JPH0795364B2 - Magnetic head - Google Patents
Magnetic headInfo
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- JPH0795364B2 JPH0795364B2 JP61038398A JP3839886A JPH0795364B2 JP H0795364 B2 JPH0795364 B2 JP H0795364B2 JP 61038398 A JP61038398 A JP 61038398A JP 3839886 A JP3839886 A JP 3839886A JP H0795364 B2 JPH0795364 B2 JP H0795364B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は磁気ヘッドに関するものであり、詳細には磁気
ギャップが強磁性金属薄膜同士をギャップスペーサを介
して突き合わせることにより構成されるとともに、磁気
コア半体の大部分が強磁性酸化物により形成されてな
る、いわゆる複合型の磁気ヘッドに関するものである。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a magnetic head, and in particular, a magnetic gap is formed by abutting ferromagnetic metal thin films to each other via a gap spacer, and The present invention relates to a so-called composite type magnetic head in which most of the magnetic core halves are formed of a ferromagnetic oxide.
本発明は、強磁性酸化物よりなる磁気コア部と、この磁
気コア部の強磁性薄膜形成面上に形成される強磁性金属
薄膜と、磁気ギャップ近傍部に充填される非磁性材とか
らなり、上記強磁性金属薄膜同士を突き合わせて磁気ギ
ャップを構成してなる磁気ヘッドであって、 磁気記録媒体対接面から見たときに、上記強磁性薄膜形
成面を円弧状となすとともに、磁気ギャップ形成面にお
ける上記強磁性薄膜形成面の円弧の接線方向を上記磁気
ギャップ形成面に対して20゜〜80゜の範囲内で傾斜させ
ることにより、 上記強磁性金属薄膜の磁気特性を十分に発揮し電磁変換
特性に優れ、しかも生産性の点でも優れた磁気ヘッドと
したものである。The present invention comprises a magnetic core portion made of a ferromagnetic oxide, a ferromagnetic metal thin film formed on the ferromagnetic thin film forming surface of the magnetic core portion, and a non-magnetic material filled near the magnetic gap. A magnetic head in which the ferromagnetic metal thin films are butted against each other to form a magnetic gap, the ferromagnetic thin film forming surface having an arc shape when viewed from the contact surface of the magnetic recording medium, and the magnetic gap Inclining the tangential direction of the arc of the ferromagnetic thin film forming surface on the forming surface within the range of 20 ° to 80 ° with respect to the magnetic gap forming surface allows the magnetic properties of the ferromagnetic metal thin film to be sufficiently exhibited. The magnetic head is excellent in electromagnetic conversion characteristics and also in productivity.
磁気記録の分野においては、情報信号の高密度記録化が
進められており、これに対応して、いわゆるメタルテー
プや蒸着テープ等のような高い抗磁力を有する磁気記録
媒体が普及してきている。In the field of magnetic recording, high density recording of information signals has been promoted, and in response to this, magnetic recording media having high coercive force such as so-called metal tapes and vapor deposition tapes have become widespread.
また、所定面積の磁気記録媒体にできるだけ多くの情報
信号を書き込むために、磁気記録媒体に記録される記録
トラックの狭小化も進められている。Further, in order to write as many information signals as possible on a magnetic recording medium having a predetermined area, narrowing of recording tracks to be recorded on the magnetic recording medium has been promoted.
このような状況から、磁気ヘッドに対しても数々の要求
が出されており、例えば高い抗磁力や残留磁束密度を有
する磁気記録媒体に対して良好な記録・再生を行うため
に、磁気ヘッドのコア材料が高飽和磁束密度，高透磁率
を有すること、記録トラックのトラック幅に対応して微
小なトラック幅出しが容易であること、等が要望されて
いる。Under such circumstances, various demands have been made also for magnetic heads. For example, in order to perform good recording / reproducing on a magnetic recording medium having high coercive force and residual magnetic flux density, the magnetic head is It is desired that the core material has a high saturation magnetic flux density and a high magnetic permeability, and that it is easy to make a minute track width corresponding to the track width of a recording track.
かかる諸要求を満たす磁気ヘッドを、例えばフェライト
材等の強磁性酸化物材料単体で作成することは難しく、
そこで高飽和磁束密度を有する強磁性金属薄膜と組み合
わせて磁気ヘッドを構成した、いわゆる複合型磁気ヘッ
ドが提案されている。It is difficult to make a magnetic head satisfying such requirements with a single ferromagnetic oxide material such as a ferrite material,
Therefore, a so-called composite type magnetic head has been proposed in which a magnetic head is configured by combining it with a ferromagnetic metal thin film having a high saturation magnetic flux density.
例えば特開昭56−124112号公報にかかる複合型磁気ヘッ
ドの一例が開示されている。この磁気ヘッドは、第13図
に示すように、Mn−Zn系フェライト等の強磁性酸化物に
より形成される一対の磁気コア部（101），（102）の突
き合わせ面をそれぞれ略楕円形形状に切り欠いて強磁性
薄膜形成面（103），（104）を形成するとともに、この
強磁性薄膜形成面（103），（104）上に高飽和磁束密度
を有する強磁性金属薄膜（105），（106）を形成して磁
気コア半体（111），（112）を形成し、これら強磁性金
属薄膜（105），（106）をギャップスペーサを介して当
接することにより磁気ギャップｇ′を構成し、さらに、
この磁気ギャップｇ′の両側部にトラック幅を規制する
トラック幅規制溝（107），（108）が切り欠かれ、上記
強磁性金属薄膜（105），（106）の摩耗を防止するため
の非磁性材（109），（110）が溶融充填されている。For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 56-124112 discloses an example of a composite magnetic head. As shown in FIG. 13, this magnetic head has a pair of magnetic core portions (101) and (102) made of a ferromagnetic oxide such as Mn-Zn ferrite, and the abutting surfaces of the magnetic core portions are made to be substantially elliptical. Notches are formed to form the ferromagnetic thin film forming surfaces (103) and (104), and ferromagnetic metal thin films (105) and (105) having a high saturation magnetic flux density are formed on the ferromagnetic thin film forming surfaces (103) and (104). 106) to form magnetic core halves (111) and (112), and these ferromagnetic metal thin films (105) and (106) are abutted via a gap spacer to form a magnetic gap g '. ,further,
Track width restricting grooves (107) and (108) for restricting the track width are cut out on both sides of the magnetic gap g'to prevent wear of the ferromagnetic metal thin films (105) and (106). The magnetic materials (109) and (110) are melt-filled.
ところで、この第13図に示す磁気ヘッドは、磁気ギャッ
プｇ′の近傍部において、上記強磁性薄膜形成面（10
3），（104）が磁気ギャップ形成面（110）と直交して
おり、この面（103），（104）上に形成される強磁性金
属薄膜（104），（105）の膜厚が所定のトラック幅Twと
なるように構成されている。この強磁性金属薄膜（10
4），（105）は、通常スパッタリングに代表される真空
薄膜形成技術を用いて被着形成されている。By the way, in the magnetic head shown in FIG. 13, in the vicinity of the magnetic gap g ', the ferromagnetic thin film forming surface (10
3) and (104) are orthogonal to the magnetic gap forming surface (110), and the ferromagnetic metal thin films (104) and (105) formed on these surfaces (103) and (104) have a predetermined thickness. The track width is Tw. This ferromagnetic metal thin film (10
4) and (105) are usually deposited by using a vacuum thin film forming technique typified by sputtering.
上記真空薄膜形成技術は、磁気特性に優れた磁性薄膜が
提供できるものの、膜の成長速度が極めて遅いという欠
点がある。したがって、上述のように強磁性金属薄膜
（104），（105）の膜厚がトラック幅Twと等しくなるよ
な構成とすると、この膜付け工程に長時間を必要とし、
生産性の点で大きな問題となっている。Although the above vacuum thin film forming technique can provide a magnetic thin film having excellent magnetic characteristics, it has a drawback that the growth rate of the film is extremely slow. Therefore, if the ferromagnetic metal thin films (104) and (105) have the same film thickness as the track width Tw as described above, this film forming process requires a long time,
It is a big problem in terms of productivity.
また、上記磁気ヘッドは、磁気記録媒体対接面から見た
時に、強磁性薄膜形成面がその中途に屈曲部を有する構
造となっている。このため、上記強磁性薄膜形成面の加
工時にこの屈曲部に加工ストレスが集中しマイクロクラ
ックを生じる虞れがある。あるいは、強磁性金属薄膜上
にガラス等の非磁性材を充填する時、この非磁性材と強
磁性金属薄膜の熱膨張係数の差に起因し、上記屈曲部に
内部応力の内部応力が大きくなって上記強磁性金属薄膜
にもクラックが生じる虞れがある。さらには、上記屈曲
部において、強磁性金属薄膜の膜成長方向が大きく変化
し、この薄膜の磁気特性が劣化するという欠点もある。
したがって、これら諸欠点に起因し磁気ヘッドの電磁変
換特性の劣化が問題となっており、この改善が強く要望
されている。The magnetic head has a structure in which the ferromagnetic thin film forming surface has a bent portion in the middle when viewed from the contact surface of the magnetic recording medium. Therefore, during the processing of the surface on which the ferromagnetic thin film is formed, processing stress may concentrate on this bent portion and microcracks may occur. Alternatively, when filling the ferromagnetic metal thin film with a non-magnetic material such as glass, the internal stress of the internal stress becomes large at the bent portion due to the difference in thermal expansion coefficient between the non-magnetic material and the ferromagnetic metal thin film. As a result, the ferromagnetic metal thin film may be cracked. Furthermore, there is a drawback that the film growth direction of the ferromagnetic metal thin film is largely changed at the bent portion, and the magnetic characteristics of this thin film are deteriorated.
Therefore, deterioration of the electromagnetic conversion characteristics of the magnetic head due to these various drawbacks has become a problem, and improvement thereof is strongly demanded.
そこで本発明は、上述の事情に鑑みて提案されたもので
あり、強磁性金属薄膜の磁気特性を十分に発揮し電磁変
換特性に優れ、しかも生産性の点でも優れた磁気ヘッド
を提供することを目的とする。Therefore, the present invention has been proposed in view of the above circumstances, and provides a magnetic head that exhibits the magnetic characteristics of a ferromagnetic metal thin film sufficiently, is excellent in electromagnetic conversion characteristics, and is also excellent in productivity. With the goal.
上述の目的を達成するために、本発明の磁気ヘッドは、
強磁性酸化物よりなる磁気コア部と、この磁気コア部の
強磁性薄膜形成面上に形成される強磁性金属薄膜と、磁
気ギャップ近傍部に充填される非磁性材とからなり、上
記強磁性金属薄膜同士を突き合わせて磁気ギャップを構
成してなる磁気ヘッドであって、磁気記録媒体対接面か
ら見たときに、上記強磁性薄膜形成面を一円弧状面とな
すとともに、磁気ギャップ形成面位置での上記強磁性薄
膜形成面の円弧の接線方向を上記磁気ギャップ形成面に
対して20゜〜80゜の範囲内で傾斜させ、磁気ギャップ形
成面に臨む強磁性金属薄膜の端面間に磁気ギャップを形
成したことを特徴とするものである。In order to achieve the above object, the magnetic head of the present invention comprises:
The magnetic core portion made of a ferromagnetic oxide, the ferromagnetic metal thin film formed on the ferromagnetic thin film forming surface of the magnetic core portion, and the non-magnetic material filled in the vicinity of the magnetic gap. A magnetic head comprising metal thin films abutted against each other to form a magnetic gap, the ferromagnetic thin film forming surface being an arcuate surface and the magnetic gap forming surface when viewed from the contact surface of the magnetic recording medium. The tangential direction of the circular arc of the ferromagnetic thin film forming surface at a position is inclined within a range of 20 ° to 80 ° with respect to the magnetic gap forming surface, and a magnetic field is formed between the end faces of the ferromagnetic metal thin film facing the magnetic gap forming surface. It is characterized by forming a gap.
このように、強磁性薄膜形成面を一円弧状面とすること
により、強磁性金属薄膜とこの薄膜上に形成される非磁
性材とに熱膨張係数の差があったとしても、これに起因
する強磁性金属薄膜の内部応力が緩和・分散される。In this way, by making the ferromagnetic thin film formation surface one circular arc surface, even if there is a difference in thermal expansion coefficient between the ferromagnetic metal thin film and the non-magnetic material formed on this thin film, The internal stress of the ferromagnetic metal thin film is relaxed and dispersed.
また、磁気ギャップ形成面における上記円弧の接線方向
を上記磁気ギャップ形成面に対して20゜〜80゜の範囲内
に設定しているので、強磁性金属薄膜の膜厚は所定のト
ラック幅よりも小さく設定できる。Further, since the tangential direction of the circular arc on the magnetic gap forming surface is set within the range of 20 ° to 80 ° with respect to the magnetic gap forming surface, the film thickness of the ferromagnetic metal thin film is smaller than the predetermined track width. Can be set small.
以下、本発明の実施例を図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
第１図は本発明を適用した磁気ヘッドの一例を示す外観
斜視図であり、第２図はその磁気記録媒体対接面を示す
要部拡大平面図である。FIG. 1 is an external perspective view showing an example of a magnetic head to which the present invention is applied, and FIG. 2 is a main part enlarged plan view showing a contact surface of the magnetic recording medium.
この磁気ヘッドにおいては、磁気コア部（11），（12）
が強磁性酸化物、例えばMn−Zn系フェライト等で形成さ
れ、この磁気コア部（11），（12）の接合面を円弧状に
切り欠いた強磁性薄膜形成面（11a），（12a）にはフロ
ントギャップ面からバックギャップ面に至るまで連続し
て高飽和磁束密度合金、例えばFe−Al−Si系合金よりな
る強磁性金属薄膜（13），（14）が真空薄膜形成技術に
より被着形成され、それぞれ磁気コア半体（１），
（２）が構成されている。そして、これら一対の磁気コ
ア半体（１），（２）をSiO2等のギャップスペーサ（図
示せず）を介して付き合わせ、上記強磁性金属薄膜（1
3），（14）の当接面がトラック幅Twの磁気ギャップｇ
となるように構成されている。また、磁気ギャップｇの
形成面近傍、すなわち磁気記録媒体対接面における磁気
ギャップｇの両側には、トラック幅Twを規制を規制する
トラック幅規制溝（11b），（12b）が削り取られ、さら
にこのトラック幅規制溝（11b），（12b）内及び上記強
磁性金属薄膜（13），（14）上にはガラス等の非磁性材
（15），（16）及び（17），（18）が溶融充填されてお
り、強磁性金属薄膜（13），（14）の摩耗が低減できる
ようになっている。なお、一方の磁気コア半体（２）に
はコイルを巻回するための巻線孔（19）が穿設されてい
る。In this magnetic head, the magnetic core parts (11), (12)
Is formed of a ferromagnetic oxide, such as Mn-Zn ferrite, and the magnetic thin film forming surfaces (11a) and (12a) are formed by cutting out the joining surface of the magnetic core portions (11) and (12) in an arc shape. A ferromagnetic metal thin film (13), (14) made of a high saturation magnetic flux density alloy, for example, Fe-Al-Si alloy, is continuously deposited from the front gap surface to the back gap surface by vacuum thin film forming technology. Magnetic core halves (1),
(2) is configured. Then, the pair of magnetic core halves (1) and (2) are attached to each other via a gap spacer (not shown) such as SiO 2 to form the ferromagnetic metal thin film (1).
The contact surfaces of 3) and (14) have a magnetic gap g of track width Tw.
Is configured to be. In addition, track width regulating grooves (11b) and (12b) for regulating the track width Tw are scraped off near the surface where the magnetic gap g is formed, that is, on both sides of the magnetic gap g on the contact surface of the magnetic recording medium. Non-magnetic materials (15), (16) and (17), (18) such as glass in the track width regulating grooves (11b), (12b) and on the ferromagnetic metal thin films (13), (14). Is melt-filled, and wear of the ferromagnetic metal thin films (13) and (14) can be reduced. A winding hole (19) for winding a coil is formed in one of the magnetic core halves (2).
ここで本発明にあっては、各磁気コア部（11），（12）
に切り欠かれた強磁性薄膜形成面（11a），（12a）が、
磁気記録媒体対接面から見たときに、円弧状の曲面をも
って切り欠かれており、しかも磁気ギャップ形成面（1
0）における強磁性薄膜形成面（11a），（12a）の円弧
の接線方向が上記磁気ギャップ形成面（10）に対して所
定角度θで傾斜している。Here, in the present invention, each magnetic core part (11), (12)
The ferromagnetic thin film forming surfaces (11a) and (12a) cut out in
When viewed from the contact surface of the magnetic recording medium, it is cut out with an arc-shaped curved surface, and the magnetic gap formation surface (1
The tangential direction of the arc of the ferromagnetic thin film forming surfaces (11a) and (12a) in (0) is inclined at a predetermined angle θ with respect to the magnetic gap forming surface (10).
この円弧の接線と磁気ギャップ形成面（10）とのなす角
度θは、20゜〜80゜の範囲内に設定することが好まし
い。この角度θが20゜以下では、隣接トラックからのク
ロストークが大きくなり、記録再生特性が劣化する。逆
に、上記角度θを80゜以上とすると、上記強磁性金属薄
膜（13），（14）の耐摩耗性が劣ること、磁気ギャップ
ｇの近傍部に形成される強磁性金属薄膜（13），（14）
の膜圧をトラック幅Twに等しく形成する必要があり真空
薄膜形成技術を用いて薄膜を形成するにあたって多くの
時間を要してしまうこと、等の欠点があり好ましくな
い。The angle θ formed by the tangent to the arc and the magnetic gap forming surface (10) is preferably set within the range of 20 ° to 80 °. If this angle θ is 20 ° or less, crosstalk from adjacent tracks becomes large, and recording / reproducing characteristics deteriorate. On the contrary, if the angle θ is set to 80 ° or more, the wear resistance of the ferromagnetic metal thin films (13) and (14) becomes poor, and the ferromagnetic metal thin film (13) formed in the vicinity of the magnetic gap g. ,(14)
Since it is necessary to form the film pressure of the same as the track width Tw, it takes a lot of time to form a thin film by using the vacuum thin film forming technique, which is not preferable.
すなわち、上記磁気コア半体（１），（２）に形成され
る強磁性金属薄膜（13），（14）の膜厚ｔは、 ｔ＝Tw sinθ（20＜θ＜80） で良いことから、トラック幅Twに相当する膜厚を膜付け
する必要がなく、ヘッド作製に要する時間を大幅に短縮
できる。That is, the film thickness t of the ferromagnetic metal thin films (13) and (14) formed on the magnetic core halves (1) and (2) may be t = Tw sin θ (20 <θ <80) Since it is not necessary to form a film having a film thickness corresponding to the track width Tw, the time required to manufacture the head can be significantly reduced.
また、上記強磁性薄膜形成面（11a），（12a）の断面形
状が円弧状の、いわゆる円形溝であるため、この溝加工
時の加工ストレスが均一に分散される。このため、磁気
コア部（11），（12）にクラックが発生しなくなる。さ
らに、強磁性金属薄膜（13），（14）と非磁性材（1
5），（16）との熱膨張係数の差に起因する内部応力も
緩和・分散されるので、磁気特性の優れた強磁性金属薄
膜（13），（14）となる。さらにまた、磁気ギャップｇ
近傍部での強磁性酸化物（磁気コア部（11），（12））
の容量が確保されるので、出力特性が改善される。以上
により、電磁変換特性に優れた磁気ヘッドが提供でき
る。Further, since the cross-sectional shape of the ferromagnetic thin film forming surfaces (11a), (12a) is a so-called circular groove, the processing stress at the time of processing the groove is uniformly dispersed. Therefore, no cracks are generated in the magnetic core parts (11) and (12). Furthermore, the ferromagnetic metal thin films (13) and (14) and the non-magnetic material (1
Internal stress due to the difference in thermal expansion coefficient from 5) and 16) is also relaxed / dispersed, resulting in ferromagnetic metal thin films 13/14 with excellent magnetic properties. Furthermore, the magnetic gap g
Ferromagnetic oxide in the vicinity (magnetic core (11), (12))
Since the capacity is secured, the output characteristics are improved. As described above, a magnetic head having excellent electromagnetic conversion characteristics can be provided.
ここで、上記強磁性金属薄膜（13），（14）の材質とし
ては、強磁性非晶質金属合金、いわゆるアモルファス合
金（例えばFe,Ni,Co,の１つ以上の元素とP,C,B,Siの１
つ以上の元素とからなる合金、またはこれを主成分と
し、Al,Ge,Be,Sn,In,Mo,W,Ti,Mn,Cr,Zr,Hf,Nbを含んだ
合金等のメタル−メタロイド系アモルファス合金、ある
いはCo,Hf,Zr等の遷移金属や希土類元素を主成分とする
メタル−メタル系アモルファス合金）、Fe−Al−Si系合
金（センダスト）、Fe−Al系合金、Fe−Si系合金、Fe−
Si−Co系合金、Fe−Ni系合金（パーマロイ）等が使用可
能であり、その膜付け方法としては、真空蒸着法，スパ
ッタリング法，イオンプレーティング法，等に代表され
る真空薄膜形成技術が採用される。この強磁性金属薄膜
（13），（14）は、本実施例では単層で形成している
が、例えばSiO2,Ta2O5,Al2O3,ZrO2,Si3N4等の高耐摩耗
絶縁膜を介して複数層積層形成しても良い。この場合、
強磁性金属薄膜の積層数は任意に設定することができ
る。Here, as the material of the ferromagnetic metal thin films (13) and (14), a ferromagnetic amorphous metal alloy, a so-called amorphous alloy (for example, one or more elements of Fe, Ni, Co, and P, C, B, Si 1
Alloy consisting of three or more elements, or metal-metalloid such as alloy containing Al, Ge, Be, Sn, In, Mo, W, Ti, Mn, Cr, Zr, Hf, Nb as the main component Type amorphous alloys, or metal-metal type amorphous alloys containing transition metals such as Co, Hf, Zr and rare earth elements as main components, Fe-Al-Si type alloys (sendust), Fe-Al type alloys, Fe-Si Fe-based alloy
Si-Co alloys, Fe-Ni alloys (permalloy), etc. can be used, and as the film deposition method, there are vacuum thin film forming techniques typified by vacuum deposition, sputtering, ion plating, etc. Adopted. Although the ferromagnetic metal thin films (13) and (14) are formed as a single layer in this embodiment, they are made of, for example, SiO 2 , Ta 2 O 5 , Al 2 O 3 , ZrO 2 , Si 3 N 4 or the like. A plurality of layers may be laminated with a high abrasion resistant insulating film interposed. in this case,
The number of laminated ferromagnetic metal thin films can be set arbitrarily.
なお、本発明は上述の実施例に限定されるものではな
く、第３図に示すように強磁性金属薄膜（13），（14）
がトラックの幅方向に関して同一側に配置するように突
き合わせても良く、あるいは第４図に示すように磁気コ
ア部（11），（12）と強磁性金属薄膜（13），（14）が
対向しないように強磁性金属薄膜（13），（14）同士を
若干ズラして突き合わせても良い。さらには、第５図に
示すように一方の磁気コア半体（１）の磁気ギャップ形
成面（10）における強磁性金属薄膜（13）の幅を所定ト
ラック幅Twよりも若干大きく設定し、他方の磁気コア半
体（２）の薄膜（14）の幅を所定トラックと幅Twとし、
これら磁気コア半体（１），（２）を突き合わせても良
く、第６図に示すように磁気ギャップｇ近傍部において
強磁性金属薄膜（13），（14）の一部をトラック幅規制
溝（11b），（12b）で切り欠いた一対の磁気コア半体
（１），（２）を突き合わせた構造であっても良い。な
お、上記第３図ないし第６図において、先の第１図及び
第２図に示す磁気ヘッドと同一部材には同一符号を付し
その詳細な説明は省略した。The present invention is not limited to the above-mentioned embodiment, and as shown in FIG. 3, the ferromagnetic metal thin films (13), (14)
May be abutted so that they are arranged on the same side in the track width direction, or as shown in FIG. 4, the magnetic core parts (11), (12) and the ferromagnetic metal thin films (13), (14) face each other. In order not to do so, the ferromagnetic metal thin films (13) and (14) may be slightly slid together and abutted. Further, as shown in FIG. 5, the width of the ferromagnetic metal thin film (13) on the magnetic gap forming surface (10) of one magnetic core half body (1) is set to be slightly larger than the predetermined track width Tw, and the other The width of the thin film (14) of the magnetic core half body (2) is set to a predetermined track and a width Tw,
These magnetic core halves (1) and (2) may be butted against each other, and as shown in FIG. 6, a part of the ferromagnetic metal thin films (13) and (14) may be provided in the track width regulating groove in the vicinity of the magnetic gap g. It may have a structure in which a pair of magnetic core halves (1) and (2) cut out in (11b) and (12b) are butted. In FIGS. 3 to 6, the same members as those of the magnetic head shown in FIGS. 1 and 2 are designated by the same reference numerals and detailed description thereof is omitted.
次に、本発明の磁気ヘッドの構成をより明確なものとす
るために、第１図及び第２図に示す磁気ヘッドの製造方
法について説明する。Next, a method of manufacturing the magnetic head shown in FIGS. 1 and 2 will be described in order to clarify the structure of the magnetic head of the present invention.
この磁気ヘッドを作製するには、先ず、第７図に示すよ
うに、例えばMn−Zn系フェライト等の強磁性酸化物基板
（20）の上面（20a）、すなわちこの強磁性酸化物基板
（20）における磁気コア半体突き合わせ時の接合面に、
回転砥石等により断面が半円形状の第１の切溝（21）を
上記基板（20）の全幅に亘って複数平行に形成し、強磁
性薄膜形成面（21a）を形成する。すなわち、第２図に
示す磁気ヘッドの強磁性薄膜形成面（11a），（12a）の
曲面形状は、上記第１の切溝（21）の曲面形状に由来し
ている。In order to manufacture this magnetic head, first, as shown in FIG. 7, for example, the upper surface (20a) of the ferromagnetic oxide substrate (20) such as Mn-Zn ferrite, that is, this ferromagnetic oxide substrate (20). ) On the joint surface when the magnetic core halves are butted,
A plurality of first cut grooves (21) having a semicircular cross section are formed in parallel over the entire width of the substrate (20) by a rotating grindstone or the like to form a ferromagnetic thin film forming surface (21a). That is, the curved surface shapes of the ferromagnetic thin film forming surfaces (11a) and (12a) of the magnetic head shown in FIG. 2 are derived from the curved surface shape of the first kerf (21).
ここで、上記第１の切溝（21）は、対称性を有するいわ
ゆる円形溝であるので、加工バランスに優れ、この溝
（21）の加工精度が改善されるとともに、砥石の摩耗の
バラツキが少ないものとなる。このため、溝（21）加工
精度が長く維持され、量産に好適である。また、溝（2
1）加工時のストレスが面（21a）に均等に分散されるの
で、基板（20）にクラックを生じることがなくなると言
う利点もある。さらに、溝（20）加工後の塵埃等の除去
が容易となり、この塵埃に起因して生じる後述の強磁性
金属薄膜の膜厚、すなわちギャップ長のバラツキが防げ
る。Here, since the first kerf (21) is a so-called circular groove having symmetry, it is excellent in machining balance, the machining accuracy of this groove (21) is improved, and variation in wear of the grindstone is caused. It will be few. For this reason, the machining accuracy of the groove (21) is maintained for a long time, which is suitable for mass production. Also, the groove (2
1) Since stress during processing is evenly distributed on the surface (21a), there is also an advantage that the substrate (20) is not cracked. Furthermore, it becomes easy to remove dust and the like after processing the groove (20), and it is possible to prevent variations in the film thickness of the ferromagnetic metal thin film, which will be described later, caused by the dust, that is, the gap length.
次に、第８図に示すように、上記強磁性薄膜形成面（21
a）を含む基板（20）の上面（20a）の全面に亘って、例
えばFe−Al−Si系合金をスパッタリング法等の真空薄膜
形成技術で被着形成し、強磁性金属薄膜（22）を形成す
る。Next, as shown in FIG.
A ferromagnetic metal thin film (22) is formed on the entire upper surface (20a) of the substrate (20) including a by depositing an Fe-Al-Si alloy by a vacuum thin film forming technique such as a sputtering method. Form.
このように、断面が略円形の第１の切溝（21）内に強磁
性金属薄膜（22）を被着しているので、この強磁性金属
薄膜（22）に生じる内部応力は均一に分散され磁気特性
に優れた強磁性金属薄膜（22）となる。In this way, since the ferromagnetic metal thin film (22) is deposited in the first kerf (21) having a substantially circular cross section, the internal stress generated in the ferromagnetic metal thin film (22) is uniformly dispersed. As a result, a ferromagnetic metal thin film (22) having excellent magnetic properties is obtained.
次いで、第９図に示すように、強磁性金属薄膜（22）が
被着形成された第１の切溝（21）内にガラス等の非磁性
材（23）を充填した後、基板（20）の上面（20a）を平
面研削し平滑度良く面出しを行う。Next, as shown in FIG. 9, a nonmagnetic material (23) such as glass is filled in the first kerf (21) on which the ferromagnetic metal thin film (22) is formed, and then the substrate (20 The upper surface (20a) of () is surface-ground and the surface is smoothed.
ここで、上記平面研削は、磁気記録媒体対接面に対応す
る基板（20）の端面（20b）から見たときに、磁気ギャ
ップ形成面に相当する上面（20a）における第１の切溝
（21）の接線が上記上面（20a）に対して所定角度θ、
すなわち20゜〜80゜の範囲となるまで研削する。したが
って、上面（20a）に露出する強磁性金属薄膜（22）の
幅Tw（トラック幅に相当）は、上記強磁性金属薄膜（2
2）の膜厚ｔよりも大きくなる。このため、強磁性金属
薄膜（22）を被着する際に、従来のように所定のトラッ
ク幅と等しく形成する必要がなくなるので、この被着時
間が大幅に短縮できる。Here, the above-mentioned surface grinding is the first kerf () in the upper surface (20a) corresponding to the magnetic gap forming surface when viewed from the end surface (20b) of the substrate (20) corresponding to the contact surface of the magnetic recording medium. The tangent line of 21) is a predetermined angle θ with respect to the upper surface (20a),
That is, grinding is performed until the range is 20 ° to 80 °. Therefore, the width Tw (corresponding to the track width) of the ferromagnetic metal thin film (22) exposed on the upper surface (20a) is equal to that of the ferromagnetic metal thin film (2).
It becomes larger than the film thickness t of 2). Therefore, when the ferromagnetic metal thin film (22) is deposited, it is not necessary to form the ferromagnetic metal thin film (22) with a predetermined track width as in the conventional case, so that the deposition time can be greatly shortened.
また、第１の切溝（21）が円弧状をなすことに起因し、
強磁性金属薄膜（22）も円弧状に形成されるので、この
強磁性金属薄膜（22）と非磁性材（23）との熱膨張係数
の差による内部応力が、緩和・分散される。したがっ
て、上記強磁性金属薄膜（22）に応力が残存したりある
いはクラックが生じることがなくなる。このため、上記
強磁性金属薄膜（22）の磁気特性を十分に発揮すること
ができる。さらに、上記非磁性材（23）を溶融充填する
際に、非磁性材の流れが均一となり、ガラス泡（空孔）
等の発生が低減できる。したがって、信頼性に優れた磁
気ヘッドが提供できるという利点もある。Also, due to the arc shape of the first kerf (21),
Since the ferromagnetic metal thin film (22) is also formed in an arc shape, internal stress due to the difference in thermal expansion coefficient between the ferromagnetic metal thin film (22) and the non-magnetic material (23) is relaxed / dispersed. Therefore, no stress remains in the ferromagnetic metal thin film (22) or cracks do not occur. Therefore, the magnetic characteristics of the ferromagnetic metal thin film (22) can be sufficiently exhibited. Furthermore, when the non-magnetic material (23) is melt-filled, the flow of the non-magnetic material becomes uniform and glass bubbles (holes)
It is possible to reduce the occurrence of such as. Therefore, there is also an advantage that a magnetic head having excellent reliability can be provided.
次に、第10図に示すように、上記強磁性金属薄膜（22）
が被着された強磁性薄膜形成面（21a）に隣接して、上
記第１の切溝（21）の一側縁（21b）と接するように第
１の切溝（21）と平行に第２の切溝（24）を切削加工
し、上記基板（20）の上面（20a）に対して鏡面加工を
施し、磁気コアブロック（30）を作製する。したがっ
て、基板の上面（20a）に露出する強磁性金属薄膜（2
2）のみにより磁気ギャップが構成されるようにトラッ
ク幅Twが規制される。なお、上記第２の切溝（24）の断
面形状は半円形状に限らず例えばＶ字状等如何なる断面
形状であっても良いが、本実施例の如く半円形状とすれ
ば、この切溝（24）の切削精度や磁気特性等の点で有利
である。Next, as shown in FIG. 10, the ferromagnetic metal thin film (22)
Adjacent to the surface (21a) on which the ferromagnetic thin film is formed, and in parallel with the first kerf (21) so as to contact the one side edge (21b) of the first kerf (21). The second cut groove (24) is cut, and the upper surface (20a) of the substrate (20) is mirror-finished to produce a magnetic core block (30). Therefore, the ferromagnetic metal thin film (2
The track width Tw is regulated so that the magnetic gap is formed only by 2). The cross-sectional shape of the second kerf (24) is not limited to a semi-circular shape, but may be any cross-sectional shape such as a V-shape. It is advantageous in terms of cutting accuracy and magnetic characteristics of the groove (24).
ここで、上記第２の切溝（24）の切削加工を上記一側縁
（21b）と若干オーバーラップするように行えば、第６
図に示す磁気ヘッドが得られる。Here, if the cutting work of the second kerf (24) is performed so as to slightly overlap the one side edge (21b),
The magnetic head shown in the figure is obtained.
上述のような工程により作製される一対の磁気コアブロ
ック（30）のうち一方の磁気コア半体に対して、第11図
に示すように、上記第１の切溝（21）及び第２の切溝
（24）と直交する方向に溝加工を施し、コイルを巻回す
るための巻線孔（25）を形成し磁気コアブロック（31）
を得る。As shown in FIG. 11, with respect to one magnetic core half of the pair of magnetic core blocks (30) manufactured by the steps as described above, as shown in FIG. A magnetic core block (31) is formed by forming grooves in a direction orthogonal to the cut grooves (24) to form winding holes (25) for winding a coil.
To get
続いて、各磁気コアブロック（30），（31）の上面（20
a）上の少なくとも何れか一方にギャップスペーサ（図
示せず）を被着し、第12図に示すように、これら磁気コ
アブロック（30），（31）を強磁性金属薄膜（22），
（22）同士が突き合わされるように接合配置する。そし
て、これら磁気コアブロック（30），（31）をガラス等
の非磁性接着剤により融着すると同時に、上記第２の切
溝（24），（24）内に上記非磁性材（26）を充填する。
なお、この融着工程において、上記第２の切溝（24），
（24）への非磁性材（26），（26）の充填は、磁気コア
半体（30），（31）の融着と同時ではなく、例えば第10
図に示す第２の切溝（24）の切削工程後に予め非磁性材
（26）を充填し、第12図に示す工程ではガラス融着のみ
としても良い。Then, the upper surface (20) of each magnetic core block (30), (31)
a) A gap spacer (not shown) is attached to at least one of the above, and as shown in FIG. 12, these magnetic core blocks (30) and (31) are attached to the ferromagnetic metal thin film (22),
(22) Arrange them so that they are butted against each other. Then, the magnetic core blocks (30) and (31) are fused with a non-magnetic adhesive such as glass, and at the same time, the non-magnetic material (26) is placed in the second kerfs (24) and (24). Fill.
In this fusion step, the second kerf (24),
The filling of the non-magnetic material (26), (26) into the (24) is not performed at the same time as the fusion of the magnetic core halves (30), (31), but for example, the tenth
The non-magnetic material (26) may be filled in advance after the step of cutting the second kerf (24) shown in the figure, and only glass fusion may be performed in the step shown in FIG.
最後に、第12図中Ａ−Ａ線及びＡ′−Ａ′線位置でスラ
イシング加工し、複数個のヘッドチップを切り出した
後、磁気記録媒体対接面を円筒研磨して、第１図及び第
２図に示す磁気ヘッドを完成する。なお、このとき磁気
コアブロック（30）及び（31）に対するスライシング方
向を磁気ギャップｇに対して傾斜させることにより、ア
ジマス記録用の磁気ヘッドを作製することができる。Finally, after slicing at the positions AA and A'-A 'in FIG. 12 to cut out a plurality of head chips, the contact surface of the magnetic recording medium is cylindrically polished, The magnetic head shown in FIG. 2 is completed. At this time, a magnetic head for azimuth recording can be manufactured by inclining the slicing direction with respect to the magnetic core blocks (30) and (31) with respect to the magnetic gap g.
なお、第10図に示す磁気コアブロック（30）を第１の切
溝（21）と直交するように（図中Ｂ−Ｂ線の位置）スラ
イシングして一対の磁気コアブロックとし、これら磁気
コア半体を突き合わせれば、第３図に示す磁気ヘッドが
得られる。この場合、上述の一対の磁気コアブロックを
接合配置するには、一方の磁気コアブロックを反転する
ことなく重ね合わせれば良いので、作業性が改善される
とともに、トラック合わせ精度が大幅に向上し、歩留ま
りの向上が図れる。さらに、突き合わせ面を対称面とし
た対称構造となるので、ヘッドチップにスライシングす
る際にストレスバランスの不均一によって生じるクラッ
クが低減されるという利点もある。The magnetic core block (30) shown in FIG. 10 is sliced so as to be orthogonal to the first kerf (21) (position of line BB in the figure) to form a pair of magnetic core blocks. If the halves are butted, the magnetic head shown in FIG. 3 is obtained. In this case, in order to join and arrange the above-mentioned pair of magnetic core blocks, it is sufficient to overlap one of the magnetic core blocks without inverting, so that workability is improved and track alignment accuracy is significantly improved. The yield can be improved. Furthermore, since the symmetric structure has the abutting surface as a symmetric surface, there is an advantage that cracks caused by uneven stress balance when slicing the head chip are reduced.
以上、本発明の具体的な実施例について説明したが、本
発明はこれら実施例に限定されるもではなく本発明の趣
旨を逸脱することなく種々の構造がとり得ることはいう
までもない。The specific embodiments of the present invention have been described above, but it goes without saying that the present invention is not limited to these embodiments and various structures can be adopted without departing from the spirit of the present invention.
以上の説明からも明らかなように、本発明によれば、磁
気記録媒体対接面から見たときに強磁性薄膜形成面が円
弧状であるので、この強磁性薄膜形成面上に形成される
強磁性金属薄膜のストレスが分散され、上記強磁性金属
薄膜の内部応力やクラックが解消される。したがって、
強磁性金属薄膜の磁気特性が十分に発揮され、高抗磁力
の磁気記録媒体に適用しても電磁変換特性に優れた磁気
ヘッドが得られる。As is clear from the above description, according to the present invention, since the ferromagnetic thin film forming surface has an arc shape when viewed from the magnetic recording medium facing surface, it is formed on this ferromagnetic thin film forming surface. The stress of the ferromagnetic metal thin film is dispersed, and the internal stress and cracks of the ferromagnetic metal thin film are eliminated. Therefore,
The magnetic characteristics of the ferromagnetic metal thin film are sufficiently exhibited, and a magnetic head having excellent electromagnetic conversion characteristics can be obtained even when applied to a magnetic recording medium having a high coercive force.
また、磁気ギャップ形成面における上記強磁性薄膜形成
面の円弧の接線方向を上記磁気ギャップ形成面に対して
20゜〜80゜の範囲内で傾斜させているので、強磁性金属
薄膜の膜厚は所定トラック幅よりも小さく設定できる。
したがって、強磁性金属薄膜の形成に要する時間が短縮
され、生産性の大幅な向上が図れる。Further, the tangential direction of the arc of the ferromagnetic thin film forming surface on the magnetic gap forming surface is set to the magnetic gap forming surface.
Since it is inclined within the range of 20 ° to 80 °, the film thickness of the ferromagnetic metal thin film can be set smaller than the predetermined track width.
Therefore, the time required to form the ferromagnetic metal thin film can be shortened, and the productivity can be greatly improved.
さらに、本発明の磁気ヘッドは、加工時の歩留まりも良
好で、しかも信頼性に優れた磁気ヘッドとなっている。Further, the magnetic head of the present invention is a magnetic head which has a good yield at the time of processing and is excellent in reliability.
第１図は本発明を適用した磁気ヘッドの一実施例を示す
外観斜視図であり、第２図はその磁気記録媒体対接面を
示す要部拡大平面図である。 第３図ないし第６図は本発明の他の例の磁気記録媒体対
接面を示す要部拡大平面図であり、第３図は強磁性金属
薄膜がトラックの幅方向に関して同一側に配置されてな
る磁気ヘッドを、第４図は磁気ギャップ形成面において
強磁性金属薄膜同士が若干ズレている磁気ヘッドを、第
５図は磁気ギャップ形成面における強磁性金属薄膜の幅
が異なる磁気ヘッドを、第６図は強磁性金属薄膜の一部
が切り欠かれた磁気ヘッドをそれぞれ示す。 第７図ないし第12図は第１図及び第２図に示す磁気ヘッ
ドを作製するための製造工程をその工程に従って外観斜
視図であり、第７図は第１の切溝形成工程、第８図は強
磁性金属薄膜形成工程、第９図は平面研削工程、第10図
は第２の切溝形成工程、第11図は巻線孔形成工程、第12
図は融着接合及びスライシング加工工程をそれぞれ示
す。 第13図は従来の磁気ヘッドの磁気記録媒体対接面を示す
要部拡大平面図である。 1,2……磁気コア半体 10……磁気ギャップ形成面 11,12……磁気コア部 11a,12a……強磁性薄膜形成面 13,14……強磁性金属薄膜FIG. 1 is an external perspective view showing an embodiment of a magnetic head to which the present invention is applied, and FIG. 2 is an enlarged plan view of an essential part showing a contact surface of the magnetic recording medium. 3 to 6 are enlarged plan views of a main part showing a contact surface of a magnetic recording medium according to another example of the present invention. FIG. 3 shows ferromagnetic metal thin films arranged on the same side in the track width direction. FIG. 4 shows a magnetic head in which the ferromagnetic metal thin films are slightly displaced from each other on the magnetic gap forming surface, and FIG. 5 shows a magnetic head in which the widths of the ferromagnetic metal thin films on the magnetic gap forming surface are different from each other. FIG. 6 shows a magnetic head in which a ferromagnetic metal thin film is partially cut away. 7 to 12 are external perspective views of the manufacturing process for manufacturing the magnetic head shown in FIGS. 1 and 2 according to the process, and FIG. 7 is a first kerf forming process and an eighth process. The figure shows the ferromagnetic metal thin film forming step, FIG. 9 shows the surface grinding step, FIG. 10 shows the second kerf forming step, FIG. 11 shows the winding hole forming step, and FIG.
The figures show the fusion bonding and slicing processing steps, respectively. FIG. 13 is an enlarged plan view of an essential part showing a contact surface of a conventional magnetic head which faces a magnetic recording medium. 1,2 ...... Magnetic core half 10 ...... Magnetic gap forming surface 11, 12 ...... Magnetic core part 11a, 12a ...... Ferromagnetic thin film forming surface 13, 14 ...... Ferromagnetic metal thin film
Claims (1)
磁気コア部の強磁性薄膜形成面上に形成される強磁性金
属薄膜と、磁気ギャップ近傍部に充填される非磁性材と
からなり、上記強磁性金属薄膜同士を突き合わせて磁気
ギャップを構成してなる磁気ヘッドであって、 磁気記録媒体対接面から見たときに、上記強磁性薄膜形
成面を一円弧状面となすとともに、磁気ギャップ形成面
位置での上記強磁性薄膜形成面の円弧の接線方向を上記
磁気ギャップ形成面に対して20゜〜80゜の範囲内で傾斜
させ、 磁気ギャップ形成面に臨む強磁性金属薄膜の端面間に磁
気ギャップを形成したことを特徴とする磁気ヘッド。1. A magnetic core portion made of a ferromagnetic oxide, a ferromagnetic metal thin film formed on a surface of the magnetic core portion on which a ferromagnetic thin film is formed, and a non-magnetic material filled near a magnetic gap. In the magnetic head, wherein the ferromagnetic metal thin films are abutted against each other to form a magnetic gap, the ferromagnetic thin film forming surface is an arc surface when viewed from the contact surface of the magnetic recording medium. A ferromagnetic metal thin film facing the magnetic gap forming surface by inclining the tangential direction of an arc of the ferromagnetic thin film forming surface at a position of the magnetic gap forming surface within a range of 20 ° to 80 ° with respect to the magnetic gap forming surface. A magnetic head characterized in that a magnetic gap is formed between the end faces of the magnetic head.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61038398A JPH0795364B2 (en) | 1986-02-25 | 1986-02-25 | Magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61038398A JPH0795364B2 (en) | 1986-02-25 | 1986-02-25 | Magnetic head |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62197907A JPS62197907A (en) | 1987-09-01 |
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP61038398A Expired - Fee Related JPH0795364B2 (en) | 1986-02-25 | 1986-02-25 | Magnetic head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0795364B2 (en) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58155513A (en) * | 1982-03-10 | 1983-09-16 | Hitachi Ltd | Composite magnetic head and its manufacture |
-
1986
- 1986-02-25 JP JP61038398A patent/JPH0795364B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| JPS62197907A (en) | 1987-09-01 |
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