oppervlakten en 30 wel zodanig dat de eerste groef zich verbreedt naar het eerste en tweede oppervlak. C) het vormen van een tweede groef (93; 25; 45) aan de genoemde rand in de nabijheid van de eerste groef 91; 21; 42), waarbij de tweede groef een derde oppervlak dat naburig is eten de eerste groef (91; 21; 42) bezit waarbij het derde oppervlak ten opzichte van het tweede oppervlak schuin staat en een door het tweede oppervlak aan het derde oppervlak gevormde lijn loodrecht ten opzichte van het eerste 35 oppervlak verloopt, D) het opbrengen van een magnetisch metalen dunne film (94; 28) op het oppervlak door vacuüm neerslag, E) het slijpen van een zijde van het tweede oppervlak om een rand van de magnetisch metalen dUnne film bloot te leggen resp. te vormen,

40 F) het vormen van een derde groef (95; 31; 61) voor het opnemen van een spoelwikkellng door ten minste een van de ferrietblokken, G) het verbinden van de ferrietblokken om een magnetische spleet (g) tussen de randen van de magnetisch metalen dunne film op de genoemde ferrietblokken te verkrijgen.

26. Werkwijze volgens conclusie 25, met het kenmerk dat aansluitend in de eerste groef (91; 21; 42) een 45 niet-magnetisch materiaal wordt ingebracht

27. Werkwijze volgens conclusie 25 of 26, met het kenmerk dat aansluitend in de tweede groef (93; 25; 45) een niet-magnetisch materiaal wordt ingebracht.

28. Werkwijze volgens een van de conclusies 25-27, met het kenmerk dat het inbrengen van niet-magnetisch materiaal In de tweede groef (93; 25; 45) en het verbinden van de ferrietblokken voor het 50 vormen van een magnetische spleet (g) tussen de randen van een magnetisch metalen dunne film op de ferrietblokken (90, 97; 0,30; 40, 60) op dezelfde tijd wordt uitgevoerd. Hierbij 19 bladen tekening