TW309467B - - Google Patents

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300467 A7 B7 五、發明説明（1 ) 本發明愾有關於如半導體單晶矽晶圃（single crystal silicon wafers)等之精密基片收容盒，及其製 造方法。本發明方法為製備收容盒之射出成型法，此收容 盒用於在儲存及運输時收容各式各樣精密基片，如半導醱 矽晶國、磁性記錄媒匾用之硬碟基Η、照相製板術中光罩 之熔合矽石玻瑰板等等。尤甚者，本發明提供用於收容精 密基片之收容盒製迪方法，此收容盒可適合於藉由自動機 器而機械式裝卸基片。 經濟部中央標隼局員工消费合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 傳統上於鍺存及邇輸期間將如半導體矽晶圓等之各式 各樣精密基片收容於盒狀收容器内，在下文中稱之為晶圓 載腥，其顯示於所附圃式之第6麵中，為了使在下文中稱 之為晶圓之基片材料免於受灰塵粒子沉積的污染與因振動 及衝擊所産生之機槭破壞。如第6圖所示般，此圔為將晶 圓載體分解成零件之透視圖，其將複數個晶圃y收容在晶 圖收容盒ίο之内，其偽以平行排列且每一個與臨近之晶圖 間保持狹窄的間陳空間，且將收容有晶画w之晶園收容盒 ίο以可自由卸下之型式放入晶圃載腥之盒底b。蓋子d像 予装載於盒底b之上，其間插入有安装於盒底b及蓋子d 開口周緒之如橡膠墊圈等之有彈性的密封件C以確保晶圚 載醱密不透氣。晶圖W或晶圓收容盒10藉由晶圖緊壓元件 e在彈性下與晶圆W之上側週緣相接觸而固定於其位置上 她|丨丨·"· 。由晶圖收容盒10上裝卸晶圓W之工作通常須在盡可能完 全無浮游灰塵粒子之無應室内進行以避免極微小之灰塵粒 子沉積於晶圖W之上。 本紙悵尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 3 3 8 5 5 2 309467 A7 B7 經濟部中央橾準局貝工消费合作社印裝 五、發明説明（2 ) 1 1 典 型 的 晶 圖 收 容 盒 % 用 於 牧 容 大 直 徑 之 半 導 鼸 砂晶圓 1 1 I > 在 第 7 , 8 9 9 , 1 0 , 及1 1圆中分別顯示其透視圈、 平面 1 1 圖 前 視 圖 沿 箸 第 8 麵 中 箭 頭 X- X所指示方向切開及透 1 I 請 1 I 視 之 截 面 tbQ 圖 t 與 沿 著 第 9 圖 中 箭 頭 XI -X I所指示方向切開 先 閱 1 I 讀 1 I 及 透 視 之.部 份 截 面 圖 0 晶 圖 收 容 盒 10僳 由 熱 塑 性 樹 脂製成 背 ιέ 1 | 之 1 > 此 等 樹 脂 可 為 聚 丙 烯 樹 脂 (P ο 1 y p Γ 0 p y 1 e n e I PP )、 聚磺 注 意 1 事 1 酸 酯 樹 脂 (P 〇 1 y c a r bo n a t e » PC)、 聚對苯二甲酸丁二酯樹 項 再 1 脂 (P 〇 1 y b u t y 1 e η e t e re Ph t h a 1 at e PBT) 聚 m -醚酮（ 本 S* 裝 I P 〇 1 y e t he Γ - e t he r k e to n e » PEEK). 過氟烷氣氣硪樹脂（ Ά 1 1 1 Pe Γ f 1 u or 〇 a lk ox y f 1 u 0 Γ 0 c a r b on > PF A ) 等 等 • 且 藉 由射出 1 1 成 型 法 — 髏 成 型 0 晶 圖 收 容 盒 10 之 主 要 部 份 包 含 有 一對面 1 1 對 面 之 圖 盤 11 ,1 2 , 其藉由四個橋狀物] 3 , 14 ,1 5 , 16 而互相 訂 1 連 接 在 一 起 0 為 了 補 強 之 百 的 » 圖 盤 11 ,1 2之每- -個均沿 1 | 箸 其 上 側 外 緣 提 供 厚 壁 肋 材 17 » 沿 著 下 側 外 緣 提 供 厚壁區 1 I 18 ， 及 提 供 一 對 經 過 圖 盤 11 或 12 之 侧 向 外 m 附 近 的 垂直肋 1 材 19 ，1 9。 每— -個橋狀物1 3 , 14 ,1 5 , 16 之 朝 向 内 部 之 表面上 T 均 提 供 有 複 數 値 具 有 V 字 形 截 面 之 縱 向 連 m 平 行 凹 榷20， 1 1 其 用 於 收 容 矽 晶 圖 之 外 _丨丨丨丨丨 線 »· __ »在 圖 盤 11 或 1 2 之 上 側 補 強肋材 1 1 1 7 之 每 一 终 端 均 提 供 具 有 V 形 截 面 之 定 位 凹 槽 17 A。下 1 1 侧 厚 壁 區 1 8亦 在 其 中 心 提 供 具 有 V 字 形 截 面 之 縱 向 連續定 1 I 位 凹 槽 18 A 〇 1 1 於 上 述 晶 圓 收 容 盒 10 内 » 晶 圓 偽 於 欲 支 持 其 之外緒 1 1 I 上 予 以 一 値 個 插 入 橋 狀 物 13 ,1 4 , 15 ,1 6中之該組容器凹槽 1 1 20 内 0 可 將 因 此 而 收 容 有 晶 圖 W 之 晶 國 收 容 盒 1 0 L-f 插 入晶圈 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐 3 8 5 5 2 309467 A7 B7 經濟部中央橾準局員工消费合作社印製 五、發明説明（ 3 ) 1 I 收 容 盒 之 盒 底 b , 且薙由裝上其間插入有镡性的密封件C 1 1 1 之 蓋 子 d 而 密 不 透 氣的 將 其 密 封 於 其 間， 故可確 保 晶 _ W 1 1 於 儲 存 及 蓮 输 期 間 僳乾 淨 且 安 全 的 0 當藉 由裝卸 機 器 而 由 '—\ 1 I 請 I I 晶 圖 收 容 盒 10 裝 卸 晶画 U 時 » 藉 由 將 其定 位銷21 之 一 的 尖 先 閱 1 | 讀 1 | 頭 放 入 並 接 觸 如 第 11圖 所 示 作 為 裁 定 點之 厚壁件 17 ,1 8之 背 1 I 之 1 V 字 形 凹 槽 17 A , 18A底端而將機器固定於適當的位置。 上 注 意 1 幸 1 述 傅 統 之 晶 圖 收 容 盒1 0 中 有 若 干 有 鼷 裝卸 機器之 可 靠 性 問 項 再 填 1 -S 題 須 予 解 決 0 因 為 旁侧 圖 盤 11 之 上 侧 補強 肋材17 及 下 侧 厚 % 本 衮 I 壁 區 18 具 有 較 大 的 厚度 舉 例 而 言 * 此等 元件在 射 出 成 型 頁 '— 1 1 中 不 可 避 免 地 呈 現 較大 的 熱 收 縮 » 故 如第 12圖所 示 9 有 時 1 1 每 個 定 位 凹 槽 17 ,1 8之凹槽表面所具有的截面非正V 字型 1 1 而 % 每 曲 成 凹 狀 1 所以 會 干 擾 裝 卸 機 器之 定位銷 2 1 與 定 位 訂 | 凹 描 1 7 ,1 8之適當接觸， 最終將導致機器之不當操作。 1 I 對 上 述 厚 壁 件 17,1 8之由於大厚度引起的問題提出- 1 1 I 値 補 救 方 法 9 如 第 1 3圏 所 示 » 將 射 出 成型 中之金 屬 楔 具 的 1 元 件 22設 置 在 圖 盤 1 1之 内 側 表 面 故 可 以減 低定位 凹 槽 1 7 A , Ί 1 8 A之壁厚。 另- -方面， 如第1 4圖所述般， 將每個定位凹 1 1 槽 1 7 A , 18A分別作成具有Μ 字形截面之成形元件2 3 , 其可 1 1 與 圖 盤 1 1 緊 密 地 砌 A C3 0 1 I 上 述 參 考 第 1 3 圈而 描 述 之 前 項 方 法中 有另一 値 問 題 1 I 因 為 金 颶 模 具 之 元 件22形 成 有 一 倒 角 (u n c e r c u t ) ， 此 金 屬 1 1 I 楔 具 必 須 設 置 有 複 雜的 滑 動 機 構 f 因 此必 須增加 金 屬 楔 具 1 1 之 成 本 0 除 此 之 外 ,圖 盤 1 1 之 面 向 内 部之 表面在 定 位 凹 檐 1 1 1 7 A . 1 8 Α上必須具有在圖盤1 1之性能上非扮演主要角色之 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（21t)X297公雉） 309467 at B7 經濟部中央標準局員工消f合作社印製 五、發明説明（ 4 ) I 孔 或 凹 處 ， 以 致 使 得 晶 鼷 收 容 盒 10 之 淸 潔 處 理 能 力 降 低 許 1 I 多 * 導 致 於 最 後 所 沉 積 之 灰 塵 粒 子 引 起 晶 圖 收 容 盒 之 澝 潔 1 1 | 問 題 〇 /--V 1 1 請 1 I 上 述 藉 由 參 考 第 1 4 圈 所 提 之 後 項 方 法 亦 有 問 題 > 不 用 先 閱 1 I 1 I 多 説 其 須 要 準 備 一 個 用 % 於 形 成 分 離 件 23之 額 外 的 金 屬 模 具 背 之 1 1 f 且 因 此 各 別 的 成 形 元 件 23必 須 緊 緊 地 砌 合 至 圖 盤 11 I 所 '}1 意 1 事 1 以 將 因 為 對 此 額 外 的 金 羼 棋 具 之 早 期 投 資 及 砌 合 工 作 之 人 項 再 1 事 费 而 增 加 非 常 多 之 製 造 成 本 0 本 百 裟 I 發 明 JL 栗 '—^ 1 1 在 擻 底 審 視 上 述 在 先 前 技 m 中 所 發 生 之 問 題 後 1 本 發 1 1 明 之 百 的 為 提 供 改 良 式 低 成 本 之 晶 圖 收 容 盒 製 造 方 法 ， 此 1 1 盒 適 用 於 藉 由 使 用 白 動 器 而 由 收 容 盒 中 可 靠 的 裝 卸 晶 園 訂 1 ! 1 且 不 必 因 金 屬 楔 具 及 其 它 的 儀 器 而 η 額 外 的 投 資 及 額 外 I I 的 人 事 費 0 1 I 因 此 1 本 發 明 為 射 出 成 型 法 提 出 改 良 方 案 t 其 乃 藉 由 1 將 Μ 融 ―赞/射'入屣^直 .凹，、懂 之金„緣後再中 Ί | 1 藉 此 而 製 jfi. .兔 晶 一 一 園 收 m 盒 具 有 里 Μ .1 容成 行 1 1 之 平 行 凹 3 1 具 有 厚 度 至 少 3 πι m之厚壁補強件， 與形成於 1 1 每 個 厚 壁 補 強 件 中 之 定 位 凹 槽 > 前 述 的 定 位 凹 槽 白 晶 圖 收 1 1 容 盒 装 卸 晶 園 材 料 時 供 白 動 機 器 正 確 定 位 » 此 項 改 良 包 含 1 | 有 由 及 % 位 凹 成 形 成 具 有 1 I 壁 度 為 3 in m或更少的薄壁中空結構， 因此在將樹脂熔融物 1 1 射 入 金 颶 模 穴 之 射 出 成 型 期 間 或 在 注 入 至 金 屬 棋 穴 之 樹 脂 1 1 熔 融 物 «±ζ» 兀 全 固 化 之 前 » 將 一 氣 JUft 歷 吹 入 金 屬 楔 穴 内 〇 1 1 本紙張尺度通用中國國家標準（CNS ) Λ4現格（210 xm公釐） A7 B7 經濟部中央樣準局負工消费合作社印製 五、發明説明（5 ) 1 I 在 上 述 所 界 定 的 改 良 式 方 法 之 最 佳 實 施 例 中 » 吹 氣 式 I 1 I 射 出 成 型 中 之 吹 氣 换 藉 由 直 接 經 由 射 出 成 型 機 之 囔 嘴 或 經 1 1 由 金 屬 棋 具 之 内 建 式 氣 龌 導 引 楔 組 將 氣 髏 吹 入 金 靨 棋 具 中 y—S 1 I 請 1 1 先 1 0 閱 I 讀 1 I 本 發 明 更 提 供 有 一 改 良 式 晶 CfD 國 收 容 盒 9 其 包 含 有 收 容 背 1 I 之 1 並 排 成 行 之 複 數 籲 晶 國 材 料 用 之 平 行 凹 檐 » 具 有 厚 度 至 少 注 1 事 1 3 Ώ «1之厚壁補強件， 與形成於每锢厚壁補強件中之定位凹 項 再 1 填 槽 > 前 述 的 定 位 凹 槽 白 晶 圈 收 容 盒 裝 卸 晶 片 材 料 時 供 白 動 寫 本 裝 頁 1 機 器 正 確 定 位 1 且 具 有 前 述 的 定 位 凹 檐 之 前 述 薄 壁 補 強 件 — 1 I 每 値 均 具 有 中 空 結 構 0 1 1 圖 式 簡 説 明 1 1 第 1 面 圖 顯 示 實 施 例 中 之 本 發 明 方 法 用 於 製 造 晶 國 牧 訂 1 容 盒 之 金 屬 模 具 之 截 面 ran 圖 0 1 I 第 2 圖 % 顯 示 如 第 1 _ 所 示 的 金 靥 棋 具 於 成 型 最 初 階 1 I 段 之 部 份 放 大 截 面 圓 ess 〇 1 第 3 圖 % 顯 示 緊 接 於 第 2 画 所 示 之 階 段 後 f 此 金 屬 棋 ΐ·· · · 1 具 之 部 份 放 大 截 面 画 0 1 1 第 4 圔 像 顯 示 緊 接 於 第 3 圖 所 示 之 階 段 後 t 此 金 屬 楔 1 1 具 之 部 份 放 -大 截 面 圖 0 1 I 第 5 圖 % 顯 示 依 據 本 發 明 之 方 法 而 製 得 的 晶 圓 收 容 盒 1 I t 其 具 有 機 器 定 位 銷 之 定 位 凹 槽 之 部 份 放 大 截 面 圖 0 1 1 | 第 6 圔 % 顯 示 由 傅 统 方 法 製 得 的 晶 圓 收 容 盒 而 成 之 晶 1 1 圖 截 體 1 當 其 分 解 成 零 件 時 之 透 視 圖 0 1 1 第 7 圖 % 顯 示 傳 统 的 晶 圖 收 容 盒 之 透 視 圖 _ Ο 1 1 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS ) A4規格（210Χ2ί)7公煃） 7 3 8 5 5 2 A7 B7 經濟部中央標隼局負工消f合作社印製 五、發明説明（6 ) 1 1 第 8 圖 偽 顥 示 如 第 7 _ 所 示 的 晶 國 收 容 盒 之 平 面 ran m 0 1 1 第 9 ΓΒ) _ OT? 願 示 如 第 7 圆 fi· 所 示 的 晶 圃 收 容 盒 之 前 視 _ 〇 1 1 第 10圖 願 示 沿 著 第 8 圖 中 箭 頭 X- X所指示方向切 J開 /-N 1 1 請 1 | 及 透 視 的 晶 圖 收 容 盒 之 截 面 [Bf 國 0 先 閱 1 I 讀 1 1 第 1 1圖 傜 顯 示 沿 著 第 9 圔 中 箭 頭 XI -XI所指示方向皮 J 背 1 I 之 1 開 及 透 視 的 晶 圖 收 容 盒 之 部 份 截 面 圖 〇 注 意 1 1 第 1 2圖 % 顯 示 用 於 説 明 先 前 技 m 中 類 似 於 如 第 1 1圖 所 項 再 1 填 示 的 晶 片 收 容 盒 之 問 題 之 部 份 截 面 圏 0 本 装 頁 1 第 1 3圖 係 顯 示 用 於 說 明 先 前 技 m 中 類 似 於 如 第 11圖 所 '— 1 示 的 晶 片 收 容 盒 之 晶 圓 收 容 盒 的 另 一 問 題 之 部 份·截 面 ran 圖 0 1 1 第 14圖 潁 示 用 於 說 明 先 前 技 m 中 類 似 於 如 第 1 1圖 所 1 1 示 的 晶 圓 收 容 盒 之 另 一 問 題 之 部 份 截 面 QBQ 圃 0 訂 | 佯 實 p 例 詳 細 說 明 1 I 如 上 所 述 » 依 據 本 發 明 之 改 良 偽 藉 由 使 用 吹 氣 式 射 出 1 1 I 成 型 法 而 兀 成 f 此 方 法 可 以 是 所 諝 的 氣 助 法 等 等 0 用 於 吹 1 氣 之 氣 醱 可 為 空 氣 或 如 氣 等 之 懦 性 氣 鼸 〇 如 Ρ*·"1 眾 ............. 所 知 t 在 V .-1 Aag 氣 助 式 方 法 中 ， 將 氣 fit 導 入 金 屬 楔 具 之 楔 穴 係 藉 由 經 由 射 1 1 出 成 型 機 之 噴 嘴 或 經 由 金 屬 楔 具 内 建 式 氣 髓 導 引 楔 組 導 入 1 1 壓 縮 氣 體 而 杳 貝 現 0 本 發 明 之 方 法 並 不 僅 局 限 在 此 點 上 0 本 1 I 發 明 之 方 法 亦 並 不 僅 局 限 在 氣 體 導 入 之 控 制 方 法 上 其 執 1 1 I 行 亦 可 藉 由 控 制 壓 縮 空 氣 之 氣 體 壓 力 或 由 控 制 導 人 氣 醱 1 1 I 之 醴 積 或 吹 氣 率 0 1 1 本 發 明 之 方 法 的 最 佳 實 施 例 為 吹 氣 之 最 佳 時 刻 偽 於 樹 1 1 脂 熔 融 物 與 楔 穴 壁 表 面 接 觸 之 初 期 固 化 階 段 1 故 與 模 穴 壁 1 | 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（；Μ〇Χ 297公犛） 8 3 8 5 5 2 309467 A7 B7 經濟部中央樣準局員工消费合作社印製 五、發明説明（ 7 ) 1 1 表 面 接 觴 之 樹 脂 層 可 保 有 相 當 的 厚 度 0 同 時 最 好 此 氣 黼 係 1 1 1 藉 由 使 用 氣 髓 導 引 棋 組 直 接 導 入 厚 壁 部 0 1 1 1 箱 由 以 上 述 之 方 式 而 實 施 本 發 明 之 方 法 » 可 得 ___ 晶 圓 1 I 請 1 I 收 容 盒 » 其 包 含 有 用 於 收 容 複 數 個 並 排 成 行 之 晶 國 材 料 之 先 閱 1 I 讀· 1 I 凹 槽 厚 壁 補 強 件 » 與 形 成 於 每 個 厚 壁 補 強 件 上 之 定 位 件 背 ιέ 1 1 之 1 1 » 其 中 前 述 的 定 位 凹 檐 當 須 白 晶 圓 收 容 盒 裝 卸 晶 國 材 料 時 注 意 1 I 1 供 白 動 機 器 正 確 定 位 ) 且 前 述 厚 壁 補 強 件 及 刖 述 的 定 位 凹 項 再 1 4 槽 每 個 均 具 有 中 空 結 構 0 本 g- 装 1 於 本 發 明 之 方 法 中 1 氣 鼸 導 入 金 臑 楔 具 棋 穴 之 時 間 偽 Ά '— 1 1 | 於 將 樹 脂 熔 融 物 注 入 楔 穴 之 期 間 或 於 樹 脂 注 入 之 後 但 在 樹 1 1 脂 模 穴 中 <=±9 兀 全 固 化 之 ->-4. 刖 的 時 刻 1 此 氣 饈 有 m 擇 地 流 入 用 於 1 1 形 成 具 有 定 位 凹 槽 之 厚 壁 補 強 件 之 部 份 以 便 形 成 中 空 空 穴 訂 1 i 故 可 •sis* 兀 成 厚 壁 補 強 件 或 定 位 凹 槽 之 中 空 結 構 的 形 成 〇 因 1 1 此 > ^脂 之 收 縮 很 小 且 可 將 定 位 凹 槽 成 形 成 具 有 正 確 1 | 的 結 構 9 所 以 可 以 藉 由 白 動 機 器 平 順 且 疋 確 地由 晶 晒 收 容 盒 装 卸 晶 Η «•粉 0 除 此 之 外 » 不 須 於 晶 圖 收 容 盒 上 形 成 額 外 的 Γ 可 能 會 干 擾 晶 片 收 容 盒 之 清 潔 I 作 之 凹 處 ， 所 以 可 故 殺 易 地 1 1 將 晶 圓 收 容 盒 保 持 在 無 塵 的 狀 態 0 再 者 不 須 為 値 別 的 成 1 1 形 件 之 製 造 準 備 任 何 額 外 的 金 屬 棋 具 t 其 中 為 了 ! 1 圖 收 容 盒 砌 合 常 使 砌 合 工 作 花 費 牖 -«JWlltiCi 1 大 的 人 事 费 〇 1 | 在 下 文 中 t 將 由 參 考 所 附 圖 示 更 詳 細 的 說 明 本 發 明 1 I 之 某 實 施 例 0 1 1 1 所 附 第 1 至 5 圖 係 用 於 說 明 如 何 利 用 本 發 明 之 方 法 製 1 1 造 本 發 明 實 施 例 之 晶 國 收 容 盒 1 其 中 第 1 ΠΕΠ 國 係 顯 示 在 製 程 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X 297公釐） 9 3 8 5 5 2 A7 B7 經濟部中央橾隼局員工消费合作社印製 五、發明説明（ 8 ) 1 | 之 啓 始 階 段 用 於 實 現 本 發 明 方 法 之 金 颶 棋 具 之 截 面 nan 國 1 第 1 I 2 , 3 及4 圈每痼均用於顯示金羼棋具在製程之後鑛階段 1 ! I 之 部 份 放 大 截 面 圆 ， 而 第 5 圖 像 顳 •wt 示 類 似 第 1 1 画 之 已 製 造 請 1 1 兀 成 的 晶 圖 收 容 盒 之 部 份 截 面 ΠΗΤ m 0 附 帶 地 » 由 本 發 明 方 法 先 閱 1 I 讀 1 I 製 得 的 晶 圖 收 容 盒 具 有 之 結 構 通 常 與 如 第 7 至 10 圖 所 示 之 背 ΐέ 1 1 之 1 傅 統 的 晶 圖 收 容 盒 相 似 0 注 意 事 1 1 如 第 5 圖 中 之 部 份 放 大 截 面 圖 所 示 般 > 晶 國 收 容 盒 之 項 再 1 定 位 凹 槽 1 8 A之生成僳藉由在圖盤1 1上形成具有中空空穴 寫 本 百 裝 I 29 ,2 9之下侧補強區1 8 , 其中此空穴之形成像菘由將於下 '—^ 1 1 I 文 中 描 述 之 氣 肋 成 形 法 > 且 此 補 強 區 在 傅 統 的 晶 圖 收 容 盒 1 1 中 具 有 較 大 之 厚 度 0 此 説 亦 可 應 用 於 上 侧 及 旁 侧 肋 材 17 1 1 1 19 t 其 在 傳 統 的 晶 圚 收 容 盒 中 % 為 厚 壁 但 在 本 發 明 中 俤 形 訂 1 成 為 中 空 空 穴 0 1 1 本 發 明 之 晶 國 收 容 盒 10 之 成 形 俱 Μ 由 使 用 第 1 面 圃 之 截 1 | 面 ΠΗ] _ 所 示 的 金 羼 模 具 總 成 30 9 其 中 側 邊 固 定 的 安 裝 平 台 3 1 用 於 將 總 成 30固 定 在 成 形 機 器 之 基 底 (未予圔示） > 同 時 有 .·> i * 1 I 一 側 邊 可 移 動 的 安 裝 平 台 32其 與 此 機 器 之 基 底 的 連 接 方 式 I 1 使 其 能 夠 藉 由 如 升 降 機 之 類 的 機 構 而 上 升 及 下 降 〇 側 邊 固 1 1 定 的 定 位 平 盤 33偽 與 側 邊 固 定 的 安 裝 平 台 3 1 柑 連 接 t 同 時 1 1 側 邊 可 移 動 的 安 裝 平 台 32則 連 接 至 可 垂 直 移 動 的 定 位 平 盤 1 I 35 » 且 其 間 插 入 有 塾 塊 34 ， 此 可 垂 直 移 動 的 定 位 平 盤 3 5以 1 I 可 m 動 方 式 支 撑 可 滑 動 式 定 位 平 盤 36 0 1 1 I 當 金 颶 模 具 30 關 閉 時 1 側 邊 固 定 的 定 位 平 盤 33 與 上 述 1 1 I 之 可 垂 直 移 動 定 位 平 盤 3 5 及 滑 動 式 定 位 盤 36共 同 界 定 出 1 1 10 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公趁） 3 8 5 5 2 A7 B7 經濟部中央橾隼局®:工消費合作社印製 五、發明説明（9 ) 1 I 此 用 於 晶 國 收 容 盒 形 成 之棋 穴 (_中之標示號碼為10 ),且 1 1 提 供 — 澆 道 襯 37於 棋 穴 1 0之 内 0 將 於 第 1 03 _ 中之棋穴1 0設 1 1 計 可 成 將 晶 圓 收 容 盒 成 形成 倒 置 的 形 狀 0 /-—V I 1 請 1 I 澆 道 P 37 A形成於澆道襯套37之内以便可與外部 的樹 先 閱 1 | 請 1 | 脂 熔 融 物 供 給 裝 置 相 通 (未示尔 >此圖中）， 且 澆道口 37A亦 背 1 之 1 經 由 流 道 之 類 的 裝 置 (未示於此圔中） 與 楔 穴 10相通。 提供 注 意 1 事 1 一 具 有 管 狀 噴 嘴 41 A之氣鳢導引棋紹 141, 且將其插入 於澆 項 再 ! 填 道 襯 套 37 之 外 倒 表 面 及 側邊 固 定 的 定 位 平 盤 33之間。 管狀 寫 本 裝 I 噴 嘴 4 1 A開啓的位置僳於棋穴1 0之端點相對於下側厚 壁區 頁 S_> 1 1 之 位 置 t 或 換 句 話 説 > 相對 於 具 有 較 大 截 面 積之部份。 1 1 氣 體 導 引 楔 組 41 連 接至 氣 體 供 給 装 置 導 管38 ,此導管 1 1 在 經 過 介 於 側 邊 固 定 的 安裝 平 台 3 1 及 側 邊 固 定的定位平盤 訂 | 3 3 之 間 的 空 間 後 連 接 至 如m 氣 之 類 的 高 壓 氣 鱷源（未 示於 1 I 此 fist 國 中 )。 如後述般， 於將樹脂熔融物注入楔穴10之 期間 1 1 I 或 於 樹 脂 注 入 後 但 樹 脂 於棋 穴 1 0 中 t±s» 兀 全 固 化 之前，氣髏導 1 — 引 模 組 4 1 將 大 量 如 氮 氣 等之 氣 疆 經 由 管 狀 喷 嘴4 1 A導 入棋 1 穴 1 0 0 1 1 可 垂 直 移 動 的 定 位 平盤 35 } 其 界 定 出 棋 穴10之部份， 1 1 ，具 有 鐵 心 35 A , 而滑動式定位平盤3 6則具有鐵心3 6 A。 鐵心 1 I 3 5 A , 36 /\與 上 述 之 側 邊 固定 的 定 位 平 盤 33共 同界定出楔穴 1 1 1 0 0 佇 位 於 平 台 42正 上 方且 每 個 均 % 由 驅 動 機構（未 示於 1 1 1 此 圖 中 )驅動之數個頂出銷3 9以可以自由移動的形式 貫穿 1 1 可 垂 直 移 動 的 定 位 平 盤 35之 鐵 心 3 5 A 〇 侬第1 圖所指 示之 1 1 方 向 » 將 可 垂 直 移 動 的 定位 平 盤 35 驅 動 成 可 上下移動，且 1 1 11 本紙張尺度適用中國國家標皁（CNS ) Λ4規格（210X297公慶） 3 8 5 5 2 A7 B7 經濟部中央橾準局員工消费合作社印裝 五、發明説明（ 10 ) 1 I 將 滑 動 式 定 位 平 盤 36驅 動 使 其 可 由 右 至 左 及 由 左 至 右 滑 動 1 1 1 〇 以 下 接 著 描 述 用 於 成 形 上 述 實 施 例 中 之 晶 國 收 容 盒 之 1 1 I 請 1 1 步 驟 〇 如 第 1 ΠΕ〇 國 所 示 » 在 第 — 階 段 中 > 藉 由 將 侧 邊 固 定 的 先 閱 1 I 讀 1 1 定 位 平 盤 33 可 垂 直 移 動 的 定 位 平 盤 35及 滑 動 式 定 位 平 盤 背 1 1 之 1 36夾 住 而 形 成 楔 穴 10 1 且 將 如PFA樹脂之類的樹脂熔融物 注 意 1 事 1 經 由 澆道37A而注人模穴1 0。 在將樹脂熔融物注入楔穴1 0 項 再 1 填 之 期 間 或 在 樹 脂 注 入 後 但 樹 脂 於 楔 穴 1 0中 兀 全 固 化 之 刖 » 寫 本 装 I 經 由 氣 體 導 引 棋 組 41將 氣 醱 導 入 棋 穴 10 〇 I 1 1 白 氣 體 導 引 楔 組 41經 由 管 狀 嘖 嘴 41 A而導入棋穴10之 1 1 氣 體 G 流 入 楔 穴 1 0中 用 於 成 形 下 侧 厚 壁 區 18的 部 份 f 第 2 , 1 1 3， 及4 圖中之虛線像用於顯示氣驩G 選擇性地流向楔穴 訂 | 1 0中 用 於 成 形 旁 側 補 強 肋 材 1 9及 上 側 補 強 肋 材 1 7之 部 份 或 1 | 換 包 話 說 > 流 向 具 有 相 虽 大 接 連 著 的 截 面 積 之 元 件 t 以 1 1 I 便 於 厚 壁 部 份 内 沿 著 定 位 凹 槽 17 A , 18 A形 成 中 空 模 穴 29 0 1 因 此 而 形 成 之 中 空 棋 穴 29偽 由 遒 厚 度 相 當 小 之 壁 圔 m 著 Ϊ 此 壁 厚 t 舉 例 而 言 1 為 5 m π或更小， 最好是3 m m 或 更 小 1 1 以 便 可 避 免 因 成 形 凹 陷 而 導 致 的 缺 陷 ， 冷 却 以 使 可 稍 m 固 1 1 化 之 晶 圔 收 容 盒 1 0遭 受 熱 收 縮 而 可 使 定 位 凹 槽 17 A , 1 8 A免 1 | 於 變 形 0 1 I 在 本 發 明 之 最 佳 實 施 例 中 如 上 所 述 » H 由 ϋβ 用 氣 肋 1 1 I 式 方 法 而 成 形 的 晶 圔 收 容 盒 1 0於 厚 壁 部 份 内 將 於 定 位 凹 槽 1 1 17 A , 18A之位置形成中空空穴29。 因此， 晶画收容盒10即 1 1 使 成 形 厚 壁 部 份 亦 會 道 受 到 輕 撇 的 熱 收 縮 或 凹 陷 * 故 需 使 1 1 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X2〔)7公釐） 12 3 8 5 5 2

五、發明説明（U Α 示 17所 槽圖 ] 3 凹 1 位第 定如 A7 B7 式 方 此 以 ο 構 結 的 確 正 持 保 而 形 變 於 免 角 倒 的 何 任 成 形 會 不 將 中 ο 1α 盒 容 收 圃 晶 於 出為額 射點備 行優準 執 一 中 而另作 成之 Η 總明合 具發砌 棋本的 属 。後 金計其 之設在 構的槽 結雜凹 單複位 簡作定 酋角為 相倒須 用此不 使為般 由須示 藉不圖 可且14 故形第 , 成如 提 本 成 之 低 較 以 可 法 方 之 明 發 本 〇 - 形 此成 因盒 〇 容 件收 元 Η 別晶 値的 或確 的正 外供 法η 方晶 式於 助對 氣相 於其 將 · 傈内 ο 中穴 例棋 施之 實30 之具 明棋 發羼 本金 述入 上導 在匾 , 氣 而的 然用 使 中 氣庸 將無 擇 。 選制 可限 亦的 然別 當持 , 須 置不 位而 8L 伤 置 上位 的側 18下 區之 壁10 厚盒 侧容 下收 之圓 10晶 盒入 容導 收腥 槽 凹 位 定 於 限 僅 是 不 並 用 應 的 m-- 理 原 用 作 之 明 發 本 疑 置 出 突 、 P 開 如 諸 件 壁 厚 它 其 何 任 於 用 應 可 亦 而 用 位 定 器 機 卸 裝 動 白 供 以 等 等 份 部 (請先閱讀背面之注意事續再填寫本頁) 裝.

、1T •Λ 經濟部中央梂隼局貫工消費合作社印製 本紙浪尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 3 11 3 8 5 5 2

Claims (1)

1. 309467 鉍 C8 D8 六、申請專利範圍 1. 一種精密基Η收容盒之製造方法，偽藉由將樹脂熔融 成數 有複 具將 内於 具 用 楔有 »具 金盒 , 容 法收 形園 成晶 出此 射， 之穴 内棋 具的 棋盒 屬容 金收 入圓 注晶 物形 件的 強述 補前 壁中 厚其 槽榷 凹凹 行位 平定 之之 中内 其件 於強 容補 收壁 排厚 並籲 料每 材於 圃成 晶形 餹及 正型 之成 料出 材射 圃式 晶氣 卸吹 裝由 盒藉 容有 收含 圓包 晶於 由在 械良 機改 自 ， 供成 槽而 凹位 位定 定確 構融金 結熔入 空脂注 中樹 醱 壁或氣 薄間將 具期 ， 成穴前 形棋之 成之化 件具固 強楔全 補羼完 之金中 槽入穴 凹注棋 位物之 定融具 有熔楔 具脂屬 此樹金 將將在 法於物 --------f 裝-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局負工消費合作社印裝 2 3

   本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4说格（210 X 297公釐） 3 8 5 5 2