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Die
vorliegende Erfindung betrifft einen Flüssigkeitsausstoßkopf zum
Ausstoßen
einer gewünschten Flüssigkeit
durch Erzeugung eines Bläschens
beim Aufbringen von Wärmeenergie
auf diese, eine Kopfkartusche, bei welcher ein solcher Flüssigkeitsausstoßkopfverwendet
wird, eine Flüssigkeitsausstoßvorrichtung
mit einer solchen Kopfkartusche, ein Verfahren zur Herstellung eines
solchen Flüssigkeitsausstoßkopfes,
ein Verfahren zum Ausstoßen
von Flüssigkeit,
ein Aufzeichnungsverfahren und ein Druckgerät, bei welchem dieses Flüssigkeitsausstoßverfahren
angewendet wird. Diese Erfindung betrifft auch eine Tintenstrahlkopfeinheit,
in welcher ein solcher Flüssigkeitsausstoßkopf integriert
ist.
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Genauer
ausgedrückt,
diese Erfindung betrifft einen Flüssigkeitsausstoßkopf mit
einem beweglichen Element, welches sich bei der Erzeugung eines
Bläschens
bewegen kann, eine Kopfkartusche mit einem solchen Flüssigkeitsausstoßkopf und
eine Flüssigkeitsausstoßvorrichtung
mit einer solchen Kopfkartusche. Diese Erfindung betrifft außerdem ein
Flüssigkeitsausstoßverfahren
und ein Aufzeichnungsverfahren, bei welchen zum Ausstoßen der
Flüssigkeit
das bewegliche Element durch die Bläschenerzeugung bewegt wird.
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Die
vorliegende Erfindung ist anwendbar bei einem Gerät wie zum
Beispiel einem Drucker, einem Kopierer, einem Faxgerät mit Kommunikationssystem,
einem Textautomaten mit einer Druckvorrichtung oder einer ähnlichen
Vorrichtung und bei einer industriellen Aufzeichnungsvorrichtung,
welche mit verschiedenen Behandlungsvorrichtungen gekoppelt ist
und das Aufzeichnen auf einem Aufzeichnungsmaterial wie Papier, Zwirn,
Fasern, Gewebe, Leder, Metall, Kunstharz, Glas, Holz, Keramik usw.
ermöglicht.
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In
dieser Spezifikation bedeutet „Aufzeichnen" nicht nur die Erzeugung
eines Bildes in Form eines Buchstabens, einer Figur oder eines ähnlichen
Objekts mit besonderer Bedeutung, sondern auch eines Musters ohne
besondere Bedeutung.
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Bekannt
ist ein auf Bläschenbildung
basierendes Tintenstrahlaufzeichnungsverfahren, bei welchem durch
Aufbringen von Energie in Form von Wärme auf die Tinte eine momentane
Zustandsänderung
eintritt, welche in einer momentanen Volumenänderung (Bläschenerzeugung) resultiert,
so dass durch die aus der Zustandsänderung resultierende Kraft
Tinte aus den Ausstoßöffnungen
auf das Aufzeichnungsmaterial ausgestoßen und dadurch ein Bild auf
diesem erzeugt wird. Wie im US-Patent 4,723,129 offenbart, weist
eine nach dem Bläschenaufzeichnungsverfahren
arbeitende Aufzeichnungsvorrichtung eine Ausstoßöffnung zum Ausstoßen von
Tinte, einen mit der Ausstoßöffnung in
Verbindung stehenden Tintenkanal und einen im Tintenkanal angeordneten
elektrothermischen Wandler als Energie erzeugendes Element auf.
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Der
Vorteil eines solchen Aufzeichnungsverfahrens besteht darin, dass
ein qualitativ hochwertiges Bild bei hoher Aufzeichnungsgeschwindigkeit
und geringem Lärm
aufgezeichnet werden kann und zahlreiche solcher Ausstoßöffnungen
in großer
Dichte angeordnet werden können,
wodurch ein Aufzeichnungsgerät
in kleiner Größe und mit
hohem Auflösungsvermögen bereitgestellt
werden kann, welches die Erzeugung von Farbbildern auf einfache
Weise ermöglicht.
Dieses Aufzeichnungsverfahren wird gegenwärtig bei Druckern, Kopierern,
Faxgeräten
und anderen Büroeinrichtungen,
aber auch in industriellen Systemen wie Gewebedruckvorrichtungen
oder ähnlichen
Vorrichtungen in großem
Umfang angewendet.
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Durch
die große
Nachfrage nach diesem Bläschenstrahlverfahren
werden aber in zunehmendem Maße
verschiedene Forderungen an dieses gestellt.
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Das
trifft zum Beispiel auf die Verbesserung der Energieausnutzung zu.
Um dieser Forderung gerecht zu werden, wird untersucht, auf welche
Weise eine Optimierung des Wärme
erzeugenden Elements wie zum Beispiel die Wahl der geeigneten Dicke
des Schutzfilms möglich
ist. Dieses Verfahren zeichnet sich durch eine verbesserte Weiterleitungseffizienz
der erzeugten Wärme
aus.
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Zur
Erzeugung qualitativ hochwertiger Bilder wurden Ansteuerbedingungen
vorgeschlagen, welche die Tintenausstoßgeschwindigkeit erhöhen und/oder
die Bläschenerzeugung
stabilisieren, um das Ausstoßen der
Tinte zu verbessern. Bezüglich
der Erhöhung
der Aufzeichnungsgeschwindigkeit wurde auch vorgeschlagen, die Konfiguration
des Tintenkanals zu verbessern, um das Zuführen von Flüssigkeit in den Flüssigkeitskanal
(Nachfüllen)
zu beschleunigen.
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In
der japanischen Offenlegungsschrift SHO-63-199972 wurden zum Beispiel
die in den 1(a) und 1(b) gezeigten
Flüssigkeitskanalkonfigurationen
vorgeschlagen.
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Bei
diesen Flüssigkeitskanalkonfigurationen
wurden die Erzeugung der Kanäle
selbst und die auf die Flüssigkeitskammer
wirkende Gegenwelle in Betracht gezogen. Da diese Gegenwelle zum
Ausstoßen
der Flüssigkeit
nicht beiträgt,
wird sie als Energieverlust angesehen. Deshalb wurde ein Ventil 10 vorgeschlagen, welches
in Flüssigkeitsfließrichtung
gesehen vor dem Wärme
erzeugenden Element 2 an der Flüssigkeitskanalabdeckung angeordnet
ist. In der Grundstellung erstreckt dieses Ventil sich entlang der
Flüssigkeitskanalabdeckung.
Beim Erzeugen eines Bläschens
neigt dieses Ventil 10 sich nach unten und reduziert dadurch teilweise
die Wirkung der Gegenwelle auf die Flüssigkeitskammer. Wenn das Ventil 10 im
Flüssigkeitskanal 3 angeordnet
ist, wird die Gegenwelle praktisch kaum unterbunden. Die Gegenwelle
hat keinen direkten Einfloß auf
das Ausstoßen
der Flüssigkeit.
Wenn eine solche Gegenwelle im Flüssigkeitskanal entsteht, reicht
schon der daraus resultierende Druck aus, Flüssigkeit aus dem Flüssigkeitskanal
zu drängen.
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Beim
Bläschenstrahlaufzeichnungsverfahren
erfolgt wiederholt das Erwärmen
durch das mit der Tinte in Verbindung stehende Wärme erzeugende Element, so
dass durch das Koagulieren der Tinte verbranntes Material auf der
Oberfläche
des Wärme
erzeugenden Elements abgelagert wird. In Abhängigkeit von den zur Herstellung
der Tinte verwendeten Materialien kann die Ablagerungsmenge groß werden.
Wenn dieser Fall eintritt, wird der Tintenausstoß instabil. Auch wenn die auszustoßende Flüssigkeit
sich durch die Wärme
verschlechtert oder eine ungenügende
Bläschenerzeugungsfähigkeit
besitzt, wird trotzdem ein gutes Ausstoßverhalten oder schnelle Eigenschaftsänderung
gewünscht.
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In
den Anmeldungen zu den japanischen Offenlegungspatenten SHO-61-69467
und SHO-55-81178 und im US-Patent 4,480,259 wird auf die Verwendung
unterschiedlicher Flüssigkeiten
für das
Erzeugen eines Bläschens
durch Wärme
(Bläschenerzeugungsflüssigkeit)
und für
die auszustoßende
Flüssigkeit
(Ausstoßflüssigkeit)
verwiesen. Gemäß dieser
Veröffentlichungen
werden die Tinte als Ausstoßflüssigkeit
und die Bläschenerzeugungsflüssigkeit
durch einen flexiblen Film aus Silikongummi oder einem ähnlichen
Material vollkommen voneinander getrennt, um eine direkte Berührung zwischen
der Ausstoßflüssigkeit
und dem Wärme erzeugenden
Element zu verhindern, aber das Fortpflanzen des aus der Bläschenerzeugung
in der Bläschenerzeugungsflüssigkeit
resultierenden Druckes auf die Ausstoßflüssigkeit durch die Verformung
des flexiblen Films zu ermögliche.
Durch einen solchen Aufbau wird das Ablagern von Material auf der
Oberfläche
des Wärme
erzeugenden Elements verhindert und die Auswahlmöglichkeit für die Ausstoßflüssigkeit
vergrößert.
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Bei
diesem Aufbau mit vollkommener Trennung zwischen der Ausstoßflüssigkeit
und der Bläschenerzeugungsflüssigkeit
wird der aus der Bläschenbildung
resultierende Druck durch die Expansions- und Kontraktionsverformung des flexiblen
Films zwar auf die Ausstoßflüssigkeit
fortgepflanzt, aber zum großen
Teil vom flexiblen Film absorbiert. Außerdem ist die Verformung des
flexiblen Films nicht sehr groß,
so dass die Energienutzungseffizienz und die Ausstoßkraft verringert
werden, obwohl durch die erwähnte
Trennung zwischen der Ausstoßflüssigkeit
und der Bläschenerzeugungsflüssigkeit
der gleiche Effekt erzielt wird.
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Im
Dokument US-A-5278585 wird ein Tintenstrahldruckkopfgemäß dem Oberbegriff
des Anspruchs 1 und ein die Flüssigkeit
ausstoßendes
Verfahren gemäß dem Oberbegriff
des Anspruchs 41 beschrieben, wobei das Wärme erzeugende Element zum
Erzeugen eines Bläschens
in der Tinte zwecks Ausstoßens
von Tinte in einer Vertiefung und ein bewegliches Ventil vor dieser
Vertiefung und sich teilweise über
diese erstreckende angeordnet ist, um die nach hinten gerichtete
Bläschenkraft
im wesentlichen zu blockieren und zum Erleichtern des Tintenausstoßes in die
entgegengesetzte Richtung zu lenken. Im Dokument EP-A-0436047 wird ein
Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf
beschrieben, bei welchem das Ausstoßen von Tinte ebenfalls durch
Erzeugung eines Bläschens
von einem Heizelement erfolgt. Im Tintenkanal ist mindestens ein
Ventil angeordnet, um die Ausdehnung des Bläschens in Richtung Tintenbehälter zu
unterbinden. Bei der in 7 gezeigten Anordnung schließt ein vor
dem Heizelement angeordnetes erstes Ventil als Reaktion auf den
Bläschendruck
den Tintenkanal in Richtung Bläschenerzeugungsbereich
und ein hinter dem Heizelement angeordnetes zweites Ventil öffnet sich
als Reaktion auf den Bläschendruck,
um das Ausstoßen
von Tinte aus der Ausstoßöffnung zu
ermöglichen.
Im Dokument JP-A-05-124189 wird eine Tintenausstoßvorrichtung
beschrieben, bei welcher an beiden Seiten einer Unterkammer Elektroden
angeordnet sind, durch welche beim Anlegen einer Spannung an diese
in der Unterkammer ein Bläschen
erzeugt und durch den Bläschendruck
eine dünne
Membran in Richtung Ausstoßöffnung bewegt
wird, um das Ausstoßen
von Tinte zu ermöglichen.
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Hauptaufgabe
der vorliegenden Erfindung ist die Bereitstellung eines Flüssigkeitsausstoßprinzips,
bei welchem das erzeugte Bläschen
auf eine ganz neue Art gesteuert wird.
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Eine
weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist die Bereitstellung
eines Flüssigkeitsausstoßkopfes,
wobei die Wärmeakkumulation
in der Flüssigkeit über dem
Wärme erzeugenden
Element wesentlich verringert und das Restbläschen über dem Wärme erzeugenden Element verkleinert
wird und Ausstoßeffizienz und
der Ausstoßdruck
verbessert werden.
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Noch
eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist die Bereitstellung
eines Flüssigkeitsausstoßkopfes,
wobei die durch die Gegenwelle erzeugte Trägheitskraft in Richtung entgegen
der Flüssigkeitszuführrichtung
unterdrückt
und durch die Ventilfunktion eines beweglichen Elements gleichzeitig
das Zurückziehen
des Meniskus verringert und dadurch die Nachfüllfrequenz erhöht wird,
um Hochgeschwindigkeitsdrucken zu ermöglichen.
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Noch
eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist die Bereitstellung
eines Flüssigkeitsausstoßkopfes,
wobei das Ablagern von Restmaterial auf dem Wärme erzeugenden Element verringert
und der Flüssigkeitsnutzungsbereich
erweitert wird und außerdem
die Ausstoßeffizienz
und die Ausstoßkraft
vergrößert werden.
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Noch
eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist die Bereitstellung
eines Flüssigkeitsausstoßkopfes,
wobei eine größere Auswahl
an auszustoßenden
Flüssigkeiten
verfügbar
ist.
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Noch
eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist die Bereitstellung
eines Flüssigkeitsausstoßkopfes,
welcher auf einfache Weise gefertigt werden kann, da der Flüssigkeitskanal
zum Zuführen
mehrerer Flüssigkeiten
nur durch wenige Teile gebildet wird. Eine zusätzliche Aufgabe ist die Bereitstellung
eines verkleinerten Flüssigkeitsausstoßkopfes
und einer verkleinerten Flüssigkeitsausstoßvorrichtung.
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Noch
eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist die Erzeugung
eines qualitativ guten Druckbildes nach dem beschriebenen Ausstoßverfahren.
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Unter
einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Flüssigkeitsausstoßkopf für das Ausstoßen von
Flüssigkeit
durch Erzeugung eines Bläschens
bereitgestellt, mit:
einem Wärmeerzeugerelement für das Erzeugen
von Wärme,
um das Bläschen
in einer Flüssigkeitsfließbahn auszubilden,
der mit einer Ausstoßöffnung für das Ausstoßen von
Flüssigkeit
in Verbindung steht, wobei das Wärmeerzeugerelement
eine Widerstandslage und ein Paar an Elektroden hat, die mit der
Widerstandslage verbunden sind; und
einem beweglichen Element,
das einen Drehpunkt und ein freies Ende, das bezüglich einer Flüssigkeitsfließrichtung
entlang des Flüssigkeitsfließkanals
zu der Ausstoßöffnung stromabwärts des
Auslenkpunktes angebracht ist, hat, wobei das bewegliche Element
so angebracht ist, dass es dem Wärmeerzeugerelement
zugewandt ist, wobei sich ein Raum zwischen dem beweglichen Element
und dem Wärmeerzeugerelement
befindet, wobei das bewegliche Element durch Druck, der durch die
Bläschenerzeugung
erzeugt wird, von einer ersten Position in eine zweite Position,
die weiter von dem Wärmeerzeugerelement
als die erste Position entfernt ist, beweglich ist;
dadurch
gekennzeichnet, dass
das freie Ende des beweglichen Elements
bezüglich
der Flüssigkeitsfließrichtung
stromabwärts
einer Mitte von dem Bereich des Wärmeerzeugerelements angeordnet
ist.
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In
dieser Spezifikation sind „stromaufwärts" und „stromabwärts" bezüglich der
Fließrichtung
definiert, in welcher die Flüssigkeit
von einer Quelle durch den Bläschenerzeugungsbereich
(bewegliches Element) bis zur Ausstoßöffnung fließt.
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Was
das Bläschen
selbst betrifft, ist „stromabwärts" definiert als in
Richtung zu der Bläschenausstoßöffnungsseite,
die unmittelbar dazu dient, das Bläschen auszustoßen. Genauer
gesagt bedeutet dies ein Stromabwärts von der Mitte des Bläschens bezüglich der
Flüssigkeitsfließrichtung
oder ein Stromabwärts
von der Mitte des Wärmeerzeugungsbereichs
bezogen auf den selben.
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Der
in dieser Spezifikation benutzte Ausdruck „im wesentlichen abgedichtet" bezieht sich allgemein auf
den Grad der Abdichtung, das heißt, dass beim Anwachsen des
Bläschens
dieses sich erst dann durch den Spalt (Schlitz) um das bewegliche
Element quetscht, wenn dieses eine Bewegung durchführt.
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Der
in dieser Spezifikation benutzte Begriff „Trennwand" bezieht sich auf eine Wand (welche
das bewegliche Element einschließt), welche die direkte Verbindung
zwischen dem Bläschenerzeugungsbereich
und der Ausstoßöffnung,
das heißt
den zwischen dem Bläschenerzeugungsbereich
und der Ausstoßöffnung liegenden
Abschnitt des Flüssigkeitskanals
trennt, um ein Vermischen der in den Flüssigkeitskanälen vorhandenen
Flüssigkeiten
zu verhindern.
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Diese
und weitere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung
sind aus der folgenden Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen
in Verbindung mit den beiliegenden Zeichnungen deutlicher zu erkennen.
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1 zeigt
eine Schnittansicht des Flüssigkeitskanals
in einem herkömmlichen
Flüssigkeitsausstoßkopf.
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2 zeigt
schematisch eine Schnittansicht des bei einer Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung verwendeten Flüssigkeitsausstoßkopfes.
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3 zeigt
teilweise geschnitten und in perspektivischer Darstellung einen
Flüssigkeitsausstoßkopf gemäß einer
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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4 zeigt
schematisch das Fortpflanzen des von einem Bläschen erzeugten Druckes in
einem herkömmlichen
Kopf.
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5 zeigt
schematisch das Fortpflanzen des von einem Bläschen erzeugten Druckes in
einem Kopf gemäß einer
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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6 zeigt
schematisch einen Flüssigkeitskanal
in einer Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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7 zeigt
teilweise geschnitten und in perspektivischer Darstellung einen
Flüssigkeitsausstoßkopf gemäß einer
weiten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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8 zeigt
teilweise geschnitten und in perspektivischer Darstellung einen
Flüssigkeitsausstoßkopf gemäß einer
dritten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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9 zeigt
teilweise geschnitten einen Flüssigkeitsausstoßkopf gemäß einer
vierten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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10 zeigt
teilweise geschnitten einen Flüssigkeitsausstoßkopf gemäß einer
fünften
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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11 zeigt
eine Schnittansicht eines Flüssigkeitsausstoßkopfes
(2 Flüssigkeitskanäle) gemäß einer sechsten
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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12 zeigt
teilweise geschnitten und in perspektivischer Darstellung den Flüssigkeitsausstoßkopf gemäß der sechsten
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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13 zeigt
die Wirkungsweise eines beweglichen Elements.
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14 zeigt
die Konfiguration eines zweiten Flüssigkeitskanals und eines beweglichen
Elements. 15 zeigt die Konfiguration eines
Flüssigkeitskanals
und eines beweglichen Elements. 16 zeigt
eine weitere Konfiguration des beweglichen Elements.
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17 zeigt
in einem Diagramm die Beziehung zwischen der Fläche des Wärme erzeugenden Elements und
der Tintenausstoßmenge.
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18 zeigt
die positionelle Beziehung zwischen einem beweglichen Element und
einem Wärme
erzeugenden Element.
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19 zeigt
in einem Diagramm die Beziehung zwischen dem Abstand von einer Kante
des Wärme erzeugenden
Elements zum Auslenkpunkt und dem Bewegungsweg des beweglichen Elements. 20 zeigt die
positionelle Beziehung zwischen dem Wärme erzeugenden Element und
dem beweglichen Element.
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21 zeigt
den Längsschnitt
eines Flüssigkeitsausstoßkopfes
gemäß einer
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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22 zeigt
schematisch eine Form des Steuerimpulses.
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23 zeigt
eine Schnittansicht des Flüssigkeitszuführkanals
eines Flüssigkeitsausstoßkopfes
in einer Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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24 zeigt
in Perspektiv- und Explosivdarstellung den Kopf in einer Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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Die 25 bis 27 zeigen
die Verfahrensschritte zur Herstellung eines Flüssigkeitsausstoßkopfes in
Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung.
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28 zeigt
in Perspektiv- und Explosivdarstellung eine Flüssigkeitsausstoßkopfkartusche. 29 zeigt
schematisch eine Flüssigkeitsausstoßvorrichtung.
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30 zeigt
das Blockschaltbild eines Gerätes.
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31 zeigt
schematisch ein nach dem Prinzip des Flüssigkeitsausstoßens arbeitendes
Aufzeichnungssystem.
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32 zeigt
schematisch eine Kopfeinheit.
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BESCHREIBUNG
DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
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<Ausführungsform 1>
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Nachfolgend
werden in Verbindung mit den beiliegenden Zeichnungen die Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung beschrieben.
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Bei
der Ausführungsform
1 handelt es sich um die Verbesserung der Ausstoßkraft und/oder der Ausstoßeffizienz
durch Steuerung der Fortpflanzungsrichtung des aus der Bläschenerzeugung
zum Ausstoßen der
Flüssigkeit
resultierenden Drucks und der Bläschenwachstumsrichtung. 2 zeigt
schematisch die Schnittansicht des Flüssigkeitskanals im Ausstoßkopf gemäß dieser
Ausführungsform
und 13 teilweise geschnitten und in perspektivischer
Darstellung den Flüssigkeitsausstoßkopf selbst.
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Der
Flüssigkeitsausstoßkopf gemäß dieser
Ausführungsform
weist folgendes auf, ein Wärme
erzeugendes Element 2 (Wärme erzeugender Widerstand
mit den Abmessungen 40 μm × 105 μm bei dieser
Ausführungsform)
als Ausstoßenergie
erzeugendes Element zum Zuführen
von Wärmeenergie
an die Flüssigkeit zwecks
Ausstoßens
dieser Flüssigkeit,
ein Substrat 1 mit dem darauf angeordneten Wärme erzeugenden
Element 2 und einen über
dem Substrat entsprechend dem Wärme
erzeugenden Element 2 vorhandenen Flüssigkeitskanal 10.
Der Flüssigkeitskanal 10 ist
mit einer gemeinsamen Flüssigkeitskammer 13,
welche die einzelnen Flüssigkeitskanäle 10 mit
Flüssigkeit
versorgt, und der Ausstoßöffnung 18 verbunden.
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Im
Flüssigkeitskanal 10 ist über dem
Substrat und gegenüber
dem Wärme
erzeugenden Element 2 ein bewegliches Element oder eines
bewegliche Blättchens 31 in
Form eines Auslegers aus elastischem Material wie Metall angeordnet. Ein
Ende des beweglichen Elements ist an einer durch Bemusterung eines
fotoempfindlichen Harzes auf der Wand des Flüssigkeitskanals 10 oder
dem Substrat erzeugten Grundplatte (Stützelement) 34 oder
an einem ähnlichen
Bauelement befestigt. Diese Konstruktion stützt das bewegliche Element und
stellt dessen Auslenkpunkt dar.
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Das
bewegliche Element 31 ist in einem Abstand von etwa 15 μm zum Wärme erzeugenden
Element 2 so positioniert, als würde es dieses bedecken, und
in Flüssigkeitsfließrichtung
von der gemeinsamen Flüssigkeitskammer 13 zur
Ausstoßöffnung 18 gesehen
liegt dessen Auslenkpunkt (Befestigungsstelle) 33 hinter der
gemeinsamen Flüssigkeitskammer
und dessen freies Ende 32 vor der Ausstoßöffnung 18.
Der Bläschenerzeugungsbereich
befindet sich zwischen dem Wärme
erzeugenden Element und dem beweglichen Element. Art, Konfiguration
oder Lage des Wärme
erzeugenden Elements oder des beweglichen Elements sind nicht auf
die beschrieben Art, Konfiguration und Lage beschränkt, sondern
können
entsprechend verändert
werden, wenn dadurch das Wachsen des Bläschens und die Druckfortpflanzung
weiterhin steuerbar sind. Um das Fließen der Flüssigkeit leichter verständlich zu
machen, wird durch das bewegliche Element 31 der Flüssigkeitskanal 10 in
einen mit der Ausstoßöffnung 18 direkt
in Verbindung stehenden ersten Flüssigkeitskanal 14 und einen
den Bläschenerzeugungsbereich 11 und
die Flüssigkeitszuführöffnung 12 einschließenden zweiten
Flüssigkeitskanal 16 unterteilt.
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Wenn
das Wärme
erzeugende Element 2 Wärme
erzeugt, um diese auf die Flüssigkeit
im Bläschenerzeugungsbereich
zwischen dem beweglichen Element 31 und dem Wärme erzeugenden
Element 2 zu übertragen,
wird durch das im US-Patent 4,723,129 offenbarte Filmkochen ein
Bläschen
gebildet. Das Bläschen und
der bei der Bläschenbildung
entstehende Druck wirken hauptsächlich
auf das bewegliche Element 31 und lenken dieses so um den
Auslenkpunkt 33 aus, dass der nahe der Ausstoßöffnung vorhandene
Spalt erweitert wird, wie aus den 2(b) und 2(c) oder der 3 hervorgeht.
Durch Auslenken des beweglichen Elements 31 oder durch
den nach dem Auslenken eingetretenen Zustand pflanzt der durch die
Bläschenbildung
und das Wachsen des Bläschens
selbst erzeugte Druck sich bis zur Ausstoßöffnung fort.
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Nachfolgend
wird eines der Ausstoßgrundprinzipien
gemäß der vorliegenden
Erfindung näher
beschrieben. Ein wichtiges Prinzip der Erfindung besteht darin,
dass auf der Grundlage des bei der Bläschenbildung oder durch das
Bläschen
selbst erzeugten Drucks das bewegliche Element von einer ersten
Stellung in eine zweite Stellung ausgelenkt wird und dabei den Druck
auf die Ausstoßöffnung 18 richtet.
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Detaillierter
wird nun ein Vergleich zwischen der Konfiguration eines herkömmlichen
Flüssigkeitskanals
ohne dieses bewegliche Element (4) und der
Konfiguration des Flüssigkeitskanals
gemäß der vorliegenden
Erfindung (5) angestellt. Die Druckfortpflanzungsrichtung
zur Ausstoßöffnung hin
ist mit dem Bezugszeichen VA und die zur
Flüssigkeitszufuhrseite
hin mit dem Bezugszeichen VB gekennzeichnet.
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Der
in 4 dargestellte herkömmliche Kopf weist kein Bauelement
auf, welches die Fortpflanzungsrichtung des bei der Bildung des
Bläschens 40 entstehenden
Druckes bestimmt. Demzufolge pflanzt der Druck sich im rechten Winkel
zur Bläschenoberfläche fort,
gekennzeichnet durch die Bezugszeichen V1–V8, das heißt in verschiedenen
Richtungen innerhalb des Flüssigkeitskanals.
Von diesen zahlreichen Fortpflanzungsrichtungen sind die mit den
Bezugszeichen V1–V4
gekennzeichneten und von der zur Ausstoßöffnung zeigenden Bläschenhälfte ausgehenden
Richtungen mit der Druckkomponente VA am
meisten am Ausstoßvorgang beteiligt.
Dieser Abschnitt ist deshalb von Bedeutung, weil dieser die Flüssigkeitsausstoßeffizienz,
den Flüssigkeitsausstoßdruck und
die Ausstoßgeschwindigkeit
direkt beeinflusst. Die Komponente V1 ist die nächstgelegene bezüglich der
mit dem Bezugszeichen VA gekennzeichneten
Ausstoßrichtung
und deshalb die effektivste, während
die Komponente V4 in Richtung VA eine relativ
kleine Wirkung hat.
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Bei
der in 5 gezeigten Konfiguration gemäß der vorliegenden Erfindung
bestimmt das bewegliche Element 31 die Druckfortpflanzungsrichtungen
V1–V4
zur Ausstoßöffnung hin,
so dass eine Konzentration der Fortpflanzung des vom Bläschen 40 erzeugten
Drucks erfolgt, welche direkt und effektiv zum Ausstoßen beiträgt.
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Das
Wachsen des Bläschens
erfolgt ebenfalls in den Fortpflanzungsrichtungen V1–V4 und
demzufolge mehr zur Ausstoßseite
als zur Zuführungsseite
hin. Das heißt,
die Wachstumsrichtung des Bläschens
und demzufolge die Druckfortpflanzungsrichtung vom Bläschen aus
wird vom beweglichen Element gesteuert und dieses Steuern fährt zu einer
grundlegenden Verbesserung der Ausstoßeffizienz, einer Vergrößerung der
Ausstoßkraft
und einer Erhöhung
der Ausstoßgeschwindigkeit.
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Nachfolgend
wird mit Bezug auf 2 der Flüssigkeitsausstoßkopf in
dieser Ausführungsform
detailliert beschrieben.
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2(a) zeigt den Zustand vor dem Speisen
des Wärme
erzeugenden Elements 2 mit Elektroenergie, in welchem keine
Wärme erzeugt
wird. Anzumerken ist, dass in Flüssigkeitsfließrichtunq
gesehen das bewegliche Element 31 mindestens den hinteren
Abschnitt des vom Wärme
erzeugenden Element erzeugten Bläschens
berührt.
Mit anderen Worten, der Flüssigkeitskanal
muss so konfiguriert sein, dass dieser Bläschenabschnitt auf das bewegliche
Element 31 wirkt und das bewegliche Element sich mindestens
bis zu einer Stelle hinter der mit dem Bezugszeichen 3 gekennzeichnete
Flächenmitte
des Wärme
erzeugenden Elements und im rechten Winkel zur Länge des Flüssigkeitskanals erstreckt.
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2(b) zeigt den Zustand, in welchem durch
Speisen des Wärme
erzeugenden Elements 2 mit Elektroenergie Wärme erzeugt
wird und die auf diese Weise erzeugte Wärme einen Teil der im Bläschenerzeugungsbereich 11 vorhandenen
Flüssigkeit
erwärmt,
um durch Filmkochen ein Bläschen
zu bilden.
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In
diesem Zustand wird durch den bei der Bildung des Bläschens 40 erzeugten
Druck das bewegliche Element 31 von der ersten Stellung
in die zweite Stellung ausgelenkt, wodurch die Druckfortpflanzung
in Richtung Ausstoßöffnung erfolgt.
Anzumerken ist, dass das freie Ende 32 des beweglichen
Elements 31 auf der Ausstoßöffnungsseite und der Schwenkpunkt 33 auf
der Seite der gemeinsamen Flüssigkeitskammer
angeordnet ist, so dass mindestens ein Teil des beweglichen Elements
sich hinter dem Bläschen,
das heißt
hinter dem Wärme
erzeugenden Element befindet.
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2(c) zeigt den Zustand, in welchem durch
den aus der Bläschenbildung
resultierenden Druck das Bläschen 40 weiter
gewachsen ist und das bewegliche Element 31 weiter ausgelenkt
wurdet. Das erzeugte Bläschen
wächst
mehr in Flüssigkeitsfließrichtung
als entgegen dieser und vergrößert sich
stark über
die erste Stellung (gestrichelte Linie) des beweglichen Elements
hinaus. Das heißt,
in Übereinstimmung
mit dem Wachsen des Bläschens 40 wird
das bewegliche Element 31 allmählich ausgelenkt, so dass der
Druck sich in die Richtung fortpflanzt, in welche die Volumenausdehnung
des Bläschens
leicht vonstatten geht, und das ist zur Ausstoßöffnung hin und führt zu einer
Vergrößerung der
Ausstoßeffizienz.
Wenn das bewegliche Element das Bläschen und damit den Bläschenerzeugungsdruck
auf die Ausstoßöffnung hin
lenkt, beeinträchtigt
dieses das Wachsen des Bläschens
und die Druckfortpflanzung kaum, so dass in Übereinstimmung mit der Druckgröße die Druckfortpflanzungsrichtung
und die Bläschenwachstumsrichtung
gesteuert werden können.
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2(d) zeigt den Zustand, in welchem durch
die Druckabnahme im Bläschen 40 dieses
sich zusammenzieht und verschwindet, und das ist das Eigentümliche des
Filmkochphänomens.
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Das
in die zweite Stellung ausgelenkte bewegliche Element 31 kehrt
durch seine Federwirkung und den Unterdruck infolge des Zusammenziehens
des Bläschens
in die in 2(a) dargestellte Ausgangsstellung (erste
Stellung) zurück.
Beim Zusammenfallen des Bläschens
fließt
Flüssigkeit
aus der gemeinsamen Flüssigkeitskammer
nach, gekennzeichnet durch die Bezugszeichen VD1 und
VD2, und von der Ausstoßöffnungsseite her zurück, gekennzeichnet
durch das Bezugszeichen VC, um den Volumenverlust
des Bläschens
im Bläschenerzeugungsbereich 11 und
den durch das Ausstoßen
von Flüssigkeit
entstandenen Volumenverlust auszugleichen.
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Im
vorhergehenden Abschnitt wurde die Arbeitsweise des beweglichen
Elementes durch die Bläschenerzeugung
und das Ausstoßen
von Flüssigkeit
beschrieben. Nachfolgend wird auf das Nachfüllen von Flüssigkeit im Flüssigkeitsausstoßkopf der
vorliegenden Erfindung näher
eingegangen.
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Mit
Bezug auf 2 wird jetzt der Flüssigkeitszufuhrmechanismus
beschrieben.
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Wenn
nach Erreichen des Maximalvolumens gemäß 2(c) das
Bläschen
beginnt in sich zusammenzufallen, fließt zum Ausgleichen des Volumenverlusts
von der Ausstoßöffnungsseite
des ersten Flüssigkeitskanals 14 und vom
Bläschenerzeugungsbereich
des zweiten Flüssigkeitskanals 16 wieder
Flüssigkeit
in den Bläschenerzeugungsbereich.
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Bei
einem Flüssigkeitskanal
herkömmlicher
Konstruktion ohne das bewegliche Element 31 ist die von der
Ausstoßöffnungsseite
und die von der gemeinsamen Flüssigkeitskammer
zur Bläschenkontraktionsstelle fließende Flüssigkeitsmenge
vom Fließwiderstand
des näher
zur Ausstoßöffnung als
zum Bläschenerzeugungsbereich
gelegenen Abschnitts und dem des näher zur gemeinsamen Flüssigkeitskammer
gelegenen Abschnitts abhängig.
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Wenn
der Fließwiderstand
an der Ausstoßöffnungsseite
kleiner ist als an der anderen Seite, fließt von der erstgenannten Seite
eine große
Flüssigkeitsmenge
zur Bläschenkontraktionsstelle
und bewirkt dadurch, dass der Meniskus sich weit zurückzieht.
Mit einer Verringerung des Fließwiderstandes
in der Ausstoßöffnung zum
Zwecke der Erhöhung
der Ausstoßeffizienz
zieht der Meniskus M sich bis zur Bläschenkontraktionsstelle zurück, mit
dem Ergebnis, dass die Auffüllzeit
länger
und dadurch Hochgeschwindigkeitsaufzeichnen schwierig wird.
-
Durch
das bei dieser Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung vorhandene bewegliche Element 31 wird
das Zurückziehen
des Meniskus zu dem Zeitpunkt gestoppt, in welchem beim Zusammenfallen
des Bläschens
das bewegliche Element in die Ausgangsstellung zurückkehrt,
und danach strömt
durch den mit dem Bezugszeichen VD2 gekennzeichneten
und durch den zweiten Flüssigkeitskanal 16 ablaufenden
Fließvorgang
wieder so viel Flüssigkeit
nach, dass das mit dem Bezugszeichen W2 gekennzeichnete Volumen
gefüllt wird
(W1 kennzeichnet den Volumenanteil des Bläschens oberhalb der ersten
Stellung des beweglichen Elements 31 und W2 den Volumenanteil
des Bläschens
im Bläschenerzeugungsbereich 11).
Im Falle eines nach dem Stand der Technik konfigurierten Flüssigkeitskanals
entspricht das Volumen des Meniskusrückzugs der Hälfte des
Bläschenvolumens
W, während
bei einem Flüssigkeitskanal
gemäß der vorliegenden
Erfindung nur etwa die Hälfte
davon (W1) das Volumen des Meniskusrückzugs ausmacht.
-
Außerdem erfolgt
die Flüssigkeitszufuhr
für das
Volumen W2 hauptsächlich
von der Flüssigkeitszuführseite
aus (VD2) über den zweiten Flüssigkeitskanal
entlang der zum beweglichen Element 31 zeigenden Fläche des
Wärme erzeugenden
Elements unter Nutzung des beim Zusammenfallen des Bläschens entstehenden
Unterdrucks, wodurch das Auffüllen
beschleunigt wird.
-
Wenn
bei einem herkömmlichen
Kopf das Auffüllen
unter Nutzung des beim Zusammenfallen des Bläschens entstehenden Unterdruckes
erfolgt, tritt ein erhöhtes
Schwingen des Meniskus ein, wodurch aber die Bildqualität verschlechtert
wird. Gemäß dieser
Ausführungsform
wird ein Fließen
der Flüssigkeit
im ersten Flüssigkeitskanal 14 an
der Ausstoßöffnungsseite
und an der Ausstoßausgangsseite
des Bläschenerzeugungsbereichs 11 unterdrückt und
dadurch das Schwingen des Meniskus verringert.
-
Somit
ist gemäß der vorliegenden
Ausführungsform
durch Zwangsauffüllen
des Bläschenerzeugungsbereichs über die
Flüssigkeitszuführstelle 12 des
zweiten Flüssigkeitskanals 16 sowie
durch Unterdrücken
des Meniskusrückzugs
und des Meniskusschwingens Hochgeschwindigkeitsauffüllen realisierbar.
Demzufolge wird das Ausstoßen
und wiederholtes Hochgeschwindigkeitsausstoßen stabilisiert, und wenn
ein Kopf gemäß dieser
Ausführungsform
zum Aufzeichnen verwendet wird, ist eine Verbesserung der Bildqualität und eine
Erhöhung
der Aufzeichnungsgeschwindigkeit möglich.
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Beim
Kopf dieser Ausführungsform
wird das Fortpflanzen des bei der Bläschenbildung erzeugten Drucks
entgegen der Flüssigkeitsfließrichtung
(Gegenwelle) effektiv unterdrückt.
Der auf dem Wärme
erzeugenden Element 2 bei der Bläschenbildung erzeugte Druck
hat eine Komponente, welche die Flüssigkeit in Richtung der gemeinsamen
Flüssigkeitskammer
zurückdrückt (Gegenwelle).
Durch den in Flüssigkeitsfließrichtung
gesehen vor dem Wärme
erzeugenden Element vorhandenen Druck und durch die daraus resultierende
Bewegung der Flüssigkeit
und Trägheitskraft
verschlechtert sich das Auffüllen
des Flüssigkeitskanals mit
Flüssigkeit.
Bei dieser Ausführungsform
werden diese Wirkungen entgegen der Flüssigkeitsfleißrichtung durch
das bewegliche Element 31 unterdrückt, wodurch eine weitere Verbesserung
der Auffüllleistung
erreicht wird.
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Nachfolgend
wird auf weitere charakteristische Merkmale und vorteilhafte Effekte
näher eingegangen.
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Bei
dieser Ausführungsform
ist der zweite Flüssigkeitskanal 16 nochmals
unterteilt und die Innenwand des dabei gebildeten Unterabschnitts 12 verläuft in Flüssigkeitsfließrichtung
gesehen vor dem Wärme
erzeugenden Element 2 im wesentlichen eben zu diesem (die
Oberfläche
des Wärme
erzeugenden Elements ist nicht übermäßig abgestuft).
Bei dieser Konfiguration verläuft
die Flüssigkeitszufuhr
zur Oberfläche
des Wärme erzeugenden
Element 2 und zum Bläschenerzeugungsbereich 11 entlang
der Oberfläche
des beweglichen Elements 31 näher zum Bläschenerzeugungsbereich 11 hin,
gekennzeichnet durch das Bezugszeichen VD2. Dadurch
wird ein Stagnieren der Flüssigkeit
auf der Oberfläche
des Wärme
erzeugenden Elements 2 und somit das Ausscheiden des in
der Flüssigkeit
gelösten
Gases unterdrückt,
so dass das Entfernen nicht verschwundener Restbläschen problemlos
erfolgen kann und kein allzu großer Wärmestau in der Flüssigkeit
entsteht. Demzufolge ist wiederholte stabile Bläschenerzeugung bei hoher Geschwindigkeit
möglich.
Bei dieser Ausführungsform
hat der Flüssigkeitskanalunterabschnitt 12 eine
im wesentlichen ebene Innenwand, doch dieser Flüssigkeitskanal ist nicht auf
diese Konfiguration beschränkt
und kann beliebig ausgeführt
werden, wenn dessen Innenwand von der Oberfläche des Wärme erzeugenden Elements aus
glatt verläuft
und eine Flüssigkeitsstagnation
auf dem Wärme
erzeugenden Element sowie eine Wirbelbildung bei der Flüssigkeitszufuhr
nicht eintreten.
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Die
mit dem Bezugszeichen VD1 gekennzeichnete
Flüssigkeitsmohr
in den Bläschenerzeugungsbereich
kann durch einen Spalt (Schlitz 35) am freien Ende des
beweglichen Elements erfolgen. Um den bei der Bläschenbildung erzeugten Druck
noch effektiver auf die Ausstoßöffnung zu
lenken, kann ein den gesamten Bläschenerzeugungsbereich
(die Oberfläche
des Wärme
erzeugenden Elements) überdeckendes
großes
bewegliches Element verwendet werden, wie aus 2 zu
erkennen ist. Durch das Zurückschwenken
des beweglichen Elements in die erste Stellung wird der Flüssigkeitsfließwiderstand
zwischen dem Bläschenerzeugungsbereich 11 und
dem Bereich des ersten Flüssigkeitskanals 14 nahe
der Ausstoßöffnung vergrößert und dadurch
das Fließen
der Flüssigkeit
zum Bläschenerzeugungsbereich 11 entlang
VD1 unterdrückt. Die bei der Kopfkonfiguration
gemäß dieser
Ausführungsform
auftretende Flüssigkeitsströmung unterstützt die
Flüssigkeitszufuhr
zum Bläschenerzeugungsbereich
und verbessert die Flüssigkeitsfließleistung
merklich, so dass selbst dann, wenn zur Verbesserung der Ausstoßeffizienz
das bewegliche Element 31 den Bläschenerzeugungsbereich 11 vollständig bedeckt,
die Flüssigkeitsfließleistung
nicht beeinträchtigt
wird.
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Die
positionelle Beziehung zwischen dem freien Ende 32 und
dem Auslenkpunkt 33 des beweglichen Elements 31 zeigt 6,
bei welcher in Flüssigkeitsfleißrichtung
gesehen das freie Ende hinter dem Auslenkpunkt liegt. Durch diese
Konstruktion können
bei der Bläschenerzeugung
Funktion und Wirkung des Hinlenkens der Druckfortpflanzung und des
Bläschenwachstums
zur Ausstoßöffnung und
das Ablaufen anderer positiver Vorgänge effektiv gewährleistet
werden.
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Diese
positionelle Beziehung hat aber nicht nur Einfluss auf das Ausstoßen selbst,
sondern bewirkt auch eine Verringerung des Fließwiderstandes durch den Flüssigkeitskanalunterabschnitt 10 beim
Zuführen von
Flüssigkeit
und ermöglicht
Hochgeschwindigkeitsauffüllen.
Wenn, wie in 6 dargestellt, der nach dem Ausstoßvorgang
zurückgezogene
Meniskus M durch Kapillarwirkung oder durch Flüssigkeitszufuhr zum Kompensieren
des Volumens beim Zusammenfallen des Bläschens wieder zur Ausstoßöffnung 18 zurückgelangt, bewirken
die Lage des freien Endes 32 und die des Auslenkpunktes,
dass die Strömungen
S1, S2 und S3 durch den Flüssigkeitskanalunterabschnitt 10 einschließlich den
ersten Flüssigkeitskanal 14 und
den zweiten Flüssigkeitskanal 16 nicht
beeinträchtigt
werden.
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Genauer
ausgedrückt,
bei der beschriebenen Ausführungsform
liegt in Flüssigkeitsfließrichtung
gesehen das freie Endes 32 des beweglichen Elements 31 hinter
der mit dem Bezugszeichen 3 gekennzeichneten und im rechten
Winkel zur Längsrichtung
des Flüssigkeitskanals
verlaufenden Mittelinie des Wärme
erzeugenden Elements 2, welche dessen Fläche in zwei
Bereiche teilt. Das bewegliche Element 31 nimmt den Druck und
das Bläschen,
welche in Flüssigkeitsfleißrichtung
gesehen den hinter der Mittellinie 3 des Wärme erzeugenden
Elements liegenden Bereich beeinflussen, auf und lenkt diese so
gegen die Ausstoßöffnung,
dass die Ausstoßeffizienz
grundlegend verbessert oder die Ausstoßkraft erhöht wird.
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Weitere
vorteilhafte Effekte entstehen in Flüssigkeitsfließrichtung
gesehen auch vor dem Bläschen, worauf
bereits eingegangen wurde.
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Bei
dieser Ausführungsform
wird auch die momentane mechanische Bewegung des freien Endes des beweglichen
Elements als positiver Faktor für
das Ausstoßen
der Flüssigkeit
angesehen.
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<Ausführungsform 2>
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7 zeigt
eine zweite Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung. Dabei zeigt A ein ausgelenktes bewegliches
Element ohne Bläschen
und B dieses bewegliche Element in der Ausgangsstellung (erste Stellung),
wobei der Bläschenerzeugungsbereich 11 zur
Ausstoßöffnung 18 hin
im wesentlichen abgedichtet ist. Zwischen den beiden beweglichen
Elementen A und B ist eine in dieser Figur nicht dargestellte Trennwand
im Flüssigkeitskanal
angeordnet, um diesen Flüssigkeitskanal
zu unterteilen.
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An
jeder Seite ist eine Stütze 34 vorgesehen,
und zwischen diesen ein Flüssigkeitszufuhrabschnitt 12. Bei
dieser Konstruktion kann die Flüssigkeit
entlang der Oberfläche
des dem Wärme
erzeugenden Element gegenüberliegenden
beweglichen Element und vom Flüssigkeitskanal
mit einer zur Oberfläche
des Wärme
erzeugenden Elements im wesentlichen eben oder gleichmäßig verlaufenden
Oberfläche
zugeführt
werden.
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Wenn
das bewegliche Element 31 sich in der Ausgangsstellung
(erste Stellung) befindet, liegt dieses nahe an der hinter dem Wärme erzeugenden
Element 2 angeordneten Wand 36 oder berührt diese
und an den Seitenwänden 37 des
Wärme erzeugenden
Elements an und dichtet dadurch den Bläschenerzeugungsbereich 11 im
wesentlich gegen die Ausstoßöffnung 18 ab.
Dadurch kann der bei der Bläschenbildung
erzeugte Druck, besonders der in Fließrichtung hinter dem Bläschen auftretende
Druck in dem am freien Ende des beweglichen Elements vorhandenen
Bereich ohne Verlust konzentriert werden.
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Beim
Zusammenfallen des Bläschens
schwenkt das bewegliche Element 31 in die erste Stellung
zurück
und dichtet den Bläschenerzeugungsbereich 11 im
wesentlichen ab, wodurch das Zurückziehen
des Meniskus unterbunden wird und die Flüssigkeitszufuhr zum Wärme erzeugenden
Element unter Nutzung der beschriebenen Vorteile erfolgt. Hinsichtlich
des Auffüllens
können
die gleichen vorteilhaften Effekte wie bei der vorhergehenden Ausführungsform
erreicht werden.
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Bei
dieser Ausführungsform
ist die Stütze 34 zum
Stützen
und Fixieren des beweglichen Elements 31 etwas entfernt
vor dem Wärme
erzeugenden Element 2 angeordnet, wie die 3 und 7 zeigen,
und die Breite der Stütze 34 ist
schmaler als der Flüssigkeitskanalunterabschnitt 10,
um dem Flüssigkeitskanalabschnitt 12 Flüssigkeit
zuzuführen.
Die Konfiguration der Stütze 34 ist
nicht auf die dargestellte Konstruktion beschränkt, sondern kann beliebig
ausgeführt
werden, wenn glattes Auffüllen
gewährleistet
wird.
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Bei
dieser Ausführungsform
beträgt
der Abstand zwischen dem beweglichen Element 31 und dem Wärme erzeugenden
Element 2 etwa 15 μm,
kann aber verändert
werden, wenn das Fortpflanzen des bei der Bläschenbildung erzeugten Drucks
auf das bewegliche Element gewährleistet
wird.
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<Ausführungsform 3>
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8 zeigt
einen der grundlegenden Aspekte der vorliegenden Erfindung, das
heißt
die positionelle Beziehung zwischen dem Bläschenerzeugungsbereich, dem
Bläschen
selbst und dem im Flüssigkeitskanal angeordneten
beweglichen Element, welche zur Beschreibung des Flüssigkeitsausstoßverfahrens
und des Auffüllvorgangs
herangezogen wird.
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Bei
der vorher beschriebenen Ausführungsform
wird der durch das gebildete Bläschen
erzeugte Druck am freien Ende des beweglichen Elements konzentriert,
um das bewegliche Element schnell auszulenken und die Bewegung des
Bläschens
zur Ausstoßöffnung hin
zu lenken. Bei dieser Ausführungsform
bewegt das Bläschen
sich noch relativ frei und der zur Ausstoßöffnung hin gerichtete Teil
des Bläschens,
welcher den Tröpfchenausstoß bewirkt,
wird vom freien Ende des beweglichen Elements manipuliert.
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Genauer
ausgedrückt,
der in 3 dargestellte, auf dem Substrat für das Wärme erzeugende
Element angeordnete und als Barriere dienende Ausleger (schraffierter
Abschnitt) 1 ist bei dieser Ausführungsform nicht vorhanden.
Bei dieser Ausführungsform
dichten das freie Ende und die Seiten des beweglichen Elements den
Bläschenerzeugungsbereich
nicht gegen die Ausstoßöffnung hin
ab, sondern öffnen
diesen.
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Bei
dieser Ausführungsform
wächst
das Bläschen
in Richtung auf die Abschnitte, welche das Ausstoßen des
Flüssigkeitströpfchens
direkt bewirken, so dass diese Druckkomponente effektiv zum Ausstoßen genutzt
wird. Der in diesem unteren Abschnitt nach oben gerichtet Druck
(Kraftkomponenten VB2, VB3 und
VB4) bewirkt, dass das freie Ende des beweglichen
Elements das Wachsen des Bläschens
nach vorn begünstigt und
dadurch die Ausstoßeffizienz ähnlich wie
bei der vorhergehenden Ausführungsform
verbessert wird. Im Vergleich zu dieser ist hier aber eine bessere
Ansprechempfindlichkeit beim Ansteuern des Wärme erzeugenden Elements zu
verzeichnen.
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Aufgrund
der einfachen Konstruktion dieser Ausführungsform ist auch die Herstellung
einfach.
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Bei
dieser Ausführungsform
befindet der Auslenkpunkt des beweglichen Elements sich auf einer
Stütze 34,
deren Breite geringer ist als die der Oberfläche des beweglichen Elements.
Dadurch erfolgt beim Zusammenfallen des Bläschens die Flüssigkeitszufuhr
zum Bläschenerzeugungsbereich 11 entlang
der beiden Seiten der Stütze
(gekennzeichnet durch die beiden Pfeile). Die Stütze kann aber auch anders konfiguriert
werden, wenn diese genügende
Flüssigkeitsmohr
gewährleistet.
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Bei
dieser Ausführungsform
steuert beim Zusammenfallen des Bläschens das bewegliche Element das
effektive Nachfließen
der Flüssigkeit
in den Bläschenerzeugungsbereich
von der Zuführseite
her, wodurch das Auffüllen
besser abläuft
als bei einer herkömmlichen
Konfiguration des Bläschenerzeugungsbereiches, welcher
nur das Wärme
erzeugenden Element aufweist. Dadurch wird auch das Zurückziehen
des Meniskus abgeschwächt.
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Bei
einer bevorzugten modifizierten dritten Ausführungsform sind beide Längsseiten
(oder nur eine Längsseite)
des beweglichen Elements zum Bläschenerzeugungsbereich 11 hin
im wesentlichen abgedichtet. Bei dieser Konstruktion wird der auf
beide Längsseiten
des beweglichen Elements wirkende Druck ebenfalls zur Ausstoßöffnung hin
gelenkt und dadurch die Ausstoßeffizienz
weiter verbessert.
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<Ausführungsform 4>
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Bei
der nachfolgend beschriebenen Ausführungsform ist eine weitere
Vergrößerung der
Flüssigkeitsausstoßkraft durch
mechanisches Auslenken zu verzeichnen. 9 zeigt
die Schnittansicht dieser Ausführungsform.
Wie aus dieser Figur zu erkennen ist, liegt das freie Ende des beweglichen
Elements 31 noch weitere hinter dem Wärme erzeugenden Element. Diese
Anordnung führt
dazu, dass beim Auslenken des beweglichen Elements dessen freies
Ende sich noch schneller bewegt und der Ausstoßdruck weiter gesteigert wird.
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Außerdem liegt
das freie Ende des beweglichen Elements näher an der Ausstoßöffnung als
bei der vorhergehenden Ausführungsform,
so dass das Wachsen des Bläschens
in der stabilisierten Richtung konzentriert und dadurch das Ausstoßen verbessert
werden kann.
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Beim
Wachsen des Bläschens
wird der in der Bläschenmitte
liegende Abschnitt des beweglichen Elements 31 mit einer
Geschwindigkeit R1 und dessen vom Auslenkpunkt 33 weiter
entfernt liegendes freies Ende 32 mit der höheren Geschwindigkeit
R2 ausgelenkt. Dadurch wirkt das freie Ende 32 mit einer
höheren
Geschwindigkeit mechanisch auf die Flüssigkeit und verbessert somit
die Ausstoßeffizienz.
-
Das
freie Ende ist wie in 8 gezeigt konfiguriert, das
heißt,
dessen Kante erstreckt sich im rechten Winkel zur Flüssigkeitsfließrichtung,
wodurch der Bläschendruck
und die mechanische Wirkung des beweglichen Elements noch effektiver
zum Ausstoßen
beitragen.
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<Ausführungsform 5>
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Die 10(a), (b) und (c) zeigen eine fünfte Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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Im
Gegensatz zur vorhergehenden Ausführungsform hat der mit der
Ausstoßöffnung direkt
in Verbindung stehende Bereich keine Verbindung zur Flüssigkeitskammer,
so dass daraus eine vereinfachte Konstruktion resultiert.
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Die
Flüssigkeit
wird nur vom Flüssigkeitskanal 12 entlang
der Oberfläche
des im Bläschenerzeugungsbereich liegenden
beweglichen Elements 31 zugeführt, während das freie Ende 32 des
beweglichen Elements 31, die positionelle Beziehung zwischen
dem Auslenkpunkt 33 und der Ausstoßöffnung 18 und der
dem Wärme
erzeugenden Element gegenüberliegende
Abschnitt ähnlich
wie bei der vorhergehenden Ausführungsform konfiguriert
sind.
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Bei
dieser Ausführungsform
werden die Ausstoßeffizienz,
die Flüssigkeitszufuhr
usw. verbessert. Außerdem
wird das Zurückziehen
des Meniskus unterdrückt
und besonders durch Nutzung des beim Zusammenfallen des Bläschens entstehenden
Unterdrucks Zwangsauffüllen
realisiert.
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10(a) zeigt den Zustand, in welchem durch
das Wärme
erzeugende Element Bläschenerzeugung ausgelöst wird, 10(b) den Zustand, in welchem das Zusammenziehen
des Bläschens
beginnt, dabei das bewegliche Element 31 in die Ausgangsstellung
zurückgeschwenkt
und Flüssigkeit
in Pfeilrichtung S3 zugeführt
wird.
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10(c) zeigt, auf welche Weise das geringfügige Zurückziehen
des Meniskus M beim Zurückschwenken
des beweglichen Elements in die Ausgangsstellung durch das Auffüllen von
Flüssigkeit
infolge der in der Nähe
der Ausstoßöffnung 18 auftretenden
Kapillarwirkung kompensiert wird.
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<Ausführungsform 6>
-
Nachfolgend
wird eine weitere Ausführungsform
beschrieben.
-
Bei
dieser Ausführungsform
ist das Prinzip des Ausstoßens
von Flüssigkeit
das gleiche wie bei der vorhergehenden Ausführungsform, der Flüssigkeitskanal
aber in mehrere Abschnitte unterteilt und die Flüssigkeit zur Bläschenerzeugung
durch Wärme
und die hauptsächlich
auszustoßende
Flüssigkeit
sind voneinander getrennt.
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11 zeigt
schematisch die Schnittansicht des Flüssigkeitsausstoßkopfes
dieser Ausführungsform entlang
des Flüssigkeitskanals.
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Beim
Flüssigkeitsausstoßkopf dieser
Ausführungsform
ist auf dem Substrat 1 ein zweiter Flüssigkeitskanal 16 mit
einem darin angeordneten Wärme
erzeugenden Element zur Erzeugung der für die Bläschenbildung in der Flüssigkeit
erforderlichen Wärmeenergie
und ein über
diesem liegender und mit der Ausstoßöffnung 18 direkt in
Verbindung stehender erster Flüssigkeitskanal 14 zum
Ausstoßen
von Flüssigkeit
vorhanden.
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Der
erste Flüssigkeitskanal
ist mit einer ersten gemeinsamen Flüssigkeitskammer 15 zum
Zuführen von
Ausstoßflüssigkeit
zu den einzelnen ersten Flüssigkeitskanälen und
der zweite Flüssigkeitskanal
mit einer zweiten gemeinsamen Flüssigkeitskammer
zum Zuführen
von Bläschenerzeugungsflüssigkeit
zu den einzelnen zweiten Flüssigkeitskanälen verbunden.
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Wenn
für die
Bläschenerzeugung
und für
das Ausstoßen
die gleiche Flüssigkeit
verwendet wird, reicht eine gemeinsame Flüssigkeitskammer aus.
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Zwischen
dem ersten und dem zweiten Flüssigkeitskanal
ist eine aus elastischem Material wie Metall gefertigte Trennwand 30 angeordnet,
um beide Flüssigkeitskanäle voneinander
zu trennen. Diese Trennwand gestattet nur ein minimales Vermischen
der Bläschenerzeugungsflüssigkeit
mit der Ausstoßflüssigkeit.
Wenn ein stärkeres
Vermischen beider Flüssigkeiten
gestattet wird, macht eine vollkommenes Trennen der beiden Flüssigkeitskanale
voneinander sich nicht erforderlich.
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Wie 11 zeigt,
ist der im Bereich des Wärme
erzeugenden Elements liegende Abschnitt der Trennwand (Ausstoßdruck erzeugender
Bereich einschließlich
A und B (Bläschenerzeugungsbereich 11))
mit Schlitzen 35 versehen, um ein bewegliche Element 31 in
Form eines Auslegers zu erzeugen, dessen Auslenkpunkt 33 in
Flüssigkeitsfließrichtung
gesehen hinter der gemeinsamen Flüssigkeitskammer (15, 17)
und dessen freies Ende in dieser Richtung vor der Ausstoßöffnung liegt.
Das bewegliche Element 31 wird bei der Bläschenerzeugung
in der Bläschenerzeugungsflüssigkeit
zur Oberseite des ersten Flüssigkeitskanals
(Pfeilrichtung) ausgelenkt und öffnet
dabei den zweiten Flüssigkeitskanal
zur Ausstoßöffnung hin.
Auch bei dem in 12 gezeigten Beispiel ist eine
Trennwand 30 vorhanden, durch welche oberhalb des Substrats 1 ein
zweiter Flüssigkeitskanal
gebildet wird, der mit einem Wärme
erzeugenden Widerstand als Wärme
erzeugendes Element und mit Verdrahtungselektroden 5 zum Übertragen
eines elektrischen Signals an den Wärme erzeugenden Widerstand
bestückt
ist.
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Die
positionelle Beziehung zwischen dem Auslenkpunkt 33 und
dem bewegliche Endes 32 des beweglichen Elements 31 und
dem Wärme
erzeugenden Element ist die gleiche wie beim vorhergehenden Beispiel.
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Im
vorhergehenden Beispiel wurde die Beziehung zwischen der Konfiguration
des Flüssigkeitskanals 12 und
der des Wärme
erzeugenden Elements beschrieben. Die Beziehung zwischen dem zweiten
Flüssigkeitskanal 16 und
dem Wärme
erzeugenden Element 2 entspricht der dieser Ausführungsform.
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Nachfolgend
wird in Verbindung mit 13 die Arbeitsweise des Flüssigkeitsausstoßkopfes
dieser Ausführungsform
beschrieben.
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Die
im ersten Flüssigkeitskanal 14 verwendete
Ausstoßflüssigkeit
und die im zweiten Flüssigkeitskanal 16 verwendete
Bläschenerzeugungsflüssigkeit
sind gleich und als diese kommt eine Tinte auf Wasserbasis zum Einsatz.
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Durch
die vom Wärme
erzeugenden Element 2 erzeugte Wärme und das bereits beschriebene
Filmkocher wird in der im Bläschenerzeugungsbereich
des zweiten Flüssigkeitskanals
vorhandenen Bläschenerzeugungsflüssigkeit
ein Bläschen 40 gebildet.
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Bei
dieser Ausführungsform
wird der Bläschenerzeugungsdruck
nicht in die drei Richtungen freigegeben, wie das in Flüssigkeitsfließrichtung
gesehen im vorderen Abschnitt des Bläschenerzeugungsbereichs der Fall
ist, sondern konzentriert auf das bewegliche Element 31 gerichtet
und dieses beim Wachsen des Bläschens
von der in 13(a) gezeigten Stellung
in die in 13(b) gezeigten Stellung
ausgelenkt. Durch das Auslenken des beweglichen Elements wird der
zweite Flüssigkeitskanal 16 zum
ersten Flüssigkeitskanal 14 weit
geöffnet
und dadurch der bei der Bläschenbildung
erzeugte Druck hauptsächlich
auf den ersten Flüssigkeitskanal 14 und
weiter zur Ausstoßöffnung (in
Richtung A) gelenkt. Durch die Druckfortpflanzung und das mechanische
Auslenken des beweglichen Elements wird Flüssigkeit durch die Ausstoßöffnung ausgestoßen.
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Beim
Zusammenziehen des Bläschens
schwenkt das bewegliche Element 31 in die in 13(a) gezeigte Stellung zurück, wobei
Flüssigkeit
in der Menge, welche der Ausstoßmenge
entspricht, aus dem vorderen Teil des ersten Flüssigkeitskanals 14 zugeführt wird.
Bei dieser Ausführungsform
verläuft
die Flüssigkeitszuführrichtung
koordiniert mit dem Schließen
des beweglichen Elements wie bei den vorherigen Ausführungsformen
und das Auffüllen
der Flüssigkeit
wird vom beweglichen Element nicht beeinflusst.
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Die
bei dieser Ausführungsform
durch das Auslenken des beweglichen Elements aufgrund der Fortpflanzung
des bei der Bläschenbildung
erzeugten Drucks, durch das richtungsorientierte Bläschenwachstum und
durch das Verhindern einer Gegenwelle erzielten Effekte sind die
gleichen wie bei der ersten Ausführungsform,
doch die Zweikanalkonstruktion bietet die nachfolgend beschriebenen
Vorteile.
-
Die
Ausstoßflüssigkeit
und die Bläschenerzeugungsflüssigkeit
können
voneinander getrennt werden und durch den in der Bläschenerzeugungsflüssigkeit
aufgebauten Druck wird die Ausstoßflüssigkeit ausgestoßen. Demzufolge
kann eine stark viskose Flüssigkeit
wie Polyäthylenglykol
oder eine ähnliche
Flüssigkeit,
welche trotz Aufbringens von Wärme
bisher keine ausreichende Bläschenerzeugung
und somit Ausstoßkraft
und dadurch keine gute Ausstoßleistung
hervorbrachte, nun effektiv ausgestoßen werden, indem zum Beispiel
diese dem ersten Flüssigkeitskanal
und eine Flüssigkeit
mit guter Bläschenerzeugungseigenschaft
als Bläschenerzeugungsflüssigkeit
dem zweiten Flüssigkeitskanal
zugeführt
wird. Als Bläschenerzeugungsflüssigkeit
wird zum Beispiel ein Gemisch aus Äthanol und Wasser im Verhältnis 4:6
mit einer Viskosität
von 1–2
cP verwendet, welche effektives Ausstoßen der Ausstoßflüssigkeit
ermöglicht.
-
Außerdem wird
zur Stabilisierung der Bläschenerzeugung
und damit Gewährleistung
des effektiven Ausstoßens
als Bläschenerzeugungsflüssigkeit
eine Flüssigkeit
ausgewählt,
bei welcher auch beim Aufbringen von Wärme keine Ablagerungen auf
der Oberfläche
des Wärme
erzeugenden Elements verbleiben. Die bei den vorhergehenden Ausführungsformen
erzielten Effekte können
auch bei dieser Ausführungsform
erreicht werden, so dass auch eine stark viskose Flüssigkeit
oder eine ähnliche
Flüssigkeit
sehr effektiv und bei hohem Ausstoßdruck ausgestoßen werden
kann.
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Demzufolge
kann auch eine Flüssigkeit
ohne Dauerbeständigkeit
gegen Wärme
dadurch effektiv und bei hohem Druck und ohne thermische Beeinflussung
ausgestoßen
werden, indem diese als Ausstoßflüssigkeit
dem ersten Flüssigkeitskanal
und eine Flüssigkeit
mit hoher Wärmebeständigkeit
und guter Bläschenerzeugungseigenschaft
dem zweiten Flüssigkeitskanal
zugeführt
wird.
-
<Andere Ausführungsformen>
-
Die
bisherigen Beschreibungen bezogen sich auf Hauptteile des Flüssigkeitsausstoßkopfes
und auf das Flüssigkeitsausstoßverfahren
gemäß den Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung. Nachfolgend werden weitere Details der
bisher beschriebenen Ausführungsformen
behandelt. Die genannten Beispiele können sowohl bei der Einkanalvariante
als auch bei der Zweikanalvariante verwendet werden, ohne dass näher darauf
eingegangen wird.
-
<Deckenkonfiguration des Flüssigkeitskanals>
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14 zeigt
die Schnittansicht des Flüssigkeitsausstoßkopfes
gemäß dieser
Ausführungsform
entlang dem Flüssigkeitskanal.
Die zur Bildung der ersten Flüssigkeitskanäle 14 (oder 10 in 2)
benötigten
Nuten wurden in einem auf der Trennwand 30 vorhandenen
Bauteil 50 erzeugt. Bei dieser Ausführungsform ist die Flüssigkeitskanalhöhe im Bereich
des freien Endes 32 des beweglichen Elements größer als
bei den bisherigen Ausführungsformen,
um einen größeren Auslenkwinkel 8 für das bewegliche
Element zu erhalten. Der Auslenkbereich des beweglichen Elements
wird durch die Konfiguration des Flüssigkeitskanals, die Haltbarkeit des
beweglichen Elements, die Bläschenerzeugungsleistung
oder ähnlichen
Parametern bestimmt. Dieser Bereich sollte sich über einen Winkel erstrecken,
welcher die Lage der Ausstoßöffnung einschließt.
-
Wie 14 zeigt,
liegt das freie Ende des ausgelenkten beweglichen Elements höher als
die Oberkante der Ausstoßöffnung,
um eine ausreichenden Ausstoßdruck
zu übertragen.
Wie aus dieser Figur ebenfalls zu erkennen ist, liegt am Auslenkpunkt 33 des
beweglichen Elements die Flüssigkeitskanaldecke
niedriger als an dessen beweglichem Ende, so dass beim Auslenken
des beweglichen Elements das Ausbreiten der Druckwelle entgegen
Flüssigkeitsfließrichtung
noch besser verhindert wird.
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<Positionelle Beziehung zwischen dem
zweiten Flüssigkeitskanal
und dem beweglichen Element>
-
15 zeigt
die positionelle Beziehung zwischen dem genannten beweglichen Element 31 und
dem zweiten Flüssigkeitskanal 16,
dabei zeigt 15(a) die Draufsicht des
in der Trennwand 30 erzeugten beweglichen Elements, 15(b) die Draufsicht des zweiten Flüssigkeitskanals
ohne Trennwand 30 und 15(c) schematisch
die positionelle Beziehung zwischen dem beweglichen Element 31 und
dem zweiten Flüssigkeitskanal 16 mit
den übereinander
angeordneten Elementen. In diesen Figuren ist der dargestellte Boden
die Vorderseite des in die Ausstoßöffnung auslaufenden Flüssigkeitskanals.
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Der
zweite Flüssigkeitskanal 16 dieser
Ausführungsform
ist in Flüssigkeitsfließrichtung
von der zweiten gemeinsamen Flüssigkeitskammer über das
Wärme erzeugende
Element und das bewegliche Element zur Ausstoßöffnung hin gesehen vor dem
Wärme erzeugenden
Element 2 als Drossel 19 konfiguriert, um eine Kammer
(Bläschenerzeugungskammer)
zu erzeugen, welche das Ausbreiten des bei der Bläschenbildung
im zweiten Flüssigkeitskanal 16 erzeugten
Drucks entgegen Flüssigkeitsfließrichtung
unterbindet.
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Bei
einem herkömmlichen
Kopf, bei welchem der Flüssigkeitskanal
zur Bläschenerzeugung
auch der Flüssigkeitskanal
zum Ausstoßen
der Flüssigkeit
ist, kann die Drossel ebenfalls vorgesehen werden, um das Ausbreiten
des vom Wärme
erzeugenden Element erzeugten Drucks zur Flüssigkeitskammer hin zu unterdrücken, doch
in diesem Fall darf bei Beachtung des ausreichenden Auffüllens von
Flüssigkeit
der Drosselquerschnitt nicht zu klein ausgelegt werden.
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Bei
dieser Ausführungsform
kommt der größte Teil
der ausgestoßenen
Flüssigkeit
aus dem ersten Flüssigkeitskanal
und von der im zweiten Flüssigkeitskanal
mit dem Wärme
erzeugenden Element vorhandenen Bläschenerzeugungsflüssigkeit
wird wenig verbraucht, so dass nur eine geringe Menge davon in den
Bläschenerzeugungsbereich 11 nachlaufen
muss. Das heißt,
der Drosseldurchgang 19 kann etwa nur einige 10 μm betragen,
um das Ausbreiten des im zweiten Flüssigkeitskanal erzeugten Drucks
entgegen Flüssigkeitsfließrichtung
zu unterdrücken
und zum beweglichen Element hin zu konzentrieren. Über das
bewegliche Element 31 kann der erzeugte Druck als Ausstoßdruck verwendet
und dadurch ein hoher Ausnutzungsgrad der Ausstoßenergie erreicht werden. Der
zweite Flüssigkeitskanal 16 ist
nicht auf die beschriebene Konfiguration beschränkt, sondern kann jede Form
haben, sofern diese den bei der Bläschenbildung erzeugten Druck
effektiv auf das bewegliche Element lenkt.
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Wie 15(c) zeigt, überdecken die beiden Längsseiten
des beweglichen Elements 31 die entsprechenden Abschnitte
der den zweiten Flüssigkeitskanal
bildenden Trennwände,
um das Hineinziehen des beweglichen Elements 31 in den
zweiten Flüssigkeitskanal
zu verhindern. Dadurch wird das Trennen der Ausstoßflüssigkeit
von der Bläschenerzeugungsflüssigkeit
weiter verbessert. Außerdem kann
das Austreten des Bläschens
durch den vorhandenen Schlitz verhindert und somit eine Erhöhung des
Ausstoßdrucks
und der Ausstoßeffizienz
erreicht werden. Auch das beschriebene Auffüllen von Flüssigkeit von der Zuführseite
her durch den beim Zusammenfallen des Bläschens erzeugten Unterdruck
kann dadurch verbessert werden.
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Wie
die 13(b) und 14 zeigen,
dringt beim Auslenken des beweglichen Elements in den ersten Flüssigkeitskanal
ein Teil des im Bläschenerzeugungsbereich
des zweiten Flüssigkeitskanals 16 erzeugten Bläschens ebenfalls
in den ersten Flüssigkeitskanal 14.
Durch richtige Wahl der Höhe
des zweiten Flüssigkeitskanals,
welche ein solches Eindringen des Bläschens in den ersten Flüssigkeitskanal
ermöglicht,
wird im Vergleich zu dem Fall, bei welchem dieses Eindringen nicht
möglich
ist, die Ausstoßkraft
weiter vergrößert. Aus dem
Grund wird die Höhe
des zweiten Flüssigkeitskanals
kleiner gehalten als die Höhe
des maximalen Bläschens
und beträgt
einige μm
bis 30 μm.
Bei dieser Ausführungsform
beträgt
diese 15 μm.
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<Bewegliches Element und Trennwand>
-
16 zeigt
ein weiteres Beispiel des beweglichen Elements 31, wobei
das Bezugszeichen 35 den in der Trennwand erzeugten Schlitz
kennzeichnet, durch welchen das bewegliche Element gebildet wird.
Das in 16(a) dargestellte bewegliche
Element 31 hat Rechteckform, das in 16(b) dargestellte
bewegliche Element ist zum Auslenkpunkt hin schmaler gestaltet,
um dessen Beweglichkeit zu vergrößern, und
das in 16(c) dargestellte ist zum
Auslenkpunkt hin breiter ausgeführt,
um dessen Haltbarkeit zu verlängern.
Das in 15(a) dargestellte, zum Auslenkpunkt
hin bogenförmig
eingeschnürte
bewegliche Element wird bevorzugt, weil diese Konfiguration das
Auslenken erleichtert und die Haltbarkeit verlängert. Das bewegliche Element
ist jedoch nicht auf die beschriebene Konfiguration beschränkt, sonder
kann jede Form haben, sofern diese das Hineinziehen des beweglichen
Elements in den zweiten Flüssigkeitskanal
verhindert und ein leichtes Auslenken bei langer Haltbarkeit ermöglicht.
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Bei
den vorhergehenden Ausführungsformen
wurde die Trennwand 30 mit dem in dieser vorhandenen beweglichen
Element 31 in Plättchen-
oder Filmform aus Nickel mit einer Dicke von 5 μm gefertigt, doch diese ist
nicht auf dieses Beispiel beschränkt
und kann aus irgendeinem Material gefertigt werden, sofern dieses
sich in der Bläschenerzeugungsflüssigkeit
und in der Ausstoßflüssigkeit
nicht auflöst,
die zum Auslenken des beweglichen Elements erforderliche Elastizität aufweist
und die Erzeugung des feinen Schlitzes ermöglicht.
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Zu
den bevorzugten haltbaren Werkstoffen für das bewegliche Element gehören Metalle
wie Silber, Nickel, Gold, Eisen, Titan, Aluminium, Platin, Tantal,
nichtrostender Stahl, Phosphorbronze und ähnliche, Legierungen daraus,
Kunstharze mit einer Nitrylgruppe wie Akrylonitryl, Butadien, Styrol
oder ähnliches
Material, Kunstharze mit einer Amidgruppe wie Polyamid oder ähnliches
Material, Kunstharze mit eine Karboxylgruppe wie Polykarbonat oder ähnliches
Material, Kunstharze mit einer Aldehydgruppe wie Polyazetal oder ähnliches Material,
Kunstharze mit einer Sulfongruppe wie Polysulfon, Kunstharze wie
Flüssigkristallpolymer
oder ähnliches
Material bzw. chemische Verbindungen daraus, tintenbeständige Materialien
wie Gold, Wolfram, Tantal, Nickel, nichtrostender Stahl, Titan und
Legierungen daraus, Werkstoffe, welche mit solchen Materialien beschichtet
sind, Kunstharze mit einer Amidgruppe wie Polyamid, Kunstharze mit
einer Aldehydgruppe wie Polyazetal, Kunstharze mit einer Ketongruppe
wie Polyätherätherketon,
Kunstharze mit einer Imidgruppe wie Polyimid, Kunstharze mit einer
Hydroxylgruppe wie Phenolharz, Kunstharze mit einer Äthylgruppe
wie Polyäthylen,
Kunstharze mit einer Alkylgruppe wie Polypropylen, Kunstharze mit
einer Epoxidgruppe wie Epoxidharz, Kunstharze mit einer Aminogruppe
wie Melaminharz, Kunstharze mit einer Methylgruppe wie Xylenharz,
chemische Verbindungen daraus, sowie Keramik wie Siliziumdioxid
oder chemische Verbindungen daraus.
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Bevorzugte
Werkstoffe zur Fertigung der Trenn- oder Teilungswand sind Kunstharze
mit großer
Hitze- und Auflösungsbeständigkeit
sowie guter Gießeigenschaft,
genauer ausgedrückt
handelt es sich um neuentwickelte Plaste wie Polyäthylen,
Polypropylen, Polyamid, Polyäthylenterephthalat,
Melaminharz, Phenolharz, Epoxidharz, Polybutadien, Polyurethan,
Polyätherätherketon,
Polyäthersulfon,
Polyallylat, Polyamid, Polysulfon, Flüssigkristallpolymer oder chemische
Verbindungen daraus oder Metalle wie Siliziumdioxid, Siliziumnitrid,
Nickel, Gold, nichtrostender Stahl, Legierungen daraus und mit Titan
oder Gold beschichtete Werkstoffe.
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Die
Dicke der Trennwand wird in Abhängigkeit
vom verwendeten Werkstoff, von der Konfiguration in bezug auf Festigkeit
und von der Beweglichkeit des beweglichen Elements bestimmt, bevorzugt
wird im allgemeinen eine Dicke von etwa 0,5 μm bis 10 μm.
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Die
Breite des Schlitzes 35 zur Erzeugung des beweglichen Elements 31 beträgt bei diesen
Ausführungsformen
2 μm. Wenn
die Bläschenerzeugungsflüssigkeit
sich von der Ausstoßflüssigkeit
unterscheidet und ein Mischen beider Flüssigkeiten verhindert werden
soll, wird der Spalt so ausgelegt, dass zwischen beiden Flüssigkeiten
ein Meniskus entsteht. Wenn die Bläschenerzeugungsflüssigkeit
zum Beispiel eine Viskosität
von etwa 2 cP und die Ausstoßflüssigkeit
eine Viskosität
von nicht weniger als 100 cP hat, reicht ein Schlitz von etwa 5 μm aus, ein
Vermischen der beiden Flüssigkeiten
zu verhindern, bevorzugt wird aber eine Schlitzbreite von nicht
mehr als 3 μm.
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Wenn
Ausstoßflüssigkeit
und Bläschenerzeugungsflüssigkeit
voneinander getrennt sind, wirkt das bewegliche Element als Trennwand
zwischen beiden. Eine kleine Menge Bläschenerzeugungsflüssigkeit
mischt sich jedoch ständig
mit der Ausstoßflüssigkeit.
Im Falle des Flüssigkeitsausstoßens zur
Durchführung
von Druckvorgängen
stellt der Vermischungsgrad praktisch kein Problem dar, sofern dieser
unter 20% liegt. Bei der vorliegenden Erfindung kann der Vermischungsgrad
durch Auswahl geeigneter Viskositäten der Ausstoßflüssigkeit
und der Bläschenerzeugungsflüssigkeit
gesteuert werden.
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Wenn
ein kleiner Vermischungsgrad gewünscht
wird, ist durch Verwendung einer Bläschenerzeugungsflüssigkeit
mit einer Viskosität
von 5 cP oder weniger und einer Ausstoßflüssigkeit mit einer Viskosität von 20
cP oder weniger eine Senkung bis auf 5% möglich.
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Gemäß dieser
Erfindung liegt die Dicke des beweglichen Elements im μm-Bereich,
so dass ein bewegliches Element mit einer Dicke im cm-Bereich in
den üblichen
Fällen
nicht verwendet wird. Wenn in einem beweglichen Element mit einer
im μm-Bereich
liegenden Dicke ein Schlitz mit einer ebenfalls im μm-Bereich
liegenden Breite (W) erzeugt werden soll, müssen Veränderungen im Herstellungsverfahren
in Betracht gezogen werden.
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Wenn
die Dicke des dem freien Ende und/oder der Seitenkante des durch
einen Schlitz erzeugten beweglichen Elements gegenüberliegenden
Elements der Dicke des beweglichen Elements entspricht (13, 14 usw.),
gilt unter Beachtung der Veränderung
bei der Herstellung zum stabilen Unterdrücken einer Vermischung von
Bläschenerzeugungsflüssigkeit
und Ausstoßflüssigkeit
die nachfolgende Beziehung zwischen der Schlitzbreite und der Dicke
de beweglichen Elements. Wenn die Bläschenerzeugungsflüssigkeit
eine Viskosität
nicht über
3 cP hat und als Ausstoßflüssigkeit
eine stark viskose Tinte (5 cP, 10 cP oder ähnlich) verwendet wird, kann
ein Vermischen der beiden Flüssigkeiten über einen
langen Zeitraum verhindert werden, sofern W/t ≤ 1.
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Der
das „wesentliche
Abdichten" bewirkende
Schlitz hat vorzugsweise eine Breite von mehreren Mikroneu, welche
das Flüssigkeitsmischen
sicher verhindert.
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Nachfolgend
wird auf die positionelle Beziehung zwischen dem Wärme erzeugenden
Element und dem beweglichen Element in diesem Kopf näher eingegangen.
Dabei sind die Konfiguration, die Abmessungen und die Anzahl an
beweglichen Elementen und Wärme
erzeugenden Elementen nicht auf das folgende Beispiel beschränkt. Durch
eine optimale Anordnung des Wärme
erzeugenden Elements und des beweglichen Elements kann der bei der
Bläschenbildung
durch das Wärme
erzeugende Element entstehende Druck effektiv als Ausstoßdruck verwendet
werden.
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Bei
einem herkömmlichen
Bläschenstrahlaufzeichnungsverfahren
wird Energie in Form von Wärme auf
die Tinte aufgebracht, um eine sofortige Volumenänderung (Bläschenerzeugung) in der Tinte
und dadurch das Ausstoßen
von Flüssigkeit
durch eine Ausstoßöffnung auf
ein Aufzeichnungsmaterial zu bewirken und somit einen Druckvorgang
durchzuführen.
In diesem Fall besteht zwar eine Proportionalität zwischen der Fläche des
Wärme erzeugenden
Elements und der Tintenausstoßmenge,
doch es gibt einen Nichtbläschenerzeugungsbereich
S, welcher zum Ausstoßen
der Tinte nicht beiträgt.
Dieser Fakt wird durch Beobachtung von Koagulationsbildung auf dem
Wärme erzeugenden
Element bestätigt,
das heißt,
der Nichtbläschenerzeugungsbereich
S erstreckt sich vom Rand des Wärme
erzeugenden Element aus nach innen. Dieser Randbereich mit einer
Breite von etwa 4 μm
trägt zur
Bläschenerzeugung
nicht bei.
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Um
den Bläschenerzeugungsdruck
effektiv zu nutzen, sollte der Auslenkbereich des beweglichen Elements
den effektiven Bläschenerzeugungsbereich
des Wärme
erzeugenden Elements, das heißt
dessen Fläche
bis auf einen Rand mit der Breite von etwa 4 μm überdecken. Bei dieser Ausführungsform
beginnt der effektive Bläschenerzeugungsbereich
etwa 4 μ vom
Rand entfernt, doch diese Größe kann
sich bei Verwendung eines anderen Wärme erzeugenden Elements oder
Anwendung eines anderen Verfahrens ändern.
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18 zeigt
schematisch die Draufsicht eines Wärme erzeugenden Elements 2 mit
den Abmessungen 58 × 150 μm, in 18(a) zusammen mit einem beweglichen Element 301 und
in 18(b) zusammen mit einem beweglichen
Elements 302 mit einer anderen Gesamtfläche.
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Das
bewegliche Element 301 hat die Abmessungen 53 × 145 μm und eine
kleinere Fläche
als das Wärme
erzeugende Element 2, doch diese Fläche entspricht dem effektiven
Bläschenerzeugungsbereich
des Wärme
erzeugenden Elements 2 und das bewegliche Element 301 überdeckt
diesen. Dagegen hat das bewegliche Element 302 die Abmessungen
53 × 220 μm und damit
eine größere Fläche als
das Wärme
erzeugende Element 2 (die Breite ist die gleiche, doch
der Abstand zwischen dem Auslenkpunkt und der Vorderkante ist größer als
die Länge
des Wärme
erzeugenden Elements), überdeckt
aber wie das bewegliche Element 301 den effektiven Bläschenerzeugungsbereich.
Mit diesen beiden beweglichen Elementen 301 und 302 wurden
Versuche durchgeführt,
um deren Haltbarkeit und die erreichbare Ausstoßeffizienz zu untersuchen.
Die Versuche wurden unter den nachfolgend genannten Bedingungen
durchgeführt:
Bläschenerzeugungsflüssigkeit:
Flüssige
Lösung
aus Äthanol
(40%)
Ausstoßflüssigkeit:
Farbtinte
Spannung: 20,2 V
Frequenz: 3 kHz.
-
Bei
diesen Versuchen trat nach Aufbringen von 1 × 107 Impulsen
eine Beschädigung
des beweglichen Elements 301 am Auslenkpunkt ein. Dagegen
war beim beweglichen Element 302 auch nach 3 × 108 Impulsen keine Beschädigung zu verzeichnen. Mit
diesen beweglichen Elementen wird die Ausstoßmenge in bezug auf die aufgebrachte
Energie und die von der Ausstoßgeschwindigkeit
bestimmte kinetische Energie um etwa das 1,5 bis 2,5-fache verbessert.
-
Die
Ergebnisse zeigen, dass ein bewegliches Element, dessen Fläche größer ist
als die des Wärme erzeugenden
Elements und den effektiven Bläschenerzeugungsbereich
des Wärme
erzeugenden Elements überdeckt,
hinsichtlich Haltbarkeit und Ausstoßeffizienz bevorzugt werden
sollte.
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19 zeigt
im Diagramm die Auslenkung des beweglichen Elements als Funktion
des Abstandes zwischen der Kante des Wärme erzeugenden Elements und
dem Auslenkpunkt des beweglichen Elements. 20 zeigt
in der Seitenschnittansicht die positionelle Beziehung zwischen
dem Wärme
erzeugenden Element 2 und dem beweglichen Element 31.
Das Wärme
erzeugende Element 2 hat die Abmessungen 40 × 105 μm. Bei Vergrößerung des
Abstandes 1 zwischen der Kante des Wärme erzeugenden Elements 2 und
dem Auslenkpunkt 33 des beweglichen Elements 31 wird
zwangsläufig
auch die Auslenkung größer. Demzufolge sollte
die Lage des Auslenkpunktes des beweglichen Elements auf der Grundlage
der optimalen Auslenkung in Abhängigkeit
von der erforderlichen Tintenausstoßmenge, der Flüssigkeitskanalkonfiguration,
der Konfiguration des Wärme
erzeugenden Elements usw. bestimmt werden.
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Wenn
der Auslenkpunkt des beweglichen Elements direkt über dem
effektiven Bläschenerzeugungsbereich
des Wärme
erzeugenden Elements liegt, wirkt neben der beim Auslenken des beweglichen
Elements erzeugten Spannung auch der Bläschenerzeugungsdruck direkt
auf den Auslenkpunkt, so dass die Haltbarkeit des beweglichen Elements
verringert wird. Die von den Erfindern durchgeführten Versuche haben gezeigt, dass
in dem Fall, in welchem der Auslenkpunkt innerhalb des effektiven
Bläschenerzeugungsbereichs
liegt, bereits nach 1 × 106 aufgebrachten Impulsen die bewegliche Wand
beschädigt
und dadurch deren Haltbarkeit verkürzt wird. Wenn der Auslenkpunkt
des beweglichen Elements außerhalb
des effektiven Bläschenerzeugungsbereichs
des Wärme
erzeugenden Elements liegt, kann auch ein bewegliches Element, dessen
Konfiguration und/oder Werkstoff keine große Haltbarkeit ermöglichen,
praktisch verwendet werden. Wenn der Auslenkpunkt innerhalb des
effektiven Bläschenerzeugungsbereichs
des Wärme
erzeugenden Elements liegt, müssen
zum Erreichen einer ausreichenden Haltbarkeit des beweglichen Elements
dessen Konfiguration und/oder Werkstoff entsprechend ausgewählt werden.
Bei Berücksichtigung
dieser Fakten kann ein Flüssigkeitsausstoßkopf mit
hohem Ausstoßenergienutzungsgrad
und guter Haltbarkeit bereitgestellt werden.
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<Elementsubstrat>
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Nachfolgend
wird die Konfiguration des mit dem Wärme erzeugenden Element zum
Erwärmen
der Flüssigkeit
bestückten
Elementsubstrats beschrieben.
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21 zeigt
den Längsschnitt
des Flüssigkeitsausstoßkopfes
in einer Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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Auf
dem Elementsubstrat 1 ist ein genutetes Bauteil 50 befestigt,
welches zweite Flüssigkeitskanäle 16,
Trennwände 30,
erste Flüssigkeitskanäle 14 und
Nuten zur Erzeugung der ersten Flüssigkeitskanäle aufweist.
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Wie 12 zeigt,
ist das Elementsubstrat 1 mit Anschlusselektroden (0,2–1,0 μm dick) 104 aus
Aluminium oder einem ähnlichen
Material und einem das Wärme
erzeugende Element bildenden Widerstand 105 (0,01–0,2 μm dick) aus
Hafniumborid (HfB2), Tantalnitrid (TaN),
Tantalaluminium (TaAl) oder einem ähnlichen Material bemustert,
wobei zwischen dem Widerstand und dem eigentlichen Substrat 107 ein
Siliziumoxid- oder Siliziumnitridfilm 106 als Isolier-
und Wärmedämmschicht
vorhanden ist. Beim Anlegen einer Spannung an die Widerstandsschicht 105 über die
Anschlusselektroden 104 fließt ein Strom durch die Widerstandsschicht
und erzeugt dabei Wärme.
Auf der Widerstandsschicht ist zwischen den Verdrahtungselektroden
eine 0,1–2,0 μm dicke Schutzschicht
aus Siliziumoxid, Siliziumnitrid oder einem ähnlichen Material und darauf
eine 0,1–0,6 μm dicke Antikavitationsschicht
aus Tantal oder einem ähnlichen
Material vorhanden, um die Widerstandsschicht 105 gegen
verschiedene Flüssigkeiten
wie zum Beispiel Tinte zu schützen.
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Die
bei der Bläschenbildung
und beim Zusammenfallen des Bläschens
erzeugte Druck- und Stoßwelle ist
so stark, dass durch diese die Haltbarkeit des relativ zerbrechlichen
Oxidfilms verschlechtert wird. Aus diesem Grund wird ein metallischer
Werkstoff wie Tantal (Ta) oder ein ähnlicher Werkstoff für die Antikavitationsschicht
verwendet.
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In
Abhängigkeit
von der Flüssigkeit,
von der Konfiguration des Flüssigkeitskanals
und dem Widerstandsmaterial als Einheit kann auf diese Schutzschicht
verzichtet werden. 5(b) zeigt ein
solches Beispiel. Wenn eine solche Schutzschicht nicht vorhanden
ist, wird als Material für
die Widerstandsschicht z.B. eine Iridium-Tantal-Aluminium-Legierung oder eine ähnliche
Legierung verwendet. Bei den vorhergehenden Ausführungsformen kann zum Wärme erzeugenden
Element nur die Widerstandsschicht (Wärme erzeugender Abschnitt)
oder die Widerstandsschicht und eine zusätzliche Schutzschicht für diese
gehören.
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Bei
dieser Ausführungsform
hat das Wärme
erzeugende Element einen separaten Wärme erzeugenden Abschnitt,
auf welchem die Widerstandsschicht zur Erzeugung von Wärme bei
Empfang eines elektrischen Signals aufgebracht ist. Das Wärme erzeugende
Element ist aber nicht auf eine solche Konfiguration beschränkt, sondern
kann auch anders ausgeführt
sein, muss aber die Erzeugung eines Bläschens in der Bläschenerzeugungsflüssigkeit
zum Ausstoßen
der Ausstoßflüssigkeit
gewährleisten.
Der Wärme
erzeugende Abschnitt kann auch als fotothermischer Wandler gestaltet
sein, welcher beim Auftreffen von Licht in Form eines Laserstrahls
zum Beispiel oder bei Empfang einer Hochfrequenzwelle Wärme erzeugt.
-
Im
Elementsubstrat 1 können
außer
der den Wärme
erzeugenden Abschnitt bildenden Widerstandsschicht 105 und
den durch die Anschlusselektrode 104 zur Übertragung
eines elektrischen Signals an die Widerstandsschicht gebildeten
elektrothermischen Wandler auch noch Funktionselemente wie zum Beispiel
ein Transistor, eine Diode, eine Verriegelung, ein Schieberegister
und andere Elemente zum selektiven Ansteuern des elektrothermischen
Wandlers integriert sein.
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Um
das Ausstoßen
von Flüssigkeit
durch Ansteuern des Wärme
erzeugenden Abschnitts des auf dem Elementsubstrat 1 vorhandenen
elektrothermischen Wandlers zu bewirken, werden über die Anschlusselektrode 104 rechteckige
Impulse wie in 22 dargestellt an die Widerstandsschicht 105 gesendet,
damit in der Widerstandsschicht 105 zwischen der Anschlusselektrode
sofort Wärme
erzeugt wird. Bei Köpfen
der vorhergehenden Ausführungsformen
hat die auf das Wärme
erzeugende Element aufgebrachte Elektroenergie eine Spannung von
24 V, eine Impulsbreite von 7 μs,
eine Stromstärke
von 150 mA und eine Frequenz von 6 kHz, durch welche nach dem beschriebenen
Verfahren die flüssige
Tinte durch die Ausstoßöffnung ausgestoßen wird.
Das Steuersignal ist nicht auf die genannten Konditionen beschränkt, sondern
kann auch andere Form haben, wenn diese die Erzeugung von Bläschen in
der Bläschenerzeugungsflüssigkeit
gewährleistet.
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<Kopf mit zwei Flüssigkeitskanälen>
-
Nachfolgend
wird ein Flüssigkeitsausstoßkopfbeschrieben,
bei welchem in einer ersten gemeinsamen Flüssigkeitskammer und in einer
zweiten gemeinsamen Flüssigkeitskammer
unterschiedliche Flüssigkeiten separat
untergebracht sind und die Anzahl an Einzelelementen verringert
wurde, um die Fertigungskosten zu senken.
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23 zeigt
schematisch einen solchen Flüssigkeitsausstoßkopf. Die
bei den vorhergehenden Ausführungsformen
verwendeten Bezugszeichen wurden bei dieser Ausführungsform für gleiche
Elemente wieder verwendet, so dass auf deren Beschreibung verzichtet
wird.
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Bei
dieser Ausführungsform
weist das genutete Bauteil 50 eine mit einer Ausstoßöffnung 18 versehene
Platte 51, mehrere Nuten zur Erzeugung der ersten Flüssigkeitskanäle 14 und
eine die erste gemeinsame Flüssigkeitskammer 15 bildende
Vertiefung zum Zuführen
der Flüssigkeit
(Ausstoßflüssigkeit)
zu den einzelnen ersten Flüssigkeitskanälen 14 auf.
Am Boden des genuteten Bauteils 50 ist eine Trennwand 30 angeordnet,
welche die zahlreichen ersten Flüssigkeitskanäle 14 erzeugt.
Ein solches genutetes Bauteil 50 ist mit einem von dessen
Oberseite nach unten in die erste gemeinsame Flüssigkeitskammer 15 sich
erstreckenden ersten Flüssigkeitszuführkanal 20 und
einem von dessen Oberseite nach unten durch die Trennwand 30 in eine
zweite gemeinsame Flüssigkeitskammer 17 sich
erstreckenden zweiten Flüssigkeitszuführkanal 21 versehen.
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Wie 23 zeigt,
kennzeichnet der Pfeil C das Zuführen
der ersten Flüssigkeit
(Ausstoßflüssigkeit) durch
den ersten Flüssigkeitszuführkanal 29 und
die erste gemeinsame Flüssigkeitskammer 15 zum
ersten Flüssigkeitskanal 14 und
der Pfeil D das Zuführen
der zweiten Flüssigkeit
(Bläschenerzeugungsflüssigkeit) durch
den zweiten Flüssigkeitszuführkanal 21 und
die zweite gemeinsame Flüssigkeitskammer 17 zum
zweiten Flüssigkeitskanal 16.
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Bei
diesem Beispiel verläuft
der zweite Flüssigkeitszuführkanal 21 parallel
zum ersten Flüssigkeitszuführkanal 20,
doch es kann auch ein Verlauf dieses Kanals gewählt werden, welcher der zweiten
gemeinsamen Flüssigkeitskammer 17 durch
die Trennwand 30 außerhalb
der ersten gemeinsamen Flüssigkeitskammer 15 Flüssigkeit
zuführt.
-
Der
Durchmesser des zweiten Flüssigkeitszuführkanals 21 wird
von der Menge der zuzuführenden zweiten
Flüssigkeit
bestimmt. Der zweite Flüssigkeitszuführkanal 21 muss
nicht kreisförmig
oder rund sein, sondern kann auch Rechteckform oder eine andre Form
haben.
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Die
zweite gemeinsame Flüssigkeitskammer 17 kann
durch Teilen des genuteten Bauteils mittels einer Trennwand 30 erzeugt
werden. 24 zeigt in Perspektiv- und
Explosivdarstellung, dass der Rahmen einer gemeinsamen Flüssigkeitskammer
und die Wand eines zweiten Flüssigkeitszuführkanals
aus einem Trockenfilm gefertigt sind und wie das genutete Bauteil 50 mit
daran befestigter Trennwand 30 auf dem Elementsubstrat 1 positioniert
wird, um die zweite gemeinsame Flüssigkeitskammer 17 und
den zweiten Flüssigkeitskanal 16 zu
erzeugen.
-
Bei
diesem Beispiel wird das Elementsubstrat 1 von einem Stützelement 70 aus
Metall wie zum Beispiel Aluminium gebildet, welches mit mehreren
elektrothermischen Wandlern als Wärme erzeugende Elemente zur
Erzeugung von Bläschen
in der Bläschenerzeugungsflüssigkeit
durch Filmkochen bestückt
ist.
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Über dem
Elementsubstrat 1 sind mehrere Nuten als zweite Flüssigkeitskanäle 16,
ein die zweite gemeinsame Flüssigkeitskammer
(für die
Bläschenerzeugungsflüssigkeit) 17 bildende
und mit den Kanälen
für das
Zuführen
von Bläschenerzeugungsflüssigkeit
in Verbindung stehende Vertiefung und Trenn- oder Teilungswände 30 mit
den beweglichen Elementen 31 angeordnet.
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Das
Bezugszeichen 50 kennzeichnet das genutete Bauteil. Dieses
Bauteil ist mit Nuten, welche nach dem Einsetzen der Trennwand 30 die
Ausstoßflüssigkeitskanäle (erste
Flüssigkeitskanäle) 14 bilden,
mit einer Vertiefung als erste gemeinsame Flüssigkeitskammer (gemeinsame
Kammer für
die Ausstoßflüssigkeit) 15 zum
Zuführen
von Ausstoßflüssigkeit
zu den Ausstoßflüssigkeitskanälen, mit
dem ersten Flüssigkeitszuführkanal
(Ausstoßflüssigkeitszuführkanal) 20 zum
Zuführen
der Ausstoßflüssigkeit
zur ersten gemeinsamen Flüssigkeitskammer
und mit dem zweiten Flüssigkeitszuführkanal 21 zum
Zuführen
der Bläschenerzeugungsflüssigkeit
zur zweiten gemeinsamen Flüssigkeitskammer 17 versehen
ist, wobei der zweite Flüssigkeitszuführkanal 21 sich
durch die außerhalb
der ersten gemeinsamen Flüssigkeitskammer 15 angeordneten
Trennwand 30 in die zweite gemeinsame Flüssigkeitskammer 17 erstreckt.
Dadurch kann die Bläschenerzeugungsflüssigkeit ohne
Vermischen mit der Ausstoßflüssigkeit
der zweiten gemeinsamen Flüssigkeitskammer
zugeführt
werden.
-
Das
Elementsubstrat 1, die Trennwand 30 und die genutete
Abdeckplatte 50 sind so konfiguriert, dass die beweglichen
Elemente 31 über
den auf dem Elementsubstrat 1 vorhandenen Wärme erzeugenden
Elementen und die Ausstoßflüssigkeitskanäle 14 über den
beweglichen Elementen 31 liegen. Bei diesem Beispiel ist
das genutete Bauteil mit einem zweiten Flüssigkeitszuführkanal
versehen, es ist aber auch möglich,
mehrer solche Zuführkanäle entsprechend
der zuzuführenden
Flüssigkeitsmenge
vorzusehen. Die Querschnittsfläche des
Ausstoßflüssigkeitszuführkanals 20 und
die des Kanals 21 zum Zuführen der Bläschenerzeugungsflüssigkeit
können
proportional der jeweiligen Flüssigkeitszuführmenge
festgelegt werden. Durch Optimierung dieser Querschnittsflächen können die
das genutete Bauteil 50 bildenden Einzelteile kleiner ausgeführt werden.
-
Wie
bereits beschrieben, können
bei dieser Ausführungsform
der zweite Zuführkanal
zum Zuführen der
zweiten Flüssigkeit
zum zweiten Flüssigkeitskanal
und der erste Zuführkanal
zum Zuführen
der ersten Flüssigkeit
zum ersten Flüssigkeitskanal
in einer einzigen genuteten Abdeckplatte erzeugt werden, um die
Anzahl an Einzelteilen und somit die Fertigungsschritte und die
Fertigungskosten zu verringern.
-
Das
Zuführen
der zweiten Flüssigkeit
zur zweiten gemeinsamen Flüssigkeitskammer
erfolgt durch den zweiten Flüssigkeitszuführkanal,
welcher die Trennwand zum Trennen der ersten Flüssigkeit von der zweiten Flüssigkeit
durchdringt, wodurch nur ein einziger Fertigungsschritt erforderlich
ist, die Trennwand, das genutete Bauteil und das Substrat mit den
darauf vorhandenen Wärme
erzeugenden Elementen miteinander zu verbinden, und somit die Fertigung
erleichtert und die Verbindungsgenauigkeit verbessert wird.
-
Durch
das Zuführen
der zweiten Flüssigkeit
zur zweiten gemeinsamen Flüssigkeitskammer über den die
Trennwand durchdringenden zweiten Flüssigkeitszuführkanal
wird ausreichende Flüssigkeitszufuhr
für stabiles
Ausstoßen
gewährleistet.
-
<Ausstoßflüssigkeit und Bläschenerzeugungsflüssigkeit>
-
Wie
bei der vorhergehenden Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung bereits beschrieben, kann durch die Konfiguration
mit dem beweglichen Element die Flüssigkeit mit einer größeren Ausstoßkraft oder Ausstoßeffizienz
als bei einem herkömmlichen
Flüssigkeitsausstoßkopf ausgestoßen werden.
Wenn als Ausstoßflüssigkeit
und als Bläschenerzeugungsflüssigkeit
die gleiche Flüssigkeit
verwendet wird, tritt möglicherweise
keine Verschlechterung bei dieser ein und das Ablagern von Partikeln
auf dem Wärme
erzeugenden Element durch das Erwärmen der Flüssigkeit kann verringert werden.
Durch wiederholte Gasbildung und Kondensation wird eine reversible
Zustandsänderung
erreicht. Demzufolge können
verschiedene Flüssigkeiten
verwendet werden, wenn diese sich nicht negativ auf das Fließen im Flüssigkeitskanal,
das bewegliche Element oder die Trennwand auswirken.
-
Zu
diesen Aufzeichnungsflüssigkeiten
zählt auch
die bei einer herkömmlichen
Bläschenstrahlvorrichtung
verwendete Flüssigkeit.
-
Wenn
die Zweikanalkonstruktion gemäß der vorliegenden
Erfindung zum Einsatz kommt und die Ausstoßflüssigkeit sich von der Bläschenerzeugungsflüssigkeit
unterscheidet, wird als Bläschenerzeugungsflüssigkeit
eine Flüssigkeit
mit der genannten Eigenschaft verwendet, das heißt zum Beispiel Methanol, Äthanol, 1-Propanol
Isopropylalkohol, n-n-Hexan, n-Heptan, n-Oktan, Toluol, Xylen, Methylendichlorid,
Trichloräthylen, Freon
TF, Freon BF, Äthyläther, Dioxan,
Zyklohexan, Methylazetat, Äthylatetat,
Azeton, Methyläthylketon, Wasser
oder eine ähnliche
Flüssigkeit
und ein Gemisch aus diesen.
-
Als
Ausstoßflüssigkeit
können
verschiedene Flüssigkeiten
verwendet werden, ohne dass der Bläschenerzeugungseigenschaft
oder der thermischen Eigenschaft große Bedeutung beigemessen werden
muss. Das heißt,
als eine solche Flüssigkeit
kann eine Flüssigkeit
verwendet werden, welche wegen schlechter Bläschenerzeugungseigenschaft
und/oder leichter Eigenschaftsänderung
bei Wärme
bisher nicht verwendet werden konnte.
-
Die
Ausstoßflüssigkeit
selbst oder diese mit der Bläschenerzeugungsflüssigkeit
vermischt sollte jedoch das Ausstoßen, die Bläschenerzeugung, das Auslenken
des beweglichen Elements oder ähnliche
Vorgänge
nicht beeinträchtigen.
-
Als
Ausstoßaufzeichnungsflüssigkeit
eignet sich eine stark viskose oder ähnliche Tinte, aber auch pharmazeutische
Mittel, Parfüme
oder ähnliche
Mittel, deren Eigenschaften sich bei Wärmeeinfluss leicht verschlechtern,
können
dafür verwendet
werden. Bei den durchgeführten
Versuchen wurde als Ausstoßflüssigkeit und
auch als Bläschenerzeugungsflüssigkeit
für das
Aufzeichnen eine Tinte mit den nachfolgend genannten Bestandteilen
verwendet. Durch die höhere
Tintenausstoßgeschwindigkeit
wurde die Auftreffgenauigkeit der Flüssigkeitströpfchen und dadurch die Bildqualität verbessert.
-
Verwendet
wurde eine Farbtinte mit einer Viskosität von 2 cp und folgenden Bestandteilen:
Farbstoff
| (Nahrungsmittelfarbstoff
Schwarz 2) | 3
Gew.-% |
| Diäthylenglykol | 10
Gew.-% |
| Thiodiglykol | 5
Gew. |
| Äthanol | 5
Gew.-% |
| Wasser | 77
Gew.-% |
-
Aufzeichnungsvorgänge wurden
auch mit den nachfolgend genannten Kombinationen von Bläschenerzeugungsflüssigkeit
und Ausstoßflüssigkeit
durchgeführt.
Bei diesen Versuchen konnte auch eine bisher für das Ausstoßen unbrauchbare
Flüssigkeit
mit einer Viskosität
von 10 cP und mehr effektiv verwendet werden und selbst eine Flüssigkeit
mit einer Viskosität
von 150 cP brachte qualitativ hochwertige Bilder.
| Bläschenerzeugungsflüssigkeit
1: | |
| Äthanol | 40
Gew.-% |
| Wasser | 60
Gew.-% |
| Bläschenerzeugungsflüssigkeit
2: | |
| Wasser | 100
Gew.-% |
| Bläschenerzeugungsflüssigkeit
3: | |
| Isopropylalkohol | 10
Gew.-% |
| Wasser | 90
Gew.-% |
| Ausstoßflüssigkeit
1: | |
| (Pigmenttinte
mit etwa 15 cp) | |
| Kohleschwarz | 5
Gew.-% |
| Styrolakrylatakrylatäthylcopolymer | 1
Gew.-% |
| Dispersionsmaterial
(Oxid 140, mittl. Molek. | |
| Gewicht | |
| Monoäthanolamin | 0,25
Gew.-% |
| Glyzerin | 69
Gew.-% |
| Thiodiglykol | 5
Gew.-% |
| Äthanol | 3
Gew.-% |
| Wasser | 16,75
Gew.-% |
| | |
| Ausstoßflüssigkeit
2 (55 cp): | |
| Polyäthylenglykol
200 | 100
Gew.-% |
| Ausstoßflüssigkeit
3 (150 cp): | |
| Polyäthylenglykol
600 | 100
Gew.-% |
-
Bei
einer schlecht auszustoßenden
Flüssigkeit
ist die Ausstoßgeschwindigkeit
gering, wodurch Veränderungen
in der Ausstoßrichtung
eintreten und eine schlechte Auftreffgenauigkeit zu verzeichnen
ist. Außerdem
ergeben sich bei einer solchen Flüssigkeit infolge Ausstoßinstabilität Abweichungen
in der Ausstoßmenge,
welche zu einer schlechten Bildqualität führen. Die bei den beschriebenen
Ausführungsformen
verwendete Bläschenerzeugungsflüssigkeit
gewährleistet
ausreichende und stabile Bläschenerzeugung.
Das heißt,
bei Verwendung einer solchen Tinte wird die Auftreffgenauigkeit
der Flüssigkeitströpfchen verbessert
und die Tintenausstoßmenge
stabilisiert und dadurch die Bildqualität wesentlich verbessert.
-
<Fertigung des Flüssigkeitsausstoßkopfes>
-
Nachfolgend
wird die Fertigung des Flüssigkeitsausstoßkopfes
gemäß der vorliegenden
Erfindung beschrieben.
-
Bei
dem in 3 dargestellten Flüssigkeitsausstoßkopf wird
durch Bemustern eine Stütze 34 auf
dem Elementsubstrat 1 erzeugt und auf dieser das bewegliche
Elements 31 angeschweißt
oder anderweitig befestigt. Danach wird ein genutetes Bauteil mit
mehreren die Flüssigkeitskanäle 10 bildenden
Nuten, mit der zu jedem Flüssigkeitskanal
gehörenden
Ausstoßöffnung 18 und
der die gemeinsame Flüssigkeitskammer 13 bildenden
Vertiefung so auf dem Elementsubstrat 1 befestigt, dass
die Nuten und die beweglichen Elemente zueinander ausgerichtet sind.
-
Nachfolgend
wird die Fertigung des Flüssigkeitsausstoßkopfes
mit der in den 11 und 24 dargestellten
Zweikanalkonfiguration beschrieben.
-
Die
Wände für die zweiten
Flüssigkeitskanäle 16 werden
im allgemeinen auf dem Elementsubstrat 1 erzeugt und auf
diese wird die Trennwand 30 montiert, bevor die Montage
des Bauteils 50 mit den die ersten Flüssigkeitskanäle 14 bildenden
Nuten auf dieser erfolgt, doch es ist auch möglich, auf diese Wände ein
mit Trennwänden 30 versehenes
genutetes Bauteil 50 zu montieren.
-
Nachfolgend
wird beschrieben, auf welche Weise die zweiten Flüssigkeitskanäle erzeugt
werden.
-
Die 25(a)–(e)
zeigen schematisch die Fertigung des Flüssigkeitsausstoßkopfes
gemäß einer
ersten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
-
Bei
der in 25(a) gezeigten Ausführungsform
werden die elektrothermischen Wandler mit den Wärme erzeugenden Elementen 2 aus
Hafniumborid, Tantalnitrid oder einem ähnlichen Werkstoff mit einer
bei der Halbleiterherstellung verwendeten Vorrichtung auf dem Elementsubstrat 1 (Siliziumwafer)
erzeugt und danach erfolgt das Reinigen der Oberfläche des
Elementsubstrats 1, um die Haftfähigkeit des auf diese aufzutragenden
fotoempfindlichen Resists zu verbessern. Das Reinigen erfolgt durch
eine UV-Behandlung mit Ozon oder auf ähnliche Weise. Danach wird
eine Flüssigkeit,
welche eine durch Äthylalkohol
auf 1 Gew.-% verdünnte
Silanverbindung (z.B. A189 von NIPPON UNICA) enthält, durch
Spinnbeschickten auf die Oberfläche
aufgetragen.
-
Wie 25(b) zeigt, wird nach dem Reinigen ein
gegen Ultraviolettstrahlen fotoempfindlicher Resistfilm (Trockenfilm
Ordyl SY-318, hergestellt von Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) DF auf
die verbesserte Oberfläche des
Substrats 1 laminiert.
-
Wie 25(c) zeigt, wird dann auf den Trockenfilm
DF eine Fotomaske PM aufgebracht und die Abschnitte des Trockenfilms
DF, welche als Wände
der zweiten Flüssigkeitskanäle verbleiben
sollen, werden durch die Fotomaske PM mit ultraviolettem Licht bestrahlt.
Zum Belichten wurde MPA-600, erhältlich
von CANON KABUSHIKI KAISHA, verwendet und die Belichtungsdosis betrug
etwa 600 mJ/cm2.
-
Wie 25(d) zeigt, wurde der Trockenfilm DF
dann mit einer Mischflüssigkeit
aus Xylen und zelllöslichem
Butylazetat (BMRC-3, erhältlich
bei der Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) entwickelt, um die unbelichteten Abschnitte
aufzulösen
und die belichteten und ausgehärteten
Abschnitte, welche als Wände
für die
zweiten Flüssigkeitskanäle 16 dienen
sollen, zu belassen. Die auf der Oberfläche des Elementsubstrats 1 verbliebenen Reste
werden dann mit einer Sauerstoffplasma-Veraschungsvorrichtung (MAS-800 von
der Alcan-Tech Co., Inc.) etwa 90 Sekunden lang entfernt, um die
gereinigte Oberfläche
anschließend
2 Stunden bei 150°C
und einer Belichtungsdosis von 100 mJ/cm2 mit
ultraviolettem Licht zu bestrahlen und dabei die belichteten Abschnitte
vollständig
auszuhärten.
-
Nach
diesem Verfahren können
die zweiten Flüssigkeitskanäle mit hoher
Genauigkeit auf mehreren aus dem Siliziumsubstrat geschnittenen
Heizleiterplatten (Elementsubstraten) erzeugt werden. Zum Trennen des Siliziumsubstrats
in entsprechende Heizleiterplatten 1 wird eine Würfelschneidmaschine
mit einer 0,05 mm dicken Diamantscheibe (AWD-400 von Tokyo Seimitsu)
verwendet. Die auf diese Weise erhaltenen Heizleiterplatten 1 werden
mit einem Kleber (SE4400, hergestellt von Toray) auf der Aluminiumgrundplatte 70 befestigt.
Danach wird die vorher mit der Aluminiumgrundplatte verbundene gedruckte
Leiterplatte 71 über
einen Aluminiumleiter mit einem Durchmesser von 0,05 mm (nicht dargestellt)
an die Heizleiterplatte 1 angeschlossen.
-
Wie 25(e) zeigt, werden dann ein Befestigungselement
des genuteten Bauteils 50 und die Trennwand 30 auf
der Heizleiterplatte 1 entsprechend positioniert und mit
dieser verbunden. Genauer ausgedrückt, das genutete Bauteil 50 mit
der daran befestigten Trennwand 30 und die Heizleiterplatte 1 werden
zueinander ausgerichtet und durch eine Arretierfeder miteinander
verbunden. Danach wird das Bauteil 80 zum Zuführen der
Tinte und der Bläschenerzeugungsflüssigkeit
auf den Tintenbehälter
aufgesetzt. Die Spalten zwischen dem Aluminiumdraht, dem genuteten
Bauteil 50, der Heizleiterplatte 1 und dem Bauteil 80 zum
Zuführen
der Tinte und der Bläschenerzeugungsflüssigkeit
werden mit einem Silikondichtmittel (TSE399, erhältlich bei Toshiba) abgedichtet.
-
Bei
Anwendung dieses Herstellungsverfahrens können die zweiten Flüssigkeitskanäle präzis erzeugt werden,
ohne dass dabei positionelle Verschiebungen bezüglich der auf der Heizleiterplatte
vorhandenen Heizleiter auftreten. Durch das Vorverbinden des genuteten
Bauteils 50 mit der Trennwand 30 wird eine größere Positioniergenauigkeit
zwischen dem ersten Flüssigkeitskanal 14 und
dem beweglichen Element 31 erreicht.
-
Durch
diese präzise
Fertigungstechnologie wird das Ausstoßen stabiler und die Druckqualität verbessert.
Da alle Einzelelemente auf einem Wafer erzeugt werden, ist eine
Massenproduktion bei geringen Kosten möglich.
-
Bei
dieser Ausführungsform
wird zur Erzeugung der zweiten Flüssigkeitskanäle ein durch
Ultraviolettstrahlen aushärtender
Trockenfilm verwendet. Es kann aber auch ein Kunstharz mit einem
Absorptionsband von 248 nm (außerhalb
des Ultraviolettbereichs) auf das Substrat laminiert werden. Nach
dem Aushärten
des Kunstharzes werden dann die Abschnitte, welche die zweiten Flüssigkeitskanäle bilden
sollen, mit einem Excimerlaser direkt entfernt.
-
Die 26(a)–(d)
zeigen schematisch in der Schnittansicht die einzelnen Schritte
zur Fertigung des Flüssigkeitsausstoßkopfes
gemäß einer
zweiten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
-
Wie 26(a) zeigt, wird auf ein Substrat 100 aus
SUS-Material ein Resist mit einer Dicke von 15 μm in Form des zweiten Flüssigkeitskanals
als Muster aufgetragen.
-
Wie 26(b) zeigt, wird durch Elektroplattieren
eine 15 μm
dicke Nickelschicht 102 auf das Substrat 100 aus
SUS-Material aufgetragen. Zum Plattieren wird eine Lösung verwendet,
welche Nickelsulfatamid, ein Spannungssenkungsmaterial (zero ohru,
erhältlich
bei der World Metal Inc.), Borsäure,
Grübchenbildung
verhinderndes Material (NP-APS, erhältlich bei der World Metal
Inc.) und Nickelchlorid enthält.
Zur Erzeugung des für
die Elektroablagerung benötigten
elektrischen Feldes wird eine Elektrode an die Anode und das vorher
bemusterte Substrat 100 aus SUS-Material an die Kathode
einer Stromquelle angeschlossen; die Temperatur der Plattierungslösung beträgt 50°C und die
Stromdichte 5 A/cm2.
-
Wie 26(c) zeigt, wird das dem Plattierungsverfahren
unterzogene Substrat 100 aus SUS- Material dann einer Ultraschallschwingungsbehandlung
unterzogen, um die Nickelschicht 102 an den Stellen zu
entfernen, an welchen die zweiten Flüssigkeitskanäle entstehen
sollen.
-
Parallel
dazu werden mit einer in der Halbleiterindustrie verwendeten Vorrichtung
die Heizleiterplatten mit den elektrothermischen Wandlern auf einem
Wafer erzeugt. Dann wird auf ähnliche
Weise wie bei der vorhergehenden Ausführungsform mit einer Würfelschneidmaschine
der Wafer in einzelne Heizleiterplatten geteilt. Anschließend werden
die Heizleiterplatten 1 auf die bereits mit einer gedruckten
Leiterplatte 104 versehenen Aluminiumgrundplatte 70 montiert
und die gedruckte Leiterplatte 104 und der Aluminiumleiter
(nicht dargestellt) werden zur Vervollständigung der elektrischen Verdrahtung
miteinander verbunden. Auf eine solche Heizleiterplatte 1 wird
dann das Substrat aus SUS-Material mit den darin erzeugten zweiten
Flüssigkeitskanälen montiert,
wie 26(d) zeigt. Wenn wie bei der
ersten Ausführungsform
das Aufsetzen der Abdeckplatte mit der bereits daran befestigten
Trennwand ein späterer
Schritt ist, dafür
eine Arretierfeder verwendet wird und dabei keine Verschiebung des
Substrats eintritt, muss dieses nicht allzu fest mit der Heizleiterplatte
verbunden werden.
-
Bei
dieser Ausführungsform
wird zum Positionieren und Befestigen ein bei Ultraviolettbestrahlung
aushärtender
Kleber (Amicon UV-300, erhältlich
bei GRACE JAPAN) und eine Ultraviolettbestrahlungsvorrichtung verwendet,
mit welcher bei einer Belichtungsdosis von 100 mJ/cm2 und
einer Belichtungsdauer von 3 Sekunden das endgültige Fixieren erfolgt.
-
Bei
Anwendung des Fertigungsverfahrens gemäß dieser Ausführungsform
können
die zweiten Flüssigkeitskanäle ohne
positionelle Abweichung bezüglich
der Wärme erzeugenden
Elemente verfügbar
gemacht werden, und da die Flüssigkeitskanalwände aus
Nickel bestehen, sind diese gegen die alkalische Flüssigkeit beständig und
haben demzufolge eine lange Lebensdauer.
-
Die 26(a)–(d)
zeigen schematisch in der Schnittansicht die einzelnen Schritte
zur Herstellung des Flüssigkeitsausstoßkopfes
gemäß einer
dritten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
-
Wie 26(a) zeigt, sind beide Seiten des 15 μm dicken
und mit einer Justierbohrung oder Justiermarke 100a versehenen
Substrats aus SUS-Materials 100 mit einem Resist beschichtet.
Als Resist wurde das bei der Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. erhältliche
PMERP-AR900 verwendet.
-
Wie 26(b) zeigt, wurde dann bei Nutzung der
im Elementsubstrat 100 vorhandenen Justierbohrung mit einer
Belichtungsvorrichtung (MPA-600, erhältlich bei CANON KABUSHIKI
KAISHA, Japan) das Belichten durchgeführt, um an den Stellen das
Resist 103 zu entfernen, an welchen die zweiten Flüssigkeitskanäle entstehen
sollen. Die Belichtungsdosis betrug 800 mJ/cm2.
-
Wie 26(c) zeigt, wird das beidseitig mit dem
Resist 103 bemusterte Substrat aus SUS-Material in eine Ätzflüssigkeit
(wässrige
Lösung
aus Eisen- oder Kupferchlorid) getaucht, um die vom Resist 103 befreiten Abschnitte
wegzuätzen,
und danach das restlich Resist entfernt.
-
Wie 26(d) zeigt, wird wie bei der vorhergehenden
Ausführungsform
des Fertigungsverfahrens das dem Ätzvorgang unterzogene Substrat 100 aus
SUS-Material auf
der Heizleiterplatte 1 positioniert und an dieser befestigt
und damit der mit den zweiten Flüssigkeitskanälen 16 versehene
Flüssigkeitsausstoßkopf fertiggestellt.
-
Bei
Anwendung des Fertigungsverfahrens dieser Ausführungsform können die
zweiten Flüssigkeitskanäle 16 ohne
Abweichung bezüglich
der Heizvorrichtungen verfügbar
gemacht werden, und da die Flüssigkeitskanäle aus SUS-Material bestehen,
sind diese gegen saure und alkalische Flüssigkeiten beständig, so dass
der Flüssigkeitsausstoßkopf eine
lange Lebensdauer hat.
-
Wie
bereits beschrieben, werden beim Aufsetzen der Wände der zweiten Flüssigkeitskanäle auf das Elementsubstrat
die elektrothermischen Wandler und die zweiten Flüssigkeitskanäle mit hoher
Präzision
zueinander ausgerichtet. Da vor dem Trennen des Substrats einige
zweite Flüssigkeitskanäle gleichzeitig
auf diesem erzeugt werden, ist eine Massenproduktion bei geringen
Kosten möglich.
-
Der
nach dem Fertigungsverfahren dieser Ausführungsform gefertigte Flüssigkeitsausstoßkopf hat den
Vorteil, dass die zweiten Flüssigkeitskanäle und die
Wärme erzeugenden
Elemente mit hoher Präzision zueinander
ausgerichtet sind, so dass der bei der Bläschenbildung erzeugte Druck
mit hoher Effizienz weitergeleitet und dadurch eine hohe Ausstoßeffizienz
erreicht wird.
-
<Flüssigkeitsausstoßkopfkartusche>
-
Nachfolgend
wird eine mit dem Flüssigkeitsausstoßkopf gemäß einer
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung bestückte
Flüssigkeitsausstoßkopfkartusche
beschrieben.
-
28 zeigt
schematisch in Perspektiv- und Explosivdarstellung eine mit dem
beschriebenen Flüssigkeitsausstoßkopf bestückte Flüssigkeitsausstoßkopfkartusche,
welche im allgemeinen eine Flüssigkeitsausstoßkopfeinheit 200 und
einen Flüssigkeitsbehälter 90 aufweist.
-
Die
Flüssigkeitsausstoßkopfeinheit 200 weist
ein Elementsubstrat 1, eine Trennwand 30, ein
genutetes Bauteil 50, eine Arretierfeder 70, ein
Flüssigkeitszufuhrelement 80 und
ein Stützelement 70 auf. Wie
bereits beschrieben, ist das Elementsubstrat 1 mit mehreren
Wärme erzeugenden
Widerständen
zum Erzeugen und Zuführen
von Wärme
zur Bläschenerzeugungsflüssigkeit
bestückt.
Der Kanal zum Zuführen
der Bläschenerzeugungsflüssigkeit
befindet sich zwischen dem Elementsubstrat 1 und der mit
dem beweglichen Element versehenen Trennwand 30. Beim Befestigen
der Trennwand 30 an der genuteten Abdeckplatte 50 entsteht
ein Kanal (nicht dargestellt) für
die Ausstoßflüssigkeit.
-
Die
Arretierfeder 70 presst das genutete Bauteil 50 auf
das Elementsubstrat 1 und fügt somit das Elementsubstrat 1,
die Trennwand 30, das genutete Bauteil 50 und
das später
näher beschriebene
Stützelement 70 zu
einer Einheit zusammen.
-
Das
Stützelement 70,
welches das Elementsubstrat 1 stützt, ist mit einer Schaltung 71 zum Übertragen elektrischer
Signale an dieses und mit Kontaktstellen 72 zur Übertragung
elektrischer Signale vom Gerät
an die eingesetzte Kartusche versehen.
-
Der
Flüssigkeitsbehälter 90 enthält die dem
Flüssigkeitsausstoßkopf zuzuführende Ausstoßflüssigkeit in
Form von Tinte und getrennt von dieser die Bläschenerzeugungsflüssigkeit.
An der Außenseite
des Flüssigkeitsbehälters 90 sind
ein Positionierzapfen 94 für ein Verbindungselement zum
Verbinden des Flüssigkeitsausstoßkopfes
mit dem Flüssigkeitsbehälter und
ein Befestigungszapfen 95 zum Befestigen des Verbindungselements
angeordnet. Vom Flüssigkeitsbehälter gelangt
die Ausstoßflüssigkeit
durch den darin vorhandenen Kanal 92 zunächst in
das am Flüssigkeitszufuhrelement 80 angeordnete
Zuführröhrchen 81 und
weiter zur ersten gemeinsamen Flüssigkeitskammer
und von dort durch die Öffnung 83 in
den Flüssigkeitszuführkanal 20 des
genuteten Bauteils 50. Die ebenfalls im Flüssigkeitsbehälter vorhandene Bläschenerzeugungsflüssigkeit gelangt über den
in diesem vorhandenen Kanal 93 in das am Flüssigkeitszuführelement 80 angeordnete
Zuführröhrchen 82 und
weiter zur zweiten gemeinsamen Flüssigkammer und von dort durch
die Öffnung 84 in den
Flüssigkeitszuführkanal 21 des
genuteten Bauteils 50.
-
Bei
einer solchen Flüssigkeitsausstoßkopfkartusche
werden sowohl die Ausstoßflüssigkeit
als auch die Bläschenerzeugungsflüssigkeit
dem Kopf problemlos zugeführt.
Wenn die Ausstoßflüssigkeit
und die Bläschenerzeugungsflüssigkeit
gleich sind, wird der Flüssigkeitskanal
für die
Bläschenerzeugungsflüssigkeit
nicht zwangsläufig
von dem für
die Ausstoßflüssigkeit
getrennt.
-
Nach
dem vollständigen
Verbrauch der Tinten im Flüssigkeitsbehälter kann
dieser wieder gefüllt
werden. Das Wiederauffüllen
des Flüssigkeitsbehälters mit
der entsprechenden Flüssigkeit
erfolgt über
eine in diesem vorhandene Einfüllöffnung.
Flüssigkeitsausstoßkopf und
Flüssigkeitsbehälter können entweder
als untrennbare oder als trennbare Einheit konstruiert sein.
-
<Flüssigkeitsausstoßvorrichtung>
-
29 zeigt
schematisch eine mit dem beschriebenen Flüssigkeitsausstoßkopfbestückte Flüssigkeitsausstoßvorrichtung.
Bei dieser Ausführungsform
wird als Ausstoßflüssigkeit
Tinte und als Gerät
ein Tintenausstoßaufzeichnungsgerät verwendet.
Die Flüssigkeitsausstoßvorrichtung
weist einen Schlitten HC auf, an welchem die aus dem Flüssigkeitsbehälter 90 und
der Flüssigkeitsausstoßkopfeinheit 200 trennbar
zusammengesetzte Kopfkartusche befestigt werden kann. Der Schlitten
HC kann über
die Breite des von einer Aufzeichnungsmaterialtransportvorrichtung
zugeführte
Aufzeichnungsmaterials 150 in Form eines Aufzeichnungsblattes
oder in ähnlicher
Form hin und her bewegt werden.
-
Wenn
von einer nicht dargestellten Steuersignalsendevorrichtung an die
am Schlitten vorhandene Flüssigkeitsausstoßvorrichtung
ein Steuersignal gesendet wird, erfolgt als Reaktion auf dieses
Signal das Ausstoßen
von Flüssigkeit
aus dem Flüssigkeitsausstoßkopf auf
das Aufzeichnungsmaterial.
-
Das
Flüssigkeitsausstoßgerät dieser
Ausführungsform
weist einen Motor 111 als Antriebsquelle für die Aufzeichnungsmaterialtransportvorrichtung
und den Schlitten, Zahnräder 112, 113 zum Übertragen
der Antriebsleistung auf den Schlitten, einen Schlittenholm 115 und
weitere Bauteile auf. Mit der Aufzeichnungsvorrichtung in Verbindung
mit dem Flüssigkeitsausstoßverfahren
können
durch Ausstoßen
von Flüssigkeit
auf verschiedene Aufzeichnungsmaterialien qualitativ gute Bilder
gedruckt werden.
-
30 zeigt
den allgemeinen Signalfluss in dem mit dem Flüssigkeitsstrahlkopfbestückten und
nach dem Flüssigkeitsausstoßverfahren
arbeitenden Tintenstrahlaufzeichnungsgerät in Übereinstimmung mit der vorliegenden
Erfindung.
-
Das
Aufzeichnungsgerät
erhält
von einem Hauptrechner 300 die Druckdaten in Form eines
Steuersignals. Die Druckdaten werden vorübergehend in einer Eingangsschnittstelle 301 des
Druckgerätes
gespeichert und gleichzeitig in verarbeitbare und in eine ZVE 302 einzugebende
Daten umgewandelt, welche diese als Kopfteuersignale ausgibt. Von
der ZVE 302 und mit Hilfe peripherer Einheiten wie zum
Beispiel eines RAM 304 oder einer ähnlichen Einheit werden entsprechend
den in einem ROM 303 gespeicherten Steuerprogrammen die
eingegebenen Daten zu Druckdaten (Bilddaten) verarbeitet.
-
Zum
Aufzeichnen der Bilddaten auf einem entsprechenden Punkt auf einem
Aufzeichnungsblatt erzeugt die ZVE 302 Steuerdaten zum
Steuern eines Antriebsmotors, welcher synchron mit den Bilddaten
das Aufzeichnungsblatt und den Aufzeichnungskopf bewegt. Die Bilddaten
und die Motorsteuerdaten werden über einen
Kopftreiber 307 bzw. Motortreiber 305 an einen
Kopf 200 und einen Antriebsmotor 306 gesendet,
um diese zum Erzeugen eines Bildes in einem entsprechenden Takt
zu steuern.
-
Zum
Aufzeichnungsmedium, welches bei einem Aufzeichnungsgerät wie dem
beschriebenen verwendet und auf welches Flüssigkeit in Form von Tinte
z.B. ausgestoßen
wird, zählen
verschiedene Papierarten, OHP Blätter,
Plaste, welche zur Herstellung von Kompaktdisketten verwendet werden,
Ornamentplatten oder ähnliche
Platten, Gewebe, Materialien aus Metall wie Aluminium, Kupfer oder ähnliche
Metalle, Leder wie Rinds- oder
Schweinsleder, synthetisches Leder und ähnliches Leder, Nutzholz wie
Massivholz, Sperrholz und ähnliches
Holz, Bambus, Keramik wie Fliesen und dreidimensionale Materialien
wie Schwamm.
-
Zum
Aufzeichnungsgerät
zählen
folgende Geräte:
ein Drucker für
verschiedene Papiersorten oder OHP Blätter, ein Aufzeichnungsgerät für Plaste,
welche zum Beispiel zur Herstellung von Kompaktdisketten oder ähnlichen
Bild- und Tonträgern verwendet
werden, ein Aufzeichnungsgerät
für Metallplatten
oder ähnliche Platten,
ein Aufzeichnungsgerät
für Leder,
ein Aufzeichnungsgerät
für Nutzholz,
ein Aufzeichnungsgerät
für Keramik,
ein Aufzeichnungsgerät
für dreidimensionale
Materialien wie Schwamm oder ähnliche
Materialien, ein Textildruckgerät
zum Aufzeichnen von Bildern auf Gewebe und ähnliche Geräte.
-
Bei
diesen Flüssigkeitsausstoßgeräten kann
jede Flüssigkeit
verwendet werden, wenn diese mit dem eingesetzten Aufzeichnungsmedium
kompatibel ist und den Aufzeichnungsbedingungen genügt.
-
<Aufzeichnungssystem>
-
Nachfolgend
wird exemplarisch ein Tintenstrahlaufzeichnungssystem beschrieben,
welches auf einem Aufzeichnungsmedium Bilder aufzeichnet und in
welchem als Aufzeichnungskopf der Flüssigkeitsausstoßkopf in Übereinstimmung
mit der vorliegenden Erfindung verwendet wird.
-
31 zeigt
schematisch in perspektivischer Darstellung den allgemeinen Aufbau
eines Tintenstrahlaufzeichnungssystem mit einem Flüssigkeitsausstoßkopf 201 in Übereinstimmung
mit der vorliegenden Erfindung. Bei dieser Ausführungsform wird als Flüssigkeitsausstoßkopf ein
Ganzzeilenkopf verwendet, welcher den gesamten Aufzeichnungsbereich
des Aufzeichnungsmediums 150 überdeckende Ausstoßöffnungen
aufweist, die in einer Dichte von 17/mm angeordnet sind. Dieser
Kopf setzt sich aus vier den Farben Gelb (y), Magenta (M), Zyan
(C) und Schwarz (Bk) entsprechenden Einzelköpfen zusammen. Diese vier Köpfe sind
in einem bestimmten Abstand hintereinander angeordnet an einer Haltevorrichtung 202 befestigt.
-
Die
Einzelköpfe
werden entsprechend den vom Kopftreiber 307 als Steuersignalsendeeinheit
gesendeten Signalen gesteuert.
-
Die
vier Tinten (Y), (M), (C) und (Bk) werden vom entsprechenden Tintenbehälter 204a, 204b, 204c bzw. 204d zugeführt. Das
Bezugszeichen 204e kennzeichnet den Behälter für die jedem Kopf zuzuführende Bläschenerzeugungsflüssigkeit.
-
Unter
jedem der vier Köpfe
ist eine entsprechende Kopfabdeckkappe 203a, 203b, 203c bzw. 203d angeordnet,
welche ein Tintenabsorptionselement in Form eines Schwamms zum Beispiel
aufweist. Diese Abdeckkappen bedecken die Ausstoßöffnungen des entsprechenden
Kopfes, schützen
die Köpfe
und halten diese in druckfreien Zeiten einsatzbereit.
-
Das
Bezugszeichen 206 kennzeichnet einen Transportriemen zum
Transportieren der bei den vorhergehenden Ausführungsformen genannten verschieden
Aufzeichnungsmedien. Dieser Riemen 206 wird über mehrere
Rollen gespannt von einer durch den Motortreiber 305 gesteuerten
Antriebsrolle angetrieben.
-
Das
Tintenstrahlaufzeichnungssystem dieser Ausführungsform weist eine vor dem
Tintenstrahlaufzeichnungsgerät
angeordnete Vorbehandlungsvorrichtung 251 und eine hinter
diesem angeordnete Nachbehandlungsvorrichtung 252 auf,
welche das Aufzeichnungsmedium vor bzw. nach dem Drucken auf verschiedenen
Weise behandeln.
-
Die
Vorbehandlung und die Nachbehandlung variieren in Abhängigkeit
von der Art des Aufzeichnungsmedium und der Tintensorte. Im Falle
der Verwendung von Metall, Plast, Keramik oder ähnlichem Material als Aufzeichnungsmaterial
wird dieses vor dem Drucken einer Behandlung mit UV-Strahlen und Ozon
unterzogen, um dessen Oberfläche
zu aktivieren.
-
Bei
einem zum elektrischen Aufladen neigenden Aufzeichnungsmaterial
wie Plast zum Beispiel wird durch die erzeugte statische Elektrizität Staub
auf dessen Oberfläche
abgelagert, welcher das Aufzeichnen beeinträchtigen kann. In einem solchen
Fall wird eine Ionisiervorrichtung verwendet, um die statische Ladung
des Aufzeichnungsmaterials und dadurch die Staubablagerungen von
diesem zu entfernen. Im Falle von Textilien als Aufzeichnungsmaterial
können
diese einer Vorbehandlung mit einem alkalischen Mittel, einem wasserlöslichen
Mittel, einem polymeren, wasserlöslichen Metallsalz,
Harnstoff oder Thioharnstoff unterzogen werden, um eine Federbildung
zu verhindern, das Fixieren zu verbessern oder ähnliche Wirkungen zu erzielen.
Die Behandlung ist nicht auf die beschriebene begrenzt, sondern
kann auch ein Vorwärmen
des Aufzeichnungsmaterials sein.
-
Dagegen
ist die Nachbehandlung ein Vorgang, bei welchem das Aufzeichnungsmaterial
mit der darauf ausgestoßenen
Tinte einer Wärmebehandlung
oder einer Behandlung mit UV-Strahlen zum Fixieren der Tinte oder
einer Reinigungsbehandlung zum Entfernen des bei der Vorbehandlung
verwendeten und auf diesem verbliebenen Behandlungsmaterials unterzogen
wird.
-
Bei
dieser Ausführungsform
ist der verwendete Aufzeichnungskopf ein Ganzzeilenkopf, obwohl
die vorliegende Erfindung auch auf eine über die Breite des Aufzeichnungsmaterials
beweglichen Serienkopf angewendet werden kann.
-
<Kopfeinheit>
-
Nachfolgend
wird eine Kopfeinheit beschrieben, welche den Flüssigkeitsausstoßkopf in Übereinstimmung
mit der vorliegenden Erfindung aufweist. Eine solche Kopfeinheit
ist in 32 schematisch dargestellt. Diese
Kopfeinheit 500 setzt sich zusammen aus einem Kopf 510 in Übereinstimmung
mit der vorliegenden Erfindung, welcher den Tintenausstoßabschnitt 511 zum
Ausstoßen
von Tinte aufweist, einem Tintenbehälter 510, das heißt einem
vom Kopf abnehmbaren oder mit diesem fest verbundenen Flüssigkeitsbehälter und
einer Tintenfüllvorrichtung 530,
welche die in den Tintenbehälter 520 zu
füllende
Tinte enthält.
-
Nach
dem vollständigen
Entleeren des Tintenbehälters 520 wird
die Spitze (in Form einer Injektionsnadel) 531 der Tintenfüllvorrichtung
in eine am Tintenbehälter
oder an der Verbindungsstelle zwischen dem Tintenbehälter und
dem Kopf vorhandene Entlüftungsbohrung 521 oder
eine in die Tintenbehälterwand
eingebrachte Bohrung eingeführt
und die in der Füllvorrichtung
vorhandene Tinte durch diese Spitze 531 in den Tintenbehälter gedrückt.
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Wenn
der Flüssigkeitsausstoßkopf, der
Tintenbehälter,
die Tintenfüllvorrichtung
usw. als eine Einheit zusammengesetzt sind, kann der entleerte Tintenbehälter auf
die beschriebene einfache Weise wieder mit Tinte gefüllt und
mit dem Aufzeichnen schnell wieder begonnen werden.
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Bei
dieser Ausführungsform
ist die Tintenfüllvorrichtung
in der Kopfeinheit integriert. Die Tintenfüllvorrichtung muss aber nicht
unbedingt Bestandteil der Kopfeinheit sein, denn die Kopfeinheit
kann sich auch aus einem mit Tinte gefüllten Austauschbehälter und
einem Kopf zusammensetzen.
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Obwohl
in 32 nur die Tintenfüllvorrichtung zum Füllen des
Tintenbehälters
mit Drucktinte dargestellt ist, kann außer dieser auch eine Vorrichtung
zum Befüllen
eines separat angeordneten Behälters
mit Bläschenerzeugungsflüssigkeit
zur Kopfeinheit gehören.