NL1004635C2

NL1004635C2 - Indiumoxyde-tinoxydepoeders en werkwijze voor het voortbrengen daarvan.

Info

Publication number: NL1004635C2
Application number: NL1004635A
Authority: NL
Inventors: Kunio Saegusa; Akira Hasegawa; Shinji Fujiwara
Original assignee: Sumitomo Chemical Co
Priority date: 1995-12-06
Filing date: 1996-11-28
Publication date: 1999-01-12
Also published as: GB2307905B; FR2742140B1; FR2742140A1; DE19650747A1; GB9625424D0; KR970074657A; NL1004635A1; TW318806B; GB2307905A; US6051166A; KR100482912B1

Description

Indiumoxyde-tinoxydepoeders en werkwijze voor het voortbrengen daarvan.

ACHTERGROND VAN DE UITVINDING Uitvindingsgebied 5 De uitvinding heeft betrekking op een indiumoxyde-tinoxydepoeder, en een werkwijze voor het voortbrengen daarvan. Meer in het bijzonder heeft de uitvinding betrekking op een indiumoxyde-tinoxydepoeder, dat superieur is in sintereigenschappen, en een werkwijze voor het 10 voortbrengen daarvan.

Achtergrondinformatie

Een indiumoxyde-tinoxyde (indium-tinoxyde: hierna soms aangeduid als "ITO") dunne film, die 2 tot 20 gew. % tinoxyde bevat, wordt gebruikt als transparante geleidende 15 film voor vloeibaar-kristalweergeefpanelen vanwege het hoge elektrische geleidingsvermogen en de hoge transparantie daarvan.

Voorbeelden van de werkwijze voor het vormen van een ITO dunne film omvatten een werkwijze voor het aanbrengen van 20 een pasta, die een fijn poeder van ITO bevat, op een substraat, een werkwijze voor het vormen van een ITO film op het oppervlak van het substraat volgens een verstuivings-methode, waarbij een ITO target, verkregen door sinteren en dergelijke wordt gebruikt. De werkwijze voor het aanbrengen 25 van het ITO poeder op het substraat is inferieur aan de verstuivingsmethode in filmkwaliteit en prestatie van de verkregen ITO film.

Bij de werkwijze voor het voortbrengen van de ITO dunne film volgens de verstuivingsmethode onder gebruikmaking van 30 het ITO target, doen zich problemen voor zoals afname van het verstuivingsrendement (bijv. knobbeltjes op een oppervlak van het ITO target, vermindering van filmvorm-snelheid, enz.) en verslechtering van het elektrisch geleidingsvermogen en de transparantie van ITO dunne film, 35 wanneer een ITO target gebruikt wordt met een lage

dichtheid, welke lager is dan 90 % van de theoretische dichtheid. Daarom is het nodig geweest om een ITO

1004635 2 sinterlichaam van hoge dichtheid en een ITO poeder te ontwikkelen, in staat om een ITO sinterlichaam van hoge dichtheid voort te brengen.

Japans patent Kokai (ter inzage gelegd) No. 62-7627 5 onthult een werkwijze voor het voortbrengen van een ITO poeder (coprecipitatiemethode), waarbij tinoxyde uniform verdeeld wordt, welke omvat het mengen van een waterige gemengde oplossing van een indiumzout en een tinzout met een preeipitaat-vormend middel zoals een waterige ammoniak-10 oplossing voor het verkrijgen van een precipitaat, dat indium en tin bevat, en het drogen van het precipitaat, gevolgd door calcineren, als werkwijze voor het voortbrengen van het ITO poeder als grondstof van het ITO sinterlichaam.

15 Bij de produktie van het ITO poeder volgens een gebruikelijke coprecipitatiemethode is het evenwel niet gemakkelijk om het precipitaat, dat indium en tin bevat, te verzamelen door vaste-stof-vloeistofscheiding (bijv. filtratie), omdat het precipitaat, dat verkregen wordt als 20 voorprodukt van het ITO poeder, zich bevindt in een gel toestand. Het gedroogde materiaal van het precipitaat wordt een harde geagglomereerde massa en het ITO poeder, verkregen door calcineren van het gedroogde materiaal, bevat een grote hoeveelheid van grove geagglomereerde deeltjes, 25 waarin primaire deeltjes stevig aan elkaar gekleefd zijn en zodoende deagglomeratie niet gemakkelijk is. Wanneer het ITO sinterlichaam wordt gemaakt door ITO poeder te gebruiken, dat een grote hoeveelheid van geagglomereerde deeltjes bevat, was het moeilijk om een ITO sinterlichaam te 30 verkrijgen met een hoge dichtheid groter dan 90 % van de theoretische dichtheid.

Teneinde deze problemen op te lossen wordt bijvoorbeeld in Japans patent Kokai (ter inzage gelegd) No. 3-215318 beschreven, dat een ITO sinterlichaam met een hoge dichtheid 35 groter dan 75 %, bij voorkeur 85 %, van de theoretische dichtheid verkregen door een ITO poeder te gebruiken, verkregen door het mechanisch slijpen van een ITO poeder, dat fijne deeltjes bevat met een primaire deeltjesgrootte van 1 pm of minder, verkregen door de coprecipitatiemethode 1004635 3 onder gebruikmaking van een vibratietype molen met hoog maalrendement. Volgens dit Japanse patent kan een ITO poeder, in staat om een ITO sinterlichaam van hoge dichtheid voort te brengen, niet verkregen worden wanneer bijvoorbeeld 5 een kogelmolen gebruikt wordt. Deze methode heeft het probleem dat elk maalmedium in staat is om contaminatie te veroorzaken met verontreinigingen, aangezien het ITO poeder gemalen wordt onder gebruikmaking van het vibratietype molen.

10 Voorbeelden van de sintermethode voor het verkrijgen van een ITO sinterlichaam van hoge dichtheid omvatten heet persen (hierna aangeduid als "HP"), heet isostatisch persen (hierna aangeduid als "HIP") en dergelijke. Volgens deze sinternethoden wordt het sinteren uitgevoerd onder druk.

15 Aangezien sinteren wordt uitgevoerd in een reducerende atmosfeer wordt evenwel het tinoxyde gereduceerd, wanneer de sintertemperatuur 1100°C of meer bedraagt. Daarom wordt de vaste oplossing van tinxoyde in ITO onvoldoende en heterogeen, zodat uitsluitend een ITO sinterlichaam met hoge 20 weerstand ooit verkregen is. Deze methoden hebben het probleem, dat de produktiekosten hoog worden, aangezien dure apparatuur nodig is.

Japans patent Kokai (ter inzage gelegd) No. 3-207858 onthult een werkwijze voor het sinteren in een zuurstof-25 atmosfeer onder druk als sintermethode voor het voortbrengen van het ITO sinterlichaam van hoge dichtheid. Deze methode heeft echter het probleem, dat de produktiekosten hoog worden, aangezien een speciale sinteroven, bestand tegen hoge druk, als kostbare apparatuur nodig is om te sinteren 30 in de zuurstofatmosfeer onder druk. Er is verder een probleem in verband met de veiligheid vanwege sinteren in een zuurstofatmosfeer onder hoge druk.

Na uitvoerige studies voor het zoeken naar een methode voor het voortbrengen van een ITO poeder, waarbij dergelijke 35 problemen zich niet voordoen, hebben de uitvinders van de onderhavige uitvinding gevonden, dat ITO poeder met een gering agglomeratievermogen van primaire deeltjes, in staat om een ITO sinterlichaam van hoge dichtheid voort te brengen, kan worden voortgebracht door het calcineren van 1004635 4 een indium en tin bevattend precipitaat, dat verkregen is door het laten reageren, terwijl de pH gehouden wordt op 4-6. De uitvinders hebben tevens gevonden, dat een ITO sinterlichaam van hoge dichtheid kan worden verkregen door 5 het sinteren van het ITO poeder onder een speciale temperatuurconditie, en hebben aldus de onderhavige uitvinding tot stand gebracht.

SAMENVATTING VAN DE UITVINDING

10 De onderhavige uitvinding voorziet in een werkwijze voor het voortbrengen van een indiumoxyde-tinoxydepoeder, gekenmerkt door het ter reactie toevoegen van een waterige oplossing van een indiumzout, een waterige oplossing van een tinzout en waterige alkalische oplossing in water bij 40°C 15 of hoger en lager dan 100°C, zodanig dat de pH tijdens de reactie wordt gehouden binnen het traject van 4 tot 6, het vormen van een precipitaat, het wassen van het gevormde precipitaat na vaste-stof-vloeistofscheiding, en het calcineren van het precipitaat bij 600°C of hoger en 1300°C 20 of minder.

GEDETAILLEERDE BESCHRIJVING VAN DE UITVINDING

De uitvinding zal in het onderstaande in meer detail worden beschreven.

Voorbeelden van de waterige oplossing van het 25 indiumzout, gebruikt bij de werkwijze voor het voortbrengen van het indiumoxyde-tinoxydepoeder van de onderhavige uitvinding, omvatten die, bereid door het oplossen van in water oplosbare indiumzouten zoals indiumchloride (ΙηΟΙβ), indiumnitraat (In(NO)3), indiumsulfaat (1^(8()4)3) en 30 dergelijke in water, of die, bereid door het oplossen van metallisch indium in een waterige zoutzuuroplossing, en waterige salpeterzuuroplossing en dergelijke, maar zijn niet beperkt daartoe.

Voorbeelden van de waterige oplossing van het tinzout, 35 gebruikt bij de werkwijze voor het voortbrengen van het indiumoxyde-tinoxydepoeder van de onderhavige uitvinding omvatten die, bereid door het oplossen van in water oplosbare tinzouten zoals tinchloride (SnCl4, SnCl2), 1 0 0 4 6 3 5 5 tinsulfaat (SnSO^ en dergelijke in water, of die, bereid door het oplossen van metallisch tin in een waterige zoutzuuroplossing, maar zijn niet beperkt daartoe.

Voorbeelden van de gemengde waterige oplossing van het 5 indiumzout en tinzout, gebruikt bij de werkwijze voor het voortbrengen van het indiumoxyde-tinoxydepoeder van de onderhavige uitvinding omvatten die, bereid door het oplossen van in water oplosbare indiumzouten (bijv. indiumchloride, indiumnitraat, enz.) en in water oplosbare 10 tinzouten (bijv. tinchloride, enz.) in water, die, bereid door mengen van die, bereid door het oplossen van metallisch indium in een waterige zoutzuuroplossing, een waterige salpeterzuuroplossing en dergelijke, met die, bereid door het oplossen van metallisch tin in een waterige zoutzuur-15 oplossing, die, bereid door het oplossen van een indium- tinlegering in een waterige zoutzuuroplossing en dergelijke, maar zijn niet beperkt daartoe.

De concentratie van indium in de waterige oplossing van het indiumzout en de waterige gemengde oplossing van het 20 indiumzout en tinzout is niet specifiek begrensd, maar ligt bij voorkeur binnen het traject van ongeveer 20 tot 400 g/1. Wanneer de concentratie van het indium minder is dan 20 g/1, kan de produktiviteit van het ITO poeder verminderd zijn.

De concentratie van tin in de waterige oplossing van het 25 tinzout en de waterige gemengde oplossing van het indiumzout en tinzout kan worden bepaald door een betrekking tussen de concentratie van indium en die van tin, welke correspondeert met het gewicht van het tinoxyde, verkregen in het ITO poeder, dat uiteindelijk verkregen wordt. De concentratie 30 van de waterige oplossing van het indiumzout en tinzout kan zodanig worden geregeld, dat het gehalte van het tinoxyde in het uiteindelijk verkregen ITO poeder 2 gew. % of meer en 20 gew. % of minder wordt, waarbij het elektrisch geleidingsvermogen van ITO in aanmerking genomen wordt.

35 De waterige oplossing van het indiumzout, de waterige oplossing van het tinzout en de waterige alkalische oplossing worden toegevoegd in water bij 40°C of hoger en lager dan 100°C op een zodanige wijze dat de pH tijdens de reactie wordt gehouden binnen het traject van 4 tot 6, 1004635 6 en vervolgens laat men de oplossingen reageren voor het vormen van een precipitaat, dat indium en tin bevat.

Alternatief worden de waterige gemengde oplossing van het indiumzout en het tinzout, en de waterige alkalische 5 oplossing toegevoegd in water bij 40°C of hoger en lager dan 100°C op een zodanige wijze, dat de pH gedurende de reactie gehouden wordt binnen het traject van 4 tot 6, en vervolgens laat men de oplossingen reageren voor het vormen van een precipitaat, dat indium en tin bevat.

10 Van de bovengenoemde twee methoden heeft de methode van het gebruiken van de waterige gemengde oplossing van het indiumzout en tinzout de voorkeur, omdat de pH tijdens de reactie gemakkelijk kan worden geregeld binnen het traject van 4 tot 6. Hoewel de methode van het gebruiken van de 15 waterige gemengde oplossing van het indiumzout en tinzout hierna exclusief wordt toegelicht, kan de methode van het afzonderlijk gebruiken van de waterige oplossing van het indiumzout en de waterige oplossing van het tinzout eveneens worden gebruikt door het regelen van de toevoersnelheid van 20 elke waterige oplossing volgens de methode van het gebruiken van de waterige gemengde oplossing van het indiumzout en tinzout.

Voorbeelden van de waterige alkalische oplossing omvatten een waterige ammoniakoplossing, een waterige 25 natriumhydroxydeoplossing en dergelijke. Het bezit de voorkeur om waterige ammoniakoplossing te gebruiken, aangezien daarbij geen metaalion omvat is in het precipitaat, dat indium en tin bevat.

Volgens de reactiemethode wordt bijvoorbeeld een 30 voorvastgestelde hoeveelheid water (bijv. gedestilleerd water, gedeïoniseerd water, enz.) bij een voorbepaalde temperatuur en voorbepaalde pH eerst aangebracht in een reactievat en geroerd. Vervolgens worden de waterige gemengde oplossing van het indiumzout en tinzout en de 35 waterige alkalische oplossing toegevoegd aan het water onder roeren. Aangezien de pH van het reactiesysteem wordt verlaagd door het toevoegen van de waterige, gemengde oplossing van het indiumzout en tinzout, wordt een vereiste hoeveelheid van de waterige alkalische oplossing toegevoegd 1004635 7 zodanig, dat de pH tijdens de reactie wordt gehouden binnen het traject van 4 tot 6.

De voorbepaalde pH kan worden gehandhaafd door een methode van het koppelen van een pH-regelaar met een pomp 5 voor het toevoegen van de waterige alkalische oplossing en het bedienen van de pomp, wanneer de pH-waarde kleiner wordt dan de voorbepaalde pH-waarde.

Een voorkeursmethode voor het houden van de pH binnen het traject van 4 tot 6 tijdens de reactie is verder, dat de 10 pH van de waterige gemengde oplossing van het indiumzout en tinzout, gebruikt voor de reactie, wordt ingesteld tot de graad, waarbij het precipitaat van indium en tin niet gevormd wordt, bijvoorbeeld ongeveer 0-2 door tevoren de waterige alkalische oplossing zoals een waterige ammoniak-15 oplossing toe te voegen aan de waterige gemengde oplossing, aangezien de waterige gemengde oplossing een sterke aciditeit vertoont.

De temperatuur van water in het reactievat bedraagt 40°C of meer en minder dan 100°C. Wanneer de temperatuur van 20 water minder is dan 40eC, wordt er veel tijd verbruikt voor het opvangen van het precipitaat door filtratie (de filtreerbaarheid van het verkregen precipitaat is verslechterd) en wordt bovendien het gedroogde materiaal van het precipitaat een harde geagglomereerde massa, en deze 25 geagglomereerde massa kan niet gemakkelijk worden gedeagglomereerd. (Hetgeen resulteert in verslechtering van deagglomeratievermogen.)

De waterige gemengde oplossing van het indiumzout en tinzout kan worden toegevoegd in een industrieel voordelige 30 snelheid. De toevoegingssnelheid varieert in afhankelijkheid van de schaal van vorming van het precipitaat, dat het indiumzout en tinzout bevat. De tijd, nodig voor het toevoegen van de totale hoeveelheid van de waterige gemengde oplossing van het indiumzout en tinzout is bij voorkeur 35 10 min. of meer en 300 min. of minder, met meer voorkeur 20 min. of meer en 200 min. of minder. Wanneer de toevoegingstijd van de waterige gemengde oplossing van het indiumzout en tinzout groter is dan 300 min., kan de graad van agglomeratie tussen primaire deeltjes in het 1004635 8 uiteindelijk verkregen ITO poeder sterker worden. In dit geval is het ook mogelijk om de calcinatie uit te voeren na het reduceren van de hoeveelheid van de geagglomereerde deeltjes door het droge materiaal van het precipitaat, 5 verkregen door vaste-stof-vloeistofscheiding en drogen, zoals hierna beschreven wordt, te deagglomereren.

De waterige alkalische oplossing kan gelijktijdig worden toegevoegd zodanig, dat de pH tijdens de reactie kan worden gehouden binnen het traject van 4 tot 6, en de toevoegings-10 snelheid is niet speciaal beperkt.

Het is nodig, dat de pH tijdens de reactie wordt gehouden binnen het traject van 4 tot 6, bij voorkeur 4,5 tot 5,5. Een precipitaat, dat indium en tin bevat, dat een uniforme deeltjesgrootte en een goed filtreervermogen en 15 deagglomeratievermogen bezit na drogen, kan verkregen worden door de reactie uit te voeren onder het handhaven van de pH binnen dit traject.

Wanneer de reactie wordt uitgevoerd onder het handhaven van de pH gedurende de reactie binnen het traject van hoger 20 dan 6, kan een fijn precipitaat, dat indium en tin bevat, verkregen worden. Daarom is niet alleen een lange tijd vereist voor het filtreren, maar wordt tevens een harde geagglomereerde massa gevormd na het drogen, en deze geagglomereerde massa kan niet gemakkelijk worden 25 gedeagglomereerd. Wanneer de reactie wordt uitgevoerd onder handhaving van de pH binnen het traject van minder dan 4, wordt er geen precipitaat gevormd, en de hoeveelheid indium, opgelost in een oplossing wordt hoog en de uiteindelijke opbrengst wordt verlaagd.

30 Het traject van de verandering in pH tijdens de reactie wordt geregeld binnen het traject van bij voorkeur ± 1,0, met meer voorkeur ±0,5, in het bovengenoemde pH traject.

In de beginfase van de reactie ligt de pH soms buiten het traject van 4 tot 6. in het bijzonder kan een snelle 35 verlaging in pH zich voordoen direkt na het beginnen van het toevoegen van de waterige gemengde oplossing van het indiumzout en tinzout, en een snelle toename in pH na het beginnen van toevoegen van de waterige alkalische oplossing. Indien dit verschijnsel zich alleen voordoet aan de 1 0 04 635 9 beginfase van de reactie, worden de filtreerbaarheid van het verkregen precipitaat, dat indium en tin bevat, en het deagglomeratievermogen van het gedroogde materiaal van het precipitaat niet beïnvloed door het verschijnsel.

5 Dienovereenkomstig kan de snelle verandering in pH bij de beginfase van deze reactie worden toegelaten. De reactie wordt zodanig uitgevoerd, dat de tijd, waarbij de snelle verandering in pH in de beginfase van een reactie zich voordoet, gelegen is binnen 10 %, bij voorkeur 5 %, van de 10 totale reactietijd (de tijd nodig voor het toevoegen van de totale hoeveelheid van de gemengde waterige oplossing van het indiumzout en tinzout). Hoewel de pH soms buiten het bovengenoemde traject ligt, lokaal of instantaan in het reactiesysteem, kan een kleine verandering in pH worden 15 toegelaten, voor zover het doel van de onderhavige uitvinding kan worden bereikt zonder te treden buiten het kader van de uitvinding.

Na de voltooiing van toevoegen van de waterige gemengde oplossing van het indiumzout en tinzout wordt het gevormde 20 precipitaat, dat indium en tin bevat, bij voorkeur verouderd. Als verouderingsmethode kan een methode van roeren of staan laten van de suspensie, die het gevormde precipitaat bevat, worden gebruikt. De verouderings-temperatuur is dezelfde als de reactietemperatuur en is bij 25 voorkeur 40eC of meer en lager dan 100°C. Door dit verouderen uit te voeren wordt de deeltjesgrootte uniform en worden de filtereigenschappen van het precipitaat en de deagglomeratie-eigenschappen van het gedroogde materiaal van het precipitaat verder verbeterd.

30 Het precipitaat, dat indium en tin bevat, bezinkt aan de bodem van het reactievat door veroudering onder staan. Het volume van het verkregen bezinksel is ongeveer van 0,5 tot 6 cc per 1 gram van het theoretisch verkregen ITO, en het bezinksel is dan vol van vaste bestanddelen in hoge 35 dichtheid.

Vervolgens wordt vaste*stof-vloeistofscheiding door filtratie en dergelijke uitgevoerd en het precipitaat, dat indium en tin bevat na veroudering, wordt opgevangen. De filtermethode is niet speciaal beperkt, en voorbeelden ervan 1004635 10 omvatten methoden zoals zuigfiltratie, filterpersen en dergelijke.

Aangezien zouten zoals ammoniumzouten (bijv. ammonium-chloride, ammoniumnitraat, enz.) en alkalimetaalzouten 5 (bijv. natriumchloride, natriumnitraat, enz.), welke worden voortgebracht door het reageren van indiumzout en tinzout met de waterige alkalische oplossing als een bijprodukt, zijn aangehecht aan het precipitaat, dat indium en tin bevat na de vaste-stof-vloeistofscheiding door filtratie, 10 is het nodig om het precipitaat te wassen.

In het bijzonder wordt, zelfs wanneer het ITO poeder, verkregen door calcineren van het precipitaat, dat indium en tin bevat, waaraan een grote hoeveelheid ammoniumchloride gehecht is, onderworpen wordt aan een dechlorerings-15 behandeling door wassen zoals hierna beschreven, een ITO poeder verkregen, dat een grote hoeveelheid chloorbestand-delen bevat, en wordt geen ITO sinterlichaam van hoge dichtheid met een relatieve dichtheid hoger dan 90 % verkregen.

20 Als wasvloeistof kan water (bijv. gedestilleerd water, gedeioniseerd water, enz.) worden genomen of waterige ammoniakoplossing, dat de zouten als bijprodukt oplost. Het heeft de voorkeur om ammoniakoplossing te gebruiken als wasvloeistof, aangezien dit het effekt heeft van het 25 verkorten van de wastijd. In dit geval bedraagt de pH van de waterige ammoniakoplossing bij voorkeur van 8 tot 12, met meer voorkeur van 9 tot 11. Wanneer het wassen wordt uitgevoerd met gebruikmaking van waterige ammoniakoplossing met een pH van groter dan 12, lost het precipitaat, dat 30 indium en tin bevat waarschijnlijk weer op, en daardoor bestaat de kans van verlaging in opbrengst van het uiteindelijke ITO poeder en afwijking van de samenstelling van tinoxyde in het ITO poeder ten opzichte van de ladings -samenstelling.

35 Vervolgens wordt het precipitaat, dat indium en tin bevat na vaste-stof-vloeistofscheiding en verder wassen gecalcineerd. Het precipitaat, dat indium en tin bevat na vaste-stof-vloeistofscheiding en verder wassen, wordt bij voorkeur gedroogd als inleidende stap van het calcineren.

1004635 11

De droog-methode is niet specifiek beperkt, en voorbeelden ervan omvatten een methode van verhitten bij de temperatuur, waarbij water, aangehecht aan het indium en tin bevattende precipitaat, kan worden verwijderd, bijvoorbeeld ongeveer 5 90°C of meer en 200°C of minder.

Het gedroogde materiaal, dat verkregen is, wordt bij voorkeur gedeagglomereerd. Naarmate het bezinkingsvolume van het precipitaat, verkregen door het toevoegen van de waterige gemengde oplossing van het indiumzout en tinzout, 10 gevolgd door het laten reageren, kleiner wordt, wordt de graad van agglomeratie tussen primaire deeltjes in het uiteindelijk verkregen ITO poeder zwak door deagglomeratie. Het gedroogde materiaal kan gemakkelijk worden gedeagglomereerd, omdat de agglomeratiegraad zwak is, zelfs, 15 wanneer de gedroogde materialen geagglomereerd zijn. De deagglomeratiemethode is niet specifiek begrensd, en voorbeelden ervan omvatten methoden zoals kogelmalen, atomiseringsdeagglomeratie en dergelijke.

Daarna wordt het gedroogde materiaal van het 20 precipitaat, dat indium en tin bevat, verkregen door de bovenbeschreven methode, gecalcineerd voor het opleveren van een ITO poeder.

Het is noodzakelijk, dat de calcineringstemperatuur 600°C of hoger bedraagt en 1300°C of lager, bij voorkeur 25 800°C of hoger en 1200°C of lager. Wanneer de calcinerings-temperatuur lager is dan 600°C, is de ontleding van het achtergebleven zout, aangehecht aan het indium en tin bevattende precipitaat, onvoldoende, en de primaire deeltjesgrootte van het verkregen ITO is klein, en daardoor 30 neemt de graad van agglomeratie tussen de primaire deeltjes in het ITO poeder drastisch toe en kan een uniform gevormd lichaam van hoge dichtheid niet verkregen worden. Als resultaat veroorzaakt het gesinterde lichaam na het sinteren een probleem zoals scheuren, breuken, kromtrekken en 35 dergelijke.

Wanneer de calcineringstemperatuur hoger is dan 1300°C, groeien de primaire deeltjes van ITO en een deel ervan agglomereert, en daardoor wordt de aandrijfkracht tot sinteren klein en kan een ITO poeder met goede sinter- 1 0 0 4 635 12 eigenschappen niet worden verkregen.

Als atmosfeer voor de calcinering heeft het de voorkeur om lucht, zuurstof, stikstof of waterstofhalogenidegas (bijv. chloorwaterstof, chloorbroom, chloorjood, enz.) of 5 halogeengas (bijv. chloor, broom, jood, enz.) te gebruiken. De calcinering in de atmosfeer, die het waterstofhalogenidegas of halogeengas bevat, heeft de voorkeur, en de calcinering in een atmosfeer, die chloorwaterstofgas bevat heeft in het bijzonder de voorkeur. Wanneer de calcinering 10 wordt uitgevoerd in een atmosfeer, die chloorwaterstofgas bevat, wordt de graad van agglomeratie tussen primaire deeltjes in het ITO poeder het zwakst.

Wanneer het gedroogde materiaal van het precipitaat wordt gecalcineerd in een atmosfeer, die chloorwaterstofgas 15 of halogeengas bevat, in het bijzonder een atmosfeer, die chloorwaterstofgas bevat, wordt het gedroogde materiaal gecalcineerd in de atmosfeer, die chloorwaterstofgas of halogenidegas bevat in een hoeveelheid van bij voorkeur 1 vol. % of meer, met meer voorkeur 5 vol. % of meer, met de 20 meeste voorkeur 10 vol. % of meer, op basis van het totale volume van de atmosfeer. De bovengrens van de concentratie van het chloorwaterstofgas of halogenidegas is niet speciaal beperkt, en is bij voorkeur 70 vol. % of minder, met meer voorkeur 50 vol. % of minder, met de hoogste voorkeur 40 25 vol. % of minder, met het oog op de industriële produktiviteit. Als gas, gebruikt voor het verdunnen van het chloorwaterstofgas of halogenidegas kan bijvoorbeeld een inert gas (bijv. argon, enz.), stikstof, zuurstof, lucht of een gemengd gas daarvan worden gebruikt.

30 Het atmosfeergas, dat het chloorwaterstofgas of halogeengas bevat, bij voorkeur een atmosfeer, die chloorwaterstofgas bevat, wordt bij voorkeur ingebracht bij 600°C of meer. Wanneer het atmosfeergas, dat chloorwaterstofgas bevat, wordt ingebracht bij een 35 temperatuur lager dan 600°C, wordt het verlies door vervluchtiging van ITO groot, en een probleem zoals verlaging in opbrengst kan zich voordoen. Na het calcineren bij de voorbepaalde temperatuur voor de voorbepaalde tijd wordt de toevoeging van het atmosfeergas, dat chloorwater- 1004635 13 stofgas bevat, gestopt, en het atmosfeergas, dat inert gas bevat (bijv. argon, enz.), stikstof, zuurstof, lucht of een gemengd gas daarvan, wordt toegevoerd, gevolgd door koelen.

De druk van de atmosfeer, waarin de calcinering wordt 5 uitgevoerd, is niet specifiek beperkt, en kan naar keuze worden gekozen binnen het traject, dat industrieel gebruikt wordt.

De calcineringstijd is niet specifiek beperkt aangezien deze afhangt van de concentratie van het atmosfeergas en de 10 calcineringstemperatuur, en bedraagt bij voorkeur 1 min. of meer, met meer voorkeur 10 min. of meer.

De toevoerbron en de toevoermethode van het atmosfeergas zijn niet specifiek beperkt. Het heeft de voorkeur, dat het bovengenoemde atmosfeergas kan worden ingebracht in het 15 reactiesysteem, waarin het grondstofmateriaal, dat indium en tin bevat, aanwezig is.

Het type van het calcineringsapparaat is niet specifiek beperkt, en er kan een zogenaamde calcineringsoven worden gebruikt. In het bijzonder wanneer chloorwaterstofgas of 20 halogeengas gebruikt wordt, is de calcineringsoven bij voorkeur gemaakt van een materiaal, dat niet wordt gecorrodeerd door het chloorwaterstofgas of halogeengas. Verder is het gewenst, dat de calcineringsoven een mechanisme heeft voor het regelen van de atmosfeer. De 25 calcineringsoven is bij voorkeur een luchtdichte, wanneer een corrosief gas zoals chloorwaterstofgas of halogeengas gebruikt wordt.

Het heeft de voorkeur om op continue wijze te calcineren vanuit een industrieel gezichtspunt, bijvoorbeeld kan een 30 tunneloven worden gebruikt. Wanneer het calcineren plaatsvindt in een corrosief atmosfeer, zijn het apparaat, kroes en schuitje, gebruikt in de calcineringsstap, bij voorkeur gemaakt van aluminiumoxyde, kwarts, zuurbestendige steen of grafiet.

35 Het ITO poeder, aldus voortgebracht door de bovenbeschreven methode, bestaat uit fijne primaire deeltjes, waarin een deeltjesgrootte, berekend uit het BET soortelijke oppervlak, bij voorkeur 0,05 pm of meer en 1 pm of minder bedraagt, met meer voorkeur 0,1 pm of meer en 0,5 1004635 14

μια of minder. Een 50 %'s diameter in een cumulatieve deeltjesgrootteverdeling (gemiddelde geagglomereerde deeltjesgrootte) wordt 1 pm of meer volgens de reactie-conditie voor het verkrijgen van het indium en tin 5 bevattende precipitaat, en daardoor kan een ITO

sinterlichaam van hoge dichtheid met een relatieve dichtheid van 90 %, bij voorkeur hoger dan 95 %, soms niet worden bereikt. In dit geval wordt het ITO poeder na de calcinering bij voorkeur gedeagglomereerd.

10 De deagglomereringsmethode van het ITO poeder is niet specifiek beperkt, en voorbeelden ervan omvatten deagglomeratiemethoden door vibratiemolen, kogelmolen, straalmolen en dergelijke, welke normalitair gebruikt worden voor de industrie. Als de deagglomeratiemethode van het ITO 15 poeder van de onderhavige uitvinding kan een lichte deagglomeratie (bijv. deagglomeratie door kogelmolen, straalmolen, en dergelijke) gebruikt worden, aangezien de graad van agglomeratie tussen primaire deeltjes in het ITO poeder zwak is. In het geval van deagglomeratie met de 20 kogelmolen kan droge of natte deagglomeratie of een combinatie daarvan worden gebruikt.

Als vat of kogel voor deagglomeratie, gebruikt voor het deagglomereren van het ITO poeder, kan een vat, vervaardigd van aluminiumoxyde of een hars worden gebruikt als 25 deagglomeratiehouder en een kogel, gemaakt van aluminiumoxyde, zirkoonoxyde of een hars worden gebruikt als deagglomeratiekogel. In het geval van de kogelmolen-deagglomeratie heeft het de voorkeur om een vat te gebruiken, gemaakt van een hars, als deagglomeratievat en 30 een zirkoonoxykogel met een hoge slijtbestendigheid te gebruiken als deagglomeratiekogel, waardoor verontreiniging vanuit het vat en de deagglomeratiekogels in het geval van de kogelmolendeagglomeratie gering is.

Wanneer het chloorwatergas of halogeengas in het 35 bijzonder gebruikt wordt als atmosfeergas bij het calcineren, blijft een grote hoeveelheid van het halogeengehalte soms achter in het ITO poeder na het calcineren. Wanneer de overblijvende hoeveelheid chloor bijzonder groot is, kan soms een sinterlichaam van hoge 1004635 15 dichtheid met een relatieve dichtheid van meer dan 90 %, bij voorkeur groter dan 95 %, niet worden verkregen. In dat geval kan de resthoeveelheid chloor worden gereduceerd tot bij voorkeur 0,2 gew. % of minder, met meer voorkeur 0,1 5 gew. % of minder, door het ITO poeder na het calcineren te wassen of te calcineren en verder te deagglomereren met water of een waterige alkalische oplossing, of het ITO poeder bloot te stellen aan warmtebehandeling in een atmosfeer, welke 0,1 vol. % of meer bevat van ten minste 10 één gas, gekozen uit de groep bestaande uit waterdamp en zuurstof bij 600°C of meer en 1300°C of minder, of de bovengenoemde behandelingen in combinatie te gebruiken.

Het ITO poeder, voortgebracht door de bovengegeven methode, is een gemakkelijk sinterbaar ITO poeder, waarin 15 een deeltjesgrootte, berekend uit het BET soortelijke oppervlakgebied 0,5 pm of meer en 1 p of minder bedraagt, bij voorkeur 0,1 pm of meer en 0,5 pm of minder, de 50 %'s diameter in een cumulatieve deeltjesgrootteverdeling 1 pm of minder is, en het gehalte aan halogeen 0,2 gew. % of minder 20 bedraagt, bij voorkeur 0,1 gew. % of minder, hetgeen het mogelijk maakt om een hoge dichtheidssinterlichaam te verkrijgen met een relatieve dichtheid van 90 % of meer, bij voorkeur 95 % of meer.

Vervolgens wordt het ITO poeder, verkregen door de 25 bovenbeschreven methode, gevormd voor het verkrijgen van een speciale vorm zoals een plaat, schijf, en dergelijke, en dan gesinterd. De vormmethode is niet specifiek beperkt, en voorbeelden ervan omvatten uniaxiaal persvormen, koud isostatisch persen (hierna aangeduid als "CIP"), 30 suspensiegietvormen, filterpersvormen, extrusievormen, spuitgietvormen en dergelijke. De bovengegeven vormmethoden kunnen worden gebruikt alleen of in combinatie daarvan.

Het is nodig dat de sintertemperatuur 1450°C of meer en 1650°C of minder bedraagt. Wanneer de sintertemperatuur 35 lager is dan 1450°C wordt een sinterlichaam met een relatieve dichtheid van 90 % of meer, bij voorkeur 95 % of meer, niet verkregen, en de vaste-stofoplossing van het tinoxyde in het indiumoxyde is onvoldoende. Wanneer daarentegen de sintertemperatuur hoger is dan 1650°C, 1004635 16 treedt korrelgroei op in het ITO sinterlichaam, en de sterkte van het verkregen ITO verstuivingstarget wordt verlaagd.

Het sinteren wordt bij voorkeur uitgevoerd in een 5 atmosfeer, die zuurstofgas van normale druk (bijv. lucht, enz.) bevat, met meer voorkeur een zuivere zuurstof -atmosfeer. Een zuivere zuurstofatmosfeer betekent een atmosfeer, die zuurstofgas bevat en een te verwaarlozen onzuiverheidsgas. Wanneer het sinteren uitgevoerd wordt in 10 een atmosfeer, die geen zuurstofgas bevat (bijv.

stikstofgas, argongas, enz.), wordt het indiumoxyde of tinoxyde in het ITO soms gedissocieerd tot indium, tin en zuurstofgas.

Volgens de werkwijze voor het voortbrengen van het ITO 15 sinterlichaam van de onderhavige uitvinding kan een hoge dichtheids -ITO sinterlichaam met een relatieve dichtheid van 90 % of meer, bij voorkeur 95 % of meer, verkregen worden. Wanneer dit sinterlichaam gebruikt wordt voor verstuiven, valt vermindering in de vorming van knobbels, verbetering in 20 verstuivingsrendement, afname in de vorming van deeltjes kleiner geworden bij abnormale ontlading, realisering van een hoge kwaliteits-dunne ITO film en dergelijke, te verwachten.

Volgens de uitvinding wordt het mogelijk om een ITO 25 poeder voort te brengen, dat superieur is in sintereigen-schappen, in staat om een hoge dichtheids-sinterlichaam voort te brengen, verdicht tot 90 % of meer, bij meer voorkeur 95 % of meer, van de theoretische dichtheid. Het ITO poeder van de onderhavige uitvinding is geschikt voor de 30 toepassing van transparant geleidend vulmiddel.

Wanneer het ITO poeder van de uitvinding gebruikt wordt als grondstof voor de produktie van een ITO sinterlichaam, wordt een sinterlichaam van ITO poeder van hoge dichtheid verkregen. Wanneer het ITO sinterlichaam gebruikt wordt als 35 kathodeverstuivingstarget, kan het verstuivingsrendement worden verbeterd.

VOORBEELDEN

De uitvinding zal nu nader worden toegelicht aan de hand 1004635 17 van de volgende voorbeelden, die niet dienen te worden opgevat als een beperking op de beschermingsomvang van de ui tvinding.

In de voorbeelden werd de meting van diverse 5 eigenschappen op de volgende wijze uitgevoerd.

1. Meting van een 50 %'s diameter in een cumulatieve deeltjesgrootteverdeling en een BET soortelijk oppervlak van ITO poeder na calcinatie.

(1) Een 50 %'s diameter in een cumulatieve 10 deeltjsgrootteverdeling werd gemeten onder gebruikmaking van een centrifugale sedimentatie-type deeltjesgrootte-verdelingsanalysator (SACP-2, vervaardigd door Shimadzu Corporation, gebaseerd op het principe van de lichttransmissiemethode).

15 (2) Een BET soortelijk oppervlak werd gemeten met behulp van een FLOWSORB-II, 2300 (vervaardigd door Micromelitics).

Uit het BET soortelijk oppervlak werd een deeltjesgrootte (D BET) bepaald via de volgende vergelijking: D BET (pm) = 6/ (S*p) 20 [waarin S een BET soortelijk oppervlak (m3/g) is en p een theoretische ITO dichtheid (g/cm3)], en werd genomen als een maat van een primaire deeltjesgrootte.

In het geval van ITO, dat 10 gew. % tinoxyde bevatte, werd de waarde van de theoretische ITO dichtheid bepaald 25 door de theoretische dichtheid van indiumoxyde (7,18 g/cm3) te gebruiken en die van tinoxyde (6,95 g/cm3) volgens de volgende berekeningsvergelijking, hetgeen 7,16 g/cm^ opleverde.

7,18 g/cm3 (dichtheid van indiumoxyde) x 0,9 (gehalte) + 30 6,95 g/cm3 (dichtheid van tinoxyde) x 0,1 (gehalte) =7,16 g/cm3 (dichtheid van ITO).

2. Meting van gehalte aan tinoxyde in ITO poeder na calcinering.

Het gehalte van tin werd gemeten door emissie-35 spectroscopieanalyse, en het gehalte van tin werd omgezet in het gehalte van tinoxyde.

3. Meting van het gehalte van chloor in ITO poeder.

Het gehalte van chloor werd bepaald volgens de z i1verni traa11i tra ti eme thoden.

1004635 18 4. Meting van dichtheid van sinterlichaam.

De dichtheid van het sinterlichaam werd gemeten volgens de Archimedes-methode in overeenstemming met de meetmethode van JIS R 2205-1992.

5 Als theoretische dichtheidswaarde van ITO sinterlichaam, dat gebruikt werd voor het berekenen van de relatieve dichtheid van het sinterlichaam, werd 7,16 g/cm3 genomen in het geval van ITO, dat 10 gew. % tinoxyde bevatte.

Een waterige gemengde oplossing van een indiumzout en 10 een tinzout werd bereid door de volgende drie soorten methoden zodanig, dat het gehalte van tinoxyde in het uiteindelijk verkregen ITO poeder 10 gew. % bedroeg.

1. Waterige gemengde oplossing A van indiumzout en tinzout.

15 Een waterige oplossing (200 ml) werd opgevangen van een waterige indiumzoutoplossing, die verkregen was door metallisch indium (zuiverheid: 99,99 %, 57,40 g) op te lossen in een waterige 6N-chloorwaterstofzuuroplossing, gevolgd door verdunnen met gedeïoniseerd water tot op 1 20 liter, en een waterige oplossing (21 ml) werd opgevangen van een waterige tinzoutoplossing, die verkregen was door metallisch tin (zuiverheid: 99,99 %, 6,21 g) op te lossen in een waterige geconcentreerde chloorwaterstofzuuroplossing tot op 100 ml. Vervolgens werden deze oplossingen gemengd 25 voor het bereiden van een waterige gemengde oplossing (221 ml) van het indiumzout en tinzout.

De concentratie van indium en tin in de waterige gemengde oplossing van indiumzout en tinzout was als volgt. Namelijk, de concentratie van In is 51,95 g/1 en die van Sn 30 5,91 g/1.

2. Waterige gemengde oplossing B van indiumzout en tinzout.

Een waterige oplossing (106 ml) werd opgevangen van een waterige indiumzoutoplossing, die verkregen was door 35 metallisch indium (57,40 g) op te lossen in een waterige geconcentreerde chloorwaterstofzuuroplossing tot op 120 ml, en een waterige oplossing (90 ml) werd opgevangen van een waterige tinzoutoplossing, die verkregen was door metallisch tin (5,81 g) op te lossen in een waterige geconcentreerde 1004635 19 chloorwaterstofzuuroplossing tot op 93 ml. Vervolgens werden deze oplossingen gemengd voor het bereiden van een waterige gemengde oplossing (196 ml) van het indiumzout en tinzout.

De concentratie van indium en tin in de waterige 5 gemengde oplossing van het indiumzout en tinzout is als volgt. De concentratie van In bedroeg 258,69 g/1 en die van Sn 28,68 g/1.

3. Waterige gemengde oplossing C van indiumzout en tinzout.

10 Een waterige indiumzoutoplossing werd verkregen door metallisch indium (252,60 g) op te lossen in een waterige geconcentreerde chloorwaterstofzuuroplossing tot op 680 ml, en een waterige oplossing (117 ml) werd opgevangen van een waterige tinzoutoplossing, die verkregen werd door 15 metallisch tin (53,95 g) op te lossen in een waterige geconcentreerde chloorwaterstofzuuroplossing tot op 230 ml. Vervolgens werden deze oplossingen gemengd en waterige geconcentreerde ammoniakoplossing (63 ml) werd toegevoegd voor het bereiden van een waterige gemengde oplossing (860 20 ml) van het indiumzout en tinzout.

De concentratie van indium en tin in de waterige gemengde oplossing van indiumzout en tinzout was als volgt. De concentratie van In was 293,72 g/1 en die van Sn 31,91 g/1.

25 Het precipitaat, dat indium en tin bevatte, werd gecalcineerd door de volgende twee soorten methoden.

1. Calcineringsmethode A.

Een precipitaat, dat indium en tin bevatte werd als grondstofmateriaal gedroogd bij 110°C en vervolgens geladen 30 in een aluminiumoxyde- pf kwartsschuit. Een geladen hoeveelheid van het gedroogde materiaal van het precipitaat bedroeg ongeveer 2 tot 18 g en de ladingsdiepte was ongeveer 10 ml. De calcinering werd uitgevoerd in een cilindrische oven (MS elektrische oven, gefabriceerd door Motoyama Co., 35 Ltd.) met een kwartsmoffel (diameter: 58 mm, lengte: 1200 mm). De verhittingssnelheid was 10°C/min. tot aan 90°C en 5°C/min. tot aan 1100°C.

Als atmosfeergas liet men uitsluitend lucht stromen van kamertemperatuur tot 1000°C. Op een temperatuur hoger dan 1004635 20 1000°C liet men chloorwaterstofgas met een voorbepaalde concentratie stromen. De concentratie van het atmosfeergas werd geregeld door het regelen van de stroomsnelheid van het gas onder gebruikmaking van een stroommeter. Als gas, 5 gebruikt voor het verdunnen van het chloorwaterstofgas, werd lucht gebruikt en de lineaire stroomsnelheid van de atmosferische gasstroomsnelheid werd ingesteld op ongeveer 10 cm/min.

Als chloorwaterstofgas werd een bom chloorwaterstof 10 (zuiverheid: 99,99 %, vervaardigd door Tsurumi Soda Co., Ltd.) gebruikt.

Nadat de temperatuur de voorbepaalde temperatuurwaarde bereikt had, werd het materiaal op dezelfde temperatuur gehouden gedurende een voorbepaalde tijdsperiode. Het 15 gewenste ITO poeder werd verkregen in de aluminiumoxyde-schuit, waarin het gedroogde precipitaat, dat indium en tin bevatte, als grondstofmateriaal was geladen, na verloop van de voorbepaalde verblijfstijd en luchtkoeling met uitsluitend een luchtstroom.

20 2. Calcineringsmethode B.

Een precipitaat, dat indium en tin bevatte als grondstofmateriaal werd gedroogd bij 110°C en dan geladen in een kwartsschuit. Een geladen hoeveelheid van gedroogd materiaal van precipitaat bedroeg ongeveer 360 g en de 25 ladingsdiepte was ongeveer 10 mm. De calcinering werd uitgevoerd in een hoge-temperatuur elektrische trommeloven (vervaardigd door Morisawa Riko Co., Ltd.), waarin een kwartsmoffel (diameter: 160 mm, lengte: 1600 mm) was ingestoken. De verhittingssnelheid bedroeg 5°C/min. tot aan 30 1100°C. Het verdere bedrijf was hetzelfde als dat van de bovengegeven calcineringsmethode A.

Het ITO poeder, verkregen door calcinering, werd gewassen met water teneinde dechlorering tot stand te brengen, gedroogd, naar keuze onderworpen aan een 35 deagglomeratiebehandeling en gevormd, en vervolgens werden de sintereigenschappen ervan geëvalueerd. De wasmethode van het ITO poeder met water bestond uit het laden van 5 tot 10 g van het ITO poeder na calcinatie in 500 ml gedeioniseerd water, of het laden van 280 g van het ITO poeder na 1004635 21 calcinatie in 3000 ml gedeïoniseerd water, roeren gedurende 30 min., filtreren van de oplossing door middel van afzuiging, en het herhalen van wassen met gedeïoniseerd water, totdat er geen chloorion gedetecteerd werd, wanneer 5 een waterige oplossing van zilvernitraat werd gedruppeld in het afvalswater.

Het ITO poeder werd gedeagglomereerd door de volgende twee soorten methoden.

1. Droge deagglomeratie.

10 Het ITO poeder (5 g) en zirkoonoxydekogels (500 g) met een diameter van 5 mm werden aangebracht in een 500 ml polyetheenpot, en vervolgens werd het ITO poeder gedeagglomereerd onder gebruikmaking van een kogelmolen bij 60 toeren per minuut gedurende 6 uur.

15 2. Natte deagglomeratie.

Het ITO poeder (250 g), zirkoonoxydekogels (3500 g) met een diameter van 5 mm en ethanol (500 ml) werden aangebracht in een 2 liter polyetheenpot, en vervolgens werd het ITO poeder gedeagglomereerd onder gebruikmaking van een 20 kogelmolen bij 100 toeren per minuut gedurende 6 uur en gedroogd onder gereduceerd druk onder gebruikmaking van een ro ta t i everdamp er.

Het resulterende poeder werd onderworpen aan uniaxiaal persvormen bij 100 kg/cm2 en vervolgens onderworpen aan CIP 25 vormen onder de druk van 3 ton/cm2. Het sinteren werd uitgevoerd onder gebruikmaking van een ultrahoge temperatuur-warmtebehandelingsoven (vervaardigd door Shinsei Denro Co., Ltd.). Eerst werd het inwendige van de oven, waarin het gevormde lichaam was aangebracht, geëvacueerd 30 onder gebruikmaking van een vacuumpomp, en vervolgens werd de druk teruggebracht op normale druk door het inleiden van zuurstofgas, waardoor het inwendige van de oven vervangen werd met een zuurstofgasatmosfeer. Vervolgens werd het gevormde lichaam gesinterd onder het stromen van een 35 zuurstofgas onder een normale druk bij 1500 tot 1600eC gedurende 10 uur voor het verkrijgen van een ITO sinterlichaam. De verhittingssnelheid was 20°C/min.

Voorbeeld 1 400 ml water, waarvan de pH was ingesteld op 4,5 door 1004635 22 waterige verdunde chloorwaterstofzuuroplossing toe te voegen aan gedeïoniseerd water, werd ingebracht in een 1 liter beker en vervolgens gehouden op 60°C. Onder roeren werden dit gedeïoniseerde water (pH = 4,5, 60°C), een waterige 5 gemengde oplossing A van indiumzout en tinzout en een waterige 12,5 % ammoniakoplossing gelijktijdig toegevoerd in de loop van 35 min. zodanig, dat de pH gedurende de reactie gehandhaafd bleef op 4,5. De pH was veranderd binnen het traject van 3,0 naar 2,5 gedurende 2 min. vanaf het begin 10 van de reactie. Na 2 min. vanaf het begin van de reactie werd de reactie uitgevoerd onder handhaving van de pH binnen het traject van 4,4 tot 4,6 voor het vormen van een precipitaat, dat indium en tin bevat.

Na voltooiing van de reactie werd de resulterende 15 oplossing geroerd bij 60°C gedurende 30 min., tot staan gelaten bij 60°C gedurende 6 uur en dan in staat gesteld om te staan bij kamertemperatuur gedurende 14 uur om het precipitaat te verouderen. Het bezinkingsvolume van het precipitaat na veroudering was 3,5 cc per 1 g van 20 theoretisch verkregen ITO.

Het precipitaat werd opgevangen door afzuigfiltratie [onder gebruikmaking van een Buchner type trechter met een binnendiameter van ongeveer 76 mm (filtertrechter, Buchner type, vervaardigd door Nikkato Co., Ltd.), kwantitatief 25 filterpapier (kwantitatief filterpapier No. 5C, vervaardigd door Advantec Toyo Co., Ltd.) en een zuigapparaat (HANDY ASPIRATOR, vervaardigd door Yamato Kagaku Co., Ltd.)] en vervolgens tien maal gewassen met 120 ml gedeïoniseerd water. De tijd nodig voor het filtreren en wassen bedroeg 1 30 uur, en de filtreerbaarheid was uitstekend en de operatie was uitzonderlijk gemakkelijk. Dit precipitaat werd gedroogd bij 110°C. Als resultaat was het gedroogde materiaal gemakkelijk te deagglomereren.

Het gedroogde materiaal werd gecalcineerd bij 1100°C 35 gedurende 30 min. onder stromen van 20 vol. % chloorwaterstofgas (verdund met lucht) vanaf 1000°C volgens de calcineringsmethode A, gewassen met water, en dan gedroogd voor het verkrijgen van een ITO poeder.

Het verkregen ITO poeder had een tinoxydegehalte van 9,9 1 0 0 4 6 35 23 gew. %, een BET soortelijk oppervlak van 8,2 m2/g, een deeltjesgrootte berekend uit het BET soortelijk oppervlak van 0,10 pm en een 50 % diameter in een cumulatieve deeltjesgrootteverdeling van 0,33 pm. Het ITO poeder werd 5 onderzocht onder gebruikmaking van een aftastelektronen-microscoop (JSM-T220 model, vervaardigd door Nippon Denshi Co., Ltd.). As resultaat bedroeg de primaire deeltjesgrootte in het ITO poeder ongeveer 0,1 pm en de graad van agglomeratie tussen primaire deeltjes was gering.

10 Voorbeeld 2 400 ml water, waarvan de pH was ingesteld op 4,5 door toevoegen van waterige chloorwaterstofzuuroplossing aan gedeïoniseerd water, werd ingebracht in een 100 liter beker en vervolgens gehouden op 60°C. Onder roeren werd dit 15 gedeioniseerde water (pH = 4,5, 60°C), een waterige gemengde oplossing B van het indiumzout en tinzout, en waterige 12,5 % ammoniakoplossing gelijktijdig toegevoegd in 69 min. zodanig, dat de pH gedurende de reactie op 4,5 gehouden bleef. De pH veranderde binnen het traject van 3,1 tot 5,4 20 gedurende 2 min. vanaf het begin van de reactie. Na 2 min. vanaf het begin van de reactie werd de reactie uitgevoerd onder handhaving van de pH binnen het traject van 4,4 tot 4,6 voor het vormen van een precipitaat, dat indium en tin bevatte.

25 Na voltooiing van de reactie werd de resulterende oplossing geroerd bij 60®C gedurende 30 min., tot staan gelaten bij 60°C gedurende 6 uur en dan in staat gesteld te staan bij kamertemperatuur gedurende 14 uur om het precipitaat te verouderen. Het bezinkingsvolume van het 30 precipitaat na veroudering bedroeg 1,3 cc per 1 g theoretisch verkregen ITO.

Het precipitaat werd opgevangen door zuigfiltratie (onder gebruikmaking van een Buchner type trechter met een binnendiameter van ongeveer 135 mm, kwantitatief 35 filterpapier No. 5C en afzuigapparaat), en vervolgens tien maal gewassen met ongeveer 120 ml gedeïoniseerd water. De tijd nodig voor filtreren en wassen was 1 uur, en de filtreerbaarheid was uitstekend, en de operatie was uitzonderlijk gemakkelijk. Dit precipitaat werd gedroogd bij 1004635 24 110°C. Als resultaat was het gedroogde materiaal gemakkelijk te deagglomeren.

Het gedroogde materiaal werd gecalcineerd bij 1100°C gedurende 30 min. onder stromen van 20 vol. % van een 5 chloorwaterstofgas (verdund met lucht) vanaf 1000°C volgens de calcinatiemethode A, gewassen met water en vervolgens gedroogd voor het verkrijgen van een ITO poeder.

Het verkregen ITO poeder had een gehalte aan tinoxyde van 10,5 gew. %, een BET soortelijk oppervlak van 6,1 m^/g, 10 een deeltjesgrootte berekend uit het BET soortelijk oppervlak van 0,14 pm en een 50 % diameter in een cumulatieve deeltjesgrootteverdeling van 1,1 pm. Het ITO poeder werd onderzocht onder gebruikmaking van een aftastelektronenmicroscoop. Als resultaat bedroeg de 15 primaire deeltjesgrootte in het verkregen ITO poeder ongeveer 0,1 pm en de graad van agglomeratie tussen primaire deeltjes van gering.

Het poeder werd onderworpen aan een droge deagglomeratiebehandeling voor het verkrijgen van een ITO 20 poeder, waarin het BET soortelijk oppervlak 8,7 m^/g bedroeg, de deeltjesgrootte, berekend uit het BET soortelijk oppervlak 0,10 pm was, en de 50 % diameter in een cumulatieve deeltjesgrootteverdeling 0,39 pm was.

Voorbeeld 3 25 Op dezelfde wijze zoals beschreven in voorbeeld 1, uitgezonderd dat tijdig een waterige gemengde oplossing A van een indiumzout en een tinzout en een een waterige 25,5 % ammoniakoplossing werden toegevoegd gedurende 36 min. zodanig, dat de pH gedurende de reactie werd gehouden 30 op 5,0, werd een ITO poeder verkregen.

De pH was veranderd binnen het traject van 3,5 tot 6,7 gedurende 2 min. vanaf het begin van de reactie. Na 2 min. vanaf het begin van de reactie werd de reactie uitgevoerd onder handhaving van de pH binnen het traject van 4,5 tot 35 5,5.

Na voltooiing van de reactie werd de resulterende oplossing geroerd bij 60°C gedurende 30 min., tot staan gelaten bij 60°C gedurende 6 uur en vervolgens in staat gesteld om te staan bij kamertemperatuur gedurende 14 uur 1 0 0 4 635 25 voor het verouderen van het precipitaat. Het bezinkingsvolume van het precipitaat na veroudering was 4,6 cc per 1 g van theoretisch verkregen ITO.

Het precipitaat werd opgevangen door zuigfiltratie 5 (onder gebruikmaking van een Buchner type trechter met een binnendiameter van ongeveer 76 mm, kwantitatief filterpapier No. 5C en een zuigapparaat), en vervolgens tien maal gewassen met ongeveer 120 ml gedeioniseerd water. De tijd nodig voor filtreren en wassen bedroeg 1 uur, en de 10 filtreerbaarheid was uitstekend en de operatie was uitzonderlijk gemakkelijk. Dit precipitaat werd gedroogd bij 110°C. Als gevolg was het gedroogde materiaal gemakkelijk te deaggl omer eren.

Het gedroogde materiaal werd gecalcineerd bij 1100°C 15 gedurende 30 min. onder stromen van 20 vol. % van een chloorwaterstofgas (verdund met lucht) vanaf 1000°C volgens de calcinatiemethode A, gewassen met water en dan gedroogd.

Het ITO poeder, verkregen door calcinatie, had een BET soortelijk oppervlak van 8,1 m2/g, een deeltjesgrootte 20 berekend uit het BET soortelijk oppervlak van 0,10 pm, en een 50 % diameter in een cumulatieve deeltjesgrootte-verdeling van 0,40 pm. Het ITO poeder werd onderzocht onder gebruikmaking van een aftastingselektronenmicroscoop. Als resultaat bedroeg de primaire deeltjesgrootte in het 25 verkregen ITO poeder ongeveer 0,1 pm en de graad van agglomeratie onder primaire deeltjes was gering.

Voorbeeld 4

Het poeder, verkregen in voorbeeld 3, werd gecalcineerd in lucht bij 1100°C gedurende 30 min. zonder een 30 chloorwaterstofgasstroom. Het ITO poeder, verkregen door calcinatie had een BET soortelijk oppervlak van 7,3 m2/g, een deeltjesgrootte berekend uit het BET soortelijk oppervlak van 0,11 pm, en een 50 % diameter in een cumulatieve deeltjesgrootteverdeling van 0,50 pm. Het ITO 35 poeder werd onderzocht onder gebruikmaking van een aftastingselektronenmicroscoop. Als resultaat bedroeg de primaire deeltjesgrootte in het verkregen ITO poeder ongeveer 0,1 pm en de graad van agglomeratie tussen primaire deeltjes was gering.

1004635 26

Voorbeeld 5 2000 ml water, waarvan de pH was ingesteld op 5,0 door waterige chloorwaterstofzuuroplossing toe te voegen aan gedeioniseerd water, werd ingebracht in een 5 liter beker en 5 vervolgens gehouden op 60°C. Onder roeren werd dit water (pH = 5,0, 60°C), een waterige gemengde oplossing C van een indiumzout en een tinzout en waterige 12,5% ammoniakoplossing gelijktijdig toegevoegd in de loop van 84 min. zodanig, dat de pH gedurende de reactie gehouden bleef 10 op 5,0.

De pH veranderde binnen het traject van 3,6 tot 5,5 gedurende 2 min. vanaf het begin van de reactie. Na 2 min. vanaf het begin van de reactie werd de reactie uitgevoerd onder handhaving van de pH binnen het traject van 4,8 tot 15 5,2 voor het vormen van een precipitaat, dat indium en tin bevat.

Na voltooiing van de reactie werd de resulterende oplossing geroerd bij 60°C gedurende 30 min., tot staan gelaten bij 60°C gedurende 6 uur en dan in staat gesteld te 20 staan bij kamertemperatuur gedurende 14 uur voor het verouderen van het precipitaat. Het bezinkingsvolume van het precipitaat na veroudering was 1,1 cc per 1 g theoretisch verkregen ITO.

Nadat waterige geconcentreerde ammoniakoplossing 25 toegevoegd was voor het instellen van de pH op 8,5 onder opnieuw roeren van de suspensie, die het precipitaat na veroudering bevatte, werd het precipitaat opgevangen door zuigfiltratie (onder gebruikmaking van een Buchner type trechter met een binnendiameter van ongeveer 195 mm, 30 kwantitatief filterpapier No. 5C en een zuigapparaat) en vijf maal gewassen met ongeveer 2 liter waterige verdunde ammoniakoplossing, waarvan de pH was ingesteld op 10 door toevoegen van waterige ammoniakoplossing aan gedeioniseerd water. De tijd nodig voor filtreren en wassen was 25 min., 35 en de filtreerbaarheid was uitstekend en de operatie uitzonderlijk gemakkelijk. Dit precipitaat werd gedroogd bij 110°C. Als resultaat was het gedroogde materiaal gemakkelijk te deagglomeren.

Het gedroogde materiaal werd gecalcineerd bij 1100°C

1 0 0 4 63 5 27 gedurende 40 min. onder het laten stromen van 20 vol. % van een chloorwaterstofgas (verdund met lucht) vanaf 1000°C volgens de calcinatiemethode B, gewassen met water, en vervolgens gedroogd voor het verkrijgen van een ITO poeder.

5 Het verkregen ITO poeder had een BET soortelijk oppervlak van 3,3 m2/g, een deeltjesgrootte berekend uit het BET soortelijk oppervlak van 0,25 pm, en een 50 % diameter in een cumulatieve deeltjesgrootteverdeling van 2,6 urn. Het ITO poeder werd onderzocht onder gebruikmaking van een 10 aftastingselektronenmicroscoop. Als resultaat bedroeg de primaire deeltjesgrootte in het ITO poeder ongeveer 0,1 tot 0,2 pm en de graad van agglomeratie tussen primaire deeltjes was gering.

Het poeder werd onderworpen aan een natte 15 deagglomeratiebehandeling voor het verkrijgen van een ITO poeder, waarin het BET soortelijk oppervlak 5,1 m2/g bedroeg, de deeltjesgrootte berekend uit het BET soortelijk oppervlak 0,16 pm was en de 50 % diameter in een cumulatieve deeltjesgrootteverdeling 0,48 pm bedroeg. Het gehalte aan 20 chloor in het ITO poeder was 0,05 gew. % of minder.

Voorbeeld 6

Op dezelfde wijze als beschreven in voorbeeld 5, uitgezonderd dat 2000 ml water, waarvan de pH was ingesteld op 5,0 door het toevoegen van waterige verdunde 25 chloorwaterstofzuuroplossing aan gedeioniseerd water, ingebracht werd in een 5 liter beker en vervolgens gehouden op 50°C, en dat een waterige gemengde oplossing C van een indiumzout en een tinzout en een waterige 12,5 % ammoniak-oplossing simultaan werden toegevoegd in de loop van 81 30 min., zodanig, dat de pH tijdens de reactie gehouden werd op 5,0 onder roeren van dit water (pH = 5,0, 50°C), werd een ITO poeder verkregen.

De pH veranderde binnen het traject van 3,6 tot 6,5 gedurende 2 min. vanaf het begin van de reactie. Na 2 min.

35 vanaf het begin van de reactie werd de reactie uitgevoerd onder handhaving van de pH binnen het traject van 4,8 of 5,3 voor het vormen van een precipitaat, dat indium en tin bevat.

Na voltooiing van de reactie werd de resulterende 1004635 28 oplossing geroerd bij 60°C gedurende 30 min., tot staan gelaten bij 60°C gedurende 6 uur en dan tot staan gelaten bij kamertemperatuur gedurende 14 uur om het precipitaat te verouderen. Het bezinkingsvolume van het precipitaat na 5 veroudering bedroeg 1,7 cc per 1 g theoretisch verkregen ITO.

Nadat waterige geconcentreerde ammoniakoplossing was toegevoegd voor het instellen van de pH op 8,6, waarbij de suspensie, die het precipitaat bevatte, na het verouderen 10 opnieuw geroerd werd, werd het precipitaat opgevangen door zuigfiltratie (onder gebruikmaking van een Buchner type trechter met een binnendiameter van ongeveer 145 mm, kwantitatief filterpapier No. 5C en zuigapparaat) en vijf maal gewassen met ongeveer 2 liter verdunde waterige 15 ammoniakoplossing, waarvan de pH was ingesteld op 10 door het toevoegen van waterige ammoniakoplossing aan gedeïoniseerd water. De tijd nodig voor filtreren en wassen bedroeg 30 min., en de filtreerbaarheid was uitstekend en de operatie was uitzonderlijk gemakkelijk. Dit precipitaat werd 20 gedroogd bij 110°C. Als resultaat was het gedroogde materiaal gemakkelijk te deagglomereren.

Het gedroogde materiaal werd gecalcineerd door de calcinatiemethode B, gewassen met water en vervolgens gedroogd voor het verkrijgen van ITO poeder, dat een BET 25 soortelijk oppervlak had van 3,2 m2/g, een deeltjesgrootte, berekend uit het BET soortelijk oppervlak van 0,26 pm en een 50 % diameter in een cumulatieve deeltjesgrootteverdeling van 2,8 pm. Het ITO poeder werd onderzocht onder gebruikmaking van een aftastingselektronenmicroscoop. Als 30 resultaat bedroeg de primaire deeltjesgrootte in het ITO poeder ongeveer 0,1 tot 0,2 pm en de graad van agglomeratie tussen primaire deeltjes was gering.

Het poeder werd onderworpen aan een natte deagglomeratiebehandeling voor het verkrijgen van een ITO 35 poeder, waarvan het BET soortelijk oppervlak 5,1 m2/g bedroeg, de deeltjesgrootte, berekend uit het BET soortelijk oppervlak 0,16 pm was en de 50 % diameter in een cumulatieve deeltjesgrootteverdeling 0,25 pm was.

1004635 29

Voorbeeld 7

Het ITO poeder, waarin het gehalte aan tinoxyde 9,9 gew. % bedroeg, de deeltjesgrootte, berekend uit het BET soortelijk oppervlak 0,1 pm was en de 50 % diameter in een 5 cumulatieve deeltjesgrootteverdeling 0,33 pm was, en dat verkregen was in voorbeeld 1, werd gevormd tot een schijfvorm met een diameter van 10 mm, welke vervolgens werd gesinterd bij 1600°C gedurende 10 uur. Als resultaat werd een ITO sinterlichaam verkregen, dat een dichtheid had van 10 7,09 g/cm3 en verdicht was tot 99,1 % van de theoretische dichtheid.

Voorbeeld 8

Het ITO poeder, waarin het gehalte aan tinoxyde 9,9 gew. % bedroeg, de deeltjesgrootte, berekend uit het BET 15 soortelijk oppervlak 0,1 pm was, en een 50 % diameter in een cumulatieve deeltjesgrootteverdeling 0,33 pm bedroeg, en dat verkregen was in voorbeeld 1, werd gevormd tot een schijfvorm met een diameter van 10 mm, welke vervolgens werd gesinterd bij 1500°C gedurende 10 uur. Als resultaat werd 20 een ITO sinterlichaam verkregen, dat een dichtheid had van 7.06 g/cm3 en verdicht was tot 98,5 % van de theoretische dichtheid.

Voorbeeld 9

Het ITO poeder, waarin het gehalte aan tinoxyde 10,5 25 gew. % bedroeg, de deeltjesgrootte, berekend uit het BET

soortelijk oppervlak 0,1 pm was, en een 50 % diameter in een cumulatieve deeltjesgrootteverdeling 0,39 pm bedroeg, en dat verkregen was in voorbeeld 2, werd gevormd tot een schijfvorm met een diameter van 10 mm, welke vervolgens werd 30 gesinterd bij 1600°C gedurende 10 uur. Als resultaat werd een ITO sinterlichaam verkregen, dat een dichtheid had van 7.06 g/cm3 en verdicht was tot 98,6 % van de theoretische dichtheid.

Voorbeeld 10 35 Het ITO poeder, waarin de deeljesgrootte, berekend uit het BET soortelijk oppervlak 0,16 pm was, en een 50 % diameter in een cumulatieve deeltjesgrootteverdeling 0,48 pm bedroeg, en dat verkregen was in voorbeeld 5, werd gevormd tot een schijfvorm met een diameter van 90 mm, welke 1004635 30 vervolgens werd gesinterd bij 1600°C gedurende 10 uur. Als resultaat werd een ITO sinterlichaam verkregen, dat een dichtheid had van 7,15 g/cm3 en verdicht was tot 99,8 % van de theoretische dichtheid.

5 Voorbeeld 11

Het ITO poeder, waarin de deeljesgrootte, berekend uit het BET soortelijk oppervlak 0,16 pm was, en een 50 % diameter in een cumulatieve deeltjesgrootteverdeling 0,52 pm bedroeg, en dat verkregen was in voorbeeld 6, werd gevormd 10 tot een schijfvorm met een diameter van 20 mm, welke vervolgens werd gesinterd bij 1600°C gedurende 10 uur. Als resultaat werd een ITO sinterlichaam verkregen, dat een dichtheid had van 7,15 g/cm3 en verdicht was tot 99,8 % van de theoretische dichtheid.

15 Vergelijkingsvoorbeeld 1 400 ml water, waarvan de pH was ingesteld op 7,3 door het toevoegen van verdunde waterige ammoniakoplossing aan gedeioniseerd water, werd ingebracht in een 1 liter beker en vervolgens gehouden op 60°C. Onder roeren werd dit water (pH 20 = 7,3, 60°C), een waterige gemengde oplossing A van een indiumzout en een tinzout, en waterige 50 % ammoniakoplossing gelijktijdig toegevoegd in de loop van 39 min. zodanig, dat de pH gedurende de reactie werd gehouden op 7,3. De pH veranderde binnen het traject van 3,0 tot 7,8 25 gedurende 3 min. vanaf het begin van de reactie. Na 3 min. vanaf het begin van de reactie werd de reactie uitgevoerd onder handhaven van de pH binnen het traject van 7,0 tot 7,4 voor het vormen van een precipitaat dat indium en tin bevatte.

30 Na voltooiing van de reactie werd veroudering uitgevoerd op dezelfde wijze als beschreven in voorbeeld 1. Als resultaat bedroeg het bezinkingsvolume van het precipitaat na veroudering 11 cc per 1 g theoretisch verkregen ITO.

Op dezelfde wijze als beschreven in voorbeeld 1 werd het 35 precipitaat opgevangen door zuigfiltratie en drie maal gewassen met ongeveer 120 ml gedeioniseerd water. De tijd nodig voor filtreren en wassen was 9 uur, en het was moeilijk om het filtreren uit te voeren. Dit precipitaat werd na wassen gedroogd bij 110°C. Als resultaat werd het 1004635 31 gedroogde materiaal een harde geagglomeerde massa, die niet gemakkelijk was te deagglomeren.

Vergelijkingsvoorbeeld 2

Op dezelfde wijze als beschreven in voorbeeld 1, met 5 uitzondering van het regelen van de temperatuur van het water in het reactievat en de verouderingstemperatuur tot 28°C, werd een precipitaat, dat indium en tin bevatte, verkregen.

Het bezinkingsvolume van het precipitaat na verouderen 10 was 8,7 cc per 1 g theoretisch verkregen ITO.

Op dezelfde wijze als beschreven in voorbeeld 1 werd het precipitaat opgevangen door zuigfiltratie. Als resultaat was de tijd nodig voor uitsluitend het filtreren 7 uur, en het was moeilijk om het filtreren uit te voeren. Dit precipitaat 15 werd gedroogd bij 110°C. Als resultaat werd het gedroogde materiaal een uitgesproken taaie massa, die niet gemakkelijk was te deagglomeren.

Vergelijkingsvoorbeeld 3

Het ITO poeder, waarin het gehalte aan tinoxyde 10,5 20 gew. % bedroeg, het BET soortelijk oppervlak 6,1 m2/g was, de deeltjesgrootte, berekend uit het BET soortelijk oppervlak 0,14 pm was en de 50 % diameter in een cumulatieve deeltjesgrootteverdeling 1,1 pm bedroeg, en verkregen was in voorbeeld 2, werd gevormd tot een schijfvorm met een 25 diameter van 10 mm, welke vervolgens werd gesinterd bij 1600°C gedurende 10 uur. Als resultaat had het verkregen sinterlichaam een dichtheid van 6,34 g/cm2 en was verdicht tot niet meer dan 88,5 % van de theoretische dichtheid. Vergelijkingsvoorbeeld 4 30 Het precipitaat, verkregen op dezelfde wijze als die, beschreven in voorbeeld 5, werd opgevangen door zuigfiltratie en drie maal gewassen met ongeveer 2 liter van een waterige 10 % ammoniumchlorideoplossing. De tijd nodig voor filtreren en wassen was 23 min., en de 35 filtereigenschappen waren uitstekend, en de operatie was uitzonderlijk gemakkelijk. Dit precipitaat werd gedroogd bij 110°C. Als resultaat was het gedroogde materiaal gemakkelijk te deagglomeren.

Het gedroogde materiaal, waaraan ammoniumchloride 1004635 32 gehecht was, werd gecalcineerd bij 1100°C gedurende 30 min. onder stromen van 20 vol. % van chloorwatergas (verdund met lucht) vanaf 1000°C volgens de calcinatiemethode A, gewassen met water en vervolgens gedroogd voor het verkrijgen van een 5 ITO poeder.

Het verkregen ITO poeder had een BET soortelijk oppervlak van 3,8 m2/g, een deeltjesgrootte, berekend uit het BET soortelijk oppervlak, van 0,22 pm, en een 50 % diameter in een cumulatieve deeltjesgrootteverdeling van 1,2 10 pm. Het ITO poeder werd onderzocht onder gebruikmaking van een aftastingselektronenmicroscoop. Als resultaat was de primaire deeltjesgrootte in het ITO poeder ongeveer 0,1 tot 0,2 pm en de graad van agglomeratie tussen primaire deeltjes was gering. Het poeder werd onderworpen aan een droge 15 deagglomeratiebehandeling voor het verkrijgen van een ITO poeder, dat een BET soortelijk oppervlak had van 7,4 m2/g, een deeltjesgrootte, berekend uit het BET soortelijk oppervlak, van 0,11 pm en een 50 % diameter in een cumulatieve deeltjesgrootteverdeling van 0,43 pm. Het 20 gehalte aan chloor in het ITO poeder bedroeg 0,28 gew. %.

Het ITO poeder, onderworpen aan droge deagglomeratie, werd gevormd tot een schijfvorm met een diameter van 20 mm, die vervolgens werd gecalcineerd bij 1600°C gedurende 10 uur. Als resultaat had het verkregen sinterlichaam een 25 dichtheid van 6,06 g/cm3 en was verdicht tot niet meer dan 84,7 van de theoretische dichtheid.

Vergelijkingsvoorbeeld 5 (coprecipitatiemethode)

Op dezelfde wijze zoals beschreven in voorbeeld 1 uitgezonderd dat druppelsgewijs waterige 25 % 30 ammoniakoplossing werd toegevoegd aan een waterige gemengde oplossing A van een indiumzout en een tinzout, verhit tot 60°C, voor het instellen van de eind pH op 7,2, werd een ITO poeder verkregen.

Het bezinkingsvolume van het precipitaat na veroudering 35 was 2,3 cc per 1 g theoretisch verkregen ITO.

Op dezelfde wijze als beschreven in voorbeeld 1 werd het precipitaat opgevangen door zuigfiltratie en tien maal gewassen met ongeveer 120 ml gedeïoniseerd water. De tijd nodig voor filtreren en wassen was 1 uur, en de 1 0 0 4 6 35 33 filtreerbaarheid was uitstekend en de operatie was uitzonderlijk gemakkelijk. Dit precipitaat werd gedroogd bij 110°C. Als resultaat was het gedroogde materiaal gemakkelijk te deagglomereren.

5 Het gedroogde materiaal werd gecalcineerd bij 1100°C gedurende 30 min. onder het laten stromen van een 20 vol. % van een chloorwaterstofgas {verdund met lucht) vanaf 1000°C volgens de calcineringsmethode A, gewassen met water en vervolgens gedroogd voor het verkrijgen van een ITO poeder. 10 Het verkregen ITO poeder had een BET soortelijk oppervlak van 4,8 m2/g, een deeltjesgrootte, berekend uit het BET soortelijk oppervlak van 0,17 pm en een 50 % diameter in een cumulatieve deeltjesgrootteverdeling van 1,2 pm. Het ITO poeder werd onderzocht onder gebruikmaking van 15 een aftastingselektronenmicroscoop. Als resultaat bedroeg de primaire deeltjesgrootte in het ITO poeder ongeveer 0,1 tot 0,2 pm en er vormde zich geagglomereerde deeltjes, waarin primaire deeltjes stevig aan elkaar gekleefd waren.

- conclusies - 1004635

Claims

1 A: achtergrond van de etand van de techniek L: om andere redenen vermelde literatuur

1. Werkwijze voor het voortbrengen van een indiumoxyde-tinoxydepoeder, gekenmerkt door het ter reactie toevoeren van een waterige oplossing van een indiumzout, een 5 waterige oplossing van een tinzout en een waterige alkalische oplossing in water bij 40°C of meer en minder dan 100°C zodanig, dat de pH tijdens de reactie gehouden blijft binnen het traject van 4 tot 6, het vormen van een precipitaat, het wassen van het gevormde precipitaat na 10 vaste-stof-vloeistofscheiding, en het calcineren van het precipitaat bij 600°C of meer en 1300°C of minder.

2. Werkwijze voor het voortbrengen van een indiumoxyde-tinoxydepoeder, gekenmerkt door het ter reactie toevoeren van een waterige gemengde oplossing van een 15 indiumzout en een tinzout en een waterige alkalische oplossing in water bij 40°C of meer en minder dan 100°C zodanig, dat de pH tijdens de reactie gehouden blijft binnen het traject van 4 tot 6, het vormen van een precipitaat, het wassen van het gevormde precipitaat na 20 vaste-stof-vloeistofscheiding, en het calcineren van het precipitaat bij 600°C of meer en 1300°C of minder.

3. Werkwijze volgens conclusie 1 of 2,met het kenmerk, dat de calcinering wordt uitgevoerd bij 800°C of meer en 1200°C of minder.

4. Werkwijze volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk, dat de calcinering wordt uitgevoerd in een atmosfeer, die 1 vol. % of meer bevat van een waterstof-halogenidegas of een halogeengas.

5. Werkwijze volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk, dat het indiumoxyde-tinoxypoeder na het calcineren wordt gedeagglomereerd.

6. Methode volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk, dat het indiumoxyde-tinoxydepoeder wordt 1 0 0 4 635 gewassen met water of een waterige alkalische oplossing of onderworpen aan een warmtebehandeling in een atmosfeer, die 0,1 vol. % of meer bevat van ten minste één gas, gekozen uit de groep bestaande uit waterdamp en zuurstof, bij 600°C of 5 meer en 1300°C of minder na het calcineren.

7. Methode volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk, dat het indiumoxyde-tinoxydepoeder wordt gewassen met water of een waterige alkalische oplossing of onderworpen aan een warmtebehandeling in een atmosfeer, die 10 0,1 vol. % of meer bevat van ten minste één gas, gekozen uit de groep bestaande uit waterdamp en zuurstof, bij 600°C of meer en 1300°C of minder na het calcineren, en verdere deagglomeratie.

8. Indiumoxyde-tinoxydepoeder, waarin het gehalte aan 15 tinoxyde van 2 tot 20 gew. % bedraagt, de deeltjesgrootte, berekend uit het BET soortelijk oppervlak 0,05 pm of meer en 1 pm of minder bedraagt, de 50 % diameter in een cumulatieve deeltjesgrootteverdeling 1 pm of minder is, en het gehalte aan halogeen 0,2 gew. % of minder bedraagt.

9. Indiumoxyde-tinoxydepoeder, waarin het gehalte aan tinoxyde van 2 tot 20 gew. % bedraagt, de deeltjesgrootte, berekend uit het BET soortelijk oppervlak 0,05 pm of meer en 1 pm of minder bedraagt, de 50 % diameter in een cumulatieve deeltjesgrootteverdeling 1 pm of minder is, en het gehalte 25 aan halogeen 0,2 gew. % of minder bedraagt, welk poeder voortgebracht is door de werkwijze van conclusie 1, 2, 6 of 7.

10. Indiumoxyde-tinoxydepoeder volgens conclusie 8 of 9, met het kenmerk, dat de deeltjesgrootte, 30 berekend uit het BET soortelijk oppervlak 0,1 pm of meer en 0,5 pm of minder bedraagt.

11. Indiumoxyde-tinoxydepoeder volgens conclusie 8, 9 of 10, met het kenmerk, dat het gehalte aan halogeen 0,1 gew. % of minder is. 1 0 0 4 635

12. Werkwijze voor het voortbrengen van een indiumoxyde-tinoxydesinterlichaam, gekenmerkt door het vormen van een indiumoxyde-tinoxydepoeder voor het verkrijgen van een gevormd lichaam, waarin het gehalte aan 5 tinoxyde 2 tot 20 gew. % bedraagt, de deeltjesgrootte, berekend uit het BET soortelijk oppervlak 0,05 μπι of meer en 1 pm of minder is, de 50 % diameter in een cumulatieve deeltjesgrootteverdeling 1 μπι of minder is, en het gehalte aan halogeen 0,2 gew. % of minder bedraagt, en het sinteren 10 van het gevormde lichaam bij 1450°C of meer en 1650°C of minder.

13. Werkwijze voor het voortbrengen van een indiumoxyde-tinoxydesinterlichaam, gekenmerkt door het vormen van indiumoxyde-tinoxydepoeder ter verkrijging van 15 een gevormd lichaam, waarin het gehalte van tinoxyde van 2 tot 20 gew. % bedraagt, de deeltjesgrootte, berekend uit het BET soortelijk oppervlak 0,05 μιη of meer en 1 pm of minder is, de 50 % diameter in een cumulatieve deeltjesgrootteverdeling 1 pm of minder is en het gehalte aan halogeen 0,2 20 gew. % of minder bedraagt, welk lichaam is voortgebracht door de methode van conclusie 1, 2, 6 of 7, en het sinteren van het gevormde lichaam bij 1450°C of meer en 1650°C of minder.

14. Werkwijze voor het voortbrengen van het sinterlichaam 25 volgens conclusie 12 of 13,met het kenmerk, dat de deeltjesgrootte, berekend uit het BET soortelijk oppervlak 0,1 pm of meer en 0,5 pm of minder bedraagt.

15. Werkwijze voor het voortbrengen van het sinterlichaam van conclusie 12, 13 of 14, m e t het kenmerk, dat 30 het gehalte aan halogeen 0,1 gew. % of minder is.

16. Werkwijze voor het voortbrengen van het sinterlichaam van conclusie 12, 13, 14 of 15, m e t het kenmerk, dat het gevormde lichaam wordt gesinterd in een atmosfeer, die zuurstofgas bevat. 1004635 OCTROOI RAAD RAPPORT BETREFFENDE HET ONDERZOEK NAAR DE STAND VAN DE TECHNIEK Octrooiaanvrage Nr.: NO 133820 NL 1004635 VAN BELANG ZIJNDE LITERATUUR__ Cateoofw Vermelding van literatuur met aanduiding voor zover nodig, van epeoiaal Van belang voo Internationale olaasifioatie k"'*I*“one van belang zijnde paaeagee oondueie(s)Nr.: (toegekend door de Ootrooiraad) X PATENT ABSTRACTS OF JAPAN 2,8,11 C01G19/00 vol. 017, no. 638 (C-1133), C01G15/00

26 November 1993 ΗΘ1Β1/Θ8 & JP 05 201731 A (MITSUBISHI MATERIALS CORP), 10 Augustus 1993 * samenvatting * A CHEMICAL ABSTRACTS, vol. 119, no. 8, 1

23 Augustus 1993 Columbus, Ohio, US; abstract no. 75765η, IDO HIDEKAZU: bladzijde 194; XP000407894 * samenvatting * & JP 04 367511 A (KOBE STEEL) A EP 0 386 932 A (TOSOH CORP) 1,2,5,9,

12 September 1990 12 * bladzijde 4, regel 10 - regel 14; _ COndUSieS 10-12 * Onderzochte gebieden van de techniek A PATENT ABSTRACTS OF JAPAN 1,6,7 C01G vol. Θ1Θ, no. 036 (C-328), H01B

13 Februari 1986 & JP 60 186416 A (MITSUBISHI KINZOKU KK),

21 September 1985 * samenvatting * Indien gewijzigde conclusies zijn ingediend, heeft dit rapport betrekking ^ op de conclusies ingediend op:................. Pleet, van onderzoek Odum waarop het onderzoek went voltooid Vooronderzoeker (EOB) 'S-GRAVENHAGE 15 Oktober 1998 LIBBERECHT, E 5* ............................................ ........ 1 " ·Ί'........... "

5 CATEGORIE VAN DE VERMELDE LITERATUUR T: niet tijdig gepubliceerde literatuur over theorie of St prinoipe ten grondslag liggend aan de uitvinding S X: op znhzell van bijzonder belang E: andere octrooipublicetie maar gepubtoeerd op of na g Y: van bijzonder belang in samenhang met andere inrfieningedatum _ documenten van dezelfde categorie D: h de aanvrage genoemd

2 O: verwijzend naar niet op eohrift geatelde van de techniek .................................................................................................. Φ P: literatuur gepubliceerd tussen voorrange- en &: lid van dezelfde ootrooifamilie.oorretponderende Rteratuur u! _jndianjngadatiirn_document_