KR970030622A - 웨이퍼 카세트와 그의 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 정렬되어 있는 단결정 실리콘 웨이퍼를 유지하기 위한 웨이퍼 카세트(cassette)의 제조를 위한 사출성형 방법에서의 개선을 제안하고 있다. 그런 웨이퍼 카세트는 보강립과 같은 몇 개의 두꺼운 벽으로된 부분을 지니고 있으며, 이것의 각각은 웨이퍼를 장착하고 취출하기 위한 자동 기계의 정확한 배치를 위하여 배치홈이 설치되어 있는데, 종래 기술의 카세트에 있는 그런 두꺼운 벽으로된 부분은 열적 축소가 가해지거나 몰딩(molding)에서 몰딩싱크(sink)가 발생하여 자동 기계의 신뢰할 수 있는 배치를 방해하는 배치홈의 변형을 발생시킨다. 본 발명의 개선은 기체를 금속 몰드의 공동에 도입해서 배치홈 뒤에 중공을 형성함으로써 큰 벽두께에 의한 열적 축소 혹은 몰딩싱크를 피하는 기체-조력 방법을 수행함으로서 실행될 수 있다.

Description

웨이퍼 카세트와 그의 제조 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
도 1은 실시예에서 웨이퍼 카세트의 제조를 위한 본 발명의 방법을 실행하기 위한 금속 몰드의 개략적인 단면도이다.

Claims (4)

  1. 정렬되어 있는 다수의 웨이퍼 재료를 수용하기 위한 평행한 홈, 두꺼운 벽으로된 보강부분 및 상기 두꺼운 벽으로된 보강 부분 각각의 안에 형성된 배치홈을 가지며, 상기 배치홈은 웨이퍼 카세트로부터 웨이퍼 재료를 장착하고 취출하기 위한 자동 기계의 징확한 배치를 위하여 사용되는 웨이퍼 카세트의 제조를 위하여, 웨이퍼 카세트를 위한 공동을 가지고 있는, 사출성형을 위한 금속 몰드 안으로 수지 용해물을 주입하는 사출성형 방법에 있어서, 금속몰드의 공동으로 수지 용해물을 주입하는 동안 혹은 금속 몰드의 공동 안에 주입된 수지 용해물이 완전히 경화되기 전에, 기체를 금속 몰드의 공동 안으로 불어넣는 기체-송풍 사출성형 방법에 의해서 얇은 벽으로된 중공 구조 형태의 배치홈을 갖는 보강 부분을 몰딩하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 제조를 위한 사출성형 방법.
  2. 제1항에 있어서, 기체-송풍 사출성형에서의 기체 송풍은 금속몰드안에 장착된 기체-직접 주입 모듈을 통하여 실행되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 제조를 위한 사출성형 방법.
  3. 정렬되어 있는 다수의 웨이퍼 재료를 수용하기 위한 평행한 홈과, 웨이퍼 카세트로부터 웨이퍼 재료를 장착하고 취출하기 위한 자동 기계의 정확한 배치를 위하여 사용되도록 배치홈을 각각 그 안에 형성한 두꺼운 벽으로된 보강 부분을 가지며, 상기 배치홈과 함께 상기 두꺼운 벽으로된 보강 부분이 각각 중공 구조를 갖도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트.
  4. 제3항에 있어서, 두꺼운 벽으로된 보강 부분의 벽 두께가 3mm 이상이 되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960057339A 1995-11-27 1996-11-26 웨이퍼 카세트 및 그 제조 방법 KR100355644B1 (ko)

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