JPH06151493A - テープキャリアパッケージのモールド方法とそれに用いる搬送キャリア - Google Patents

テープキャリアパッケージのモールド方法とそれに用いる搬送キャリア

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JPH06151493A
JPH06151493A JP32264792A JP32264792A JPH06151493A JP H06151493 A JPH06151493 A JP H06151493A JP 32264792 A JP32264792 A JP 32264792A JP 32264792 A JP32264792 A JP 32264792A JP H06151493 A JPH06151493 A JP H06151493A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 効率の良い樹脂封止と、リード変形等のダメ
ージを与えることのないテープキャリアパッケージのモ
ールド方法とそれに用いる搬送キャリアを提供する。 【構成】 モールド方法は、搬送キャリア10が取り付
けられたベースフィルム14を金型20、24内にセッ
トし、前記金型20、24を型閉し、前記金型20、2
4内に溶融樹脂44を充填する手順を備える。一方、こ
のモールド方法に用いる搬送キャリアは、ベースフィル
ム14に取り付けられる搬送キャリア10であって、耐
熱製合成樹脂で形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はテープキャリアパッケー
ジのモールド方法とそれに用いる搬送キャリアに関す
る。
【0002】
【従来の技術】近年、半導体装置の多ピン化等によりベ
ースフィルム上に半導体装置を形成したテープキャリア
パッケージが使用されている。テープキャリアパッケー
ジは薄いベースフィルム上に形成されるため、変形しや
すい。そこで、搬送等取扱を容易にするため、合成樹脂
製の1対の枠体である搬送キャリアに挟持された状態で
搬送される。テープキャリアパッケージは、通常の半導
体装置と同様、半導体チップ部を樹脂封止しなければな
らない。従来、テープキャリアパッケージの樹脂封止は
ポッティングにより行われている。ポッティングは合成
樹脂をディスペンサ装置で滴下し、その後キュア炉で樹
脂硬化させる方式である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来のテープキャリアパッケージの樹脂封止方法には次
のような課題がある。ポッティングで樹脂封止する場
合、ベースフィルムを一端搬送キャリアから外してポッ
ティングを行い、樹脂封止終了後、樹脂封止されたベー
スフィルムを再び搬送キャリアに取り付けなければなら
ない。この搬送キャリアからの取り外し、搬送キャリア
への取り付けの作業に手間がかかり、作業性を阻害す
る。また、搬送キャリアからの取り外し、取り付けの際
にリードを変形させてしまう等のダメージを与え、不良
品を発生させる可能性が高いという課題もある。従っ
て、本発明は効率の良い樹脂封止と、リード変形等のダ
メージを与えることのないテープキャリアパッケージの
モールド方法とそれに用いる搬送キャリアを提供するこ
とを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明は次の構成を備える。まず、テープキャリアパッ
ケージのモールド方法は、搬送キャリアが取り付けられ
たベースフィルムを金型内にセットし、前記金型を型閉
し、前記金型内に溶融樹脂を充填することを特徴とす
る。特に、この方法において前記金型内への溶融樹脂の
充填をトランスファモールド装置を用いて行うとよい。
一方、当該モールド方法に用いる搬送キャリアは、ベー
スフィルムに取り付けられる搬送キャリアであって、耐
熱製合成樹脂で形成されていることを特徴とし、例えば
前記耐熱製合成樹脂の耐熱温度は、前記ベースフィルム
を樹脂封止する溶融樹脂の温度を越える温度、または前
記ベースフィルムを樹脂封止する金型の加熱温度を越え
る温度に設定すればよい。さらに、搬送キャリアは前記
ベースフィルムを樹脂封止する溶融樹脂の流路と対応す
る部分が開放されている形状に形成することもできる。
【0005】
【作用】作用について説明する。上記モールド方法で
は、ベースフィルムは搬送キャリアが取り付けられたま
ま金型内にセットされ、樹脂封止されるので、樹脂封止
工程におけるベースフィルムのダメージを防止可能とな
る。また、上記モールド方法に用いる搬送キャリアは耐
熱製合成樹脂で形成されているので、溶融樹脂や加熱さ
れた金型の熱による変形、ひいてはベースフィルムのダ
メージを防止可能となる。特に、搬送キャリアを、溶融
樹脂の流路と対応する部分が開放されている形状に形成
することにより、搬送キャリアと樹脂封止用樹脂との接
触を防止可能となる。
【0006】
【実施例】以下、本発明の好適な実施例について添付図
面と共に詳述する。図1に本実施例の搬送キャリアを構
成する下側のキャリア構成部材の平面図を示し、図2に
はそのキャリア構成部材へベースフィルムをセットした
状態の平面図を示す。搬送キャリア10は上下1対のキ
ャリア構成部材12a、12bから成り、ベースフィル
ム14を挟持するが(図3参照)、図1および図2には
キャリア構成部材の一方のみ図示する。
【0007】キャリア構成部材12a、12bは耐熱性
合成樹脂で矩形枠体状に形成されている。キャリア構成
部材12a、12bを形成している耐熱性合成樹脂の耐
熱温度は、ベースフィルム14を樹脂封止する溶融樹脂
の温度を越える温度、またはベースフィルム14を樹脂
封止する金型(後述)の加熱温度を越える温度である。
具体的には、最高使用温度限界が130°C以上、好ま
しくは155°C以上、さらに好ましくは180°C以
上、最も好ましくは200°C以上の合成樹脂である。
耐熱性合成樹脂は、熱可塑性、熱硬化性のいずれでもよ
いが、価格の点を勘案すると熱可塑性の方が経済的であ
る。
【0008】耐熱性合成樹脂の種類は、例えば使用温度
限界が130°C以上の場合、ポリスルフォン、フェノ
ール樹脂等が有り、使用温度限界が155°C以上の場
合、ポリエーテルスルフォン、ポリビスマレイミド等が
有り、使用温度限界が180°C以上の場合、ポリアリ
ールスルフォン、ポリアミドイミド等が有り、使用温度
限界が200°C以上の場合、シリコーン樹脂、ポリイ
ミド等が有る。キャリア構成部材12aには図1に明示
されるように非接続の開放部16aが形成されている。
また、図示しないがキャリア構成部材12bにも対応し
た開放部が形成されている。開放部16aは後述するモ
ールド方法によりベースフィルム14を樹脂封止する際
に、樹脂封止する溶融樹脂の流路であるランナ(後述)
と対応する部分に形成されている。開放部16aを設け
ることにより、搬送キャリア構成部材12a、12bを
形成している樹脂とベースフィルム14を樹脂封止する
樹脂との溶着が防止可能となる。
【0009】前工程で半導体チップ18が設けられたベ
ースフィルム14は、図2に示すように下側のキャリア
構成部材12a上に載置され、その上に上側のキャリア
構成部材12bが被着されることにより、キャリア構成
部材12aと12bとの間に挟持される。その際、キャ
リア構成部材12aと12bは互いに縁部で係合してベ
ースフィルム14の挟持状態を保持している。なお、係
合状態において、キャリア構成部材12aの開放部16
aはキャリア構成部材12bの開放部(不図示)と対応
している。ベースフィルム14は上述のように搬送キャ
リア10のキャリア構成部材12a、12bに挟持され
た状態で樹脂封止工程に搬送されて来る。
【0010】次に図3〜図5をさらに参照して本実施例
のモールド方法について説明する。図3にはベースフィ
ルム14を樹脂封止するためのトランスファモールド装
置の要部断面図を示し、図4には金型である下チェイス
および下インサートの平面図を示す。本実施例では樹脂
封止にトランスファモールド装置20を用いている。ト
ランスファモールド装置20を用いると作業効率を従来
のポッティング方式より飛躍的に向上させることが可能
となるからである。まず、図3において、22は下チェ
イスであり、不図示のベース上に固定されている。24
は金型である下インサートであり、下チェイス22の上
部に固定されている。下インサート24の上面(上パー
ティング面)にはベースフィルム14上の半導体チップ
18近傍を樹脂封止するためのキャビティ凹部26aが
凹設されている。
【0011】28は上チェイスであり、不図示の駆動機
構により上下動可能になっている。30は金型である上
インサートであり、上チェイス28の下部に固定されて
いる。上インサート30の下面(下パーティング面)に
はベースフィルム14上の半導体チップ18近傍を樹脂
封止するためのキャビティ凹部26bが凹設されてい
る。上インサート30は上チェイス28の上下動に伴
い、下インサート24に対して接離動する。この接離動
により下チェイス22と上チェイス28は型開、型閉を
行う。下チェイス22と上チェイス28が型閉じした際
に(図3の状態)キャビティ凹部26aと26bとで1
個の空間であるキャビティ26を形成する。キャビティ
26内には、下チェイス22および下インサート24内
に形成されているポット(後述)を介して溶融樹脂が充
填され、樹脂封止が行われる。32は支持部材であり、
下チェイス22の上面に4個立設されている。支持部材
32は合成ゴムで形成されている。なお、樹脂封止に使
用される合成樹脂は熱硬化性樹脂であり、下インサート
24および上インサート30は不図示のヒータによって
加熱される。
【0012】このトランスファモールド装置20の上チ
ェイス28を上動させた型開状態で、搬送キャリア10
に取り付けられたベースフィルム14を下インサート2
4内にセットする。図4に示すように下インサート24
の上面には周壁部34が矩形枠状に形成されており、ベ
ースフィルム14をセットする際にベースフィルム14
の下面を支持すると共に、型閉状態にあっては上インサ
ート30の下面に対応して形成されている周壁部(不図
示)との間でベースフィルム14を挟持可能になってい
る。周壁部34には開放部16bが形成されている。こ
の開放部16b内を通過するように溶融樹脂の流路であ
るランナ36が下インサート24の上面に凹設されてい
る。ランナ36の一端はゲート38を介してキャビティ
凹部26aに連絡され、他端は樹脂圧送用のプランジャ
40が内蔵されているポット42へ連絡されている。な
お、ベースフィルム14をセットする際に搬送キャリア
10の開放部16aと周壁部34の開放部16bは対応
させる必要がある。
【0013】図3に示すように、搬送キャリア10に取
り付けられたベースフィルム14を下インサート24内
へセットし、型閉じすると、搬送キャリア10の開放部
16aが形成されている辺は下インサート24および上
インサート30と干渉するおそれがあるが、当該辺は両
インサート24、30の周壁部34の外側に位置すると
共に、周壁部34の高さ分のクリアランスで干渉が防止
されている。また、開放部16bは、上インサート30
が下動した際に上インサート30の下面に不図示の周壁
部からさらに下方へ突設されている突設部(不図示)が
開放部16a、16bを通過して下インサート24の上
面へ当接可能になっているためランナ36閉成すること
ができる。搬送キャリア10の、開放部16aが形成さ
れている辺以外の辺は下インサート24および上インサ
ート30の外側に在り、四隅を支持部材32に支持され
ている。
【0014】ベースフィルム14等がセットされたら、
上チェイス28を下動させて下インサート24と上イン
サート30とを型閉させる。型閉状態になったらプラン
ジャ40を上動させてポット42から下インサート2
4、上インサート30内のキャビティ26内へランナ3
6、ゲート38を経由して溶融樹脂44を充填する(図
3の状態)。樹脂充填が完了し、キャビティ26内の樹
脂が凝固したら上チェイス28を上動させ、型開し、樹
脂封止部46(図5参照)を下インサート24からイジ
ェクトする。イジェクトされた成形品であってキャリア
構成部材12bを取り去った平面図を図5に示す。充填
された樹脂により成形されたスクラップであるカル4
8、ランナ枝50、ゲート枝52が樹脂封止部46と連
結している。ランナ枝50は開放部16aと非接触に形
成されている。また、ベースフィルム14とランナ枝5
0、ゲート枝52とは付着しにくいためディゲート工程
においても容易にスクラップ除去を行うことができる。
【0015】続いて図6を参照して他のモールド方法に
ついて説明する。なお、前述の実施例と同一の構成部材
については図1〜図5と同一の符号を附し、説明は省略
する。図6に示す本実施例もトランスファモールド装置
20を用いたモールド方法である。前述の実施例では図
4に示すようにポット42が下チェイス22および下イ
ンサート24に設けられ、下インサート24のパーティ
ング面に凹設されたランナ36およびゲート38を経由
してキャビティ26へ連絡していた。図6の実施例にお
いてポット42は上モールドベース70内に形成され、
上チェイス28および上インサート30内に形成されて
いるスプル72を経由してキャビティ26と連絡されて
いる。スプル72は下インサート24および上インサー
ト30のパーティング面には形成されていないので前実
施例のようにスクラップ(ランナ枝50、ゲート枝5
2)がベースフィルム14に付着することはない。ま
た、搬送キャリア10に開放部16aを設ける必要もな
い。
【0016】樹脂封止の手順は前実施例と同一である
が、樹脂封止後のスクラップ除去はプランジャ40を上
動させることにより行う。プランジャ40の下端部には
スプル枝74の外れを阻止するための逆テーパ部76が
形成されているのでスプル枝74をスプル72から抜き
取ることが可能となる。なお、本実施例の搬送キャリア
10はキャリア構成部材12aと12bでベースフィル
ム14を挟持するタイプであったが、その他の構造、例
えば矩形の枠状に形成されると共に、四隅にベースフィ
ルムを挟み込み可能な爪部を有する搬送キャリアを用い
てもよい。以上、本発明の好適な実施例について種々述
べてきたが、本発明は上述の実施例に限定されるのでは
なく、例えば搬送キャリアへ伝導される熱量を抑制可能
であれば搬送キャリアを構成する合成樹脂の最高使用温
度限界は130°C未満であってもよい等、発明の精神
を逸脱しない範囲で多くの改変を施し得るのはもちろん
である。
【0017】
【発明の効果】本発明に係るテープキャリアパッケージ
のモールド方法とそれに用いる搬送キャリアを用いる
と、まず本発明に係るモールド方法では、ベースフィル
ムは搬送キャリアが取り付けられたまま金型内にセット
され、樹脂封止されるので、樹脂封止工程におけるベー
スフィルムのダメージを防止可能となる。また、当該工
程において搬送キャリアの取り外し、取り付けを行う必
要がないので作業性を各段と向上させることができる。
特に、モールド方法をトランスファモールド装置によっ
て行うと時間短縮、多数処理が可能となる。一方、本発
明に係る搬送キャリアを当該モールド方法に用いると、
搬送キャリアは耐熱製合成樹脂で形成されているので、
溶融樹脂等の熱による搬送キャリアの変形、ひいてはベ
ースフィルムのダメージを防止可能となる。特に、搬送
キャリアを、溶融樹脂の流路と対応する部分が開放され
ている形状に形成することにより、搬送キャリアと樹脂
封止用樹脂との接触を確実に防止可能となり、溶融樹脂
と搬送キャリアとの溶着の防止および溶融樹脂の熱の伝
導防止を図ることができる等の著効を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るテープキャリアパッケージのモー
ルド方法に用いる搬送キャリアを構成する下側のキャリ
ア構成部材の平面図。
【図2】図1のキャリア構成部材へベースフィルムをセ
ットした状態の平面図。
【図3】ベースフィルムを樹脂封止するためのトランス
ファモールド装置の要部断面図。
【図4】下チェイスおよび下インサートの平面図。
【図5】トランスファモールド装置で樹脂封止されたテ
ープキャリアパッケージであって上側のキャリア構成部
材を取り去った状態の平面図。
【図6】ベースフィルムを樹脂封止するためのトランス
ファモールド装置の他の実施例を示した要部断面図。
【符号の説明】
10 搬送キャリア 14 ベースフィルム 16a 開放部 20 トランスファモールド装置 24 下インサート 30 上インサート 36 ランナ 44 溶融樹脂

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 搬送キャリアが取り付けられたベースフ
    ィルムを金型内にセットし、 前記金型を型閉し、 前記金型内に溶融樹脂を充填することを特徴とするテー
    プキャリアパッケージのモールド方法。
  2. 【請求項2】 前記金型内への溶融樹脂の充填をトラン
    スファモールド装置を用いて行うことを特徴とする請求
    項1記載のテープキャリアパッケージのモールド方法。
  3. 【請求項3】 ベースフィルムに取り付けられる搬送キ
    ャリアであって、耐熱製合成樹脂で形成されていること
    を特徴とする搬送キャリア。
  4. 【請求項4】 前記耐熱製合成樹脂の耐熱温度は、前記
    ベースフィルムを樹脂封止する溶融樹脂の温度を越える
    温度であることを特徴とする請求項3記載の搬送キャリ
    ア。
  5. 【請求項5】 前記耐熱製合成樹脂の耐熱温度は、前記
    ベースフィルムを樹脂封止する金型の加熱温度を越える
    温度であることを特徴とする請求項3記載の搬送キャリ
    ア。
  6. 【請求項6】 前記ベースフィルムを樹脂封止する溶融
    樹脂の流路と対応する部分は開放されていることを特徴
    とする請求項3、4または5記載の搬送キャリア。
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