NL194772C

NL194772C - Magnetic transducer head, as well as method for manufacturing it.

Info

Publication number: NL194772C
Application number: NL8403971A
Authority: NL
Original assignee: Sony Corp
Priority date: 1983-12-30
Filing date: 1984-12-31
Publication date: 2003-02-04
Also published as: IT8449363A1; GB2153581A; CA1236212A; IT8449363A0; AU582736B2; FR2558000B1; ATA412784A; FR2558000A1; AU3707484A; IT1182707B; AT393566B; NL8403971A; DE3447700C2; GB2153581B; NL194772B; GB8432443D0; DE3447700A1

Description

1 1947721 194772

Magnetische transducentkop, alsmede werkwijze voor het vervaardigen ervanMagnetic transducer head, as well as method for manufacturing it

De onderhavige uitvinding betreft een magnetische transducentkop, omvattende: - een eerste magnetisch kernelement en een tweede magnetisch kernelement; waarbij 5 - elk van de eerste en tweede magnetische kernelementen een magnetisch ferrietblok en een met het magnetische ferrietblok gekoppelde magnetische metalen dunne film heeft; en - de kernelementen een eerste vlak oppervlak en een tweede vlak oppervlak bezitten.The present invention relates to a magnetic transducer head, comprising: - a first magnetic core element and a second magnetic core element; wherein each of the first and second magnetic core elements has a magnetic ferrite block and a magnetic metal thin film coupled to the magnetic ferrite block; and the core elements have a first flat surface and a second flat surface.

Een dergelijke transducentkop is bekend uit de Japanse octrooiaanvrage JP-A-56 169 214 waarbij overspraak kan optreden in het bijzonder in een signaal met grote golflengten door het opnemen van 10 signalen van naburige sporen. Bovendien kan plaatselijk slijtage optreden.Such a transducer head is known from Japanese patent application JP-A-56 169 214 in which cross-talk can occur in particular in a signal with large wavelengths by recording signals from neighboring tracks. Moreover, local wear may occur.

De onderhavige uitvinding beoogt bovengenoemde problemen te vermijden en een transducentkop te verschaffen die voordelig in grote getale kan worden geproduceerd, en/of die geschikt is voor het met hoge dichtheid registreren op een magneetband met een hoge coërcive kracht (Hc), van belang zijn voorts de uniforme filterkarakteristieken in de nabijheid van de magneetspleet.It is an object of the present invention to avoid the above-mentioned problems and to provide a transducer head which can advantageously be produced in large numbers, and / or which is suitable for recording with high density on a magnetic tape with a high coercive force (Hc). the uniform filter characteristics in the vicinity of the magnetic gap.

15 Dit bovengenoemde doel wordt bereikt, doordat - de magnetische metalen dunne film op het tweede vlakke oppervlak is aangebracht en met zijn rand naar het eerste vlakke oppervlak wijst, waarbij het tweede vlakke oppervlak ten opzichte van het eerste vlakke oppervlak schuin staat, - de eerste en tweede kernelementen zodanig met elkaar zijn verbonden dat een magnetische workings·. 20 spleet (g) tussen de genoemde rand van de magnetische metalen dunne film op het eerste kernelement en de genoemde rand van de magnetische metalen dunne film op het tweede kernelement is gevormd, waarbij de magnetische metalen dunne film op het eerste kernelement en de magnetische metalen dunne film op het tweede kernelement in een gemeenschappelijk vlak liggen, en dat - door het eerste en het tweede kernelement er een gemeenschappelijk contactoppervlak gevormd is, 25 waarmee een bewegend magnetisch registratiemedium in contact kan worden gebracht.This above-mentioned object is achieved in that - the magnetic metal thin film is applied to the second flat surface and points with its edge to the first flat surface, the second flat surface being inclined with respect to the first flat surface, - the first and second core elements are connected to each other such that magnetic workings. A gap (g) is formed between said edge of the magnetic metal thin film on the first core element and said edge of the magnetic metal thin film on the second core element, the magnetic metal thin film on the first core element and the magnetic metals thin film lie on the second core element in a common plane, and that a common contact surface is formed by the first and the second core element with which a moving magnetic recording medium can be brought into contact.

Voorts verschaft de onderhavige uitvinding een werkwijze voor het vervaardigen van een magnetische transducentkop omvattende de volgende etappen: - het prepareren van een paar magnetische ferrietblokken, het vormen van een groef, het opbrengen van een magnetisch metalen dunne film en het verbinden van de ferrietblokken, gekenmerkt door de volgende 30 stappen: A) het prepareren van een paar magnetische ferrietblokken, waarvan elk een eerste en een tweede naburig oppervlak vertoont, B) het vormen van een eerste groef aan de rand van de eérste en tweede oppervlakten en wel zodanig dat de eerste groef zich verbreedt naar het eerste en tweede oppervlak, 35 C) het vormen van een tweede groef aan de genoemde rand in de nabijheid van de eerste groef, waarbij de tweede groef een derde oppervlak dat naburig is aan de eerste groef bezit waarbij het derde oppervlak ten opzichte van het tweede oppervlak schuin staat en een door het tweede oppervlak aan het derde oppervlak gevormde lijn loodrecht ten opzichte van het eerste oppervlak verloopt, D) het opbrengen van een magnetisch metalen dunne film op het oppervlak door vacuüm neerslag, 40 E) het slijpen van een zijde van het tweede oppervlak om een rand van de magnetisch metalen dunne film bloot te leggen resp. te vormen, F) het vormen van een derde groef voor het opnemen van een spoelwikkeling door ten minste een van de ferrietblokken, Q) het verbinden van de ferrietblokken om een magnetische spleet (g) tussen de randen van de magne-45 tisch metalen dunne film op de genoemde ferrietblokken te verkrijgen.The present invention further provides a method for manufacturing a magnetic transducer head comprising the following steps: - preparing a pair of magnetic ferrite blocks, forming a groove, applying a magnetic metal thin film and connecting the ferrite blocks, characterized by the following steps: A) preparing a pair of magnetic ferrite blocks, each of which has a first and a second adjacent surface, B) forming a first groove on the edge of the first and second surfaces, such that the first groove extends to the first and second surface, C) forming a second groove at said edge in the vicinity of the first groove, the second groove having a third surface adjacent to the first groove with the third surface is inclined with respect to the second surface and a line formed by the second surface on the third surface is perpendicular t and extends relative to the first surface, D) applying a magnetic metal thin film to the surface by vacuum deposition, 40 E) grinding a side of the second surface to expose an edge of the magnetic metal thin film respectively . F) forming a third groove for receiving a coil winding through at least one of the ferrite blocks, Q) connecting the ferrite blocks around a magnetic gap (g) between the edges of the magnetic metal thin obtain a film on said ferrite blocks.

Op zichzelf zijn twee ten opzichte van elkaar onder een hoek staande oppervlakken bekend uit de Japanse octrooiaanvrage JP-A-56 124 111. Deze transducentkop ontbeert echter de met de ferrietblokken verbonden magnetisch metalen dunne film.Two surfaces that are at an angle to each other are known per se from Japanese patent application JP-A-56 124 111. However, this transducer head lacks the magnetic metal thin film connected to the ferrite blocks.

In de Japanse octrooiaanvrage JP-A-58 175 122 wordt een metallisch magnetisch materiaal direct met 50 ferriet verbonden teneinde de afwijking in de dimensionale nauwkeurigheid tussen de koppen te verminderen.In Japanese Patent Application JP-A-58 175 122, a metallic magnetic material is directly connected to 50 ferrite in order to reduce the deviation in the dimensional accuracy between the heads.

Bij toeneming van registreerdichtheid op magnetische banden die gebruikt worden als registreermedia voor videobandrecorders (VTR’s), worden magnetische banden met een grote overblijvende fluxdichtheid Br en een grote coërcive kracht Hc, bijvoorbeeld magnetische metaalbanden, waarbij magnetisch metaalpoeder 55 in een laag is aangebracht op een niet-magnetisch substraat met behulp van een bindmiddel voor het vormen van een magnetische registreerlaag, in toenemende aantallen toegepast. Wanneer de magnetische transducentkop gebruikt moet worden bij de metaalband, moet de magnetische veldsterkte van de 194772 2 magnetische spleet van de kop verhoogd worden om de grote coêrcive kracht van de band te kunnen verwerken. Het is ook noodzakelijk de spoorbreedte van de magnetische transducentkop te verminderen bij verhoging van registreerdichtheid. Er zijn bekende, verscheidene magnetische transducentkoppen ontworpen om aan deze vereisten te voldoen, zoals de magnetische transducentkop met de in figuur 1 5 weergegeven smalle spoorbreedte. Het grootste deel van de magnetische, in figuur 1 transducentkop is gevormd uit glas of dergelijk non-magnetisch materiaal 1A, 1B, en een ferromagnetisch metalen, dunne film 2 met een gelijke dikte als de spoorbreedte is centraal ten opzichte van de magnetische kop tussen deze non-magnetische materialen gesandwitched. Deze film 2 wordt vervaardigd door het vormen van een · legering met een grote permeabiliteit zoals Sendust (Fe-AI-Si legeringen) op het niet-magnetische materiaal 10 1A in de vorm van een kernhelft door fysische dampneerslag, zoals sputteren. Hoewel de spoorbreedte op deze wijze verminderd kan worden, wordt de magnetische fluxlijn slechts door de metalen dunne film 2 gedefinieerd en wordt zodoende de bedrijfsefficiëntie verminderd vanwege verhoogde magnetische weerstand. De metalen dunne film 2 dient gevormd te worden tot een filmdikte, die gelijk is aan de spoorbreedte door fysische dampneerslag zoals sputteren. Zodoende is de vervaardiging op de magneti-15 sche kop aanzienlijk tijdrovend gezien de lage neerslagsnelheid die met fysische dampneerslag bereikt kan worden. Daar de film 2 op een groot oppervlak gevormd moet worden, is het aantal eenheden dat door een sputtereenheid behandeld kan worden noodzakelijkerwijs gelimiteerd, zodat de. koppen niet efficient in massa's geproduceerd kunnen worden. De metalen films 2 van extreem kleine filmdikte worden met elkaar in contact geplaatst voor de vorming van de magnetische spleet van de magnetische transducentkop, met 20 het resultaat dat nauwkeurigheid qua spleetgrootte en daardoor de bedrijfszekerheid verminderd worden.As recording density increases on magnetic tapes used as video tape recorder (VTRs) recording media, magnetic tapes with a large residual flux density Br and a large coercive force Hc, e.g. magnetic metal tapes, magnetic metal powder 55 being coated on a staple magnetic substrate using a binder to form a magnetic recording layer, used in increasing numbers. When the magnetic transducer head is to be used with the metal band, the magnetic field strength of the 194772 2 magnetic gap of the head must be increased to handle the large coercive force of the band. It is also necessary to reduce the track width of the magnetic transducer head with increasing recording density. Known, various magnetic transducer heads have been designed to meet these requirements, such as the magnetic transducer head with the narrow track width shown in FIG. The majority of the magnetic transducer head in Figure 1 is formed from glass or similar non-magnetic material 1A, 1B, and a ferromagnetic metal, thin film 2 of the same thickness as the track width is central to the magnetic head between these non-magnetic materials are switched. This film 2 is produced by forming a high permeability alloy such as Sendust (Fe-Al-Si alloys) on the non-magnetic material 10A in the form of a core half by physical vapor deposition, such as sputtering. Although the track width can be reduced in this way, the magnetic flux line is defined only by the metal thin film 2, and thus the operating efficiency is reduced due to increased magnetic resistance. The metal thin film 2 should be formed into a film thickness that is equal to the track width by physical vapor deposition such as sputtering. Thus, manufacture on the magnetic head is considerably time-consuming in view of the low precipitation rate that can be achieved with physical vapor deposition. Since the film 2 must be formed on a large surface, the number of units that can be treated by a sputtering unit is necessarily limited, so that the. heads cannot be efficiently produced in masses. The extremely low film thickness metal films 2 are placed in contact with each other to form the magnetic gap of the magnetic transducer head, with the result that accuracy in gap size and thereby reliability is reduced.

De in figuur 2 getoonde magnetische transducentkop is op een zodanige wijze vervaardigd, dat, voor het verhogen van de magnetische veldsterkte van de magnetische spleet, ferromagnetisch metalen dunne films 4 zoals Sendust aan de magnetische spleet zijn gevormd, en zodoende oppervlakken van de kemhelften van ferromagnetische oxiden vormen door gebruik van een fysische dampneerslag, zoals sputteren, en dat 25 de kemhelften onderling worden gekoppeld door het glas 5. Hoewel de magnetische weerstand van de magnetische transducentkop van figuur 2 die gevormd is uit het samengestelde magnetische materiaal, lager gemaakt kan worden dan in het geval van de in figuur 1 getoonde transducentkop, zijn de films 4 gevormd In een richting loodrecht op de magnetische fluxlijn, zodat het terugspeeluitgangssignaal wordt verlaagd vanwege eddy-stroomverliezen. Additionele spleten kunnen ook worden gevormd tussen de 30 ferromagnetische oxidekernen 3 en de metalen magnetische films 4, welke zodoende de bedrijfszekerheid van de transducentkop verminderen.The magnetic transducer head shown in Figure 2 is constructed in such a way that, to increase the magnetic field strength of the magnetic gap, ferromagnetic metal thin films 4 such as Sendust are formed on the magnetic gap, and thus surfaces of the core halves of ferromagnetic oxides form by using a physical vapor deposition, such as sputtering, and that the core halves are mutually coupled through the glass 5. Although the magnetic resistance of the magnetic transducer head of Figure 2 formed from the composite magnetic material can be made lower than in the case of the transducer head shown in Figure 1, the films 4 are formed in a direction perpendicular to the magnetic flux line, so that the playback output signal is lowered due to eddy current losses. Additional gaps can also be formed between the ferromagnetic oxide cores 3 and the metal magnetic films 4, thus reducing the reliability of the transducer head.

Ook bekend is een magnetische transducentkop die gevormd is uit samengesteld magnetisch materiaal, en waarvan het de magnetische spleet vormende oppervlak schuin staat ten opzichte van het oppervlak dat de ferromagnetisch metalen film vormt Figuur 3 laat bij voorbeeld in bovenaanzicht het aangrijpoppenriak 35 met de magneetband van de magnetische transducentkop zien.Also known is a magnetic transducer head made of composite magnetic material, the surface of which forms the magnetic gap obliquely with respect to the surface that forms the ferromagnetic metal film. Figure 3 shows, for example, a top view of the engagement doll rack 35 with the magnetic tape of the magnetic transducer head.

De in figuur 3 getoonde magnetische transducentkop omvat kemhelften of kernelementen 150,151 die uit ferromagnetische oxiden zoals Mn-Zn-ferriet, gevormd zijn. Ferromagnetisch metalen dunne films 155, 156 zoals Sendust zijn aan beide zijden en schrijlings van de ferrietdelen 153,154 die uitsteken naar een de magnetische spleet 152 vormend oppervlak, aangebracht. Het nummer 157 verwijst naar een stuk 40 versterkt glasmateriaal. De magnetische spleet van de kop wordt gevormd door de dunne films 155,156 van een ferromagnetisch metalen materiaal dat aangebracht is in de nabijheid van de uiteinden van de uitstekende ferrietdelen 153,154. Door deze films 155,156 van het ferromagnetisch metalen materiaal is de groeirichting van de zuilvormige korrelstructuur bij de uiteinden van de uitstekende ferrietdelen 153,154 verschillend van die bij de schuine zijden daarvan, één en ander zodanig, dat de kristallen aan beide, zijden 45 parallel en uniform met een constante hoek ten opzichte van de zijden groeien, terwijl de kristalgroei aan de uiteinden in een waaiervorm is, dat wil zeggen dat de kristallen uit elkaar worden gespreid naar hun ' afgelegen einden toe. Het resultaat is, dat de magnetische permeabiliteit van de ferromagnetische, aan de uiteinden gevormde dunne films 155,156 wordt verlaagd met dienovereenkomstig verlaagde registreer· karakteristieken en terugspeeluitgangssignaal van de magneetkop.The magnetic transducer head shown in Figure 3 comprises core halves or core elements 150,151 formed from ferromagnetic oxides such as Mn-Zn ferrite. Ferromagnetic metal thin films 155, 156 such as Sendust are arranged on both sides and astride of the ferrite parts 153, 154 which project to a surface forming the magnetic gap 152. The number 157 refers to a piece of 40 reinforced glass material. The magnetic gap of the head is formed by the thin films 155,156 of a ferromagnetic metal material disposed in the vicinity of the ends of the protruding ferrite parts 153,154. Due to these films 155,156 of the ferromagnetic metal material, the direction of growth of the columnar grain structure at the ends of the projecting ferrite parts 153,154 is different from that at the oblique sides thereof, such that the crystals on both sides 45 are parallel and uniform with grow a constant angle with respect to the sides, while the crystal growth at the ends is in a fan shape, that is, the crystals are spread apart toward their distant ends. The result is that the magnetic permeability of the ferromagnetic thin film 155,156 formed at the ends is lowered with correspondingly lowered recording characteristics and playback output signal from the magnetic head.

50 Het zou de moeite waard zijn, te weten of de oppervlaktecondities van bij voorbeeld het ferrietsubstraat-oppervlak het filmvormproces beïnvloeden, wanneer de ferromagnetische metalen dunne film wordt gevormd door fysische dampneerslag op het ferrietsubstraat *It would be worth knowing whether the surface conditions of, for example, the ferrite substrate surface influence the film forming process, when the ferromagnetic metal thin film is formed by physical vapor deposition on the ferrite substrate *

In het algemeen wordt een dunne, door een fysisch dampneerslagsproces gevormde magnetische film op bekende wijze beïnvloed door de onderiaagcondities. Behalve de kristalstructuur van het substraat en 55 van de onderiaagfilm die gevormd is als een extreem dunne onderlaag op het substraat, zijn ook de geometrische configuratie en uniformiteit van het substraatoppervlak opmerkenswaardig.In general, a thin magnetic film formed by a physical vapor deposition process is influenced in a known manner by the sub-layer conditions. In addition to the crystal structure of the substrate and 55 of the bottom layer film that is formed as an extremely thin substrate on the substrate, the geometric configuration and uniformity of the substrate surface are also noteworthy.

Figuur 4A is een met een aftast-elektronenmicroscoop (SEM) genomen foto van een tweelagige 3 194772Fig. 4A is a photograph taken with a scanning electron microscope (SEM) of a two-layer 3 194772

Sendust-film die door sputteren op het ferrietsubstraat met een Si02-film van 500A dikte tussen de Sendustlagen is gevormd. Deze figuur toont, samen met een SEM-foto van figuur 5A het effect van de ferrietsubstraatoppervlak-configuraties op de filmformatie. Figuren 4B en 5B zijn schetsen die slechts de belangrijkste, in de foto's van figuren 4A, resp. 5A verschijnende kenmerken tonen.Sendust film formed by sputtering on the ferrite substrate with an SiO2 film of 500A thickness between the Sendust layers. This figure, together with an SEM photograph of Figure 5A, shows the effect of the ferrite substrate surface configurations on the film formation. Figures 4B and 5B are sketches which are only the most important ones, in the photos of Figures 4A, resp. 5A show appearing features.

5 Figuur 4A toont de op een vlak ferrietsubstraatoppervlak gevormde Sendustfilm. Zoals te zien is in deze foto, zijn de op het vlakke oppervlak gevormde Sendustfilmoppervlakken 159A, 159B uniform en is de groei van de zuilvormige korrelstructuur van de in doorsneden 160A, 160B verschijnende kristallen van de Sendustfilm uniform en strekt deze zich parallel aan de dikte van de film uit. In deze foto, is de gebroken doorsnede niet alleen van de Sendustfilm, maar ook van het ferrietsubstraat genomen en wordt de 10 gebroken doorsnede in beeld gebracht met de aftast-elektronenmicroscoop vanuit een scheve richting. Op de doorsnede van het ferrietsubstraat 161 is de doorsnede 160A van de eerste Sendustlaag gevolgd door de doorsnede 160B van de tweede Sendustlaag te zien. De filmoppervlakken 159A, 150B behoren tot de eerste resp. tweede Sendustlaag. De aan het oppervlak 159B van de tweede Sendustlaag verschijnende dunne lijnen vertegenwoordigen micro-lijnoneffenheden op het gepolijste-oppervlak van de naar de 15 Sendustfilm toe verbreide ferrietplak en deze beïnvloeden de magnetische permeabiliteit van de film niet De foto wordt op zijn kop getoond, dat wil zeggen met de bovenzijde naar beneden en omgekeerd.Figure 4A shows the Sendust film formed on a flat ferrite substrate surface. As can be seen in this photograph, the Sendust film surfaces 159A, 159B formed on the flat surface are uniform and the growth of the columnar grain structure of the crystals of the Sendust film appearing in sections 160A, 160B and extends parallel to the thickness of the movie. In this photograph, the broken cross-section is not only taken from the Sendust film, but also from the ferrite substrate and the broken cross-section is imaged with the scanning electron microscope from an oblique direction. The cross-section of the ferrite substrate 161 shows the cross-section 160A of the first Sendust layer followed by the cross-section 160B of the second Sendust layer. The film surfaces 159A, 150B belong to the first resp. second Sendust layer. The thin lines appearing on the surface 159B of the second Sendust layer represent micro-line irregularities on the polished surface of the ferrite slice widened toward the Sendust film and do not affect the magnetic permeability of the film. The photo is shown upside down, i.e. say with the top down and vice versa.

Figuur 5A toont de op een onregelmatig oppervlak van het ferrietsubstraat gevormde Sendustfilm. De foto toont het onregelmatige oppervlak 162 van de Sendustfilm overeenkomstig met het originele onregelmatige oppervlak van het ferrietsubstraat. Dit is een aanwijzing voor de vergelijkende groei van de 20 kristalkorreis die niet wordt waargenomen, indien de kristallen op een glad vlak oppervlak kunnen groeien. Ook is de richting van de zuilvormige kristalgroei niet parallel, zoals te zien is in een doorsnede 163 van de Sendustfilm, maar is de zuilvormige kristalgroei uitgespreid in een waaiervorm op de uitstekende delen van het ferrietsubstraat. In de onderhavige SEM-foto, is de gebroken doorsnede niet slechts van de Sendustfilm maar ook van het ferrietsubstraat genomen en de kijkrichting is vanaf de schuine onderzijde. Een Sendust-25 filmdoorsnede 163 is te zien boven een ferrietsubstraatdoorsnede 164. Een grenslijn 164A tussen de . doorsneden 163,164 stelt een uitstekend deel op het ferrietsubstraatoppervlak voor.Figure 5A shows the Sendust film formed on an irregular surface of the ferrite substrate. The photograph shows the irregular surface 162 of the Sendust film corresponding to the original irregular surface of the ferrite substrate. This is an indication of the comparative growth of the crystal travel that is not observed if the crystals can grow on a smooth flat surface. Also, the direction of columnar crystal growth is not parallel, as can be seen in a section 163 of the Sendust film, but the columnar crystal growth is spread in a fan shape on the projecting portions of the ferrite substrate. In the present SEM photograph, the broken cross-section is not only taken from the Sendust film but also from the ferrite substrate and the viewing direction is from the oblique underside. A Sendust-25 film section 163 can be seen above a ferrite substrate section 164. A boundary line 164A between the. sections 163,164 represent a protruding portion on the ferrite substrate surface.

De op het ferrietsubstraat met uitsparingen en uitsteeksels gevormde Sendustfilm vertoont een verschillende richting van zuilvormige kristalgroei al naar gelang de helling van de uitsparingen. Zodoende zijn de richting en grootte van de zuilvormige kristallen verschillend al naar gelang het profiel en de helling van de 30 bodem van de substraatuitsparing. Het Sendustfilmoppervlak 162 wordt ook verstoord en de kristalstructuur van de film verschilt aanzienlijk bij verschillende helling op de bodem van de uitsparing. Dergelijke verschillen in de kristalkorrelstructuur nemen grote verschillen in de magnetische permeabiliteit van de Sendustfilm voor hun rekening. De foto in deze figuur is opnieuw in een op-zijn-kop-staande positie genomen.The Sendust film formed on the ferrite substrate with recesses and protrusions shows a different direction of columnar crystal growth depending on the slope of the recesses. Thus, the direction and size of the columnar crystals are different depending on the profile and the slope of the bottom of the substrate recess. The Sendust film surface 162 is also disturbed and the crystal structure of the film differs considerably with different slope at the bottom of the recess. Such differences in the crystal grain structure account for large differences in the magnetic permeability of the Sendust film. The photo in this figure has again been taken in an upside-down position.

35 Opgemerkt wordt, dat, daar zowel magnetische permeabiliteit als anisotrope eigenschappen (de richting van gemakkelijke magnetisatie) van een ferromagnetische film aanmerkelijk afhangt van de filmstructuur, het gewenst is, dat de magnetische film die een magnetische transducentkop, in het bijzonder één die gebruikt wordt voor magnetisch opnemen en afspelen, vormt, uniform is in structuur. Het is bij voorbeeld vereist, dat zuilvormige kristallen van de bovengenoemde Sendustfilm uniform en in één richting moeten groeien. Zou 40 de oriëntatie van de kristalgroei niet uniform zijn in een magnetisch film, dan zou een deel van de film de juiste magnetische eigenschappen hebben, terwijl het overblijvende deel daarvan Inferieure magnetische eigenschappen (vanwege anisotropie) zou hebben.It is noted that, since both magnetic permeability and anisotropic properties (the direction of easy magnetization) of a ferromagnetic film depend considerably on the film structure, it is desirable that the magnetic film comprising a magnetic transducer head, in particular one used. for magnetic recording and playback, forms, is uniform in structure. For example, columnar crystals of the aforementioned Sendust film are required to grow uniformly and in one direction. If the orientation of the crystal growth were not uniform in a magnetic film, part of the film would have the correct magnetic properties, while the remaining part would have Inferior magnetic properties (due to anisotropy).

In figuur 6 is schematisch de structuur van een Sendustfilm getoond, dat wil zeggen de oriëntatie van de zuilvormige kristalgroei, indien de Sendustfilm is neergeslagen door middel van sputteren op en schrijlings 45 over het uitstekende deel van het in figuur 3 getoonde ferrietsubstraat Het Is te zien in figuur 6, dat zuilvormige kristallen van de Sendustfilm 171 uniform en onderling parallel aan beide zijden 170A van het uitstekende deel 170 groeien, maar dat deze uit elkaar naar de afgelegen einden toe bij een uiteinde 170B worden uitgespreid. Wanneer de op de uiteinden 170B neergeslagen Sendustfilm 171 is afgeslepen voor het vormen van een magnetisch spleetoppervlak 172, is de filmstructuur bij of in de nabijheid van het 50 spleetoppervlak 172 verschillend van die aan de zijden 170A. Zodoende heeft de film 171, met de transducentkop van het samengestelde magnetische materiaal gebruikmakende van de op het uitstekende deel 170 neergeslagen Sendustfilm 171, indien de Sendustfilm 171 op de zijde 170A een hogere magnetische permeabiliteit in de richting van de magnetische fluxlijn bezit, nabij het uiteinde 170B slechts een slechte magnetische permeabiliteit.Figure 6 schematically shows the structure of a Sendust film, i.e. the orientation of the columnar crystal growth, if the Sendust film is deposited by sputtering on and astride 45 over the projecting part of the ferrite substrate shown in Figure 3. in Figure 6, columnar crystals of the Sendust film 171 grow uniformly and mutually parallel to both sides 170A of the protruding portion 170, but that they are spread apart toward the distant ends at an end 170B. When the Sendust film 171 deposited on the ends 170B is ground to form a magnetic slit surface 172, the film structure at or in the vicinity of the slit surface 172 is different from that on the sides 170A. Thus, with the transducer head of the composite magnetic material using the Sendust film 171 deposited on the projecting portion 170, if the Sendust film 171 on the side 170A has a higher magnetic permeability toward the magnetic flux line, the film 171 has near the end 170B only poor magnetic permeability.

55 In plaats van bij voorbeeld een Sendustfilm op en schrijlings over het uitstekende deel van het ferrietsubstraat te doen neerslaan, is het ook uitvoerbaar de Sendustfilm 177 slechts op één zijde van het uitstekende deel 175 te doen neerslaan, bij voorbeeld door middel van sputteren, waarbij een maskeerplaat 176 wordt 194772 4 geplaatst om de andere zijde van het uitstekende deel 175 te bedekken. De maskeerplaat 176 geeft echter aanleiding tot een schaduweffect, daar een plaatdikte van meer dan verscheidene tientallen microns vereist is met betrekking tot het hanteren, tot de maskeeroplijning en vanwege vormvereisten. Vanwege het schaduweffect is de filmstructuur van de in de nabijheid van het uiteinde 175B van het uitstekende deel 175 5 gevormde Sendustfilm 177 en de daaruit voortvloeiende magnetische permeabiliteitkarakteristiek verschil· lend van die van de filmstructuur op de zijde 175A. Zodoende, indien de op het uiteinde 175B neergeslagen Sendustfilm 177 is afgevlakt tot een magnetisch spleetoppervlak 178 van de magnetische transducentkop, is het niet mogelijk met deze magnetische kop zowel het filmdeel op het uiteinde 175B als het filmdeel op de zijde 175A met hoge permeabiliteit langs de magnetische fluxlijn toe te rusten.55 Instead of, for example, having a Sendust film deposited astride the protruding part of the ferrite substrate, it is also feasible to cause the Sendust film 177 to be deposited only on one side of the protruding part 175, for example by sputtering, wherein a masking plate 176 is placed 194772 to cover the other side of the projecting portion 175. However, the masking plate 176 gives rise to a shadow effect, since a plate thickness of more than several tens of microns is required with respect to handling, masking alignment, and due to shape requirements. Because of the shadow effect, the film structure of the Sendust film 177 formed in the vicinity of the end 175B of the projecting portion 175 and the resulting magnetic permeability characteristic is different from that of the film structure on the side 175A. Thus, if the Sendust film 177 deposited at the end 175B is flattened to a magnetic gap surface 178 of the magnetic transducer head, it is not possible with this magnetic head both the film part on the end 175B and the film part on the side 175A with high permeability along the magnetic flux line.

10 Het is ook uitvoerbaar het spleetoppervlak verder af te vlakken om zodoende de filmstructuur bij het uiteinde 175b van de Sendustfilm identiek met die bij de zijde 175a te krijgen. In dit geval echter wordt het ferrietdeel blootgesteld aan het magnetische spleetoppervlak 179 vein de magnetische kop met het resulterende ongemak dat een voldoende magnetische registratie niet kan worden verkregen op de spoordelen van de hoge coêrcive kracht bezittende magneetband, zoals metaalband, overeenkomstig met 15 de breedte van het blootgestelde ferrietdeel.It is also feasible to further flatten the slit surface so as to get the film structure at the end 175b of the Sendust film identical to that at the side 175a. In this case, however, the ferrite portion is exposed to the magnetic gap surface 179 in the magnetic head with the resulting inconvenience that a sufficient magnetic recording cannot be obtained on the tracks of the high coercive magnetic tape, such as metal tape, corresponding to the width of the exposed ferrite part.

Figuren 11 en 12 tonen in bovenaanzicht twee andere voorbeelden van het aangrijpoppervlak met de band van de magneetkoppen volgens de stand van de techniek, waarbij het magnetische spleetdeel wordt getoond op een vergrote schaal. Bij de in figuur 11 getoonde magneetkop zijn de Sendustfilms 183 bij voorbeeld slechts aan beide zijden van de naar het de spleetvormende vlakke vlak 180 uitstekende 20 ferrietdelen aangebracht en is het ferrietdeel onbedekt aan het de spleet vormende platte vlak 180. Het nummer 184 verwijst naar een versterkt glasachtig vulmateriaal. Deze magnetische transducentkop maakt gebruik van de op het vlakke oppervlak gevormde Sendustfilm 183 en heeft zodoende geen last van de bovengenoemde non-uniforme filmstructuur. Het magnetisch registreren op een magneetband met een hoge coêrcive kracht Is echter onvoldoende door de breedte van het op het magnetische spleetoppervlak 25 blootgestelde ferrietdeel, en de magnetische registreerkarakteristieken en het terugspeeluitgangssignaal zijn overeenkomstig verlaagd.Figures 11 and 12 show in top view two other examples of the engagement surface with the tape of the magnetic heads according to the prior art, the magnetic slit part being shown on an enlarged scale. With the magnetic head shown in Fig. 11, the Sendust films 183 are provided, for example, only on both sides of the ferrite parts protruding towards the slit-forming plane 180 and the ferrite part is uncovered on the flat plane 180 forming the slit. The number 184 refers to a reinforced glassy filler. This magnetic transducer head uses the Sendust film 183 formed on the flat surface and therefore does not suffer from the above-mentioned non-uniform film structure. However, the magnetic recording on a magnetic tape with a high coercive force is insufficient due to the width of the ferrite part exposed on the magnetic slit surface 25, and the magnetic recording characteristics and the playback output signal are correspondingly lowered.

In de in figuur 12 getoonde magnetische transducentkop is bij voorbeeld een Sendustfilm 187 op ferrietdelen gevormd en op non-magnetisch gleis, dat voorzien is van een hoog smeltpunt bezittende delen 188 van kernelementen 185,186, zodat de kop wordt gevormd uit samengesteld magnetisch materieel, te 30 weten ferriet en Sendust. Het nummer 190 verwijst naar een glas 190 met en smeltpunt lager dan dat van glas 188. De magneetspleet 189 van de magnetische transducentkop wordt gevormd door de delen van de Sendustfilm 187 die zich parallel aan de magnetische fluxlijn uitstrekken, zodat de Sendustfilm 187A in de nabijheid van de magneetspleet 189 een uniforme filmstructuur vertoont. Het Sendustfilmdeel 187b dat overeenkomt met de bocht of knie van de Sendustfilm 187 en dat zich daardoor over twee vlakke opper-35 vlakken uitstrekt, heeft geen uniforme filmstructuur, zodat de Sendustfilm 187 ais geheel niet constant is qua magnetische permeabiliteit. Ook moet bij deze magnetische transducentkop het Sendustfilmdeel 187a van een filmdeeldikte zijn, die overeenkomt met de spoorbreedte. Vanwege de langzame neerslagsnelheid van de film, zoals mogelijk is met de fysische dampneerslag, is het proces van fabricage van de magnetische transducentkop tijdrovend.In the magnetic transducer head shown in Figure 12, for example, a Sendust film 187 is formed on ferrite parts and on non-magnetic slides, which are provided with parts 188 of core elements 185,186 having a high melting point, so that the head is formed from composite magnetic material. know ferrite and sendust. The number 190 refers to a glass 190 with a melting point lower than that of glass 188. The magnetic gap 189 of the magnetic transducer head is formed by the parts of the Sendust film 187 which extend parallel to the magnetic flux line, so that the Sendust film 187A is in the vicinity of the magnetic gap 189 has a uniform film structure. The Sendust film part 187b corresponding to the bend or knee of the Sendust film 187 and therefore extending over two flat surfaces has no uniform film structure, so that the Sendust film 187 is not at all constant in terms of magnetic permeability. Also, with this magnetic transducer head, the Sendust film portion 187a must be of a film portion thickness corresponding to the track width. Because of the slow deposition rate of the film, as is possible with the physical vapor deposition, the process of manufacturing the magnetic transducer head is time-consuming.

40 De reëds eerdergenoemde Japanse octrooiaanvrage JP-A-56 169 214 toont een magnetische transducentkop, waarin, zoals is getoond in figuur 13, overgangsoppervlakken 195,196 van magnetische legerings-films 191,192 en ferrietdelen 193,194 onder een scherpe hoek met betrekking tot het tegenoverliggende oppervlak van de kopspleet 197 staan of ten opzichte van een richting loodrecht op de relatieve bewegingsrichting van het magnetische registreermedium. Bij de in figuur 13 getoonde magnetische transducentkop 45 echter zijn de magnetische legeringsfiims 191,192 onderling tegenover elkaar liggend in andere delen dan de kopspleet 197 aangebracht, zodat overspraak veroorzaakt kan worden, in het bijzonder in het een grote golflengte bezittend signaal door het opnemen van signalen van naburige sporen of de signalen van elk ander spoor, en tot nu toe zijn geen middelen gevonden voor het vermijden hiervan. Bovendien kan ptaatselijke slijtage worden veroorzaakt door de naar één zijrand van de kopschijf versprongen kopspleet 50 197. De magnetische legeringsfiims 191,192 zijn onderling op een zodanige wijze aanliggend, dat de richting van de zuilvormige kristalgroei van de film 191 niet samenvalt met die van de film 192, en uniforme magnetische eigenschappen zijn moeilijk te bereiken met de magneetkop 197.40 The aforementioned Japanese patent application JP-A-56 169 214 shows a magnetic transducer head in which, as shown in Figure 13, transition surfaces 195,196 of magnetic alloy films 191,192 and ferrite parts 193,194 at an acute angle with respect to the opposite surface of the end gap 197 or with respect to a direction perpendicular to the relative direction of movement of the magnetic recording medium. However, in the magnetic transducer head 45 shown in Figure 13, the magnetic alloy films 191, 192 are arranged opposite to each other in parts other than the head gap 197, so that cross-talk can be caused, in particular in the signal having a large wavelength by recording signals from neighboring tracks or the signals of any other track, and so far no means have been found for avoiding them. Moreover, wear may be caused by the head gap 50 197, which is offset to one side edge of the head disk. The magnetic alloy films 191, 192 are mutually abutting in such a way that the direction of the columnar crystal growth of the film 191 does not coincide with that of the film 192 and uniform magnetic properties are difficult to achieve with the magnetic head 197.

Hoewel de kristallijne Sendustfilm hierboven aangegeven is als een voorbeeld van een dunne ferromag-netische film, is een uniforme filmstructuur ook vereist, indien een amorfe legering wordt gebruikt voor het 55 vormen van de dunne film. Daar de film amorf is, gaat het niet om de uniformiteit in de kristalkorrelstructuur, maar om de uniformiteit in de magnetische anisotropie. Indien de amorfe legering op een vlak oppervlak wordt opgedampt voor het vormen van een dunne film, is de magnetische anisotropie hetzelfde over de 5 194772 gehele film. Indien de legering echter schrijlings over een uitstekend deel en over een vlak deel wordt opgedampt, is de magnetische gebiedstructuur of de magnetische permeabiliteit niet uniform.Although the crystalline Sendust film is indicated above as an example of a ferro-magnetic thin film, a uniform film structure is also required if an amorphous alloy is used to form the thin film. Since the film is amorphous, it is not about the uniformity in the crystal grain structure, but about the uniformity in the magnetic anisotropy. If the amorphous alloy is vapor deposited on a flat surface to form a thin film, the magnetic anisotropy is the same over the entire 194,772 film. However, if the alloy is vaporized astride a protruding part and over a flat part, the magnetic region structure or the magnetic permeability is not uniform.

In de tekening tonen: 5 figuren 1 en 2 perspectivische aanzichten die twee voorbeelden van de gebruikelijke magnetische transducentkoppen tonen, figuur 3 een bovenaanzicht dat op vergrote schaal het op de band aangrijpende oppervlak van een gebruikelijke magneetkop toont, figuur 4A een SEM-foto die een kristallijne structuur van een tweelagige, door sputteren op een vlak 10 ferrietsubstraatoppervlak gevormde Sendustfilm, figuur 4B een schets die slechts de in het oog springende kenmerken van de SEM-foto van figuur 4A toont, figuur 5A een SEM-foto, die een kristallijne structuur van de door sputteren op een onregelmatig ferrietsubstraatoppervlak gevormde Sendustfilm toont, 15 figuur 5B een schets, die slechts de in het oog springende kenmerken van de SEM-foto van figuur 5 toont, figuren 6 tot en met 10 schematische doorsnede-aanzichten die het vervaardigingsproces van de gebruikelijke magnetische transducentkop tonen en in het bijzonder de richting van de zuilvormige kristalgroei van, bij voorbeeld, de op uitstekende ferrietdelen gevormde Sendustfilm tonen, 20 figuren 11 en 12 vergrote bovenaanzichten, die aangrijpoppervlakken met de band van de gebruikelijke magnetische transducentkoppen tonen, figuur 13 een vergroot bovenaanzicht dat het aangrijpvlak met de band van een andere conventionele transducentkop toont, figuur 14 een perspectivisch aanzicht, dat een verbeterde magnetische transducentkop toont 25 figuur 15 een vergroot bovenaanzicht dat het aangrijpoppervlak met de band van de in figuur 14. getoonde magnetische transducentkop toont figuur 16 een geëxplodeerd perspectivisch aanzicht van de in figuur 14 getoonde kop, waarbij de figuur op het de kern scheidende vlak is geëxplodeerd, figuren 17 tot en met 23 perspectivische aanzichten die.de achtereenvolgende stappen voor de 30 vervaardiging van de in figuur 14 getoonde magnetische transducentkop tonen, figuren 24 en 25 schematische doorsnede-aanzichten, die de oriëntatie van de zuilvormige kristalgroei van de ferromagnetisch metalen film (Fe-AI-Si legeringsfilm) die op het substraat bij de in figuur 20 respectievelijk figuur 21 getoonde stappen gevormd zijn, tonen, figuur 26 een perspectivisch aanzicht dat een gemodificeerd groefprofiel voor de in figuur 17 getoonde 35 stap toont, figuur 27 een vergroot bovenaanzicht van het aangrijpvlak met de band van de magnetische transducentkop indien het in figuur 26 getoonde groefprofiel wordt toegepast, figuren 28 tot en met 30 vergrote bovenaanzichten van het aangrijpoppervlak met de band van de magnetische transducentkop overeenkomend met de in figuur 26 getoonde modificatie, 40 figuur 31 een perspectivisch aanzicht van een magnetische transducentkop volgens een verder uitvoeringsvoorbeeld, figuur 32 een vergroot bovenaanzicht van het aangrijpvlak met de band van de magnetische transducentkop volgens figuur 31, figuren 33 tot en met 39 perspectivische aanzichten die de achtereenvolgende stappen voor de 45 vervaardiging van de in figuur 31 getoonde transducentkop tonen, figuren 40 en 41 schematische doorsnede-aanzichten die de oriëntatie van de zuilvormige kristalgroei van de ferromagnetische metaalfilm (Fe-AI-Si legeringsfilm) tonen, welke film is gevormd op het substraat bij de in figuur 36 respectievelijk 37 getoonde processtappen, figuren 42 tot en met 48 perspectivische aanzichten die de achtereenvolgende stappen voor de 50 vervaardiging van een magnetische transducentkop yoigens een andere modificatie tonen, figuur 49 een perspectivisch aanzicht dat een magnetische transducentkop toont, welke volgens de in figuren 42 tot 48 getoonde processtappen is vervaardigd.In the drawing: figures 1 and 2 show perspective views showing two examples of the usual magnetic transducer heads, figure 3 shows a top view on an enlarged scale the surface of a conventional magnetic head engaging on the tape, figure 4A a SEM photograph showing a crystalline structure of a two-layered Sendust film formed by sputtering on a flat ferrite substrate surface, figure 4B a sketch showing only the eye-catching features of the SEM photograph of figure 4A, figure 5A a SEM photograph showing a crystalline structure of the Sendust film formed by sputtering on an irregular ferrite substrate surface, Fig. 5B shows a sketch showing only the eye-catching features of the SEM photograph of Fig. 5, Figs. 6 to 10 schematic sectional views showing the manufacturing process of the show conventional magnetic transducer head and in particular the direction of columnar crystal growth of, e.g. For example, the Sendust film formed on protruding ferrite parts, Figs. 11 and 12 show enlarged plan views showing engagement surfaces with the band of the conventional magnetic transducer heads, Fig. 13 an enlarged plan view showing the engagement surface with the band of another conventional transducer head, Fig. 14 is a perspective view showing an improved magnetic transducer head; FIG. 15 is an enlarged plan view showing the engagement surface with the band of the magnetic transducer head shown in FIG. 14. FIG. 16 is an exploded perspective view of the head shown in FIG. 14, wherein FIG. on the core-separating surface, Figures 17 to 23 are perspective views showing the successive steps for manufacturing the magnetic transducer head shown in Figure 14, Figures 24 and 25 are schematic sectional views showing the orientation of the magnetic transducer head columnar crystal growth of the ferromagnetic metal film (Fe-Al-Si alloy film) formed on the substrate at the steps shown in Fig. 20 and Fig. 21, respectively, Fig. 26 shows a perspective view showing a modified groove profile for the step shown in Fig. 17, Fig. 27 is an enlarged plan view of the engagement surface with the band of the magnetic transducer head when the groove profile shown in Fig. 26 is used; Figs. 28 to 30 are enlarged plan views of the engagement surface with the band of the magnetic transducer head corresponding to the one shown in Fig. 26 modification, figure 31 a perspective view of a magnetic transducer head according to a further exemplary embodiment, figure 32 an enlarged top view of the engagement surface with the band of the magnetic transducer head according to figure 31, figures 33 to 39 perspective views showing the successive steps for the 45 manufacture of the getoo shown in FIG n the transducer head, figures 40 and 41 show schematic sectional views showing the orientation of the columnar crystal growth of the ferromagnetic metal film (Fe-Al-Si alloy film), which film is formed on the substrate at the process steps shown in figures 36 and 37, respectively, 42 to 48 show perspective views showing the successive steps for manufacturing a magnetic transducer head, and another modification; FIG. 49 is a perspective view showing a magnetic transducer head made in accordance with the process steps shown in FIGS. 42 to 48.

Met referentie aan de tekeningen worden verscheidene voorkeursuitvoeringsvormen in detail besproken.Various preferred embodiments are discussed in detail with reference to the drawings.

55 . Met referentie allereerst aan figuur 14 wordt een magnetische transducentkop volgens de eerste uitvoeringsvorm beschreven, waarbij een ferromagnetisch metalen dunne film ononderbroken wordt gevormd vanaf de voorzijde of vanaf het de voorspleet vormende oppervlak tot de achterzijde of het de · 194772 6 achterspleet vormende oppervlak van de magnetische transducentkop gevormd.55. Referring first to Figure 14, a magnetic transducer head according to the first embodiment is described, wherein a ferromagnetic metal thin film is formed continuously from the front or from the surface forming the slit to the rear or the surface of the magnetic slit forming the rear-slit transducer head formed.

Deze kop is samengesteld uit uit ferromagnetische oxiden gevormde kernelementen 80,81 bij voorbeeld uit Mn-Zn ferriet. Aan de overgangsoppervlakken van de kernelementen 80,81 zijn metalen dunne films 82 van ferromagnetisch metaal of van metaallegeringen met een hoge permeabiliteit gevormd, zoals Fe-AI-Si 5 legeringen door gebruik van de fysische dampneerslag, zoals sputteren. Deze films 82 zijn ononderbroken gevormd vanaf het de voorspleet vormende oppervlak tot aan het de achterspleet vormende oppervlak. Een magnetische spleet g wordt gevormd slechts door deze dunne films 82. Deze films 82 op de kernelementen 80,81 strekken zich als een schuine rechte lijn uit, gezien vanaf het bandaangrijpoppervlak, indien de kleine dikte van deze films 82 wordt verwaarloosd. De nummers 83, 84 verwijzen naar versterkende non· 10 magnetische secties die zijn gevuld in uitgesneden delen nabij het overgangsoppervlak en ook voor het bepalen van een spoorbreedte Tw worden gebruikt Het nummer 85 verwijst naar een opening voor spoelen.This head is composed of core elements 80.81 formed from ferromagnetic oxides, for example from Mn-Zn ferrite. Metal thin films 82 of ferromagnetic metal or of high-permeability metal alloys, such as Fe-Al-Si alloys, are formed on the transition surfaces of the core elements 80,81 by using the physical vapor deposition, such as sputtering. These films 82 are formed continuously from the surface forming the slit up to the surface forming the slit. A magnetic gap g is formed only by these thin films 82. These films 82 on the core elements 80.81 extend as an oblique straight line, viewed from the tape engagement surface, if the small thickness of these films 82 is neglected. The numbers 83, 84 refer to reinforcing non-magnetic sections that are filled in cut-out portions near the transition surface and are also used to determine a track width Tw. The number 85 refers to an aperture for coils.

De metalen dunne films 82 zijn gevormd op een enkel vlak oppervlak dat gedefinieerd wordt door één schuin oppervlak 80a van het kernelement 80 en door een schuin oppervlak 81a van het kernelement 81.The metal thin films 82 are formed on a single flat surface defined by one slanted surface 80a of the core element 80 and by a slanted surface 81a of the core element 81.

15 Daardoor zijn de metalen dunne films 82 in het geheel van uniforme filmstructuur en vertonen zij een hoge magnetische permeabiliteit in de richting van de magnetische fluxlijn voor het verbeteren van de registreer-karakteristieken en verhoogde terugspeeluitgangssignaal van de magnetische transducentkop.Therefore, the metal thin films 82 are entirely of uniform film structure and exhibit high magnetic permeability in the direction of the magnetic flux line to improve the recording characteristics and increased playback output signal of the magnetic transducer head.

Het de dunne films 82 bepalende oppervlak vormt een scherpe hoek Θ met het de magnetische spleet g vormende oppervlak, zoals dat getoond is in figuur 15 die het aangrijpvlak met de magneetband in 20 bovenaanzicht toont In de onderhavige uitvoeringsvorm wordt de hoek Θ gekozen met een relatief kleine waarde van ongeveer 45°, zodat de interactie van de magneetspleet g met het scheidingsvlak tussen de schuine oppervlakken 80a, 81a en de dunne films 82 verwaarloosbaar is.The surface defining the thin films 82 forms an acute angle Θ with the surface forming the magnetic gap g, as shown in Fig. 15, which shows the engagement surface with the magnetic tape in top view. In the present embodiment, the angle Θ is selected with a relative small value of about 45 °, so that the interaction of the magnetic gap g with the interface between the oblique surfaces 80a, 81a and the thin films 82 is negligible.

De neergeslagen metalen dunne films 82 behoeven slechts vah een filmdikte t te zijn, zodat t = Tw sin Θ 25 waarbij Tw een spoorbreedte voorstelt en een hoek tussen het de metalen dunne film bepalende oppervlak en het de magnetische spleet bepalende oppervlak voorstelt Het resultaat is dat de film niet behoeft te worden neergeslagen tot een dikte die gelijk is aan de spoorbreedte en zodoende wordt de voor de vervaardiging van de magnetische transducentkop vereiste tijd aanzienlijk teruggebrachtThe deposited metal thin films 82 need only be of a film thickness t, so that t = Tw sin waarbij 25 where Tw represents a track width and an angle between the surface defining the metal thin film and the surface defining the magnetic gap. The result is that the film does not have to be deposited to a thickness equal to the track width and thus the time required for the manufacture of the magnetic transducer head is considerably reduced

Opgemerkt zij, dat de hoek Θ van 45° tussen het de films 82 bepalende oppervlak en het de magnetische 30 spleet g bepalende oppervlak niet tot die waarde beperkt is en ook een waarde in het gebied van ongeveer 20° tot ongeveer 80° kan bedragen. Niettegenstaande dat, wordt aan een hoek van meer dan 30° de voorkeur gegeven, daar overspraak met'het naburige spoor wordt vermeerderd met een hoek die minder dan 20° bedraagt. De hoek Θ kleiner dan ongeveer 80° heeft de voorkeur, daar slijtweerstand afneemt met de hoek gelijk aan 90°. De hoek Θ gelijk aan 90° heeft eveneens niet de voorkeur, daar de dikte van de 35 dunne film 82 van het ferromagnetisch metaal niet gelijk behoeft te zijn aan de spoorbreedte die aanleiding geeft tot de non-uniforme filmstructuur en de tijdrovende operatie vein het vormen van de dunne film in vacuüm, zoals hierboven is beschreven.It is to be noted that the angle Θ of 45 ° between the surface defining the films 82 and the area defining the magnetic gap g is not limited to that value and may also be a value in the range of about 20 ° to about 80 °. Notwithstanding that, an angle of more than 30 ° is preferred, since cross-talk with the neighboring track is increased by an angle that is less than 20 °. The angle Θ smaller than about 80 ° is preferred, as wear resistance decreases with the angle equal to 90 °. The angle Θ equal to 90 ° is also not preferred, since the thickness of the ferromagnetic metal thin film 82 need not be equal to the track width that gives rise to the non-uniform film structure and the time-consuming molding operation of the thin film in vacuum as described above.

De metalen dunne films 82 kunnen gevormd worden uit ferromagnetische metalen, omvattende Fe-AI-SI legeringen, Fe-AI legeringen, Fe-Si legeringen, Fe-Si-Co legeringen, Ni-Fe legeringen (zogenoemde 40 permlegeringen), ferromagnetische amorfe metaallegeringen, of zogenoemde amorfe legeringen, zoals metaal-metaloïd amorfe legeringen, bij voorbeeld een legering van één of meer uit de groep van Fe, NI en Co gekozen elementen met één of meer van de groep van P, C, B en Si gekozen elementen, of een legering bestaande in hoofdzaak uit de eerstgenoemde legering en bevattende Al, Ge, Be, Sn, In, Mo, W,The metal thin films 82 can be formed from ferromagnetic metals, comprising Fe-AI-SI alloys, Fe-AI alloys, Fe-Si alloys, Fe-Si-Co alloys, Ni-Fe alloys (so-called 40 perm alloys), ferromagnetic amorphous metal alloys or so-called amorphous alloys such as metal-metaloid amorphous alloys, for example an alloy of one or more elements selected from the group of Fe, NI and Co with one or more elements selected from the group of P, C, B and Si, or an alloy consisting essentially of the first-mentioned alloy and containing Al, Ge, Be, Sn, In, Mo, W,

Ti, Mn, Cr, Zr, Hf of Nb, of een metaal-metaal amorfe legering bestaande uit in hoofdzaak overgangsmetaal-45 elementen en een glas vormende metalen elementen zoals Hf of Zr.Ti, Mn, Cr, Zr, Hf or Nb, or a metal-metal amorphous alloy consisting of substantially transition metal elements and a glass-forming metal elements such as Hf or Zr.

Bij voorkeur is de samenstelling van de Fe-AI*Si legeringen zodanig gekozen, dat de Al bestanddelen in het gebied van 2 tot 10 gewichtsprocent zijn, en de Si bestanddelen in het gebied van 4 tot 15 gewichts-procent zijn, waarbij de rest Fe is. Daardoor heeft het de voorkeur, dat indien de Fe-AI-Si legeringen worden uitgedrukt als 50 Fe a Al b Si c waarbij a, b en c de gewichtsverhouding van de respectievelijk daarbij behorende componenten de waarden a, b en c in het gebied zijn van: 70 £ a £ 95 2 £b έ 10 55 4£C£15Preferably, the composition of the Fe-Al * Si alloys is selected such that the Al components are in the range of 2 to 10 weight percent, and the Si components are in the range of 4 to 15 weight percent, the balance being Fe is. Therefore, it is preferred that if the Fe-Al-Si alloys are expressed as 50 Fe a Al b Si c where a, b and c the weight ratio of the respective components are the values a, b and c in the range from: £ 70 a £ 95 2 £ b έ 10 55 4 £ C £ 15

Indien de Al of Si bestanddelen te weinig of te veel zijn, worden de magnetische eigenschappen van de Fe-AI-Si legeringen verslechterd.If the Al or Si components are too little or too much, the magnetic properties of the Fe-Al-Si alloys are deteriorated.

7 194772 in de bovengenoemde samenstelling kan een gedeelte van Fe worden vervangen door ten minste één van Co en Ni.In the above composition, a portion of Fe can be replaced by at least one of Co and Ni.

De verzadigingsmagnetische-fluxdichtheid kan worden verbeterd door het vervangen van een deel Fe met Co. Bovenal kan de maximale verzadigingsmagnetische-fluxdichtheid Bs worden bereikt wanneer 40 5 gewichtsprocent Fe wordt vervangen door Co. Bij voorkeur is de hoeveelheid Co 0 tot 60 gewichtsprocent ten opzichte van Fe.The saturation magnetic flux density can be improved by replacing a portion of Fe with Co. Above all, the maximum saturation magnetic flux density Bs can be achieved when 40% by weight Fe is replaced by Co. Preferably the amount of Co is 0 to 60% by weight relative to Fe.

Anderzijds kan, door het vervangen van een deel Fe met Ni de magnetische permeabiliteit worden gehandhaafd op een hogere waarde zonder de verzadigingsmagnetische fluxdichtheid Bs te verminderen. In dit geval is de hoeveelheid Ni bij voorkeur in het gebied van 0 tot 40 gewichtsprocent ten opzichte van Fe.On the other hand, by replacing a portion of Fe with Ni, the magnetic permeability can be maintained at a higher value without reducing the saturation magnetic flux density Bs. In this case, the amount of Ni is preferably in the range of 0 to 40% by weight relative to Fe.

10 Andere elementen kunnen ook worden toegevoegd aan de Fe-AI-Si legeringen voor het verbeteren van de corrosie en slijtweerstand. De elementen die als zulke toevoegingen gebruikt kunnen worden, kunnen elementen uit groep lila omvatten, inclusief lanthanides zoals Sc, Y, La, Ce, Nd en Gd, elementen uit groep IVa zoals Ti, Zr of Hf, elementen uit groep Va zoals V, Nb of Ta; elementen uit groep Vla zoals Cr, Mo of W; elementen uit groep Vila zoals Mn, Te of Re; elementen uit groep Ib zoals Cu, Ag of Au, of elementen 15 uit de platinagroep zoals Ru, Rh, Pd, en Ga, In, Ge, Sn, Sb of Bi.Other elements can also be added to the Fe-Al-Si alloys to improve corrosion and wear resistance. The elements that can be used as such additives may include group III elements, including lanthanides such as Sc, Y, La, Ce, Nd and Gd, elements from group IVa such as Ti, Zr or Hf, elements from group Va such as V, Nb or Ta; elements from group Vla such as Cr, Mo or W; elements from group Vila such as Mn, Te or Re; elements from group Ib such as Cu, Ag or Au, or elements from the platinum group such as Ru, Rh, Pd, and Ga, In, Ge, Sn, Sb or Bi.

Als filmvormend proces kan elke bekende fysische dampneerslag worden toegepast, zoals ontladingsop-damping, ionenbekleding, sputteren of een gebundeld ionenstraalproces.As a film-forming process, any known physical vapor deposition can be used, such as discharge vapor deposition, ion coating, sputtering, or a bundled ion-beam process.

Het is bekend, dat bij het produceren van de bovenbeschreven dunne film van een ferromagnetisch metaal door bij voorbeeld sputteren, er een zuilvormige structuur wordt opgewekt in een dunne film van een 20 onder een bepaalde conditie verkregen ferromagnetisch metaal en zodoende een dunne film met excellente magnetische eigenschappen kan worden verkregen. Bovenal wordt in het. algemeen gedacht dat, indien de dunne film van het.ferromagnetische metaal bedoeld is om te worden gebruikt als de samengestelde magnetische kop om de anisotropen van de gevormde film te onderdrukken, er de voorkeur aan wordt gegeven aan het opwekken van de zuilvormige structuur met rechte hoeken met het substraatoppervlak 25 waarop de film is gevormd.It is known that in producing the above-described thin film of a ferromagnetic metal by sputtering, for example, a columnar structure is generated in a thin film of a ferromagnetic metal obtained under a certain condition and thus a thin film of excellent magnetic properties can be obtained. Above all, in the. generally thought that if the ferromagnetic metal thin film is intended to be used as the composite magnetic head to suppress the anisotropes of the formed film, preference is given to generating the columnar structure with right angles with the substrate surface 25 on which the film is formed.

Niettegenstaande dat heeft, bij de op deze wijze verkregen ferromagnetisch metalen dunne film, dat wil zeggen met de zuilvormige structuur die gegroeid is met rechte hoeken op het substraatoppervlak, de kleinste verandering, in sputtercondities of substraatpositie op delicate wijze een invloed op de groei van de zuilvormige structuur hebben, zodat de resulterende dunne film op belangrijke wijze qua magnetische 30 permeabiliteit met daaruit voortvloeiende dispersie in het terugspeeluitgangssignaal van de magnetische transducentkop wordt veranderd.Notwithstanding that, with the ferromagnetic metal thin film obtained in this way, that is, with the columnar structure grown at right angles to the substrate surface, the slightest change in sputtering conditions or substrate position has a delicate effect on the growth of the have a columnar structure, so that the resulting thin film is substantially changed in terms of magnetic permeability with resulting dispersion in the playback output signal of the magnetic transducer head.

Daarom heeft het de voorkeur, indien de metalen dunne film 82 op een zodanige manier wordt aangebracht, dat de richting van de zuilvormige kristalgroei onder een vooraf bepaalde hoek λ van 5° tot 45° schuin staat met betrekking tot een op elk van de schuine vlakke oppervlakken 80A, 81A getrokken 35 loodlijn.Therefore, it is preferable if the metal thin film 82 is applied in such a way that the direction of columnar crystal growth is inclined at a predetermined angle λ of 5 ° to 45 ° with respect to one on each of the inclined plane surfaces 80A, 81A drawn perpendicular.

Indien ervoor wordt gezorgd dat de metalen dunne films 82 op deze wijze met een vooraf gekozen hoek λ met betrekking tot de op de schuine oppervlakken 80A, 81A getrokken loodlijnen groeien, zijn magnetische eigenschappen van het resulterende ferromagnetische metalen dunne films 82 stabiel en superieur, hetgeen resulteert in verbeterde magnetische eigenschappen van de magnetische transducentkop.If it is ensured that the metal thin films 82 grow in this way with a preselected angle λ with respect to the perpendicular drawn on the oblique surfaces 80A, 81A, magnetic properties of the resulting ferromagnetic metal thin films 82 are stable and superior, results in improved magnetic properties of the magnetic transducer head.

40 De hoek die de richting van de zuilvormige kristalgroei van de metalen dunne film 82 maakt met de loodrechte richting op het schuine oppervlak 80A, 81A is bij voorkeur in het gebied van 5° tot 45° voor de beste resultaten.The angle that the direction of columnar crystal growth of the metal thin film 82 makes with the perpendicular direction to the oblique surface 80A, 81A is preferably in the range of 5 ° to 45 ° for best results.

Indien de hoek λ minder dan 5° is, is het terugspeeluitgangssignaal van de magnetische transducentkop sterk fluctuerend, wat daardoor resulteert in een lagere opbrengst snelheid en verhoogde kosten. Indien λ 45 meer dan 45° bedraagt, worden de magnetische eigenschappen van de dunne films 82 drastisch beïnvloed door aanzienlijke verarming tussen de zuilvormige kristallen en oppervlakteruwheid die zodoende het terugspeeluitgangssignaal van de magnetische transducentkop doet verminderen. Met de hoek λ in het gebied van 5° tot 45° is de groei van de zuilvormige kristallen gefixeerd vanwege de schuine inval en worden de magnetische eigenschappen niet merkbaar veranderd met kleine fluctuaties in de sputter-50 condities of verschillen in de substraatpositie. De afwisselende condensatie en verdunning tussen of in de zuilvormige kristallen die opgewekt worden door schuine groei, verspreiden de gedurende het sputteren veroorzaakte spanning, het uitgloeien van de film en de werking van de kop, zodat het terugspeeluitgangssignaal wordt verhoogd, waarbij de uitgangsfluctuaties minder dan ongeveer 2dB zijn.If the angle λ is less than 5 °, the playback output signal from the magnetic transducer head is highly fluctuating, resulting in a lower yield speed and increased costs. If λ 45 is more than 45 °, the magnetic properties of the thin films 82 are drastically affected by substantial depletion between the columnar crystals and surface roughness, thus reducing the playback output signal of the magnetic transducer head. With the angle λ in the range of 5 ° to 45 °, the growth of the columnar crystals is fixed due to the oblique incidence and the magnetic properties are not appreciably changed with small fluctuations in the sputter-50 conditions or differences in the substrate position. The alternating condensation and dilution between or in the columnar crystals generated by oblique growth distributes the stress caused during sputtering, the film annealing and the action of the head, so that the playback output signal is increased, the output fluctuations being less than about 2dB.

Door middel van het regelen van de groeirichting van de ferromagnetische metalen dunne film 82 kan het 55 substraatoppervlak schuin staan ten opzichte van een verdampingsbron, of kan het substraat rondom de -verdampingsbron geplaatst worden, zodat van een schuine richting komende verdampte magnetische deeltjes op het substraat kunnen worden neergeslagen.By controlling the growth direction of the ferromagnetic metal thin film 82, the substrate surface can be oblique with respect to an evaporation source, or the substrate can be placed around the evaporation source, so that evaporated magnetic particles coming from the oblique direction on the substrate can be precipitated.

194772 8194772 8

Hoewel de metalen dunne film 82 is gevormd als een enkele laag door de bovenbeschreven fysische dampneerslag, kan ook een veelvoud van dunne metalen lagen worden gevormd met een elektrisch isolerende film of films zoals Si02, Ta205, Al203, Zr02, of Si3N4 tussen de naburige dunne metalen laag of lagen. Elk gewenst aantal ferromagnetische metalen lagen kan worden gebruikt voor de vorming van de 5 metalen dunne film.Although the metal thin film 82 is formed as a single layer by the above-described physical vapor deposition, a plurality of thin metal layers can also be formed with an electrically insulating film or films such as SiO 2, Ta 2 O 5, Al 2 O 3, ZrO 2, or Si 3 N 4 between the neighboring thin metal layer or layers. Any desired number of ferromagnetic metal layers can be used to form the metal thin film.

Daar de magneetspleet g slechts gevormd is door de metalen dunne films 82 die zijn uitgerust met een hoge magnetische permeabiliteit, heeft de magnetische transducentkop een goede registreerkarakteristiek en een terugspeeluitgangssignaal dat vergelijkbaar is met de magneetband die een hoge coêrcive kracht Hc vertoont, zoals metaalband.Since the magnetic gap g is only formed by the metal thin films 82 which are equipped with high magnetic permeability, the magnetic transducer head has a good recording characteristic and a playback output signal comparable to the magnetic tape exhibiting a high coercive force Hc, such as metal tape.

10 Daar de metalen dunne films 82 op een gezamenlijk vlak oppervlak zoals het schuine oppervlak 80A van het uitstekende deel van het kernelement 80 of op het schuine oppervlak 81A van het uitstekende deel zijn gevormd, is de filmstructuur van de metalen dunne film 82 (Fe-AI-Si legeringsfilm), te weten de oriëntatie van de zuilvormige kristalgroei uniform en niet slechts parallel in de nabijheid van de magneetspleet g maar over het gehele oppervlak van de schuine zijde 80A, 81A. Het resultaat is dat de metalen dunne film 82 in 15 zijn geheel een hoge magnetische permeabiliteit vertoont langs de magnetische fluxlijnen voor het verbeteren van de registreerkarakteristieken en het verhogen van het terugspeeluitgangssignaal van de magnetische transducentkop.Since the metal thin films 82 are formed on a common flat surface such as the oblique surface 80A of the protruding part of the core element 80 or on the oblique surface 81A of the protruding part, the film structure of the metal thin film 82 (Fe AI-Si alloy film), namely the orientation of the columnar crystal growth uniformly and not only parallel in the vicinity of the magnetic gap g but over the entire surface of the oblique side 80A, 81A. The result is that the metal thin film 82 as a whole exhibits high magnetic permeability along the magnetic flux lines to improve the recording characteristics and increase the playback output signal of the magnetic transducer head.

Het aangrijpoppervlak met de band van de magnetische transducentkop is in hoofdzaak gevormd uit ferromagnetische oxiden, waardoor de slijtweerstand van de kop eveneens wordt verbeterd.The engagement surface with the band of the magnetic transducer head is essentially formed from ferromagnetic oxides, thereby also improving the wear resistance of the head.

20 In afwijking van de gebruikelijke praktijk volgens welke ferromagnetische metalen folies met de hand worden toegepast met behulp van glas, organische lijm of anorganische lijm, worden de metalen dunne films 82 aangebracht door fysische dampneerslag, zodat de films homogener zijn en de bedrijfszekerheid van de transducentkop eveneens wordt verbeterd.Contrary to the usual practice according to which ferromagnetic metal foils are applied by hand with the aid of glass, organic glue or inorganic glue, the metal thin films 82 are applied by physical vapor deposition, so that the films are more homogeneous and the reliability of the transducer head is also being improved.

Spoorbreedten in het gebied van enkele tot enkele tientallen microns kunnen gemakkeiijk gevormd 25 worden en een smal spoor kan worden aangebracht aan de kop door het verminderen van het aantal lagen of van de filmdikte van de metalen dunne film 82.Track widths in the range of a few to a few tens of microns can be formed easily and a narrow track can be applied to the head by reducing the number of layers or the film thickness of the metal thin film 82.

De hierboven beschreven magnetische transducentkop kan met voordeel gebruikt worden voor het met een hoge-dichtheid registreren op een magneetband met een hoge coêrcive kracht Hc vanwege de hoge magnetische veldsterkte van de magneetspleet g en het versterkte terugspeeluitgangssignaal.The magnetic transducer head described above can advantageously be used for recording at high density on a magnetic tape with a high coercive force Hc because of the high magnetic field strength of the magnetic gap g and the amplified playback output signal.

30 Voor het verhelderen van de structuur van de magnetische transducentkop volgens de onderhavige uitvoering, zal het vervaardigingsproces daarvan hieronder worden verklaard met referentie aan figuren 17 tot 23.To clarify the structure of the magnetic transducer head according to the present embodiment, the manufacturing process thereof will be explained below with reference to Figures 17 to 23.

Bij het prepareren van de magnetische transducentkop volgens de onderhavige uitvoering, wordt een veelvoud van vee-groeven 91 dwars op het bovenoppervlak van een substraat 90 van ferromagnetische 35 oxiden zoals Mn-Zn ferriet, gevormd met behulp van een ronddraaiende slijpsteen (figuur 17).In preparing the magnetic transducer head according to the present embodiment, a plurality of livestock grooves 91 transverse to the upper surface of a substrate 90 of ferromagnetic oxides such as Mn-Zn ferrite are formed using a rotating grindstone (Figure 17).

Deze groeven 91 kunnen ook veelhoekig in doorsnede zijn en de binnen zijvlakken van deze groeven 91 kunnen in twee of meer stappen gebogen zijn voor het vergroten van de afstand tussen de ferromagneti· sche oxiden en de ferromagnetische metalen dunne film. Met een dergelijk groefprofiel kunnen een hoog uitgangssignaal bezittende magnetische transducentkoppen met minder overspraak in de lange golflengte-40 gebieden worden verkregen, waarbij een groot overgangsoppervlak tussen het ferromagnetische oxide op één kernhelft en de ferromagnetische metalen dunne film op een andere kemhelft wordt onderhouden.These grooves 91 can also be polygonal in section and the inner side faces of these grooves 91 can be bent in two or more steps to increase the distance between the ferromagnetic oxides and the ferromagnetic metal thin film. With such a groove profile, a high output magnetic transducer heads with less cross-talk in the long wavelength regions can be obtained, wherein a large transition area between the ferromagnetic oxide on one core half and the ferromagnetic metal thin film on another core is maintained.

Het profiel van de in figuur 26 getoonde groeven 91 kunnen als voorbeeld worden gebruikt Het aangrijpoppervlak met de band van de resulterende magneetkop is zoals getoond in figuur 27, waarin eindvlakken 80b, 81b van de een spoorbreedte regelende groeven van de kernelementen 80, 81 gebogen 45 zijn in twee stappen, om zodoende in lijn te zijn met het profiel van de groeven 91, dat wii zeggen met een . deel van het binnenzijvlak van een veelhoek.The profile of the grooves 91 shown in Figure 26 can be used as an example. The engagement surface with the band of the resulting magnetic head is as shown in Figure 27, wherein end faces 80b, 81b of the track width grooves of the core elements 80, 81 are bent 45 are in two steps, so as to be in line with the profile of the grooves 91, that is to say with one. part of the inner side surface of a polygon.

Zodoende kan ervoor gezorgd worden, dat er enige afstand tussen de eindvlakken 80B, 81B van de een spoorbreedte regelende groeven en de ferromagnetische metalen dunne films 82 worden onderhouden en kunnen de overspraakcomponenten die ontstaan door het weergeven van de lange golflengtecomponenten 50 verlaagd worden.Thus, it can be ensured that some distance between the end faces 80B, 81B of the track width grooves and the ferromagnetic metal thin films 82 is maintained and the cross-talk components created by displaying the long wavelength components 50 can be lowered.

Voorts staan de eindvlakdelen 80B1f 80B2 of 81B1( 81B2 die de eindvlakken 80B, 81B van de een spoorbreedte regelende groeven bepalen schuin met verschillende hoeken ten opzichte van de azimuthhoek van de magneetspleet g, zodat overspraak met naburige en de volgende sporen wordt verminderd.Furthermore, the end face portions 80B1f 80B2 or 81B1 (81B2 defining the end faces 80B, 81B of the track width adjusting grooves are oblique with different angles to the azimuth angle of the magnetic gap g, so that cross-talk with adjacent and subsequent tracks is reduced.

In het algemeen worden middelen toegepast voor het verlagen van de overspraak tussen de naburige 55 sporen tot een verwaarloosbaar niveau, bij voorbeeld door het registreren van de naburige sporen met verschillende azimuthhoeken voor het verwijderen van het overspraak effect (magneetband in VTR). Niettegenstaande dat ontstaat overspraak tussen de om de andere gelegen sporen met dezelfde azl·· 9 194772 muthhoek. In de onderhavige uitvoeringsvorm staan de eindvlakken 80B, 81B van de spoorbreedte regelende groeven van de kernelementen 80, 81 schuin in twee stappen met verschillende hoeken ten opzichte van de azimuthhoek van de magnetische spleet g, zodat zelfs indien de randen van de eindvlak-delen 80B1( 80B2, 81 B„ 81B2 van de kernelementen 80, 81 in lijn zijn met elk naburig spoor of om het 5 andere spoor, kan signaalopname van elk naburig spoor of van om het andere spoor of overspraak verlaagd worden door azimuthverfies.In general, means are used to reduce the crosstalk between the neighboring 55 tracks to a negligible level, for example, by registering the neighboring tracks with different azimuth angles to remove the cross-talk effect (magnetic tape in VTR). Notwithstanding that, crosstalk arises between the traces located around the other with the same azl · · 9 194772 muth angle. In the present embodiment, the end faces 80B, 81B of the track width adjusting grooves of the core elements 80, 81 are inclined in two steps with different angles to the azimuth angle of the magnetic gap g, so that even if the edges of the end face parts 80B1 (80B2, 81B, 81B2 of the core elements 80, 81 are in line with each neighboring track or every other track, signal recording from each neighboring track or from the other track or cross-talk can be reduced by azimuth reflections.

Figuren 28,29 en 30 tonen in bovenaanzicht het aangrijpvlak met de band volgens gemodificeerde uitvoeringsvormen, waarbij de groef 91 qua profiel is veranderd. Bij deze modificaties, zijn de eindvlakken 80B, 81B van de een spoorbreedte regelende groeven aan beide zijden van de magneetspleet g veranderd 10 qua profiel. In de in figuur 28 getoonde uitvoeringsvorm zijn de eindvlakken 80B, 81B van de op kernelementen 80,81 gevormde een spoorbreedte regelende groeven gevormd als flauw gehelde oppervlakken met knieën 80B„ 80B2,81B1t 81B2. In de figuur 29 getoonde uitvoeringsvorm zijn de eindvlakken 80B, 81B van de een spoorbreedte regelende groeven op de kernelementen 80, 81 gevormd als oppervlakken met knieën 80B1( 80B2 81B1( 81B2 met grotere krommingsstralen bij de knieën. In de in figuur 30 getoonde 15 uitvoeringsvorm zijn de eindvlakken 80B, 81B van de een spoorbreedte regelende groeven op de kernelementen 80, 81 gevormd als oppervlakken met dubbele knieën 80B1f 80B2, 8OB3, 81 Bt, 81 Bs, 81 Bg.Figures 28,29 and 30 show in top view the engagement surface with the belt according to modified embodiments, the groove 91 being changed in profile. With these modifications, the end faces 80B, 81B of the track-width grooves on both sides of the magnetic gap g have changed in profile. In the embodiment shown in Figure 28, the end faces 80B, 81B of the track width adjusting grooves formed on core elements 80.81 are formed as slightly slanted surfaces with knees 80B, 80B2.81B1t, 81B2. In the embodiment shown in Fig. 29, the end faces 80B, 81B of the track width grooves are formed on the core elements 80, 81 as surfaces with knees 80B1 (80B2 81B1 (81B2 with larger radius of curvature at the knees. In the embodiment shown in Fig. 30) The end faces 80B, 81B of the track width adjusting grooves are formed on the core elements 80, 81 as double-knee surfaces 80B1f 80B2, 8OB3, 81 Bt, 81 Bs, 81 Bg.

De eindvlakken van de een spoorbreedte regelende groeven kunnen ook op een zodanige manier gemodificeerd worden, dat het geschuinde oppervlak met de knie verschillende kantelingen in de respectievelijke door de knie verdeelde segmenten heeft, of dat het geschuinde oppervlak meer dan drie knieën 20 heeft.The end faces of the track-width grooves can also be modified in such a way that the angled surface with the knee has different tiltings in the respective segments divided by the knee, or that the angled surface has more than three knees.

Vervolgens wordt een glas met een hoog smeltpunt 92 opgevuld in gesmolten toestand in de groeven 91, waarna het substraatoppervlak glad wordt afgevlakt (figuur 18).A glass with a high melting point 92 is then filled in the molten state in the grooves 91, after which the substrate surface is smoothed off (Figure 18).

Vervolgens wordt een veelvoud van vee-groeven 93 gevormd die zich naast de bovengenoemde vee-groeven 91 bevinden en daarmee niet overlappen. Het binnenwandoppervlak van elke groef 93 maakt 25 een hoek van ongeveer 45° ten opzichte van het substraatbovenoppervlak (figuur 19).Subsequently, a plurality of cattle grooves 93 are formed which are adjacent to the above-mentioned cattle grooves 91 and do not overlap with them. The inner wall surface of each groove 93 makes an angle of about 45 ° with respect to the substrate top surface (Figure 19).

Daarna wordt een ferromagnetische legering, zoals Fe-AI-Si legering, opgedampt op het bovenoppervlak van het substraat 90 met behulp van welke bekende fysische dampneerslag dan ook, zoals sputteren, met .een ionenlaag. bekleden of vacuüm opdampen, waardoor een metalen dunne film 94 in de vee-groeven gevormd wordt (figuur 20).Thereafter, a ferromagnetic alloy, such as Fe-Al-Si alloy, is deposited on the upper surface of the substrate 90 with the aid of any known physical vapor deposition, such as sputtering, with an ion layer. coating or vacuum depositing, thereby forming a metal thin film 94 in the livestock grooves (Figure 20).

30 Vervolgens worden de boven- en vooroppervlakken van het substraat 90 glad afgevlakt en wordt zodoende de metalen dunne film op het oppervlak van het substraat verwijderd (figuur 21).Subsequently, the upper and front surfaces of the substrate 90 are smoothed off and the metal thin film on the surface of the substrate is thus removed (Figure 21).

Voor het vormen van het kernelement op de bindingsgroefzijden worden een groef 95 voor spoelen In de resulterende magnetische transducentkop en een glasvulsei-groef 96 gesneden op het zodoende vervaardigde substraat 90 (figuur 21) voor het verschaffen van een van ferromagnetisch oxide gevormd substraat 35 97 (figuur 22).To form the core element on the bonding groove sides, a coil groove 95 is cut into the resulting magnetic transducer head and a glass filler egg groove 96 on the thus-produced substrate 90 (Figure 21) to provide a substrate 97 formed of ferromagnetic oxide ( Figure 22).

De substraten 90 en 97 worden dan samen opgestapeld door het plaatsen van een magneetafstandlaag daartussen en met de respectievelijke van dé metalen dunne films 94 voorziene vlakke oppervlakken naar elkaar toe wijzend. Glazen staven met een laag smeltpunt worden tot in de groeven voor het spoelen 95 en tot in de glasvulsel-groef 96 voor het smeltend onderling koppelen van het substraat tot in één blok 98 40 gestoken. Op dit moment wordt glas met een laag smeltpunt 99 tot in de overblijvende groeven op de metalen dunne films 94 van het substraat 90, 97 gevuld (figuur 23).The substrates 90 and 97 are then stacked together by placing a magnetic spacer layer between them and with the respective flat surfaces provided with the metal thin films 94 facing each other. Glass rods with a low melting point are inserted into the grooves for rinsing 95 and into the glass-filling groove 96 for melting the substrate together into one block 98 40. At this time, glass having a low melting point 99 is filled into the remaining grooves on the metal thin films 94 of the substrate 90, 97 (Figure 23).

Het blok 98 wordt dan langs de lijnen b-b en b'-b' gesneden voor het verschaffen van een veelvoud van kopplakken.The block 98 is then cut along the lines b-b and b'-b 'to provide a plurality of header slices.

Het aangrijpoppervlak van elke kopschijf met de magneetband wordt dan afgevlakt tot een cilindrisch 45 profiel voor het vervaardig en van de in figuur 14 getoonde magnetische transducentkop. Deze magnetische transducentkop heeft zijn kernelement 80 verkregen van het substraat 90, een ander kernelement 81 verkregen van substraat 90 en een ander kernelement 81 verkregen van substraat 97. De metalen dunne film 82 stemt overeen met de metalen dunne film 94, het non-magnetische vulmateriaal 93 met het glas met een hoog smeltpunt 92 en het non-magnetische vulmateriaal met het glas met een lager smeltpunt 99. De 50 opening voor spoelen 85 komt overeen met de groef voor spoelen 95.The engagement surface of each head disk with the magnetic tape is then flattened into a cylindrical 45 profile for manufacturing and of the magnetic transducer head shown in FIG. This magnetic transducer head has its core element 80 obtained from the substrate 90, another core element 81 obtained from the substrate 90 and another core element 81 obtained from the substrate 97. The metal thin film 82 corresponds to the metal thin film 94, the non-magnetic filler material 93 with the glass with a high melting point 92 and the non-magnetic filler material with the glass with a lower melting point 99. The 50 opening for coils 85 corresponds to the groove for coils 95.

In figuren 24 en 25 zijn doorsneden door het substraat 90 bij de in figuur 20 respectievelijk 21 getoonde stappen genomen voor het illustreren van de filmstructuur van de metalen dunne films 94 (Fe-AI-Si legeringsfilms) of de oriëntatie van de kolomsgewijze kristalgroei. Zoals in deze figuren getoond is, wordt een non-uniforme filmstructuur deel R afgevlakt gedurende de het spleetopperviak slijpende in figuur 21 55 getoonde stap, zodat slechts de metalen dunne film 9.4 met een uniforme filmstructuur overblijft op het schuine oppervlak van de groef 93. Het resultaat is dat de magnetische transducentkop met een hoog en stabiel uitgangssignaal verkregen kan worden, daar elk deel van de op het gezamenlijke vlakke oppervlak 194772 10 gevormde metalen dunne film 82 een hoge permeabiliteit langs de magnetische fluxlijn Kern hebben.In Figures 24 and 25, cross sections through the substrate 90 at the steps shown in Figures 20 and 21, respectively, are taken to illustrate the film structure of the metal thin films 94 (Fe-Al-Si alloy films) or the orientation of column-wise crystal growth. As shown in these figures, a non-uniform film structure portion R is flattened during the step sharpening the slit surface area shown in Figure 21 55, so that only the metal thin film 9.4 with a uniform film structure remains on the sloping surface of the groove 93. The the result is that the magnetic transducer head can be obtained with a high and stable output signal, since each part of the metal thin film 82 formed on the common flat surface 194772 has a high permeability along the magnetic flux line Kern.

Een gemodificeerde uitvoeringsvorm, waarin de ferromagnetisch metalen dunne film slechts in de nabijheid van de magneetspleet is gevormd, wordt hierna verklaard.A modified embodiment in which the ferromagnetic metal thin film is formed only in the vicinity of the magnetic gap is explained below.

Figuur 31 toont in perspectief de magnetische transducentkop volgens de onderhavige modificatie. De 5 magnetische transducentkop is gevormd uit een samengesteld magnetisch materiaal en bestaat uit een paar kernelementen 10,11 van ferromagnetische oxiden zoals Mn-Zn ferriet. In de nabijheid van de magneetspleet g zijn metalen dunne films 14A, 14B van ferromagnetisch metaal of van een een hoge permeabiliteit bezittende metaallegering, zoals Fe-AI-Si legeringen, gevormd door het gebruik van de fysische damp-neerslag zoals sputteren. Non-magnetische pakkingsmaterialen 12A, 12B en 13 zijn gepakt in gegoten staat 10 in de nabijheid van het vlakke oppervlak van de magneetspleet g.Figure 31 shows a perspective view of the magnetic transducer head according to the present modification. The magnetic transducer head is formed from a composite magnetic material and consists of a pair of core elements 10, 11 of ferromagnetic oxides such as Mn-Zn ferrite. In the vicinity of the magnetic gap g, metal thin films 14A, 14B are of ferromagnetic metal or of a metal alloy having a high permeability, such as Fe-Al-Si alloys, formed by the use of the physical vapor deposition such as sputtering. Non-magnetic packing materials 12A, 12B and 13 are packed in cast state 10 in the vicinity of the flat surface of the magnetic gap g.

Opgemerkt wordt, dat het vlakke, de metalen dunne films 14A, 14B vormende oppervlak en het vlakke, de magneetspleet g vormende oppervlak schuin ten opzichte van elkaar staan met een hoek Θ, zoals getoond Is in figuur 32 die het aangrijpvlak met de band van de magnetische transducentkop toont. In de onderhavige uitvoeringsvorm is de hoek Θ ongeveer 45°.It is noted that the planar surface forming the metal thin films 14A, 14B and the planar surface forming the magnetic gap g are inclined with respect to each other at an angle Θ, as shown in Fig. 32 showing the engagement surface with the tape of the magnetic transducer head. In the present embodiment, the angle Θ is approximately 45 °.

15 Daar de metalen dunne films 14A, 14B slechts in de nabijheid van de magneetspleet g zijn gevormd, kan het filmoppervlak worden verkleind met het resultaat dat het aantal eenheidsplakken dat tegelijkertijd vervaardigd kan worden door middel van bij voorbeeld sputteren, aanzienlijk verhoogd kan worden met verbeterde effectiviteit bij massaproductie. Bij verhoging van het aantal magnetische transducentkoppen dat van een eenheidsfilmoppervlak geproduceerd kan worden, kunnen de vervaardigingskosten van de 20 magnetische transducentkoppen verlaagd worden.Since the metal thin films 14A, 14B are formed only in the vicinity of the magnetic gap g, the film surface can be reduced with the result that the number of unit slices that can be produced simultaneously by, for example, sputtering, can be increased considerably with improved effectiveness in mass production. By increasing the number of magnetic transducer heads that can be produced from a unit film surface, the manufacturing cost of the magnetic transducer heads can be reduced.

Vanwege het verkleinde oppervlak van de metalen dunne films 14A, 14B op de kernelementen 10,11 van de ferromagnetische oxiden kan welke spanning dan ook van de metalen dunne films 14A, 14B, welke veroorzaakt wordt door het verschil in de coëfficiënten van thermische uitzetting van de kernelementen en van de metalen dunne films, of resulterende breek- of barstoptreden in de kernelementen 10,11, vermeden 25 worden met verbeterde bedrijfsefficiëntie en opbrengstsnelheid in de vervaardiging van de magnetische transducentkoppen.Because of the reduced surface area of the metal thin films 14A, 14B on the core elements 10,11 of the ferromagnetic oxides, any voltage of the metal thin films 14A, 14B, which is caused by the difference in the coefficients of thermal expansion of the core elements and of the metal thin films, or resulting break or bar stop steps in the core elements 10,11, are avoided with improved operating efficiency and yield speed in the manufacture of the magnetic transducer heads.

De metalen dunne films 14A, 14B van hoge magnetische permeabiliteit die de magneetspleet g bepalen, worden gevormd in de nabijheid van de magneetspleet g, en de achterzijde van de kop wordt gevormd door ferromagnetische oxiden met een groot overgangsoppervlak, zodat de kop een verbeterd bedrijf met minder 30 magnetische weerstand en een hoge gevoeligheid vertoontThe high magnetic permeability metal thin films 14A, 14B which define the magnetic gap g are formed in the vicinity of the magnetic gap g, and the rear of the head is formed by ferromagnetic oxides with a large transition surface, so that the head has improved operation with exhibits less magnetic resistance and a high sensitivity

Daar de magneetspleet g slechts bij de ferromagnetisch metalen dunne film 14A, 14B van hoge magnetische permeabiliteit wordt gevormd, heeft de kop een goede registreerkarakterlstlek en een terugspeeluitgangssignaal dat vergelijkbaar is met magneetbanden met een hoge coëreive kracht zoals metaalband.Since the magnetic gap g is formed only at the ferromagnetic metal thin film 14A, 14B of high magnetic permeability, the head has a good recording character spot and a playback output signal comparable to magnetic tapes with a high coercive force such as metal tape.

35 De metalen dunne film 14A wordt gevormd op een vlak oppervlak op het non-magnetische vulmateriaal 12A en de zijde 10A van het uitstekende deel van het kernelement 10, waarbij de metalen dunne film 148 wordt gevormd op een vlak oppervlak op het non-magnetische vulmateriaal 12B en de zijde 11A van het uitstekende deel van het kernelement 11. Zodoende is de filmstructuur van de oriëntatie van de zuilvormige kristalgroei van de metalen (Fe-AI-Si legeringen) dunne films 14A, 14B uniform en zowel parallel in de 40 nabijheid van de magneetspleet g als op de zijde 10A, 11A. Het resultaat is, dat de metalen dunne films 14A, 14B in hun geheel een hoge magnetische permeabiliteit In de richting van de magnetische fluxlijn vertonen, zodat de registreerkarakteristieken en het terugspeeluitgangsignaal van de magnetische transducentkop aanzienlijk wordt verbeterd.The metal thin film 14A is formed on a flat surface on the non-magnetic filler material 12A and the side 10A of the protruding part of the core element 10, the metal thin film 148 being formed on a flat surface on the non-magnetic filler material 12B and the side 11A of the protruding part of the core element 11. Thus, the film structure of the columnar crystal growth orientation of the metal (Fe-AI-Si alloys) thin films 14A, 14B is uniform and both parallel in the vicinity of the magnetic gap g as on the side 10A, 11A. The result is that the metal thin films 14A, 14B as a whole exhibit high magnetic permeability in the direction of the magnetic flux line, so that the recording characteristics and the playback output signal of the magnetic transducer head is considerably improved.

De achterzijden van de magnetische transducentkop zijn onderling gekoppeld met de ferromagnetische 45 oxiden, zoals Mn-Zn ferriet die onderling aanliggen, zodat een sterke bindkracht kan worden verkregen met verbeterde opbrengstsnelheid, ondanks inferieure bindeigenschappen tussen de metalen dunne films 14a, 14b en de kernelementen 10,11. Er is geen gevaar, dat terugspoorafwijkingen worden veroorzaakt gedurende het vervaardigen, wat zodoende resulteert in een verhoogde bedrijfsbetrouwbaarheid van de magnetische transducentkop.The rear sides of the magnetic transducer head are interconnected with the ferromagnetic oxides, such as Mn-Zn ferrites that abut, so that a strong binding force can be obtained with improved yield speed, despite inferior bonding properties between the metal thin films 14a, 14b and the core elements 10 , 11. There is no risk of backtrack deviations being caused during manufacture, thus resulting in increased operational reliability of the magnetic transducer head.

50 Daar het grootste deel van het aangrijpoppervlak met de band van de magnetische transducentkop wordt gevormd uit ferromagnetische oxiden, wordt ook slijtweerstand van de magnetische transducentkop verbeterd.Since the majority of the engagement surface with the band of the magnetic transducer head is formed from ferromagnetic oxides, wear resistance of the magnetic transducer head is also improved.

In afwijking van gebruikelijke praktijk, waarbij ferromagnetische metalen folies met de hand op elkaar worden gebonden met een lijmlaag van glas, met organische lijm of inorganische lijm, worden de metalen 55 dunne films 14A, 14B gevormd door middel van een fysische dampneerslag, zodat de gevormde film homogeen is voor het verder verbeteren van de bedrijfszekerheid van de magnetische transducentkop.In deviation from conventional practice, in which ferromagnetic metal foils are bonded to each other by hand with a layer of glue of glass, with organic glue or inorganic glue, the metal 55 thin films 14A, 14B are formed by means of a physical vapor deposition, so that the formed film is homogeneous to further improve the operational reliability of the magnetic transducer head.

De spoorbreedte kan gemakkelijk worden gekozen in een uitgestrekt gebied van enkele tot enkele 11 194772 tientallen microns, zodat de magnetische transducentkop met een smalle spoorbreedte verkregen kan worden door gebruik van een verminderde filmdikte of van een verminderd aantal filmlagen.The track width can be easily selected in a wide range of a few to a few tens of microns, so that the magnetic transducer head with a narrow track width can be obtained by using a reduced film thickness or a reduced number of film layers.

Zoals hierboven is beschreven, heeft de magnetische transducentkop volgens de onderhavige uitvoeringsvorm een hoge magnetische veldsterkte van de magneetspleet g en een hoog terugspeel-5 uitgangssignaal, zodat deze superieur is qua bedrijfszekerheid en productiviteit, en geschikt is voor het met hoge dichtheid registreren op een magneetband met een hoge coêrcive kracht Hc, zoals metaaiband.As described above, the magnetic transducer head according to the present embodiment has a high magnetic field strength of the magnetic gap g and a high playback output signal, so that it is superior in operational reliability and productivity, and is suitable for recording on a magnetic tape with high density with a high coercive force Hc, such as metal tape.

Het vervaardigingsproces voor de in figuur 31 getoonde magnetische transducentkop wordt nu beschreven met referentie aan de figuren 33 tot 39.The manufacturing process for the magnetic transducer head shown in Figure 31 is now described with reference to Figures 33 to 39.

Op een langsrand van een substraat 20 van een ferromagnetisch oxide zoals Mn-Zn teniet, zijn een 10 veelvoud van V-vormige uitsparingen 21 gesneden met behulp van een ronddraaiende slijpsteen of met behulp van elektrolytisch etsen (figuur 33). De bovenzijde of oppervlakte 23 van het substraat 20 komt overeen met het de magneetspleet vormende oppervlak, en de uitsparing 21 is gevormd bij een deel van het substraat 20 waar de magneetspleet gevormd moet worden. De uitsparing 21 kan ook veelhoekig en voorzien zijn van gekromde delen, zoals in de voorgaande uitvoeringsvorm.On a longitudinal edge of a substrate 20 of a ferromagnetic oxide such as Mn-Zn, a plurality of V-shaped recesses 21 are cut by means of a rotating grindstone or by means of electrolytic etching (Fig. 33). The top or surface 23 of the substrate 20 corresponds to the surface forming the magnetic gap, and the recess 21 is formed at a part of the substrate 20 where the magnetic gap is to be formed. The recess 21 can also be polygonal and provided with curved parts, as in the previous embodiment.

15 Glas met een hoog smeltpunt wordt in gesmolten vorm gepakt in de uitsparing 21 bij 22a en zowel de bovenzijde 23 als de voorzijde 24 zijn glad afgevlakt (figuur 34).Glass with a high melting point is packed in molten form in the recess 21 at 22a and both the top 23 and the front 24 are smoothly flattened (figure 34).

Op dezelfde rand 25 is dan een twee e veelvoud van V-vormige uitsparingen 25 in de nabijheid van de uitsparing 21 die gevuld is met glasvulsel 22a, gevormd, één en ander zodanig dat deze gedeeltelijk overlappen met de uitsparing 21 (figuur 35). Een deel van het glasvulsel 22a wordt blootgesteld aan een 20 binnenwandzijde of facet 26 van de uitsparing 25. Een kruisingslijn 27 van de wandzijde 26 en van de bovenzijde 23 vormen een rechte hoek met de voorzijde 24, terwijl de binnenwandzijde 26 een hoek van zeg 45° met de bovenzijde 23 maakLOn the same edge 25, a second multiple of V-shaped recesses 25 in the vicinity of the recess 21, which is filled with glass fill 22a, is formed in such a way that they partially overlap with the recess 21 (Fig. 35). A part of the glass filling 22a is exposed on an inner wall side or facet 26 of the recess 25. An intersection line 27 of the wall side 26 and of the top side forms a right angle with the front side 24, while the inner wall side 26 is an angle of say 45 ° with the top 23 make

Vervolgens wordt een legering met een hoge permeabiliteit, zoals Fe-AI-Si legeringen, opgedampt in de nabijheid van de uitsparingen 25 van het substraat 20 met als tussenstof een isolerende film, met behulp - 25 van eeri fysische dampneerslag zoals sputteren voor het vormen van ferromagnetisch metalen dunne film 28 (figuur 36). Het substraat 20 wordt op dit moment in het sputterapparaat in een schuine stand geplaatst voor het efficiënter neerslaan van de binnenwandzijde 26.Subsequently, an alloy with a high permeability, such as Fe-Al-Si alloys, is deposited in the vicinity of the recesses 25 of the substrate 20 with an insulating film as an intermediate material, using a physical vapor deposition such as sputtering to form ferromagnetic metal thin film 28 (Figure 36). The substrate 20 is currently placed in an oblique position in the sputtering apparatus for more efficient precipitation of the inner wall side 26.

' Vervolgens wordt een glasvulsel 29 met een smeltpunt lager dan dat van het glasvulsel 22 gevuld in gesmolten toestand in de van de metalen dunne film 28 vooiziene uitsparingen 25, waarna de bovenzijde 30 23 en de voorzijde 24 uiteindelijk als een spiegel worden afgevlakt (figuur 37). Op dit moment blijft een deel van de gedurende de voorgaande stap neergeslagen metalen dunne film 28 over op de wandzijden 26 van -de uitsparingen 25, zodat de ferromagnetisch metalen dunne films 28A worden neergeslagen op de zijde 26.Next, a glass filler 29 having a melting point lower than that of the glass filler 22 is filled in the molten state into the recesses 25 facing the metal thin film 28, after which the top side 23 and the front side 24 are finally flattened like a mirror (FIG. 37). ). At this time, part of the metal thin film 28 deposited during the previous step remains on the wall sides 26 of the recesses 25, so that the ferromagnetic metal thin films 28A are deposited on the side 26.

Voor het vormen van een van een windingsgroef voorzien zijdelings kernelement wordt een groef 31 voor 35 spoelen gevormd in het in figuur 32 getoonde substraat 20 van ferromagnetische oxide voor het verschaften van een in figuur 38 getoond substraat 30 van ferromagnetische oxiden. De uitsparingen 21 van het in figuur 38 getoonde substraat worden gevuld met glas 22b met een hoog smeltpunt in de gesmolten toestand, waarbij de binnenwandzijden van de uitsparingen 25 zijn voorzien van ferromagnetische metalen dunne films 28b.To form a lateral core element provided with a winding groove, a coil groove 31 is formed in the ferromagnetic oxide substrate 20 shown in Figure 32 to provide a ferromagnetic oxide substrate 30 shown in Figure 38. The recesses 21 of the substrate shown in Figure 38 are filled with glass 22b with a high melting point in the molten state, the inner wall sides of the recesses 25 being provided with ferromagnetic metal thin films 28b.

40 De substraten 20, 30 zijn opgestapeld en onderling gekoppeld met gesmolten glas, waarbij de bovenzijde 23 of het de magneetspleet vormende oppervlak van het substraat 20 aanligt aan het bovenvlak 32 of het de magneetspleet vormende oppervlak van het substraat 30 met het medium van een spleetafstandslaag (figuur 39) voor het verschaffen van een blók dat uit de substraten 20 en 30 bestaat Het blok 33 wordt dan in plakken langs lijnen a-a, a'-a' gesneden voor het vormen van een veelvoud van kopplakken. De 45 spleetafstandslaag kan naar wens gevormd zijn uit St02, Zr02,18205 of Cr.The substrates 20, 30 are stacked and mutually coupled with molten glass, the top 23 or the surface of the substrate 20 forming the magnetic gap abutting the upper surface 32 or the surface of the substrate 30 forming the magnetic gap with the medium of a gap spacer layer (Figure 39) to provide a pad consisting of the substrates 20 and 30 The block 33 is then cut into slices along lines aa, a'-a 'to form a plurality of head slices. The 45 gap spacer layer can be formed as desired from St02, Zr02.18205 or Cr.

Het aangrijpoppervlak met de band van de kopplak wordt dan blootgesteld aan cilindrisch slijpen voor het vormen van een magnetische transducentkop, zoals getoond in figuur 31. De kernelementen 10 en 11 van de in figuur 31 getoonde magnetische transducentkop zijn verkregen van de substraten 20 resp. 30. Het non-magnetischë vulmateriaal 12A, 12B komt overeen met de glasvulselmaterialen met een hoog smeltpunt 50 22A resp. 22B, terwijl het non-magnetische vulmateriaal 13 overeenkomt met het glasvulselmateriaal 13 met een laag smeltpunt. De ferromagnetisch metalen dunne films 14A, 14B van de magnetische transducentkop komen overeen met de metalen dunne films 28A, 28B, terwijl de opening voor spoelen 15 overeenkomt met de groef 31 voor spoelen op het substraatThe engagement surface with the band of the head slab is then exposed to cylindrical grinding to form a magnetic transducer head, as shown in Fig. 31. The core elements 10 and 11 of the magnetic transducer head shown in Fig. 31 are obtained from the substrates 20 and 20, respectively. 30. The non-magnetic filler material 12A, 12B corresponds to the glass filler materials with a high melting point 50 22A resp. 22B, while the non-magnetic filler material 13 corresponds to the glass filler material 13 with a low melting point. The ferromagnetic metal thin films 14A, 14B of the magnetic transducer head correspond to the metal thin films 28A, 28B, while the aperture for coils 15 corresponds to the groove 31 for coils on the substrate

In de bovenbeschreven magnetische transducentkop, wordt een deel Q van de metalen dunne film 28 55 van de non-uniforme filmstructuur die gevormd is gedurende de in figuur 36 getoonde processtap verwijderd door de slijpoperatie van hèt spleetoppervlak, zoals dat schematisch is getoond in figuren 40, 41 die de oriëntatie van zuilvormige kristalgroei of filmstructuur van de ferromagnetisch metalen dunne films, bij 194772 12 voorbeeld de Fe-AI-Si legeringsfilm, tonen. Op deze wijze blijven slechts de metalen dunne films 28A, 28B van de uniforme structuur over op een enkel schuin vlak oppervlak dat de binnenwandzijde van facet 26 van de uitsparing 25 is.In the magnetic transducer head described above, part Q of the metal thin film 28 55 of the non-uniform film structure formed during the process step shown in Figure 36 is removed by the grinding operation of the slit surface, as schematically shown in Figures 40, 41 showing the orientation of columnar crystal growth or film structure of the ferromagnetic metal thin films, for example the Fe-Al-Si alloy film. In this way, only the metal thin films 28A, 28B of the uniform structure remain on a single sloping surface that is the inner wall side of facet 26 of the recess 25.

Het resultaat is, dat elk deel van de metalen dunne films 28A, 28B een hoge magnetische permeabiliteit 5 langs de magnetische fluxlijn vertoont en dat de magnetische transducentkop een hoog en stabiel uitgangssignaal heeftThe result is that each part of the metal thin films 28A, 28B exhibits high magnetic permeability along the magnetic flux line and that the magnetic transducer head has a high and stable output signal

In de onderhavige uitvoeringsvorm, zoals hierboven is beschreven, is een tweede vlak oppervlak dat een hoek van 20° tot 80° ten opzichte van een eerste vlak oppervlak dat later het magneetspleetoppervlak ' vormt, gevormd door het slijpproces en is dit in de nabijheid van de eerste uitsparing 21 van te voren gevuld 10 met glas met een hoog smeltpunt, en is de ferromagnetisch metalen dunne film 28 gevormd door een fysische dampneerslag op het tweede oppervlak dat schuin staat ten opzichte van het eerste vlakke oppervlak, dat daarna afgevlakt wordt, zodat slechts de op het schuine tweede oppervlak gevormde dunne film overblijft ten minste in de nabijheid van de magneetspleet. Het resultaat is, dat de metalen dunne films 28A, 28B van uniforme filmstructuur zijn over hun geheel en zodoende een hoog en stabiel uitgangssignaal 15 van de magnetische transducentkop verschaffen.In the present embodiment, as described above, a second flat surface that forms an angle of 20 ° to 80 ° to a first flat surface that later forms the magnetic gap surface is formed by the grinding process and is in the vicinity of the first recess 21 pre-filled with glass with a high melting point, and the ferromagnetic metal thin film 28 is formed by a physical vapor deposition on the second surface which is oblique with respect to the first flat surface, which is thereafter flattened, so that only the thin film formed on the oblique second surface remains at least in the vicinity of the magnetic gap. The result is that the metal thin films 28A, 28B are of uniform film structure as a whole and thus provide a high and stable output signal 15 from the magnetic transducer head.

Met de bovengenoemde magnetische transducentkop worden de ferromagnetische oxiden van de twee kernhelften smeltend samengebonden direct met gesmolten glas op de achterovergangzijde of achterspleet-oppervlakken van de kop. Het resultaat is, dat de getoonde kopplak een verhoogde breeksterkte heeft en dat deze gemakkelijk vervaardigd kan worden met een verbeterde opbrengstsnelheid.With the aforementioned magnetic transducer head, the ferromagnetic oxides of the two core halves are melt bonded together directly with molten glass on the back transition side or back slit surfaces of the head. The result is that the end face shown has an increased breaking strength and that it can be easily manufactured with an improved yield speed.

20 Met referentie aan figuren 42 tot 48, wordt een ander voorbeeld van de magnetische transducentkop die vervaardigd wordt door middel van een ander proces, verklaard.Referring to Figures 42 to 48, another example of the magnetic transducer head made by a different process is explained.

Op een bovenoppervlak 41 dat overeenkomt met het aangrijpvlak met de band, van het substraat 40 van ferromagnetische oxiden, zoals Mn-Zn ferriet, is een veelvoud van groeven 42 met een vierkantige' doorsnede op schuine wijze gevormd (figuur 42). Elke groef 42 heeft een djepte voor het zich uitstrekken 25 naar de opening voor in de transducentkop aangebrachte spoelen.On a top surface 41 corresponding to the engagement surface with the belt of the substrate 40 of ferromagnetic oxides, such as Mn-Zn ferrite, a plurality of grooves 42 with a square cross-section are obliquely formed (Fig. 42). Each groove 42 has a flange for extending to the opening for coils arranged in the transducer head.

Glas met een hoog smeltpunt wordt dan gevuld in gesmolten toestand bij 43a in elke groef 42, waarna de bovenzijde 41 en de voorzijde 44 glad worden afgevlakt (figuur 43).Glass with a high melting point is then filled in the molten state at 43a in each groove 42, whereafter the top 41 and the front 44 are smoothed off (Figure 43).

Vervolgens wordt een tweede veelvoud van groeven 45 met de vierkantige doorsnede gevormd tot de bovenzijde 41 in de omgekeerde schuine richting ten opzichte van de groeven 42, zodat deze gedeeltelijk 30 overlappen metdeze groeven 42 die gevuld zijn met glas 43A met een hoog smeltpunt (figuur 44). Deze groeven 45 zijn bij benadering gelijk in diepte aan de glasgevulde groeven 42. De snijlijn 47 die de binnenzijde 46 van de groef 45 maakt met de voorzijde 44, is gesitueerd op het doorsnede vlak van het glas 43a, dat aan de voorzijde 44 is blootgesteld, en vormt een rechte hoek met de bovenzijde 41. De binnen- ' zijde 46 maakt een hoek van zeg 45° met de voorzijde 44.Next, a second plurality of grooves 45 with the square cross-section are formed up to the top 41 in the reverse oblique direction to the grooves 42 so that they partially overlap with these grooves 42 filled with glass 43A with a high melting point (Figure 44) ). These grooves 45 are approximately equal in depth to the glass-filled grooves 42. The cutting line 47 which makes the inside 46 of the groove 45 with the front side 44 is situated on the cross-sectional plane of the glass 43a which is exposed at the front side 44 and forms a right angle with the top 41. The inside 46 makes an angle of say 45 ° with the front 44.

35 Vervolgens wordt een film van een legering met een hoge permeabiliteit, zoals Fe-AI-Si legeringen gevormd in de nabijheid van de groeven 44 op het substraat 40 door middel van fysische dampneerslag, zoals sputteren voor het vormen van een ferromagnetisch metalen dunne film 46 (figuur 45). Het substraat 40 wordt in een schuine stand gehouden binnen het sputterappaiaat voor het efficiënter vormen van de film op de binnenzijde 46.Subsequently, a film of a high permeability alloy, such as Fe-Al-Si alloys, is formed in the vicinity of the grooves 44 on the substrate 40 by physical vapor deposition, such as sputtering to form a ferromagnetic metal thin film 46. (figure 45). The substrate 40 is held in an inclined position within the sputtering device for more efficiently forming the film on the inside 46.

40 Vervolgens wordt een glas 49 met een lager smeltpunt dan het glas 43, gevuld in gesmolten toestand in de van de metalen dunne films 48 voorziene groeven 45, waarna de boven- en voorzijde 41, 44 uiteindelijk als een spiegel worden afgevlakt (figuur 46). Op dit moment blijft een deel van de metalen dunne film 48 over op de binnenzijden 46 van de groeven 45, zodat de ferromagnetisch metalen film 48a is aangebracht op deze binnenzijden 46.40 Next, a glass 49 with a lower melting point than the glass 43 is filled in the molten state in the grooves 45 provided with the metal thin films 48, after which the top and front side 41, 44 are finally flattened like a mirror (figure 46) . At this time, part of the metal thin film 48 remains on the inner sides 46 of the grooves 45, so that the ferromagnetic metal film 48a is applied to these inner sides 46.

45 Voor het vormen van het van een groef voor spoelen 61 voorzien kernelement, wordt de groef 61 gevormd op het substraat 40 van ferromagnetische oxiden, zoals dat getoond is in figuur 46, voor het produceren van het substraat 60 van ferromagnetische oxiden zoals getoond in figuur 47. De groeven 42 van het substraat 60 zijn gevuld met glas 43b met een hoog smeltpunt in gesmolten toestand, terwijl de ferromagnetisch metalen dunne films 48b zijn gevormd op de binnenzijden 46 van de groeven 45.45 For forming the core element provided with a coil for groove 61, the groove 61 is formed on the substrate 40 of ferromagnetic oxides, as shown in Figure 46, to produce the substrate 60 of ferromagnetic oxides as shown in Figure 47. The grooves 42 of the substrate 60 are filled with glass 43b with a high melting point in the molten state, while the ferromagnetic metal thin films 48b are formed on the inner sides 46 of the grooves 45.

50 De substraten 40, 60 worden dan opgestapeld en onderling gekoppeld door middel van gesmolten glas op de voorzijde 44 van het substraat 40, welke later de magnetische spleet die aanligt aan de voorzijde 62 van het substraat 60 vormt, welke later de spleet door het medium van een spleetafstandslaag (figuur 48) vormt voor het verschaffen van een blok 43 dat bestaat uit de substraten 40 en 60. Blok 63 wordt dan in plakken gesneden langs lijnen A-A, A'-A' voor het vormen van een veelvoud van kopplakken.The substrates 40, 60 are then stacked and interconnected by means of molten glass on the front side 44 of the substrate 40, which later forms the magnetic slit adjacent the front side 62 of the substrate 60, which later the slit through the medium forming a gap spacer layer (Figure 48) to provide a block 43 consisting of substrates 40 and 60. Block 63 is then sliced along lines AA, A'-A 'to form a plurality of head slices.

55 Het aangrijpvlak met de magneetband van de kopplak wordt vervolgens onderworpen aan een cilindrische behandeling voor het vormen van een magnetische, in figuur 49 getoonde transducentkop. De kernelementen 70, 71 van de in figuur 49 getoonde magnetische transducentkop zijn verkregen van de 13 194772 substraten 40 resp. 60. De non-magnetische vulmaterialen 72A, 72B komen overeen met de in de groeven 42 gevulde glasmaterialen 43A, 43B met een hoog smeltpunt, terwijl het non-magnetische vulmateriaal 73 overeenkomt met het tot in de groeven 45 gevulde glasmateriaal 49 met een laag smeltpunt. De op de magnetische transducentkop gevormde ferromagnetisch metalen dunne films 74A, 74B komen overeen met 5 de metalen dunne films 48A, 48B die op de binnenzijden 46 van de groeven 45 gevormd zijn, terwijl de opening voor spoelen 75 overeenkomt met de groef voor spoelen 61.The engagement surface with the magnetic tape of the head slab is then subjected to a cylindrical treatment to form a magnetic transducer head shown in Fig. 49. The core elements 70, 71 of the magnetic transducer head shown in Fig. 49 are obtained from the 13 194772 substrates 40 and 40 respectively. 60. The non-magnetic filler materials 72A, 72B correspond to the glass materials 43A, 43B filled with a high melting point, while the non-magnetic filler material 73 corresponds to the glass material 49 with a low melting point filled into the grooves 45 . The ferromagnetic metal thin films 74A, 74B formed on the magnetic transducer head correspond to the metal thin films 48A, 48B formed on the inner sides 46 of the grooves 45, while the aperture for coils 75 corresponds to the groove for coils 61.

Bij de met het bovenbeschreven proces vervaardigde magnetische transducentkop van figuur 49 etaat het de magneetspleet vormende vlakke oppervlak schuin met een geschikte hoek met betrekking tot het vlakke oppervlak van de magnetisch metalen dunne films 74A, 74B, die slechts in de nabijheid van de 10 magneetspleet gevormd zijn, en zodoende ervoor zorgen, dat de eigenschappen van de magnetische transducentkop vergelijkbaar zijn met die van de in figuur 31 getoonde magnetische transducentkop.In the magnetic transducer head of Fig. 49 produced with the above-described process, the flat surface forming the magnetic slit obliquely extends at an appropriate angle with respect to the flat surface of the magnetic metal thin films 74A, 74B formed only in the vicinity of the magnetic slit and thus ensure that the properties of the magnetic transducer head are similar to those of the magnetic transducer head shown in Figure 31.

Daar de magneetspleet g slechts door metalen dunne films 74A, 74B wordt gevormd, Is de kop verbeterd qua uitgangssignaal en vergelijkbaar met metaalbanden.Since the magnetic gap g is only formed by metal thin films 74A, 74B, the head is improved in output signal and comparable to metal bands.

De metalen dunne film 74A is gevormd op een continu vlak oppervlak dat bestaat uit de zijde 70A van 15 het uitstekende deel van het kernelement 70 en een zijde van het non-magnetische materiaal 72A, terwijl de metalen dunne film 74B is gevormd op een continu vlak oppervlak dat bestaat uit de zijde 71A van het uitstekende deel van het kernelement 71 en een zijde van het non-magnetische materiaal 72B. Het resultaat is, dat de metalen dunne films 74A, 74B in hun geheel van uniforme filmstructuur zijn en een hoge magnetische permeabiliteit in de richting van de magnetische fluxlijn vertonen, zodat een verbetering wordt 20 bereikt In de registreerkarakteristiek en het terugspeeluitgangssignaal van de transducentkop.The metal thin film 74A is formed on a continuous flat surface consisting of the side 70A of the protruding part of the core element 70 and a side of the non-magnetic material 72A, while the metal thin film 74B is formed on a continuous surface surface consisting of the side 71A of the protruding part of the core element 71 and a side of the non-magnetic material 72B. The result is that the metal thin films 74A, 74B as a whole are of uniform film structure and show high magnetic permeability in the direction of the magnetic flux line, so that an improvement is achieved in the recording characteristic and the playback output signal of the transducer head.

Bij de voorgaande uitvoeringsvorm hadden de lijnen a-a, a'-a', waarlangs het samengestelde In figuur 39 getoonde blok in plakken is gesneden, rechte hoeken ten opzichte van de aanliggende oppervlakken van de substraten 20 en 30. Het Is echter mogelijk het blok In een andere richting dan met een rechte hoek in * plakken te snijden voor het verschaffen van een magnetische transducentkop voor azlmuth-registreren. Het 25 is ook mogelijk in de onderhavige uitvoeringsvorm het in figuur 48 getoonde blok in een schuine richting ten opzichte van de aanliggende oppervlakken van het substraat 40, 60 in plakken te snijden In plaats van langs lijnen A-A, A'-A' of met rechte hoeken met de aanliggende oppervlakken voor het op overeenkomstige wijze produceren van magnetische transducentkoppen voor azimuth-reglstreren.In the foregoing embodiment, the lines aa, a'-a 'along which the composite block shown in Figure 39 has been cut into slices had right angles to the adjacent surfaces of the substrates 20 and 30. However, it is possible to to slice a direction other than a right angle to provide a magnetic transducer head for azlmuth recording. It is also possible in the present embodiment to slice the block shown in Figure 48 in an oblique direction relative to the adjacent surfaces of the substrate 40, 60 instead of along lines AA, A'-A 'or with straight lines corners with adjacent surfaces for correspondingly producing magnetic transducer heads for azimuth recording.

Met de in figuren 14, 31 en 49 getoonde magnetische transducentkop zijn op het substraat van 30 ferromagnetische oxiden gevormde groeven voorheen gevuld met glas en zijn tweede groeven gevormd in de nabijheid van de eerste groeven voor het vormen van schuine vlakke oppervlakken, waarop ferromagnetisch metalen dunne films gevormd worden. Het resultaat Is, dat magnetische eigenschappen van de kop uniform zijn, niet slechts in de nabij de magneetspleet gelegen filmdelen, maar in de filmdelen op de zijden van de uitstekende substraatdelen en worden de ferromagnetische oxiden niet blootgesteld aan het 35 magneetspleetdeel.With the magnetic transducer head shown in Figs. 14, 31 and 49, grooves formed on the substrate of 30 ferromagnetic oxides are previously filled with glass and second grooves are formed in the vicinity of the first grooves for forming oblique flat surfaces on which ferromagnetic metal thin films are formed. The result is that magnetic properties of the head are uniform not only in the film parts located near the magnetic gap, but in the film parts on the sides of the projecting substrate parts and the ferromagnetic oxides are not exposed to the magnetic gap part.

Bij gebruik van een magneetband met een hoge coêrcive kracht, zoals metaalband, is gevonden, dat de magnetische transducentkop volgens de onderhavige uitvinding een terugspeeluitgangssignaal heeft, dat ongeveer 3 dB hoger is in het frequentiegebied van 1 tot 5 MHz, heeft, dan vergeleken met de experimentele waarden die verkregen zijn met de gebruikelijke magnetische transducentkop, zoals die getoond is in 40 figuur 11, waarbij het ferriet is blootgesteld in het spleetdeel voor een lengte gelijk aan bij voorbeeld 40% van de spoorbreedte. De beschreven magnetische transducentkop kan vervaardigd worden met kleinere dimensionele fluctuaties dan in het geval van de in figuur 3 getoonde gebruikelijke magnetische transdu-centkop en gebleken is dat deze een terugspeeluitgangssignaal dat ongeveer 3 dB hoger Is dan dat van deze gebruikelijk transducentkop, heeft.When using a magnetic tape with a high coercive force, such as metal tape, it has been found that the magnetic transducer head according to the present invention has a playback output signal that is about 3 dB higher in the frequency range of 1 to 5 MHz, than compared to the experimental values obtained with the conventional magnetic transducer head, such as that shown in Figure 11, wherein the ferrite is exposed in the slit portion for a length equal to, for example, 40% of the track width. The described magnetic transducer head can be made with smaller dimensional fluctuations than in the case of the conventional magnetic transducer head shown in Figure 3 and has been found to have a playback output signal that is about 3 dB higher than that of this conventional transducer head.

45 Het Ni-Zn ferriet bij voorbeeld kan In plaats van het Mn-Zn ferriet gebruikt worden als het de kernelementen vormende ferromagnetische oxide. Permlegeringen of amorfe legeringen kunnen in plaats van Fe-AI-SI legeringen gebruikt worden als het de ferromagnetisch metalen dunne film vormende materiaal met hoge magnetische permeabiliteit, zoals hieiboven is besproken.The Ni-Zn ferrite, for example, can be used instead of the Mn-Zn ferrite as the ferromagnetic oxide forming the core elements. Permissive alloys or amorphous alloys can be used instead of Fe-Al-SI alloys as the ferromagnetic metal thin film forming material with high magnetic permeability, such as above.

Bij gebruik van de amorfe legeringen worden uniforme filmeigenschappen van de ferromagnetisch 50 metalen dunne film verhinderd door magnetische anisotropie. De metalen dunne film kan in zijn geheel uniforme magnetische eigenschappen hebben door het vormen van de dunne film op een enkel vlak oppervlak in overeenstemming met de onderhavige uitvinding.When using the amorphous alloys, uniform film properties of the ferromagnetic metal thin film are prevented by magnetic anisotropy. The metal thin film can have uniform magnetic properties as a whole by forming the thin film on a single flat surface in accordance with the present invention.

De ferromagnetisch metalen dunne film kan op voordelige wij ze worden samengesteld uit één of meer lagen.The ferromagnetic metal thin film can advantageously be composed of one or more layers.

55 Het zal duidelijk zijn uit het voorgaande, dat de magnetische transducentkop is samengesteld uit twee, uit ferromagnetische oxiden gevormde kernelementen, en dat de ferromagnetisch metalen dunne film zijn opgedampt door middel van fysische dampneerslag in de nabijheid van het overgangsoppervlak van deIt will be apparent from the foregoing that the magnetic transducer head is composed of two core elements formed of ferromagnetic oxides, and that the ferromagnetic metal thin film has been vapor deposited by means of physical vapor deposition in the vicinity of the transition surface of the

Claims

194772 14 core elements, so that the plane in which these metal thin films are mainly located, is inclined at an angle with respect to the transition surface of the core elements which subsequently form the magnetic gap surface. The magnetic gap is only formed by the metal thin films formed on a common flat surface.

A magnetic transducer head, comprising: - a first magnetic core element and a second magnetic core element; wherein - each of the first and second magnetic core elements has a magnetic ferrite block and a magnetic metal thin film coupled to the magnetic ferrite block, the core elements having a first flat surface and a second flat surface, characterized in that; - the magnetic metal thin film is applied to the second flat surface and points with its edge to the first flat surface, the second flat surface being inclined with respect to the first flat surface, 40. the first and second core elements are mutually connected that a magnetic working gap (g) is formed between said edge of the magnetic metal thin film on the first core element and said edge of the magnetic metal thin film on the second core element, the magnetic metal thin film being on. the first core element and the magnetic metal thin film on the second core element lie in a common plane, and that a common contact surface is formed by the first and the second core element with which a moving magnetic recording medium can be brought into contact

Magnetic transducer head according to claim 1, characterized in that - the first (80; 10; 70) and the second (81; 11; 71) magnetic core element for forming a magnetic working gap (g) between two first surfaces (90a) each 23; 44) are interconnected therebetween 50 and have a contact surface (90b; 24; 41) that can be contacted with a moving magnetic recording medium; -. the magnetic operating gap (g) extends substantially perpendicular to the contact surface in the interior of the transducer head according to its gap depth; - each of the core elements consists of a ferrite block that carries a magnetic metal thin film (82; 14A, 14B; 74A, 74B) on a second surface (80A, 81A; 10A, 55A, 70A, 71A); - an edge of the magnetic metal thin film appears from the first surface of the magnetic core element and extends parallel to the depth direction of the magnetic operating gap; - another edge of the magnetic metal thin film appears on the contact surface (90b; 24; 41) and extends along a line which, in top view on the contact surface, does not extend at right angles to the magnetic slit line; and that the core elements are connected to each other such that the magnetic working gap (g) lies between the edges that appear on the first surfaces (90a; 23; 44) of each core element and the other edge is in a common straight line.

A magnetic transducer head according to claim 1, characterized in that; - the first (80; 10; 70) and the second (81; 11; 71) magnetic core element for forming the magnetic working gap (g) between first flat surfaces (90a, 90c; 23.32; 44.62) ) are connected to each other and have a contact surface (90b; 24; 41) that can be brought into contact with a moving magnetic recording medium, - each of the magnetic core elements has a third surface which is in the vicinity of the first flat surface and the contact surfaces 15. The magnetic ferrite blocks of the displayed core elements have a second flat surface extending from the first flat surface to a side of the third surface. A magnetic metal thin film is provided on the second flat surface which is located away from the first flat surface to the side of the third surface and extending along a line that is not perpendicular to the magnetic slit line when viewed from above on the contact surface, a non-magnetic material portion (92; 22A, 22B; 43A, 43B) extends to the first flat surface, the contact surface and the third surface, - a portion of the first flat surface extends in the vicinity of the magnetic metal thin film, the contact surface and another surface extending into the proximity to the first flat surface resp. extending the contact surface, the first and second core elements being connected to each other such that the magnetic clearance gap (g) is located between the edges of the magnetic metal thin film which appear on the first flat surface of each core element, and that film edges on both core elements are situated on a common straight line in top view on the contact surface.

A magnetic transducer head according to claim 1, 2 or 3, characterized in that the magnetic working gap (g) is arranged in the central region of the contact surface (90b 24; 41).

A magnetic transducer head according to claim 1,2,3 or 4, characterized in that the angle (e) between the first flat surface (90a; 23; 44) and the second flat surface (80A, 81A; 10A, 11A; 70A) 71A) is in top view on the contact surfaces between about 20 ° to 80 °, including the limit value.

Thus, in the formation of the metal thin films, there is no need to provide a film thickness corresponding to the track width, and the transducer head can be mass-produced in a shorter time. The most important part of the engagement surface with the belt is formed from ferromagnetic oxides, so that the head has superior wear resistance

A magnetic transducer head according to any one of claims 1-5, characterized in that at least in a core element (81; 11; 71) an opening (85; 15; 75) on the side of the first flat surface (90c; 32) 62. is provided for receiving a coil winding and separating the magnetic working gap (g) from the gap behind it

The magnetic transducer head according to claim 6, characterized in that the magnetic metal thin film (82; 10A, 11A, 74A, 74B) extends to the rear gap

Magnetic transducer head according to claim 6 or 7, characterized in that the posterior gap is between the respective ferrite bioks of the core elements (10,11; 70,71)

9. A magnetic transducer head as claimed in any one of claims 1-8, characterized in that the magnetic 45 metal thin film has a substantially uniform shape or shape. has a uniform columnar crystal structure over the entire film area

The magnetic transducer head according to any of claims 1-9, characterized in that the magnetic metal thin film consists of a crystalline alloy

The magnetic gap is formed only from the metal thin films, so that the head has a high output signal and can be used with the high coercivity band such as metal band. The metal thin film is formed on one flat surface and is therefore uniform in film structure everywhere, while the metal thin film as a whole exhibits high magnetic permeability in the direction of the magnetic flux line. Thus, the magnetic transducer head is very usable in use and has a high recording characteristic and a high playback output signal. The magnetic transducer head described is constructed such that the magnetic gap is in the center of the head slice and is surrounded on both sides with non-magnetic materials to avoid local wear of the head. The ferromagnetic metal thin films forming the magnetic gap are formed in a straight line on the engagement surface with the tape, so that the ferromagnetic metal thin films are not opposite each other at places other than the magnetic gap. The result is the reduced cross talk in the long wave length range. The cross-talk can be further reduced by changing the groove profile with respect to the core element. The uniform magnetic properties can be ensured by the rectified growth of the columnar structure of the ferromagnetic metal thin films as seen on the contact surface with the tape. # 30

A magnetic transducer head according to any one of claims 1-10, characterized in that the magnetic 50 metal thin film consists of an Fe-Al-Si alloy

12. A magnetic transducer head according to claim 1, characterized in that the magnetic metal thin film has a substantially uniform resp. uniform magnetic anisotropy over the entire film range

13. A magnetic transducer head as claimed in claim 12, characterized in that the magnetic metal thin 55 film consists of an amorphous alloy

A magnetic transducer head according to claim 12 or 13, characterized in that the magnetic metal thin film consists of an amorphous metal-metaloid alloy 194772 16

A magnetic transducer head according to claim 12 or 13, characterized in that the magnetic metal thin film consists of an amorphous metal-metal alloy

Magnetic transducer head according to one of claims 3 to 15, characterized in that the non-magnetic material part (92; 22A, 22B; 43A, 43B) consists of non-magnetic glass with a first melting point 5

The magnetic transducer head according to one of claims 3 to 16, characterized in that the portion is filled with non-magnetic material (99; 29; 49).

The magnetic transducer head according to claim 17, characterized in that the non-magnetic material (99; 29.49) is non-magnetic glass with a lower melting point than the first melting point.

A magnetic transducer head according to any one of claims 3 to 18, characterized in that the portion in the direction of the magnetic metal thin film has a raised part.

The magnetic transducer head according to claim 1, characterized in that the magnetic metal thin film consists of a crystal-like alloy.

21. The magnetic transducer head according to claim 1, characterized in that the magnetic metal thin film consists of an Fe-Al-SH alloy.

The magnetic transducer head according to claim 1, characterized in that the magnetic metal thin film consists of an amorphous alloy

The magnetic transducer head according to claim 1, characterized in that the magnetic metal thin film consists of an amorphous metal-metaloid alloy

The magnetic transducer head according to claim 1, characterized in that the magnetic metal thin film consists of an amorphous metal-metal alloy

25. Method for manufacturing a magnetic transducer head comprising the following steps: - preparing a pair of magnetic ferrite blocks, forming a groove, applying a magnetic metal thin film and connecting the ferrite blocks, characterized by the following steps: A) preparing a pair of magnetic ferrite blocks (90, 97; 20, 30; 40.60) each of which has a first and a second adjacent surface / B) forming a first groove (91; 21; 42) at the edge of the first and second surfaces, and such that the first groove widens to the first and second surfaces. C) forming a second groove (93; 25; 45) at said edge in the vicinity of the first groove 91; 21; 42), wherein the second groove has a third surface that is adjacent to the first groove (91; 21; 42) with the third surface obliquely relative to the second surface and a line formed perpendicular to the third surface by the second surface with respect to the first surface, D) applying a magnetic metal thin film (94; 28) to the surface by vacuum deposition, E) grinding one side of the second surface around an edge of the magnetic metal dune to expose film or to to shape,

40 F) forming a third groove (95; 31; 61) for receiving a coil winding through at least one of the ferrite blocks, G) connecting the ferrite blocks around a magnetic gap (g) between the edges of the magnetic metal thin film on said ferrite blocks.

A method according to claim 25, characterized in that a non-magnetic material is subsequently introduced into the first groove (91; 21; 42)

A method according to claim 25 or 26, characterized in that a non-magnetic material is subsequently introduced into the second groove (93; 25; 45).

A method according to any of claims 25-27, characterized in that inserting non-magnetic material into the second groove (93; 25; 45) and connecting the ferrite blocks to form a magnetic gap (g ) is performed on the ferrite blocks (90, 97; 0.30; 40, 60) between the edges of a magnetic metal thin film at the same time. Hereby 19 sheets of drawing