NL164975B - Werkwijze voor de bereiding van positief werkende lichtgevoelige samenstelling, werkwijze voor de vervaar- diging van een lichtgevoelig materiaal onder toepassing van zo'n samenstelling, gevormd voorwerp, verkregen met die werkwijze en werkwijze voor het maken van een tegen hoge temperatuur bestand fotoresistbeeld. - Google Patents
Werkwijze voor de bereiding van positief werkende lichtgevoelige samenstelling, werkwijze voor de vervaar- diging van een lichtgevoelig materiaal onder toepassing van zo'n samenstelling, gevormd voorwerp, verkregen met die werkwijze en werkwijze voor het maken van een tegen hoge temperatuur bestand fotoresistbeeld.Info
- Publication number
- NL164975B NL164975B NL7607897.A NL7607897A NL164975B NL 164975 B NL164975 B NL 164975B NL 7607897 A NL7607897 A NL 7607897A NL 164975 B NL164975 B NL 164975B
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- composition
- photosensitical
- preparation
- manufacturing
- photographic material
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title 1
- 239000000463 material Substances 0.000 title 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/022—Quinonediazides
- G03F7/023—Macromolecular quinonediazides; Macromolecular additives, e.g. binders
- G03F7/0233—Macromolecular quinonediazides; Macromolecular additives, e.g. binders characterised by the polymeric binders or the macromolecular additives other than the macromolecular quinonediazides
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US05/597,226 US4093461A (en) | 1975-07-18 | 1975-07-18 | Positive working thermally stable photoresist composition, article and method of using |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
NL7607897A NL7607897A (nl) | 1977-01-20 |
NL164975B true NL164975B (nl) | 1980-09-15 |
NL164975C NL164975C (nl) | 1981-02-16 |
Family
ID=24390630
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
NL7607897.A NL164975C (nl) | 1975-07-18 | 1976-07-16 | Werkwijze voor de bereiding van positief werkende lichtgevoelige samenstelling, werkwijze voor de vervaar- diging van een lichtgevoelig materiaal onder toepassing van zo'n samenstelling, gevormd voorwerp, verkregen met die werkwijze en werkwijze voor het maken van een tegen hoge temperatuur bestand fotoresistbeeld. |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4093461A (nl) |
JP (1) | JPS5213315A (nl) |
CA (1) | CA1063416A (nl) |
CH (1) | CH619055A5 (nl) |
DE (1) | DE2631535A1 (nl) |
FR (1) | FR2317680B1 (nl) |
GB (1) | GB1548583A (nl) |
IT (1) | IT1060035B (nl) |
NL (1) | NL164975C (nl) |
Families Citing this family (66)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4292384A (en) * | 1977-09-30 | 1981-09-29 | Horizons Research Incorporated | Gaseous plasma developing and etching process employing low voltage DC generation |
US4180404A (en) * | 1977-11-17 | 1979-12-25 | Asahi Kasei Kogyo Kabushiki Kaisha | Heat resistant photoresist composition and process for preparing the same |
US4326018A (en) * | 1977-12-12 | 1982-04-20 | Polychrome Corporation | Lithographic printing plate |
US4208477A (en) * | 1977-12-26 | 1980-06-17 | Asahi Kasei Kogyo Kabushiki Kaisha | Heat resistant photoresist composition and process for preparing the same |
US4268602A (en) * | 1978-12-05 | 1981-05-19 | Toray Industries, Ltd. | Photosensitive O-quinone diazide containing composition |
US4289573A (en) * | 1979-03-30 | 1981-09-15 | International Business Machines Corporation | Process for forming microcircuits |
US4339522A (en) * | 1979-06-18 | 1982-07-13 | International Business Machines Corporation | Ultra-violet lithographic resist composition and process |
JPS5622428A (en) * | 1979-08-01 | 1981-03-03 | Toray Ind Inc | Polyimide pattern forming method |
DE2931297A1 (de) * | 1979-08-01 | 1981-02-19 | Siemens Ag | Waermebestaendige positivresists und verfahren zur herstellung waermebestaendiger reliefstrukturen |
US4284706A (en) * | 1979-12-03 | 1981-08-18 | International Business Machines Corporation | Lithographic resist composition for a lift-off process |
US4410612A (en) * | 1980-09-03 | 1983-10-18 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Electrical device formed from polymeric heat resistant photopolymerizable composition |
US4369247A (en) * | 1980-09-03 | 1983-01-18 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Process of producing relief structures using polyamide ester resins |
US4414312A (en) * | 1980-09-03 | 1983-11-08 | E. I. Du Pont De Nemours & Co. | Photopolymerizable polyamide ester resin compositions containing an oxygen scavenger |
US4329419A (en) * | 1980-09-03 | 1982-05-11 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Polymeric heat resistant photopolymerizable composition for semiconductors and capacitors |
DE3110632A1 (de) * | 1981-03-19 | 1982-09-30 | Hoechst Ag, 6000 Frankfurt | Verfahren zum einbrennen von lichtempflindlichen schichten bei der herstellung von druckformen |
JPS57168942A (en) * | 1981-04-13 | 1982-10-18 | Hitachi Ltd | Photosensitive polymer composition |
US4476216A (en) * | 1981-08-03 | 1984-10-09 | Amdahl Corporation | Method for high resolution lithography |
US4439516A (en) * | 1982-03-15 | 1984-03-27 | Shipley Company Inc. | High temperature positive diazo photoresist processing using polyvinyl phenol |
JPS58223149A (ja) * | 1982-06-22 | 1983-12-24 | Toray Ind Inc | 感光性ポリイミド用現像液 |
JPS59100135A (ja) * | 1982-11-30 | 1984-06-09 | Japan Synthetic Rubber Co Ltd | 樹脂組成物 |
US4857435A (en) * | 1983-11-01 | 1989-08-15 | Hoechst Celanese Corporation | Positive photoresist thermally stable compositions and elements having deep UV response with maleimide copolymer |
US5059513A (en) * | 1983-11-01 | 1991-10-22 | Hoechst Celanese Corporation | Photochemical image process of positive photoresist element with maleimide copolymer |
JPS60169852A (ja) * | 1984-02-14 | 1985-09-03 | Fuji Photo Film Co Ltd | 湿し水不要ネガ型感光性平版印刷版の製版法 |
US4745045A (en) * | 1985-03-11 | 1988-05-17 | International Business Machines Corporation | Method for improving resolution in microelectronic circuits using photoresist overlayer by using thermally processed polyimide underlayer formed from positive photoresist and polyamic acid |
CA1255142A (en) * | 1985-03-11 | 1989-06-06 | Edward C. Fredericks | Method and composition of matter for improving conductor resolution in microelectronic circuits |
US4942108A (en) * | 1985-12-05 | 1990-07-17 | International Business Machines Corporation | Process of making diazoquinone sensitized polyamic acid based photoresist compositions having reduced dissolution rates in alkaline developers |
DE3683464D1 (de) * | 1985-12-05 | 1992-02-27 | Ibm | Photoresistzusammensetzungen mit vermindertem loesungsgrad in basischen entwicklern, auf basis von durch diazochinon sensibilisierter polyamidsaeure. |
CA1308596C (en) * | 1986-01-13 | 1992-10-13 | Rohm And Haas Company | Microplastic structures and method of manufacture |
US4720445A (en) * | 1986-02-18 | 1988-01-19 | Allied Corporation | Copolymers from maleimide and aliphatic vinyl ethers and esters used in positive photoresist |
JPH0721642B2 (ja) * | 1986-06-19 | 1995-03-08 | 宇部興産株式会社 | 感光性ポリイミドのパタ−ン形成方法 |
JPH0644154B2 (ja) * | 1986-07-03 | 1994-06-08 | 宇部興産株式会社 | 有機溶媒可溶性のポジ型感光性ポリイミド組成物 |
US5021320A (en) * | 1986-10-02 | 1991-06-04 | Hoechst Celanese Corporation | Polyamide containing the hexafluoroisopropylidene group with O-quinone diazide in positive working photoresist |
ATE67611T1 (de) * | 1986-10-02 | 1991-10-15 | Hoechst Celanese Corp | Polyamide mit hexafluorisopropyliden-gruppen, diese enthaltende positiv arbeitende lichtempfindliche gemische und damit hergestellte aufzeichnungsmaterialien. |
US5077378A (en) * | 1986-10-02 | 1991-12-31 | Hoechst Celanese Corporation | Polyamide containing the hexafluoroisopropylidene group |
EP0291779B1 (de) * | 1987-05-18 | 1994-07-27 | Siemens Aktiengesellschaft | Wärmebeständige Positivresists und Verfahren zur Herstellung wärmebeständiger Reliefstrukturen |
US5037720A (en) * | 1987-07-21 | 1991-08-06 | Hoechst Celanese Corporation | Hydroxylated aromatic polyamide polymer containing bound naphthoquinone diazide photosensitizer, method of making and use |
DE3835737A1 (de) * | 1988-10-20 | 1990-04-26 | Ciba Geigy Ag | Positiv-fotoresists mit erhoehter thermischer stabilitaet |
DE3837612A1 (de) * | 1988-11-05 | 1990-05-23 | Ciba Geigy Ag | Positiv-fotoresists von polyimid-typ |
US5024922A (en) * | 1988-11-07 | 1991-06-18 | Moss Mary G | Positive working polyamic acid/imide and diazoquinone photoresist with high temperature pre-bake |
EP0478321B1 (en) * | 1990-09-28 | 1997-11-12 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Photosenstive resin composition for forming polyimide film pattern and method of forming polyimide film pattern |
JP2890213B2 (ja) * | 1991-02-25 | 1999-05-10 | チッソ株式会社 | 感光性重合体組成物及びパターンの形成方法 |
JP3677191B2 (ja) | 1999-03-15 | 2005-07-27 | 株式会社東芝 | 感光性ポリイミド用現像液、ポリイミド膜パターン形成方法、及び電子部品 |
JP4529252B2 (ja) | 1999-09-28 | 2010-08-25 | 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社 | ポジ型感光性樹脂組成物、パターンの製造法及び電子部品 |
KR100422971B1 (ko) | 1999-12-29 | 2004-03-12 | 삼성전자주식회사 | 나프톨 구조를 가진 이온형 광산발생제 및 이를 이용한감광성 폴리이미드 조성물 |
JP3773845B2 (ja) | 2000-12-29 | 2006-05-10 | 三星電子株式会社 | ポジティブ型感光性ポリイミド前駆体およびこれを含む組成物 |
KR100532590B1 (ko) * | 2002-11-07 | 2005-12-01 | 삼성전자주식회사 | 감광성 폴리이미드 전구체용 가용성 폴리이미드 및, 이를포함하는 감광성 폴리이드 전구체 조성물 |
US7638254B2 (en) | 2004-05-07 | 2009-12-29 | Hitachi Chemical Dupont Microsystems Ltd | Positive photosensitive resin composition, method for forming pattern, and electronic part |
JP4775261B2 (ja) | 2004-05-07 | 2011-09-21 | 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社 | ポジ型感光性樹脂組成物、パターンの製造方法及び電子部品 |
US8871422B2 (en) * | 2005-09-22 | 2014-10-28 | Hitachi Chemical Dupont Microsystems Ltd. | Negative-type photosensitive resin composition, pattern forming method and electronic parts |
WO2007119384A1 (ja) | 2006-03-16 | 2007-10-25 | Asahi Glass Company, Limited | ネガ型感光性含フッ素芳香族系樹脂組成物 |
JP5123846B2 (ja) * | 2006-04-28 | 2013-01-23 | 旭化成イーマテリアルズ株式会社 | 感光性樹脂組成物及び感光性フィルム |
KR101025395B1 (ko) * | 2006-06-20 | 2011-03-28 | 히다치 가세이듀퐁 마이쿠로시스데무즈 가부시키가이샤 | 네거티브형 감광성 수지 조성물, 패턴의 제조방법 및 전자부품 |
KR101438857B1 (ko) * | 2007-03-12 | 2014-09-05 | 히다치 가세이듀퐁 마이쿠로시스데무즈 가부시키가이샤 | 감광성 수지 조성물, 그 수지 조성물을 이용한 패턴 경화막의 제조방법 및 전자부품 |
TWI439811B (zh) * | 2007-10-29 | 2014-06-01 | Hitachi Chem Dupont Microsys | 正型感光性樹脂組成物、圖案的製造方法以及電子零件 |
WO2009123122A1 (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-08 | 大日本印刷株式会社 | 塩基発生剤、感光性樹脂組成物、当該感光性樹脂組成物からなるパターン形成用材料、当該感光性樹脂組成物を用いたパターン形成方法並びに物品 |
US8071273B2 (en) * | 2008-03-31 | 2011-12-06 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Polyimide precursor, resin composition comprising the polyimide precursor, pattern forming method using the resin composition, and articles produced by using the resin composition |
US9274438B1 (en) * | 2008-06-25 | 2016-03-01 | Western Digital (Fremont), Llc | Method and system for exposing photoresist in a microelectric device |
WO2010113813A1 (ja) | 2009-03-31 | 2010-10-07 | 大日本印刷株式会社 | 塩基発生剤、感光性樹脂組成物、当該感光性樹脂組成物からなるパターン形成用材料、当該感光性樹脂組成物を用いたパターン形成方法並びに物品 |
CN102713753A (zh) | 2010-01-21 | 2012-10-03 | 日立化成杜邦微系统股份有限公司 | 正型感光性树脂组合物、图形固化膜的制造方法以及电子部件 |
US9519221B2 (en) * | 2014-01-13 | 2016-12-13 | Applied Materials, Inc. | Method for microwave processing of photosensitive polyimides |
KR101580898B1 (ko) | 2014-04-18 | 2015-12-31 | (주)휴넷플러스 | 폴리실세스퀴옥산 공중합체 및 이를 포함하는 감광성 수지 조성물 |
KR102597875B1 (ko) | 2015-03-16 | 2023-11-03 | 다이요 홀딩스 가부시키가이샤 | 포지티브형 감광성 수지 조성물, 드라이 필름, 경화물 및 프린트 배선판 |
KR102071112B1 (ko) | 2017-10-11 | 2020-01-29 | 타코마테크놀러지 주식회사 | 바인더 수지 및 이를 포함하는 감광성 수지 조성물 또는 코팅 용액 |
JP7233189B2 (ja) | 2018-09-21 | 2023-03-06 | 太陽ホールディングス株式会社 | 感光性樹脂組成物、ドライフィルム、硬化物および電子部品 |
JP2021092758A (ja) | 2019-12-03 | 2021-06-17 | 東京応化工業株式会社 | ネガ型感光性樹脂組成物及び硬化膜の製造方法 |
JP2022175020A (ja) | 2021-05-12 | 2022-11-25 | 東京応化工業株式会社 | 感光性樹脂、ネガ型感光性樹脂組成物、パターン化された硬化膜の製造方法及びカルボキシ基含有樹脂 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL104507C (nl) * | 1957-08-03 | |||
NL125781C (nl) * | 1959-02-04 | |||
US3179634A (en) * | 1962-01-26 | 1965-04-20 | Du Pont | Aromatic polyimides and the process for preparing them |
GB1116674A (en) * | 1966-02-28 | 1968-06-12 | Agfa Gevaert Nv | Naphthoquinone diazide sulphofluoride |
US3551154A (en) * | 1966-12-28 | 1970-12-29 | Ferrania Spa | Light sensitive article comprising a quinone diazide and polymeric binder |
US3802885A (en) * | 1967-08-15 | 1974-04-09 | Algraphy Ltd | Photosensitive lithographic naphthoquinone diazide printing plate with aluminum base |
US3637384A (en) * | 1969-02-17 | 1972-01-25 | Gaf Corp | Positive-working diazo-oxide terpolymer photoresists |
US3623870A (en) * | 1969-07-22 | 1971-11-30 | Bell Telephone Labor Inc | Technique for the preparation of thermally stable photoresist |
DE2000623C3 (de) * | 1970-01-08 | 1979-06-28 | Agfa-Gevaert Ag, 5090 Leverkusen | Photographisches Verfahren zur Herstellung von Bildern |
US3759711A (en) * | 1970-09-16 | 1973-09-18 | Eastman Kodak Co | Er compositions and elements nitrogen linked apperding quinone diazide light sensitive vinyl polym |
DE2053363C3 (de) * | 1970-10-30 | 1980-09-18 | Hoechst Ag, 6000 Frankfurt | Lichtempfindliches Gemisch |
US3833436A (en) * | 1972-09-05 | 1974-09-03 | Buckbee Mears Co | Etching of polyimide films |
US3871930A (en) * | 1973-12-19 | 1975-03-18 | Texas Instruments Inc | Method of etching films made of polyimide based polymers |
-
1975
- 1975-07-18 US US05/597,226 patent/US4093461A/en not_active Expired - Lifetime
-
1976
- 1976-04-22 CA CA250,802A patent/CA1063416A/en not_active Expired
- 1976-05-12 IT IT23187/76A patent/IT1060035B/it active
- 1976-05-13 GB GB19875/76A patent/GB1548583A/en not_active Expired
- 1976-05-21 FR FR7615556A patent/FR2317680B1/fr not_active Expired
- 1976-07-08 CH CH874876A patent/CH619055A5/de not_active IP Right Cessation
- 1976-07-14 DE DE19762631535 patent/DE2631535A1/de not_active Withdrawn
- 1976-07-15 JP JP51083611A patent/JPS5213315A/ja active Pending
- 1976-07-16 NL NL7607897.A patent/NL164975C/nl not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2317680A1 (fr) | 1977-02-04 |
NL7607897A (nl) | 1977-01-20 |
NL164975C (nl) | 1981-02-16 |
CA1063416A (en) | 1979-10-02 |
US4093461A (en) | 1978-06-06 |
JPS5213315A (en) | 1977-02-01 |
CH619055A5 (nl) | 1980-08-29 |
GB1548583A (en) | 1979-07-18 |
IT1060035B (it) | 1982-07-10 |
FR2317680B1 (fr) | 1981-08-07 |
DE2631535A1 (de) | 1977-02-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
NL164975C (nl) | Werkwijze voor de bereiding van positief werkende lichtgevoelige samenstelling, werkwijze voor de vervaar- diging van een lichtgevoelig materiaal onder toepassing van zo'n samenstelling, gevormd voorwerp, verkregen met die werkwijze en werkwijze voor het maken van een tegen hoge temperatuur bestand fotoresistbeeld. | |
NL166552C (nl) | Werkwijze voor de bereiding van een fotopolymeriseer- baar materiaal en fotopolymeriseerbaar element verkre- gen onder toepassing van zo'n materiaal. | |
NL189046C (nl) | Werkwijze voor het vervaardigen van een suedeachtig materiaal, alsmede materiaal vervaardigd volgens die werkwijze. | |
NL174154C (nl) | Werkwijze voor de bereiding van gesegmenteerde copolyesteramiden alsmede onder toepassing daarvan verkregen gevormde voorwerpen. | |
NL7613182A (nl) | Vaste microbiocidemengsels en werkwijze voor de bereiding daarvan. | |
NL7604935A (nl) | Plaatmateriaal en werkwijze voor het ver- vaardigen daarvan. | |
NL186498C (nl) | Thermisch registratiemateriaal en werkwijze voor de vervaardiging daarvan. | |
NL7714066A (nl) | 1.4-dihydropyridineverbindingen, werkwijze voor de bereiding daarvan en farmaceutische prepara- ten, die deze verbindingen bevatten. | |
NL7700121A (nl) | Drukgevoelig copieermateriaal en werkwijze voor de vervaardiging ervan. | |
DE3786093D1 (de) | Photoempfindliches material mit silberhalogenid, reduziermittel und photopolymerisierbare verbindung. | |
NL7709076A (nl) | Werkwijze voor de bereiding van een vlam-vertra- gende samenstelling. | |
NL7811921A (nl) | Fotografisch materiaal voor gebruik in de zilver- complexdiffusie-overbrengingswerkwijze. | |
NL7707785A (nl) | Werkwijze voor de bereiding van n-gesubstitu- eerde chinazolinen met antihypertensieve wer- king, werkwijze voor de bereiding van een ge- neesmiddel met een dergelijke werking en ge- vormd geneesmiddel. | |
NL7811027A (nl) | Werkwijze voor de vervaardiging van zeer zuivere half- geleidermaterialen en metalen. | |
NL7705135A (nl) | Werkwijze voor de bereiding van een op polysul- fide gebaseerd afdichtmateriaal en voorwerpen, vervaardigd onder toepassing van het aldus be- reide afdichtmateriaal. | |
NL183948C (nl) | Werkwijze ter bereiding van een hardbaar materiaal, werkwijze ter bereiding van een oplossing hiervan en onder toepassing van deze oplossing verkregen film, werkwijze voor het vervaardigen van een paneel voor gedrukte bedrading en werkwijze voor het vervaardigen van een drukplaat. | |
NL7712470A (nl) | Werkwijze voor de bereiding van een fluoresce- rend materiaal. | |
NL7901598A (nl) | Machine voor de fabricage van pallets. | |
NL7707639A (nl) | Werkwijze voor de bereiding van oxocyclopen- tyl- en oxocyclohexylverbindingen. | |
NL184011C (nl) | Werkwijze voor de bereiding van een samenstelling, die een vertakt of lineair organopolysiloxan bevat, alsmede werkwijze voor het vervaardigen van een gevormd voortbrengsel. | |
NL172541B (nl) | Werkwijze voor de bereiding van 2,4-diamino-5-benzylpyrimidinen. | |
NL7713913A (nl) | Werkwijze voor het bereiden van een samenstel- ling op basis van polypropeen alsmede voor het vervaardigen van biaxiaal georienteerde foelies. | |
NL7609315A (nl) | Fotogeleidend element en werkwijze voor de ver- vaardiging daarvan. | |
NL7610062A (nl) | Werkwijze voor de bereiding van 5-thiazolyl- methylaminen en zouten daarvan, alsmede een werkwijze voor de bereiding van preparaten die ze bevatten. | |
NL161349C (nl) | Werkwijze voor het bereiden van stukjes eiwitrijk materiaal met een op vlees gelijkende textuur, alsmede onder toepassing van deze werkwijze verkregen gevormde stukjes eiwitrijk materiaal. |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
V1 | Lapsed because of non-payment of the annual fee |