KR930000067B1

KR930000067B1 - Magnetic head

Info

Publication number: KR930000067B1
Application number: KR1019850000415A
Authority: KR
Inventors: 도미오 고바야시; 헤이끼찌 사또; 쇼 이찌 가노; 세이끼 곤노; 오사무 마니와
Original assignee: 소니 가부시끼 가이샤; 오오가 노리오
Priority date: 1984-04-18
Filing date: 1985-01-23
Publication date: 1993-01-08
Also published as: KR850007508A; JPS60223012A; JPH0475564B2

Abstract

내용 없음.No content.

Description

Magnetic head

제1도는 종래의 자기헤드의 사시도.1 is a perspective view of a conventional magnetic head.

제2도는 제1도의 자기헤드의 테이프 대접면을 확대하여 도시하는 평면도.FIG. 2 is an enlarged plan view showing the tape abutment surface of the magnetic head of FIG.

제3도는 본 발명의 일실시예의 자기헤드의 사시도.3 is a perspective view of a magnetic head of one embodiment of the present invention.

제4도는 제3도의 자기헤드의 테이프 대접면을 확대하여 도시하는 평면도.4 is an enlarged plan view showing the tape-joint surface of the magnetic head of FIG.

제5도는 VTR용 자기테이프의 방위각 기록 패턴도.5 is an azimuth recording pattern diagram of a magnetic tape for a VTR.

제6도 내지 제12도는 제3도의 자기헤드를 제작하는 공정을 순서대로 도시하는 사시도.6 to 12 are perspective views sequentially showing a process of manufacturing the magnetic head of FIG.

제13도 내지 제15도는 제3도의 자기헤드의 테이프 대접면의 변형예를 확대하여 도시하는 평면도.13 to 15 are enlarged plan views showing modifications of the tape-butting surface of the magnetic head shown in FIG.

제16도는 본 발명의 자기헤드를 제작하는 공정중의 다른 예의 슬라이싱 공정을 도시하는 사시도.Fig. 16 is a perspective view showing another example of a slicing step in the process of manufacturing the magnetic head of the present invention.

제17도는 제16도에 도시하는 슬라이싱 공정에 의하여 제작하는 자기헤드의 사시도.FIG. 17 is a perspective view of a magnetic head produced by the slicing step shown in FIG. 16. FIG.

제18도 및 제19도는 다른 예의 슬라이싱 공정에 의하여 제작되는 자기헤드의 사시도.18 and 19 are perspective views of a magnetic head manufactured by another example slicing process.

제20도는 본 발명의 자기헤드의 다른 실시예의 사시도.20 is a perspective view of another embodiment of a magnetic head of the present invention.

제21도는 제20도의 자기헤드의 테이프 대접면을 확대하여 도시하는 평면도.FIG. 21 is an enlarged plan view of the tape-joint surface of the magnetic head of FIG. 20; FIG.

제22도 내지 제28도는 제20도의 자기헤드를 제작하는 공정을 순서대로 도시하는 사시도.22 to 28 are perspective views each showing a process of manufacturing the magnetic head of FIG. 20 in order.

제29도는 다른 슬라이싱 공정에 의하여 제작되는 본 발명의 자기헤드의 다른 실시예의 사시도.29 is a perspective view of another embodiment of a magnetic head of the present invention manufactured by another slicing process.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

11a,11b : 자기코아 반쪽체 12a,12b : 강자성 금속박막11a and 11b magnetic core halves 12a and 12b ferromagnetic metal thin films

13a,13b,14 : 비자성재 11a′,11b′: 트랙폭 규제凹부13a, 13b, 14: nonmagnetic material 11a ', 11b': track width regulation

11a1′,l1a2′,11b1′,11b2′ : 경사단면 41a,41b : 자기코아 반쪽체11a1 ', l1a2', 11b1 ', 11b2': Inclined section 41a, 41b: Magnetic core half body

42a,42b : 강자성 금속박막 43a,43b,44 : 비자성재42a, 42b: ferromagnetic metal thin film 43a, 43b, 44: nonmagnetic material

41a′,41b′: 트랙폭 규제 凹부41a ′, 41b ′: Part of track width regulation

41a1′,41a′,41b′:,41b2′: 경사단면41a1 ', 41a', 41b ':, 41b2': cross section

본 발명은 자기헤드에 관한 것으로서, 특히 강자성 산화물 재료와 강자성 금속재료와의 복합자성 재료로 이루어지는 자기헤드에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head, and more particularly to a magnetic head made of a composite magnetic material of a ferromagnetic oxide material and a ferromagnetic metal material.

예를들면 VTR(비디오 테이프 레코다)용의 자기기록 매체인 자기테이프에 자기기록된 신호가 고밀도화됨에 따라 자기테이프로서 높은 잔류 자속밀도(Br)를 가지는 메탈테이프등이 사용되고 오고 있다. 이 메탈테이프등의 높은 항자력(Hc)를 가지는 자기테이프에 사용되는 자기헤드는 자기 갭으로부터 발생하는 자계의 강도를 높게 할 필요가 있고, 또 기록되는 신호의 고밀도화에 수반하여 자기헤드의 트랙폭을 좁게 할 필요가 있다.For example, metal tapes having a high residual magnetic flux density (Br) and the like have been used as magnetic tapes due to the densification of signals recorded on magnetic tapes, which are magnetic recording media for VTRs (video tape recorders). A magnetic head used for a magnetic tape having a high coercive force (Hc) such as a metal tape needs to increase the strength of the magnetic field generated from the magnetic gap and increases the track width of the magnetic head in accordance with the higher density of the recorded signal. You need to narrow it down.

그래서, 이와 같은 자기헤드로서는 종래로부터 여러가지의 것이 제안되고 있고, 이 좁은 트랙화의 자기헤드로서는 제1도에 도시하는 바 같이 강자성 산화물로 이루는 코아 반쪽체(1a)(1b)간의 자기 갭(g)을 강자성 금속박막(2a) (2b)에 의하여 형성한 헤드가 알려져 있다. 즉, 이 제1도의 자기헤드는 제2도에 그 테이프 대접면을 확대하여 도시하는바 같이 Mn-Zn 페라이트등의 강자성 산화물로 이루는 코아 반쪽체(1a), (1b)의 자기 갭 형성면측에 트랙폭 규제

띠부(1a′), (1b′)에 의하여 페라이트 돌기부(1a″), (1b″)를 형성하고, 이동기부(1a″), (1b″)의 한측면으로부터 트랙폭 규제 凹부(1a′), (1b′)에 충전되는 비자성재(3a), (3b)에 대하 여 스퍼터링등의 진공박막 형성기술을 사용하여 센더스트등의 강자성 금속박막(2a),(2b)을 피착형성하고, 이 한쌍의 코아 반쪽체(la), (1b)를 트랙폭 규제 凹부(1a′) (1b′)에 용융 충전되는 보강용 유리(4)에 의하여 융착 접합하고 있다.Therefore, various kinds of such magnetic heads have been proposed in the past, and as the magnetic head of this narrow track, the magnetic gap g between core halves 1a and 1b made of ferromagnetic oxide as shown in FIG. Is formed by a ferromagnetic metal thin film (2a) (2b). That is, the magnetic head of FIG. 1 is enlarged on the magnetic gap forming surface side of core halves 1a and 1b made of ferromagnetic oxide such as Mn-Zn ferrite, as shown in FIG. Track width regulation

The ferrite protrusions 1a ″ and 1b ″ are formed by the bands 1a ′ and 1b ′, and the width of the track restricting portion 1a ′ is defined from one side of the moving parts 1a ″ and 1b ″. ), And ferromagnetic metal thin films (2a) and (2b), such as sender, are deposited on the nonmagnetic materials 3a and (3b) filled in (1b ') by using vacuum thin film formation techniques such as sputtering. The pair of core halves la and 1b are fusion-bonded by the reinforcing glass 4 melt-filled in the track width regulating recesses 1a 'and 1b'.

이 자기헤드는 상기 돌기부(1a″), (1b″)에 피착된 강자성 금속박막(2a), (2b)을 이용하여 자기 갭(g)을 형성하고 있기 때문에 자기저항이 작고 효율이 좋은 좁은 트랙헤드를 얻을 수가 있다. 그러나. 이와 같은 복합자성 재료로 이루는 자기헤드는 트랙폭 규제 凹부(1a′), (1b′)의 단면 즉, 코아 반쪽체(1a) (1b)와 상대하는 반대측의 코아의 일부로 되는 강자성 금속박막의 각각(2a) (2b)과의 간격이 좁게 되기 때문에 장파장역에 있어서, 인접 또는 격인접 트랙의 신호를 주워 크로스토크를 발생케 하는 위험이 있다.This magnetic head forms a magnetic gap g by using the ferromagnetic metal thin films 2a and 2b deposited on the projections 1a ″ and 1b ″, so that a narrow track with small magnetic resistance and high efficiency is provided. You can get a head. But. The magnetic head made of such a composite magnetic material is made of a ferromagnetic metal thin film which is a part of the cores on the opposite side facing the core half 1a 'and 1b, that is, the cross sections of the track width regulating recesses 1a' and 1b '. Since the distance from each of (2a) and (2b) becomes narrow, there is a risk of picking up signals from adjacent or adjacent tracks in the long wavelength region to generate crosstalk.

본 발명은 이러한 점에 비추어 강자성 산화물로 이루는 자기코아에 강자성 금속박막을 퍼착하여 자기 갭을 형성하는 자기헤드에 있어서 인접 또는 격인접 트랙으로부터의 크로스토크의 저감화를 도모한 것이다.In view of the above, the present invention aims to reduce crosstalk from adjacent or adjacent tracks in a magnetic head in which a ferromagnetic metal thin film is deposited on a magnetic core made of ferromagnetic oxide to form a magnetic gap.

본 발명은 상기 목적을 달성하기 위하여, 강자성 산화물로 이루는 자기코아 반쪽체 쌍의 대접면에 진공박막 형성기술에 의하여 강자성 금속박막을 형성하고, 이 자기코아 반쪽체 쌍을 맞대어 자기 갭을 형성하여 이루어지는 자기헤드에 있어서, 자기 갭과 강자성 금속박막 형성면이 소요각도로 경사하여 있고 강자성 금속박막만에 의하여 자기 갭을 형성하고 테이프 대접면에 강자성 금속박막과 강자성 산화물 및 비자성재가 배치되고, 또한 강자성 산화물과 비자성재와의 경계면이 굴곡하고 있는 것을 특징으로 하고, 인접 또는 격인접 트랙으로부터의 크로스토크의 저감화를 도모한 것이다.In order to achieve the above object, the present invention forms a ferromagnetic metal thin film by a vacuum thin film forming technique on a contact surface of a magnetic core half-pair made of ferromagnetic oxide, and forms a magnetic gap by facing the magnetic core half-pair. In the magnetic head, the magnetic gap and the ferromagnetic metal thin film forming surface are inclined at a required angle, the magnetic gap is formed only by the ferromagnetic metal thin film, and the ferromagnetic metal thin film, the ferromagnetic oxide, and the nonmagnetic material are disposed on the tape-facing surface. The interface between the oxide and the nonmagnetic material is curved, and the crosstalk from adjacent or adjacent tracks is reduced.

이하 본 발명의 실시예를 도면에 근거하여 설명한다.Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

제3도는 본 발명에 관계되는 자기헤드의 일예의 사시도이다. 이 복합자성 재료로 이루어진 자기헤드는 예를들면 한쌍의 자기코아 반쪽체(11a), (11b)가 Mn-Zn 페라이트 등의 강자성 산화물에 의하여 형성된 자기 갭(g)의 근방부에는 고투자율 합금의 샌더스트 등으로 이루어진 강자성 금속박막(12a), (12b)이 스퍼터링 등의 진공박막 형성기술을 사용하여 형성되고, 그리고 자기 갭(g)의 형성된 근방 즉 테이프 대접면(11)에 있어서의 자기 갭(g)의 양측부에 트랙폭을 규제하는 凹부(11a′) (11b′)가 형성되고, 이 凹부에 비자성재로서의 산화물 유리(13a), (13b) 및 융착 유리(14)가 용융 충전되고 있다.3 is a perspective view of an example of a magnetic head according to the present invention. The magnetic head made of this composite magnetic material has a high permeability alloy in the vicinity of the magnetic gap g formed by a ferromagnetic oxide such as a pair of magnetic core halves 11a and 11b, for example, Mn-Zn ferrite. Ferromagnetic metal thin films 12a and 12b made of sand dust or the like are formed using a vacuum thin film forming technique such as sputtering, and the magnetic gap in the vicinity of the magnetic gap g formed, that is, the tape-joint surface 11. Concave portions 11a 'and 11b' for regulating the track width are formed at both sides of (g), and oxide glass 13a, 13b and fusion glass 14 as nonmagnetic materials are melted in the concave portion. It is being charged.

그런데 본 예의 자기헤드는 테이프 대접면(11)의 평면도를 제4도에 도시하는바 같이 자기 갭(g)은 소정의 방위각도로 형성되고, 또 자기코아 반쪽체(11a), (11b)의 트랙폭 규제 凹부(11a′), (11b′)의 단면은 자기갭(g)의 방위각과 다른 방향에서 2단계의 경사면(11a₁′) (11a₂′), (11b₁′) (11b₂′)에 의하여 형성하고 있다.However, in the magnetic head of this example, as shown in FIG. 4, a plan view of the tape-joint surface 11, the magnetic gap g is formed at a predetermined azimuth angle, and the tracks of the magnetic core halves 11a and 11b. width regulation凹portion (11a '), (11b' ) of the section is' (11a ₂₎ the magnetic gap (g) the inclined surface (11a ₁₎ 'in step 2, in azimuth and the other _{direction, (11b 1') (11b} 2 ').

또 강자성 금속박막(12a), (12b)의 형성면과 자기 갭(g)의 형성면을 이루는 경사각도(θ)는 거의 45°로 되고 있지만, 20° 내지 80° 정도의 범위로 하여도 좋다. 여기서 20^o이하의 각도라면 인접 트랙으로부터의 크로스토크가 크게 되고 바람직하기에는 30° 이상의 각도를 갖도록 하는 것이 좋다. 또 경사각도를 90°로 하였을 경우는 내마모성이 떨어지기 때문에 80° 이하로 하는 것이 좋다. 또 경사각도를 90°로 하면 방위각의 경사가 없는 보통 헤드의 경우는 자기 갭(g)의 근방부에 형성되는 상술의 강자성 금속박막(12a), (12b)의 막 두께를 트랙폭에 동등하게 형성할 필요가 있고, 진공박막 형성기술을 사용하여 박막을 형성함에 있어서 많은 시간을 요하게 되어 버리는 점이나 막구조가 불균일화 되어 버리는 점에서 바람직하지 못하다.Incidentally, the angle of inclination θ which forms the formation surface of the ferromagnetic metal thin films 12a and 12b and the formation surface of the magnetic gap g is approximately 45 °, but may be in the range of 20 ° to 80 °. . Here, if an angle of 20 ^o or less is good to have an angle cross-talk is larger than 30 ° and preferably hagieneun from the adjacent track. In addition, when the inclination angle is 90 °, wear resistance is inferior. Therefore, the inclination angle is preferably 80 ° or less. When the inclination angle is set to 90 °, in the case of a normal head without an azimuth inclination, the thicknesses of the above-described ferromagnetic metal thin films 12a and 12b formed in the vicinity of the magnetic gap g are equal to the track width. It is necessary to form, and it is unpreferable in that it takes a lot of time in forming a thin film using a vacuum thin film formation technique, and the film structure becomes uneven.

이와 같이 본 예의 자기헤드는 자기코아 반쪽체(11a)의 경사면 및 비자성재(13a) 상을 늘어 놓은 일평면상에 강자성 금속박막(12a)이 피착형성되고, 또 다른쪽의 자기코아 반쪽체(11b)의 경사면 및 비자성재(13b) 상을 늘어 놓은 일평면상에 강자성 금속박막(12b)이 피착형성되고 있음에 의하여, 예를들면 센더스트막으로 이루는 강자성 금속박막(12a), (12b)의 막구조 즉 주상정의 성장 방위는 자기 갭(g) 근방부 및 경사면에 걸쳐서 한 방향에 평행으로 갖추어진 균일한 것으로 되고 있고, 이 때문에, 자기헤드는 자로에 따른 방향에서 강자성 금속박막(12a), (12b)의 전체가 높은 투자율을 가리키는바 같이 높은 기록재생 출력을 얻을 수 있다. 또 자기헤드의 후부측은 Mn-Zn 페라이트등의 강자성 산화물 끼리를 맞붙여서 접합하고 있고, 강자성 금속박막(12a), (12b)과 자기코아 반쪽체(11a), (11b)와의 밀착성이 나쁘다 하더라도 큰 접착강도를 얻을 수가 있고, 또 가공시에 백트랙 빗나감이 발생하는 일도 없고 진행의 향상을 도모할 수가 있다.As described above, the magnetic head of the present example has a ferromagnetic metal thin film 12a deposited on the inclined surface of the magnetic core half 11a and the non-magnetic material 13a, and the other magnetic core half ( The ferromagnetic metal thin film 12b is formed on the inclined surface of 11b) and the one plane on which the nonmagnetic material 13b is arranged, for example, the ferromagnetic metal thin films 12a and 12b made of a sender film. The film structure, i.e., the growth orientation of the columnar tablet, is made uniform in parallel in one direction over the magnetic gap g and the inclined surface. Therefore, the magnetic head has a ferromagnetic metal thin film 12a in the direction along the magnetic path. As a whole, (12b) indicates a high permeability, a high recording / reproducing output can be obtained. In addition, the rear side of the magnetic head is joined by bonding ferromagnetic oxides such as Mn-Zn ferrite to each other, and the adhesion between the ferromagnetic metal thin films 12a, 12b and the magnetic core halves 11a, 11b is large. Adhesion strength can be obtained, and backtrack deflection is not generated at the time of processing, and progression can be improved.

또 트랙폭의 수 μ 내지 수십 μ의 광범위로 용이하게 형성할 수가 있고 절연막을 통하여 예를들면 다층으로 적층되는 강자성 금속박막(12a), (12b)의 적층수를 적게 하는 것으로서 좁은 트랙화의 자기헤드로 할 수 가 있다.In addition, the track width can be easily formed in a wide range of several micrometers to several tens micrometers. For example, a narrow track magnetization can be achieved by reducing the number of laminations of ferromagnetic metal thin films 12a and 12b stacked in multiple layers through an insulating film. You can do it with the head.

그리고 본 예의 자기헤드는 자기코아 반쪽체(l1a), (11b)의 트랙폭 규제 凹부(11a′), (11b′)의 단면이 자기 갭(g)의 방위각과 다른 방향에서 경사되고 있음에 의하여 인접트랙 및 그에 인접하는 트랙으로부터의 크로스토크가 감소된다.In the magnetic head of this example, the cross-sections of the track width limiting portions 11a 'and 11b' of the magnetic core halves l1a and 11b are inclined in a direction different from the azimuth angle of the magnetic gap g. This reduces crosstalk from adjacent tracks and tracks adjacent thereto.

즉 일반적으로는 인접 트랙의 크로스토크는 문제가 되지 않은 것과 같은 방책이 행하여지고 있고, 예를들면 제5도에 도시하는 VTR의 자기테이프(T)와 같이 서로 인접하는 트랙(t₁과 t₂,t₂와 t₃‥‥)은 상대적으로 다른 방위각으로 기록하고 상호의 크로스토크의 문제를 해소하도록 행하여지고 있지만, 격인접 트랙(t₁와 t₃,t₂와t₄, t₃와 t₅)의 기록 방위각은 동방향이기 때문에 크로스토크의 문제가 생기게 되고, 이 크로스토크의 문제가 생기는 것은, 격인접 트랙의 크로스토크이지만, 본 예와 같이 자기코아 반쪽체(11a), (11b)의 트랙폭 규제 凹부(11a′), (11b′)의 단면을 자기 갭(g)의 방위각과 다른 방향의 각도로 2단계로 경사시켜서 형성함에 의하여, 이 자기코아 반쪽체(11a) (11b)의 트랙폭 규제 凹부(11a′) (11b′)의 단연이 인접 또는 격인접 트랙에 대응하여도 방위각 손실에 의하여, 인접 또는 격인접 트랙으로부터의 신호의 픽업량 즉 크로스토크를 감소시킬 수가 있다.That is, generally, the crosstalk of adjacent tracks is not prevented. For example, tracks t ₁ and t ₂ adjacent to each other, such as the magnetic tape T of the VTR shown in FIG. , t ₂ and t ₃ ‥‥ are recorded at relatively different azimuth angles and solve the mutual crosstalk problem, but the adjacent tracks (t ₁ and t ₃ , t ₂ and t ₄ , t ₃ and t) ₅ ) Since the recording azimuth angle is in the same direction, there is a problem of crosstalk, and the problem of crosstalk is crosstalk of adjacent tracks. However, as in this example, magnetic core halves 11a and 11b. This magnetic core half body 11a (11b) is formed by inclining the end faces of the track width regulating portions 11a 'and 11b' in two stages at an angle different from the azimuth angle of the magnetic gap g. The edge of track width regulation 凹 (11a ') (11b') of () is adjacent or adjacent track Response can be also reduced the amount of pick-up means that the crosstalk of a signal, from the adjacent or every other adjacent track by the azimuth loss.

그리고, 방위각 기록에 있어서도 장파장 성분의 신호는 자기코아 반쪽체의 트랙폭 규제 凹부의 단연으로 재생되고, 크로스토크로서 본 신호에 교차하는 위험이 있지만, 트랙폭 규제 凹부(11a′), (11b′)의 단연간의 거리를 약 50μm 이상으로 보존하도록 형성함에 의하여 헤드 공극 손실을 이용하여 크로스토크 성분을 저감시킬 수가 있다.Also, in azimuth recording, the long-wavelength component signal is reproduced by the abbreviation of the track width regulation part of the magnetic core half, and there is a risk of crossing the signal as crosstalk, but the track width regulation part 11a ', (11b). The crosstalk component can be reduced by using the head void loss by forming the short distance at ′) at about 50 μm or more.

이상 설명한 바와 같이 본 예의 자기헤드는 자기 갭(g)으로부터 발생하는 자계의 강도가 높은 것이나 재생출력을 높이 취할 수 있고, 또 인접 혹은 격인접 트랙으로부터의 크로스토크를 저감시킬 수가 있는 것등,예를들면 메탈테이프 등의 높은 항자력(Hc)을 가지는 자기테이프에 고밀도 기록하는데 적합한 자기헤드로 되 어 있다.As described above, the magnetic head of the present example has a high intensity of the magnetic field generated from the magnetic gap g, a high regeneration output, and can reduce crosstalk from adjacent or adjacent tracks. For example, it is a magnetic head suitable for high density recording on magnetic tape having high coercive force (Hc) such as metal tape.

다음에 상기의 제3도에 도시한 자기헤드의 제조공정을 제6도 내지 제12도에 근거하여 설명한다.Next, the manufacturing process of the magnetic head shown in FIG. 3 will be described based on FIGS.

우선 제6도에 도시하는바 같이 예를들면 Mn-Zn 페라이트등의 강자성 산화물기판(20)의 상면폭 방향으로 복수의 홈(21)을 회전 숫돌 또는 전계 엣칭등에 의하여 단면 다각형으로 복수형성한다. 즉 상기 기판(20)의 상면(23)는 자기 갭 형성면에 대응하고, 상기 홈(21)은 기판(20)의 자기 갭 형성위치 근방부에 상당하는 부분에 형성된다.First, as shown in FIG. 6, for example, a plurality of grooves 21 are formed in a polygonal cross-section by a grinding wheel or electric field etching in the upper width direction of a ferromagnetic oxide substrate 20 such as Mn-Zn ferrite. That is, the upper surface 23 of the substrate 20 corresponds to the magnetic gap formation surface, and the groove 21 is formed in a portion corresponding to the magnetic gap formation position of the substrate 20.

다음에 제7도에 도시하는바 같이 상기 홈(21)에 고융점 유리(22A)를 용융 충전한 후 상면(23)과 전면(24)을 평면 연마한다. 그래서 제8도에 도시한 바와 같이 고융점 유리(22A)를 충전한 상기 홈(21)의 일부와 오버랩하도록 상기 상면(23)에 홈(21)과 인접하는 복수의 홈(25)을 단면 삼각형상으로 형성한다. 이때 형성되는 홈(25)의 한쪽의 내벽면(26)에는 상기 고융점 유리(22A)의 일부가 노출하고 있다. 또 이 한쪽의 내벽면(26)과 상기 상면(23)과의 교선(27)은 상기 전면(24)과 직각을 이루고 있다. 또 이 한쪽의 내벽면(26)과 상면(23)과 이루는 각도는 소요각도 예를들면 45°로 되어 있지만 이 각도는 상술과 같이 20° 내지 80° 정도이면 된다.Next, as shown in FIG. 7, after the high melting point glass 22A is melt-filled in the groove 21, the upper surface 23 and the front surface 24 are polished in a plane. Thus, as shown in FIG. 8, a plurality of grooves 25 adjacent to the grooves 21 are formed in the upper surface 23 so as to overlap a part of the grooves 21 filled with the high melting point glass 22A. Form into phase. At this time, a part of the high melting point glass 22A is exposed on one inner wall surface 26 of the groove 25 formed. In addition, the intersection 27 between the one inner wall surface 26 and the upper surface 23 is perpendicular to the front surface 24. The angle formed between the inner wall surface 26 and the upper surface 23 of the one side is 45 °, for example, but the angle may be about 20 ° to 80 ° as described above.

다음에 제9도에 도시하는바 같이 상기 기판(20)의 상기 홈(25)을 포함하는 상면(23)에 스퍼터링등의 진공박막 형성기술을 사용하여 고투자율 합금의 예를들면 센더스트를 절연막을 통하여 피착적층하고, 강자성 금속박막(28)을 형성한다. 이띠 홈(25)의 한쪽의 내면벽(26)상에 효율좋게 피착하도록 상기 기판(20)을 경사시켜서 스퍼터링 장치내에 배치하도록 한다. 그리고, 이 경우 강자성 금속박막을 일층으로 형성하여도 본발명으로부터 일탈하지 않은 것은 물론이다.Next, as shown in FIG. 9, a high permeability alloy, for example, a sender is insulated by using a vacuum thin film forming technique such as sputtering on the upper surface 23 including the grooves 25 of the substrate 20. Deposited through, to form a ferromagnetic metal thin film 28. The substrate 20 is inclined to be disposed in the sputtering apparatus so as to be deposited on the inner wall 26 of one of the two grooves 25 efficiently. In this case, of course, even if the ferromagnetic metal thin film is formed in one layer, it does not deviate from the present invention.

다음에 제10도에 도시하는바 같이 강자성 금속박막(28)이 피착된 상기 홈(25) 즉, 강자성 금속박막(28)상에 홈(25)에 대응하여 형성되는 홈(25′)에 상기 유리(22A)보다도 저융점의 유리(29)를 용융 충전한 후, 상면(23) 즉 자기 갭 형성면측에 피착하고 있는 불필요한 유리 및 강자성 금속박막을 연삭제거하고 평면 연마하여 경면으로 하게 된다. 이 상태에 있어서 앞의 공정에서 피착한 강자성 금속박막(28)의 일부가 상기 흠(25)의 내면벽 측에 남고, 특히 한쪽의 내벽면(26)에 강자성 금속박막(28A)이 피착된 상태로 된다. 그리고, 금속박막은 다른쪽의 내벽면에도 피착되어 남지만 이것은 상술한 스퍼터링 장치내에의 배치에 의하여 한쪽의 내벽면 측에 비하여 미소하기 때문에 도시는 생략한다.Next, as shown in FIG. 10, the groove 25 on which the ferromagnetic metal thin film 28 is deposited, that is, the groove 25 'formed on the ferromagnetic metal thin film 28 corresponding to the groove 25, is formed. After melting and filling the glass 29 having a lower melting point than the glass 22A, the unnecessary glass and ferromagnetic metal thin film deposited on the upper surface 23, that is, the magnetic gap formation surface side, are polished to a mirror surface. In this state, a part of the ferromagnetic metal thin film 28 deposited in the previous step remains on the inner wall side of the groove 25, and in particular, the ferromagnetic metal thin film 28A is deposited on one inner wall surface 26. It becomes The metal thin film is also deposited on the other inner wall surface, but this is omitted since the metal thin film is smaller than the one inner wall surface side by the arrangement in the above-described sputtering apparatus.

또 권선홈 측의 자기코아 반쪽체를 형성하기 위하여 제10도에 도시하는바 같이 가공을 한 강자성 산화물기판(20)에 권선홈(31)을 형성하는 홈 가공을 행하고, 제11도에 도시하는 강자성 산화물 기판(230)을 얻는다. 이 기판(30)으로 홈(21)에는 한쪽의 내벽면에는 강자성 금속박막(28B)이 피착형성되어 있다.In addition, in order to form the magnetic core half of the winding groove side, groove processing is performed to form the winding groove 31 in the ferromagnetic oxide substrate 20 processed as shown in FIG. A ferromagnetic oxide substrate 230 is obtained. A ferromagnetic metal thin film 28B is deposited on one inner wall surface of the groove 21 by the substrate 30.

다음에 상기 기판(20)의 자기 갭 형성면으로 되는 상면(23)과 상기 기판(30)의 자기 갭 형성면으로 되는 상면(32)을 막을 붙힌 갭 스페이서를 통하여 제12도에 도시하는바 같이 강자성 금속박막(28A)과 (28B)를 대응시켜서 맞붙혀 유리 융착을 행한다. 그후 이 기판(20)과 기판(30)을 합체시킨 블럭 (33)을 이 접합면에 대하여 방위각만 경사케 한 a-a선, a′-a′선의 위치에서 슬라이싱 가공하는 것으로서 박위각에서 경사하는 자기 갭을 가지는 복수개의 헤드칩을 얻을 수가 있다. 그리고, 기판접합면에 대하여 수직으로 슬라이싱 하면 보통의 헤드칩을 형성할 수 있다.Next, as shown in FIG. 12, the upper surface 23 serving as the magnetic gap forming surface of the substrate 20 and the upper surface 32 serving as the magnetic gap forming surface of the substrate 30 are coated with a gap spacer. The ferromagnetic metal thin films 28A and 28B are made to stick together to perform glass fusion. After that, the block 33 incorporating the substrate 20 and the substrate 30 is sliced at positions aa and a'-a 'where only the azimuth angle is inclined with respect to the joint surface. A plurality of head chips having a gap can be obtained. In addition, the normal head chip can be formed by slicing perpendicularly to the substrate bonding surface.

여기서 상기 갭 스페이서로서는 SiO₂,ZrO₂,Ta₂O₅,Cr등을 사용할 수가 있다.As the gap spacer, SiO ₂ , ZrO ₂ , Ta ₂ O ₅ , Cr, or the like can be used.

다음에, 상기 헤드칩의 자기테이프 대접면을 원통 연마하는 것으로서 제3도에 도시하는 자기헤드로 된다. 이 제3도의 자기헤드에 있어서 한쪽의 자기코아 반쪽체(11a)는 상기 기판(20)을 모재로 하고 있고, 다른쪽의 자기코아 반쪽체(11b)는 상기 기판(30)이 모재로 되어 있다. 또 비자성재(13a)(13b)는 상기 고융점 유리(22A), (22B)에 각각 대응하고, 비자성재(14)는 상기 저융점 유리(29)에 대응하고 있고, 이 자기헤드의 강자성 금속박막(12a), (12b)은 상기 금속박막(28A), (28B)에 각각 대응하고, 더우기 상기 자기헤드의 권선구멍 (15)은 상기 기판(30)에 형성된 권선홈(31)에 대응하고 있다.Next, the magnetic tape abutment surface of the head chip is cylindrically polished to form the magnetic head shown in FIG. In the magnetic head of FIG. 3, one magnetic core half 11a has the substrate 20 as its base material, and the other magnetic core half 11b has the substrate 30 as its base material. . The nonmagnetic materials 13a and 13b correspond to the high melting point glass 22A and 22B, respectively, and the nonmagnetic materials 14 correspond to the low melting point glass 29, and the ferromagnetic metal of the magnetic head. The thin films 12a and 12b correspond to the metal thin films 28A and 28B, respectively, and the winding holes 15 of the magnetic head correspond to the winding grooves 31 formed in the substrate 30. have.

그리고, 상기 자기헤드의 트랙폭 규제 凹부(11a′), (11b′)는 상기 기판(20), (30)의 홈(21), (21)에 대응하고 있다. 이 때문에 트랙폭 규제 凹부(11a′), (11b′)의 단면부(11a₁′), (11a₂′), (11b₁′), (11b₂′)는 상기 홈(21), (21)의 다각형 내벽면의 일부분에 대응하고, 2단계로 절곡한 형상으로 되어 있다. 이와 같이 상기 자기헤드에서는 예를들면 센더스트막인 상기 강자성 금속박막의 막구조는 제9도에 도시하는 공정에서 피착형성된 상기 금속박막(28)에 막구조의 불균일인 부분을 갭 형성면 연마가공에 의하여 깎아 버리기 때문에, 제10도에 도시하는바 같이 홈(25)의 한쪽의 내벽면인 경사의 평면 즉 일평면상에 형성된균일한 막구조의 박막(28A), (28B)만을 사용할 수가 있다. 이 때문에 상기 금속박막(28A), (28B)의 각부가 헤드의 자로방향에 따라서 높은 투자율을 도시하는바 같이 되고 자기헤드는 안정한 고출력을 얻을 수가 있다.The track width regulation recesses 11a 'and 11b' of the magnetic head correspond to the grooves 21 and 21 of the substrates 20 and 30, respectively. For this reason, the end portions 11a ₁ ′, 11a ₂ ′, 11b ₁ ′, and 11b ₂ ′ of the track width regulation recesses 11a 'and 11b' are provided in the grooves 21 and ( It corresponds to a part of polygonal inner wall surface of 21), and it is a shape bent in two steps. As described above, in the magnetic head, the film structure of the ferromagnetic metal thin film, which is, for example, a sender film, is formed by grinding the gap-forming surface on the non-uniform portion of the film structure on the metal thin film 28 deposited in the process shown in FIG. As shown in FIG. 10, only thin films 28A and 28B having a uniform film structure formed on one plane of an inclined plane, i.e., the inner wall surface of the groove 25, as shown in FIG. 10 can be used. . For this reason, each part of the said metal thin films 28A and 28B shows a high permeability according to the magnetic path direction of a head, and a magnetic head can obtain a stable high output.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 의한 자기헤드는 제조공정에 있어서 미리 고융점 유리 (22A)를 팩한 홈 (21)에 인접하여 자기 갭 형성면으로 되는 평면에 대하여 45°(20° 내지 80°의 범위이면 좋다)의 각도를 이루는 평면(26)을 후의 공정에서 숫돌가공등에 의하여 형성하고, 갭면과는 경사진 위치관계에 있는 이 평면상에 강자성 금속박막(28)을 진공박막 형성기술로 형성하고 있다. 그리고 적어도 자기 갭 근방에 있어서는 경사진 평면상에 성장하고 있는 박막만이 남도록 갭면 연마가공을 행하고 있기 때문에, 자기 갭(g)을 형성하는 강자성 금속박막(12a), (12b)은 각부에 있어서 균일인 막구조로 되고 헤드출력의 고안정화가 가능하게 되고 있고, 또 자기 갭(g)의 양측의 트랙폭 규제 凹부(11a′), (11b′)의 단면(11a₁′) (11a₂′), (11b₁′) (11b₂′)는 상기 고융점 유리(22A)를 팩한 홈(21)의 다각형상 내벽면의 거의 반에 의하여 형성되고 있음으로 2단계로 굴곡변화하고 있고, 그 때문에 방위각 가드 밴드 레스 기록에 있어서 인접 및 격인접 트랙으로부터의 크로스토크를 피할 수가 있고 기록재생 효율이 큰 신뢰성 높은 자기헤드로 되고 있다. 또 상기 자기헤드는 헤드의 후부측의 접합면 즉 백갭면에 있어서 강자성 하산화물 끼리가 직접 유리 융착 하고 있기 때문에 헤드칩의 내파괴 강도가 크고 제조하기 쉬운 헤드로 되어 있고 원료제품의 비율의 향상을 도모할 수가 있다.As described above, the magnetic head according to the present invention has a range of 45 ° (20 ° to 80 °) with respect to a plane which becomes a magnetic gap forming surface adjacent to the groove 21 in which the high melting point glass 22A is packed in the manufacturing process. Plane 26 is formed by a grinding wheel in a later step, and the ferromagnetic metal thin film 28 is formed by a vacuum thin film forming technique on this plane in a positional relationship inclined with the gap surface. . Since the gap surface polishing is performed so that only the thin film growing on the inclined plane remains at least near the magnetic gap, the ferromagnetic metal thin films 12a and 12b forming the magnetic gap g are uniform in each part. It becomes a film structure, and high stability of head output is enabled, and the cross section 11a ₁ 'of the track width regulation part 11a', 11b 'of both sides of the magnetic gap g, and 11a ₂ '. ), (11b ₁ ′) and 11b ₂ ′ are formed by almost half of the polygonal inner wall surface of the groove 21 in which the high melting point glass 22A is packed and thus are bent in two stages. In azimuth guard bandless recording, crosstalk from adjacent and adjacent tracks can be avoided and a highly reliable magnetic head with high recording and reproducing efficiency is provided. In addition, since the magnetic heads are directly glass-bonded to each other on the back side of the head, that is, the back gap surface, the magnetic head has a high fracture resistance of the head chip and is easy to manufacture. It can be planned.

제13도, 제14도 및 제15도는 본 발명의 다른 실시예에 있어서의 테이프 대접면을 도시하는 평면도이다.13, 14, and 15 are plan views showing the tape welding surface in another embodiment of the present invention.

이들 다른 실시예에 있어서는 자기 갭(g)의 양측의 트랙폭 규제 凹부(11a′), (11b′)의 단면형상을 바꾼 경우이다. 즉 제13도에 도시하는 실시예는 코아 반쪽체(11a′) (11b′)에 형성하는 트랙폭 규제 凹부(11a′), (11b′)의 단면을 헤드칩의 하면,상면에 대하여 경사가 완만한 2절 경사면(11a₁′), (11a₂′), (11b₁′)(11b₂′)에 형성한 경우이고, 제14도에 도시하는 것은 코아 반쪽체(11a)(11b)에 형성하는 트랙폭 규제 凹부(11a′), (11b′)의 2절경사면(l1a₁′), (11a₂′), (11b₁′), (11b₂′)의 굴곡부의 아르를 큰 직경으로 형성한 경우, 제15도에 도시하는 것은 코아 반쪽체(11a)(11b)에 형성하는 트랙폭 규제 凹부(11a′) (11b′)에 형성하는 트랙폭 규제 凹부(11a′) (11b′)의 단면을 3절 경사면(11a₁′)(11a₂′)(11a₃′), (11b₁′)(11b₂′)(11b₃′)에 형성한 경우이다.In these other embodiments, the cross-sectional shapes of the track width regulating recesses 11a 'and 11b' on both sides of the magnetic gap g are changed. That is, the embodiment shown in FIG. 13 is inclined with respect to the lower surface and the upper surface of the head chip in the cross section of the track width regulation recesses 11a 'and 11b' formed in the core halves 11a 'and 11b'. Is formed on a gentle two-section slope 11a ₁ ′, 11a ₂ ′, 11b ₁ ′, 11b ₂ ′, and shown in FIG. 14 is a core half 11a, 11b. 2nd slopes l1a ₁ ′, 11a ₂ ′, 11b ₁ ′, and 11b ₂ ′ of the track width regulation recesses 11a ′ and 11b ′ that are formed at In the case of forming a diameter, the track width regulating recessed portion 11a 'formed in the track width regulating recessed portion 11a' (11b ') formed in the core half body 11a (11b) is shown in FIG. It is the case where the cross section of (11b ') is formed in the three-section inclined surface 11a ₁ ' (11a ₂ ') (11a ₃ '), (11b ₁ ') (11b ₂ ') (11b ₃ ').

그리고, 트랙폭 규제 凹부의 단면은 2절 경사면의 각각의 경사각도를 바꾼 형상, 3절 경사면 이상의 다절경사면 등에 형성하여도 좋다. 도면중 12a,12b는 강자성 금속박막, 13a,13b,14는 비자성재이다.The cross section of the track width regulating recess may be formed in a shape in which the inclination angles of the two-section inclined surfaces are changed, a multi-section inclined surface equal to or greater than the three-section inclined surface, and the like. In the figure, 12a and 12b are ferromagnetic metal thin films, and 13a, 13b and 14 are nonmagnetic materials.

또 상술의 제12도에 도시하는바 같이 합체된 블럭(33)의 슬라이싱 가공에 있어서 제16도에 도시하는바 같이 소정의 테이프 대접면 폭과 동간격 또는 그것보다 좁은 간격으로 홈(34), (34′)을 형성하고, 실제의 슬라이싱 두께를 테이프 대접면폭 즉 홈(34), (34′)로 끼워진 부분의 두께보다 두껍게 하여 홈(34), (34′)내애 있어서의 b-b선, b′-b′선의 위치에서 슬라이싱하여 헤드칩을 얻을 수가 있고, 이 헤드칩의 테이프 대접면을원통연마함에 의하여 제17도에 도시하는 자기헤드를 얻을 수 있다.In the slicing process of the integrated block 33 as shown in FIG. 12, the grooves 34 are spaced at a predetermined tape contact surface width and at equal intervals or narrower than that as shown in FIG. (34 '), and the actual slicing thickness is made thicker than the tape contact surface width, that is, the thickness of the portion sandwiched by the grooves 34 and 34', and the bb line in the grooves 34 and 34 ', b The head chip can be obtained by slicing at the position of the line '-b', and the magnetic head shown in FIG. 17 can be obtained by cylindrical polishing the tape contacting surface of the head chip.

이와 같이 하여 행하는 합체 블록(33)의 슬라이싱 가공에 있어서, 홈(34), (34′)의 형성시에는 숫돌이 강자성 금속박막(12a), (12b)으로 되는 금속박막(28A), (28B), 자기코아 반쪽체(11a), (11b)를 형성하는 페라이트 기판(20)(30) 및 비자성재(13a), (13b), (14)에 대응하는 유리재(22A), (22B), (29)를 통과하지만, 이 통과면적은 매우 작고, 이에 대하여 통과 면적이 큰 실제의 슬라이싱시에는 페라이트(20), (30)의 비자성재(22A), (22B), (29)만을 통과함으로써 슬라이싱 가공시의 강자성 금속박막(28A), (28B)의 벗겨지고 금가는등의 불량 항목을 저감할 수가 있다. 또 凹 단형의 홈(34) (34′)으로 바꾸어서 제18도에 도시하는바 같이 테이퍼 형면(35)(35′)을 형성하여도 좋다.In the slicing process of the coalescing block 33 performed in this way, when the grooves 34 and 34 'are formed, the metal thin films 28A and 28B whose grindstones become ferromagnetic metal thin films 12a and 12b. ), Glass materials 22A and 22B corresponding to the ferrite substrates 20 and 30 and the nonmagnetic materials 13a, 13b, and 14 forming the magnetic core halves 11a and 11b. Pass through (29), but this pass area is very small, whereas only the nonmagnetic materials 22A, 22B, and 29 of ferrites 20 and 30 pass during actual slicing. As a result, defective items such as peeling and cracking of the ferromagnetic metal thin films 28A and 28B during slicing can be reduced. Alternatively, the tapered surface 35 (35 ') may be formed as shown in FIG. 18 by changing into a short groove 34 (34').

또 슬라이싱 폭을 크게 하였을 경우는 제19도에 도시하는바 같이 강자성 금속박막(12a) (12b)의 굴곡부가 코아 반쪽체(11a), (11b)중에 존재하게 되지만, 페라이트와 금속과의 자기적 접합은 금속박막의 평면부에 있어서 충분히 행하여지는 치수관계에 있기 때문에 즉 금속박막의 평면부가 충분히 넓기 때문에 헤드의 출력을 손상시키는 일이 거의 없는 구조로 되어 있다.When the slicing width is increased, the bent portions of the ferromagnetic metal thin films 12a and 12b are present in the core halves 11a and 11b, as shown in FIG. Since the joining is in a dimensional relationship that is sufficiently performed in the planar portion of the metal thin film, that is, the planar portion of the metal thin film is sufficiently wide, it has a structure which hardly damages the output of the head.

이와 같이 하여 슬라이싱 가공함으로써 테이프 대접면 근방의 폭을 헤드자체의 강도를 손상시키는 일이없고 어느정도 얇게 할 수 있기 때문에 테이프에 익숙해지고, 또 고내마모성의 자기헤드를 형성할 수가 있다. 또 이 자기헤드는 백측의 코아 두께가 두껍기 때문에 백측의 자기저항은 더욱 잡게 되고 재생효율이 증가하기 때문에 보다 고출력의 헤드로 된다.By slicing in this way, the width of the vicinity of the tape-joined surface can be made somewhat thin without compromising the strength of the head itself, so that the tape becomes familiar with the tape and can form a high wear resistant magnetic head. In addition, since the magnetic thickness of the back side is thicker, the magnetic head of the back side has a higher magnetic resistance and the regeneration efficiency is increased, resulting in a higher output head.

다음에 자기 갭 근방부에만 강자성 금속박막을 형성하는 것이 아니라 헤드의 전면부, 즉 프론트 갭 형성 면으로부터 후부 즉 백 갭 형성면까지 연속하여 강자성 금속박막을 형성한 본 발명의 다른 실시예로 되는 제20도의 자기헤드에 대하여 설명한다.Next, a ferromagnetic metal thin film is formed not only in the vicinity of the magnetic gap, but in another embodiment of the present invention in which the ferromagnetic metal thin film is continuously formed from the front portion of the head, that is, from the front gap forming surface to the rear portion, that is, the back gap forming surface. A magnetic head of 20 degrees will be described.

이 자기레드는 자기코아 반쪽체(41a), (41b)가 강자성 산화물인 예를들면 Mn-Zn 페라이트로 형성하고, 이 코아 반쪽체(41a), (41b)의 접합면인 자기 갭(g)의 형성면과 코아 반쪽체(41a), (41b)의 접합면 근방에 피착형성된 센더스트막인 강자성 금속박막(42a), (42b)의 형성면은 예를들면 45°의 각도로 경사하고 있다. 또 이 금속박막(42a), (42b)은 프론트 갭 형성면으로부터 백 갭 형성면에 이르기까지 연속하여 형성되고, 이 금속박막(42a), (42b)에만 의하여 자기 갭(g)이 방위 각도로 경사하여 형성되고 있다. 또 트랙폭을 규제 하는 凹부(41a′), (41b′)의 단면 형상은 제21도에 테이프 대접면을 확대하여 도시하는바 같이 2절 경사면(41a₁′) (41a₂′), (41b₁′) (41b₂′)에 형성되고 있고, 이 트랙폭 규제 凹부에 보강재로 되는 비자성재(43a), (43b)와 (44)가 접합면 근방에 충전되어 있다. 또 한쪽의 자기코아 반쪽체(41b)에는 권선구멍(45)이 형성되고 있다.The magnetic red is formed of, for example, Mn-Zn ferrite in which the magnetic core halves 41a and 41b are ferromagnetic oxides, and the magnetic gap g which is the joint surface of the core halves 41a and 41b. The formation surfaces of the ferromagnetic metal thin films 42a and 42b, which are the sender films deposited on the junction surfaces of the core half bodies 41a and 41b, are inclined at an angle of, for example, 45 °. . The metal thin films 42a and 42b are formed continuously from the front gap forming surface to the back gap forming surface, and only the metal thin films 42a and 42b form the magnetic gap g at an azimuth angle. It is formed inclined. In addition, the cross-sectional shapes of the recesses 41a 'and 41b' regulating the track width are shown in Fig. 21 with an enlarged tape-joint surface, and the two-section inclined surfaces 41a ₁ ', 41a ₂ ', ( 41b ₁ ′) and 41b ₂ ′, and the nonmagnetic materials 43a, 43b, and 44, which are reinforcing materials, are filled in the vicinity of the joint surface. Moreover, the winding hole 45 is formed in one magnetic core half body 41b.

그런데 강자성 금속박막(42a), (42b)은 자기코아 반쪽체(41a), (41b)의 돌기부의 한쪽의 경사면으로부터 비자성재(43a) (43b)에 걸쳐서 형성되는 한 평면상에 형성되고 있기 때문에, 이 강자성 금속박막(42a) (42b)은 각 부에 있어서 막구조가 균일하게 되어 있고 자기헤드의 자로방향으로 따라서 이 강자성 금속박막(42a), (42b)의 전체가 높은 투자율을 가리키고 자기헤드의 기록재생 출력이 높아지고 있다. 또, 강자성 금속박막(42a), (42b)은 각층의 강자성 금속박막이 SiO₂,Ta₂O₅,Al₂O₅,ZrO₂,Si₃N₄등의 고내마모성 절연막을 통하여 적층되는 것으로서 구성되고, 이 강자성 금속박막의 적층수는 임의로 설정할 수 있다.By the way, since the ferromagnetic metal thin films 42a and 42b are formed on one plane formed from one inclined surface of the protrusions of the magnetic core halves 41a and 41b to extend over the nonmagnetic materials 43a and 43b. The ferromagnetic metal thin films 42a and 42b have a uniform film structure in each part, and the ferromagnetic metal thin films 42a and 42b all have high magnetic permeability along the magnetic head direction. The recording / playback output of the is increasing. In addition, the ferromagnetic metal thin films 42a and 42b are constituted by laminating ferromagnetic metal thin films of each layer via high wear-resistant insulating films such as SiO ₂ , Ta ₂ O ₅ , Al ₂ O ₅ , ZrO ₂ , and Si ₃ N ₄ . The number of stacked layers of the ferromagnetic metal thin film can be arbitrarily set.

다음에, 이와 같은 자기헤드의 제조공정을 제22도 내지 제28도에 의하여 설명한다. 우선 제22도에 도시하는바 같이 Mn-Zn 페라이트등의 강자성 산화물 기판(50)의 상면부에 회전숫돌 등을 사용하여 상면부를 가로지르는 것과 같이 단면 다각형상의 홈(51)을 복수형성 한다.Next, the manufacturing process of such a magnetic head will be described with reference to FIGS. First, as shown in FIG. 22, a plurality of grooves 51 having a polygonal cross section are formed in the upper surface portion of the ferromagnetic oxide substrate 50 such as Mn-Zn ferrite by traversing the upper surface portion by using a grindstone or the like.

다음에 제23도에 도시하는바 같이 상기 홈(51)에 고융점 유리(52A)를 용융 충전한 후, 평면 연마가공을 행한다. 그리고, 제24도에 도시하는바 같이 상기 홈(51)과 평행으로 일부 오버랩하여 단면 V자형의 홈(53)을 복수형성한다. 이 홈(53)의 내벽면의 경사 각도는 상면부에 대하여 예를들면 45°로 되어 있고, 한쪽의 내벽면에 고융점 유리(52A)의 일부가 노출하고 있다.Next, as shown in FIG. 23, the groove 51 is melt-filled with the high-melting-point glass 52A, and then subjected to plane polishing. As shown in FIG. 24, a plurality of grooves 53 having a V-shaped cross section are formed by partially overlapping the grooves 51 in parallel. The inclination angle of the inner wall surface of the groove 53 is, for example, 45 ° with respect to the upper surface portion, and part of the high melting point glass 52A is exposed on one inner wall surface.

다음에, 제25도에 도시하는바 같이 상기 기판(50)의 상면부에 센더스트 등을 스퍼터링, 이온 프레이팅,증착등의 진공박막 형성기술을 사용하여 고내마모성 절연막을 통하여 적층하고, 상기 홈(53)에 강자성 금속박막(54)을 행한다.Next, as shown in FIG. 25, a sender or the like is laminated on the upper surface of the substrate 50 through a high wear resistant insulating film using a vacuum thin film formation technique such as sputtering, ion framing, and deposition. The ferromagnetic metal thin film 54 is subjected to 53.

그리고, 금속박막(54)이 피착된 상기 홈(53) 즉 금속박막(54)상에 홈(53)과 대응하여 형성되는 홈(53′)에 상기 유리(52A)로부터 저융점의 유리(55)를 충전하고, 제26도에 도시하는바 같이 상기 기판(50)의 상면부및 전면부를 상기 강자성 금속박막(54)이 상기 홈부(53)에만 남도록 평면 연마가공함에 의하여, 홈부(53)의 내벽면에 강자성 금속박막(54A)이 피착된 상태로 되고, 이 금속박막(54A)상의 홈(53′)에 저융점 유리(55)가 남게 된다.The low melting point glass 55 from the glass 52A is formed in the groove 53 on which the metal thin film 54 is deposited, that is, the groove 53 'formed on the metal thin film 54 corresponding to the groove 53. ), And as shown in FIG. 26, the top and front portions of the substrate 50 are polished in a plane such that the ferromagnetic metal thin film 54 remains only in the groove portion 53. The ferromagnetic metal thin film 54A is deposited on the inner wall surface, and the low melting glass 55 remains in the groove 53 'on the metal thin film 54A.

또 권선홈 측의 코아 반쪽체를 형성하기 위하여 제26도에 도시하는바 같이 가공을 한 상기 기판(50)에 권선홈(61)을 형성하는 홈가공을 행하고 제27도에 도시하는 강자성 산화물 기판(60)을 얻는다. 이 기판(60)으로 홈(51)에는 고융점 유리(52B)가 충전되고, 홈(53)에는 강자성 금속박막(54B)이 피착형성되고 있다.In addition, the ferromagnetic oxide substrate shown in Fig. 27 is subjected to the groove processing for forming the winding groove 61 in the substrate 50 processed as shown in Fig. 26 to form the core half body on the winding groove side. Get 60. The substrate 60 is filled with the high melting point glass 52B in the groove 51, and the ferromagnetic metal thin film 54B is deposited on the groove 53.

다음에, 제28도에 도시하는바 같이 상기 기판(50)과 상기 기판(60)을 강자성 금속박막(54A)과 (54B)가 피착된 측의 평면부가 마주보고 상기 금속박막(54A)과 (54B)의 한쪽의 면측이 연속형 으로 대 향하도록 갭스페이서를 통하여 맞붙여 유리 융착하는 것으로서 합체 블럭(62)으로 한다.Next, as shown in FIG. 28, the flat part on the side where the ferromagnetic metal thin films 54A and 54B are deposited faces the substrate 50 and the substrate 60 so as to face the metal thin film 54A and ( One side of 54B) is joined to each other through a gap spacer so as to be fusion-spliced to form a coalescing block 62.

그리고. 이상의 공정에 있어서 기판(40)에 피착형성된 강자성 금속박막(44)의 상측에 홈(43)과 대응하여 형성되는 홈(43′)에는 저융점 유리(45)를 충전하지 않고, 제27도에 도시하는 공정에 있어서 권선홈(61)과소요간격 떨어져서 평행으로 유리 충전 홈을 형성해 두고, 기판(50)과 (60)의 접합시 권선홈(61) 및 유리충전 홈에 저융점 유리봉을 삽입하여 이 유리를 용융함으로써 상기 홈(43′)에 충전되어서 양기판(50) (60)은 접합하게 되고 합체 블럭(62)으로 할 수가 있다.And. In FIG. 27, the groove 43 'formed on the ferromagnetic metal thin film 44 deposited on the substrate 40 in correspondence with the groove 43 is not filled with the low melting glass 45. In the illustrated process, glass filling grooves are formed parallel to the winding grooves 61 at a predetermined interval, and a low melting glass rod is inserted into the winding grooves 61 and the glass filling grooves when the substrate 50 and 60 are bonded. By melting the glass, the grooves 43 'are filled with the two substrates 50 and 60 to be joined to form a coalescing block 62.

다음에, 이와 같이 형성된 합체 블럭(62)을 접합면에 대하여 방위각만 경사시킨 c-c선, c′-c′선의 위치에서 슬라이싱 가공하는 것으로서 방위각으로 경사하는 자기 갭이 후부까지 형성된 복수개의 헤드칩을 얻을수가 있다. 그후, 이 헤드칩의 자기테이프 대접면을 원통연마하는 것으로서 제20도에 도시한 자기헤드로 된다. 여기서 이 자기헤드의 한쪽의 코아 반쪽체(41a)는 상기 기판(50)을 모재로 하고 있고, 다른쪽의 코아반쪽체(41b)는 상기 기판(60)을 모재로 하고 있다. 또 강자성 금속박막(42a), (42b)은 상기 금속박막(54A), (54B)에 대응하고, 비자성재(43a), (43b)는 상기 고융점 유리(52A), (52B)에 대응하고, 더우기 비자성재(44)는 상기 저융점 유리(55)에 대응하고 있다. 또 권선구멍 (45)은 상기 권선홈(61)에 대응하고 있다.Next, the slicing process of the coalescence block 62 formed as described above is performed at the positions of the cc line and the c'-c 'line in which only the azimuth angle is inclined with respect to the joint surface. You can get it. Thereafter, the magnetic tape abutment surface of the head chip is cylindrically ground to form the magnetic head shown in FIG. The core half body 41a of this magnetic head has the said board | substrate 50 as a base material, and the other core half body 41b has the said board | substrate 60 as a base material. The ferromagnetic metal thin films 42a and 42b correspond to the metal thin films 54A and 54B, and the nonmagnetic materials 43a and 43b correspond to the high melting point glass 52A and 52B. Moreover, the nonmagnetic material 44 corresponds to the low melting point glass 55. The winding hole 45 corresponds to the winding groove 61.

그리고 상기 자기헤드의 트랙폭 규제 凹부(41a′), (41b′)는 상기 기판(50), (60)의 다각형 홈(51), (51)에 대응하고 있다. 그것 때문에 상기 트랙폭 규제 凹부(41a′), (41b′)의 단면부 (41a₁′) (41a₂′), (41b₁′) (41b₂′)는 상기 홈(51), (51)의 다각형 내벽면의 일부분에 대응하고, 2단계로 절곡한 형상으로 되고 있다. 이와 같이, 자기 갭(g)의 양측의 트랙폭 규제 凹부(41a′), (41b′)의 단면이 고융점 유리를 팩한 홈(51)의 다각형상 내벽면의 일부분에 의하여 형성되어서 굴곡하고 있기 때문에 방위각 가드 밴드 레스 기록에 있어서 인접 및 격인접 트랙으로부터 크로스토크를 저감할 수가 있어서 기록재생 효율이 큰 신뢰성 높은 자기헤드로 되고 있다.The track width regulating portions 41a 'and 41b' of the magnetic head correspond to the polygonal grooves 51 and 51 of the substrates 50 and 60, respectively. Therefore, the end portions 41a ₁ ′, 41a ₂ ′, 41b ₁ ′, 41b ₂ ′ of the track width regulating recesses 41a ′, 41b ′ are formed in the grooves 51, 51. Corresponding to a portion of the inner wall of the polygonal polygonal shape), the shape is bent in two steps. Thus, the cross sections of the track width regulating recesses 41a 'and 41b' on both sides of the magnetic gap g are formed and bent by a part of the polygonal inner wall surface of the groove 51 which packs the high melting point glass. Therefore, in the azimuth guard bandless recording, crosstalk can be reduced from adjacent and adjacent tracks, resulting in a highly reliable magnetic head having high recording and reproducing efficiency.

또 이상의 자기헤드의 제조공정에 있어서 홈(51)을 깊에 형성함으로써 트랙폭 규제 凹부(41a′)와 (41b′)의 단면간의 거리를 크게, 예를들면 약 50μ이상으로 함으로써 헤드공극 손실을 이용하여 크로스토크 성분을 저감시킬 수가 있다.In the above-described magnetic head manufacturing process, the groove 51 is formed deep so that the distance between the end portions of the track width regulating recesses 41a 'and 41b' is made large, for example, about 50 mu or more, so that the head void loss is reduced. It is possible to reduce the crosstalk component by using.

그런데 상술의 제조공정에 있어서, 강자성 금속박막(42a), (42b)의 막구조의 불균일한 부분은 제26도에서 설명한 연마공정 즉 갭면 연마가공시에 깎아 버리게 됨과 동시에 제28도에 도시한 슬라이싱에 의하여 절제되어 버리기 때문에 균일한 막구조를 가지는 강자성 금속박막(42a), (42b)만이 남는다. 이 때문에 상기 자기헤드는 한 평면상에 형성된 상기 강자성 금속박막(42a), (42b)이 자로에 따라서 그 각부가 고투자율로 되는 것으로서 안정된 고출력이 얻어지게 된다.By the way, in the above-described manufacturing process, the non-uniform portions of the film structures of the ferromagnetic metal thin films 42a and 42b are scrapped during the polishing process described in FIG. 26, that is, the gap surface polishing process and the slicing shown in FIG. The ferromagnetic metal thin films 42a and 42b having a uniform film structure remain because they are cut off by the film. For this reason, the magnetic head has a stable high output because the ferromagnetic metal thin films 42a and 42b formed on one plane have their respective magnetic permeability at high magnetic permeability.

그리고, 제28도의 합체한 블럭(62)을 슬라이싱 하는 c-c선, c′-c′선은 양 코아 반쪽체 블럭(50), (60)의 접합면에 대하여 경사 즉 방위각을 가지는 자기 갭 (g)이 얻어지도록 슬라이싱 방향을 경사시키고 있지만,이것을 맞붙힌 면에 대하여 수직으로 슬라이싱 하여도 좋다.In addition, the cc line and the c'-c 'line slicing the coalesced block 62 of FIG. 28 are magnetic gaps g having an inclination or azimuth angle with respect to the joint surface of both core half blocks 50 and 60 (g). The slicing direction is inclined so that) is obtained, but it may be sliced perpendicularly to the bonded surface.

또 본 예에 있어서도 합체시킨 블럭 (62)의 슬라이싱 가공에 있어서 제16도에 도시하는바 같이 소정의 테이프 대접면폭과 동간격 또는 그것보다 좁은 간격으로 홈(63), (63′)을 형성하고 실제의 슬라이싱 두께를 테이프 대접면 폭 즉 홈(63), (63′)으로 끼워진 부분의 두께보다 두껍게 한 위치에서 슬라이싱 함으로써 제29도에 도시하는 자기헤드을 얻을 수 있다.Also in this example, in the slicing process of the united block 62, as shown in FIG. 16, the grooves 63 and 63 'are formed at a predetermined tape contact surface width and at equal intervals or smaller than that. The magnetic head shown in FIG. 29 can be obtained by slicing the actual slicing thickness at a position where the tape slicing thickness is thicker than the width of the tape-fitting surface, that is, the thickness of the portions sandwiched by the grooves 63 and 63 '.

이상과 같이 본 발명에 의하면 강자성 산화물 재료와 강자성 금속재료와의 복합재료로 이루고 테이프 대접면에 자기 갭에 대하여 경사지고 형성되는 강자성 금속박막과 강자성 산화물 및 비자성재가 배치되어 이루는 자기헤드에 있어서 강자성 산화물과 비자성재료와의 경계면을 굴곡하여 형성하였기에 방위각 가드 밴 드 레스 기록에 있어서 인접 및 격인접 트랙으로부터의 크로스토크가 감소된 기록재생 효율의 큰 신뢰성 높은 자기헤드를 얻을 수가 있다. 그리고, 홈이 굴곡하고 있음에 의하여, 강자성 산화물과 강자성 금속박막과 의 접합 면적을 크게 한 채로 인접 및 격인접 트랙에 있어서의 강자성 산화물과 강자성 금속박막과의 거리를 크게 할 수 있기 때문에, 장파장역에 있어서도 크로스토크가 적은 고출력 헤드를 얻을 수가 있다. 또 자기 갭은 강자성 금속박막만에 의하여 형성되는 것으로서 헤드의 출력이 높고 예를들면 메탈테이프 등의 높은 항자력(Hc)을 가지는 자기테이프에 적합한 헤드이고, 더우기 자기테이프 대접면 거의가 강자성 산화로 되어 있기 때문에 우수한 내마모성을 가지는 자기헤드로 되고 있다.As described above, according to the present invention, a ferromagnetic material is formed of a ferromagnetic oxide material and a ferromagnetic metal material, and is ferromagnetic in a magnetic head in which a ferromagnetic metal thin film and a ferromagnetic oxide and a nonmagnetic material are disposed on a tape-facing surface inclined with respect to a magnetic gap. Since the interface between the oxide and the nonmagnetic material is bent, it is possible to obtain a highly reliable magnetic head of recording reproduction efficiency with reduced crosstalk from adjacent and adjacent tracks in azimuth guard bandless recording. Since the grooves are bent, the distance between the ferromagnetic oxide and the ferromagnetic metal thin film in adjacent and adjacent adjacent tracks can be increased while increasing the junction area between the ferromagnetic oxide and the ferromagnetic metal thin film. Also, a high output head with little crosstalk can be obtained. In addition, the magnetic gap is formed only by the ferromagnetic metal thin film, and is a head suitable for magnetic tape having a high output of the head and having a high coercive force (Hc) such as metal tape, and moreover, almost the magnetic tape contact surface is made of ferromagnetic oxidation. As a result, the magnetic head has excellent wear resistance.

Claims

In a magnetic head formed by forming a ferromagnetic metal thin film on a junction surface of magnetic core half-pairs made of ferromagnetic oxide by a vacuum thin film forming technique, and forming a magnetic gap by pasting the magnetic core half-pairs, a magnetic gap and a ferromagnetic metal The thin-filmed surface is inclined at a predetermined angle, a magnetic gap is formed only by the ferromagnetic metal thin film, and the ferromagnetic metal thin film, the ferromagnetic oxide, and the nonmagnetic material are disposed on a tape-facing surface, and the ferromagnetic oxide, the nonmagnetic material, Magnetic head, characterized in that the boundary surface of the bend.