MXPA96001409A

MXPA96001409A - Metodo para producir una cabeza de eyeccion de liquido y cabeza de eyeccion de liquido obtenida pordicho metodo

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Publication number: MXPA96001409A
Application number: MXPA/A/1996/001409A
Authority: MX
Inventors: Kimura Makiko; Nakata Yoshie; Kudo Kiyomitsu; Yoshihira Aya; Kashino Toshio; Okazaki Takeshi; Sugitani Hiroshi; Inamoto Tadayoshi; Koyama Shuji
Original assignee: Canon Inc
Priority date: 1995-04-14
Filing date: 1996-04-15
Publication date: 1997-08-01

Abstract

Un método para producir una cabeza de eyección de líquido que tiene una salida de eyección para eyectar un líquido, un elemento generador de calor para aplicar energía térmica a dicho liquido, una ruta de flujo de líquido que comprende una primera parte de ruta en comunicación fluida con dicha salida de eyección y una segunda parte de ruta colocada debajo de dicha primera parte de ruta y equipada con dicho elemento generador de calor en una superficie inferior de la misma, una pared divisoria para dividir dicha ruta de flujo de líquido en dicha primera parte de ruta y segunda parte de ruta y un miembro móvil colocado arriba de dicho elemento generador de calor en dicha pared divisoria y arreglado en forma desplazable hacia un lado de la primera parte de ruta de conformidad con una burbuja generada en el liquido mediante dicha energía térmica, en donde, al generarse dicha burbuja, la primera parte de ruta y la segunda parte de ruta se encuentra en comunicación fluida entre ellas y dicha presión se dirige hacia dicha salida de eyección por medio de dicho miembro móvil desplazado para eyectar dicha pequeña gota de líquido. El método comprende un paso de preparación de un sustrato equipado con dicho elemento generador de calor, un paso de formación de una pared divisoria ranurada que tiene dicho miembro móvil y paredes laterales de dicha segunda parte de ruta, y un paso de unión de dicha pared divisoria ranurada con dicho sustrato para formar dicha segunda parte de ruta.

Description

MÉTODO PARA l PRODUCCIÓN DE UNA CABE DF EYECCIÓN DF LÍQUIDO Y CABFZA DE EYECCIÓN DF LIQUIDO OBTENIDA POR DICHO MÉTODO A FCFDFNTES DF l A INVENCIÓN '3 CAMPO DF l A INVENCIÓN l pre t i vención se re f i ere a un me o o para µrciducir una heií) f»yf»p.?ón de líquido µ;tra eyectar un líquido es o (t?eri?ant,tí la gener ción e una burbuja I.?? aplica ión ele energía tému-a ai l quido. Mas espe íficamente, 3a 1 C? inven ión .se refiere a un m todo para la produc ión de una a ra de e ección de líquida usando un miembro móvil a rregí 3fio ara de lan rs utiliz ndo la generación de fin burbuja. AdemAs la presente ?nvsm:?óp se refiere a una cabera de eye? t i ón de líquido, un cartucho de cabera que l1"1 utiliza la cabera de eyec i n de líquido, un aparato de eyección de líquido, y un juego de implementos. La presente invención se aplica a un equipo como por ejemplo una impresor i, >ma. maquina copiadora, íína máquina telefa;-, que ti ne un sistema de comuni ión, un prur esaclor de palabras que i ne una parte de impresora o similar, y un dispositivo de registro industrial combinado con varios disposi ivos de proceso, en donde el registro se efectúa sobre un material de registro como por ejemplo papel, hilo, fibra, le; til, cuero, metal, mal-erial de resina plástica, idrio, ma er , ct íimi , et> „ F"n esta esper i f icac i ón, ejl término "registro" no se ref ter? solamente a la formación e nr\? imagen de letra, cifra, o similar que tienen significados espei.1 f i o , si no que incluye también en la formación de una imagen de un patrón que no tiene un significado espec l f i < o. ANTECEDENTES DE LA TECNICI? RELACIONADA Be oncite un método de registro por chorros de tinta del llamado tipo de charro-» cíe burbujas en el cual un cambio instantáneo cíe estado ue resulta en un cambio instantáneo de volumen (generación de burbujas) es provocado por '? apl?> ación ci energía cromo por ejemplo calor a la tinta, tie t l manera que se pueda eye bar la tinta por la salida de eyección mediante la fuer.-a que resulta del cambio de estado por el cu l Ja tinta se eyecta y se deposita sobre el material de registro para formar una imagen. Como se muestra en la patente Norteamericana No. 4,723,129, un dispositivo de regiit 't) que emplea el método de ?egistro por chorros de burbujas comprende en general una s l ida de eyec ión para eyectar }=s tinta, una ruta de flujo le tinta en común icac i n fluida con la s li a de eyeci ion, y un transductor elev trotér i LO como i posi 11 vo generador de energía coloc do en la ruta de flujo de tinta. T l método de regir» ro presenta ventajas ponqu se puede registrar una imagen de alta calidad a alta velocidad y con ba o ni el de rindo, y varias de es a salidas de eyec ión pueden ubicarse cron alta densidad, y por on i ui nte, se* puede obtener un aparato de registro de pequeño tamaño capa.: de proporcionar una alta resolución, y se pueden formar fá ilmente imágenes a color. Por consí gn i ent , el método de registro de chorros de burbuja se emplea ahoi ampliamente n i p eso --., máqui as copiadoras, máquinas telefa; u otros equipos de oficina, así co o para sistemas industriales como di positivos de impresión sobre textiles o similares., P ra fc.l método de registro por c orros de burbujas, se propuso el emfíleo de una estructura que incorpora un miembro móvil cromo por ejemplo una válvula o similar en u ruta de flujo para mejor la ef u i encía de eyección. Por ejemplo, la solicitud cíe patente Japonesa abierta No, 03-199972 des i e un método para producir el em ntos de vál ula en una cabera de registro por chorros de tinta (ron válvulas en l s rutas cíe flujo. En esta publi ción, se forman patrones de válvulas mediante fotoli ogra ía de una resina fotosensible o similar. Además, la sol i itud de patente abierta Japonesa No „ 67;~ 1 7652 describe un método para la producción de válvulas en una cabera de registro por- i horros de tinta con válvulas cíe retención proporcionadas del Jado corriente arriba e la-=. i'ii áii de flujo.

F. n esta publicación, las válvulas se forman integralmente con un sustrato, utilizando partes del sustrato, mediante fotol i ogra fia. La >ol?< i tud de patente abierta Taponesa No. ¿>—31918 fpatente No eame i ana KÍ . 5,27 ,585) presenta un método para la producción de una cabe a de chorros de tinta que i ne válvulas de ?n paso. Es el método para la producción cíe la cabera de trhorros de ti ta que tiene un sustrato de sili io y miembros móviles diseñados por f toli ografía y procesados por grabado anisot róp i c o. Esta publica ión presenta también un método para la formación de los miembros móviles de una capa de dióxido e sil itrio en el sustrato de silicio, ?n método para formar los miembros móviles en una región superficial de una pla a de silicio mediante implantación o difusión de boro, un método para a formación de los mi mbros móviles mediante de grabado diseñado que ocurre debido a la i plantación de boro, etc.. En cuanto a los antecedentes de la técnica de la presente invención, exi un antecedente de la té ica para mejorar las cara te ístic s de eyección fundamentales hasta un nivel t anven i n 1 mente inesperado, a partir e un punto de conven i nal ente inconc bible, en el método bási amente convencional para eyectar el líquido mediante la formación de una burbuja ( spe talment , una burbuja formada por Con esta técnica anterior, algunos de los presentes inventores eru onl a on que el factor más significati o para mejorar considerablemente las c rac erís icas de eyección tomar en considera ión un componente de crecimiento corriente abajo de 1 & burbuja, en base a la considera ión de la influencia de energía suministrada por la burbuja en -ni sobre una cantidad de eyección. Es decir, se encontró que la efi ien i de eyec i n y la velocidad de eyección podían mejorarse-1 mediante 3 a d i re- ción eficiente del componente corriente aba o de Ja burbuja en una d .t re> a ón de eyección. En base a este descub i iento, los inventores llegaron a un nivel técnico extremadamente elevado, en comparatrión con el nivel técnico convencion l, para e^»p]a.:ar positi amente el component-* corriente abajo de la burbuja ha ia el lado e x l remo libre del miembro móvil. Además, se encontró también que era preferible to ar el con?i i derac i ón elementos es ru urales tales como el miembro móvil y la ruta de flujo cíe líquido en rel ción con el re i mi nto de la burbuja del laclo corriente abajo en una región de calefacción para 3a formación de la burbuja, omo por ejemplo, en el lado r m ente abajo a partir del eje que pasa por el i entro del área del transduc or el c t rotérmí o en la d?rec>.. i n de flujo del líquido, o en el centro del área de una superficie que contribuye a 1 ? generación de burbujas.

En base a los hallazgos anteriores, algunos de l s presente?. inventores inventaron y han ya propuesto una. cabeza de chorro de líquido de una estructura totalmente novedosa. Esta cabe.»a i ne una primera parte en comúnic ac i ón fluida con una. c lid de eyecc ion, una segunda parle de ruta con un transductor el t otérmico, y una pared divisoria colocada entre la primera parte de ruta y la segunda parte de ruta y que ti ne un miembro móvil arreglado en forma desplazable al lado cíe la primera parte de ruta, en donde l a, primera parle de ruta se vuelve en comunicación fluida con la segunda par*te e ruta cuando -.e desplaza el miembro móvil. Esta cabeza se arregla para efectuar la eyec ión de tal manera que se genere una burbuja mediante la activación del transductor elect ratérm?.co, el miembro oví I se desplaza hatria el lado de la primera parte de ruta con el crecimiento de la burbuja, y 3 a presión de la misma se guía hacia l a ali a ele eyección mediante el miembro móvil desplazado. En la abeza de eyección de liquido que usa el miembro móvil desplazado según la burbuja como ant descrito, se produce. la cabeza mediante el posi c lonamiento , unión y fijación mediante un resorte de presión (reten) de un sustrato que tiene el transluclor el ec fcratérmí co, paredes laterales de la segunda fiarte de ruta, la pared divisoria que tiene un miembro móvil, una placa superior ranur?(ia que tiene paredes laterales de 13 primera pa te de ruta.

En el método arriba descrito para l a produc ión de la cabeza de eyección de líquido, sin embargo, puede ocurrir' a veces un hueco entre la pared divisoria y las paredes de la segunda parte de ruta debido a variaciones de producción. Esto no se 'orri e fácilmente según el tipo de control de-fabricación. Bi el espacio apareció en esta región la presión de descarga de la burbuja puede escaparse por est? espa io de tal manera que se provoque una falla de eyección ^ebido a una presión de eyección insuficiente. Puesto que la onda de presión que sale por el huero se propaga hacia las rutas de flujo ady c n s y fluctúa el líquido, variaciones de la-> cantidades de eyección pueden a ve s ocurr i r durante ac ivación continua. Un di positivo concebible ara evitar la ocurrencia del hue o es um r la pared divisoria con las paredes de la segunda parte de ruta con un material adhesivo, pero eso no se prefiere debidom a que en este caso el material adhesivo podría penetrar* en el espacpo entre el miembro móvil y la pared divisoria e i pedi el movimiento del miembro móvil. Ademar. , el método de producción anterior requiere del posi c i na iento entre el sustrato, 13 pared divisoria, y la placa superior- ranurada de tal manera que se requiere de mucho ti mpo para conseguir la precisión de pasicr ona i ento . REBUMEN DF l A INVENCIÓN Fn vista ele la técnica anterior antes descrita, un objeto específico de la presente invención es proporcionar un método para producir un miembro móvil que pueda regular en forma efec iva y ú il >?1 reer i mi ento de burbuja, aplicable a válvulas generales o a la nueva cabeza y el principio de eyección descrito en la solicitud anterior presentada por los presentes inventores. Más específicamente, un primer objeto de la presente invenci n es proporcionar un método para producir una crabeza y un aparato que se produce f il y econó i ament con alta precisión y que realizan una configuración ideal pa ra el ppcipio de eyección anterior, mediante la construcción de las rutas gula de líquido para suministrar varios líquidos, de un número reducidos de partees. Un segundo objeto de la presente invención es proporcionar t.?.n método de producción para realizar una cabeza en una onfigura ión ideal para el principio de eyección anterior y proporcionar además un método de producción mejorado en cuanto a costo de producción y pre isión hasta el nivel de los productos co erc lales. A con inua i n se presentan las características típicas de la presente invención fiara lograr los objetos anteriores. Begi'in un aspecto de la presente invención, se propor iona un método para 3a producción de una crabeza de eye ión de 1 (quieto que tiene una salida de eyección para eyect r un liquido, un elemento generador cíe calor para aplicar energía térmica a dicho líquido, una ruta de flujo de liquido que consiste de una primera parte de ruta en omuni ación fluida con di t.ha s li a de eyección y una segunda parte de ruta ubicada abajo de dicha primera parte de ruta, en una superfi ie inferior sobre la cual se posiciona dicho elemento generador de c a l a , una pared divisoria para dividir dicha ruta de flujo de liquido en dicha primera parte de rula y dicha segunda parte de ruta, y un miembro móvil colocrado arriba de icho «elemento generador le calor en dicha pared divisoria de tal maner'a que pueda desplazarse hac i ;t un laclo de la primera piarte de ruta según una burbuja generada el líquido por dicha energía térmica, en donde al generarse .lie ha burbuja, la primera piarte de ruta se encuentra en comunicación fluida con la segunda parte de ruta y la presión se dirige hacia dicha salida de ^y?- i ¿n por medio ele dicho miembro móvil desplazado piara eyectar la pequeña gota de líquido, difho método comprende un paso de prepara ión fie un sustrato equipado con dicho elemento generador de calor, un paso de formación de una pa ed di isoria r-tnurada que tiene di ho miembro mó il y paredes laterales de dicha segunda parte de ruta, y un paso de unir dicha pared divisoria ranuratrla sobre dicho sustrato para Según otro aspecto de la presente invención, se proporciona un método para la producción de una cabeza de eyección de liquide) que tiene una salida e eyección para eyectar un líquido, un elemento generador de calor para aplicar energía térmica a dicho líquido, una ruta de flujo ele liquido que consiste de una primera parte de ruta en comunicación fluida con dicha s l i fia de eyección y una segunda piarte de ruta ubicada debajo de dicha primera parte de ruta, en una superficie inferior de la cual se posiciona dicho elemento generador de calor, una p red divisoria para dividir dicha ruta de flujo e* líquido en dicha primera parte de ruta y dicha segunda parte de ruta, y un miembro móvil olocrado arriba de dicho elemento generador de calor en dicha pared di isoria de tal manera que pueda desplazarse haría un lado de la primera parte de ruta de conformidad con una burbuja generada en el líquido por itrha energía térmica, en donde al generar dicha burbuja, l a primera parte ci ruta se encuentra en comunicación fluida trun la segunda parte de ruta y la presión se dirige hacia dicha salida de eyección por* dicho iembro móvil desplazado para eyectar' l pequeña gota de líquido, donde dicho miembro móvil se forma proporc i ociando ditrht pared divisoria con una hendidura y la hendidura de i ha miembro móvil s forma elaborando dicha pared divisoria mediante el c ro for ac i n .

Según un aspecto adicional de la presente invención, se proporciona un método para producir una ca ^^a de eyección e liquido que tiene una salida de eyección piara eyectar un líquido, un elemento generador de calor para aplicar energía lér i a a dicho liquido, una ruta de flujo de liquido que caris la de una primera parte de ruta en comunicación fluida <ron dicha -.al ida de eyección y una segunda parte de ruta ubicada debajo de dicha primera parte de ruta, en una superficie inferior de la cual se posiciona dicho elemento generador de calor, una fia red divisoria piara dividir dicha ruta de flujo de líquido e dicha primera parte de ruta y dicha segunda parte de ruta, y un miembro móvil colocada arriba de dicho elemento generador de calor en dicha pared divisoria de tal manera que pueda desplazarse según una burbuja generada en el liquido por dicha energía térmica, donde dicho miembro móvil se forma proporci nando dicha pía red divisoria con una hendidura y la hen idura de dicho miembro móvil se forma haciendo dicha pared divisoria mediante ele<; I; rofor ar i n. Según un aspet to adicio al de la presente invenci n, se proporciona una cabe¿a de eyección ci líquido que iene una salida ci eyección para eye tar' un liquido para eyertar un líquido, un elemento generador de calor para aplicar energía térmica a dicho líquido, una ruta de flujo d lí ui o ue ?ons?=>te de una primera fiarte de ruta en comunicación fluida í ? con dicha salida de eyec i n y una segunda parte ci ruta ubicada debajo de dicha primera parte de ruta, en una superficie inferior e la cual se posiciona dicho elemento generador d-» calor', una pared divisoria para dividir dicha rula de flujo de liquido en dicha primera parte de ruta y segunda parte de ruta, y un miembro móvil colocado arriba de icho elemento generador de calor en dicha pared divisoria de tal manera que pueda desplazarse hacia un lacio e la primera parte ele ruta según una burbuja generada en el líquido por dicha energía térmica, en la cual a l generarse dicha burbuja, la primera parte ele ruta se encuentra en común ¡ t c i ón fluida con l a segundo fia r te e ruta y la presión se dirige hac la dicha salida de eyección por dicho miembro móvil desplanad.' para eyectar la pequeña gota e liquido, donde la pared divisoria equipada con dicho miembro móvil se forma integr lmen e ron paredes la erales de la segunda parte de rula. n un aspecto adicional de la presente invención, s proporciona un cartucho ele cabeza que tiene l a cabeza de eyección de líquido de confor idad con lo antes des rito y un recipiente para 11«quicios. Según un aspee to adicional de la presente invención, se propor iona un aparato de eyecci n de líquido que tiene una cabeza de eyección ele-' liquido arriba descrita y u dispositivo e suministro de señal de activación para suministrar una señal de ac ti si ión para eyectar el líquido a partir de la cabeza de eyecci n de líquido. Según un aspec o adíe tonal de la presente invención, 't proporciona un aparato cié eyec> i n de liquido que tiene-1 1. cabeza de eyeci i n de líquido de conformidad con lo arriba descri o y un dispositivo de transporte de me io de registro fiara t ansportar un me io de re i tro para recibir el lícjuido eyectado de-1 la cabeza de? eyección de líquido. Sey n un aspecto adi ional de la presente invención, se proporciona un juego de cabeza que comprende la cabeza de eyección de líquido arriba descrita y un recipiente piara liquido fiara contener el liquido a suministrar a la cabeza de eye* c i ón de líquido» Según un aspecto adicional de la presente invención, se proporciona un juego de cabeza que tiene l a cabeza de eyc?cc i ón de líquido arriba descrita, un recipiente para liquido para contener el líquido a suministrar a la cabez«t de eyec ión de líquido, y un ispositi o de llenado e? liquido para llenar el líquido en el recipiente para 1 i quid'-*. Según un aspecto adicional de la presente invención, proporciona un material registrado que ha recibido una tinta y l-i co o líquido por el método de registro de eyección de líquido antes descri o.

Las caracte ísticas anteriores de la pr sente invención permi ieron que el miembro móvil, capaz de regular efectiva y utilmente el crecimiento de una burbuja piara válvulas generales o el principio de eyección de la cabeza novedosa descri ta en la solicitud anterior, puede ser produc ido con precisión y tp jn o.lo y con un número reducido de partes en el nivel ele uso rác ic cromo produ tos comeré ules, y prepare i anacido la cabera para mostrar el efecto áiíimo también en el principio de eyección onvencional. Con mayores detalles, mediante la formación preliminar integral de la p ed divisoria que tiene el miembro móvil con las par des e la segunda parte de ruta, no se formará ningún hueco entre la pared divisoria y las paredes de la segunda p=*rte de ruta, y se podrá disminuir el número de fiasos ci fabricación ele? la cabe.a de eyección de l iquido, mejorando asi el rendimiento de fabricación. Además, puesto que lo ant ho de la hendidura o similar puede proc sarse con precisión mediante la formación de la pared divisoria y el mi mbro móvil separado en la anchura de hendidura predeler í n=ída a partir de la pared divisoria me iante elec tro f or acr i ón , el líquido de eyección puede ser eyectaeio con precisión en una cantidad deseada desplazando el miembro móvil en respuesta prec isa a la presión elevada por la cjeneración de la burbuja del 1 (quicio que rec ibí? calor* df?l t ra nscluc" tor el ectrotérmico, lo que permite la formacpón de una im gen de alta cali ciad. Los eft'A? efectos de la presente invenci n se entenderán a parti de la descripción ci las modalidades. En 13 especifica i n, los términos "corriente arriba" y "corriente abajo" se defi en en relac ión a un flujo en ra 1 de l íquido a partir ci una fuente ci suminist o de l íquido, a través de las rutas de flujo de líquido hacia la salida de «yet ton o se N presan como ; pires iones en cuanto a la d i ree c i ó n en es t a es t me c u a . Además, una parte "de lacio corriente abajo" de la burbuja en sí representa una parte e lado e la salida ele eyección crie la burbuja que funciona i ectamente especialmente pata eyectar una pequeña gota e líquido. Más específicamente, significa una arte corriente abajo de la burbuja en la dirección de flujo anterior o n la dirección de la * estructura anterior en relación con el centro de la burbuja, o un burbuja que aparece en la región corriente abajo a partir del centro del área del elemento generador de calor. En esta espe ificaci n, la expresión "sustanc i a 1 mente sellado" se refiere generalmente a un estado sellado a tal grado que cuando c ece una bur'buja, la burbuja no se escapa por un hueco ("hendidura) al rededor' del miembro móvil antes de desplazar el miembro móvil.

Fn esta especificación, la expresión "pared divisoria" piuede referirse a una pared <que puede incluir* el miembro móvil) interpuesta para separar la región en comunicación fluida directa con la salida de eyecci n la región generadora de burbuja y, más específicamente, se refiere a una p?arc?d que separa la ruta de flujo de líquido .qu incluye la región generadora ci burbujas e la ruta de flujo e liquido en comunicación fluida directa con la nal ida de eyección, impidiendo así la mezcla de los líquidos en las rutas, de l flujo ele liquido respec ivas. PREVF DESCP I PC IHN DF IOS D IBUJOS la figura i es una vista ampliada, esquemática, para explicar la erstrue tura de una parte principal en un modalidad de la c beza de eyección de liquido según l a resen e invención; La figura 2 es una vista en corte piara mostrar una piarte de una -salida de eyección y rutas de flujo de liquido como una parte esencial de una cabezn de eyección de liquido mostrada en la f i ura 1 ; 2 La figura 3 es un diagrama ampliado para mostrar una parle principal de la cabeza de eyección de líquido mostrada en la í igura 1 ; La figura 4 es una vista en perspectiva ampliada p 3 ra mostrar una parte principal de la crabeza de chorro de 5 íquido según la pr sente inveim ón; La figura 5 es una vista en perspecti a, en forma de di -t rama, para mostrar una pared divisoria ranurada en la cu l se for a i nteg va 1 mente 11na pa red divi soría y pía redes laterales de segundas partes de ruta; Las figuras 6A a 6H son ibujos esxpi icra t i vos para mostrar los pasos tie producción de la pared divisoria en la modalidad 1 de la presente invención; Las f iguras 7A a 7D son dibujos expl ica i os piara mostrar \o<-> pasos para la produc ión de la pared divisoria en la modalidad 2 de la presentí1 invención; l s figuras 8A a 8C son dibujos explica i os para mostrar los pasos piara la producción ci una matriz empleada en la modalidad 2 de la presente invención; tas figuras 9A a 9F son dibujos explicati os para mostrar los pi-isos de produce i ón de la pared divisoria en la modal idiad 3 de la presente invención; Las figuras 1 ?A a 1 OF son dibujos explica i os para mostrar pasos par-a la producción tie la pared divisoria en la modalidad 4 de la presente invenición; Las figuras 11A a 1 ID son dibujos expli a i os para mostrar* pasos para la producción de la pared divisoria en la modalidad 5 de la presente mvenc ion; l s figuras 12? a 1 D son dibujos explicativos para mostr i pasos p ra la producción de l pía red divisoria en la modalidad e la presente invención; Las figuras 1 A a 13D son dibujos explicati os para mostrar pasos para la producción de la pared divisoria en la modalidad 7 de l a presente invención; La figura 14 es una vista en perspec i a, ampliada, esquemática de un trartucho cié cabeza de eyección de líquido que incorpora la cabeza de ey^rc i on de líquido de la presente inven i ón; La figura 15 es un dibujo esquemático de un aparato de eyección de liquido que incorpora la cabeza de eyección de líquido ci l a presente invención; La figura 16 es un diagrama de bloque de todo un aparato para la operación de registro por eyección ci tinta que utiliza el método de eyección de líquido y la cabeza ele eyección de líquido aplicable a l a presente inven ión; La figura 17 es una vista en perspectiva, esquemática, para explicar l a estruc ura de un sistema de registro por chorros o tinta usando la cabeza de eyección de líquido de la presente inven.- i n; la figura 18 es una vista en pilantg esquemática pía r'a mostrar un juego de cabeza que tiene la cabeza de eyección de líquido de la presente invención; La figura 19 es una vista en corte piara mostrar' la estructura principal de una cabeza de un tifio ci aplicación lateral cromo ejemplo de la cabeza de eyec i n ci líquido según la presente invent i n; las figuras 2 A a 20D son dibujos esquemáticos para mostrar un ejemplo e una cabeza de chorros de líquido que logra el principio de eyección novedoso aplicable a la presente i nv n i óp; La figura 21 es una vista en corte parcialmente abierta de la crabeza de chorro de líquido de las figuras 20A a 2 D; la figura 22 es un dibujo esquemático para mostrar un estado de propagación de presión a partir de una burbuja en el pt i nc i p i o de eyec c i ón c onvenc i una 1 ; La figura 23 es un dibujo esquemático para mostrar* un estado eie propaga i n de presión ¿ partir de una burbuja en el principio eie eyección novedoso aplicable a la presen c e i nven i n; Las figuras 2-1A a 2¿IC son vistas en planta esquemáticas para mostrar una configurar ion ele una hendidura en la pared d i isor i a ; y l figura 25A es una vista en corte ampliada de las hen iduras produ i as por la elec tro formar i ón y la figura es una vista en corte ampliada de las hendiduras formadas pior irradiación de rayos láser. DESCR íPC ION DF. I AS MODAL lDADFS PREFER lDAS . (E: l ica í ?n del principio) El principio eie eyección aplicable a la presente invención se1 expilicará como referencia a los dibujos. :o las. figuras a 20D son vistas en corle esquemáticas de l a cabeza de descarga de líquido a lo largo de la dirección de l a ruta cle? flujo de líquido y la figura 21 es una uista en persper tiva p r i l ente abierta de la cabeza de 1 íquido. la cabeza e eyección de liquido como se muest a en las figuras 20A a 2 D comprende un elemento 4 2 generador de calor' instalado sobre un sustrato 4<d de elemento (un resistor generador tie c lor de 400 µm 1 5 µm en esta •modalidad) como elemento generador de energía e eyección fiara suministrar energía térmi a al liquido para eyectar el líquido, y una ruta 410 ci flujo de líquido formada arriba del sustrato A 01 del elemento correspondientemente al elemento 402 generador de calor. La ruta 410 de flujo de líquido se encuentra en comunicar i n fluida con un orí fie t o e descarga 418 y una cámara 413 de líquido común para suministrar el líquido a varias tales rutas 41 e flujo de líquido que se encuentran en comunicación fluida con varia;, s li as 41 de eyección. Sobre e sustrato 401 de elemento en la ruta de flujo de líquido 410, se pirofiore lona un mi mbro móvil o una placa móvil 431 que ti ne una parte más plana en forma de voladiza de un material elástico co o por ejemplo metal, frente al elemento generador de calor. Un extremo del miembro 431 móvil se fija sobre una base «miembro de soporte) 434 o simila proporcionado mediante el ei i seño de material cíe resina fotosensible sobre la pare de l a ruta de flujo de líquido 410 o el sustrato de elemento 401 „ Mediante esta estructura, el miembro móvil 431 se encuentra soportado, y se consti uye un punto de apoyo 433 (parte del punto e a oyo) . El miembro 431 móvil se µt incina de tal manera c^u tenga un punto de apoyo 433 <" fiarte? del punten ci apoyo que e un e; tremo fijo) en un laclo corriente arriba en relación con un f3u a líquido a partir cié la cámara 41 de liquido común hac ?a la salida e y i ón 419 a través del mi mbro móvil 431 provocado por la operación de eyec ión y que tiene un eiítremo libre (par le e extremo libre) 432 en un lado corriente abajo del punto de apoyo 433., Por- consiguiente, el miembro móvil 431 se encuentra frente al elemente 402 generador de calor con un hueco de api rc?¡; i madamente 15 um ele tal manera que-1 cubre el elemento 4 2 generador cié calor. S constituye una región generadora de burbujas entre el elemento generador de calor y el miembro móvil. El tipo, confi uración o po-sición del elementen generador ele calor' o ell miembro mó il no se limita a los descritos arriba, si no que puede cambiarse en la medida en que el crecimiento de la burbuja y la propagac i n de la presión puedan ser controlados. Por r'rt.rón ele compresión más f il del flujo del líquido que se describirá a continuación, la ruta A l O de flujo .le líquido se divide mediante un miembro móvil 431 en una primera ruta de flujo de líquido 414 que se encuentra en comunicación directa ion la salida de eyección 418 y una segunda ruta de flujo de liquido 416 que tiene la región 411 generadora de burbujas y el orificio 412 de suministro de 5 1 i qui o. Provocando l a generaci n de calor por- piarte del elemento 402 generador de calor, se aplica calor al líquido en la región de generación de burbujas 411 entre el miembro móvil 431 y «íl elemento generador de calor 4 , por lo que se genera una <"> burbuja en c?3 líquido mediante? e->l fenómeno de ebullición de película presentado en la ¡latente Norteamericana No. 4,723,129. La burbuja y la presión pirovocada por ls generaci n de la burbuja actúan esen ial ente sobre ei miembro móvil, de tal manera que el miembro móvil 431 se mueve-? o desplaza para abrir' ampliamente hacia el lado de la salida de-? eyección alrededor ciel punto de apoyo 433, ionio =-.e muestra en la figura 20D y en la figura 20C o en la figura 21. Mediante el despi la za ien to del miembro móvil 431 o e l estado piostep ar a l desplazamiento, la propagación de la 0 presión provocada por la generación de l a burbuja y el crecimiento de la burbuja en sl se dirigen hacia la salida el.-' eyer c i ón. Ahora se des ribirá uno de los principios fundamental s de eyección según la presente invención. Uno de los principios 5 important s de esta i nvenc ion es que el miembro moví l colocado frente a la burbuja se desplaza de la primera posición normal hacia, la segunda posierión desplazada en base a la presión de la cjeneración ele- burbuja o la burbuja en sí , y el miembro móvil 431 desplazado o que provoque el despl zamiento dirige f ti amente la presión produ ida por' la generación rie la burbuja y / el crecimiento de la burbuja en sí hacia el lado con lonte abaje» en el cual se ubica la s 11 da de ey ec ón 41 P . "-•£.• real izará una descripción más detal lada con comparat ion entre la estru ura de paso rie flujo de 3 i quicio convencional que no u il iza el miembro móvil (f igura 22) y la presente invenc ión (figura 23) . Aquí , la clirect ion de propagación ele la presión hacia la salida de eyección se indicia mediante VA, y la direc ión ele l propagar i ón ci la presión hacia el lacio corriente arriba se indi era mediante VB . Fn una erabez-t conven ion l como se muestra en la figura 22, no M e ningún elemento estructural efectivo fiara regular' la dirección de la propagación producida por la generac ión por los. e;, ponerte les de la burbuja. Por con i uien e, la direc c ión de la propagación de presión es normal en relación con la superficie? de la burbuja como se indica incidíante VIVO, y por con iguiente se dirigen ampl iamente en el paso. Fntre estas ei i e? c iones , las di rece iones de la propagación d presión a partir de la mitad cié? la burbuja más cercana a la sal ida ele eyec e ion (V1-V4) tienen los componentes de presión en l dirección VA que es más efecti a para la eyec i n de liquido. Fsta piarte es importante puesto que contribuye irectamente a la eyet ióp eficiente ele líquido, la presión de «ye » ion ci liquido y la velo idad de eyección. Además, el componente V1 es el más cercano a la di rece i n de VA que es la direcci n de eyetrc ion, y por consigui nte es más efec ivo, y el V4 tiene un componente re1 a 11 vaunen te pequeño en 3 a di rec"c i ón VA . pt»r otra parle, en el caso ele la presente invención, co o --.e mue ra en la figura 23, el miembro móvil A-7, 1 es fe i o piara dirigir, corriente abajo ( l -ido de salida ci eyección), las el i rece i nes VI ~V4 e propagación de presión de la burbuja que de otra forma se encuentran lucia varias direcciones co o se muestra en la ficjura 22 y para dirigir hacia la dirección VA ci propagación de presión de tal manera que la presión de la burbuja 440 contribuyan directa y efií i ntemente a la eyección. Además, la dirección del crecimiento en sí de la burbuja se dirige corriente abajo en forma similar a las direcciones V1-V4 de propagación de presión, y las burbujas crecen más en el lado corriente aLiajo que en el lado corriente arriba. Por con i uiente, la di recen ón de crecimiento en sí de la burbuja se* controla mediante el miembro móvil, y la eyección, fu rza de eyección y velocidad de eyección o similar se mejoran en forma i nific i a. Be descri i á en detalles, como referencia a las figuras 2 A a 20D , la operación de eyecc ion de la cabeza de eyecc i n de 5 líquido rie esta modalidad. La figura 20A muestra un estado antes de aplicación de energía como por ejemplo energía íal c trica a l elemento 402 generador de calor, y por crons i guien te todavía no se ha g nera o calor. Debe observarse que el miembro móvil 431 se 0 pos i cíona de tal manera que hace frente* a cuando menos 3a parte corriente abajo de la burbuja generada por la generación de calor* del elemento generador de calor. En otras palabras, para que la parte corriente? abajo de la burbuja ac a sobre e^l miembro móvil, la estructura de paso 5 de flujo de líquido e t l que el miembro móvil I se extiende cuando menos hacia la posición corriente abajo (corriente abajo de una línea que pasa por el erentro 4 3 del r del elemento generador de calor y perpendicular a la Icin itiicl de la ruta ci f lujen) del centro 403 del Área del <"> l m nto g n raclor cl c lo'. la figura 20B muestra un estado en el cual la generación de calor por parte del elemento 402 generador e calor ocurre mediante la aplicación de la energía eléctrica al elemento 402 gener nrlor* de calor, y ima p rte-» del líqui o llenado en 5 la regi n generadora de burbujas 411 se calienta mediante l 2¿> calor así generado de t l manera que se genere na burbuja cromo resultado crie ebullición de película. E"n este momento, el miembro móvil 431 se? encuentra desplazado de la primera posición hacia la segunda posición mediante3 la presión produ ida por la generación de la burbuja 440 fiara guiar la propagación de la presión d l burbuja 44<") hacia la salida de? eyección. Debe observarse que, co o arriba descrito, el extremo libre 432 dc¿l miembro móvil 431 se .cilocra en el laclo corriente abajo (lado de sal i a e eyección) , y el punto de apoyo 433 se coloca en el lado corriente arriba (lado de crá a ra ci líquido común), de tal manera que cuando menos una par te del miembro móvil se encuentre frente a la piarte corriente aba o de l-_ burbuja, es decir, la parte corriente abajo del elemento generador de ca 1 til' . La figura 2?f, muestra un estarlo en el caul la burbuja AAO ha cre i o todavía má-r.» Mediante la presión que resulta de 3a generaci n e 3a bur'buja 440, el miembro móvil 431 se desplaza ad i c i tina 3 mente. La burbuja generada cre-jcc-* corriente abajo que corriente arriba, y se empande en gran medida á.~. allá de una primera posición (posi ión en línea interrum i a) el miembro móvil. Por consi uiente, se en iende que de conformidad con el crecimiento de la burbuja 44<"', el miembro móvil 431 se desplaza gradualmente, por lo que la dirección de propagación e presión de la burbuja 440, la dirección en la cual el movimiento ele volumen es f-"*c i 1 , es decir, la di recen ón de crecimiento de la burbuja, se dirigen uniformemente hacia la salida de eyetción, e tal manera que se pueda in remen ar la eficiencia de eyección» 5 Cuando el miembro móvil guía la burbuja y la presión de generaci n de burbuja hacia la salida de eyección, apenas si obstruye l propagación y el crecimiento, y puede controlar fi ientemente la dirección de propagación rie la presión y la dirección de recimiento de la burbuja según el grado ci 10 µ i ón. la figura 2 D muestra un estado en ei cual la burbuja 440 se contrae y desaparece debido a la disminución de la presión de l a burbuja, ra ra terística µieculiar del fenómeno ele ebullición de película.

Fl miembro móvil 4 1 que ha ido ties l a za o hacia la segunda -""" pos ir ion regresa a la posición inir lal (primera posición) e la figura 20A mediante la restauración de la fuerza propor ionada picar la pro iedad elás ica del miembro móvil en si y la presión negativa debido a la contracción ele la <> burbuja. ?l col apisa rse la burbuja, el líquido fluye de nuevo a partir del lado corriente arriba (B) es decir, a partir del lacio e la cámara de liquido común según lo indicado por VD1 y VD2 y partir del lado de salida de eyección como ae indica mediante V'. ci tal manera que se compense la reducción de volumen de l a burbuja en la región 411 generadora de burbuja y para compensar el volumen de líquido eyec tacio.

Fu la parte anterior, se describió l a operación del miembro 5 móvil con l a geperac ion e la burbuja y la opera i n ci eyec i i n de lí quicio. Ahora se describirá el rellenado del líquido ejn la cabeza de eyección tie líquido de l a presente invención. i.ntio la burbuja 440 entra en proceso de colapso de burbuja después, de alcanzar- su volumen masimo después de5! i.) estado de? la figura 20C , un volumen ele liquido suficiente para compensar el volumen de la burbuja en estado de colapso fluye en la re i n de generación de burbujas a partir riel lado de salida de eyección 418 de la primera ruta de flujo de liquido 414 y a par t ir de la cámara de líquido común 413 5 de l a segunda ruta de flujo de líquido 416.

Fn el caso de una estructura de paso de flujo de líqui o c onve?nc tonal que no iene mi mbro móvil 431, la cantidad del líquido a partir del lado de =.al?da de eyección hacia la posic i ón de colapso de burbuja y la cantidad de liquido a o par ir ele-» la c mara ele liquido común se basan en la resistencia al flujo de la parte más cercana a la sal ida de cercana a la cámara de liquido común. ("basado en l a resistencia al flujo y l inercia del liquido).

Por consiguiente, cuando la resisten ia al flujo en el lado del orificio de suministro es menor que en el otro lado, una gran cantidad de líquido fluye en la posici n de colapso ele burbuja a partir del lado de salida ci eyección con el resul ado que la retracción de menisco es. amplia. Con la "educción de la resistencia al flujo en la salida de yección con el propósito e incrementar la eficiencia de eyecrc i n, la retracción de menisco M se inc ementa a l colapsarse la burbuja con el resultado ci período de rellenado más. largo, dificultando asi la impresi n a alta v l o i da . Según este arreglo, debido al miembro móvil 431, la retracción ci menisco se detiene en el momentcj en el cual el miembro mó il regresa a la posición inicial al colaps3rse la burbuja, y después, se logra el suministro de líquido para llenar un volumen W2 por e l flujo VD2 en la segunda ruta de flujo 41 (Wl es un volumen del lado superior de-?] volumen W ele burbujas más alia ele la primera posición del miembro móvil 431, y W2 es un volumen de un lado de la región generadora de? burbujas 11 d l mismo). Fn la técnica anterior, la mitad del volumen de burbuja1. W es el volumen retracción de menisco, pero según este arreglo solamente ;<> apro: uñadamen e una mitad (Wl ) es el volumen de la retrac ión de menisco. Acli c i ciña Intente, e?l suministro de líquido para el volumen W2 es forzado para efectuarse prin ipal ente a partir del lacio corriente arriba (VD2) de la segunda ruta de flujo de liquido a lo largo de la superficie del lado del elemento generador ele calor el miembro móvil 431 usando la presión al olapsarse la burbuja, y por consiguiente se logra una -acción más rápida de reí leñado. Cuando l rellenado que usa la presión al olapsarse l a burbuja se efectúa en una cabeza convencional, la vibración del menisco se ei-piande con el resultado del deterioro de la calidad de la imagen. 81 p embargo, según esta modalidad, los flujos de liquido en la primera ruta 414 del flujo de 1 íquido en el lado de salida de eyección y el laclo ele salida de eyección de la región 411 generador de burbuja se suprime, cte tal ma riera c¡ue se reduce extremadamente la vibra ión riel menisco. Por consigui nte, según este arreglo aplicable a la presente invención, se logra una alta velocidad de rellenado mediante el rellenado forzado hacia la región generadora de burbujas fior el piaso 412 de suministro ele liquido de la segunda ruta 416 de flujo y mediante la supresión de la retracción de menisco y vibración. Por consiguiente se logran la estabili ación de l a eyección y eyecciones repetidas a alta velo idad, y cuando se usa la modal i daei en el c mpo del registro, si? pueden lograr mejorías en cuanto a la calidad de la imagen y veloci ad de regi tro. El arreglo p ropo rv i tina l a siguiente fun i n efectiva. Es una supresión ele la propagación r? la presión hacia el lado corriente arriba (onda posterior) producida por la generación de l a burbuja. La presión debida al lado de cámara 413 dr? liquid, común (corriente arriba) de la burbuja generada en el elemento 4 2 generador' de calor ha resultado esen ialmente en una fuerza que empuja el líquido de regreso al laclo corriente arriba (onda posterior). I.a onda posterior deteriora el rellenado del líquido en la ruta de f lujen de líquido mediante la presión en el lado corriente arriba, el movimiento resul ante el líquido y la fuerza de inercia. Fn este arreglo, estas acciones cie»l lado corriente arriba e -.uµri en mediante el miembro móvil 4^1, de tal manera que se mejore acJi c lona Imente el desempeño ele rellenado. Se describirá una cara erística adicional así cromo un efec to provechoso. la segunda rula flujo de I {quicio 416 de este arreglo tiene un µatrtu de suminis ro de líquido 412 que tiene una pared interna suhstanc i a l mente al ra _s con el elemento generador de calor- 402 (la superficie del elemento generador no se encuentra rebajada) en el la o corriente arriba del elemento generador de calor 402. Con esta estructura, el sumí ni --.tro de liquido hacia la superficie del elemento generador de calor 402 y la región generadora de burbujas 411 ocurre a lo largo de la sup ficie del miembro móvil 431 en la posición más i ere ana a la región generadora ci burbujas 411 como se i n i c a med i an VD2. Por' consigui nte se suprime el estancamiento de líquido en la superficie. del elemento generador de calor 402, ele tal manera que l precipitación del *. disuelto en el líquido se suprime, y las burbujas residuales no desaparecidas se1 remueven sin difi ul a ti y, además, la acumulación ci calor en t?l liquido no et. excesiva. Por consiguiente, se puede repe ir l a generación de burbujas estábil izada a al a velocidad. En este arreglo, el paso eie suministro de liquido 412 i ne una pared interna sutistanc i a 1 mente pilana, pero esto no es limi ativo, y el paso de suministro de líquido es sa i facto io si tiene una pared interna con una i onf i gurac i ón suficientemente suave que-1 e; tiende a partir' e la superficie del elemento generador de calor que l esta e amiento ciel líquido acurre sobre el elemento generador de ?alor, y no se provoca ignific i amente un flujo turbulento en l suministro del liquido. Fl suministro del líquido en la región generadora de burbujas puede ocurrir a través de» un hueco n la parte lateral del miembro móvil (hendidura 435) co o se indica mediante VD1. Para di igir la presi n al. generarse l a burbuja en forma efectiva hacia la s lida de eyección, se puede emplear un ejran miembro móvil que cubre la totalidad eie l a región generadora de burbujas (que cubre la superfii ie del elemento generador de calor) co o se muestra en la-. f i cj . 20A a 2 R. Después, la resistencia al flujo para el liquido entre la región generadora de burbujas 411 y la r ión la p imera ruta de flujo de líquido 414 cerc ana a la ?.al ida de eyección se incrementa mediante l a restauración del mi mbro móvil 431 hacia la primera po-, i c i ón, ele tal manera que se puede impedir el flujo del liquide} hacia le? región generadora de burbujas 411 a partir eie VD1. Sin embargo, según l a estructura de cabezas cié? este arr gl o , xi te un flujo ef.-H.tivu par.? suministrar el líquido ha> la la región generadora de burbujas, el desempeño de suministro líquido se inc ementa en forma importante y pior consiguiente, aún si el miembro móvil 431 cubre la región generadora de burbujas 411 para mejorar la eficienc ta ele y i ción, no . deteriora el desempeño de suministro >|e 1 í u i do. la relación posicional entre el extremo libre 432 y el punten de apoyo 4 7' del miembro mó il 431 es tal que el extremo libre se encuentra en la posición tórnente abajo del punto de apoyo como se indica >?n la fig. 23, pior ejemplo. Con esta estrut tura, la fuñe i ón y efecto de gul-tr la dirección de pro ayai i n tic? la presión y la dirección de] crecimiento de la bur'buja hacia el laclo de la salida de eyec i n o similar pueden lograr le eficientemente al generarse la burbuja. Acl i c i ona 1 men t e , 1 a re 1 acr i n fios i c i ciña 1 es. ef ec 1 v ¿t a ra lograr no solamente la fuñe i ón o e f ee~ t> i en relación con la eyec ión sino tambi n la reducc i n de la resistencia al flujo 3. través de la ruta 410 del flujo fie líquido al su inis rarse el l íquido, per itiendo asi lin rel lenado de al ia velocidad. Cuando el menisco M retraído por la eyección te se u s I ra en la fig. 7/, regresa a la sal ida 41G de eyección mediante fuerza spillar, o citando e-*l suministro ele l íquido se efectúa para compensar el colap ..o de la burbuja, las píos i c; iones del extremo l ibre y del punto de r-tpioyo 433 :.on tales que no se impiden lo-; flujos S1 , T>2 y S3 a través de> la ruta de-1 flujo cJc--» 1 tquido 41 que inc luye la primera rcit i de f lujo ele líquido 414 y la segunda ruta cié flujo ele liqui o 416.. ~ specí f icamente, en este arreglo, como antes descrito, el t-rc; remo l ibre 432 del miembro mó il 431 .se encuentra frente a una posic ion corriente abajo del centro 403 del ?r^a que di i el elemento generador eie c alor 4?2 en una región corriente arriba y una región corr iente abajo (una línea que pasa a través del centro «piarte central ) del ?rea del elemento generador de calor y perpen icular a una direcc i n lon i u inal ci la ruta de? flujo de l íquido) . Fl mi mbro móvil 42-1 recibe la presión y la burbuja ue contribuyen en gran medida a la eye-cr ¡ ón del liquido en et lado corriente abajo de la posición 403 del centro cié ?rea del elemento generador de calor, y guía l a fuerza hacia el laclo de salida de eyección, mejorando así fnn oment a 1 mmi te la eíiciencia ele eyección o l a fuerra de eyec ión. Se proporcionan efectos rovechoso-» adicionales u-".artdo el lado corriente arriba e la burbuja, según lo antes desc i o. Ademéis se considera que en la estructura de esta modalidad, el movimiento met ¿nuco ipstanláneo del extremo libre ciel miembro móvil 431 contribuye a l a eyección del líquido. Las. modalidades e la presente invención se explicaran en detalles c n referencia a los dibujos-» anexos. 13 fig. 1 es una vista en perspec i a, ampliada, esquemática para explicar* la estruc ura principia] ele una modalidad ele la cabeza de eyección de líquido según la re en invención, l fig. 1 se ilustra omi iendo una placa de orificios firopor i on a con -salidas de eyección, la fig, 2 es una vista en cort que muestra una parte ele una salida fi eyección y rutas de flujo de líquido co o una piarle pserµ ?al de l i i aberra de eyecc ion de líquido de la f 1 ej . 1, y l a fig. 3 es un dibujo esque?mAt i c o, parcial, fiara mostrar una parte pr i nc ? -t 1 de la cabeza de eyee r i n de líquido de la fig. t« Fn las figs. 1 a 3, el número de referencia t indica un ustra o ele elemento en el cual se propor ionan elemento-. 2 7,6 generadores de calor co o elementos piara la transducción ele rot r ica para suministrar energía térmica piara generar una burbuja l liqui o. Fl sustrato 1 ele elementa tiene electrodos de alambre diseñados (0. a 1.0 pi ci es sor ) ele aluminio (Al) o similar y una capa de resistencia eléctrica diseñada ( „01 a 0.2 µm e espesen*) de boruro ele ha f ni o (HfB2), nttruro de tanta! IO (TaN), aluminio al tantal i o (TaAl) o similares que ^in ituyen los lementos 2 generadores de calor -=.o e una película eie óxido de silicio (S?02) o sobre una película de nitruro de sili io (SilM) para aislamiento eléctrico y acumula ión térmica ormadas sobre l s sustratos de silicio o . Fl elemento 2 generador de calor genera calor cuanelo st? aptlica tur voltaje a l a c pia de resistencia mediante» los electrodos de alambre. Una cjpa de protección de S?02, SiN, o similar (0.1 a 2. µm >le espesor) t.e proporciona sobre*, la capa de resistencia (elemento 2 generador de calor) entre los el t odo-» de alambre, y ademas se forma un capia ant i -cav i tac i ón ele tantalio (la) o similar (O., a 0.6 µm de espesor) fiara proteger el elemento 2 generador de calor contra vario--, líquidos co o por' ejemplo tinta. La presión y la onda de ch ue q'i*» '»e genera al generarse y colapsarse l a burbuja es tan fuerte-» que la durabilidad crie la película de prolección dura y relativamente frágil se deteriora considerablemente. Por- consiguiente, se prefiere» emplear material como Ta o similar como material p ra la c apia ant i caví t ación. La capa de protección de?l element » 2 generador ele calor* puede omitirse* según la combinación ele líquido, estructura cié ruta de flujo e? líquido, y material de resistencia, l-.l material para la capa de re istene ?a que» no requiere ele capa de protección sotare el elemento 2 generador de calor ?r? luye, por ejemplo, aleación de i p di o- tanta] i o~al umi ni o (Tr-Ta-Al). Por con-.-, i gu i ente, la estructura del elemento generador de calor en las modalidades an eriores puede incluir solamente la capa de resistencia (parte generadora de calor) entre los electrodos, según lo descri o, o puede incluir una capa de protección fiara µi o ge-'r la capa de resistencia» En -i a modal i dad , el elemento generador de calor tiene una parte generadora c|ue tiene la capa de resistencia que genera calor n re-sµiuesta a la señal eléctrica. Sin tener que limitarle a esto cualquier medio es suficiente su crea una burbuja s ficiente par-a eyectar e?l liquido en l a primera parte de ruta, en el líquida en la segunda parte de ruta. Por' ejemplo, la piarte? generadora tie calor* piuecie tene?r forma de un tran ductor fot otérmico que genera calor al recibir luz como ftor ejemplo láser o un elemento generador de calor que iene la fiarte? generadora de calor que genera calor al rec bir ondas de alta frecuencia. Elementos furu urinales tales como transistor, diodo, cerrojo, registro ci corrimiento, etc. para impulsar selectivamente? el transductor el err trot érmi co pueden también construirse en forma integral en el sustrato e elemento 1, ademAs del transductor el ec t rotérnt i e o (el emento generador* de calnrí que comprende la capa de resistencia y los electrodos de alambre para suministrar la señal eléctrica a la capa ele resisten ia, como antes desc i o. En el su 3 rato 1 de elemento propiarc mnado con el elemento 2 generador de calor se encuentra una segunda parte* ele ruta 4 de una ruta tie flujo de-? líquido en la supierfii le inferior de la cual s.e forma un elemento genera o de t lor 2 para dejar que la eperg í a térmica generada pior el elemento generador e calor 2 actúe sobre el líquido. e a..» sobre la segunda piarte de ruta 4 se proporciona la primera fiarte de ru ^ a 3 e un ruta de flujo de líquido en comunicación fluida ci i reí ta con la .-.al ida ci eyección 9. la pared divisoria 5 formada de un material que tiene elasticidad como por ejemplo metal, re ina, o similar, se coloca entre la segunda parte? de rut 4 y la primera piarte ele ruta 3, separando así la segunda piarte de ruta de la primera piarte e* ruta. Un espacio sobresali nte en la dirección perpendicular* a l 4~ superficie donde se forma ele-1! el emento generador de calor (sobre el elemento generador de eral oí' 2) en las. rutas de flujo de líquido (región A en la primera parte de ruta y región B en la segunda parte e ruta en la fig. i) es una región generadora de presión de eyección donde? actúa la presión para eyer ar e l liquido. La caliera de chorro de-* liquido de la presente i nvenc ion genera una burbuja cuando el en la segunda parte de ruta es calentado por el elemento generador de calor, y la presión inc ementada con el crecimiento de la burbuja al generarse l a burbuja actúa en la región de generac i ón e? presión de eyección para eyectar el 1 lqu i o. Be forma un miembro móvil 6 en forma de viga mediante-* la h ndi ur n la parte* de la pared divisoria 5 ubicada en esta re ión de generación ríe presión cié eyecí ion. Este mi mbro mó il 6 *->e forma de tal manera que un e;- remo 1 tbre óa del intimo se encuentre en el lacio de la salida de eyección 9 (en el laclo corriente abajo de la dirección ele flujo de fluido o e-*n e-*l lado izquierdo encontrándose frente a la fig. 2), y una parte de apoyo ?>b del miembro móvil se ubic en el la o de una cámara 10 de liquido común a l -primeras partes de rut-t 3 y una cámara de líquido común 11 a las. segundas piartes de ruta 4. Puesto que la cabera de eyecc ion de líquido de la pr sente i nvenc ion tiene el miembro móvil í, en la pared ti i v i sor' i a ? frente la región b generadora de presión de eyetción en la 4 ' ~ segunda piarte de* ruta, el miembro móvil 6 opera piara abrir hac la el lado de la primera parte? de ruta 3 (o en la direcci n de la flecha en l a fig. ?) mediante l presión provocada por la generar ?óu de la burbuja del líquido en la segunda fiarte del ruta, como se describe a con inua ión. Fl material piara formar l a pared divisoria 5 que ti ne? el miembro móvil 6 puede er de cualquier ipo de material que tiene una re -. i s te c i -t a 1 o- solventes contra el líquido en las rutas ele flujo de líquido que tiene suficiente elasticidad para operar bien como miembro móvil, y que- permite la formación de hendiduras finas. Ejemplos preferidos de materiales que cumplen con esos requerimi n os incluyen materi l s de re ina que i nen una alta resisten ia al calor, alta resisten i a los sol entes y alta capar iclacl ele moldeo, más espe ialmente-* materiales ele re-, i n plástica de cién descubrimiento como por ejemplo piol i et, i 1 eno, pol oprop i 1 eno , poliamida, tereftalato de pol ?et 11 enu , resina cíe melamina, resma fenólica, resina e ; i? a, pul ibutadieno, jiol i uret ano, pol i eteret ere e tona , p> l i Lersu 3 í ona , po] ?a] i lato, poliimida, polisn] lona, poli mero d*-* cristal liquido (I.CP), etc., erampuestos químicos de los mismos, o metales tales como biói do de silicio, nitrura fie* silicio, níquel, oro, acero inoxidable*, etc. , aleaciones y compuestos químicos de lo-, i mos., a materiales recubierto- con titanio u oro.

El e?spe-*sor ele la pared ivisoria 5 se determina según el material y la confi uraci n empleada desde el punto de v?~.la que se pue a lograr* la resistencia necesaria para la pía red divisoria 5 y ue e] miembro móvil 6 pueda operar' bien, y gener lmente se encuentra dentro de] rango ele 0.5 µm a > j.?m, e forma pire fer i da. la conf igurae ion de? la hendidura puede ser ya sea rec tangul -t r co o se muestra en la fig. 24A, ahusada hacia el punte» de apoyo como se muestra en la fig. 24B, o amplia a hacia el punto de apoyo como se muestra e?n la fig. 24C la configura ión de la fig. 24B facilita la operación del miembro móvil mientras que la confi uración de la fig. 24C mejora la durabilidad ri l miembro móvil. Sin limitarse a las configurar iones, anteriores de la hendidura, la hendidura tic? 3a piresentc? i nvenc i n puede ser cualquiera que pueda po . t i oiur ->e en la segunda parte de ruta. Si el líquido gener- ior de* burbujas es iferente del liquido de eyección y -.> : se* desea e itar la mezcla de los í líquido-., la -il ura de la hendidura entre la pared divisoria 5 y el miembro móvil 6 se determina co o un hueco pa a formar un menisco entre l s 2 líquidos, controlando así la comunicación fluida entre los cios líquidos. Por ejemplo, suponiendo que el líquido generador de burbujas es un líquido que l i ene» l a viscosidad de apiro; uñadamente 2cP (e ent, i fio i se ) y el líquido di? eyec." ion e*s un líquido que* tiene una viscosidad de 1 O o más P , una hendidura de aproxi adamente 5 j.?m e-. suficiente para evitar la mezc la de 1 ov. 1 (quicios, pero se dese?a una anchura no mayor de 3 µm. La conf igura i n de la segunda piarte ele ruta 4 puede ser cualquier' confi urac ión que pueda transmit ir e c ivament la presión p-rovacada por la generación de la burbuja al lado ele?] miembro móvil. c, i n embargo, si la estructura de-* cámara (cámara generadora e burbujas'1 e.-> tal que la segunda piarte >ie ruta 4 t ? rv? una parte de garganta en e-*3 lado corriente-1 arriba le] elemento 2 generador ele calor (donde la e; presión "lado corriente arriba" signi fica un lado corriente-* arriba en un flujo gi'ande a partir del laclo de la cámara e l íquido a tpvtí'? de la posn i n de elemento generador de calor, el miembro móvil, y primera parte de ruta 3 hac la la sal ida de eyect ion) de tal manera que se pueda evi tar que la presión al generarse la burbuja -»e escape-* hacia el la o corriente arriba de la segunda parte e? ruta, se? puede evitar ad ?t.r i ona Im n le que Id presión al generarse la burtiuja en la segunda partí1 ele ruta 4 se esc afie hacia los alrededores, y la presión puede dirigirse y concentrarse hac la el laclo cíe1 miembro móvi l, logrando asi una e i ienc ia ci eyecci n ayoi y una fuerza de eyección más importante. Cuando la altura de» la segunda piarte de ruta 4 se determina cromo un valor qu es piarte e la burbuja generada en la ->eguncla piarte-* ele ruta 4 se e; tiende en la pin mera fiarte de ruta, se? puede mejorar' la fuerza eie eyece i ón más que en los". casos en los cuales la bur'buja no *^ extiende en la primera piarte ci ruta 3. P ira que la burbuja se extienda en la primera parte e ruta 3 de esta forma, la altura eie la segunda parte ele ruta A es de preferencia determinada para ser inferior a la altura de? una burbuja máxima y, espec 1 f i c amerit , la l ura se determina de1 preferencia dentro del rango de? vari s ji a 30 jjm. ira primeras parles eie ruta 3 en comunica ión con las sal idas ele eyecc ión 9 se roporc ionan arriba ci 1 * pa reci divisoria 5, y las primeras partes de ruta 3 se forman mediante la unión de la pared divisoria 5 con la pl ca superior rann ada 8 en la cual se forman los primeros reba o-. 3A para ser las primeras partes tie ruta. Fsta plata superior ranurada S esta equipada aei i c i ona I ent e con una placa de ori ficios ciue tiene las sal idas de eyección 9, y un retía jo 1 piara se-r la cámara de liquido para sumí ni -.t ra r el l íquido a 1 as ruta*-» de flujo de líquido. Puesto que-1 esta cabeza de eyección de l íquido se arregla ci tal manera que la ¡¿egunda piarte der* ruta que es una parle fiara generar la burbuja este separada de la primera parte de» ruta en comunicación fluida con la salida de? eyecc ¡ ?n por la pared divisoria, el l íquido en la segunda parte e-* ruta A líquido ele? la estructura de dos rutas que permi e que líqui os diferentes puedan learle en la segunda parte de ruta y en la primera piarte de ruta. La placa superior 8 tiene un primer' orificio de suministro piara suministrar el liquide) a la primera cámara e líquido común y un segundo orificio 21 p ra suministrar' el liquido a la segunda cám r e liquido común. Fl segundo arifi» ?o de -tuin 1 n is tro de? líquido se conecta a una ruta de co urpcaí ton 1 ol orada fuera ele* la primera tr mara ele líquido común, perforando la pared divisoria, y comunicando con la un a cámara de líquido común y gracias a esta ruta de co umcaí tan, e*l líquido a suministrar a l a segunda parte de ruta puede su inistrarse a la segunda cámara de 1 {quicio común sin mezclarse1 con el liquido a suministrar a la primera parte de ruta. los tamaños, configuraciones, y ubicaciones de lo*-, elementos generadores de calor 2 y los miembros móviles 6 no se limitan a los arriba de*=>cr?tos, ~>mo que puede determinarse para i.iltlizar efec ivamente la presión al generarse la burbuja > orno ener ía e eyección. En la presente invención, la pared divisoria 5 y las paredes laterales de la segunda parte de ruta 4 s forman en form1! integ il. Del término "integral" en la presente se refiere a la p? ireci divisoria 5 y \a - > par des laterales ci las segundas arte-, .je ruta 4 que conforman un miembro único cuando l a pared divisoria 5 se* une a l sustrato de elemento 1, y, pior consiguiente, el material para la pared divisoria y el material piara las pía redes laterales de? las r-iegundas partes de ruta pueden ser las mismas o diferentes entre ellas. 5 Puesto que en la. presente mvenr ion la ared divisoria 5 y las paredes laterales de las --.egundar. partes de ruta 4 se forman en forma integral, no puede haber hueco entre la pared divisoria 5 y l s i edes laterales de las segunda--, partes e ruta 4, mejorando así el rendimiento de* la caber-» t(") de eyeerr i n de liquido. Cuando la pared divisoria 5 y las paredes 1 te 11 es de las segundas partes e ruta 4 se forman en forma integral , se pueden formar ranuras de ajuste* pa ra a ustir las paredes de las primeras pai es de ruta >-*n partes de l a pared i isoria 5 en contacto con la» paredes laterales de las primeras partes ele ruta, la formación de las ranuras de ajuste en la pared divisoria 5 permite que n la placa sup>*r ictr ranurada que tienen las paredes laterales de las primeras parte-.» de ruta pueda fnir.?er 1 ciña rse fácilmente en relac ion a la pared divisoria 5, y presenta I ambl n el efecto que la des iac i ón posit ?onal puede redurc i rse entre las primeras a tes fie ruta 3 y 1 o a miembro móviles 6 cuando la placa superior ranitrada 8 se ei'pande t?rmic imente, Fn la >lest rtpción dt? la presente invenci n, el nombre "pared divisoria ranura a" se em lea para un miembro en el cual la pared divisoria 5 y las paredes laterales de las secjundas partes ele ruta 4 se forman integralmente, iscriminándol así de la pared divisoria ordinaria. A continuación se explicará un ejemplo ci un método pa ra ensamblar la parte priuc ipal de la cabeza de eyección de líquido meg n la présenle invención. la fig. 4 et> una vista en perspe iva guiada para mostrar la par'te principal ele l cabeza de eyección de-1 líquido de la pire-;en e invención. Fn este-* ejemplo, la placa superior* 8 se fi a primero con la piarte inferior' arriba y la p red divisoria ranurada 5 que tiene l s miembro móviles se.1 c loca sob e la filara superior 8, usando una bomba de vacío. Despiués e* l pos i c i finamiento de la pared divisoria mediante icroa uste fino, 1 < pared divisoria ranurada 5 se ajusta en la pil ca superior' 8. Después usando una fresadora ranuraciora, las posi i nes ele* I ov> transductores el ec trotérmicas sobre el sustrato 1 se miden en una imagen obtenida por mecho de una cámara ele TV o similar, y se mide también una pos?> i n de la placa superior 8 a unirse en l a. posición determinada en l a imagen, por lo que se logt'3 un pos ic i ona i ento entre los trapsdnctores el et. tro térmicos formados e?n el sustrato 1 y las -=>ai?das de eyección c?. Desule la filara superior 8 y e] sustrato 1 se prensan piara ajustarse el uno con el otro por medio de un resorte de retenc i n 102.

Otro método de? fresado entre la pilaca superior 8 y el sustrato 1 es la coneiíión superior por- e¡.e i tac i ón. La "corte!, i ón superior por* e: citación" se realiza e la siguiente? manera. l a placa superior 8 se os i c i ocia primero aproM madamente sobre el sustrato 1 , piroporc i onaclo con una ranura de enganchami nto en la cual un fia red de ruta de flujo de* la piara supiep cir 8 se a usta y l placa superior 8 ->e oprime leve y normalmente a partir de la piarte? superior. F^ ,*ste estado, se suministra una señal a un dispositivo ? e.-oe léc tp co n contac to con la superfi ie inferior frontil de una platra de base 101 de? tal manera que la pared de ruta ele1 flujo se ajusta e*n la ranura de enganchamiento para piosicionar la pla> a superior y el sustrato t. El di posi i o pi eroeléc tr te o piara proporc ?onar ibraciones fondas rec tangulares de aproximadamente 5 PH en este ejemplo) sobre es sustrato t vibra en la amplitud eie ?:. i madamente 1 µm. Fl t i empo es ele aproxi adamen e t segundo. Dt*spués de la suspensión rie la vibración, se? sujetan entre ellos por medio de un resorte de retención 102 o por me io de un adhesivo o similar. Además la primera cámara de líquido 10 y la segunda cámara de* liquido 11 se sellan con sellador alrededor de ellas., manteniendo así u hermeti idad.

A continuaci n se* explicará en detalle un m to o para la producción eie la pired divisoria espe ialmente en la c bez de eyección de líquido de la presente1 invención. La f i g .. 5 es una vi".1,=* de perspe iva esquemá i a para mostrar la pared di visor' i a ranurada que incorpora integralmente la pared divisoria y la-. paredes laterales de las segundas partes ele* ruta según la piresente invención. En la f?g« 5, el numero 5 se refiere a la pared divisoria ranurada, y un miembro móvil 6 se forma pior una ranura ¿>A en la pía red di vi sor* i a ra nur-ada 5. Además, l a paredes laterales de l s segundas partes de ruta se propiorc lonan también en la pared divisoria ranurada 5, y 1 paredes laterales e l a -, .eyundas partes de ruta forman dos segundos rebajos Aa pa a ser l s segundas partes de ruta. Puesto que esta pared divisoria ranurada 5 tiene.1 el arreglo integral de la pared divisoria y de paredes laterales tie la-. segundas a te de-1 ruta, no ocurrirá pingi'in hueco entre la piarte de pared divisoria y las partes de are s laterales de* las segundas piarles de ruta, a lo que reduce? las pér ida*-; de presión de eyección y propagación eie presión e?n las. rutas de? flujo de líquido adyacen es, permi iendo así proporcionar una cabera de eyección de líquido excelente en cuanto a sus cara terís i as de eyección. Cuando se emplea esta estructura, l a productividad de la cabeza de eyección ele líquido puede mejorarse más que antes.

Además, er*3 difícil formar las ranuras de ajuste3 5a fiara posicionai las paredes de las pri eras partes de ruta en la pared divisoria debir.it> a la resisten ia insuficiente de la pared ivisoria cuando la pared divisoria se? formaba separadamente e las segundas partes de ruta. Sin embargo, la estru ura integral de la pared divisoria y las segundas partes de ruta permiten que las ranuras 5a de ajuste puedan formarse en la ared divisoria ranurada 5. Irf pared divisoria rauurada 5 e la presente ínveiu ion permi e que la parte de pared di isoria y las partes de pa edev. laterales de las segundas-, partes de ruta puedan const uí! e3 e-* un mi mo material o de materiales dif rentes. Las hendiduras 6? en la parte de pared divisoria pueden formarse mediante el e?c t ro fnrpiac i ón o irra iación láser. Especialmente, cuando la pared divisoria se forma mediante el ec tro formac i ón, las hendidura*. 6a pueden formarse con al a pre isión ai'm cuando la;? hendi uras de la pía red divi oria están consi erablemente delgadas. Ademas, puesto que las hen iduras 6a se forman también al mi mo ti mpio que la producción ele* la pared divisoria, se puede simplificar el oce-??. Pne-? o que el espesor de la pared diviso ia puede controlarse n forma regular cuantió la pare di isoria se produt e mediante electro-forma ión, el desempeño de ?-ada miembro móvil puede ser uniforme ai'm cuando la pared i isoria tiene varios miembro móviles.

O Cuando las hendiduras se hac n por me*cl?o ele irradiación láser, se piuede* emplea una resina así • orno un metal co o material piara la formación de la pared di i oria, l as partes de pared laterales ele la segunda parte-1 de? ruta en la pared divisoria ranurada pueden efectuarse mediante el e*? traformac ion o grabado. Para simpl i ficar el proceso, la pared divisoria puede elaborarle mediante el c t rof ormac i ón en un matriz que iene un molde del segundo rebajo. _<j-r. ei-t remos de? las hendi uras elaboradas mediante? el ect raf or atr 1 ón o 1 rrad lacr 1 ón l ser* i nen una forma ahu"sada en P o una forma ahusada recta como se mues a en las f i g . 25a y 25b. La fig. 25a es ?n\a vista en corte ampl iada de las hendiduras odu ida por la e I trof or at ion y 25b es una vista en curte ampl iada de la^, hendiduras formadas por irradiación láser. Las formas ahusadas de las f ier-s. 25a y 25b. ienen la.s siguientes ,-enta a-.. Cuando el miembro móvil se der,p>3 a .-a durante un l 1 ryci tiempo, un retj 1 óp de-* opierae ion del miembro móvil puede desviarse cle*b 1 do a la fa iga mecánica ("reducc ión Je riijider) en la dirección X o en la dirección Y co o se* muestra en la f ig. 25C. 81 la región ci operación del miembro móvil se desvia, la durabi l i ad del miembro móvil puede redu irse. Sin embargo, los extremos de las hendiduras-, están ahusa o.-., la forma ahusada del miembro móvil funciona piara corregir* la desviación cu ndo el miembro móvi l opera como se* muestra en las ficjs. 25c y 25D. 31'n? si la re ión cb opera ión del miembro móvil se des ia de tal manera que la durabilidad del miembro móvil puede mejorarse. El ángulo de ahusamiento a 1 f a de los ex t re . ?s de hendidura varía se?g?'?p las cortii i c ?> mes tie fabricación. Sin embargo, se encuentra que la ventaja anterior puede ohtc*ne?? ne si e] ángulo do ahusa iento e*s 2-45* en una di reo i ón del espesor del miembro móvil . Do preferencia, el ángulo de-* ahumamiento de lo*-, c-*;- 1 r nto ele1 hendidura se.1 encuentra dentro de un rango cié* 5-15°. A i ont ilinaci n se explicarán métodos espec íficos para lo producción de* la pared divisoria ranurada usando lo--, s i eje» i ente* . e j rrt > 1 os . La pía red di isoria obtenida en cada eje plo a seguir* e un miembro que* puede incorporarse adecuadamente en la trabe»: t eie eyecc i n e liquido de la presente inven i n. los dibujos e;-p3 icativos para e.*;-fil icar los e emp.los 1 a 7 son cortes a lo largo del plano A - ' en la fig. 5. T jerrtf )1 o 1 ) La -> Fiys. 6?. 6h . son vistas en t oí te, uem ti a*» para mostrar los paso™, para 1 c¡ produce ion de la ared divisoria, como ejemplo del método para produc ir integralmente la . parede-, laterales de las segundas partes do ruta y lo.; miembro» móviles en la pared divi o ia mediante el e t » f or ac i ón en dos etapas.

Como se* muestra en la fig. 6a, el su.-strato 111 SUS (BUS--~,l ¿> en P'.te e o p l ) como sustrato de acero inoxidable fue-* primero recubierto con una capa protectora 1123 de 4 µm ele1 esp?esor, y sobre» c ta capia protec tora se til seño una forma que corresponde a la parte de hendidura de1! miembro móvi l .

La capa de citeei ion 112a us da fue PMFP P--AP9O0 (nombre comen ?al , di-.ponible e*rt Tok io Out a Sha). La e; posici n se-* real ?,:ó usando MPA-^OO isponible? en Canon kabushil- i Ka isa, y la dosis de? exposición fue de 50O J/cm2. Se realiró el revelado uñando un revelador, P- G (nombre comerc ial, disponible en Tok io ul a Sha) . Después, como .-.e muestra en la fig. óB, se real ?¿? el elec trodepósito hac iende) crecer una capa de níquel hasta 5 pin» co o una primera capa de recubri i nto 11 ""í sobre1 el sustrato 111 , l a soluc ión de recubrimien o u=.ada fue? la que contení 3 sul fama to de níquel, u material que* disminuye? la tensión ICC (nombre registrado, cl i spom bl e en WORl D MFTAl TNH. ) , ác.ido b?rii o, un material para evitar perforaciones NR-AP (nombre comercial , disponible en WORLD MFTAI INC. ) , y cloruro cíe1 níquel. la el c ról isi durante e] elec t rode ó-? i t,o se stabl e>~ i ó bajo con iciones tales .que el ele*c i, rodo se cronei tó q 1 ánodo, el sustrato 111 SUS ya diseñado fue • onectatio al cátodo, la tempera ura la funci n de recubrimi nto se* controló en 5o°C, y la densidad e corriente se» establec ió en 5 A/dm2. l a primera capia ríe recubrimiento 113 formado sobre el sustrato 111 me'diartte l í trodepó'.ito como antes desc i comprende un miembro de p lat 113 pía ra cons tituir 1 a pia rc'd ci i v i sor i a , y i e b ro óvile.-, 11 b en forma de una vicjr* volad i 7a ¡separada del miembro de placa 113a por un a hendidura predetermi ada. Después, cornil se muestra en la fig. ? , el sustrato SUS líl fue sumergido n un solución tatal iradora de paladio, y lie? é si? formó una capa de protección 112b de un espesor 10 Lint sobre el sustrato 111 SUS. Fsta c pa protec ora fue diseña a en la forma correspondiente a los rebajos piara las segunda*, partes e ruta, l a capa de protección 112b usada fue PMFP P-AR900 (nombre comercial , disponible en Tol ic» Dul Sha). L a exposición se-1 r- li.ro usando MP - ÓJ-OO isponibl de Canon r-'-tbushi 1 i 1 a i sha , y la dosis de eisfiosu i órt fue e 1 ? ?tt3/cm2. Se1 real i.ó el revelado de la misma manera que en el paso pre .tentado en la fig. ¿>a » La capia de? protec ión l 1 b se formó en partes de* banda alargadas i nr 3 uyendo los miembros móvi les l 13b ci la primera c ipa de recub imi nto 113. Las par + es de* banda son p?-trt,e?s que se volverán las seguivl-is parles de? ruta 2 co o segundos rebajos. Después e e?r>>>, como se muestra c*n la fig. ¿ni , se real iró un recub i i n o sin el c troció basado en N?--B para formar una película e? -tfiro? i ma. lamente 3 µm fie espesor en partes e;,pu,-*stas de la primera capia e recubrimiento 113, y cle-?pué , se? luro crecer una capa e* recubrimiento de-* 7 µm pot* el mismo método ele el tro-depósito descrito en relación con la f?g„ ¿>b para formar una segunda capa de recubriinieuto 114. Fste paso de recubrimi nto puede efectuarse solamente.1 mediante el recubrimiento sin electrodo basado en N?--b piara formar' la segunda c apa de? re. ubi imiento 114 de 10 pim ele1 p s r. La segunda capa de recubrimi nto 114, formada sobre la primera r a a ele recubrimiento 11 mediante el paso de n-r*> ubr i m lento antes menc ionado, se une integ l ente--» con fu r- suficiente ron la primera capa de rec ubrimiento 113. Después de-1! término del recubrimiento anterior, c o se muestra en la fig. ó>e, las capas de protec ión 112a, 112b fueron removi a?. y l as placas de níquel de* la primera capia de recubri i n 113 y la segunda capa de* recubrimiento 114 fueron removidas del sustrato 111 SUS pior mecho de vibración ultrasónica o similar piara formar los segundos rebajos 116 para vol erse l s segundas piartes tie? ruta y l s miembros móviles 117 en la p~?red divisoria, obteni ndose asi una placa de? níquel 115 que puede emplearse como pared i i i j or i a . l as ranuras para posic i ona r las pía redes de las primera-, piarte?'., de? ruta, si se desea formar en la pared divisoria, piued 'n firodu. irse aci ic lo a 1 mente según los siguientes piasos. De»pnés del paso de la fig. 6 , 'rumo se? muestra en la fig. f, e.11 sust rato 111 , con r emcie ion de-1 residuos en el pa-ío de la fig. 6 , se f i jó al laclo ele1 la segunda capa de recubrimiento 114 de la placa de ñique! , y 1 =t superficie del lado en donde se op?c-*r? la remoción de la piar e de níquel ue cubierto con una placa de-1 pr tec i n de 2 µm de.* espesor. Despiués, se d ts>.-*ñó la t apa rie* proteo, t n para remover partes ele la mi ma piar que se vuelvan las ranuras piara piosie tona r las paredes de la ^ primaras partes de ruta. spués, i orno se muest ra ent la fig. 6g , la placa de níquel fue gríbi t para formar 1 s-s ranuras de ajuste 119. Fl producto e grabado em leado puede ser cloruro férrico, una solución de me:rla de Acido nítrico, ícido acét ico, y acetona, o imilar. Después tie esto, co o se muestra en la fig. 6 , la placa ele protección 112c fue removida para formar los megundo rebajos 11 piara vol verse las segunda*.-, parles de ruta, los miembros móviles 117 en la pía re divi oria, y las ranuras 11 *"•? para jir icinar las paredes de las primeras partes rie ruta, obteniéndose asi la placa de* níquel 115 er|ue puede emplearse romo pired di isoria. Aquí, l número de ref reuc la 118 en la f i . 6h se refi re-1 a un rebajo fiara eí íbir una pared n una primera parte de? ruta en la placa supier i cir pi ro uc ida sepa rada ente „ Puesto que1 en e*¿.te ejemplo la hendidura se? forma mediante tílectroformac i n entre la pared divisoria 115 y el mi timbra móvil 117, la anchura de hendidura puede controlarse pirer i sámente dentro cic un rango p?re*do ermí nado y el e-,pe->or de la p red divisoria 115 puede también controlarse un i f o míeme n te. (Ejemplo 2) n figuras 7A a 7D son vistas en corte* esquema t icas para 5 mostrar los pisso*.. para la protiuce i n de la fiared divisoria co o ejemplo fiara producir uni formemente-» las a e es laterales de? las segundas parles de ruta, los miembros móvi les y las ranura-. par-i po.ic i ciuar la-s paredes de l s primeras partes de ruta mediante» e»l ec tro forma i ón usando un-? ma i r i »• . Se1 preparó prel i mi nar ent e una r-s t r i ,* 121 que tiene* l>?=> segundos reba os para vol erse las segundas partes de ruta como se muestra en la fi urra 7A, Esta ma h" puede producirse* por ejemplo según los 5 siguiente--, pasos. Como se1 muestra en la fi ura 8?, una placa de protección 112A de ap re)!-' uñadamente 2 µ de* esor se formó sobre el sustr ía SUS 111 y 3 a placa ele pirotecrc i ón 112A fue di eña o mediante fotol i ogra ía para remover partes para que s <") vuelvan 1 a -•> segundas partes ele.1 ruta a partir ele un miembro itegral para la pared divisoria. Después, como se muestra en la figura 8}-¡, las parte , expuestas el sustrato 111 fueron grabada-.-. usando ¡>na solución de mezcla de alcohol , Ai ido clorhí rico, y perós'i o ele.1 hidrógeno piara formar los 5 segundos retía os fiara .que se? vuelvan las segundas piarles de ruta en la ro funcí i ad de-1 aproximadamente 10 µm „ Después de >.-*=-. tu, como se mues ra en la figura 8C, la placa de ¡iroterc i órt 112A se removió piara obtener una matriz 121 .que comprende el sustrato 111 que-* tiene los segunda.s rebajos. Preparando la atp: 121, co o se.1 muestra en la figura 7F¡, se forinó después una capa de recubrimiento ci piratee c i u 112B ele 7 µ,n de espesor* en las partes inferiores de la -segundas parle?-» de rebajo en la matriz 121, y es a capa de protección fue-* diseñado fiara formar partes que corresponden a la-; fia les de hen idura fiara los i mbros móvil s. Después, co o se* muestra en la figura 7C , se real \ zó el ele.; tro- depós ¡ to de la misma manera que en el ejemplo l para form-*r una c^ a de recubrimiento de níquel 113 de aproxi adamente'» 5 tim d espesor sobre la superficie* .-.i?epor la matriz 121 y las superficies internas de los segundos reba jos . Después, co o se» muestra en la figura 7D , la capia de proteo- i n 112P s removió y la placa de? níquel que comprende la ta ia de recub imi nto 113 fue remo ida de la atp 121 piara formar los segundos rebajos 116 para volverr.r* las segundas piarles de* ruta, los mi mbros móviles 117 en l pared divisoria, y las. ranuras 119 fiara po icionar 1 a -s paredev» de las primera', partes de ruta, obteniéndose así la placa de ñique-*] 115 que puede emplearse cromo are i v isori a .

Puesto qcte? e?n este ejemplo la pared divisoria piuecle» formarse me iante e] tro- recubrí míen o simple medi nte el uso de la uta t r i : 121 , el paso fiara la formación ele los segundos rebajos puede el iminarse, diá inuyendo así e*l número de pasos. Puesto que también en e.ste ejemplo las hen iduras fiara los miembros iles 117 se? producen me iante electr for atr i ón de la misma manera que en el e i emp lo 1 , la anchura de hendidura puede? controlarse con precisión dentro del rango predeterminado y el espesor de1 la pared divisoria 15 puede controlarse» uní for emente. íF em lo 3) Las figura -. ^A a 9F son vistas esquem&l 11 as, en t orle piara mostrar los pasos para la produce i n de la a od divi soria i ei ci ejemplo ar;* 1 =j formac ión integral ele-1 las paredes l aterales de las segunda-. partes de* ruta y los miembros móvi les en la pa red divisoria fiara real i zar una i-'leí tt'ci forma i c ón en deis etapas con materiales di ferentes y la formación de los segundos rebajos mediante grabado. Primero, romo se muestra en la f igura 9A , la capia de* protec ión 112A se forma ci un espesor de 5 µm sobre e*l sustrato 111 SUS, e?n forma simi lar al ejemplo 1 , y esta capa >it? protec ión recibe un diseño para formar partes que t orrespionden a las partes de hendidura para los i timbro» móviles, la anchura ele ] => capia ele insist n ia 11 A iara la formaci n ele-* las piarles de hendidura puede determinarse en forma arbitraria dentro del rango e .5 a 1 µm „ Después, co o se-1 muestra en la figura 9, se real izó el elec. tro-depósi leí para hac er crecer una capa eie oro de 5 µ?rt de espesor t omo primera capia ele recubrimiento 113 e-*n piarte*-. ex ue tas de] sustrato 111. l a solut t n de recubrimiento empleada fue > lannm de pota >?o oro y r isnuro ele potasio, la electról isis al realizar e*l el ec t ro-depiós 11.1 s obtuvo en tundiciones tales que r-1! elec trodo fue conet tado al Ánodo, el sustrato 111 SUS ya con diseño fue-* conec ado al cátodo, la temperatura e* la solución de recubri iento se controló en ó 5 °p, y 13 densidad de r orri en te* fue de? 3A/dm2. Después, co o se» muestra e^n la figura 9 , se reali.ro e?3 p I et 1 rn-de ósi t o en las mi simas condic iones t on la misma solución de recubrimiento que e-*rt e-* I ejemplo 1, sobre la superf ic ie del .-.us trato 111 , con la capa de oru ele trol í icamente formada sobre icho sustrato, como una primera capa tic-» reí ubr milenta 113, de» tal forma que crezt una capa ele ñique] de-1 10 µm de espesor* co o segunda capia e reíci tb r* 1 i ento 114. Despul s, como se muestra e?n la figura 9D, piara la formación de las segundas ruta--, de? flujo de l íquido, se formó una capa de proteo ion i 12B sobre la segunda capa de recubrimiento 114, y st-* ef ctuó el diseño mediante fotol ito afía fiara remover las par* tes que serán las segundas piarles de ruta.

Después, co o se muestra en la figura 9E , piarles ei, puer a de» la segunda capa de recubrimiento Í IA fueron grabadas usando el agente para grabar*, ya sea clorura férru o o una solución de-* mezc la ele ¿u i o nítrico, A ido acético, y acetona \)ara formar los rebajéis en una profundidad de aproi! na d amen te 1¡"> jj¡»n . Fstos rebajos se volvieron las '..ecjunclin par't s de ruta 116. Puesto f|ue el oro eie la primera '-apa eie i ecnbr imi ento os mr-iiiluble en el producto de grahaele-1, solamente se-1 grabó la segunda capia de reí ubi11 mi ento. Por con i uiente, a pro fundí dad de los rebajos que se-* ol e á las segundas parles e rula u controlarse? mechante el espesor de la segunda ptiaea ele1 recubri i nto, lo que permite una forma ión de alta pirer li.tón ci las segundas par-tes de rula. Finalmente, como se muestra en la figura 9F , lai capas ele protección 112a y 112b fueron removidas para formar los segundos rebajos. l ió para volverse ],je, segundas partes ele rut-t y los miembros móviles 117 en la pared divisoria y u miembro de placa que comprende la primera capa e recubrimiento 113 y la segunda c afta de* recubrimiento 114 fueron removidos de-* sustrato 111 SUS, obteniéndose así la placa de ñique*] 115 ue* puede emplearse co o fiared d i v i 'ioria « Pue t-o que la presente invención permi e el uso de un metal costoso f rin un pequeño modulo eie Youn 's como nrs-len al fiara formar* los miembros móviles 117 en l a pared divisoria 115 obtenida mediante elec t ro furrnai i n de da., tipos de metales, se pueden mejorar la durabilidad. ( j empí lo 4 ) Las figuras 1 OA a 1 OH son vistas e»n corte esquemá icas para mostrar paso» par-* l a formación de la pared divisoria como ejemplo de formaci n integral de las paredes laterales de las segunda*. piarte*, de ruta y los miembros móviles en la pared divisoria mechante el ec t roformac i. ón y película seca. Primero, canto se-1 muestra en la figura i OA , las piarles que corresponden a las partes tie? hendidura de los miembros móvil s fueron formadas sobre el sustrato SUS 111 de 3 -t misma manera ue en el ejemplo 3„ la anchura de la capa e protección 112A piara foí-mar 13 -> p-irtes ele hen idura puede deter inarse en forma arbitraria dentro ele*] rango ele» 0.5 a 1 Jim. Después, como se muestra en l a figura 10B, se realizó l elec t vo - eµósi to hai lendo crecer* una capia de* níquel de 5 ?m ele eppes r co o primera c afia de recubrimiento lili en las parl «- e¡ puestas riel sus rato 111. la solución de* ret ubr i miento empleada fue la solución que contenía su I fona l o l níquel, un material que disminuye» la tensión ZFPD Al. L (marca registrada en disponible en WDPl D METAl METAt INC,), y clorura de* níquel. El campo eléctrico al reil ?,:ar el el ec tro -depós i to e stableció en condicione*; tales que-1 el elec troció fue conectado al Áno o, el sustrato 111 SUS ya con di eño fu* cone tado al e a to o, la temperatura de* la solución de recubrimiento se corrí, rol en 50 **í , y la densidad de corriente fue e? 5A dm2. La primera capa de recubrimiento 113 formada ele? esta maner'a sobre el sus ti ato 111 mediante el ectro- epósi o comprende un miembro pilara 11 A para formar l p recí i isoria, y los iembros móviles 113 en forma de una viga voladiza separada por- la hendidura predeterminada del miembro de placa 113A. Después, c mo se muestra en la figura 10D, una película seca 114 de 1 jjnt de espesor se coloró sobre la superficie el ec tro formada , y se? real ?' el diseño me iante? fotoli ogra ía fiara formar' los rebajos par. volverse las segundas part s de ruta. Despu s, co o se muestra en la figura 10E , las capias ci protecci n 112? y 112B fueron remov i tias para formar los se*gundos reba os 116 piara volverse la-. primeras partes de ruta y los miembros móviles 117 en 13 pared divisoria y el miembro de-* pía. .i formado de la primera capa de recubrimi nto 113 y la película seca 114 fue r movido del sustrato SUS 111, obteniéndose así la. placa 115 ele níquel y resina, que puede emplearse coma pía rec! divisoria.

Puesto que en este ejemplo las paredes laterales de las segundas par' tes de ruta pueden producirle--» mediante el diseño de la película seca, la pared divisoria puede producirse-1 mas fAc i Intente que en el ejemplo t. Puesto que? la placa de níquel y la película i a se adineren entre ellas mediante adhesión de la película seca en sl, no se otase*rva ningún hueco entre la piarle de pared divisoria y las parles laterales1 de? las segundas partes ele rula. Puesto que en este ejemplo las hendiduras pi ra los miembros móviles 117 se forman mediante* el ec t raformac i ?n en forma similar il ejemplo 1, la anchura de hendidura puede control rse* con precisión dentro del rango predeterminado y el espesor de la pared divisoria 15 puede controlarse uní fá meme11 e ,. (Ejemplo 5) los e em los 1 a A mostraron los mé Icios para la producción de las partes tie* hendidura mediante elec tro for-mac i ón , mierd ras que el presente ejemplo muestr un eje-mpilo para formar las herid i duras mechante rayos lA^ r, las figuras 11A a 1 ID son vistas en forte esquemáticas para mostrar los pa =.os para ] =? producción de la p>are*d divisor i s* to a ejemplo piara la forma* i ón integral de las par ele»-, lateral*-1-, las segundas partes de ruta, y los miembros móviles fc»n la pared di visor ?=? mediante l a forma ión de las A4 parles e* hendidura con lAser y la formación de las segundas pa tee de ruta mediante grabado. Primero, tomo se muestra en la figura 11A, se* preparó una placa de níquel 129 de 15 µ de espesar para que se* uelv una pared divisoria, y e1 colocó una mascara 120 que tiene hen i uras de ancho correspondi nte 3 lo ancho de? la hendidura entre la fiared divisoria y e»l miembro móvil, en relación a la pía*.a de níquel 129. Después de esto, s real 1." ó irradiación con e YAG para formar rebajos 11 a finos. I ¡n aparato de irradiación láser emplead») fue* I.Ul n isponible en Hi achi I enl 1 , y la irra i ción se realizó durante un segundo ron una energía de i piulsa de 5 J/rrr-2, la anchura de impulso fue 1 itrs, y "."¡OO \\¿. 1.a máscara 120 usada puede ser una máscara perforada de níquel o una máscara de vi cl r 1 o . Despides , co o se muestra eu la figura l IB, el sustrato 111 GtJ ? fu unido a la supepficie irradiada por láser de la placa de níquel 129, y despu s, ara la formaci n de l -, segundas partes de-* ruta sobre la superf ic ie opuesta -*.1 mismo, se formó un recubrimi nto de capa de protección 112A de 2 µ de espesor mediante tecnología de fotol itografía y partes que e vol erán l3 se un as partes e rula fueron removi a e lante iseño por fotol itografí . Después, c mo se* muest ra en la figura 110, se1 rea) i.ó el grabado de la profundidad de apr>?;< tmadamentn U> pm fi-ira formar- los segundos rebajos pera volverse las segundas partes d>* ruta en las partes expuestas de la pl ca de ñique] 129. Fl agente de grabado empil eado fue. i loruro f rrico o Ja solución de me¡r la de áci o ni ti ico, ácido acética, y ae lona . Despu s, co o se muest a en la figura 11D, la capia ele? protección 112A fue removida y se? eliminó la superfi ie irradiada por láser ele ] <* placa de níquel 129 del sustrato SUB 111 y se formaron los segundos rebajos 116 para volverse las segundas partes ele rula y los miembros móviles 117 en la pared divisoria, oh te í endose* así !a placa de níquel 115 que u e learse to o pared ivisoria,, 171 material p ra formar la pared divisoria en el presente ejemplo puede sel ecc i finarse entre cobre, latón, molibdeno, niobio, titanio, tungsteno, o aleaciones eie los mismos, que-1 pueden ser procesaeio -. , además del níquel. I~l presente ejemplo permite que una resina a uti 1 ?.*ar co o material para la formación de-.» l a pared divisoria, i orno por ejemplo plás icos como ABS, pol i sul fona , pul i carbon to, pol latreta 1 , polímero de t pslal líquido, etc , pueda procesarse tambi n. Sin emb rgo, • ».?ma es difícil grabar las resmas, y c*l frr?co antie?n lo con láser es fácil, se* prefiere procesar tanto las segundas piarles de ruta como los miembros móviles con 1 ?spr . 6Ó> Puesto que el presente ejemplo empleó el láser y grabado para p rac -.a ien o, la pared divisoria 115 puede produ. i se fácilmente en las ch me» n i cin s precisas. El presente ejemplo permite también ue1 la resina se use • orno material pira 5 pared divicop.1, ("Ejemplo 6) las f iguras 12A a 12D son v?si3 en crn*te, esquemáticas pi r , mostrar los p-asos piara 1 -* producc ión de la pared divisoria co o un ejem lo piara la formación integral de las paredes ]0 laterales de las segundas partes de ruta y los miembros móviles r»n la pared divisoria mediante la formación de partes ele» hendidura con lAse*r y la formación de las segundas partes de ruta por medir» de grabado. Primero, co o se fttue»stra e.*n la figura 12A, se preparó u a piara de níquel 129 de 15 µm de espesor* para volverse la pared divisoria, y el sustrato 111 F>IJ<3 st? unió a la supiepfic inferior' ci l pilara de* níquel 129. Después de u-sto, fiara la forma i n de las segundas parte-»'- de rut-*s s b e la superfn le opiuesta, se.1 formó co o recubrimiento de 2 capa protec ora 112A de 2 µm ele espesor mediante tecnología de f olcil i togt-a f í i , y se real i, 'ó el diseña me iante-* fotol itografía piara remover las partes que serán las egunda-i partes tie ruta. Después, co o se-1 muestra e?u la figura 12B, se realiró e-'l grabado en lo prof unch fiad de apro:-- i fir-icifjment e m µm para ¿>7 formar los segundos rebajo*. fiara volverse las primera . partí?:, de rut i en las ar s e-1,- ue tas de l a placa de níquel 129. Fl agent de graba cío empleado fue cloruro férrico o ]a solución de m z la de ácido nítrico, á i o acético y acetona. I a placa de níquel 129 fue removida del sustrato 111 SU*-!, Después, como se mue tra en la figura 120 , se» colocó una má-scar-t 12 ue tiene-* hendiduras de ?.n \ ancho que corresponde a lo ancho de la bendidura entre la pía red divisoria y el miembro móvil en relación con la sup rficie superior* de l placa de ñique?] 1 9, y ?lt?spués -se irradió con láser YAG a Ira vé'-, ele las hendiduras e.*n la máscara 12 para formar los miembros móviles 117 en forma de viga voladiza y en lo ancho cié.-1 1J hendidura anterior en las parles inferiores de los segundos r-ebajas en la p l ac a de níquel 129. F. l aparato de irradiación láser empleado fue1» LUÍ 0 disponible en Hitachi 1 nP i , y ]a irradiación fue rea lirada durante un segundo con una HIIG de-* impulso 5 T/c?n2, l a nchurs* de i pulsn de 1 m , y 3 O H:-. La m sc r3 120 empleada puede ser* una máscara perforada »ie níquel a una máscara ci vidrio. Después, como se* mues r-t en la figura 12.D, el sustrato 111 fue removí tío de la superficie inferior e la pilaca de níquel 129, y las capas protectoras 112A y 112P fueron removidas fiara formar los segundos reb os ttó> para volverse l *-. segunda'-, par-tes de ruta y los miembros móviles 117 en 3 -i AR ía red divisoria, obteni ndose de.» esta forma la placa ele níquel 115 que puede emplearse co o pared divisoria. Puesto que este ejemplo usaba el láser y el grabado para el pro esami nto, la piared divisoria 115 puede-* produc irse fá i l en e con dimensiones pr-ec isas,, íFjemµlo 7) las f iguras 17#A a 13D san vistas esquemáticas en corte para mostrar los piaseis para la produc ión de* la pared divisoria coma ejemplo de la forma» i ón integral ele.* les segundas rutar; e flujo tie líquido, los miembros móviles en la pared divisoria, y las ranuras para posiciouar . primeras rutas ele flujo e l iquido medi nte el uso de la atp: y real izar la elet t re> forma c i n y rocesamien o láser. Primero, roma se muestra en la figura 13A, se.-1 prepar*ó la atp ;: 121 produc ida e*n el mi mo método que en el ejemplo 2, y después , como se muestra en la figura 13P , se re l iz el el ro-depósito ele la misma manera que en el ejemplo 1 para formar una capa 113 de recubrimiento de níquel de* apircn i Diadamente 5 µm de esp?e?sor sobre la superfina superior de* la mat rir 121 y las superficies internas de los primeros ceba jos. Después, la filara de-» níquel rie la capa e recubrimiento 113 fue removida de la matriz 121 , y, como se muestra en la figura 13C, se t olcicó una máscara 120 que tiene hendiduras en una anchura c or resp» inth ente -. la anrhur-a de 13 hendidura entre la pared divisoria y e*l miembro móvil, en relación a la capa de recubrimiento 113 de l atri.: 121. Después de esto, se rea 1 i / ó l irradiación con láser YAR de l a mi ma manera que n el ejemplo 5, a Ira ves de l s he.»? id i dura s e la 5 máscara 12<"< p?ar*3 ffi ar las fiarles que se-1 volverán los miembros móviles en forma e viga voladiza en la parte inferior tie la t apa de-1 recubrimiento 113. De e~,la manera __e formaron las :>e»gunclas partes de ruta ll?, lr» mi mbros móviles 117 en la pared divisoria, y las í ( i ranuras 119 para posicionar las pía redes de? la primeras fiar-te» de ruta, ob leni en oso así la placa de níquel 115 que puede-1 emplearse como p-»re. | divisoria. Puesto que este ejemplo emplea la matriz en forma similar al ejemplo 2, se1 piuenie-» reducir el número e-* a-sos. Puesta que ]a pilara de níquel que se volverá la fiared divi oria 115 -,e produce- mediante elect ro formar i ón, el espe-sor de la piared divisoria 115 puede también •' ontrol a r*.,e uniformemente. (I íquido de eyección y líquido en ador e burbujas). Cci ct se? describe» en ] :t modalidad anterior, de conformidad i. on la p?rese*nte-» invención, mechante l a estructura que? tiene» el ie bio móvil ant descrito, s puede ey«ctar el líquido ron una iitavor fuerva de-» e-r-ve-o. ion o con una mavcir efie i ene la 'C? el líquido no se deteriore y que el depósito sobre* el elemento generador de calor debido al calentamiento pueda reducirse. Par consiguiente, se logra un cambio de es lacle» reversible mediante la repetición de ga ifi aci n y condensa ión. De esta forma, se ue en usar varios líquido.-», si el líffuido es de u ti o que no deteriora el paso de flujo de líquido, miembro móvil a pitr »I divisoria o similar. Futre tales 1 (quicios, se puede usar m líquido de* r y i «i, ro el líquido que tiene el ingre ie te? usado en el ispositi o de chori o.-» de burbujas conven iciña 3.. l ctbe.-a de ey»?>_c?ó?? de líquido obtenida de con or idad con cualquiera de las me*» lados n l s ejemplos anteriores permi e el ttz, de i ferentf's líquidos como líquido de eyect ion y • orno líquido generador de burbujas y puede eye. lar el 1 íquitio de eye.*cc ion mediante I -¡ presión elevada i on genera ión tic-» una burbuja en l ] iquido »?enerado? ele» burbujas. Con las aberas ele» eyección de* líquido conven ional s, un líquido de? al a v i se o-> i dad co o pot ejemplo pol i et i 1 n ] i c ol no mor.tr ib-* una cje»n ¿? i ón r suministra un líquido que? genera fác límente una burbuja (una s' luc i n me z< - 1 -ida de etantil y agua a 4:6 que ti ne la v?sro.?»la»l de apro; 3 macla mente-1 -'? P o simi lar) co o 1 fquido generador e-1 burbujas a la se unda ruta de flujo de-* líquido. Ademá , u t que la est ructura de 13 ca e de eyección e l íquido e la presente» invención involucra los efectos <->wpl 1. aclos en los ejemplos anteriores, el l iquido ele al ia viscosidad puede e?ye<-tarse con una eficiencia de eyección ntás elevarlas y mayor* presión e? eyoi c ióp. ,u En el caso del uso de un líquido de pioca res 1 st en»_ 1 a al calor, *s? este 1 íquidc» s suministra c»?mo lí»-ju? o de eyección a la primera ruta ele- flujo de l iquido y un líquido que »rjen?--?ra fá il ente una burbuja > e-s r -s is te?ntt? al c lor se suministra a la .-.eguncla ruta de flujo de líquido, el l íquido puede ser c»yec tado con al a ef ic ienc ia de eyección y al ia presión rie eyección sin daña térmico al l íquido de. baja re 1 *-.t 1 -itr i a al ral or . Cuando la estruc tura de dos ruta--, de flujo de la presente inven» i ón se em lea con l íquidos di ferente*» para fungí 1 t curto 0 lí'iuirlo ele» eyer i i ón y líquido de gener ¡c 1 ón de-* burbujas, *se usa el líquido de burbujas .que tiene la-. pirup 1 eclacle-, antes descritas y esµet talmente los ejem lar. 1 uc l? ?y??n 1 me la no l e aiv il n •proµrtrtfil , isopropanol libe;, arto, n— ptano, ir-oe taño, tolueno, :» l leno, rl 1 c 101 uro de met lleno, trie lorciet 1 l»»no, f?-e--»óct TF" , freón E-^F, éter el f l ir o, dio: ano, rjclobe: ?t?o, acetato de metilo, acetato de et ilo, a»rc-*l;nna, me i leí; i Ice* tot ta , ayua y una earl de los m?smo-3. Fn cuanto al liquido de.» eyec ión, se-1 pueden emplear varios l íquidos independientemente ,]l3? grado de propiedad d>» gene* ación de burbujas o pro iedades t rmicas. S pueden ur-,ar los 1 íquidu-. que no se han usado convención 11 mc»nle debido a una propiedad generadora de burbuja deficiente y /o cambios en cuanto -i prop i e a»1e»s »-Je facilidad de uso debido al c lor. Rin embargo, se desea que el liqui o de eyet r ion en si o m».a» I i a n 1 e reac ión con el lí»?u?do generador* de burbuja» no impida la t-*ye*r.c i n, la generac i ón ríe* burbujas o la operat i ón de 1 m i i-r- b ro trió v i 1 o i ilar. 1.a f ía riel siguiente ingrediente se» empleó > orno lícfuicla clt» regist o que puede usarse* como liquida ele-1 eyec> i ón y l iquido gene a or de burbujas, y se a 1 i ,.r ó la operac i n e reyí tro. Puesto que la velocidad e eyección de la tinta es v»l evada, se mejora la pire» isióu d disparo de las got=_--. de 1 Iqutdo y por • cuts i u t ente -3e rey i s lr*a r'an imágenes altamente ci seabl o . Vi seros idad el»* tmla de 2 cps <C„ T» negro 2) I inte-1 7,"A en pie mi • i i e t i leng 1 icol 1 % en eaa l i cd i g 1 i? ol 5% en u o c? tanol 1% en pe-*;, o 7: agua 77% en peso Se realizaron también operaciones de registro usando la siguiente combinación ci líquido*-., par-a el líquido generador e.-1 burbuja s y el líquido d»¿ eyección. Como rebultado, un líf-juido una v ¡ -scosidad de 10 y varios rps que no podía ser eyet tado hasta ahora fue» eyec lado adecuadamente, y aún un líquido cié 150 cji-, fue c*y»-*f lado adecuadamente para proporcional una imagen de alta calidad. líquido yenerador (Je-1 burbujas 1 el nal 4 % en peso agua >0% en peso Liquido yenerador d»? burbujas 2 agua 1 0% en peso |. (quicio generador ele* burbujas 7, ali olinl ís rop í l ico 10% en peso a ua 9 % n fieso I i qu i da de e e ión 1 ¡tinta con pigmento de aproxi adamente 15 cps) IMe ro ele* humo 5% en peso copio] ímero ele est i 1 eno-<**? ido acrí lico-ettlacp lato (ó: i o 14 , piesa o l »c u1 a r p ro ed i o 8000 ) onoetanu! amj a O .25% en peso gl i ceri a 9% en pieiso t icid ig 1 i col 5% en peso t ano! ;? en fi o L í quicio e» e-*ye»c r j ón 2 (55 cpis) pol íet i lenjl ir o! 2O0 10O% en peso l íqui'io de eyecr ion 7, ¿150 cps) pol let i lengl icol ¿>0O 1 ?% en peso Fn e] i aso de] l íquido que no fue eye-»e la o fác il ente?, 1 -rt velc ?da»J de eyecr i n es baja y por consiguiente la W¡f vapat ion ele* la di recc ión de eyec i n se amplía lo que» resulta en una pre isión de depósi to de-* puntos deficiente en e»l p jpel de regist ro. AdemA*-, la cantidad tie eyecc i ón varia debi'io a la inestabi l idad de l<? eyec ión, afectando a .1 e.*l registro rie una imagen de al ta cal idad. Si n embargo, d i.on for í dad con las mo alidades, el uso del l iquido generador* de? burbujas permi te^ una generac ión sufic iente-1 y estábil erada ele la burtiuja. Por* consi uiente», la mejoría de la prec- 1 sión e >1ep»ó ito cié la pequen gota del líquido y la estab i l idad de la cant idad ci eyecc ión ele tinta pueden 2 lograrse mejorando así notabl mente* la cual idad ri&» registro e irnaijeit. (Tartuerho de cabera de e?yec t ion de l íquido) I. a desc ipción se efectuara en relac ión a un cartucho de t. be/a de eyecc ión de l iquido que tiene» una cabe.ra e '"" eyect ion de* l íquido de c onformi ad con una modal idad de l a presente? inven», i n. La figura 14 es una vista en µerspet ti va ampliada u át i a de un cartucho de c bera de eyección »ie líquido 5 que i ni luye la cabe.-a ele eye»c» ion de líquido antes tie*sr r i ta , y el t.artucho de trabe;' a >ie >*yecc ion de l íquitio e omµr nd generalmente una parte de c ber de eyecc ión e l iquido 2 ? < y un r*ec ?p?entc* de l íqtudo R „ La piarte1 0 e» cabe.a ele-* eyec c ión de l íquido c»?mp? reí tile1 un 1( ust ato e elemento 1 , una pare de separac ión "¡ , un miembro ranurada 50, un resorte de conl»?ne i n 70, un miembro »it-* suministro de l iqu ido 9 , y un it' brcí ele soplarte 70„ Fl sustr at»! do elemento l =_e piroporc lona eron varias res i store*1; generadores de calor fiara sumini trar* calor al I líquido generador ele* burbujas, co o antes, descri o. Se? forma mi piase »ie l íquido generador- de burbujas n r 3 el sust rato de ele ento 1 y la pared e separa, i ón 70 que? tiene la pía red móvil. Hedíante la uni ón de la pared de separar i ón y 1,¡ placa supeí inr ranura a 50, s * forma una ruta ele flujo de ?C? eveo- ion (no se muestra) para la comuni a ión flui a con el l íquido tic-1 eyección. Fl resorte de restricc ión 78 func iona para oprimir t.] miembro ranuracia 5 contra el sustrato de elemento l, y e-s efec ivo para integrar adecuadamente el sustrato de elemento 7¿> 1 , l pi3re'd e? separación 3'"' , ranurada y 3 miembro ríe-» soporte 70 que se describirá a 1 nt inuat ion. El miembro ele scifiorte 70 func iona para soportar' el sustrato de ele en o 1 o similar, y el miembro de ¿opicirte? 70 tiene un tablero de r irruí lc».~. 71 c anee lado con ei sustrato de c*l e rit t para su ini tra le-* la señal eléctrica, y at nuadores e contat to 72 para transferir la señ 1 elec tru a al lacio de-»l ispositivo cuando se monta el c.rtuí o :sobre e.*l aparato. Fl rontened'ir ele 1 tqttitio 90 coitt 1 ene* el líquido ele-» eyec r i n co o por ejemplo una tinta a «suministrar a 1 \ i.abe,*--* de eyeo. i n de 1 (quicio y el 1 Iquido generador* de bur'buja*. piara la genera i n e burbuja., en fer-rra separada. Lina parte de pos 1 c ion imi t»n to 9 para montar un miembro e c onece ion para cortei tar la cabera »J»-r» »-*yet. t lórt de líquido i on el contenedor* de líquido y un eje de f 1 jai ion 95 para f ijar la parte de c uneo ion *.-1 coloca fuera fiel contenedor e líquido 90„ Fl liquitlo »ie eyec 1 1 ón ~>e suministra al paso di.» suministro e líquido de »-*yec( ion 81 de un miembro de sumí ni tro de líquida T fior íit 1 o ele» u f a-so de suministro 81 del miembro de foneccióit a partir- del paso ti*-» sumí ni .tro de liquido de-* eyección 92 del contenedor del líquido, y se suministra a un=* primera c ama ra de líquido común por me í 'i del paso de? sumini tro de líquido de eyección 83, suministro 21 de los mi mbros. Se* suministra de-* la mi ma forma el líquido •""" íjener-arinr* de burbujas a la ruta de-» suministro de» l iquido generador1 de burbujas 82 del miembro de suministro de l íquido 80 pior la ruta »je sumini tro del miembro de coueeci?i! a partir de la ruta de suministro 3 del contenedor »le*l l íquido y se -suminis ro a la segunda cámara de l íquido por los. pasos 84, 71, 22 de suministro de líquido generador de burbujas e-* los mi mbros. Fft tal » artuf hf.i e» • M de eyec- i n de l íquido, aún si e*l l iquido fjenerador ele burbujas y el l iquido ele eyección son I líquidos di ferentes, los l lcjuido» s suministran en buen orden. Fn l ca-r,fr> en el cual el l íquido de ye ión y el l íquido generador de burbujas son los i mos, las rutas de» sumini st o pa i a el l íquido generador de burbujas y e*l l íquido de eyeo ion no tienen que-1 e tar sepia rada . De ués de1 ler inar el l íquido, e puede suministrar las r eo i pnen tes del liqu?d»? con los l íquidos respe tivos» Para fa» i l ?tar e-d.e sumini tro, e] < onlenedor riel l iquido se equi en fortín deseables con u ori icio de i nyc-*>. • i ón l íquido, l a c<_be„:a de eyección de l íquido y c»i reí i píente de1 1 íquido pueden ser inteijrados o separables. (Disposi ti o de eye<~? ion de líquido) 1.3 f igura 15 es una i lustrac ión es uemá ica de un tiispo itivo iJir* eyeo i n de líquido empleado con la cabe,:a de o ecí ion »ie 1 íquirio antes, desc ri a. Fn esta mod l idad, l líquido ¡Je eye c i n e_-> una tinta, y e.»l apa?-at,c? es un aparat ) .— • de re istro por eyet ción de tinta. Fl i .posit i vo cl. • eyecc i ón ele 1 fquido comprende un i arr? HC sobre ??l cual se monta e?l car-tucho de c<tl?era que-» c omprende una parte Je recipiente de l íep ido y una parte 2 0 de cabera de eyección 5 el*.1 l íquido que se1 t anecian ent re el las en forma triesfirend i b 1 . Fl carro HC es rec {piraco en la cl i reci i n a lo an ho del material de? registro 150 de tal manera que pueda alimentar' una hoja de registro o ?¡>?m? lat por un medio de transporte e material fl»-1 registro. 1' Cua o ^>f? -suministra una señal ele ac ivación al dispositivo e eyección de l íquido del f arro a partir »rle un dispositivo de suminist ro de .-.eñal de act iva» i n no ilustra o, se eyec ta el 1 Iqn ido de r»-?»j i =>lrc? sobre el material de* regí.-» tro a par*t i ele la »rabe.ta ele eyección de 1 líquido e-n respuesta a 1 -t ña 1 » Fl aparato »ie eyecpón de l íquido de esta moda 1 i da incluye11 un motor 111 como fuente de activación para ac tivar el / i posi ti o de.-1 transporte le material rie* registre» y el carro.) engranes 112 y 113 fia a transmitir •?! po»ier de 13 ?<* fuent de» ar li ae i ón al cari o, y un eje de carro 115, etc.

Med iante el ispositivo de re istro y el método de- eyec ión d l íquido que emplea este* disposi i vo ele-1 reyístro, se ptueder1 prapori ifinat* buenas impresiones mediante la eyecc i n »1e] l í quicio sobre los varios materiales de reejistro. s~ l a f igura 16 es un diagrama ele ti l oqu que des ribe-» la operac ión gt-r-neral de un ispositivo de registro por eyec ión ele3 tinta ue emplea el método ele» eyect jón de líquido y la cabe.* a de.» eyer ión fie l íquido, se ún la presente invenci ón. 5 T.l aparato de registro recibe da los de impresi ón en forma . r- una señal fie control t partir- de in compu adora huésped 3 . l os da toe. de impresi n se» al at en.n temporalmente en una interface 301 df- entrada del aparato de impresi n, y al mismo t iempo, se convier * en datos procesab 1 es para su í'ú 1 ni rodur o 1 ón a un CPU 302, que* si ve también romo disposi t iva para sumini strar un -t señal de act ivar ion de f -íbe.-a. Fl CPU 3>'2 posee* 3 os da to? antes menc íopad'm alimentados al CPU 302, en dato-5 que pueden i primirle (cía los ci*» imagen) , mechante* el piruc esa i ento de? estos da lo*-, con el LI O de» unidades pe if icas tales como R?Ms 04 o si mi la re-. , sigu iendo los programas de control al acenado.-, en un ROM 3<)3. Así mismo, para regi st ar los datos ele imagen en un lugar apt opiado en una hoja de t egi tro, el CPU >02 genera datos 0 ele1 at i vac 1 ón para ai ti r-r un motor de a< li vac ión que1 de*s¡j la. a la hoja de registro y la a era de registro en ii pi ronía con loe. a los de1 imagen, l os datos de imagen y los-, datos e ai ti vaci ón de* motor se transmi en a una cabe.<t 20 y a un motor tie1 ac l 1 vac ion 30¿> por me io cié-» un ac lavador cié» c atteca 307 y un a» li arior* de motor 30 , respec 11 va ent , RO -"-- controlados can la sincronía apircifii acia para formar una i agen . Fn cuanto al meche» ele» registro sobre el cual se» aplic a un líquido coitio fior ejemplo una tinta, y que puede e-*mp 1 ear~>e 5 ron un apáralo de registro co o por ejemplo el aparato ante . descrito, se puede el borar* una li ia con lo siguientes varias hojas de» pape-1! , hojas HHP ; material plástico u-ado piara fot- mar- i rico rompa i tos, placas de orna lo o similares; le] a 5 un mate*? ?al metal ico come.» por ejemplo -alu inio o 0 cobr ; un material ele-1 tretero como finr- ejemplo cuero ele vaca, cuero ele » erdo, cuero -sintético o 'similar s; un material de madera » orno por ejemplo madera sólida o madera c cintra c hapteada ; un material de bambú; un material de c rá ic como por ejemplo te a; y un rnalerial co o piot 5 ejemplo esponja que-1 ti ne una estructura t i i ensional. Fl apar-ato de registro ante-, menciona ») m» luye u?? apiar-alo de» impresión fiara vari is hojas de papiel o tío a OHP , un apara o 'i»-.* registro para un ater ?al p 1 -'*-.11 o como por ejemplo m?'tepal plástico usado para formar un disco r curtfi ac tu o similar*, un aparato de rerjistru para una pilara meatal?> a o similar, un aparal») d»-* t-egi-stro para un material de cuero, un afiar-at»! de registro para un atet ?al ele madera, u iparato de registro para un at rial de fer mica, un apara tn de registro fiara un medio de? regi tro tridi ensional 5 co o por ejemplo una esponja, un aparato rie? impresión iara te»; til fiara re?g? irar ? ¿**g ne-*s en t l s y aparatos ele re í slro i ?lare*s. Fn cuanto al liqui o a emplear* con estos aparatos crie eyec ión »ie? líquido, - * puede emplear- cualquier líquido en la meclicla en que es compatible con el medio de-1 registro em leado, y 1 a -=• condiciones e registro. (Sis e a de re istro) A ron l i nuat i n , se.» de=>c. pbirA un -.sistema de regist.ro de-* chorros ele tinta ejemplar que re istran ? ?»jenes PII un medio .Je registro usando, come» cabera de registro, la cabera de teyeccióu líquido de conformi ad con la presente i nvenr i ón . la figura 17 es una vista en perspertiva es»juem«*t ira de un -si t ma de tegistr-o de chorro de t i pt i que emplea la i abe/a de» eyec i n e líquido 2 l antes mencionada según la presente invertí ion y piesenta s.u estructura general. La tabe a f-iy t f ion líquido en es a modalidad (p 50) e*s una i a e de-» 11 p»j de línea com leta que c»r»mp rende v ri s or?f?t?c»s de eyecci n alineados on una densidad ele? 3ó> »if> t de» la 1 minera que cubra todo el rango regislrable del medio de registro 150. Com rende 4 cabe-ras que corresponden a los 4 » olores! a a i i 11 o (Y), magenta (M), t i a no (a,-ul -verci ) O-) y negro (Bl ). Fstan rúa tro • abe.ra.-. e apoyan en forma fija mediante un soporte 1202, e paralelo entre ellas y a t iilerva 1 os predeter í nados . 8.

F .tas r aberas se at tivan e*n resfiuesta a l^s señales sumi i radas a partir* el activador de cab ra 307 que t onst i luye un ri i spiosi 11 vo para au ini l rar una eña 3 e activaci n de-1 catia » ab ja, l.a*-> tintas de1 los • uatro ct ]or-fc-*s (Y, M, C y Bl ) -,e -su ini stran a una cabera cor r-espiand i ente a partir de un re>- ifin it-e» ele tinta 2t>4a, 204b, 2<")4t o 204 . Un numero e» referem la 2 4e designa un rer i píente para líquido -jenerador cir* burbujas parti r de*l ctial ->e suministra e-»l l iquido generador de burbujas a c acia trabe,- a. Debajo de (rada cabera se coloca una tapa e cabe/a 203a, 203b , 2()3c, o 203rl , que1 contiene un miembro ab-.orbedor ci tinta compuesta de esponja o similar. La tapas cubren los or i f ictos e eyecc ión de las calii-1,1- -? t ori-espiond i ente , protegiendo las r atierras y permitiendo también el mantenimiento de la . c abe*,1- a*-, durante» un período »ie no re i t r o. Un rn'imero de reftjrencia 20/5-, se-» refiere a una banci-a l ranspor ladora que constituye un ispositi o para It* tiispiort a r- los varios ecí i o de r-egistr».» cetmo los descritos en las modal i dades a ntet-i ore-, . L ban a transportadora ?0¿ fiasa f)».?r una ruta fire e» l í nada por metilo de v±po'-1 ttitltl liis, y es activada fiar un rodi l lo impulsor' conectado al a c.11 v a el o r o t r i r 3 5.

Fl si tema ele-1 registro pior- chorro de tinta en esta moda] Miad ceiiitp ende un aparah>j 251 de procesamiento de µreimpre.a • ón \ un aparato 252 de* procesamiento de* pcisl i piresi ón que se coloc an e?r? l» s lados corriente arriba y crómente abajo, respet livamente, el aparto de registro de1 chorros de tinta, a lu largo de la ruta de transporte »iel medio de registro, Fstos aparatos de proc sami nto 2 1 y 252 ¡i recesan el medí o d»"-? registto ci varias formas antes y después de-*l registro, re-'spiei 11 va ent e . Fl proc so tle? pt- i mpr-e i ón y el proceso de f ios 11 copres i óu '.' trían según el tifio de me io de t-e.ji atra o el tipo de tinta. Por ejemplo, cuando se e*mp? 1 ea un mecí i o ele-11 registro ompties l o »ie material metálico, material p Iri t ?e o, material de-* cerámica o similares, e?l me io ele re'jistro se-» e pone a rayos ultravioleta1. y anina an es de 1 . impre ión con c-> I otijeto de a hic r su superfi» ?e*. Fn un material de registro que tiende adquirir carga el t trica ramo piar e» e*ft?p lo un material de re-1*; ina µ 1 As 11 ca , c?l io Iva tiende a depo i se n la superficie debi o a la elect.rn. i sd estítica. Fl polvo puede impedir e-?l registro deseado. Fn tal caso, se hac e» uso de un ionizador para remover la car a ??s lA 11 c a del material de registro, removiendo así el fi»?lvo tie] material ele1 reg i .» I ro . Cuando un material te??l? l es un material de re istro, esde-* e*l punta fie? vista de-* la prevención del i op i iento y la mejoría de la fi jación a similares, se fiue*de e»fec tura un µreproc esar-ti nto donde* un<¡ sustancia de* propiedad al»ral tua, una sustancia soluble-* en agua, un campiasi r ton pial i mér u a , una sal e metal con propiedad e •solubi lidad en agua, ure , tiou rea se api ir a al tei.ti l . Fl preproc esam-iento no se l imita a esto, y puede ser?r* el µreproc esami n tt) para proporcionar al mater ial ci registro la tempera l tira adecuada. Por otra parte, er-l po atprocesami ento es un proceso para proporcionar' al material de registro que tta recibido la l i ni t un tratamiento tér i o, proyet c ion de irradia iones ultravioleta piara promover la f ijación ele la tinta, o l impieza fiara remover el m=tter?a] de proceso empleado para el pretrata iepto y que perma ?t»?ce debido la au-seru ?a »ie rea ce i n . Fn esta modal idad, la > abe.-s es una rabí™ .-a renglón enlero pero la presente inven» i n puede aplicarse ambién a un 11 po e-*n serie donde la cabe.-a se clesplar-a a lo ancho e] materia l de regi tro, ( Tuego fi impl mentos d»--* cabeca) A i.ont i nuac i ón ser-1 describirá un juego de implementos ele» cabeza que comprende la cabeza de eyecc ión ele l íquido de i onf fii'fii i ciad con la re ente i nvenc t n. l a figura 10 es una vista esquemática d-* tal ju>ígc> de implemento 5 de t be,-,a. Fste? juego de.-» im lemen os de cabe.* a ti ne* forma r|e un p?aque-*le» de juego ció i l m nto de* ab 5 l y roittienc»; R una cabera 51 e? conformidad con la presente i nvent t n qu»> iromp r n e una sei » i ón de ?-»yecc ?ón de tinta 511 piara eyec baila tinta; un r-er ipiente» piara tinta 510, e»s dec ir un recipiente p ? ra líquido t|u puede s»r*r sepa able o itn separable ele la cabe-:a- y un el i sµt »s? l i vo de llenado de-* t inta 530 que? man iene la inta a 1 leñar e*p el rec i p i ente pa a inta 2 „ Después de terminarse completame te la tinta contenida n el recipiente para tinta 52<">, l punta 530 (en forma e una aguja h i po>i rtru'. a o similar) del i po i ivo tic-»» llenado de tinta -* iprerta en ut\a venti la de aire 521 del re ipiente para tinta, la uni n entre el r í i puente fiara tinta y 1 t cabe-* ."a , a una perforación real ?_:ada en la pa red ele] reí. ipil en le para tinta, y 1 a l mía que se tifie uenlra dentro el i posi ti o ele? l lenado 11 nt a s l lena dentro de-»l rec i p i en te» iar tinta a través de esta punta 531. Cuando la c ab ra de eyección clei» l íquido, el re i ien piara tinta, l dispo.iliv») »1e llenad.) de tinta, y similares estAn disponibl s n forma de un juego es i plementos contenido en el paquete juego de i lementos, la t inta fiuede.» llenarse f A.; i 1 mert te en **] re ipiente ¡?a ra tinta sin tinta cci-no antes desc ri to; por con i uiente?, se pue e reinic iar rápidamente el y i st t a .. Fn esta modal telad, el juego dt* el e ent os ele cabe,*a con iene» e»l i positi o rie llenado ele tintar Im embargo, no c*'--, 6 *- obl i ga toi'i o que el juego tle.» uriplem ritoi. de cabera contenga el d i ipo-í i 11 vo de llenado de tinta; el uega de im lementos puede» contener un recipiente µarp lints de» tipio intei'i ambiablc? lleno tie tinta, y una - abe,.* a. 5 Ai'm i uaruio la figura 32 ilustra sol ámenle* el dispositivo trie-1 llenado e tinta piara l lenar la licita »ie impresión en el recipiente para ti nla, el juego de implementos ele* cabera puede contener un elemento para l lenar el liquido de generar i ón de burbujas en el r í i puente piara l íquido e 0 generac ión de burbujas, además el ispositivo de? 1 leñado e lint-! e impresión. l a presente invención puede aplicarse a caberas e eyec c i n de l íquido co o antes eiescri ti, que incluyas no solamente las caberas el tifio de eyecrt i ón ele» borde que ti ne una 5 sal ida ele eyección c»n un eiítremo de? la ruta e f lujo de líquido en la dirección a lo largo de la supier fie ? del ele*me*??lc> generador de l lor 2 t o o e* muestra en la figura 1, si no que incluye también las caberas de tipo de apl icación lateral con una sali a de eyecc ión en el laclo ? opuesto a la super f i r i e» del elemento generador de calor* 2, por tíjemplo, > tinto se muestra en 1-» fiugra 19. Fs ciei i r, la •--aberra de eyecc ión de* l íquido del tipo de aplicación lateral puede también precien irsií por medio de los mismas paso» rie µro ucf i n, por ejemplo, tomo 1 »ris que se ué*. Irán en los 5 e empl'is anteriores. la cabe, a de eyección de líquido de tipio trie* apli a i n lateral mostra»la »?n la f igura 19 es similar* a la cabera de eyección de líquido e ti io de api! ic aci n de borde t o o se íjesc ribe a n ter i ármente en la medida en que, una primera piarle-* ele ruta 4 en la superfic ie inferior d la cual s* p» ..?». i ona un elemento ene tdor cier* calor se forma sobre un sustrato 1 equipado con el elemento generador e-* calor 2 para piroporc i onar energía térmica µara generar un burbuja en el líquido, una segunda parte de? ruta 3 e?n tomunir ar ion fluida directa con la sa 1 i da de eyec> ion 9 se forma arriba de el 1 n , u pared divisoria 5 hecha de un material que l iene? elastic i ad, cuito por r-* e*mp> 1 o metal o similar, se µ rapar» i ona entre la segunda parte de ruta 3 y la primera piarte-1 cier» ruta A , y e] líquido en la segunda parte de ruta 3 se-* sep ra del líquido en la p imera parte de* ruta 4 mediante la pared divisoria 5. La cabeza de eye> c i ón »ie» líquido ele tipo fie aplicación lateral cara»1- ten sa peque la salida de eyección 9 se propon lona en la fiarte inmediatamente arriba de] elemento genera»1fir de calor 2, e??t la placa de* orificios 14 roloc-acla arriba de la segunda parte de-.* ruta 3. La pared divisoria 5 entre la salida de eyección 9 y e] elemento generador- de calor- 2 se proporc icina t on un [jar de i e.»fitb ros móviles que abren roma una puerta ele 2 hojas. F-s, decir-, 1 »is dos miembros moví les 6 se forman c atla uno en forma e1 una viga volad ira "*- i on sus ei-t remos! i bres frente a frente l igeramente sepia r ados pior una hendidura R colocada inme iatamente debajo de la parte central ele la salida de eyección 9 durante un periodo -.ni eyección. Durante un período de eyección, los dos miembros móvi les 6 se abren harria el lacla de la se-gunela parte d ruta mediante gene*ra» i n de-* burbujas »ie líquido en la región ti que genera la burbuja, como se muestra por* e??l?o de las fle has en la figura 19. Se cierran mediante cont ra r i ón ele1» l iquido, Fsta región ? .-.e rellena con el líquido suministrado a partí r de un tanque de» líquido de.-» eyei eióu de-.eriti-i a continuaci n piara estar en un estado l isi piar'a eyerr ión, prepar ndose <¿s í para la genera ión de la siguiente burbuja de 1 tqui o. l a segunda fiarte de ruta 3, junto erm las segundas piarles eje-1 ruta de-* otras sal idas ele» eyección 9 se encuentra en comuni aci n con ?n tanques dio se muestra) para almacenar' el l íquido de eyet ci n a través de la segunda c mara i dr* -- l íquido común mientras que la primera parte de ruta 4, junto con las primeras fiar tes de rutas crie oirás sa 3 icias de eyecci n 9 se encuentran comunicar i ón con un tanque (no se mue»sl?a) p ra almacenar el líquido para generar la bur'buja por la primera c Ama ra 11 de l íquido común. La cabe-»ra de eyección de líquido de tip d>-> aplicación lateral que ti ne la e>r"t riic tura anterior puede lamin n lograr e.*l e¡. lente efecto que* el l íquido puede eyectarse ron una alta efic ienc ia de energía de? eyec ión y alta presión de eye?ec?ón, mejorando el rel lenado del líquido eyec lado, a un nivel casi similar a la cabeza eie ti o de» api i ear ion df? borde.

Claims

9? PRIVTNDI?ACI?NFS 1. Un método fiara la produc ión de ina cabeza de eyet ción e l íquidti que ti ne-* una sal ida de eyecc ión fiara eyectar un liquido, un elemento ene ador- de calor fiara apl icar ene-rgia térmic a a dicho líquido, una rula de. flujo ele.* líquido que co pí reí tele una pirimera piarte de ruta en comuni ación fluid i con icha sal ida de eyección y una segunda piar- te de rula col cicada debajo de dicha primera parte de ruta y equipiada » »»n ili' hfi elemente» gt*neratlc?r de ? alor en una suµerfii ?e inferior de* 1 rt misma, una pared divisoria piara dividir dicha ruta fi flujo de l íquido en dicha primera piarte de ruta segunda piarte? ele ruta y un miembro móvi l colocada arriba ele dicho elemento generador de calor en dicha pared divi sot 1a y a rre.-g 1 ado en forma desfil a ratile hacia un laclo e» la primera parle ci ruta de conformidad t on una burbuja generada en el l íquido mediante dicha energía térmica, en donde, al gene rse icha burbuja, la primera piarte-* de ruta y la r-.i-gun.Ja parle* de ruta se encuentran en comunicaci n fluida entre el las y dicha presión se dirige hac ia dicha sal ida de eyet.» ¡ón por medio d du bo miembro móvi l desptl arado para eyectar >l?> ha pequeña got de l íquido, dicho método ro pí rendes un fia a»? de r pi r- r-ae 1 ón ríe un sustrato equi piado c on ».1?chc? elemento generador ele l alorg -»— ?n paso e formac i n ele* una pared di vi ..orí a ra f turada que tiene d?» ho m i »?>.??b reí móvil y pía redi--.».; laterales de* dicha segunda parle* de ruta? y ttn piaso de unión de dicha pared divisoria ranurada con dicho sustrato para formar dicha segunda piarle de* ruta.
2. Un meted» > para producir una > abeza de* eyec i n de l lquid») ele conformi ad con la rei indi aci n 1 , donde dicho miembro móvil se forma p» ropón, icinanclo dicha pared divisoria con una herid i dura . 0
3. Un trtétoclei para µrorltu i i- una cabera de eyecc i n de liqui e) de i. > H i fcif-in i ad can la re i v i rui i caí i n 2, donde dicha hendidura dicho miembro móvi l se.» forma mediante la forma» i ó?? de di. ha pared ivisoria por elec tra formae i ón.
4. Un método para predi" ir- una cabera de eyec ión de l íquid'i 5 e conformi ad con la rei indicación 3, donde las paredes laterales la segunda fiarte* de ruta e dicha pared divisaría ranurada .->e forma me iante» la col etc ac i ón ele una pe] í ula seca sobre d?»"ha piated divisoria y real?,:ar di-. ñe-, sobre-* ele ha piel i .-.u la seca. 0
5. U método para producir una >~^i,f^a de eyecci n de l íquido de conformidad crin la rei indica i n 3, donde dicha pared divisoria rancu-aria se* produce mediante la formac ión de u a µel í? ul a rttelAl i ca sobre un ma t r i r que.* tiene un rebajo que corresponde a la segunda parte cier* ruta mediante 5 el ec Ir o forma» ? ^ '"1 *~-
6. Un mélod») para produci r una cabera de eyecc i n de l iquido de conformidad con la reivindicación 3, donde partes de las paredes laterales de.1 la segunda parte1 de ruta en dicha pía red divisoria ranut acla se forman mediante grabado. 5 "7 „ t t mét do piara produt n una cr»t»er.* de-1 eyec ión ».le l íquido •Je conf oriiiii lad ron la reivindicaci n 6, donde una parte de la pare divisoria y las partes de» las par es laterales ele la segunda µar-te de ruta e.-»?t dicha pared divisoria ra? urada ue hacen de ma eria les diferentes y UÍ\ índic de graba o el 0 material para formar la parle ele 3a pared ivisoria es mt»nor que un índice de grabado del material µar-a formar la», parte*.; ele-* las paredes laterales e la segunda par* te e.-» rui * R . Un nté t, u a fiara µi oduc ir una cabeza de eyece i n de* l íquido ele-- c ouform i dad con la reivin ica» i n , donde- parl de 1-i-., 5 paredes laterales de la segunda parto de» ruta e»n dicha pared divisoria r-inurada s forman medi ante elec Ir o formar ton, 9. Un método para pniducir una cabe.a de eyección de líquido cié» conformidad can lo reivindicar ?óu 2, donde la hen i ura en dit hci miembro móvil se1 forma mediante irradiac ión de.1 0 i» ha fr-ired divisoria con lAser. 10„ Un método para producir una cabera der* eyecc ión de liquido de» conformidad can la reivindicac ión 9, donde u mate ial piara formar 'licha pared divisori a e™. un etal . 11. Un método pa ra producir una t ab ra rie eyec . i ?n ríe 5 l iquido de t onfor i nJ con la reivirnln a> i n 10, donde i. ha pared ivisoria ranuraria se pircidur e mediante la formación le una pel ícula m tálic sobre una malrtr que tiene-» un rebajo que» f >?ri'€?spo??de a la segunda parte de* ruta ?rte»tl i a n! e c*l e?c t, rof or-nae i ón, 12. Un método para pro»iucir una i abera de eyec i ion de liquide con feminidad con la reivindicación 10, donde-* part s e t s paredes laterales tie-i i a sc*gunda piarte-* de ruta en dicha fiared d?w?s»?r r-ßnurada se forman mediante? íji-aba o . 13. Un método fiara produc ir u a cabera ele eyec ión ele l íquido de i onfarnpdad con la rei in ica ión 9, donde1- un material pan la formac i n d»~ dicha µnrecl divisoria es un t res i na . 14„ Un método para prociuc i r u ~i cabera de eyección de 1 iquilla de c » inf cirmí ad con la reivindicación 1, donde partes e las parede» laterales de la -.egunda parte e ruta en chi ba pared divisoria ranurada .se» forman mediante irracJi aci n con l^ser. 15. Un m tcídi.» piara producir una caber-a ele eyecc i n de 1 fquicifi de cc»nf orm i dad c fin la reivindica, i ón 1 , donde una piarte* de la pared divinaría y parle.es cié? las a ed s laterales de» la -ecjttnda fiarte ele* ruta en icha pare. I divisoria r'anurada r-,e hacen de ni a ter ía le •> i ferente'». 1?. Un mélr>d»> piara producir unri abera ».le eyecc i ón de-1 l iquido de conformidad i un la reivindu ar ion 1, donde di» ha pare ivisoria ranurada ti ne una ranura de aju l pa a -i justarse i on una pared e dicha primer.* fiarte de ruta. 17. Un método para pro»lu? i r una cab ra de eyecc ión de líquido de < onf orpu dad con la r tvipdu ación 1 ,, donde dicha ranura ele a usle se produce me íanle* la for ación de? una pe! u i met'jl n a =>obre* una matpr .que? iene un relia o que corresponde a la rannp e ajuste mediante t» I ec trof orma> i n. 19„ Un método piara prodm i t- una ca r de eyec c i ón de-* l íquido ele* conformidad . on la r i indicación l >, dandi» dicha ranura de a usf e se» pin uluce.» mediante c-1! cjt*abado e .-| j . ha piar'ed di isoria ranurada., 19. Un niét oda para la producción ríe una cabe-*r.a de? eye-*c? i n de l íquido ue tiene una alida de» eyección para eyec lar un líquido, un elemento generador crie calor ¡tara apl icar energía térmica a dicrho l íquido, una ruta ele flujo de-» l iquido que comprende una primera parle1» de ruta en comunica ión flui a cfiu íJtrha sal ida eyecc i n y un segunda parle e ruta • -alocada debajo de e ba µrmter-t parte de ruta y equipada con el i r ho l me to nera r de* alor e»u un suµerfit ?e inferuii de la misma, una pared divisoria piara dividir clichrj rula e flujo de l íquido en dicha primera parte de.» ruta y secjuncli piarte ríe rula y un miembro móvi l c alocado arriba ele dicho l emento generador de calar en dicha pared divi soria y arre lar!»» en forma desplazable h=*c ta un lacle» de la primera fiarte de ruta de > onf anuí dad con una burbuja generada en el llffuiiJtj mediante dicha energía térmica, en donde, al generarse dicha burbuja, la primera parte de ruta y la segun pi trle e-1 rula se encuentran en comunicación fluida entre ella » y dicha presión se diri í.-1 hac ?a du ba sal ida ey c c i ón por inedia de dicha miembro móvil despi 1 a raiia pat a eyei tar dicha µerqueña gata de l íquido, onde dicho tiii mbi u móvi l se forma mechante e*l propon i cnta i »*n I o a ti i cha pared ivisori de-* una heiidi'Jnra y dicha pared di visoria que produc mediante o] e l rof oritisr i ón de tal maner-1 que se* forme la hendidura rie ho miembro móvil . 2?„ Una » --ib ra de eyecc ?óu ele l íquido que tiene una sal ida tlt* ey u » i ón fiara eye» l ar un l íquido, un lemento generador-de* calor para aplicar energía térmica a dit ha 1 íqu ido, un-t rula e fliijo ele* líquido que c t nnµrencie una primera fiar-lc* de* ruta en . ooiun ?»_ac_ i ón f leuda con di» ha sal ida de eyección y una segunda parte de ruta col'jcada debajo de di» ha ¡»r- 1 mera fiart ele ruta y equipada » on i ho el enta gener i'Jor de» calor n una superf a n? inferior la mis.ma, una pared d i vi -ti ir i a para i i ir dicha ruta de flujo de l íquido en dif ha primer-! fiarte* >|e* ruta y dicha st-r*guncia fiarte.» de rul a y un iembro móvil crol fjcado arriba de dicho elemento generadetr cle calor en dicha pared ivisoria y a r- re í a do en forma dc-»sµ 1 arab 1 e ha ia un lado de la primera parte e ? uta se»ji'tn una burbuja gene-raela en e*l 1 Iquidíi pior dicha nergía tér if i , en e] cual al geuer-ar-se dn ha burbuja, la primei-r* p^s?-l de ruta y la segunda µa r te ruta e? ent uenlran c uinun icac i ón fluida entre el las y dicha re i n se-* dirige-* hac la tln ha -,a 1 i da »|e eyecc i ón por mecho e ich») miembro móvil desplazado fiara ey»?ctar dicha pequeña gata fie líquido, cíentele» la pared divisoria equipada cuu dicho miembro móvil y piaredes 1 i rales e la segunda fiarte de ruta se forman i nte i-a I mente . 21. Una cabera e f»ye-< r ion de l íquido »le conformidad con 1 a reivindii ación 20 , donde de ha pared divisoria tiene uní hendidura y clit ho miembro móvil ?-r»s formado pa la hendidura en el mismo miembro que la pared i isoria. 22. Una cabera de eyet t i n de l iquido de conformidad con la re i vinel i» n i n 20 , dónete dicha p J red ci i v t sor la y las paredes laterales e.1 la segunda parte ib-1 ruta se hacen de» matepale-, i fe* reíd es . 2""-. Una cabera de eyección de líquido de conformidad con ia reí v i nd i cae i óp 20, donde-* du ba pared divisoria tiene? un ranura de a uste? para ajustarse con una pía red de dicha primera fiarte de ruta. 24. Un c.a T'ttu ha de cabera que* comprende la cabera de» eyecc i n de líquido de con f'irm i da can lo estable., ido en la rei in icac i n 20, y f uando mentí . u let iµiente para l iquido fiara runtener un l íquido a su í ni -.trar a di ha cabera de evec c i ón de i i ciu i rio .

25. Un cariucho de cabera »!»-» confor i ad con la reí v ind i >r ic i ón 24, donde d i c h»? re> iµiente µai a I líquido contiene separadamente u?\ l íquido suministrar a la segunda parte» ruta y un l íquida a r.umi n t _, t, rar a la primera µarli- 2A. Un i arlutbo de caliera de1 t on form i ciad con 1 -* re» i v ind i > aci n 24, donde ich c .be.-a de eyec». i ón de I líqui o y dicho rec ipiente fi ra l iqui o pueden separarse entre 27» Un i ariucha de cabera de c»»nf »>i'm? »ia»rl con cualquiera ci las reivindicaciones 24 a 2 , donde l l íquido se rellena n dicho r c iµienle para l iquido. 28. Un aflat tu de eyeci i n ele l íquido que comprende la c ab a de» eyecc ión de l iquide» fie? c onformidad ron lo establee ido en la reivindica ión 2 , y un dispositivo e sumí ni -.tro de s ñal de a. tivación ¡¡ara eye> tar el l íquido »i 11 ha f abe, -a de r*ye*c c i n de liquido. 29. Un aparato de eyección fie l íquido r-jue i emprende» la cabera de eyet ción e l íquido de conformidad con lo es I ablec i do en la reivindica» i n TÍO, y un i positi o de tran .porte de inedia de registra piara tt anspiorta r un i de re istro para r cibir e] líquido eyet tada fie1 di»- ha cabera de eyecci n de 1 f quicio. ,0. Un aparato de1 eyección e-1 líquido de conformidad con la reivindica ión 29, donde* dicho medio de registre» P; un nía l e? r i a 1 el • u e* ro . 31. Un aparato de eyece ion de liquida de > onformiclad >- la re i v i pcl 11 TU ion 29, donde c i ho medí») ele registro s u\) material p l^s t ?c»?. ""•7. Un ap rato »ie- eyec ión de l íquido de > ofiforntidad con la r ivindi a» ion 29, donde dicho medí»» de reijistro e UÍ~\ me tal . 77 ~. Un a áralo ele- eyec ión de l íquido ele.1 c un f ormí ciad cirt la reivin icac i n 29, donde dicha medio ele registro es lana.
7 . Un juego ele* implementos der-1 abera qu.- compí encí - Ja trainera ci?- oyo»? c i ó?? de l f quicio e con f ot*?t? i dad > un lo estable*! irlo en la reivindn u ion 7 , y di .fio:.? tivo de 1 ] tina o el»-* 1 fqnida para l l nar un ] (quicio a sumini trar a pi? pi i era parte .rie ruta. > > . Un juego de i plementos ele-1 caber 3 que com rende la i abera de eyección de l íquido de i on f orup dad i on lo establec i o c»n la t*e? v i nt h >. ac i ón 2a, y media de l lenado de l íquido µata llenar un 1 fquido a suminislr-ar a una segunda parte de rula para nerar una burbujs "•6. Un material reg i s t ráelo que ha rer i biela tinta eyec. la da coma l iquido a partir dr-»l apar-to der-» eyección de líquido cíe conformidad con 1») establ c ido en c ualquiera de la re i i nd i f a< iones, 2FJ a 1.

37. Un método fiara la producci n de una cabera de eyecc ión e l íquido que ti ne una salida de eyeee i n para eyee lar un l iquido, un elemento generador (Je calor' piara afil icar* energía termo a a di» ha l íquido, un ruta de flujo e l íquido que comµreu»Je una primera fiarte e ruta n comunicac ión fluida i on die-h-t sal ida de eyección y una segunda fi n-te» de ruta rulot acia debajo de cl 11 ha pirimera piat ter de.-1 ruta y equipada con dn o elemento generador cié* calor en una superfic ie inferior e la misma, una pare. I divisoria para dividir >h? ha ruta de flujo ele1 I líquido en cl 11 ha µr imera fiar te» de rula y sc-Hjund i parte ele- ruta y un mi entino móvi l colocado arriba de.» ic ho elemento generador de» calar- I-MI dicha pared divisaría y arreglado e?\ forma desplarable de» conformidad i un cuta burbuja ge-nerada en el 1 fquielo por i ha energía térmica, donde» icha miembro móvil se forma propon íonando ilier-j pared di isan t > on una hemi i ur t y la hendidura de ilícita itii br-ri m ví I se forma, me iante la produc e i ón de dicha fia red divi ori a piar- eleí t ro forma i i n, 7.0 , na cabera de eyec r i ón ele líquido que» 11 ene una ~,al ida .je eyecc ión para c»ye< tai- un l íquido, u l men o gc-net aclar fie t -tlor para apl icar energía U'írmica a di> ho l íquido, una ruta e flujo de 1 fquifir* que com rende una primera piarte d ruti en comunicaci n fluida i on dicha -salida de-* eyecc i n y una segunda µa t le e ruto, colora»! fleba a ele fiícha r i a piarte ele ruta y e uipada can du bo elemento generador de» 1 o r alor en una superfit i e inferior- de* la mi ma, una pare divisaría para ividir icha rula flujo de l íqui o ..»n liich-i primera fiarte »!e-* rula y dicha segun a fiarte d rula, y un ? mb? >-? móvi l > olt» a»io arriba de dicbo el»?menlo genera»1or e calor C-MI du ba pared divisoria y arregl do en forma desµ 1 a r abl e de con formidad con u burbuja gen icia en r»l líquido piar c i ba ener ía t rmit a, donde dicho mie bt o móvi l .ae fot uta proµore i 'inando flicha µ * i ed divi soria t nu una he.ai i >Jur a y un e" t remo de la herid i dura e1 ciicho miembro vi l l i ene* una forma ahusada. PF UHEM DF I A INVENCIÓN Un método para prarluc i r un cabera le ye ción de l íquido que ti n una sal i a cié* eyección para eyeetar un l íquido, utt elemento yenera or ele-» c-lor para apl icar enertjJa térmn a -f chebo l íquido, u?t-s ruta ele» flujo de líquido que compren»!.» una µt i era parte rula en comun?> ación fluida con di» ba salí ilo de eyecc i n y una segunda parte de ruta • olac da debajo de dicha pr imer piarte .Je mt y equipiada ?.on dicha elemento generador de calor n una Buperf ir te inferior ele* 1 t isma, una pared divisoria para dividir dicha ruta ríe flujo ele* 1 (?-ju?du en dirha primera parte de ruta y s un a fiarle ruta y un miembro móvil colocad" ar riba ele dicha el nto generador de calor n dicha µared divisoria y arre lada en forma desµlarable hacia un lado de la p> miera parte? eie mía ele-» copf arm i dacl con una burbuja generada en el l íquido mediante dicha energía tormi a, e?n donde», al generarse icha burbu -t, la primera piarte de ruta y la segunda piarle de t ul t r.e fiii-ijenh- ii en ? orttun?r.a> i n fluida entre ella y dn ha pt t-*s?ón se dirige hai ¡a i» tía sal ida de eyec c i n por medio e fJicho miembro móvi l tle-'spl a rado para ey»*? tai- d?».h. pequeñ gola fie l iquido. Fl m»'.»tod>> ? omp rende un pa ;o de irefiara » i n ele un .su I r-n I o equiparlo r on ihrho el eut..» ijen rafla ? alur, un pasa d formación de una pared d i v i .ai'ia rarmi-dila que ti n i ho miembro móvi l y par laterale-, .je ?-|? e ha n a piarte* ele rula, y un pasa de unión ele dicha pared divisoria i a nurat la i on dicha sustrato parí formar dicha seí-jun a parte ,-Je ruta.