KR960005114B1

KR960005114B1 - Magnetic head

Info

Publication number: KR960005114B1
Application number: KR1019860011352A
Authority: KR
Inventors: 도시유끼 오까다; 야스유끼 미즈누마
Original assignee: 소니 가부시끼가이샤; 오오가 노리오
Priority date: 1985-12-28
Filing date: 1986-12-27
Publication date: 1996-04-20
Also published as: JPH0648529B2; JPS62157306A; KR870006512A

Abstract

내용 없음.No content.

Description

Magnetic head

제 1 도는 본 발명을 적용한 자기 헤드의 일 실시예를 도시한 사시도.1 is a perspective view showing an embodiment of a magnetic head to which the present invention is applied.

제 2 도는 그 자기 기록 매체 대접면을 도시한 요부 확대 평면도.2 is an enlarged plan view of a main portion showing the magnetic recording medium-joint surface thereof.

제 3 도는 본 발명의 다른 실시예의 자기 기록 매체 대접면을 도시한 확대 평면도.3 is an enlarged plan view showing a magnetic recording medium-joint surface of another embodiment of the present invention.

제 4 도 내지 제10도는 제 1 도 및 제 2 도에 도시한 자기 헤드의 제조 공정을 그 공정에 따라 도시한 단면도로서,4 to 10 are cross-sectional views showing the manufacturing process of the magnetic head shown in FIGS. 1 and 2 according to the process.

제 4 도는 제 1 의 절결홈 가공 공정을 도시한 도면.4 is a view showing a first cut groove processing process.

제 5 도는 강자성 금속 박막 형성 공정을 도시한 도면.5 shows a ferromagnetic metal thin film forming process.

제 6 도는 한쪽의 자기 코어 반쪽체를 제조하기 위한 유리 충전 및 평면 연마 공정을 도시한 도면.6 illustrates a glass filling and planar polishing process for producing one magnetic core half.

제 7 도는 제 2 의 절결홈 가공 공정을 도시한 도면.7 is a view showing a second cut groove processing process.

제 8 도는 다른쪽의 자기 코어 반쪽체를 제조하기 위한 유리 충전 및 평면 연마 공정을 도시한 도면.8 illustrates a glass filling and planar polishing process for producing the other magnetic core half.

제 9 도는 제 2 의 절결홈 가공 공정을 도시한 도면.9 is a view showing a second cut groove processing process.

제10도는 유리 융착 공정을 도시한 도면.10 shows a glass fusion process.

제11도 내지 제13도는 제 3 도에 도시한 자기 헤드의 제조 공정을 그 공정에 따라 도시한 단면도로서,11 to 13 are cross-sectional views showing the manufacturing process of the magnetic head shown in FIG. 3 according to the process.

제11도는 유리충전 및 평면 연마 공정을 도시한 도면.11 shows a glass filling and planar polishing process.

제12도는 제 2 의 절결홈 가공 공정을 도시한 도면.12 is a view showing a second cut groove processing process.

제13도는 유리 융착 공정을 각각 도시한 도면.13 shows glass fusion processes, respectively.

제14도는 종래의 자기 헤드의 자기 기록 매체 대접면을 도시한 요부 확대 평면도.14 is an enlarged plan view of a main portion showing a magnetic recording medium-joint surface of a conventional magnetic head;

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

10 : 자기 갭 형성면 11, 12 : 자기 코어부10: magnetic gap forming surface 11, 12: magnetic core portion

11a, 12a : 강자성 박막 형성면 13, 14 : 강자성 금속 박막11a and 12a: ferromagnetic thin film forming surfaces 13 and 14: ferromagnetic metal thin films

21, 22 : 자기 코어 반쪽체21, 22: magnetic core half body

[산업상 이용분야][Industrial use]

본 발명은 자기 헤드에 관한 것으로서, 상세하게는 자기 갭의 강자성 금속 박막 끼를 갭 스페이서를 통해 맞대므로써 구성되는 동시에 자기 코어 반쪽체의 대부분이 강자성 산화물에 의해 형성되게 되는 소위 복합형의 자기 헤드에 관한 것이다.The present invention relates to a magnetic head, and more particularly, to a so-called composite magnetic head which is constructed by abutting a ferromagnetic metal thin film pinch of a magnetic gap through a gap spacer, while a majority of the magnetic core halves are formed by ferromagnetic oxide. It is about.

[발명의 개요][Overview of invention]

본 발명은 강자성 산화물로 이루어지는 한쌍의 자기 코어부와, 상기 자기 코어부의 자기 기록 매체와의 맞대임면을 소정의 경사 각도로 절삭된 강자성 박막 형성면에 강자성 금속 박막을 피착하여 형성된 자기 코어 반쪽체와, 상기 자기 코어 반쪽체를 맞대어서 형성한 자기 갭을 구비한 자기 헤드에 있어서, 자기 기록 코어 반쪽체중 한쪽의 자기 코어 반쪽체에 형성되는 강자성 금속 박막의 자기 갭 형성면에서의 폭을 트랙폭과 동일하게 형성하고, 다른쪽의 자기 코어 반대쪽에 형성되는 강자성 금속 박막의 자기 갭 형성면에서의 폭은 상기 트랙폭 보다 크게 설정하므로써 트랙 폭 정밀도를 향상시키고, 크로스 토오크가 적고, 원료비와 생산성이 우수한 것으로 한 것이다.The present invention provides a pair of magnetic core portions made of ferromagnetic oxide, a magnetic core half body formed by depositing a ferromagnetic metal thin film on a ferromagnetic thin film formation surface cut at a predetermined inclination angle of an abutting surface of the magnetic core portion with a magnetic recording medium; A magnetic head having a magnetic gap formed by opposing the magnetic core halves, wherein the width at the magnetic gap formation surface of the ferromagnetic metal thin film formed on one magnetic core half of the magnetic recording core halves is determined by the track width. The width at the magnetic gap formation surface of the ferromagnetic metal thin film formed in the same manner and formed on the opposite side of the other magnetic core is set larger than the track width, thereby improving track width precision, having low cross torque, and excellent raw material cost and productivity. I did it.

[종래 기술][Prior art]

자기 기록 분야에 있어서는 정보 신호의 고밀도 기록화가 진전되고 있고, 이에 대응하여 소위 메탈 테이프나 증착 테이프 등과 같이 항자력이 높은 자기 기록 매체가 보급되고 있다.In the field of magnetic recording, high-density recording of information signals is advancing, and correspondingly, magnetic recording media having a high antimagnetic force, such as metal tapes and vapor deposition tapes, have become popular.

더우기, 일정한 면적을 갖는 자기 기록 매체에 가능한한 많은 정보 신호를 저장하기 위하여 자기 기록 매체에 기록되는 각 기록 트랙의 트랙 폭의 협소화도 진전되고 있다.Furthermore, in order to store as much information signals as possible on a magnetic recording medium having a constant area, narrowing of the track width of each recording track recorded on the magnetic recording medium is also progressing.

이와같은 상황으로부터 자기 헤드에 대해 다양한 사항이 요구되고 있으며, 예를들어 높은 항자력이나 잔류 속도 밀도를 가지는 자기 기록 매체에 대하여 양호한 기록 재생을 행하기 위하여 자기 헤드의 코어 재료가 고포화 자속 밀도 및 고투자율을 가질 것, 기록 트랙의 폭에 대응하여 미소한 트랙 폭을 용이하게 제공할 수 있어야 한다는 것 등이 요망되고 있다.From this situation, various requirements are required for the magnetic head. For example, the core material of the magnetic head has a high saturation magnetic flux density and a high density to perform good recording and reproducing for a magnetic recording medium having a high coercive force or a residual velocity density. It is desired to have a magnetic permeability, to be able to easily provide a small track width corresponding to the width of the recording track, and the like.

이러한 요구를 만족시키는 자기 헤드를, 예를들어 페라이트재 등의 강자성 산화물 재료 단체(單體)로 만드는 것은 어렵기 때문에 고포화 자속 밀도를 가지는 강자성 금속 박막과 조합시켜 자기 헤드를 구성한 소위 복합형 자기 헤드가 제안되고 있다.Since it is difficult to make a magnetic head that satisfies these demands, for example, a ferromagnetic oxide material such as a ferrite material, a so-called hybrid magnetic body composed of a magnetic head in combination with a ferromagnetic metal thin film having a high saturation magnetic flux density Head is proposed.

그중에서도 먼저 본 출원인이 특원소 58-250988호 명세서에서 제안된 자기 헤드는 자기 기록 매체의 고항자력화에 대응가능하고, 트랙 폭을 강자성 금속 박막의 막두께에 의해 용이하게 제어할 수 있으며, 크로스 토오크가 작다는 우수한 특징을 가지고 있다.Among them, the magnetic head proposed by the present applicant in the specification of Japanese Patent Application No. 58-250988 can cope with the high magnetic resistance of the magnetic recording medium, and the track width can be easily controlled by the film thickness of the ferromagnetic metal thin film. Small is an excellent feature.

상기 자기 헤드는 제14도에 도시하는 바와같이 Mn-Zn계 페라이트 등의 강자성 산화물에 의해 형성되는 1쌍의 자기 코어부(101,102)의 맞대임면을 각각 경사지게 절결하여 강자성 박막 형성면(103,104)을 형성함과 동시에 상기 강자성 박막 형성면(103,104)상에 진공 박막 형성 기술에 의해 고포화 자속 밀도를 가지는 강자성 금속 박막(105,106)을 피착하여 자기 코어 반쪽체(111,112)를 형성하고, 이들 강자성 금속 박막(105,106)을 갭 스페이서를 통해 맞닿게 함으로써 자기 갭(g')을 구성하고, 상기 자기 갭(g')의 양측부에 트랙 폭을 규제하는 트랙 폭 규제홈(107,108)이 절결되고, 상기 강자성 금속 박막(105,106)의 마모를 방지하기 위한 비자성재(109,110)가 용융 충전되어 있다.As shown in FIG. 14, the magnetic head is inclined to cut the butt faces of the pair of magnetic core portions 101 and 102 formed of ferromagnetic oxide such as Mn-Zn ferrite, respectively, to form the ferromagnetic thin film forming surfaces 103 and 104. As shown in FIG. At the same time, ferromagnetic metal thin films 105 and 106 having high saturation magnetic flux densities are deposited on the ferromagnetic thin film forming surfaces 103 and 104 to form magnetic core halves 111 and 112, and the ferromagnetic metal thin films are formed. By contacting the 105 and 106 through the gap spacer, the magnetic gap g 'is formed, and the track width regulating grooves 107 and 108 for regulating the track width at both sides of the magnetic gap g' are cut out, and the ferromagnetic Nonmagnetic materials 109 and 110 are melt-filled to prevent wear of the metal thin films 105 and 106.

[발명이 해결하려는 문제점][Problem trying to solve the invention]

그런데, 제14도에 도시된 자기 헤드에서는 자기 코어 반쪽체(111,112)에 피착되는 강자성 금속 박막(105,106)의 자기 갭 형성면(113)에 접합하도록 맞대어서 유리로 결합되어 있다.Incidentally, in the magnetic head shown in FIG. 14, the magnetic heads are bonded to glass to be bonded to the magnetic gap forming surfaces 113 of the ferromagnetic metal thin films 105 and 106 deposited on the magnetic core halves 111 and 112.

그러나, 상술한 구성의 자기 코어 반쪽체(111,112)를 사용하여 트랙 맞춤을 행한 경우에는 상술한 협 트랙화에 수반하여 상기 강자성 금속 박막(105,106)이 박막화의 경향에 있기 때문에 트랙 어긋남이 생기기 쉽고, 이러한 트랙 어긋남은 현재의 제조 방법에서는 피하기 어려운 문제로 되어 있다. 상기 트랙 어긋남은 상기 강자성 금속 박막(105,106)의 막두께의 변동에고 기인하고 있고, 그 개선이 강하게 요망되고 있다.However, when the track alignment is performed using the magnetic core halves 111 and 112 having the above-described configuration, track shifting is likely to occur because the ferromagnetic metal thin films 105 and 106 tend to be thinned with the narrow track described above. This track shift is a problem that is difficult to avoid in the current manufacturing method. The track shift is caused by the variation in the film thickness of the ferromagnetic metal thin films 105 and 106, and the improvement is strongly desired.

즉, 상기 트랙 어긋남의 어긋남 량(r, s)이 크게 되면 특히 장파장측의 신호의 기록 및 재생에 있어서 인접 트랙이나 다음 인접 트랙으로부터의 크로스 토오크가 현저하게 되고, 기록 재생 특성이 약화된다는 결점이 있다. 또 신호의 파장에 의해 실효 트랙 폭에 변동을 생기게 하고 헤드의 신뢰성상 바람직하지 않다.In other words, when the shift amounts r and s of the track shift are large, particularly in recording and reproducing the long-wavelength signal, the crosstalk from the adjacent track or the next adjacent track becomes remarkable and the recording and playback characteristics are weakened. have. In addition, the wavelength of the signal causes variation in the effective track width, which is undesirable for the reliability of the head.

따라서, 상술의 트랙맞춤 정밀도 등을 고려하게 되면 극히 엄격한 공정 관리가 필요하게 되고, 원료비나 생산성의 약화의 원인이 된다.Therefore, when the above-described track alignment accuracy is taken into consideration, extremely strict process control is required, which causes a reduction in raw material costs and productivity.

따라서, 본 발명은 상술한 사정을 감안하여 제안된 것으로서, 1쌍의 자기 코어 반쪽체의 트랙 맞춤 정밀도를 향상시킴으로써 트랙 폭 정밀도를 향상시켜 크로스 토오크가 적고 더우기 원료비나 생산성이 우수한 자기 헤드를 제공하는 것을 목적으로 한다.Accordingly, the present invention has been proposed in view of the above circumstances, and improves the track width accuracy by improving the track fitting accuracy of a pair of magnetic core halves, thereby providing a magnetic head having less cross torque and more excellent raw material cost and productivity. For the purpose of

[문제점을 해결하기 위한 수단][Means to solve the problem]

상술의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 자기 헤드는, 강자성 산화물로 이루어지는 한쌍의 자기 코어부와, 상기 자기 코어부의 자기 기록 매체와의 맞대임면을 소정의경사 각도로 절삭된 강자성 박막 형성면에 강자성 금속 박막을 피착하여 형성된 자기 코어 반쪽체와, 상기 자기 코어 반쪽체를 맞대어서 형성한 자기갭을 구비한 자기 헤드에 있어서, 상기 자기 코어 반쪽체중 한쪽의 자기 코어 반쪽체에 형성되는 강자성 금속 박막의 자기 갭 형성면에서의 폭을 트랙폭과 동일하게 형성하고, 다른쪽의 자기 코어 반쪽체에 형성되는 강자성 금속 박막의 자기 갭 형성면에서의 폭은 상기 트랙폭 보다 크게 하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the magnetic head of the present invention has a ferromagnetic layer formed on a ferromagnetic thin film formation surface in which an abutting surface of a pair of magnetic core portions made of ferromagnetic oxide and a magnetic recording medium of the magnetic core portion is cut at a predetermined inclination angle. A magnetic head having a magnetic core half formed by depositing a metal thin film and a magnetic gap formed by abutting the magnetic core half, wherein the ferromagnetic metal thin film is formed on one of the magnetic core halves. The width at the magnetic gap formation surface is formed to be the same as the track width, and the width at the magnetic gap formation surface of the ferromagnetic metal thin film formed on the other magnetic core half body is larger than the track width.

[작용][Action]

1쌍의 자기 코어 반쪽체에 형성되는 각각의 강자성 금속 박막의 자기 갭 형성면에서의 폭이 다르게 되도록 형성함과 동시에 한쪽의 자기 코어 반쪽체의 상기 폭을 트랙폭과 똑같이 하고, 다른쪽의 자기 코어 반쪽체의 상기 폭을 트랙폭 보다 약간 크게 설정하기 때문에 자기 코어 반쪽체 끼리를 맞대게 할시에 다소 어긋남이 생겼다 해도 트랙 폭 정밀도가 확보된다.The ferromagnetic metal thin films formed on the pair of magnetic core halves are formed to have different widths on the magnetic gap forming surface, and the width of one magnetic core half is made equal to the track width, and the other magnetic Since the width of the core half body is set slightly larger than the track width, the track width precision is secured even if a slight deviation occurs when the magnetic core half bodies face each other.

[실시예]EXAMPLE

이하, 본 발명의 실시예를 도면을 참조하면서 설명한다.Best Mode for Carrying Out the Invention Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

제 1 도는 본 발명을 적용한 자기 헤드의 실시예를 도시한 사시도이고, 제 2 도는 자기 기록 매체 대접면을 도시한 확대 단면도이다.1 is a perspective view showing an embodiment of a magnetic head to which the present invention is applied, and FIG. 2 is an enlarged cross sectional view showing a magnetic recording medium facing surface.

이러한 자기 헤드에 있어서 자기 코어부(11,12)는 강자성 산화물, 예를들어 Mn-Zz계 페라이트 등으로 형성되고, 상기 자기 코어부(11,12)의 접합면을 경사지게 절결한 강자성 박막 형성면(11a,12a)에는 전방갭면으로부터 후방 갭면에 이르기까지 연속하여 고포화 자속 밀도 합금, 예를들어 Fe-Al-Si계 합금으로된 강자성 금속 박막(13,14)이 진공 박막 형성 기술에 의해 피착 형성되므로써 각각의 자기 코어 반쪽체(21,22)가 형성된다.In the magnetic head, the magnetic core portions 11 and 12 are formed of ferromagnetic oxide, for example, Mn-Zz-based ferrite or the like, and have a ferromagnetic thin film formation surface in which the joint surfaces of the magnetic core portions 11 and 12 are inclined. On 11a and 12a, ferromagnetic metal thin films 13 and 14 made of a highly saturated magnetic flux density alloy, for example, Fe-Al-Si based alloys, from the front gap face to the rear gap face were deposited by vacuum thin film forming technology. As a result, respective magnetic core halves 21 and 22 are formed.

여기서, 각각의 자기 코어 반쪽체(21,22)에 형성되는 강자성 금속 박막(13,14)은 자기 코어 반쪽체(21,22)의 맞대임면인 접합면 즉 자기 갭 형성면(10)에 있어서의 폭(a, b)이 다르도록 피착 형성된다.Here, the ferromagnetic metal thin films 13 and 14 formed on the respective magnetic core halves 21 and 22 are formed at the joining surface, that is, the magnetic gap forming surface 10, which is an abutting surface of the magnetic core halves 21 and 22. It is formed to be deposited so that the widths a and b of different.

즉, 한쪽의 자기 코어 반쪽체(22)에 피착되는 강자성 금속 박막(14)은 자기 갭 형성면(10)에 있어서의 폭(a)이 소요의 트랙폭(Tw)과 동일하도록 형성되고, 다른쪽의 자기 코어 반쪽체(21)에 피착되는 강자성 금속 박막(13)은 자기 갭 형성면(10)에 있어서의 폭(b)이 상기 트랙 폭(Tw) 보다 수 ㎛정도 크게 되도록 피착 형성된다.That is, the ferromagnetic metal thin film 14 deposited on one magnetic core half body 22 is formed such that the width a in the magnetic gap formation surface 10 is equal to the required track width Tw, and the other The ferromagnetic metal thin film 13 deposited on the magnetic core half body 21 on the side is deposited so that the width b of the magnetic gap formation surface 10 is several micrometers larger than the track width Tw.

그리고, 상술한 바와같이 구성된 1쌍의 자기 코어 반쪽체(21,22)를 SiO₂등의 갭 스페이스를 통하여 자기 코어 반쪽체(11)의 강자성 금속 박막(13)의 폭(b)내에, 다른쪽의 자기 코어 반쪽체(12)의 강자성 금속 박막(14)이 배치되도록 맞대게 하고, 강자성 금속 박막(13,14)끼리는 맞대어진 부분이 트랙폭(Tw)(폭 a)의 자기 갭(g)이 되도록 구성되어 있다.Then, the pair of magnetic core halves 21 and 22 configured as described above are transferred into the width b of the ferromagnetic metal thin film 13 of the magnetic core half 11 through a gap space such as SiO ₂ . The ferromagnetic metal thin films 14 of the magnetic core half body 12 on the side face each other so that the ferromagnetic metal thin films 14 and 14 are joined to each other, and the magnetic gaps g of the track width Tw (width a) are aligned. It is configured to be).

또, 한쪽의 자기 코어 반쪽체(12)에는 자기 헤드에 기록 신호를 공급하거나 재생 신호를 취출하기 위한 코일을 권취하기 위한 권선 구멍(19)이 천공되어 있다.In addition, one magnetic core half body 12 is perforated with a winding hole 19 for winding a coil for supplying a recording signal to the magnetic head or extracting a reproduction signal.

또, 상기 자기 갭(g)의 형성면 근방, 즉 자기 기록 매체 대접면에 있어서의 자기 갭(g)의 양측부에는 트랙 폭(Tw)을 규제하는 트랙 폭 규제홈(11b,12b)이 절삭되고, 상기 트랙 폭 규제홈(11b,12b)내 및 상기 강자성 금속 박막(13,14)상에는 비자성재(17,18)가 용융 충전되어 강자성 금속 박막(13,14)의 마모를 방지하도록 구성되어 있다.In addition, the track width restricting grooves 11b and 12b for restricting the track width Tw are cut in the vicinity of the formation surface of the magnetic gap g, i.e., at both sides of the magnetic gap g on the magnetic recording medium abutment surface. And nonmagnetic materials 17 and 18 are melt-filled in the track width regulating grooves 11b and 12b and on the ferromagnetic metal thin films 13 and 14 to prevent wear of the ferromagnetic metal thin films 13 and 14. have.

이와같이, 한쪽의 자기 코어 반쪽체(22)의 강자성 금속 박막(14)의 폭(a)을 소요의 트랙 폭(Tw)으로 하고, 다른쪽의 자기 코어 반쪽체(21)의 강자성 금속 박막(13)의 폭(b)을 상기 트랙 폭(Tw) 보다 약간 크게 설정함으로써 각 자기 코어 반쪽체(21,22)의 트랙 맞춤시에 다소의 트랙 어긋남이 생겨도 소요의 트랙 폭(Tw)을 가지는 강자성 금속 박막(14)이 상기 폭(b)의 범위내에 배치되고, 강자성 금속 박막(13,14)끼리의 접합면에서 트랙 폭(Tw)의 자기 갭(g)이 형성된다. 따라서, 자기 코어 반쪽체(21,22)가 다소 어긋나 접합되어도 강자성 금속 박막(13,14)끼리는 접합된 자기 갭(g)이 구성되므로 트랙 폭 정밀도가 대폭적으로 향상된다. 이 때문에 인접 트랙이나 다음 인접 트랙으로부터의 크로스 토오크가 감소될 수 있고, 기록 및 재생 특성이 우수한 자기 헤드가 된다.In this way, the width a of the ferromagnetic metal thin film 14 of one magnetic core half body 22 is set to the required track width Tw, and the ferromagnetic metal thin film 13 of the other magnetic core half body 21 is formed. By setting the width b of a) slightly larger than the track width Tw, the ferromagnetic metal having the required track width Tw even if a slight track shift occurs at the time of track alignment of the respective magnetic core halves 21 and 22. The thin film 14 is arrange | positioned in the range of the said width | variety b, and the magnetic gap g of track width Tw is formed in the bonding surface of ferromagnetic metal thin films 13 and 14 comrades. Therefore, even if the magnetic core halves 21 and 22 are slightly displaced and joined, the track width accuracy is greatly improved because the magnetic gap g formed between the ferromagnetic metal thin films 13 and 14 is formed. As a result, cross torque from the adjacent track or the next adjacent track can be reduced, resulting in a magnetic head having excellent recording and reproduction characteristics.

본 실시예의 자기 헤드에 있어서, 상기 각 자기 코어부(11,12)에 피착 형성되는 강자성 금속 박막(13,14)은 자기 기록 매체 대접면에서 본 때에 자기 갭 형성면(10)에서 단차를 가지고 일직선상으로 이어져 있고, 더우기 자기 갭 형성면(10)에 대하여 각각 θ의 각도로 경사져 있다.In the magnetic head of this embodiment, the ferromagnetic metal thin films 13 and 14 deposited on the respective magnetic core portions 11 and 12 have a step on the magnetic gap forming surface 10 when viewed from the magnetic recording medium facing surface. It continues in a straight line, and inclines with respect to the magnetic gap formation surface 10 at the angle of (theta), respectively.

여기서, 상기 강자성 박막 형성면(11a,12a)과 자기 갭 형성면(10)이 이루는 각도(θ)는 20°내지 80°의 범위로 설정된다. 상기 각도(θ)가 20°보다도 작다면 인접 트랙으로부터의 크로스 토오크가 크게 되므로, 바람직하기는 30°이상의 각도를 가지는 것이 좋다. 또, 상기 각도를 90°로 설정한 경우에는 진공 박막 형성 기술을 이용하여 박막을 형성할 때 많은 시간이 요구되고 막 구조가 불균일화하게 되기 때문에 80°이하로 하는 것이 바람직하다.Here, the angle θ formed between the ferromagnetic thin film forming surfaces 11a and 12a and the magnetic gap forming surface 10 is set in a range of 20 ° to 80 °. If the angle θ is smaller than 20 °, the cross torque from adjacent tracks becomes large, so it is preferable to have an angle of 30 ° or more. In addition, when the angle is set to 90 degrees, it is preferable to set the angle to 80 degrees or less because a large amount of time is required when forming a thin film using a vacuum thin film forming technique and the film structure becomes uneven.

또, 상기 강자성 금속 박막(13,14)의 재질로서는 강자성 비정질(amorphous) 금속 합금[예를들어 Fe, Ni, Co의 하나 이상의 원소와 P, C, B, Si의 하나 이상의 원소로 이루어진 합금, 또는 이것을 주성분으로 하고, Al, Ge, Be, Sn, In, Mo, W, Ti, Mn, Cr, Zr, Hf, Nb를 포함한 합금등의 금속-준금속계 비정질 합금, 혹은 Co, Hf, Zr 등의 천이 금속이나 회토류 원소를 주성분으로 하는 금속-금속계 비정질 합금], Fe-Al-Si계 합금(센더스트), Fe-Al계 합금, Fe-Si계 합금, Fe-Si-Co계 합금, Fe-Ni계 합금(퍼마로이)등이 사용가능하고, 그 막부착 방법으로서는 진공 증착법, 스퍼터링법, 이온 도금법 등으로 대표되는 진공 박막 형성 기술이 채용된다. 상기 강자성 금속 박막(13,14)은 본 실시예에서는 단층으로 형성하고 있지만, 예를들어 SiO₂, Ta₂O₅, Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄등의 고내마모 절연막을 통해 복수층으로 적층해도 좋다. 이 경우 강자성 금속 박막의 적층수는 임의로 설정할 수가 있다.As the material of the ferromagnetic metal thin films 13 and 14, ferromagnetic amorphous metal alloys (for example, alloys composed of at least one element of Fe, Ni, Co and at least one element of P, C, B, Si, Or a metal-metalloid amorphous alloy such as an alloy containing Al, Ge, Be, Sn, In, Mo, W, Ti, Mn, Cr, Zr, Hf, or Nb as a main component, or Co, Hf, Zr, etc. Metal-metal-based amorphous alloys mainly composed of transition metals and rare earth elements], Fe-Al-Si-based alloys (sendust), Fe-Al-based alloys, Fe-Si-based alloys, Fe-Si-Co-based alloys, Fe-Ni-based alloys (Permaloy) and the like can be used, and as the film deposition method, a vacuum thin film formation technique represented by a vacuum deposition method, a sputtering method, an ion plating method, or the like is adopted. Although the ferromagnetic metal thin films 13 and 14 are formed in a single layer in this embodiment, for example, through a high wear resistant insulating film such as SiO ₂ , Ta ₂ O ₅ , Al ₂ O ₃ , ZrO ₂ , Si ₃ N _4, etc. You may laminate | stack in multiple layers. In this case, the number of laminations of the ferromagnetic metal thin film can be arbitrarily set.

이와같이, 본 실시예의 자기 헤드는 한쪽의 강자성 금속 박막(14)의 강자성 금속 박막(14)의 폭(a)이 소요의 트랙 폭(Tw)과 같게 하고, 다른쪽의 강자성 금속 박막(13)의 폭(b)이 소요의 트랙 폭(Tw) 보다 크게 설정되어 있으므로 다소의 어긋남이 있어도 강자성 금속 박막(13,14)끼리를 맞대인 자기 갭이 형성된다. 따라서, 트랙 폭 정밀도가 대폭 향상되고 인접 트랙이나 다음 인접 트랙으로부터의 크로스 토오크가 감소될 수 있고, 양호한 기록재생 특성이 얻어진다. 또, 한쪽의 자기 코어 반쪽체(12)의 트랙 폭 규제에 의해 트랙 폭(Tw)이 규제되어 있으므로 트랙 폭 정밀도가 보다 높게 된다.In this way, the magnetic head of the present embodiment is such that the width a of the ferromagnetic metal thin film 14 of one ferromagnetic metal thin film 14 is equal to the required track width Tw, and the other ferromagnetic metal thin film 13 Since the width b is set larger than the required track width Tw, a magnetic gap is formed between the ferromagnetic metal thin films 13 and 14 even if there is some deviation. Thus, the track width precision can be greatly improved, and the cross torque from the adjacent track or the next adjacent track can be reduced, and good recording and reproduction characteristics are obtained. Moreover, since the track width Tw is regulated by the track width regulation of one magnetic core half body 12, the track width precision is higher.

또, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되는 것은 아니고, 제 3 도에 도시하는 바와같이 1쌍의 자기 코어 반쪽체(38,39)에 형성되는 강자성 금속 박막(33,34)을 같은 막 두께로 하고, 자기 갭 형성면(10)에 있어서의 각 강자성 금속 박막(33,34)의 폭(c,d)이 다르도록 트랙 폭 규제홈(31a,32b)을 형성하여도 좋다.In addition, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and as shown in FIG. 3, the ferromagnetic metal thin films 33 and 34 formed on the pair of magnetic core halves 38 and 39 have the same film thickness. The track width regulating grooves 31a and 32b may be formed so that the widths c and d of the ferromagnetic metal thin films 33 and 34 on the magnetic gap forming surface 10 are different.

즉, 상기 강자성 금속 박막(33,34)의 막 두께를 통상보다도 약간 두껍게 형성하고, 한쪽의 자기 코어 반쪽체(39)는 강자성 금속 박막(34)의 일부가 자기 갭(g) 근방에서 트랙 폭 규제홈(32b)에 의해 절결되고, 자기 갭 형성면(10)에 있어서의 폭(c)을 소요의 트랙 폭(Tw)과 같게 하고, 다른쪽의 자기 코어 반쪽체(31)와 접합한 구조이어도 상술의 실시예와 동일한 작용 효과가 얻어지는 것은 말할 나위도 없다. 또, 제 3 도에 있어서의 제 1 도 및 제 2 도에 도시된 자기 헤드와 동일한 부재에는 동일 부호를 붙여 그 상세한 설명은 생략하였다.That is, the thickness of the ferromagnetic metal thin films 33 and 34 is slightly thicker than usual, and one magnetic core half body 39 has a track width in which a part of the ferromagnetic metal thin film 34 is near the magnetic gap g. Cut out by the restricting groove 32b, the width c in the magnetic gap forming surface 10 is equal to the required track width Tw, and is joined to the other magnetic core half 31. It goes without saying that the same effects as those of the above-described embodiment can be obtained. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same member as the magnetic head shown in FIG. 1 and FIG. 2 in FIG. 3, and the detailed description is abbreviate | omitted.

다음에, 본 발명의 자기 헤드의 구성을 보다 명확한 것으로 하기 위해 그 제조 방법에 관하여 설명한다.Next, in order to make the structure of the magnetic head of this invention clearer, the manufacturing method is demonstrated.

우선, 제 1 도 및 제 2 도에 도시된 자기 헤드의 제조 방법에 관하여, 제 4 도 내지 제10도를 참조하면서 설명한다.First, the manufacturing method of the magnetic head shown in FIG. 1 and FIG. 2 is demonstrated, referring FIGS. 4-10.

상기 자기 헤드의 제조시에는 우선, 제 4 도에 도시하는 바와같이 예를들면, Mn-Zn계 페라이트 등의 강자성 산화물 기판(40)의 상면(40a), 즉 강자성 산화물 기판(40)에 있어서의 자기 코어 반쪽체를 맞댈시에 접합면에 회전 숫돌 등으로 단면이 대략 V자형인 제 1 의 절결홈(41)을 상기 기판(40)의 전폭에 걸쳐 복수개 평행하게 형성하고, 강자성 금속 박막(41a)을 형성한다. 또, 상기 강자성 금속 박막(41a)은 상기 강자성 산화물 기판(40)의 자기 갭 형성면에 대응하는 상면(40a)과 소정 각도(θ)로 경사지도록 형성되고, 상기 각도(θ)는 본 실시예에서는 대략 45°로 설정되어 있다.At the time of manufacturing the magnetic head, first, as shown in FIG. 4, for example, in the upper surface 40a of the ferromagnetic oxide substrate 40 such as Mn-Zn-based ferrite, that is, the ferromagnetic oxide substrate 40 When abutting the magnetic core half body, a plurality of first notched grooves 41 having a substantially V-shaped cross section are formed in parallel on the joint surface over the full width of the substrate 40 by a grinding wheel or the like, and the ferromagnetic metal thin film 41a is formed. ). In addition, the ferromagnetic metal thin film 41a is formed to be inclined at a predetermined angle θ with the upper surface 40a corresponding to the magnetic gap formation surface of the ferromagnetic oxide substrate 40, and the angle θ is the present embodiment. Is set to approximately 45 °.

다음에 제 5 도에 도시된 바와 같이 상기 강자성 금속 박막(41a)을 포함하는 기판(40)의 상면(40a)의 전체면에 걸쳐서 예를들어 Fe-Al-Si계 합금을 스퍼터링법 등의 진공 박막 형성 기술로 피착 형성하여 강자성 금속 박막(42)을 형성한다. 상기 스퍼터링법은 강자성 금속 박막(41a)에 대하여 소정의 입사 각도로 실행하고 상기 강자성 금속 박막(42)의 막두께가 상기 제 1 절결홈(41)의 깊이 방향에 대하여 연속적으로 변화하도록 형성한다. 더우기, 강자성 금속 박막(41a)상에 형성되는 강자성 금속 박막(42)의 막 두께는 자기 갭 형성면에 대응하는 기판(40)의 상면(40a)에 있어서는 폭(e)이 소요의 트랙 폭 보다 적어도 수 ㎛ 정도 크게 되도록 형성한다.Next, as shown in FIG. 5, for example, a Fe-Al-Si-based alloy is sputtered over the entire surface of the upper surface 40a of the substrate 40 including the ferromagnetic metal thin film 41a. The ferromagnetic metal thin film 42 is formed by deposition by thin film formation technology. The sputtering method is performed at a predetermined angle of incidence with respect to the ferromagnetic metal thin film 41a, and is formed so that the film thickness of the ferromagnetic metal thin film 42 continuously changes with respect to the depth direction of the first notched groove 41. Furthermore, the film thickness of the ferromagnetic metal thin film 42 formed on the ferromagnetic metal thin film 41a is larger than the required track width on the upper surface 40a of the substrate 40 corresponding to the magnetic gap formation surface. It is formed so that it may become at least several micrometers large.

이어서, 제 5 도에 도시하는 강자성 산화물 기판(40)을 이용하여 상면(40a)(자기 갭 형성면)에 강자성 금속 박막의 폭이 다른 1쌍의 강자성 산화물 기판을 만든다.Next, a pair of ferromagnetic oxide substrates having different widths of the ferromagnetic metal thin film are formed on the upper surface 40a (magnetic gap formation surface) using the ferromagnetic oxide substrate 40 shown in FIG.

우선, 강자성 산화물 기판의 상면에 노출되는 강자성 금속 박막이 소요의 트랙 폭 보다 큰 자기 코어 반쪽체를 만든다.First, a ferromagnetic metal thin film exposed on the top surface of a ferromagnetic oxide substrate produces a magnetic core half larger than the required track width.

즉, 제 6 도에 도시하는 바와같이, 강자성 금속 박막(42)이 피착된 제 1 의 절결홈(41)내에 저융점 유리등의 비자성재(43)를 충전한 후 상기 강자성 산화물 기판(40)의 상면(40a)을 평면 연삭하고, 양호한 평활도로 면 노출을 행하고, 상기 기판(40)의 상면(40a)에 강자성 금속 박막(42)의 단부면을 노출시킨다. 상기 평면 연삭은 상면(40a)에 노출되는 강자성 금속 박막(42)의 폭이 소요의 트랙 폭 보다 수 ㎛ 큰 곳에서 종료한다.That is, as shown in FIG. 6, after filling the non-magnetic material 43, such as low melting glass, in the 1st notch groove 41 in which the ferromagnetic metal thin film 42 was deposited, the ferromagnetic oxide substrate 40 was filled. The top surface 40a of the surface is ground, the surface is exposed with good smoothness, and the end surface of the ferromagnetic metal thin film 42 is exposed on the top surface 40a of the substrate 40. The planar grinding ends at a place where the width of the ferromagnetic metal thin film 42 exposed on the upper surface 40a is several micrometers larger than the required track width.

이어서, 제 7 도에 도시하는 바와같이, 상기 강자성 금속 박막(42)이 피착된 강자성 금속 박막(41a)에 인접하여 상기 제 1 절결홈(41)의 한쪽 가장자리와 접하고, 또 제 1 의 절결홈(41)과 평행하게 되도록 제 2 의 절결홈(44)을 형성하고, 상면(40a)에 있어서 강자성 금속 박막(42)의 폭(f)이 소요의 트랙 폭 보다 약간 큰 자기 코어 반쪽체(45)를 만든다.Subsequently, as shown in FIG. 7, the ferromagnetic metal thin film 42 is adjacent to the deposited ferromagnetic metal thin film 41a, and is in contact with one edge of the first notched groove 41, and the first notched groove. The second notch groove 44 is formed so as to be parallel to the 41, and the magnetic core half body 45 whose width f of the ferromagnetic metal thin film 42 is slightly larger than the required track width on the upper surface 40a. )

다음에, 강자성 산화물 기판의 상면에 노출하는 강자성 금속 박막의 폭이 소요의 트랙 폭과 똑같은 자기 코어 반쪽체를 만든다.Next, a magnetic core half body whose width of the ferromagnetic metal thin film exposed on the upper surface of the ferromagnetic oxide substrate is equal to the required track width is formed.

우선, 제 5 도에 도시하는 강자성 산화물 기판(40)과 동일한 기판(50)을 준비한다. 그리고, 제 8 도에 도시하는 바와같이, 강자성 산화물 기판(50)에 대하여 강자성 금속 박막(42)이 피착된 제 1 의 절결홈(41)내에 비자성재(46)를 충전한 후 상기 강자성 산화물 기판(50)의 상면(50a)을 평면 연삭하고, 양호한 평활도로면 노출을 행한다. 여기서, 상술한 평면 연삭은 상기 상면(40a)에 노출하는 강자성 금속 박막(42)의 폭이 소요의 트랙 폭과 대략 같게 되는 위치까지 행한다.First, the same substrate 50 as the ferromagnetic oxide substrate 40 shown in FIG. 5 is prepared. As shown in FIG. 8, the ferromagnetic oxide substrate 50 is filled with the nonmagnetic material 46 in the first notch groove 41 in which the ferromagnetic metal thin film 42 is deposited. The upper surface 50a of 50 is ground in a plane, and surface exposure is performed with good smoothness. The planar grinding described above is performed to a position where the width of the ferromagnetic metal thin film 42 exposed on the upper surface 40a becomes approximately equal to the required track width.

이어서, 제 9 도에 도시하는 바와같이, 상기 강자성 금속 박막(42)이 피착된 강자성 금속 박막(41a)에 인접하여 상기 제 1 의 절결홈(41)의 한쪽 가장자리와 접하고, 또 제 1 의 절결홈(41)과 평행하게 되도록 제 2 의 절결홈(47)을 형성하고, 상면(50a)에 경면 가공을 행한다. 이와같이 하여 자기 갭 형성면에 대응하는 상면(50a)에 있어서의 강자성 금속 박막(42)의 폭(ℓ)이 소요의 트랙 폭과 똑같은 자기 코어 반쪽체(48)를 얻는다.Subsequently, as shown in FIG. 9, the ferromagnetic metal thin film 42 is adjacent to the deposited ferromagnetic metal thin film 41a and is in contact with one edge of the first notch groove 41, and the first notch. The 2nd notch groove 47 is formed so that it may become parallel to the grain groove 41, and mirror surface processing is given to the upper surface 50a. In this way, the magnetic core half body 48 whose width l of the ferromagnetic metal thin film 42 on the upper surface 50a corresponding to the magnetic gap formation surface is equal to the required track width is obtained.

그리고, 도시하지 않았지만 상술한 바와같은 공정에 의해 만들어지는 1쌍의 자기 코어 반쪽체(45,48)중 한쪽의 자기 코어 반쪽체에 대하여 제 1 의 절결홈 및 제 2 의 절결홈과 직교하는 방향으로 홈 가공을 행하고, 코일을 권취하기 위한 권취 구멍을 형성한다.Although not shown, a direction perpendicular to the first cutout groove and the second cutout groove with respect to one of the magnetic core halves of the pair of magnetic core halves 45 and 48 produced by the above-described process. The groove is processed to form a winding hole for winding the coil.

이어서, 상기 각 코어 반쪽체(45,48)의 상면의 적어도 어느 한쪽에 갭 스페이서(도시하지 않음)를 피착한 후, 상기 자기 코어 반쪽체(48)의 강자성 금속 박막(42)이 자기 코어 반쪽체(45)의 강자성 금속 박막(42)의 폭(ℓ)내에서 접합하도록 맞댄다. 그리고, 이들 자기 코어 반쪽체(45,48)를 유리등으로 융착함과 동시에 상기 제 2 의 절결홈(44,47)내에 비자성재(49)를 충전한다. 또, 이 융착 공정에 있어서 상기 제 2 의 절결홈(44,47)에의 비자성재(49)의 충전은 상술한 바와 같이 자기 코어 반쪽체(45,48)의 융착과 동시는 아니고, 예를들어 제 7 도 및 제 9 도에 도시하는 공정에서 미리 제 2 의 절결홈(44,47)내에 비자성재(49)를 충전하고, 제10도에 도시하는 공정에서는 유리 융착만 해도 좋다.Subsequently, after depositing a gap spacer (not shown) on at least one of the upper surfaces of the respective core halves 45 and 48, the ferromagnetic metal thin film 42 of the magnetic core half body 48 is the magnetic core half. Abutment is performed in the width l of the ferromagnetic metal thin film 42 of the sieve 45. Then, the magnetic core halves 45 and 48 are fused with glass or the like and the nonmagnetic material 49 is filled into the second notch grooves 44 and 47. In this fusion step, the filling of the non-magnetic material 49 into the second notch grooves 44 and 47 is not simultaneous with the fusion of the magnetic core halves 45 and 48, for example. The non-magnetic material 49 may be filled in the second notch grooves 44 and 47 in advance in the steps shown in FIGS. 7 and 9, and glass fusion may be performed only in the step shown in FIG.

이와같이 자기 코어 반쪽체(48)의 강자성 금속 박막(42)의 막 두께(f)(소요의 트랙 폭에 상당)가 자기 코어 반쪽체(45)의 강자성 금속 박막(42)의 막 두께(ℓ) 보다도 작으므로 트랙 맞춤 공정이 용이하게 된다. 따라서, 트랙 어긋남에 의한 불량이 대폭 감소되고, 원료비가 향상되는 것은 물론이고 생산성이 대폭 향상된다. 이에 의해 상기 트랙 맞춤 공정의 자동화가 가능하게 된다고 하는 장점도 있다.Thus, the film thickness f (corresponding to the required track width) of the ferromagnetic metal thin film 42 of the magnetic core half body 48 is the film thickness of the ferromagnetic metal thin film 42 of the magnetic core half body 45. Since it is smaller than this, the track fitting process becomes easy. Therefore, the defect by track shift | offset | difference is drastically reduced, as well as raw material cost improves and productivity improves significantly. This also has the advantage of enabling automation of the track alignment process.

또, 한쪽의 자기 코어 반쪽체(48)에 대하여 트랙 폭 제어를 행하면 좋으므로 공수면에서 매우 유리하며 제조 비용을 절감할 수 있다.In addition, since the track width control may be performed on one magnetic core half body 48, it is very advantageous in terms of airborne and the manufacturing cost can be reduced.

마지막으로, 제10도중 X-X선 및 X'-X' 위치에서 절단 가공을 하고, 복수개의 헤드 칩을 잘라낸 후 자기 기록 매체 대접면을 원통 연마하고 제 1 도 및 제 2 도에 도시하는 자기 헤드를 완성한다. 또 이때 자기 코어 반쪽체(45,46)에 대한 절단 방향을 맞댐면에 대하여 경사시킴으로써 방위각 기록용의 자기 헤드를 제조할 수 있다.Finally, a cutting process is performed at line XX and X'-X 'in FIG. 10, and after cutting out a plurality of head chips, the magnetic recording medium facing surface is cylindrically ground and the magnetic head shown in FIG. 1 and FIG. Complete At this time, the magnetic head for azimuth recording can be manufactured by inclining the cutting direction with respect to the magnetic core halves 45 and 46 with respect to the abutment surface.

여기서, 제 1 도 및 제 2 도에 도시하는 자기 헤드의 한쪽의 자기 코어 반쪽체(11)는 상기 한쪽의 강자성 산화물 기판(40)을 모재로 하고 있고, 다른쪽의 자기 코어 반쪽체(12)는 다른쪽의 강자성 산화물 기판(50)을 모재로 하고 있다. 또, 강자성 금속 박막(14)의 자기 갭 형성면(10)에 있어서의 폭(b)은 강자성 산화물 기판(40)의 상면(40a)에 노출되는 강자성 금속 박막(42)의 폭(f)에 대응하며 강자성 금속 박막(13)의 폭(a)은 강자성 금속 박막(42)의 폭(ℓ)에 대응하고 있다.Here, one magnetic core half body 11 of the magnetic head shown in FIGS. 1 and 2 has the one ferromagnetic oxide substrate 40 as a base material, and the other magnetic core half body 12 is used. Has the other ferromagnetic oxide substrate 50 as a base material. In addition, the width b of the magnetic gap forming surface 10 of the ferromagnetic metal thin film 14 is equal to the width f of the ferromagnetic metal thin film 42 exposed to the upper surface 40a of the ferromagnetic oxide substrate 40. Correspondingly, the width a of the ferromagnetic metal thin film 13 corresponds to the width l of the ferromagnetic metal thin film 42.

다음에, 제 3 도에 도시하는 자기 헤드의 제조 방법에 관하여 제11도 내지 제13도를 참조하면서 설명한다.Next, a manufacturing method of the magnetic head shown in FIG. 3 will be described with reference to FIGS. 11 to 13.

자기 헤드의 제조에 있어서, 우선 제11도에 도시하는 바와 같이 제 1 도 및 제 2 도에 도시하는 자기 헤드의 제조방법과 똑같이 하여 제 6 도에 도시하는 강자성 산화물 기판(60)을 만든다. 또 이 경우에도 자기 갭 형성면에 대응하는 상면(60a)에 노출되는 강자성 금속 박막(62)의 폭(m)은 소정의 트랙 폭 보다도 수 ㎛ 정도 크게 되도록 형성한다.In the manufacture of the magnetic head, first, as shown in Fig. 11, the ferromagnetic oxide substrate 60 shown in Fig. 6 is made in the same manner as the method of manufacturing the magnetic head shown in Figs. Also in this case, the width m of the ferromagnetic metal thin film 62 exposed on the upper surface 60a corresponding to the magnetic gap formation surface is formed to be several micrometers larger than the predetermined track width.

다음에, 제12도에 도시하는 바와같이, 상기 강자성 금속 박막(62)이 피착 형성된 강자성 박막 형성면(61a)에 인접하고, 제 1 의 절결홈(61)과 평행하게 되도록 제 2 의 절결홈(64a,64b)을 형성한다. 단, 상기 제 2 의 절결홈(64a,64b)은 2종류의 다른 간격 A 및 B가 교대로 반복되도록 형성한다. 즉 한쪽의 제 2 의 절결홈(64a)은 상기 제 1 의 절결홈(61)의 한쪽 가장자리와 접하도록 절삭하고, 다른쪽의 제 2 의 절결홈(64b)은 상기 제 1 의 절결홈(61)의 한쪽 가장자리와 약간 오버랩하도록 절삭 가공을 행한다. 더우기, 자기 갭 형성면에 대응하는 상면(60a)에 있어서의 강자성 금속 박막(62)의 폭(p,q)은 한쪽의 제 2 의 절결홈(64a)에 의해 규제되는 폭(P)을 소요의 트랙 폭 수 ㎛ 크게 되도록 절삭함과 동시에 다른쪽의 제 2 의 절결홈(64b)에 의해 규제되는 폭(q)을 소정의 트랙 폭과 같게 되도록 절삭한다.Next, as shown in FIG. 12, the second notch groove is adjacent to the ferromagnetic thin film forming surface 61a on which the ferromagnetic metal thin film 62 is formed and parallel to the first notch groove 61. As shown in FIG. (64a, 64b) are formed. However, the second notch grooves 64a and 64b are formed so that two different intervals A and B are alternately repeated. In other words, one of the second cutout grooves 64a is cut to be in contact with one edge of the first cutout groove 61, and the other of the second cutout grooves 64b is the first cutout groove 61. The cutting process is performed so that it slightly overlaps with one edge of the edge. Furthermore, the widths p and q of the ferromagnetic metal thin film 62 on the upper surface 60a corresponding to the magnetic gap formation surface take the width P regulated by one second notch groove 64a. The width q, which is regulated by the second notch groove 64b on the other side, is cut to have the same track width as the predetermined track width.

이 제조 방법에 의하면 제 2 의 절결홈(64a,64b)을 가공할시에 숫돌의 피치를 바꾸기만 함으로서 트랙 폭 정밀도가 우수하고, 크로스 토오크가 적은 자기 헤드가 제조된다. 따라서 생산성이나 원료비의 점에서 유리하다.According to this manufacturing method, a magnetic head having excellent track width accuracy and low cross torque is produced by only changing the pitch of the grindstone when machining the second cutout grooves 64a and 64b. Therefore, it is advantageous in terms of productivity and raw material cost.

이어서, 도시하지 않았지만 상술한 바와같은 공정에 의해 만들어지는 1쌍의 강자성 산화물 기판(60)중 한쪽의 기판(60)에 대하여 권취 구멍을 형성하고, 강자성 산화물 기판(70)을 얻는다.Next, although not shown, a winding hole is formed in one of the pair of ferromagnetic oxide substrates 60 produced by the above-described process, thereby obtaining the ferromagnetic oxide substrate 70.

다음에, 상기 기판(60,70)이 상면의 적어도 한쪽에 갭 스페이서를 피착하고, 제13도에 도시하는 바와같이 이들 기판(60,70)을 상기 폭(P)의 강자성 금속 박막(62)과 상기 폭(q)의 강자성 금속 박막(62)이 맞대어지도록 접합 배치한다. 그리고, 이들 기판(60,70)을 유리로 융착함과 동시에 상기 제 2 의 절결홈(64a,64b)내에 비자성재(66)를 충전한다.Next, a gap spacer is deposited on at least one of the upper surfaces of the substrates 60 and 70, and as shown in FIG. 13, these substrates 60 and 70 are ferromagnetic metal thin films 62 having the width P. Next, as shown in FIG. And the ferromagnetic metal thin film 62 having the width q are bonded to each other. Then, the substrates 60 and 70 are fused with glass and the nonmagnetic material 66 is filled into the second notch grooves 64a and 64b.

그후, 기판(60)과 기판(70)을 합체시킨 블럭을 제13도중 Y-Y선 및 Y'-Y'선의 위치에서 절단 가공을 행하고, 복수개의 헤드 칩을 잘라낸다.Thereafter, the block in which the substrate 60 and the substrate 70 are merged is cut at the positions of the Y-Y line and the Y'-Y 'line in Fig. 13, and a plurality of head chips are cut out.

최후로, 잘라낸 각 헤드 칩에 대하여 자기 기록 매체 대접면에 원통 연마를 행하고, 제 3 도에 도시하는 자기 헤드를 완성한다.Finally, each of the head chips cut out is subjected to cylindrical polishing on the magnetic recording medium-joint surface to complete the magnetic head shown in FIG.

여기서, 제 3 도에 도시하는 자기 헤드의 한쪽의 자기 코어 반쪽체(38)는 상기 한쪽의 강자성 산화물 기판(60)를 모재로 하고 있다. 다른쪽의 자기 코어 반쪽체(39)는 다른쪽의 강자성 산화물 기판을 모재로 하고 있다. 또, 강자성 금속 박막(33)의 폭(d)은 제12도에 도시하는 폭(P)에 대응하며, 강자성 금속 박막(34)의 폭(c)은 제12도에 도시하는 폭(q)에 대응하고 있다.Here, one magnetic core half body 38 of the magnetic head shown in FIG. 3 has the one ferromagnetic oxide substrate 60 as a base material. The other magnetic core half body 39 is based on the other ferromagnetic oxide substrate. The width d of the ferromagnetic metal thin film 33 corresponds to the width P shown in FIG. 12, and the width c of the ferromagnetic metal thin film 34 is the width q shown in FIG. It corresponds to.

발명의 효과Effects of the Invention

이상의 설명에서도 명백한 바와같이 본 발명의 자기 헤드에 의하면 한쪽의 자기 코어 반쪽체에 형성되는 강자성 금속 박막의 자기 갭 형성면에 있어서의 폭을 트랙 폭과 똑같이 하고, 다른쪽의 자기 코어 반쪽체에 형성되는 강자성 금속 박막의 자기 갭 형성면에 있어서의 폭을 트랙 폭 보다도 크게 설정하고 있으므로 트랙 맞춤시의 맞대임 정밀도가 대폭 향상된다. 이에 따라, 트랙 폭 정밀도가 향상되는 동시에 인접 트랙이나 다음 인접 트랙으로부터의 크로스 토오크가 감소되고 기록 재생 특성이 우수한 자기 헤드로 된다.As is apparent from the above description, according to the magnetic head of the present invention, the width of the magnetic gap forming surface of the ferromagnetic metal thin film formed on one magnetic core half body is the same as the track width, and is formed on the other magnetic core half body. Since the width in the magnetic gap formation surface of the ferromagnetic metal thin film is larger than the track width, butt accuracy during track alignment is greatly improved. As a result, the track width accuracy is improved, crosstalk from the adjacent track or the next adjacent track is reduced, and the magnetic head is excellent in the recording / reproducing characteristic.

또, 트랙의 맞댐 정밀도의 향상에 수반하여 가공시의 원료비가 양호하게 됨은 물론 생산성이 우수한 자기헤드가 된다.Moreover, with the improvement of the precision of the butt | matching of a track, the raw material cost at the time of processing becomes favorable and it becomes a magnetic head excellent in productivity.

더우기, 한쪽의 자기 코어 반쪽체의 트랙 폭에서 트랙 폭 규제가 이루어지므로 제조 공수가 감소될 수 있고, 제조 비용이 절감된다.Furthermore, since track width regulation is made at the track width of one magnetic core half, manufacturing man-hours can be reduced and manufacturing costs can be reduced.

Claims

Ferromagnetic thin film forming surfaces 11a and 12a obtained by cutting abutting surfaces of a pair of magnetic core portions 11 and 12 made of ferromagnetic oxide and magnetic recording media of the magnetic core portions 11 and 12 at a predetermined inclination angle. A magnetic head having magnetic core halves 21 and 22 formed by depositing ferromagnetic metal thin films 13 and 14 and a magnetic gap g formed by opposing the magnetic core halves 21 and 22. In the magnetic core half body 21, 22, the width a at the magnetic gap formation surface of the ferromagnetic metal thin film 14 formed on one magnetic core half body 22 is equal to the track width Tw. And a width (b) at the magnetic gap formation surface of the ferromagnetic metal thin film (13) formed on the other magnetic core half body is larger than the track width (Tw).